JP2014033099A - シリコンチューブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウェハ2から切削加工によりシリコンチューブ3を作製するシリコンチューブの製造方法において、シリコンウェハとして面方位(100)の単結晶シリコンウェハを用いてチューブ側面が面方位と平行になる方向に切削するか、あるいは面方位(110)または(111)の単結晶シリコンを用いて、チューブ側面が面方位に対して所定角度だけ傾くように切削加工を行う。
【選択図】図2
Description
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係るシリコンチューブ3を作製するためのシリコンチューブ切削装置1の構成を示す図である。
シリコンチューブ切削装置1は、図1に示すように、ワーク(シリコンウェハ2)が設置されるワーク設置部11と、設置されたワークに対して切削加工を行う切削工具12と、この切削工具12の動作を制御する動作制御部13とから構成されている。そして、このワーク設置部11に図2に示すシリコンウェハ2を設置し、切削工具12を用いてチューブ状に加工することで、図2に示すようなシリコンチューブ3を作製する。なお、シリコンウェハ2として、面方位(100)の単結晶シリコンウェハを用いる。
シリコンチューブ3を作製する場合、図3に示すように、シリコンウェハ2の下面には、シリコンウェハ2を固定するため板状の基板例えば青板ガラス4を設置する。また、シリコンウェハ2の上面には、切削加工によるチッピングを防止するため厚さ0.5mmの保護材例えばホウ珪酸ガラス5を設置する。
以上の3工程によりシリコンウェハ2からシリコンチューブ3を作製することができる。
まず、図5(a)に示すように、面方位(111)のシリコンウェハ2を使用してシリコンチューブ3を作製した場合、劈開面(111)がシリコンチューブ3の接合面に対して水平となり、側面からクラックが入りやすい。そのため、このシリコンチューブ3を差圧発信器に用いた場合、シリコンチューブ3に力が加えられることでクラックが進行すると、シリコンチューブ3が破断してセンサチップから分離する恐れがある。
また、劈開面(111)は、劈開面(110)と35.2°の角度をなしている。そして、シリコンチューブ3の接合面より0.2mm下部から劈開面(111)のクラックが進展した場合、外周より0.28mmの部分まで接合面を失うこととなり、接合強度の仕様範囲外となってしまう。
また、シリコンチューブ3の接合面より0.2mm下部から劈開面(111)のクラックが進展した場合には、外周より0.14mmの部分まで接合面を失うことなるが、面方位(111),(110)のシリコンウェハ2を用いた場合よりも、センサチップとの接合面を確保することができる。すなわち、面方位(100)のシリコンウェハ2を用いてシリコンチューブ3を作製することで、クラックの進行が中心まで達する可能性が低くなり、接合強度の低下を仕様範囲内に留めることができる。
実施の形態1では、単結晶シリコンウェハを用いてシリコンチューブ3を作製する場合について示した。これに対して、例えばアモルファスシリコンのような非晶質なシリコンウェハを用いてシリコンチューブ3を作製するようにしてもよい。この場合には、非晶質であるため、面に沿ったクラックの進展が発生することはない。
実施の形態1では単結晶シリコンウェハを用い、実施の形態2では非晶質なシリコンウェハを用いて、シリコンチューブ3を作製する場合について示した。これに対して、多結晶シリコンウェハを用いてシリコンチューブ3を作製するようにしてもよい。この場合、面方位が不連続なため単結晶の場合よりもクラックは進展しにくい。
実施の形態1では、面方位(100)のシリコンウェハ2を用いてシリコンチューブ3を作製することでクラックの進展を抑制するよう構成した。これに対して、図6に示すように、面方位(110),(111)のシリコンウェハ2を所定角度傾けて切削加工を行うにしてもよい。なお、図6(a)において、左図は面方位(111)のシリコンウェハ2を傾けずに切削加工を行った場合、右図は面方位(111)のシリコンウェハ2を傾けて切削加工を行った場合での劈開面の方向の違いを示している。また、図6(b)において、左図は面方位(110)のシリコンウェハ2を傾けずに切削加工を行った場合、右図は面方位(110)のシリコンウェハ2を傾けて切削加工を行った場合での劈開面の方向の違いを示している。なお、図中のグレー部分はシリコンチューブ3となる部分である。そして、この手法により作製したシリコンチューブ3を差圧発信器に適用した場合、シリコンチューブ3に対して下方から力が働くため、劈開面(110),(111)が傾いていれば、クラックは進展しにくくなることが想定される。
また、面方位(110),(111)の単結晶シリコンが所定角度傾けられて加工されたシリコンウェハ2を用いて、シリコンチューブ3を作製するようにしてもよい。
2 シリコンウェハ
3 シリコンチューブ
4 青板ガラス
5 ホウ珪酸ガラス
11 ワーク設置部
12 切削工具
13 動作制御部
31 孔
32 起点
Claims (5)
- シリコンウェハから切削加工によりシリコンチューブを作製するシリコンチューブの製造方法において、
前記シリコンウェハとして面方位(100)の単結晶シリコンウェハを用いる
ことを特徴とするシリコンチューブの製造方法。 - シリコンウェハから切削加工によりシリコンチューブを作製するシリコンチューブの製造方法において、
前記シリコンウェハとして非晶質なシリコンウェハを用いる
ことを特徴とするシリコンチューブの製造方法。 - シリコンウェハから切削加工によりシリコンチューブを作製するシリコンチューブの製造方法において、
前記シリコンウェハとして多結晶シリコンウェハを用いる
ことを特徴とするシリコンチューブの製造方法。 - シリコンウェハから切削加工によりシリコンチューブを作製するシリコンチューブの製造方法において、
前記シリコンウェハとして面方位(110)または面方位(111)の単結晶シリコンウェハを用い、当該シリコンウェハを所定角度傾けて切削加工を行う
ことを特徴とするシリコンチューブの製造方法。 - シリコンウェハから切削加工によりシリコンチューブを作製するシリコンチューブの製造方法において、
前記シリコンウェハとして面方位(110)または面方位(111)の単結晶シリコンが所定角度傾けられて加工されたシリコンウェハを用いる
ことを特徴とするシリコンチューブの製造方法。
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