JP2014020853A - 湿度センサユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】温度検出部210を、温度に応じて抵抗値が変化し、回路チップ30にて生成される温度分布に沿って形成された抵抗体221a、221bにて構成する。これによれば、抵抗体221a、221bが温度分布に沿って形成されているため、抵抗体221a、221b内の温度分布がばらつくことを抑制することができ、温度検出の精度が低下することを抑制することができる。
【選択図】図4
Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態の湿度センサユニットは、例えば、車室内のルームミラー近傍に取り付けられ、車室内の湿度を検出するものとして用いられると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、温度検出部220にも感湿膜213を備えたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、抵抗体221a、221bの形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
上記第1、第2実施形態では、温度検出部220が2つの抵抗体221a、221bで構成される例を説明したが、抵抗体221a、221bをさらに複数備えるようにしてもよい。同様に、上記第3実施形態においても、温度検出部220を複数の抵抗体221aで構成するようにしてもよい。
20 センサチップ
30 回路チップ
40 モールド樹脂
210 湿度検出部
220 温度検出部
221 抵抗体
Claims (7)
- 湿度に応じたセンサ信号を出力する湿度検出部(210)および温度に応じたセンサ信号を出力する温度検出部(220)が形成されたセンサチップ(20)と、
前記センサチップと並べて配置され、前記センサチップから前記湿度に応じたセンサ信号が入力されると共に前記温度に応じたセンサ信号が入力される回路チップ(30)と、を備え、
前記温度検出部は、前記温度に応じて抵抗値が変化し、前記回路チップにて生成される温度分布に沿って形成された抵抗体(221a、221b)にて構成されていることを特徴とする湿度センサユニット。 - 前記湿度検出部は、湿度に応じて誘電率が変化する感湿膜(213)を有し、
前記温度検出部は、前記抵抗体が前記感湿膜にて覆われていることを特徴とする請求項1に記載の湿度センサユニット。 - 前記センサチップおよび前記回路チップは、前記湿度検出部が露出する状態でモールド樹脂(40)に覆われていることを特徴とする請求項1または2に記載の湿度センサユニット。
- 前記抵抗体は、一方向に延設された直線状とされ、前記回路チップのうち最も温度が高くなる領域と前記抵抗体の中心とを結ぶ線分と、前記抵抗体の延設方向に延びる線分とが直交していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の湿度センサユニット。
- 前記温度検出部は、前記抵抗体が複数形成されて構成されていることを特徴とする請求項4に記載の湿度センサユニット。
- 前記抵抗体は、前記温度分布に沿った曲線とされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の湿度センサユニット。
- 前記湿度検出部は、湿度に応じて容量が変化する容量式であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の湿度センサユニット。
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JP2015230316A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | センシリオン アクチエンゲゼルシャフト | ガスセンサパッケージの製造方法 |
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-
2012
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