JP2014029351A - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小面積の固体撮像素子に適用した場合でも、被写体の状態によらずに、高速かつ高精度に位相差情報を取得し合焦位置を求めることができる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】固体撮像素子100は、瞳分割用画素部11,12のペアを複数含む。瞳分割用画素部11,12は、それぞれ、PD2と、PD2上方に設けられPD2に光を集光する集光レンズ(マイクロレンズ13及び層内レンズ8)とを含み、集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置近傍に設けられ、瞳分割用画素部11,12のPD2の受光面の一部を遮光する遮光部7a,7bを備え、遮光部7a,7bは、瞳分割用画素部11,12の各々に含まれるPD2の光学開口の中心が、当該各々の瞳分割用画素部に含まれる集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられている。
【選択図】図2
【解決手段】固体撮像素子100は、瞳分割用画素部11,12のペアを複数含む。瞳分割用画素部11,12は、それぞれ、PD2と、PD2上方に設けられPD2に光を集光する集光レンズ(マイクロレンズ13及び層内レンズ8)とを含み、集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置近傍に設けられ、瞳分割用画素部11,12のPD2の受光面の一部を遮光する遮光部7a,7bを備え、遮光部7a,7bは、瞳分割用画素部11,12の各々に含まれるPD2の光学開口の中心が、当該各々の瞳分割用画素部に含まれる集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられている。
【選択図】図2
Description
本発明は、瞳分割用画素部のペアを複数含む固体撮像素子に関する。
焦点検出技術の1つとして位相差検出方式が知られている。この方式は、撮影レンズの異なる瞳領域を通過する光束を受光する一対の瞳分割用画素を設け、この一対の瞳分割用画素からの信号を用いることで、撮影レンズのデフォーカス量を検出するものである。この位相差検出方式は、コントラストAF方式の焦点検出技術に比べて高速に焦点調節を行うことができるため、一眼レフカメラで多く採用されている。
従来の一眼レフカメラで採用されている位相差検出方式は、例えば、被写体を撮像する固体撮像素子とは別に、2つの左右に配置される位相差検出用ラインセンサを設け、第1のラインセンサの検出情報と第2のラインセンサの検出情報との位相差に基づき、主要被写体までの距離を検出する構成になっている。
この位相差AF方式は、固体撮像素子とは別に位相差検出用のラインセンサが必要となり、部品コスト及び製造コストが嵩んでしまい、更に装置が大型化してしまうという問題がある。
これに対し、下記の特許文献1,2に記載されている様に、固体撮像素子受光面上に位相差検出用の画素を設けたものが提案されている。被写体画像を撮像する固体撮像素子として位相差検出用の画素が形成された固体撮像素子を採用することで、外部の位相差検出用センサが不要となり、低コスト化を図ることが可能となる。
特許文献1、2に記載の従来技術は、1対の隣接画素の夫々の遮光膜開口を小さくし、かつ1対の隣接画素の一方と他方で遮光膜開口位置を位相差検出方向(通常の場合は左右方向)にずらすことで位相差を検出する構成になっている。
一画素一画素の受光面積を大きくとれる大判(大面積)の固体撮像素子であれば、このように遮光膜開口を小さくしても位相差情報を高速かつ高精度にとることができる。しかし、一画素一画素の受光面積を大きくとれない、例えばコンパクトカメラ等に搭載する固体撮像素子では、受光時間を短時間にして位相差情報を高速に取得すると、被写体の状態によっては、位相差情報の精度つまり合焦位置検出精度が落ちてしまうという問題が生じる。また、位相差画素から出力される信号をゲインアップして位相差情報を取得する行う方法も考えられるが、この場合、ノイズもゲインアップされるため、十分な合焦位置検出精度を得ることができない。
本発明の目的は、小面積の固体撮像素子に適用した場合でも、被写体の状態によらずに、高速かつ高精度に位相差情報を取得し合焦位置を求めることができる固体撮像素子及びこれを備える撮像装置を提供することにある。
本発明の固体撮像素子は、瞳分割用画素部のペアを含む固体撮像素子であって、前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部は、それぞれ、光電変換素子と、前記光電変換素子上方に設けられ前記光電変換素子に光を集光する集光レンズとを含み、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置近傍に設けられ、前記瞳分割用画素部の前記光電変換素子の受光面の一部を遮光する遮光部を備え、前記遮光部は、前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部の各々に含まれる前記光電変換素子の光学開口の中心が、当該各々の瞳分割用画素部に含まれる前記集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられているものである。
本発明の撮像装置は、前記固体撮像素子を備えるものである。
本発明によれば、小面積の固体撮像素子に適用した場合でも、被写体の状態によらずに、高速かつ高精度に位相差情報を取得し合焦位置を求めることができる固体撮像素子及びこれを備える撮像装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態を説明するための固体撮像素子100の概略構成を示す平面模式図である。固体撮像素子100は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カメラ付携帯電話機の撮像モジュール等の撮像装置に搭載して用いられる。
図1に示した固体撮像素子100は、水平方向Xとこれに直交する垂直方向Yに二次元状(図1の例では正方格子状)に配列された複数の画素部を備えている。この複数の画素部は、通常画素部10と瞳分割用画素部11と瞳分割用画素部12とを含む。
瞳分割用画素部11は、これに近接して配置(図1の例では斜め右下に隣接して配置)された瞳分割用画素部12と共にペアを構成し、このペアを構成する瞳分割用画素部11と瞳分割用画素部12が、固体撮像素子100が搭載される撮像装置の撮影レンズの異なる瞳領域を通過する光束を受光するものとなる。固体撮像素子100は、このペアを少なくとも1つ有している。
通常画素部10は、瞳分割機能を有していない画素部である。
図2は、図1に示した固体撮像素子100におけるA−A線断面模式図である。図3は、図1に示した固体撮像素子100におけるB−B線断面模式図である。
シリコン基板等の半導体基板1内には、光電変換素子としてのフォトダイオード(PD)2が画素部毎に設けられている。
各PD2の右隣には、当該各PD2で発生し蓄積された電荷を転送する図示しない電荷転送チャネルが形成され、この電荷転送チャネル上には、半導体基板1上に形成される絶縁膜3を介して、この電荷転送チャネルに電圧を印加するための電荷転送電極4が形成されている。
電荷転送電極4及び絶縁膜3上には遮光膜5が形成され、この遮光膜5には、各PD2上方に同一形状の開口が形成されている。平面視において、この開口から見えるPD2の領域がPD2の受光面となる。平面視において、この受光面の中心位置は、後述する集光レンズの光軸の位置と一致している。
各PD2の上方には、上凸層内レンズ8、カラーフィルタ9、及びトップマイクロレンズ13がこの順に積層されている。
電荷転送電極4及び遮光膜5は絶縁膜6内に形成されており、この絶縁膜6上に複数の上凸層内レンズ8が形成されている。複数の上凸層内レンズ8の上には平坦化膜Hが形成され、この平坦化膜H上に複数のカラーフィルタ9が形成されている。トップマイクロレンズ13は、カラーフィルタ9上に形成されている。
トップマイクロレンズ13は、固体撮像素子100に含まれるレンズのうち、固体撮像素子100の最も光入射側(外側)に設けられたレンズである。トップマイクロレンズ13とその下方の上凸層内レンズ8が、これらの下方にあるPD2に入射光を集光する集光レンズを構成している。
このように、固体撮像素子100に含まれる各画素部は、集光レンズとこの集光レンズによって集光された光を受光するPD2とを少なくとも含む構成である。
固体撮像素子100に含まれる集光レンズにより入射光の光束が最も細く収斂される位置(以下、集光レンズの最細収斂位置という)は、PD2の表面(半導体基板1の表面)付近ではなく、半導体基板1よりも上側になるように集光レンズの曲率等が決められている。
図2,3の例では、上凸層内レンズ8と半導体基板1との間の絶縁膜6内の遮光膜5よりも光入射側の位置に、集光レンズの最細収斂位置(図中の点線矢印が交わっている位置)がある。
近年の固体撮像素子の微細化により、集光レンズの最細収斂位置が半導体基板内にあると、遮光膜5によって入射光がケラレてしまい、十分な感度を得ることができない。そこで、固体撮像素子100では、半導体基板よりも上側に最細収斂位置を設けることで、入射光のケラレを減らして、十分な感度を得られるようにしている。
図2に示すように、瞳分割用画素部11のPD2と上凸層内レンズ8との間には、当該PD2の受光面の一部を遮光する遮光部7aが形成されている。
遮光部7aは、集光レンズの最細収斂位置近傍に設けられており、平面視においてPD2の受光面の例えば右側1/3を遮光するように配置されている。このため、瞳分割用画素部11のPD2の受光面のうち、遮光部7aによって遮光されていない部分が、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口となる。
図3に示すように、瞳分割用画素部12のPD2と上凸層内レンズ8との間には、当該PD2の受光面の一部を遮光する遮光部7bが形成されている。
遮光部7bは、集光レンズの最細収斂位置近傍に設けられており、平面視においてPD2の受光面の例えば左側1/3を遮光するように配置されている。このため、瞳分割用画素部12のPD2の受光面のうち、遮光部7bによって遮光されていない部分が、瞳分割用画素部12のPD2の光学開口となる。
遮光部7a,7bは、2つの瞳分割用画素部11,12の各々に含まれるPD2の光学開口の中心が、瞳分割用画素部11,12の各々の集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられている。この結果、瞳分割用画素部11のPD2と、瞳分割用画素部12のPD2とにより、水平方向に瞳分割を行うことができ、水平方向における位相差情報の取得が可能となる。
以下では、遮光部7a,7bを集光レンズの最細収斂位置近傍に設けることの技術的意義について説明する。
図4は、図2に示す断面図において、遮光部7aを瞳分割用画素部11のPD2の直上(絶縁膜3の上)に設けた場合を示す図である。
図4に示すように遮光部7aを設けると、瞳分割用画素部11のPD2に入射する光のうち、入射角が0°の光(瞳分割用画素部11の集光レンズの光軸に対して平行に入射してくる光)は、その半分が遮光部7aによって遮られるため、入射角0°の光の感度が半分になる。
瞳分割用画素部11のPD2と瞳分割用画素部12のPD2のいずれにおいても、感度向上のために、入射角0°の光はできるだけ多く受光できることが好ましい。
そこで、図5に示すように、瞳分割用画素部11のPD2の直上に設けた遮光部7aの長さを短くして、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口を右側に広げ、瞳分割用画素部11のPD2の感度を向上させる方法が考えられる。
しかし、図5に示す構成では、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口と、瞳分割用画素部12のPD2の光学開口とが互いに近づくことになるため、図4に示した構成よりも瞳分割性能が低下する。
このように、瞳分割用画素部11のPD2の直上に遮光部7aを設ける構成では、高感度と高い瞳分割性能とを両立させることができない。
図5に示した構成において、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口はそのままに、遮光部7bを集光レンズの最細収斂位置近傍に設けた構成が図2に示す構成である。
図2に示す構成によれば、集光レンズの最細収斂位置近傍では光束がPD2の表面近傍よりも細くなっているため、その分、入射角0°の光の遮光される量は減少する。この結果、瞳分割性能を図5に示した構成と同じにしながら、瞳分割用画素部11のPD2の感度を向上させることができる。
また、図2に示す構成によれば、遮光部7aを水平方向左側まで多少伸ばしても、ある程度の伸ばし量までは、図5に示した感度よりも高い感度を得ることができる。したがって、図2に示す構成によれば、高い感度と高い瞳分割性能とを両立させることができる。
また、図2に示す構成によれば、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口と瞳分割用画素部12のPD2の光学開口とを制限するための遮光部7a,7bが電荷転送電極4よりも上に形成されているため、遮光膜5に形成するPD2上の開口は全ての画素で同一形状で形成することができ、プロセスマージンの悪化を抑えることができる。
また、遮光部7a,7bの位置を容易に変更することができるため、シェーディング対策も容易となる。なお、集光レンズの最細収斂位置近傍は、理想的には集光レンズの最細収斂位置そのものであるが、瞳分割用画素部11,12の感度と瞳分割性能のバランスを考えて感度と瞳分割性能が著しく低下しないような位置であれば、集光レンズの最細収斂位置から多少ずれた位置であってもよい。
図6〜8は、図2に示す瞳分割用画素部10に対する波動光学シミュレーションの結果を示す図である。
図6は、トップマイクロレンズ13に入射角0°の光を入射したときの結果を示す。図7は、トップマイクロレンズ13に入射角5°の光(斜め右上から入射する光)を入射したときの結果を示す。図8は、トップマイクロレンズ13に入射角10°の光(斜め右上から入射する光)を入射したときの結果を示す。図6〜8において、図2に示した構成要素と同じものには同一符号を付してある。
図6〜8に示すように、入射角が大きくなると、光束の中心は集光レンズの光軸から左側にずれていく。
例えば、図3に示した瞳分割用画素部12においては、瞳分割性能を考えると、右斜め上から入射してくる光(入射角が5°又は入射角が10°)をできるだけ遮光することが好ましい。
したがって、図7,8に示す結果から、入射角が5°又は入射角が10°の光に対する集光レンズの最細収斂位置に遮光部7a,7bを設けることで、瞳分割性能を最も高くできることが分かる。
また、図6〜8では、矢印に示した範囲で、集光レンズにより光束が最も細く収斂されており、この矢印で示す範囲が、入射角が大きくなるにしたがって光入射側に移動していくことが分かる。
つまり、入射角が5°又は入射角が10°の光に対する集光レンズの最細収斂位置は電荷転送電極4よりも高い位置に存在することになるため、入射角が5°又は入射角が10°の光に対する集光レンズの最細収斂位置に遮光部7a,7bを設けることは、上述したプロセスマージンの悪化を抑えるという観点からも好ましい。
以上の説明では、固体撮像素子100がCCD型となっているが、固体撮像素子100はMOS型であってもよい。
図9は、図1に示した固体撮像素子100がMOS型である場合のA−A線断面模式図である。図9において、図2と同じ構成には同一符号を付してある。
図9に示す固体撮像素子100は、絶縁膜3と上凸層内レンズ8との間の層を、メタル配線21,22,23を含む配線層24に変更した点を除いては、図3に示した構成と同じである。
配線層24は、半導体基板1に形成された、PD2の蓄積電荷に応じた信号を読み出すMOS回路(不図示)の駆動配線及び出力信号線等を含むものであり、図9の例では、メタル配線21とメタル配線22とメタル配線23の3層の配線を含む。
図9に示す固体撮像素子100は、集光レンズの最細収斂位置が配線層24の略中間の深さに設けられている。
メタル配線21〜23は、通常画素部10のPD2の上方では、このPD2を避けるように配置されている。一方、瞳分割用画素部11のPD2上方では、第二層目のメタル配線22が左側に向かってPD2上方まで張り出しており、このメタル配線22の張り出し部によって、瞳分割用画素部11のPD2の受光面の一部が遮光されている。
この張り出し部が、図2に示した遮光部7aと同様の機能を果たし、この張り出し部によって、瞳分割用画素部11のPD2の光学開口の中心が、瞳分割用画素部11の集光レンズの中心よりも水平方向左側にずれた構成となっている。
また、図示していないが、瞳分割用画素部12のPD2上方では、第二層目のメタル配線22が右側に向かってPD2上方にまで張り出しており、このメタル配線22の張り出し部によって、瞳分割用画素部12のPD2の光学開口の中心が、瞳分割用画素部12の集光レンズの中心よりも水平方向右側にずれた構成となっている。
このように、固体撮像素子100がMOS型である場合には、PD2から上凸層内レンズ8までの高さがCCD型に比べて高くなる。
このため、集光レンズの最細収斂位置を配線層24の内部(好ましくは略中間)に設けることで、入射光のケラレ等を低減して感度低下を防ぎ、その上で、集光レンズの最細収斂位置に、遮光部7a、7bと同じ機能を持つメタル配線22の張り出し部を設けることで、高い感度と高い瞳分割性能の両立を図ることができる。また、このメタル配線22の張り出し部の形成は、マスクの形状を変更するだけで対応することができるため、製造コストの増大を防ぐことができる。
図10は、図2に示した断面構成の変形例を示す図である。
図10に示した固体撮像素子100は、図2に示した構成における全ての画素部のPD2の上方に、集光レンズで集光された光を当該PD2に導く導波路を設け、瞳分割用画素部11の導波路の入り口近傍に遮光部33を設けた構成である。
遮光部33は、図2に示した構成における遮光部7aと同じ機能を有し、瞳分割用画素部11のPD2の受光面の一部を遮光して、瞳分割用画素部11の光学開口の中心を、瞳分割用画素部11の集光レンズの中心に対して左側に偏心させている。
図10に示すように、導波路は、絶縁層6と光学機能層31とを含んで構成される。光学機能層31は、集光レンズで集光された光を、絶縁層6との界面で全反射させることができる材料で構成されていればよく、絶縁層6よりも低屈折率の絶縁材料、又は、金属材料等で構成されている。
光学機能層31は、電荷転送電極4を覆う遮光膜5の周囲に形成されており、各PD2の上方には開口が形成されている。平面視において、この光学機能層31の開口から見えるPD2の領域が、PD2の受光面となる。
図11〜図13は、図10に示した通常画素部10に対する波動光学シミュレーションの結果を示す図である。図11は、トップマイクロレンズ13に入射角0°の光を入射したときの結果を示す。図12は、トップマイクロレンズ13に入射角5°の光(斜め右上から入射する光)を入射したときの結果を示す。図13は、トップマイクロレンズ13に入射角10°の光(斜め右上から入射する光)を入射したときの結果を示す。
図11〜図13に示すように、導波路を持つ固体撮像素子100の通常画素部10では、どの入射角の光であっても、PD2の受光面上ではほぼ同じ領域に光が入射する。
このため、従来のように、PD2の直上(絶縁膜3上)に遮光部を設けてPD2の光学開口を偏心させても、満足な瞳分割性能を得ることはできない。
図12,13に示すように、入射角5°と入射角10°の光は、導波路に侵入してからは、マイクロレンズ13に対して入射した方向とは逆方向に曲がってPD2の受光面まで到達する。
この結果から、導波路を持つ瞳分割用画素部11,12においては、図10に示すように、導波路の入り口近傍において遮光部33を設けることで、瞳分割性能を満足したものにすることができる。
また、遮光部33を設ける位置は、感度を向上させる観点から、導波路外において入射光が最も細く収斂される位置(集光レンズによって入射光が最も細く収斂される位置)近傍にすることが好ましい。
ただし、集光レンズによって入射光が最も細く収斂される位置が、導波路の入り口から上側に大きく離れた位置にあると、導波路に入射しない光が出てくる可能性もある。
このため、図10に示した構成においては、集光レンズによって入射光が最も細く収斂される位置を、導波路の入り口近傍か又は導波路の内部に設ける必要がある。
したがって、図10に示した構成においては、導波路の入り口近傍(入り口又は入り口よりも僅かに上)が、集光レンズによって入射光が最も細く収斂される位置になる。つまり、図10に示すように、導波路の入り口近傍に遮光部33を設けることで、高い感度と高い瞳分割性能を両立させることができる。
なお、瞳分割用画素部12の構成は、図10に示した瞳分割用画素部11を左右反転させたものであるため、ここでは説明を省略する。
図14は、図9に示した断面構成の変形例を示す図である。
図14に示した固体撮像素子100は、図9に示した構成における各PD2の上方に、集光レンズで集光された光をPD2に導く導波路を設け、瞳分割用画素部11の導波路の入り口近傍に遮光部43を設けた構成である。
図14に示すように、導波路は、絶縁層44と光学機能層41とを含んで構成される。
光学機能層41は、集光レンズで集光された光を、絶縁層44との界面で全反射させることができる材料で構成されていればよく、絶縁層44よりも低屈折率の絶縁材料、又は、金属材料等で構成されている。
光学機能層41が金属材料で構成された層である場合は、光学機能層41と配線21〜23との間には別の絶縁層が形成される。
光学機能層41は、配線21,22,23を覆って形成され、PD2上方には開口が形成されている。
遮光部43は、図2に示した構成における遮光部7aと同じ機能を有し、瞳分割用画素部11のPD2の受光面(光学機能層41の開口から見えるPD2の領域)の一部を遮光して、瞳分割用画素部11の光学開口の中心を、瞳分割用画素部11の集光レンズの中心に対して左側に偏心させている。
図14に示した固体撮像素子100においても、図10に示した固体撮像素子100と同様に、集光レンズによって入射光が最も細く収斂される位置が導波路の入り口近傍にある。
このため、導波路の入り口近傍に遮光部43を設けることで、導波路を持つMOS型の固体撮像素子であっても、高い感度と高い瞳分割性能の両立を図ることができる。
なお、瞳分割用画素部12の構成は、図14に示した瞳分割用画素部11を左右反転させたものであるため、ここでは説明を省略する。
以上説明してきた、図2、図3、図9、図10、及び図14に示した構成において、集光レンズは、少なくともトップマイクロレンズを含んでいればよく、上凸層内レンズは省略してもよい。
ここまでは、固体撮像素子100が、半導体基板の表面(光入射側の面)に入射してPD2で発生し蓄積された電荷に応じた信号を、当該半導体基板の表面側に形成されたCCD型又はMOS型の読み出し回路で読み出す、表面照射型であることを前提として説明してきた。しかし、固体撮像素子100は、表面照射型に限らず、裏面照射型や積層型であってもよい。
以下では、固体撮像素子100が裏面照射型である場合の構成例と積層型である場合の構成例について説明する。
なお、裏面照射型とは、半導体基板の一方の面側から入射した光を当該半導体基板内のフォトダイオードで受光し、このフォトダイオードで発生し蓄積された電荷に応じた信号を、当該半導体基板の他方の面に形成された読み出し回路で読み出す構成のものを言う。
また、積層型とは、半導体基板上方に積層された光電変換素子(一対の電極とこれらの間に設けられる光電変換層を含む構成)で発生した電荷に応じた信号を、当該半導体基板に形成された読み出し回路にて読み出す構成のものを言う。
図15は、図1に示す固体撮像素子100が裏面照射型である場合のA−A線断面模式図である。
図15に示すように、各画素部において、半導体基板内には光電変換素子としてのフォトダイオード(PD)51が形成され、各PD51上には絶縁層53を介してカラーフィルタ54及びトップマイクロレンズ55がこの順に積層されている。
半導体基板の光入射側とは反対側の面には、図示しないCCD型又はMOS型の読み出し回路が形成され、PD51で発生し蓄積された電荷に応じた信号が、この読み出し回路によって読み出される。
トップマイクロレンズ55は、固体撮像素子100の最も外側に設けられるレンズであり、その下方のPD51に光を集光する機能を持つ。
トップマイクロレンズ55によって入射光が最も細く収斂される位置は、PD51とカラーフィルタ54との間にある。
瞳分割用画素部11のPD51の上方におけるトップマイクロレンズ55によって入射光が最も細く収斂される位置には、瞳分割用画素部11のPD51の受光面の一部を遮光する遮光部52が形成されている。
この遮光部52により、瞳分割用画素部11のPD51の光学開口の中心が、瞳分割用画素部11のトップマイクロレンズ55の中心に対して左側に偏心した構成になっている。
なお、瞳分割用画素部12の構成は、図15に示した瞳分割用画素部11を左右反転させたものであるため、ここでは説明を省略する。
このように、裏面照射型であっても、集光レンズとしてのトップマイクロレンズ55によって入射光が最も細く収斂される位置をPD51よりも光入射側に設け、かつ、この位置に瞳分割用画素部11の光学開口を決めるための遮光部52を設けることで、高い感度と高い瞳分割性能とを両立させた固体撮像素子を実現することができる。
なお、裏面照射型の場合は、トップマイクロレンズ55の曲率を調整することで、入射光が最も細く収斂される位置を調整することができる。しかし、トップマイクロレンズ55の曲率の調整だけでは、入射光が最も細く収斂される位置の調整が難しい場合もある。
このような場合には、トップマイクロレンズ55と絶縁層53との間(例えば、カラーフィルタ54と絶縁層53の間)に、トップマイクロレンズ55とPD51との間の高さを調整するための高さ調整層を設けることが好ましい。
高さ調整層は、屈折率が低い材料で構成すると、エアリーディスクが広がってしまい、クロストークに弱くなる。このため、高さ調整層は、屈折率の高い材料(例えば、窒化珪素等)で構成することが好ましい。
図16は、図1に示す固体撮像素子100が積層型である場合のA−A線断面模式図である。
図16に示すように、半導体基板61上方には、絶縁膜63を介して光電変換層66が積層されている。光電変換層66は、全ての画素部で共通の一枚構成となっている。
光電変換層66の下には、画素部毎に分割された画素電極65が形成され、各画素電極65下方の半導体基板61には画素部毎に読み出し回路62が形成され、画素電極65とこれに対応する読み出し回路62とが導電性プラグ64によって電気的に接続されている。
光電変換層66の上には、全ての画素部で共通の対向電極67が形成されている。画素電極65と、この上方の対向電極67と、画素電極65と対向電極67の間に設けられた光電変換層66とにより、光電変換素子が構成されている。
なお、この光電変換素子は、光電変換層66と画素電極65及び対向電極67の少なくとも一方との間に、電荷ブロッキング層等の他の機能層が設けられた構成であってもよい。
対向電極67の上には絶縁層69を介して、画素部毎にカラーフィルタ70及びトップマイクロレンズ71がこの順に積層されている。
トップマイクロレン71によって入射光が最も細く収斂される位置は、このトップマイクロレンズ71に対応する光電変換素子よりも光入射側にある。
瞳分割用画素部11の光電変換素子上方には、瞳分割用画素部11のトップマイクロレン71によって入射光が最も細く収斂される位置に遮光部68が設けられている。
遮光部68は、瞳分割用画素部11の光電変換素子の受光面(平面視において画素電極65と重なる領域)の一部を遮光するものであり、この遮光部68により、瞳分割用画素部11の光電変換素子の光学開口の中心が、瞳分割用画素部11のトップマイクロレンズ71の中心に対して水平方向左側に偏心した構成になっている。
なお、瞳分割用画素部12の構成は、図16に示した瞳分割用画素部11を左右反転させたものであるため、ここでは説明を省略する。
このように、積層型であっても、集光レンズとしてのトップマイクロレンズ71によって入射光が最も細く収斂される位置を光電変換素子よりも光入射側に設け、かつ、この位置に瞳分割用画素部11の光学開口を決めるための遮光部68を設けることで、感度と瞳分割性能とを両立させた固体撮像素子を実現することができる。
なお、積層型の場合は、トップマイクロレンズ71の曲率を調整することで、入射光が最も細く収斂される位置を調整することができる。しかし、トップマイクロレンズ71の曲率の調整だけでは、入射光が最も細く収斂される位置の調整が難しい場合もある。
このような場合には、トップマイクロレンズ71と絶縁層69との間(例えば、カラーフィルタ70と絶縁層69の間)に、トップマイクロレンズ71と光電変換素子との間の高さを調整するための高さ調整層を設けることが好ましい。
高さ調整層は、屈折率が低い材料で構成すると、エアリーディスクが広がってしまい、クロストークに弱くなる。このため、高さ調整層は、屈折率の高い材料(例えば、窒化珪素等)で構成することが好ましい。
本明細書には、次の事項が開示されている。
開示された固体撮像素子は、瞳分割用画素部のペアを含む固体撮像素子であって、前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部は、それぞれ、光電変換素子と、前記光電変換素子上方に設けられ前記光電変換素子に光を集光する集光レンズとを含み、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置近傍に設けられ、前記瞳分割用画素部の前記光電変換素子の受光面の一部を遮光する遮光部を備え、前記遮光部は、前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部の各々に含まれる前記光電変換素子の光学開口の中心が、当該各々の瞳分割用画素部に含まれる前記集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられているものである。
開示された固体撮像素子は、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記光電変換素子よりも光入射側にあるものである。
開示された固体撮像素子は、MOS型かつ表面照射型であり、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記集光レンズと前記半導体基板との間にある配線層内にあるものである。
開示された固体撮像素子は、前記遮光部は、前記配線層に含まれる配線の一部で形成されているものである。
開示された固体撮像素子は、CCD型かつ表面照射型であり、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送するための電荷転送電極よりも上に形成されているものである。
開示された固体撮像素子は、表面照射型であり、前記集光レンズと前記光電変換素子との間に設けられ、前記集光レンズで集光された光を前記光電変換素子に導く導波路を備え、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記導波路の入り口近傍にあるものである。
開示された固体撮像素子は、前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記集光レンズに入射する光の入射角が5°又は10°のときのものであるものを含む。
開示された固体撮像素子は、前記集光レンズは、最も光入射側に設けられるトップマイクロレンズと、前記トップマイクロレンズと前記光電変換素子との間に設けられる層内レンズとを含むものである。
開示された固体撮像素子は、裏面照射型であるものである。
開示された固体撮像素子は、前記光電変換素子が内部に形成される半導体基板と前記集光レンズとの間に、当該間の高さを調整する調整層を備えるものである。
開示された固体撮像素子は、前記光電変換素子は、半導体基板上方に形成された一対の電極及び当該一対の電極の間に設けられる光電変換層を含むものである。
開示された固体撮像素子は、前記集光レンズと前記光電変換素子との間に、当該間の高さを調整する調整層を備えるものである。
開示された撮像装置は、前記固体撮像素子を備えるものである。
100 固体撮像素子
2 PD
7a,7b 遮光部
8 上凸層内レンズ
10 通常画素部
11,12 瞳分割用画素部
13 トップマイクロレンズ
2 PD
7a,7b 遮光部
8 上凸層内レンズ
10 通常画素部
11,12 瞳分割用画素部
13 トップマイクロレンズ
Claims (13)
- 瞳分割用画素部のペアを含む固体撮像素子であって、
前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部は、それぞれ、光電変換素子と、前記光電変換素子上方に設けられ前記光電変換素子に光を集光する集光レンズとを含み、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置近傍に設けられ、前記瞳分割用画素部の前記光電変換素子の受光面の一部を遮光する遮光部を備え、
前記遮光部は、前記ペアを構成する2つの前記瞳分割用画素部の各々に含まれる前記光電変換素子の光学開口の中心が、当該各々の瞳分割用画素部に含まれる前記集光レンズの中心に対し互いに逆方向に偏心するように設けられている固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記光電変換素子よりも光入射側にある固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
MOS型かつ表面照射型であり、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記集光レンズと前記半導体基板との間にある配線層内にある固体撮像素子。 - 請求項3記載の固体撮像素子であって、
前記遮光部は、前記配線層に含まれる配線の一部で形成されている固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
CCD型かつ表面照射型であり、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送するための電荷転送電極よりも上に形成されている固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
表面照射型であり、
前記集光レンズと前記光電変換素子との間に設けられ、前記集光レンズで集光された光を前記光電変換素子に導く導波路を備え、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記導波路の入り口近傍にある固体撮像素子。 - 請求項3〜6のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記集光レンズにより光束が最も細く収斂される位置は、前記集光レンズに入射する光の入射角が5°又は10°のときのものである固体撮像素子。 - 請求項3〜7のいずれか1項記載の固体撮像素子であって、
前記集光レンズは、最も光入射側に設けられるトップマイクロレンズと、前記トップマイクロレンズと前記光電変換素子との間に設けられる層内レンズとを含む固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
裏面照射型である固体撮像素子。 - 請求項9記載の固体撮像素子であって、
前記光電変換素子が内部に形成される半導体基板と前記集光レンズとの間に、当該間の高さを調整する調整層を備える固体撮像素子。 - 請求項2記載の固体撮像素子であって、
前記光電変換素子は、半導体基板上方に形成された一対の電極及び当該一対の電極の間に設けられる光電変換層を含む固体撮像素子。 - 請求項11記載の固体撮像素子であって、
前記集光レンズと前記光電変換素子との間に、当該間の高さを調整する調整層を備える固体撮像素子。 - 請求項1〜10のいずれか1項記載の固体撮像素子を備える撮像装置。
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