JP2014010064A - 電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム - Google Patents
電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014010064A JP2014010064A JP2012147125A JP2012147125A JP2014010064A JP 2014010064 A JP2014010064 A JP 2014010064A JP 2012147125 A JP2012147125 A JP 2012147125A JP 2012147125 A JP2012147125 A JP 2012147125A JP 2014010064 A JP2014010064 A JP 2014010064A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- secondary electron
- length measurement
- profile
- parameter
- automatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のパラメータ自動設定システム120は、複数の第1の2次電子画像と、複数の第1の2次電子画像から作成される複数の第1の2次電子プロファイルと、複数の第1の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の測長パラメータとを格納する記憶部124と、計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータを設定する演算部123と、を備える。演算部123は、モデルとして登録された2次電子画像から第2の2次電子プロファイルを作成し、第2の2次電子プロファイルとマッチングする第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを記憶部124から取得する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の電子線自動測長装置の概略構成図である。電子線自動測長装置100は、陰極101と、第1および第2の陽極102、103と、コンデンサレンズ104と、偏向コイル105と、対物レンズ108と、ホルダ110と、ステージ111と、2次電子検出器112と、コントローラ113とを備える。
現状、電子線自動測長装置100において、パターンを自動で測長するまでのシーケンスは、オペレータによって設定される。そこで、本発明の発明者は、事前に測長されているパターンを撮像した際の2次電子画像(第1の2次電子画像)と、その画像から得られる2次電子プロファイル(第1の2次電子プロファイル)と、そのパターンを測長するために設定された自動測長パラメータの3つを関連づけて、ライブラリデータ(Library Data)として蓄積する技術を提供する。また、ライブラリデータとして、パターン測長時の倍率と、2次電子像取得時の積算フレームと、1次電子の加速電圧と、1次電子の電流量の情報などの画像に関する情報も付随して保存する。
すなわち、本発明においてライブラリデータとして蓄積される自動側長パラメータ(計測レシピ)は、図9および図10の説明で示されるパラメータ、および、パターン測長時の倍率、2次電子画像取得時の積算フレーム、1次電子の加速電圧、1次電子の電流量など、2次電子画像取得時の情報も含む。
図3は、本実施形態のライブラリ220の一例を示した図である。ライブラリ220は、Library Dataディレクトリ301を備え、Library Dataディレクトリ301内には、profileディレクトリ302と、imagesディレクトリ303と、ampディレクトリ304とが作成されている。imagesディレクトリ303には、過去に実施した測長時に撮像された複数の2次電子画像が格納される。profileディレクトリ302には、複数の2次電子画像から得られた複数の2次電子プロファイルが格納される。また、ampディレクトリ304には、複数の自動側長パラメータが格納される。profileディレクトリ302と、imagesディレクトリ303と、ampディレクトリ304とに格納されるデータは、それぞれ、関連付けられている。例えば、図3のように、imagesディレクトリ303のファイル名がimg20120101000001とすると、profileディレクトリ302のファイル名はpro20120101000001となり、また、ampディレクトリ304のファイル名は、amp20120101000001となり、ディレクトリ名以下の8桁の日付と6桁の数字で関連付ける。なお、この関連付け方法は、一例であり、その他の関連づけ方法でもよい。このように各データを関連付けることにより、2次電子プロファイルに対応する自動測長パラメータを取得する処理など、各データを対応させてハンドリングすることが可能となる。
図9は、表示部121に表示される電子線自動測長装置用の測長パラメータの設定画面を示し、線(Line)の測長パラメータの設定画面を示している。自動測長パラメータ設定画面322は、測長種選択ボタン323と、測長対象パターン設定ボタン324と、カーソルタイプ選択部325とを備える。測長種選択ボタン323は、様々なパターンを測長可能にするために、線幅の測定と、線幅のばらつきの測定と、線エッジのばらつきの測定と、ホールの直径の測定などが組み込まれており、側長の種類を選択するためのものである。
次に、上述の構成を有する電子線自動測長装置において行われる処理について説明する。図4は、電子線自動測長装置において行われる処理の概要を示すフローチャートである。
従来では、自動側長パラメータの設定(図4のステップS006に対応)は、オペレータの手動によって行われていた。したがって、自動側長パラメータ(計測レシピ)を作成するオペレータごとに質のばらつきがあり、このばらつきが、電子線測長装置を用いて計測した際の計測の再現精度を低下させる要因となっていた。本発明の特徴は、上述の測長パラメータの自動設定システム201において自動側長パラメータの設定を自動的に実施する点にある。
図7は、側長パターンがLineである場合の2次電子プロファイルのマッチングに使用する領域を示す。
上述したように、測長パラメータの自動設定システム201は、モデルの2次電子プロファイルとマッチングする2次電子プロファイルをライブラリ220から抽出し、その抽出された2次電子プロファイル221に対応する自動測長パラメータ222を設定する。したがって、以下では、2次電子プロファイル211およびそれに対応する自動測長パラメータ222などをライブラリ220に事前に登録する処理について説明する。ライブラリ220への登録は、過去に計測を実施した際のデータについて行う。過去に計測を実施した際のデータとしては、開発工程中に実施したデータや、製造後の検査で実施されたデータがある。
本実施形態の測長パラメータの自動設定システム120は、複数の2次電子画像と、複数の2次電子画像から作成される複数の2次電子プロファイルと、複数の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の自動測長パラメータとを格納する記憶部124と、計測対象の測長パターンに用いられる自動測長パラメータを設定する演算部123と、を備える。演算部123の設定処理部125は、予め登録された2次電子画像(モデル)から2次電子プロファイルを作成し、モデルの2次電子プロファイルと記憶部124のライブラリ220に格納されている2次電子プロファイルとのマッチング処理を実行して、モデルの2次電子プロファイルとマッチングする2次電子プロファイルに対応する自動測長パラメータを記憶部124のライブラリ220から取得し、計測対象の測長パターンに用いられる自動測長パラメータとして、記憶部124のライブラリ220から取得された自動測長パラメータを設定する。
この構成によれば、オペレータごとの自動測長パラメータの設定による再現精度のばらつきを防止でき、どのオペレータが自動測長パラメータを設定しても、一定の再現精度を満たすことができる。また、本発明を適用することにより、計測レシピ作成の標準化および統一化等の機能などがなくても、オペレータごとによる計測再現精度のばらつきを最小限に抑えることが可能となる。
この構成によれば、2次電子プロファイルの特徴的な領域ごとに一致度を計算することにより、モデルの2次電子プロファイルと記憶部124のライブラリ220に格納されている2次電子プロファイルとのマッチングを精度良く行うことが可能となる。
また、演算部123の設定処理部125は、一致度の平均値が所定の数値より大きい2次電子プロファイルが存在しない場合、一致度順に第3候補まで2次電子プロファイルを取得し、第3候補までの2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを記憶部124のライブラリ220から取得し、第3候補までの中から1つの測長パラメータを取得する。これにより、一致度が高くない場合には、複数の候補から1つの測長パラメータを選択することにより、より適切な測長パラメータを設定することができる。
この構成によれば、過去に実施した測長時に撮像された2次電子画像および測長パラメータの情報も記憶部124のライブラリ220に蓄積でき、これにより、モデルの2次電子プロファイルとマッチングさせるための2次電子プロファイルも多くなり、よりマッチングする2次電子プロファイルを探索することが可能となる。その結果、計測対象の測長パターンに用いられる自動測長パラメータとしてより適切な自動測長パラメータを得ることが可能になる。
101 陰極
102,103 陽極
104 コンデンサレンズ
105 偏向コイル
106 1次電子
107 2次電子
108 対物レンズ
109 試料
110 ホルダ
111 ステージ
112 2次電子検出器
113 コントローラ
120 自動設定システム
121 表示部
123 演算部
124 記憶部
125 設定処理部
126 登録処理部
220 ライブラリ
301 Library Dataディレクトリ
302 profileディレクトリ
303 imagesディレクトリ
304 ampディレクトリ
Claims (13)
- 複数の第1の2次電子画像と、前記複数の第1の2次電子画像から作成される複数の第1の2次電子プロファイルと、前記複数の第1の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の測長パラメータとを格納する記憶部と、
計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータを設定する演算部と、
を備え、
前記演算部は、
予め登録された第2の2次電子画像から第2の2次電子プロファイルを作成し、
前記第2の2次電子プロファイルと前記複数の第1の2次電子プロファイルとのマッチング処理を実行して、前記第2の2次電子プロファイルとマッチングする前記第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを前記記憶部から取得し、
前記計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータとして、前記記憶部から取得された測長パラメータを設定することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項1に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記第1の2次電子プロファイルおよび前記第2の2次電子プロファイルは、それぞれ、複数の領域を含む2次元グラフであり、
前記演算部は、前記マッチング処理として、前記複数の領域の各々について、最低値、最高値、および傾きの少なくとも1つの数値を計算し、前記第1の2次電子プロファイルにおける前記少なくとも1つの数値と前記第2の2次電子プロファイルにおける前記少なくとも1つの数値との一致度を計算することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項2に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記演算部は、
前記一致度の平均値を算出し、
前記一致度の平均値が所定の数値より大きい前記第1の2次電子プロファイルが存在する場合、前記一致度が最も大きい前記第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを前記記憶部から取得することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項2に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記演算部は、
前記一致度の平均値を算出し、
前記一致度の平均値が所定の数値より大きい前記第1の2次電子プロファイルが存在しない場合、前記一致度順に複数の第1の2次電子プロファイルを取得し、
前記複数の第1の2次電子プロファイルに対応する複数の測長パラメータを前記記憶部から取得し、
前記複数の測長パラメータの中から1つの測長パラメータを取得することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項4に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記演算部は、
前記複数の測長パラメータを用いてテストランを実行して、前記複数の測長パラメータのそれぞれについて計測値のばらつきを示す値を算出し、
前記複数の測長パラメータのうち前記ばらつきを示す値が最も小さい測長パラメータを取得することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項2に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記計測対象の測長パターンが、線パターンであり、
前記第1の2次電子プロファイルおよび前記第2の2次電子プロファイルは、それぞれ、縦軸に2次電子の発生量を取り、横軸に1次電子の走査方向に対する2次電子の発生位置を取った2次元グラフであり、
前記複数の領域が、
左側の突き出した部分の外側の最低部から右側の突き出した部分の外側の最低部までの領域を示す第1の領域と、
左側の突き出した部分の最高部から右側の突き出した部分の最高部までの領域を示す第2の領域と、
左側の突き出した部分の外側の最低部から左側の突き出した部分の最高部までの領域を示す第3の領域と、
左側の突き出した部分の最高部から左側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分までの領域を示す第4の領域と、
右側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分から右側の突き出した部分の最高部までの領域を示す第5の領域と、
右側の突き出した部分の最高部から右側の突き出した部分の外側の最低部までの領域を示す第6の領域と、
左側の突き出した部分の外側の最低部から左側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分までの領域を示す第7の領域と、
左側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分から右側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分までの領域を示す第8の領域と、
右側の突き出した部分の内側で傾きが0になる部分から右側の突き出した部分の外側の最低部までの領域を示す第9の領域と、
から構成されることを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項1に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記2次電子画像と、前記第1の2次電子プロファイルと、前記測長パラメータとが、互いに関連付けられて前記記憶部に格納されていることを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項1に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記演算部が、過去に実施した測長時に撮像された過去の2次電子画像および測長パラメータを前記記憶部に登録する登録処理部を備え、
前記登録処理部は、前記過去の2次電子画像から2次電子プロファイルを作成し、前記過去の2次電子画像および測長パラメータと、前記過去の2次電子画像から作成した2次電子プロファイルとを前記記憶部に格納することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項8に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記登録処理部は、前記過去の2次電子画像のパターンが、前記記憶部に格納されている前記2次電子画像のパターンに対して所定の割合以上に変化しているかを判定し、
前記登録処理部は、前記所定の割合以上に変化していない場合、前記過去の2次電子画像のパターンから2次電子プロファイルを作成することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項9に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記登録処理部は、前記所定の割合以上に変化している場合、複数の過去の2次電子画像を取得して、前記複数の過去の2次電子画像の平均化画像を作成し、前記平均化画像から2次電子プロファイルを作成することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項10に記載のパラメータ自動設定システムにおいて、
前記登録処理部は、前記平均化画像から作成した2次電子プロファイルに最も一致する2次電子プロファイルとなる前記過去の2次電子画像に対応する測長パラメータを取得し、
前記登録処理部は、前記平均化画像と、前記平均化画像から作成した2次電子プロファイルと、前記取得された測長パラメータとを前記記憶部に格納することを特徴とするパラメータ自動設定システム。 - 請求項1ないし11のいずれか一項に記載のパラメータ自動設定システムを備える電子線自動測長装置。
- 記憶部と演算部とを備える情報処理装置に、計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータを自動設定する処理を実行させるためのプログラムであって、
前記記憶部が、複数の第1の2次電子画像と、前記複数の第1の2次電子画像から得られる複数の第1の2次電子プロファイルと、前記複数の第1の2次電子画像を撮像した際に用いられた複数の測長パラメータとを格納しており、
前記演算部に、
予め登録された第2の2次電子画像から第2の2次電子プロファイルを作成する処理と、
前記第2の2次電子プロファイルと前記複数の第1の2次電子プロファイルとのマッチング処理を実行して、前記第2の2次電子プロファイルとマッチングする前記第1の2次電子プロファイルに対応する測長パラメータを前記記憶部から取得する処理と、
前記計測対象の測長パターンに用いられる測長パラメータとして、前記記憶部から取得された測長パラメータを設定する処理と、
を実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147125A JP6059893B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012147125A JP6059893B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014010064A true JP2014010064A (ja) | 2014-01-20 |
JP6059893B2 JP6059893B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=50106888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012147125A Expired - Fee Related JP6059893B2 (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6059893B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0560540A (ja) * | 1991-09-02 | 1993-03-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビームを用いたパタン寸法測定方法 |
JP2005142535A (ja) * | 2003-09-15 | 2005-06-02 | Timbre Technologies Inc | 光学的測定に使用する仮想プロファイルの選択方法、システム及び仮想プロファイルを選択するコンピュータ実行可能なコードを有する記録媒体 |
WO2011021346A1 (ja) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターン形状推定方法、及びパターン測定装置 |
JP2012088269A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 形状計測方法およびそのシステム |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012147125A patent/JP6059893B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0560540A (ja) * | 1991-09-02 | 1993-03-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビームを用いたパタン寸法測定方法 |
JP2005142535A (ja) * | 2003-09-15 | 2005-06-02 | Timbre Technologies Inc | 光学的測定に使用する仮想プロファイルの選択方法、システム及び仮想プロファイルを選択するコンピュータ実行可能なコードを有する記録媒体 |
WO2011021346A1 (ja) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターン形状推定方法、及びパターン測定装置 |
JP2012088269A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 形状計測方法およびそのシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6059893B2 (ja) | 2017-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9488815B2 (en) | Pattern evaluation method and pattern evaluation device | |
US7888638B2 (en) | Method and apparatus for measuring dimension of circuit pattern formed on substrate by using scanning electron microscope | |
US7230723B2 (en) | High-accuracy pattern shape evaluating method and apparatus | |
US20090214103A1 (en) | Method for measuring a pattern dimension | |
JP5319931B2 (ja) | 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 | |
US20130216141A1 (en) | Pattern matching method, image processing device, and computer program | |
JP2007218711A (ja) | 電子顕微鏡装置を用いた計測対象パターンの計測方法 | |
KR101709433B1 (ko) | 시료 관찰 장치 | |
JP6043735B2 (ja) | 画像評価装置及びパターン形状評価装置 | |
JP5400882B2 (ja) | 半導体検査装置及びそれを用いた半導体検査方法 | |
JP5966087B2 (ja) | パターン形状評価装置及び方法 | |
KR101808470B1 (ko) | 패턴 측정 장치 및 컴퓨터 프로그램 | |
US10190875B2 (en) | Pattern measurement condition setting device and pattern measuring device | |
US11468555B2 (en) | Method and apparatus for generating a correction line indicating relationship between deviation of an edge of a wafer pattern from an edge of a reference pattern and space width of the reference pattern, and a computer-readable recording medium | |
JP7062563B2 (ja) | 輪郭抽出方法、輪郭抽出装置、及びプログラム | |
JP6059893B2 (ja) | 電子線自動測長装置、電子線自動測長装置用パラメータ自動設定システム、およびパラメータ自動設定プログラム | |
TWI652446B (zh) | Image analysis device and charged particle beam device | |
JP2020051771A (ja) | パターン形状評価装置、パターン形状評価システム及びパターン形状評価方法 | |
JP6207893B2 (ja) | 試料観察装置用のテンプレート作成装置 | |
JP2013200319A (ja) | 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 | |
US20140048706A1 (en) | Pattern dimension measurement method and charged particle beam apparatus | |
US9947088B2 (en) | Evaluation condition setting method of semiconductor device, and evaluation condition setting apparatus | |
JP2011179819A (ja) | パターン測定方法及びコンピュータプログラム | |
WO2022249489A1 (ja) | 深さ計測装置、深さ計測システム及び深さ指標値算出方法 | |
JP6101445B2 (ja) | 信号処理装置及び荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160510 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160622 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6059893 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |