JP2014022075A - Power supply device, mass spectroscope, and power supply control method - Google Patents

Power supply device, mass spectroscope, and power supply control method Download PDF

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涼 門井
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昭夫 山本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a power supply device that can output a DC high voltage of both positive and negative polarities, and that is suitable for downsizing.SOLUTION: A power supply device that can output a voltage of both positive and negative polarities, comprises: a transformer 5 whose secondary side coil is connected to an output terminal 6; a switching FET 1 switching a conduction state between one terminal of a primary coil of the transformer 5 and a system ground; a resonance capacitor 2 connected in parallel with the switching FET 1; a switching FET 3 switching a conduction state between the another terminal of the primary coil of the transformer 5 and the system ground; a resonance capacitor 4 connected in parallel with the switching FET 3; a switch 8 switching a conduction state between the one terminal of the primary coil and a control voltage source 7; and a switch 9 switching a conduction state between the another terminal and the control voltage source 7.

Description

本発明は、電源装置、質量分析装置及び電源制御方法に関し、特に、正負の電力を出力可能な構成に関する。   The present invention relates to a power supply device, a mass spectrometer, and a power supply control method, and more particularly to a configuration capable of outputting positive and negative power.

従来より、同一の出力端子から正極、負極の高電圧を切り替えて出力可能な電源装置が提案されている。このような電源装置においては、発振回路で1次側電圧を発生させ、トランスにより昇圧して2次側に接続した整流回路により高電圧を得る。このような電源装置は、例えば分析対象である試料中の分子をイオン化し、電場、磁場を利用して質量分離して分離されたイオンを検出器で検出する質量分析装置の電源として用いられる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a power supply device that can output by switching a positive voltage and a negative voltage from the same output terminal has been proposed. In such a power supply device, a primary side voltage is generated by an oscillation circuit, and a high voltage is obtained by a rectifier circuit boosted by a transformer and connected to the secondary side. Such a power supply device is used as a power source for a mass spectrometer that ionizes molecules in a sample to be analyzed, and performs mass separation using an electric field and a magnetic field to detect separated ions with a detector.

試料中の分子をイオン化する方法として、大気圧誘電体バリア放電方式が知られている。このバリア放電は、試料を導入した放電部にパルス状あるいは正弦波状の高電圧を印加して放電電流を流し、試料中の分子をイオン化するものである。   As a method for ionizing molecules in a sample, an atmospheric pressure dielectric barrier discharge method is known. In this barrier discharge, a pulsed or sinusoidal high voltage is applied to a discharge part into which a sample is introduced to flow a discharge current, and molecules in the sample are ionized.

このような質量分析装置に用いられる高圧電源の回路構成として、フォワード型ハーフブリッジ方式パルス電源およびプッシュプル方式パルス電源が知られている(例えば、特許文献1参照)。この方式は、1次側入力部に2つのコイルを設け、その接続点から電源を供給し、いずれかのコイルに流す電流をスイッチングパルスで切り替え、2次側チョークコイルに貯めたエネルギーを負荷側に供給する方式である。   As a circuit configuration of a high-voltage power supply used in such a mass spectrometer, a forward-type half-bridge pulse power supply and a push-pull pulse power supply are known (see, for example, Patent Document 1). In this method, two coils are provided in the primary side input section, power is supplied from the connection point, the current flowing through one of the coils is switched with a switching pulse, and the energy stored in the secondary side choke coil is loaded on the load side. It is a method to supply to.

特開2006−519652号公報JP 2006-519652 A

フォワード型パルス電源は、電流方向を切り替えるため1次側に2つのコイルが必要であり、回路が大型なものとなってしまう。装置の小型化のためには、コイルを1つだけとする構成が望まれる。また、分析する試料中に含まれる物質の成分により、イオン化に最適な高圧電源波形、例えば正負の極性が異なってくるため、物質に応じた最適波形を出力できる電源構成であることが望ましい。尚、このような課題は、質量分析装置に適用される電源装置に限らず、正負の極性を出力可能な電源装置全般において課題となり得る。   The forward-type pulse power source requires two coils on the primary side in order to switch the current direction, resulting in a large circuit. In order to reduce the size of the apparatus, a configuration with only one coil is desired. In addition, since a high-voltage power supply waveform that is optimal for ionization, for example, positive and negative polarities, differs depending on the component of the substance contained in the sample to be analyzed, a power supply configuration that can output an optimal waveform corresponding to the substance is desirable. Such a problem is not limited to a power supply device applied to a mass spectrometer, but can be a problem in general power supply devices that can output positive and negative polarities.

そこで、本発明では、正負両極の直流高電圧を出力可能であって小型化に適した電源装置を得ることを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to obtain a power supply device that can output a positive and negative DC high voltage and is suitable for miniaturization.

上記課題を解決するため、本発明の一態様は、正負両極の電圧を出力可能な電源装置であって、2次側コイルが出力端子6に接続されたトランス5と、トランス5の1次側コイルの一方の端子とシステムグランドとの導通状態を切り替えるスイッチングFET1と、スイッチングFET1と並列に接続された共振用コンデンサ2と、トランス5の1次側コイルのもう一方の端子とシステムグランドとの導通状態を切り替えるスイッチングFET3と、スイッチングFET3と並列に接続された共振用コンデンサ4と、1次側コイルの一方の端子と制御電圧源7との導通状態を切り替えるスイッチ8と、他方の端子と制御電圧源7との導通状態を切り替えるスイッチ9とを含むことを特徴とする。   In order to solve the above problems, an aspect of the present invention is a power supply device capable of outputting positive and negative voltage, a transformer 5 having a secondary coil connected to the output terminal 6, and a primary side of the transformer 5 Switching FET 1 for switching the conduction state between one terminal of the coil and system ground, resonance capacitor 2 connected in parallel with switching FET 1, and conduction between the other terminal of the primary coil of transformer 5 and system ground A switching FET 3 for switching the state, a resonance capacitor 4 connected in parallel with the switching FET 3, a switch 8 for switching the conduction state between one terminal of the primary coil and the control voltage source 7, and the other terminal and the control voltage And a switch 9 for switching a conduction state with the source 7.

また、本発明の他の態様は、イオン化した試料を電圧をかけた減圧空間中で飛行させ、その飛行態様を検出することにより試料の質量分析を行う質量分析装置であって、上述した電源装置により減圧空間中に電圧をかけることを特徴とする。   According to another aspect of the present invention, there is provided a mass spectrometer for performing mass analysis of a sample by flying an ionized sample in a decompressed space to which a voltage is applied and detecting the flight mode, the power supply device described above To apply a voltage to the decompression space.

本発明によれば、正負両極の直流高電圧を出力可能であって小型化に適した電源装置を得ることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the direct-current high voltage of both positive and negative poles can be output, and the power supply device suitable for size reduction can be obtained.

本発明の実施の形態1に係る電源装置の回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of the power supply device which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る電源装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the power supply device which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る電源装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the power supply device which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る電源装置の回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of the power supply device which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る電源装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the power supply device which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る電源装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the power supply device which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る質量分析装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the mass spectrometer which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る質量分析装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the mass spectrometer which concerns on Embodiment 3 of this invention. フライバック方式の電源の回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of the power supply of a flyback system.

実施の形態1.
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る高電圧発生回路の構成を示す図である。図1に示すように、本実施形態に係る電源装置はフライバック方式の高電圧発生回路を基本としている。はじめに図9を用いてフライバック方式について説明する。図9は、フライバック方式の一般的な回路構成を示す図である。図9に示すように、フライバック方式の一般的な回路は、スイッチングFET(Field effect transistor)1、共振用コンデンサ2及びトランス5を含む。トランス5は1次側コイル及び2次側コイルより構成される。
Embodiment 1 FIG.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a high voltage generation circuit according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the power supply device according to this embodiment is based on a flyback type high voltage generation circuit. First, the flyback method will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram illustrating a general circuit configuration of the flyback method. As shown in FIG. 9, a typical flyback circuit includes a switching field effect transistor (FET) 1, a resonance capacitor 2, and a transformer 5. The transformer 5 includes a primary side coil and a secondary side coil.

フライバック方式は、このように構成部品が少ないことが一つの特徴である。次に図9に示す回路の動作について説明する。スイッチングFET1のゲートに入力されるスイッチングクロック信号がhighレベルのときはスイッチングFET1がONし、制御電圧源7からトランス5の1次側コイルを介して電流が流れ、1次側コイルにエネルギーが蓄積される。   One feature of the flyback method is that the number of components is small. Next, the operation of the circuit shown in FIG. 9 will be described. When the switching clock signal input to the gate of the switching FET 1 is at a high level, the switching FET 1 is turned on, current flows from the control voltage source 7 through the primary side coil of the transformer 5, and energy is accumulated in the primary side coil. Is done.

次にスイッチングFET1のゲートに入力されるスイッチングクロック信号がlowレベルに下がったときはFET1がOFFし、制御電圧源7からスイッチングFET1へ流れる電流はゼロとなり、トランス5の1次側コイルに蓄えられたエネルギーが共振用コンデンサ2に充電される。その結果、トランス5の1次側のA点電位が上昇する。その後、共振用コンデンサ2の電荷はトランス5の1次側コイルに流れ、A点電位が下降してゼロとなる。   Next, when the switching clock signal input to the gate of the switching FET 1 falls to a low level, the FET 1 is turned OFF, and the current flowing from the control voltage source 7 to the switching FET 1 becomes zero, and is stored in the primary side coil of the transformer 5. The energy is charged in the resonance capacitor 2. As a result, the point A potential on the primary side of the transformer 5 increases. Thereafter, the electric charge of the resonance capacitor 2 flows to the primary coil of the transformer 5, and the potential at the point A decreases to zero.

このように、スイッチングFET1のon/off制御によって上昇したA点電位によってトランス5の1次側コイルに電流が流れることにより、1次側コイルと2次側コイルの巻き数に応じた高圧出力が2次側に得られる。主要各部の電圧波形を図9に示す。図9に示すように、スイッチングFET1のゲートに入力される信号がhighレベルからlowレベルに切り換わる際に、A点電位の波形が高くなり、それに従って2次側電圧出力が得られる。図9に示す構成の回路では、スイッチングFET1のon/off制御によって、2次側にプラスの高電圧波形が得られる。   As described above, when a current flows through the primary side coil of the transformer 5 by the potential at the point A increased by the on / off control of the switching FET 1, a high voltage output corresponding to the number of turns of the primary side coil and the secondary side coil is obtained. Obtained on the secondary side. FIG. 9 shows voltage waveforms of main parts. As shown in FIG. 9, when the signal input to the gate of the switching FET 1 is switched from the high level to the low level, the waveform of the potential at the point A becomes high, and the secondary side voltage output is obtained accordingly. In the circuit having the configuration shown in FIG. 9, a positive high voltage waveform is obtained on the secondary side by the on / off control of the switching FET 1.

図1は、図9において説明したようなフライバック方式を最小した本実施形態に係る電源装置の回路構成を示す図である。図1に示すように、本実施形態に係る電源装置においては、トランス2の1次側コイルの一端側にスイッチングFET1を接続すると共に、他端側にスイッチングFET3が接続されている。即ち、スイッチングFET1が第1のスイッチング回路として用いられ、スイッチングFET3が第2のスイッチング回路として用いられる。   FIG. 1 is a diagram showing a circuit configuration of a power supply device according to this embodiment in which the flyback method as described in FIG. 9 is minimized. As shown in FIG. 1, in the power supply device according to the present embodiment, the switching FET 1 is connected to one end side of the primary coil of the transformer 2, and the switching FET 3 is connected to the other end side. That is, the switching FET 1 is used as the first switching circuit, and the switching FET 3 is used as the second switching circuit.

スイッチングFET3には、スイッチングFET1と同様に、共振用コンデンサ4が接続されている。即ち、共振用コンデンサ2が第1のコンデンサとして用いられ、共振用コンデンサ4が第2のコンデンサとして用いられる。更に、トランス2の1次側コイルの両端は、夫々スイッチ8、スイッチ9を介して制御電圧源7に接続されている。   Similar to the switching FET 1, a resonance capacitor 4 is connected to the switching FET 3. That is, the resonance capacitor 2 is used as the first capacitor, and the resonance capacitor 4 is used as the second capacitor. Further, both ends of the primary side coil of the transformer 2 are connected to the control voltage source 7 via the switch 8 and the switch 9, respectively.

スイッチ8、9は、夫々制御端子8a、9aを有し、制御端子8a、9aに入力される制御信号に基づいて制御電圧源7とトランス2の1次側コイルとの接続/切断状態を切り替える。即ち、スイッチ8が第1の電源供給切替部として用いられると共に、スイッチ9が第2の電源供給切替部として用いられる。制御端子8a、9aに入力される制御信号がhigh状態の場合、スイッチ8、9は、夫々制御電圧源7とトランス5の1次側コイルとを導通させ、制御信号がlow状態の場合、スイッチ8、9は、夫々制御電圧源7とトランス5の1次側コイルとを非導通状態とする。   The switches 8 and 9 have control terminals 8a and 9a, respectively, and switch the connection / disconnection state between the control voltage source 7 and the primary coil of the transformer 2 based on a control signal input to the control terminals 8a and 9a. . That is, the switch 8 is used as the first power supply switching unit, and the switch 9 is used as the second power supply switching unit. When the control signal input to the control terminals 8a and 9a is in the high state, the switches 8 and 9 respectively connect the control voltage source 7 and the primary coil of the transformer 5 and when the control signal is in the low state, the switch 8 and 9 turn off the control voltage source 7 and the primary coil of the transformer 5, respectively.

次に、図1に示す回路の動作について説明する。図2(a)は、2次側にプラスの高電圧波形を出力する場合の各部の信号状態を示すタイミングチャートである。図2(a)の場合、前提として、スイッチ8をon状態、スイッチ9をoff状態とし、トランス5の1次側コイルの両端のうち、スイッチングFET3と接続された側が制御電圧源7と接続された状態である。これにより、制御電圧源7の出力電圧は図1のB点に印加される。   Next, the operation of the circuit shown in FIG. 1 will be described. FIG. 2A is a timing chart showing signal states of respective parts when a positive high voltage waveform is output to the secondary side. In the case of FIG. 2A, as a premise, the switch 8 is turned on, the switch 9 is turned off, and the side connected to the switching FET 3 among both ends of the primary side coil of the transformer 5 is connected to the control voltage source 7. It is in the state. Thereby, the output voltage of the control voltage source 7 is applied to the point B in FIG.

この場合、図2(a)に示すように、スイッチングFET1のゲートにスイッチングクロック信号が入力されて、スイッチングFET1がスイッチング動作を行う。他方、スイッチングFET3のゲートには常時low信号が入力されており、スイッチングFET3は常にoff状態である。これにより、スイッチングFET1のゲートに入力される信号がhighレベルのときはスイッチングFET1がo
nし、制御電圧源7からB点を介してトランス5の1次側コイルに電流が流れ、1次側コイルにエネルギーが蓄積される。
In this case, as shown in FIG. 2A, a switching clock signal is input to the gate of the switching FET 1, and the switching FET 1 performs a switching operation. On the other hand, a low signal is always input to the gate of the switching FET 3, and the switching FET 3 is always in the off state. As a result, when the signal input to the gate of the switching FET 1 is high level, the switching FET 1
n, current flows from the control voltage source 7 to the primary side coil of the transformer 5 via the point B, and energy is accumulated in the primary side coil.

次にスイッチングFET1のゲートに入力される信号がlowレベルに下がったとき、スイッチングFET1がoffし、制御電圧源7からスイッチングFET1へ流れる電流はゼロとなる。その結果、トランス5の1次側コイルに蓄えられたエネルギーによって共振用コンデンサ2が充電され、図1中のA点電位が上昇する。その後、共振用コンデンサ2の電荷がトランス5の1次側コイルに流れることにより、A点電位が下降してゼロとなる。このように、スイッチングFET1のスイッチング動作によって上昇したA点電位によりトランス5の1次側コイルに電流が流れて、トランス5の2次側コイルに接続された出力端子6にプラスの高圧出力が得られる。   Next, when the signal input to the gate of the switching FET 1 falls to the low level, the switching FET 1 is turned off, and the current flowing from the control voltage source 7 to the switching FET 1 becomes zero. As a result, the resonance capacitor 2 is charged by the energy stored in the primary coil of the transformer 5, and the potential at point A in FIG. Thereafter, the electric charge of the resonance capacitor 2 flows through the primary side coil of the transformer 5, whereby the potential at the point A decreases and becomes zero. In this way, a current flows through the primary side coil of the transformer 5 due to the point A potential increased by the switching operation of the switching FET 1, and a positive high voltage output is obtained at the output terminal 6 connected to the secondary side coil of the transformer 5. It is done.

図2(b)は、2次側にマイナスの高電圧波形を出力する場合の各部の信号状態を示すタイミングチャートである。図2(b)の場合、前提として、スイッチ8をoff状態、スイッチ9をon状態とし、トランス5の1次側コイルの両端のうち、スイッチングFET1と接続された側が制御電圧源7と接続された状態である。これにより、制御電圧源7の出力電圧は図1のA点に印加される。   FIG. 2B is a timing chart showing signal states of respective parts when a negative high voltage waveform is output to the secondary side. In the case of FIG. 2B, as a premise, the switch 8 is turned off, the switch 9 is turned on, and the side connected to the switching FET 1 among both ends of the primary side coil of the transformer 5 is connected to the control voltage source 7. It is in the state. Thereby, the output voltage of the control voltage source 7 is applied to the point A in FIG.

この場合、図2(b)に示すように、スイッチングFET3のゲートにスイッチングクロック信号が入力されて、スイッチングFET3がスイッチング動作を行う。他方、スイッチングFET1のゲートには常時low信号が入力されており、スイッチングFET1は常にoff状態である。これにより、スイッチングFET3のゲートに入力される信号がhighレベルのときはスイッチングFET3がo
nし、制御電圧源7からA点を介してトランス5の1次側コイルに電流が流れ、1次側コイルにエネルギーが蓄積される。
In this case, as shown in FIG. 2B, a switching clock signal is input to the gate of the switching FET 3, and the switching FET 3 performs a switching operation. On the other hand, a low signal is always input to the gate of the switching FET 1, and the switching FET 1 is always in the off state. As a result, when the signal input to the gate of the switching FET 3 is at a high level, the switching FET 3
n, current flows from the control voltage source 7 to the primary side coil of the transformer 5 via the point A, and energy is accumulated in the primary side coil.

次にスイッチングFET3のゲートに入力される信号がlowレベルに下がったとき、スイッチングFET3がoffし、制御電圧源7からスイッチングFET3へ流れる電流はゼロとなる。その結果、トランス5の1次側コイルに蓄えられたエネルギーによって共振用コンデンサ4が充電され、図1中のB点電位が上昇する。その後、共振用コンデンサ4の電荷がトランス5の1次側コイルに流れることにより、B点電位が下降してゼロとなる。このように、スイッチングFET3のスイッチング動作によって上昇したB点電位によりトランス5の1次側コイルに電流が流れて、トランス5の2次側コイルに接続された出力端子6にマイナスの高圧出力が得られる。   Next, when the signal input to the gate of the switching FET 3 falls to the low level, the switching FET 3 is turned off, and the current flowing from the control voltage source 7 to the switching FET 3 becomes zero. As a result, the resonance capacitor 4 is charged by the energy stored in the primary coil of the transformer 5, and the potential at point B in FIG. 1 rises. Thereafter, the electric charge of the resonance capacitor 4 flows to the primary coil of the transformer 5, so that the potential at the point B decreases and becomes zero. In this way, a current flows through the primary side coil of the transformer 5 due to the B point potential raised by the switching operation of the switching FET 3, and a negative high voltage output is obtained at the output terminal 6 connected to the secondary side coil of the transformer 5. It is done.

このように、図1に示す回路においては、スイッチ9及びスイッチングFET3をoffすると共にスイッチ8をonし、スイッチングFET1にクロック入力することで、プラスの高電圧が得られる。一方、スイッチ8及びスイッチングFET1をoffすると共にスイッチ9をonし、スイッチングFET9にクロック入力することで、マイナスの高電圧が得られる。このため、プラスとマイナスの高電圧を容易に切替えることができる。尚、本実施形態においては、トランス5の1次側と2次側のコイルの巻き方向を反対にしているが、同じ方向としても良く、この場合はスイッチ9とスイッチングFET9をoffすると共に、スイッチ8をonし、スイッチングFET1にクロック入力することで、マイナスの高電圧が得られ、一方、スイッチ8とスイッチングFET1をoffすると共に、スイッチ9をonし、スイッチングFET9にクロック入力することで、プラスの高電圧が得られる。   As described above, in the circuit shown in FIG. 1, the switch 9 and the switching FET 3 are turned off, the switch 8 is turned on, and a clock is input to the switching FET 1 to obtain a positive high voltage. On the other hand, when the switch 8 and the switching FET 1 are turned off and the switch 9 is turned on and the clock is input to the switching FET 9, a negative high voltage is obtained. For this reason, it is possible to easily switch between positive and negative high voltages. In the present embodiment, the winding directions of the primary side and secondary side coils of the transformer 5 are opposite to each other. However, the same direction may be used. In this case, the switch 9 and the switching FET 9 are turned off, and the switch 8 is turned on and a clock is input to the switching FET 1 to obtain a negative high voltage. On the other hand, the switch 8 and the switching FET 1 are turned off, the switch 9 is turned on, and the clock is input to the switching FET 9. High voltage is obtained.

図3は、図1に示す回路においてプラス高圧出力とマイナス高圧出力を交互に出力する場合の信号状態を示すタイミングチャートである。図3におけるTの期間はスイッチ8をon、スイッチ9をoffする期間であり、Tの期間はスイッチ8をoff、スイッチ9をonする期間である。そして、Tの期間においては、スイッチングFET1のゲートにクロック信号を入力し、スイッチングFET9のゲートにlow信号を入力する。これにより、スイッチングFET1のゲート入力がhighからlowとなったタイミングで2次側電圧出力にプラスの高電圧が得られる。 FIG. 3 is a timing chart showing signal states when the plus high voltage output and the minus high voltage output are alternately output in the circuit shown in FIG. Period T 1 in FIG. 3 is a period of off on, the switch 9 to switch 8, the period of T 2 are a period for on off, a switch 9 switches 8. Then, in a period of T 1, inputs a clock signal to the gate of the switching FET1, inputs a low signal to the gate of the switching FET 9. Thereby, a positive high voltage is obtained at the secondary side voltage output at the timing when the gate input of the switching FET 1 changes from high to low.

他方、Tの期間においては、スイッチングFET9のゲートにクロックを入力し、スイッチングFET1の端子3にlow信号を入力する。これにより、スイッチングFET9のゲート入力がhighからlowとなったタイミングで2次側電圧出力にプラスの高電圧が得られる。このようにすることで、トランス5の1次側コイルに流れる電流方向が周期ごとに反対となり、期間Tの周期ではA点電位の上昇によりトランス5の2次側コイルに接続された出力端子6にはプラスの高電圧が出力されると共に、期間Tの周期ではB点電位の上昇によりトランス5の2次側コイルに接続された出力端子6にはマイナスの高電圧が出力され、結果的にプラス出力とマイナス出力が交互に出力される交流波形が得られる。 On the other hand, in the period T 2 , a clock is input to the gate of the switching FET 9 and a low signal is input to the terminal 3 of the switching FET 1. Thereby, a positive high voltage is obtained at the secondary side voltage output at the timing when the gate input of the switching FET 9 changes from high to low. By doing so, it is opposite in every cycle the current direction flowing through the primary side coil of the transformer 5, an output terminal connected to the secondary coil of the transformer 5 by an increase in the point A potential at a period of time T 1 6, a positive high voltage is output, and a negative high voltage is output to the output terminal 6 connected to the secondary coil of the transformer 5 due to an increase in the potential at the point B in the period T 2. As a result, an AC waveform in which a positive output and a negative output are alternately output is obtained.

以上説明したように、本実施形態においては、部品点数の少ないフライバック方式の電源を用い、トランス5の1次側コイルの両端に夫々フライバック方式の電源を接続するため、正負両極の直流高電圧を出力可能であって小型化に適した電源装置を得ることができる。   As described above, in the present embodiment, a flyback power source having a small number of parts is used, and a flyback power source is connected to both ends of the primary side coil of the transformer 5. A power supply device that can output voltage and is suitable for downsizing can be obtained.

実施の形態2.
本実施形態においては、実施の形態1におけるスイッチ8、9を具体化した例に付いて説明する。尚、実施の形態1と同一の符号を付す構成については、実施の形態1と同一または相当部を示すものとし、詳細な説明を省略する。
Embodiment 2. FIG.
In the present embodiment, a specific example of the switches 8 and 9 in the first embodiment will be described. In addition, about the structure which attaches | subjects the same code | symbol as Embodiment 1, it shall show the part which is the same as that of Embodiment 1, or an equivalent part, and abbreviate | omits detailed description.

図4は、実施の形態1におけるスイッチ8、9をFETを用いて実現する場合の構成を示す回路図である。図4に示すように、スイッチ8はゲート同士が互いに共通に接続されると共に、ソース同士が互いに共通に接続されたFET81、82によって構成され、共通に接続されたゲートが制御端子10として、夫々のドレインが入力、出力端子として用いられる。同様に、スイッチ9はゲート同士が互いに共通に接続されると共に、ソース同士が互いに共通に接続されたFET91、92によって構成され、共通に接続されたゲートが制御端子11として、夫々のドレインが入力、出力端子として用いられる。   FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration when the switches 8 and 9 in the first embodiment are realized using FETs. As shown in FIG. 4, the switch 8 includes FETs 81 and 82 in which gates are commonly connected to each other and sources are commonly connected to each other, and the commonly connected gates are respectively used as control terminals 10. Are used as input and output terminals. Similarly, the switch 9 is composed of FETs 91 and 92 whose gates are commonly connected to each other and whose sources are commonly connected to each other. The commonly connected gate is a control terminal 11 and each drain is input. Used as an output terminal.

上述したように、制御電圧源7とトランス5の1次側コイルの両端との間には、スイッチングFET1またはスイッチングFET3のスイッチング動作により、瞬間的なパルス電圧が印加される。このため、例えば単体のFETをスイッチとして用いると、ゲートに入力する制御信号によってFETをoff状態としている場合であっても、ソースまたはドレインに印加されるパルス電圧によってFETが予期しない動作をする可能性がある。これに対して、図4に示すように、ソースを共通に接続した2つのFETのドレインを入力及び出力端子として用いることにより、スイッチングFET1またはスイッチングFET3のスイッチング動作によってパルス電圧が印加されるのは一方のFETのドレインのみであり、一方のFETが予期せずon状態となったとしても、他方のFETはoff状態を維持するため、スイッチ8、9の予期しない動作を防ぎ、安定なスイッチ動作を実現することができる。   As described above, an instantaneous pulse voltage is applied between the control voltage source 7 and both ends of the primary side coil of the transformer 5 by the switching operation of the switching FET 1 or the switching FET 3. For this reason, for example, when a single FET is used as a switch, even if the FET is turned off by a control signal input to the gate, the FET can be operated unexpectedly by a pulse voltage applied to the source or drain. There is sex. On the other hand, as shown in FIG. 4, the pulse voltage is applied by the switching operation of the switching FET 1 or the switching FET 3 by using the drains of the two FETs having the sources connected in common as the input and output terminals. Only the drain of one FET, even if one FET unexpectedly turns on, the other FET maintains the off state, preventing unexpected operation of the switches 8 and 9 and stable switch operation Can be realized.

図5(a)、(b)は、夫々プラスの高電圧、マイナスの高電圧を出力する場合の各部の信号状態を示すタイミングチャートであり、実施の形態1における図2(a)、(b)に対応する。図5(a)、(b)においては、図2(a)、(b)において示されている信号に加えて、スイッチ8、9をon/off制御するための制御端子10、11に入力する信号が示されている。   FIGS. 5A and 5B are timing charts showing signal states of respective units when outputting a positive high voltage and a negative high voltage, respectively, and FIGS. 2A and 2B in the first embodiment. ). 5 (a) and 5 (b), in addition to the signals shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), inputs are made to control terminals 10 and 11 for on / off control of the switches 8 and 9. The signal to be shown is shown.

図5(a)に示すように、スイッチ8をonとし、スイッチ9をoffとする場合、端子10に印加する制御信号はhighレベルとし、端子11に印加する制御信号はlowレベルとする。一方、図5(b)に示すように、スイッチ8をoffとし、スイッチ9をonとする場合、端子10に印加する制御信号はlowレベルとし、端子11に印加する制御信号はhighレベルとする。このような制御信号を与えることで、実施の形態1において説明したような所望の動作をさせることが可能となる。   As shown in FIG. 5A, when the switch 8 is turned on and the switch 9 is turned off, the control signal applied to the terminal 10 is set to the high level, and the control signal applied to the terminal 11 is set to the low level. On the other hand, as shown in FIG. 5B, when the switch 8 is turned off and the switch 9 is turned on, the control signal applied to the terminal 10 is set to the low level, and the control signal applied to the terminal 11 is set to the high level. . By providing such a control signal, a desired operation as described in the first embodiment can be performed.

図6は、図4に示す回路においてプラス高圧出力とマイナス高圧出力を交互に出力する場合の信号状態を示すタイミングチャートであり、実施の形態1における図3に対応する。図6においては、図3において示されている信号に加えて、スイッチ8、9をon/off制御するための制御端子10、11に入力する信号が示されている。   FIG. 6 is a timing chart showing signal states when the plus high voltage output and the minus high voltage output are alternately output in the circuit shown in FIG. 4 and corresponds to FIG. 3 in the first embodiment. In FIG. 6, in addition to the signals shown in FIG. 3, signals input to the control terminals 10 and 11 for on / off control of the switches 8 and 9 are shown.

図6に示すように、Tの期間においては、FET81、82をonすると共にFET91、92をoffするため、制御端子10の制御信号にhigh信号を印加し、制御端子11の制御信号にlow信号を印加する。他方、Tの期間においては、FET81、82をoffしてFET91、92をonするため、制御端子10の制御信号にlow信号を印加すると共に制御端子11の制御信号にhigh信号を印加する。図6に示すような制御により、実施の形態1の図3において説明した動作と同様に、トランス5の2次側コイルに接続された出力端子6にはプラス出力とマイナス出力が交互に出力される交流波形が得られる。 As shown in FIG. 6, in a period T 1, to off the FET91,92 well as on the FET81,82, a high signal is applied to the control signal of the control terminal 10, low on the control signal of the control terminal 11 Apply a signal. On the other hand, in a period T 2, to apply a high signal to the control signal of the control terminal 11 together to on the FET91,92 and off the FET81,82, it applies a low signal to the control signal of the control terminal 10. By the control as shown in FIG. 6, the positive output and the negative output are alternately output to the output terminal 6 connected to the secondary side coil of the transformer 5 similarly to the operation described in FIG. 3 of the first embodiment. AC waveform can be obtained.

実施の形態3.
本実施形態においては、上述した電源装置100が用いられる質量分析装置について説明する。図7は、本実施形態に係る質量分析装置の構成を示すブロック図である。図7に示すように、電源装置100の出力端子6から出力される高電圧は、イオン化部101に供給され、バリア放電によって分析対象である試料中の分子がイオン化され、イオン101aとして減圧空間中を検出部102に導かれる。即ち、電源装置100によって減圧空間中に電圧が印加される。検出部102は、イオン化部101から導入されたイオン101aを検出し、検出結果102aを制御部103に入力する。
Embodiment 3 FIG.
In the present embodiment, a mass spectrometer using the power supply device 100 described above will be described. FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of the mass spectrometer according to the present embodiment. As shown in FIG. 7, the high voltage output from the output terminal 6 of the power supply apparatus 100 is supplied to the ionization unit 101, and molecules in the sample to be analyzed are ionized by barrier discharge, and ions 101a are formed in the decompressed space. Is guided to the detection unit 102. That is, a voltage is applied to the reduced pressure space by the power supply device 100. The detection unit 102 detects the ions 101 a introduced from the ionization unit 101 and inputs the detection results 102 a to the control unit 103.

また、制御部103は、図1において説明したスイッチングFET1、3のゲートに入力するスイッチングクロック信号や、図4において説明した制御端子10、11に入力する制御信号を出力する。制御部103は、検出部102から入力される検出結果102aに応じてこれらの信号を切り替え、印加部101に供給する電源の状態を切り替える。具体的にはプラスの高電圧の状態、マイナスの高電圧の状態、プラスの高電圧とマイナスの高電圧とが交互に切り換わる状態の3種類について、検出部102による検出結果102aによって切り替える。   Further, the control unit 103 outputs a switching clock signal input to the gates of the switching FETs 1 and 3 described in FIG. 1 and a control signal input to the control terminals 10 and 11 described in FIG. The control unit 103 switches these signals according to the detection result 102 a input from the detection unit 102, and switches the state of power supplied to the application unit 101. Specifically, three types of a positive high voltage state, a negative high voltage state, and a state in which the positive high voltage and the negative high voltage are alternately switched are switched according to the detection result 102a by the detection unit 102.

このように、本実施形態に係る制御部103は、分析する試料中に含まれる物質の成分に応じて、電源のパルス極性を切替えることで、効率の良いイオン化とイオン検出が可能である。また、本実施形態においては、図上述したフライバック型高圧電源を用いることで、装置の小型化が可能である。   As described above, the control unit 103 according to the present embodiment can perform efficient ionization and ion detection by switching the pulse polarity of the power source according to the component of the substance contained in the sample to be analyzed. Further, in the present embodiment, the apparatus can be miniaturized by using the flyback type high voltage power supply described above.

次に、図8を参照して、図7に示す質量分析装置の動作について説明する。図8に示すように、まず、制御部103は、実施の形態1の図2(a)において説明したプラス側パルスを発生させるための制御信号を出力し、電源装置100にプラス側パルスを発生させ(S801)、検出部102によるイオン検出を行う(S802)。その結果、検出部102から受信した検出結果102aによりイオンが検出できたら(S803/YES)、制御部103は、検出イオンの種類などを保存・表示して終了する(S804)。   Next, the operation of the mass spectrometer shown in FIG. 7 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8, first, control unit 103 outputs a control signal for generating a positive pulse described in FIG. 2A of the first embodiment, and generates a positive pulse to power supply device 100. (S801), and ion detection by the detection unit 102 is performed (S802). As a result, if ions can be detected from the detection result 102a received from the detection unit 102 (S803 / YES), the control unit 103 stores and displays the type of detection ions and the like and ends (S804).

イオンが検出できなかった場合(S803/NO)、制御部103は、実施の形態1の図2(b)において説明したマイナス側パルスを発生させるための制御信号を出力し、電源装置100にマイナス側パルスを発生させ(S805)、検出部102によるイオン検出を行う(S806)。その結果、検出部102から受信結果102aによりイオンが検出できたら(S807/YES)、制御部103は、検出イオンの種類などを保存・表示して終了する(S808)。   When ions cannot be detected (S803 / NO), the control unit 103 outputs a control signal for generating the minus side pulse described in FIG. A side pulse is generated (S805), and ion detection is performed by the detection unit 102 (S806). As a result, if ions can be detected from the detection unit 102 based on the reception result 102a (S807 / YES), the control unit 103 stores and displays the type of detected ions and the like and ends (S808).

イオンが検出できなかった場合(S807/NO)、制御部103は、実施の形態1の図3において説明したプラス側とマイナス側のパルスを交互に発生させるための制御信号を出力し、電源装置100にプラス側とマイナス側のパルスを交互に発生させ(S809)、検出部102によるイオン検出を行う(S810)。その結果、検出部102から受信結果102aによりイオンが検出できたら(S811/YES)、制御部103は、検出イオンの種類などを保存・表示して終了する(S812)。他方、イオンが検出できなかった場合には(S811/NO)、制御部103は、試料中に想定物質が存在しないことを表示して(S813)終了する。   When ions cannot be detected (S807 / NO), the control unit 103 outputs a control signal for alternately generating the positive side pulse and the negative side pulse described in FIG. The positive side pulse and the negative side pulse are alternately generated in 100 (S809), and ion detection is performed by the detection unit 102 (S810). As a result, if ions can be detected from the detection unit 102 based on the reception result 102a (S811 / YES), the control unit 103 stores and displays the type of detected ions and the like and ends (S812). On the other hand, if no ions can be detected (S811 / NO), the control unit 103 displays that the assumed substance is not present in the sample (S813) and ends.

このような制御により、検出対象のイオンに応じた電源制御により、イオンを好適に検出することが可能となる。尚、パルス発生の順番は図8で説明した順番に限るものではなく、どの極性のパルスから開始しても同様の効果が得られる。   By such control, it becomes possible to suitably detect ions by power control according to the ions to be detected. Note that the order of pulse generation is not limited to the order described with reference to FIG. 8, and the same effect can be obtained regardless of the polarity of the pulse.

1 スイッチングFET
2 共振用コンデンサ
3 スイッチングFET
4 共振用コンデンサ
5 トランス
6 出力端子
7 制御電圧源
8、9 スイッチ
10、11 制御端子
81、82、91、92 FET
101 電源装置
101 イオン化部
102 検出部
103 制御部
1 Switching FET
2 Resonant capacitor 3 Switching FET
4 Resonant capacitor 5 Transformer 6 Output terminal 7 Control voltage source 8, 9 Switch 10, 11 Control terminal 81, 82, 91, 92 FET
101 power supply device 101 ionization unit 102 detection unit 103 control unit

Claims (5)

正負両極の電圧を出力可能な電源装置であって、
2次側コイルが出力端子に接続されたトランスと、
前記トランスの1次側コイルの一方の端子である第1の端子とシステムグランドとの導通状態を制御信号に応じて切り替える第1のスイッチング回路と、
前記第1のスイッチング素子と並列に接続された第1のコンデンサと、
前記トランスの1次側コイルのもう一方の端子である第2の端子とシステムグランドとの導通状態を制御信号に応じて切り替える第2のスイッチング回路と、
前記第2のスイッチング素子と並列に接続された第2のコンデンサと、
前記第1の端子と制御電圧源との導通状態を制御信号に応じて切り替える第1の電源供給切替部と、
前記第2の端子と制御電圧源との導通状態を制御信号に応じて切り替える第2の電源供給切替部とを含み、
正極の電圧を出力する場合、前記第1の電源供給切替部が前記第1の端子と前記制御電圧源とを導通状態とする共に、前記第2の電源供給切替部が前記第2の端子と前記制御電圧源とを非導通状態とし、前記第2のスイッチング回路をスイッチング動作させて前記第2の端子とシステムグランドとの導通状態を所定間隔で切り換えることにより前記1次側コイルに電流を流し、
負極の電圧を出力する場合、前記第2の電源供給切替部が前記第2の端子と前記制御電圧源とを導通状態とする共に、前記第1の電源供給切替部が前記第1の端子と前記制御電圧源とを非導通状態とし、前記第1のスイッチング回路をスイッチング動作させて前記第1の端子とシステムグランドとの導通状態を所定間隔で切り換えることにより前記1次側コイルに電流を流すことを特徴とする電源装置。
A power supply device capable of outputting positive and negative voltage,
A transformer having a secondary coil connected to the output terminal;
A first switching circuit that switches a conduction state between the first terminal, which is one terminal of the primary coil of the transformer, and the system ground according to a control signal;
A first capacitor connected in parallel with the first switching element;
A second switching circuit that switches a conduction state between the second terminal, which is the other terminal of the primary coil of the transformer, and the system ground according to a control signal;
A second capacitor connected in parallel with the second switching element;
A first power supply switching unit that switches a conduction state between the first terminal and the control voltage source according to a control signal;
A second power supply switching unit that switches a conduction state between the second terminal and the control voltage source according to a control signal;
In the case of outputting a positive voltage, the first power supply switching unit makes the first terminal and the control voltage source conductive, and the second power supply switching unit is connected to the second terminal. The control voltage source is turned off, and the second switching circuit is switched to switch the conduction state between the second terminal and the system ground at a predetermined interval, thereby passing a current through the primary coil. ,
In the case of outputting a negative voltage, the second power supply switching unit makes the second terminal and the control voltage source conductive, and the first power supply switching unit is connected to the first terminal. The control voltage source is turned off, and the first switching circuit is switched to switch the conduction state between the first terminal and the system ground at a predetermined interval, thereby passing a current through the primary coil. A power supply device characterized by that.
前記第1の電源供給切替部及び前記第2の電源供給切替部は、夫々ソースが共通に接続された2つのFET素子を有し、一方のFET素子のドレインが前記制御電圧源側に接続され他方のFET素子のドレインが前記1次側コイル側に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電源装置。   The first power supply switching unit and the second power supply switching unit each have two FET elements whose sources are connected in common, and the drain of one FET element is connected to the control voltage source side. The power supply apparatus according to claim 1, wherein a drain of the other FET element is connected to the primary coil side. イオン化した試料を電圧をかけた減圧空間中で飛行させ、その飛行態様を検出することにより前記試料の質量分析を行う質量分析装置であって、
請求項1または2に記載の電源装置により前記減圧空間中に電圧をかけることを特徴とする質量分析装置。
A mass spectrometer that conducts mass analysis of the sample by flying an ionized sample in a decompressed space to which a voltage is applied and detecting the flight mode,
A mass spectrometer that applies a voltage to the decompressed space by the power supply device according to claim 1.
前記電源装置が前記正極の電圧及び負極の電圧を交互に出力することにより、前記資料の質量分析を行うことを特徴とする請求項3に記載の質量分析装置。   4. The mass spectrometer according to claim 3, wherein the power supply device performs mass analysis of the material by alternately outputting the positive electrode voltage and the negative electrode voltage. 5. 正負両極の電圧を出力可能な電源制御方法であって、
正極の電圧を出力する場合、
2次側コイルが出力端子に接続されたトランスの1次側コイルの一方の端子である第1の端子と制御電圧源とを導通状態とすると共に、前記1次側コイルのもう一方の端子である第2の端子と前記制御電圧源とを非導通状態とし、
前記第2の端子とシステムグランドとの導通状態を制御信号に応じて切り替えるスイッチング回路をスイッチング動作させて前記第2の端子とシステムグランドとの導通状態を所定間隔で切り換えることにより、前記スイッチング回路と並列に接続されたコンデンサから前記1次側コイルに電流を流し、
負極の電圧を出力する場合、
前記第2の端子と前記制御電圧源とを導通状態とする共に、前記第1の端子と前記制御電圧源とを非導通状態とし、
前記第1の端子とシステムグランドとの導通状態を制御信号に応じて切り替えるスイッチング回路をスイッチング動作させて前記第1の端子とシステムグランドとの導通状態を所定間隔で切り換えることにより、前記スイッチング回路と並列に接続されたコンデンサから前記1次側コイルに電流を流すことを特徴とする電源制御方法。
A power supply control method capable of outputting positive and negative voltage,
When outputting the positive voltage,
The first terminal, which is one terminal of the primary coil of the transformer whose secondary side coil is connected to the output terminal, and the control voltage source are brought into conduction, and the other terminal of the primary side coil A second terminal and the control voltage source are in a non-conductive state;
A switching circuit that switches a conduction state between the second terminal and the system ground according to a control signal to perform a switching operation to switch a conduction state between the second terminal and the system ground at a predetermined interval; A current is passed from the capacitor connected in parallel to the primary coil,
When outputting the negative voltage,
The second terminal and the control voltage source are in a conductive state, and the first terminal and the control voltage source are in a non-conductive state,
A switching circuit that switches a conduction state between the first terminal and the system ground according to a control signal to perform a switching operation to switch the conduction state between the first terminal and the system ground at a predetermined interval; A power supply control method, wherein a current is caused to flow from a capacitor connected in parallel to the primary coil.
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