JP2014004681A - 陽極接合ひずみアイソレータ - Google Patents
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Abstract
【課題】センサを同じ熱膨張率の材料に取り付けることを可能にし、依然としてセンサと、センサが実装されるシステムとの間で必要とされる弾性アイソレーションを実現する応力アイソレータを提供する。
【解決手段】アイソレータは、2つの材料、すなわちホウケイ酸ガラスおよびケイ素製である。ガラスは、微小電子機械システム(MEMS)センサの実装表面と同じ材料である。ケイ素は、非常に弾性であり、複雑な形状に形成するのが容易なので、優れたアイソレータになる。アイソレータの2つの材料は、陽極接合を使用して接合される。アイソレータの構造を様々なタイプのMEMSセンサに特有のものとし、それらの幾何形状の大半で体積全体を削減させることができる。
【選択図】図1
【解決手段】アイソレータは、2つの材料、すなわちホウケイ酸ガラスおよびケイ素製である。ガラスは、微小電子機械システム(MEMS)センサの実装表面と同じ材料である。ケイ素は、非常に弾性であり、複雑な形状に形成するのが容易なので、優れたアイソレータになる。アイソレータの2つの材料は、陽極接合を使用して接合される。アイソレータの構造を様々なタイプのMEMSセンサに特有のものとし、それらの幾何形状の大半で体積全体を削減させることができる。
【選択図】図1
Description
[0001]慣性センサおよび圧力センサは、応力およびひずみに非常に敏感なものである可能性があり、応力/ひずみを、実際にはそうでないときにも信号として変換する。これらの誤差は、しばしば温度全体にわたって見られる。なぜなら、これらのセンサが実装されるシステムのひずみ状態が、温度変化による膨張および収縮と共に変化するからである。応力下または圧力下でのクリープなど、ひずみ変化の他の発生源もまた、センサに対する負の作用を有するのに十分有意なものである。精度が必要とされる場合、温度全体にわたる出力の変化をモデル化し、センサの出力から差し引かなければならない。所与の温度変化からのひずみがより大きいと、正確にモデル化するのがより困難であり、より多くの計算機能力とより高次のモデルを必要とすることがある。これらのひずみによる材料の緩和(クリープ)があればそれはモデル化することができず、センサ誤差として現れる。
[0002]センサと、センサが実装されるシステムとの間でしばしば機械アイソレータが使用され、ひずみを、センサに伝えるのではなくアイソレータによって拾い上げることを可能にする。アイソレータは、伸ばされた後、常に同じ状態に戻る1組のばねのように、センサマウントとシステムの間に機械的に弾性の区間を有することによって、これを行う。アイソレーションフィーチャは、ケイ素など、ある種の材料から容易に形成されるが、センサは、しばしば他の材料製であり、センサとアイソレーションの間の接合は、望ましくない応力を生み出す。
[0003]本発明は、センサを同じ熱膨張率の材料に取り付けることを可能にし、依然としてセンサと、センサが実装されるシステムとの間で必要とされる弾性アイソレーションを実現する応力アイソレータを提供する。本発明は、微小電子機械システム(MEMS)処理方法を使用してこれを行い、特にMEMSセンサに適合する。アイソレータは、2つの材料、すなわちホウケイ酸ガラスおよびケイ素製である。ガラスは、MEMSセンサの実装表面と同じ材料である。ケイ素は、非常に弾性であり、複雑な形状に形成するのが容易なので、優れたアイソレータになる。アイソレータの2つの材料は、陽極接合を使用して接合される。アイソレータの構造を様々なタイプのMEMSセンサに特有のものとし、それらの幾何形状の大半で体積全体を削減させることができる。
[0004]本発明の一態様では、アイソレータは、MEMSセンサにとって必要な他の電気構成部品を支持し、これは、システム体積全体を削減し、電気経路を可能な限り短くすることによって性能を高める。
[0005]本発明の好ましい、また代替の実施形態について、以下の図面を参照して、以下、詳細に述べる。
[0011]図1は、回路板またはハウジング28に実装されている例示的な微小電子機械システム(MEMS)パッケージ20を示す。一実施形態では、MEMSパッケージ20は、ケイ素または同様の材料製のばね層30と、ガラス層32とを有するアイソレータを含む。ばね層30のフレームは、ガラス層32に接合(すなわち、陽極接合)される。次いで、ガラス層32は、MEMSダイ26のガラス区間に接合される。
[0012]一実施形態では、MEMSダイ26は、カバーおよびデバイス層の一部分を除去することによって形成されるフランジ(またはカットアウト)42を含む。フランジ42は、ガラス層32のものと同様のガラス製である。フランジ42は、金属パッド46、48(必要に応じて)、および金(または比較可能な金属)スタッドバンプ44を使用してガラス層32に取り付けられる。ガラス層32内に予めエッチングまたは機械加工された穴が、フリップチップ式で実装されたMEMSダイ26の一部分を受容することを可能にする。ケイ素ばね層30のいかだ52が、金(または比較可能な金属)スタッドバンプ58を使用してハウジング28に実装される。凹部60がばね層30内にエッチングされてからガラス層32と接合される。はんだ、金−ケイ素共晶、またはエポキシなど、他の好適な導電性の取付け方法を使用し、MEMSダイ26をガラス層32に、またはばね層30を回路板28に取り付けてもよい。
[0013]アイソレータは、MEMSダイ26と熱膨張率(CTE)が完全一致またはほぼ完全一致する。ばね層30は、アウトガスゼロまたはほぼゼロを実現し、様々なフォトリソグラフィ技法、様々な等方性や異方性のエッチャント、およびディープ反応性イオンエッチングなどプラズマベースの技法を使用して、応力を吸収するのに必要とされる適正な支持バランスおよび柔軟性のための複雑な形状に容易に形成可能である。MEMSダイ26は、ホウケイ酸ガラスの区間を含む。ケイ素もまた、MEMSダイのガラスにCTEがほとんど一致する。
[0014]以下は、例示的な構築プロセスについて述べる。まず、金属パターンがガラスウェハの第1の表面に与えられ、次いで(1つまたは複数の)穴がガラスウェハを通して穿孔される。次に、水酸化カリウム(KOH)エッチングをシリコンウェハのおもて側で実施し、凹部60を作成する。次いで、ディープ反応性イオンエッチング(DRIE)を、シリコンウェハを通して裏側から実施し、ばね構造を作成する。次いで、ガラスウェハがシリコンウェハに陽極接合される。次に、MEMSセンサがアイソレータに接合され、次いでアイソレータがMEMSパッケージに取り付けられる。一実施形態では、MEMSセンサ26が完全なウェハとしてのアイソレータに接合されてからダイシングされるか、またはアイソレータウェハとMEMSウェハが共にダイシングされた後で一度に1つのMEMSセンサが1つのアイソレータに接合される。
[0015]このアイソレータは、可能な限りMEMSデバイスに近接して支持電子回路を実装することを可能にする。これは、最も少ないノイズ、および最も小さい電力消費を可能にする。ガラス層32上の金属を適正にパターニングすることにより、ダイまたはパッケージングされた形態にある様々な種類の表面実装電子デバイスを実装することができる。
[0016]図2−1は、例示的なアイソレータガラス層32−1の上面斜視図を示し、このガラス層32−1は、2つの対向する側でフランジ64によって形作られる窓をもたらすようにエッチングされている。メタライズドパッド48−1がフランジ64の上面に付着されている。MEMSダイをフリップチップ実装するために、他のパッド50−1およびトレース(図示せず)がアイソレータガラス層32−1の上面に同時に付着される。相互接続トレースは、見やすくするために示されておらず、任意の必要とされる形態で接続することができる。図2−2は、アイソレータガラス層32−1の底部に位置する凹部60−1を示す。凹部60−1は、図1のばね層30上に、凹部60の代わりに与えることができる。
[0017]図3−1は、例示的なばね層30−1の上面斜視図を示す。ばね層30−1は、窓66を有するフレーム68を含む。4つのS字形ばね72と、いかだ70とが、窓66内にエッチングされる。ばね72は、一端で窓66の異なる内部エッジに取り付けられ、第2の端部でいかだ70の異なる外部エッジに取り付けられる。図3−2は、いかだ70の下側に取り付けられる任意選択の金属パッド74を示す。金属パッド74は、後で、スタッドバンプ(図1に示されているものなど)、または、はんだ、金−ケイ素共晶、もしくはエポキシなど他の好適な取付け方法を介して、回路板またはハウジングに実装するために使用される。凹部60−2が、窓66の上部エッジ周りでエッチングされる。
[0018]図4は、図2−1、図2−2に示されているアイソレータガラス層32−1に取り付けられるように構成された例示的なMEMSダイ26−1の底部斜視図を示す。フランジ42−1がMEMSダイ26−1の中間区間付近にあるように、フランジ42−1がMEMSダイ26−1の一端から形成されている。メタライズドパッド46−1が、フランジ42−1に付着されるか、または、MEMSダイ26−1の中間/デバイス層に予め付着され、中間/デバイス層に隣接する区間の材料を除去したとき露出される。メタライズドパッド46−1は、MEMSダイ26−1内の能動構成部品に電気接続される。
[0019]図5−1および図5−2は、ばね層30−1に接合されたアイソレータガラス層32−1、およびアイソレータガラス層32−1に接合されたMEMSダイ26−1を示す。MEMSダイ26−1をアイソレータガラス層32−1に取り付けるために、メタライズドパッド48−1、46−1が、スタッドバンプ(図示せず)を使用して共に接合される。また、電子構成部品80がメタライズドパッド50−1に取り付けられる。メタライズドパッド48−1、46−1と、それらのそれぞれの表面との接続の一例は、SiAu共晶接合である。
[0020]一実施形態では、MEMSダイは、上向きで実装される。MEMSダイ上のリードが、アイソレータ上の金属パッドにワイヤボンドされるか、または直接、回路板/パッケージに引き出される。他の実施形態では、MEMSダイは、その上面にパッドを有し、アイソレータ上のガラスにフリップチップ実装される。次いで、ワイヤボンドなど、低応力電気接続がアイソレータガラスからなされる。
Claims (3)
- センサ、および
接合部分
を備えるMEMSダイと、
アイソレーション装置と
を備える微小電子機械システム(MEMS)パッケージであって、前記アイソレーション装置が、
前記MEMSダイの前記接合部分に接合されるように構成され、前記MEMSダイの前記接合部分にほぼ等しい熱膨張率を有する第1の層と、
モノリシック材料で形成されたばね層と
を備え、前記ばね層が、
前記第1の層に接合するように構成された第1の区間と、
回路板に接合するように構成された第2の区間と、
前記第1の区間を前記第2の区間に柔軟に取り付けられるように構成された1つまたは複数のばね要素と
を備える、MEMSパッケージ。 - 前記第1の層が、前記MEMSダイが前記第1の層に実装されたときMEMSダイが通過することを可能にするように構成された空洞を備え、前記空洞が、前記MEMSダイだけに接合されるように構成された少なくとも1つのフランジを備え、前記第1の層または前記ばね層のうちの少なくとも1つが、前記少なくとも1つのフランジを前記ばね層から分離するように構成された凹部を備える、請求項1に記載のパッケージ。
- 前記ばね層がシリコンを含み、前記第1の層がガラスを含み、前記第1の層と前記ばね層の間の接合が陽極接合を含む、請求項1に記載のパッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/533,356 US9187313B2 (en) | 2012-06-26 | 2012-06-26 | Anodically bonded strain isolator |
US13/533,356 | 2012-06-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014004681A true JP2014004681A (ja) | 2014-01-16 |
JP2014004681A5 JP2014004681A5 (ja) | 2016-07-21 |
Family
ID=48655969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013129309A Withdrawn JP2014004681A (ja) | 2012-06-26 | 2013-06-20 | 陽極接合ひずみアイソレータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9187313B2 (ja) |
EP (2) | EP2679536B1 (ja) |
JP (1) | JP2014004681A (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130264755A1 (en) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for limiting sensor motion |
US20140374847A1 (en) * | 2013-06-20 | 2014-12-25 | Honeywell International Inc. | Packaging method for mems devices |
EP2871456B1 (en) * | 2013-11-06 | 2018-10-10 | Invensense, Inc. | Pressure sensor and method for manufacturing a pressure sensor |
CN105182004A (zh) * | 2015-09-06 | 2015-12-23 | 苏州大学 | 基于硅硅键合的减小封装应力的微机械加速度计 |
FR3042483B1 (fr) | 2015-10-16 | 2017-11-24 | Thales Sa | Microsysteme electromecanique et procede de fabrication |
US10278281B1 (en) * | 2015-10-30 | 2019-04-30 | Garmin International, Inc. | MEMS stress isolation and stabilization system |
US10060820B2 (en) | 2015-12-22 | 2018-08-28 | Continental Automotive Systems, Inc. | Stress-isolated absolute pressure sensor |
EP3243793B1 (en) * | 2016-05-10 | 2018-11-07 | ams AG | Sensor assembly and arrangement and method for manufacturing a sensor assembly |
US10442680B2 (en) * | 2016-06-14 | 2019-10-15 | Mems Drive, Inc. | Electric connection flexures |
GB2555412A (en) | 2016-10-25 | 2018-05-02 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Inertial sensor |
FR3075772B1 (fr) | 2017-12-22 | 2020-11-20 | Commissariat Energie Atomique | Mise en œuvre d'une structure de decouplage pour l'assemblage d'un composant avec un boitier |
US10988375B1 (en) | 2018-10-04 | 2021-04-27 | EngeniusMicro, LLC | Systems, methods, and devices for mechanical isolation or mechanical damping of microfabricated inertial sensors |
US20230391609A1 (en) * | 2022-06-03 | 2023-12-07 | International Business Machines Corporation | Micromachined superconducting interconnect in silicon |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008023465A1 (en) * | 2006-08-25 | 2008-02-28 | Kyocera Corporation | Microelectronic machine mechanism device, and its manufacturing method |
US8614491B2 (en) | 2009-04-07 | 2013-12-24 | Honeywell International Inc. | Package interface plate for package isolation structures |
-
2012
- 2012-06-26 US US13/533,356 patent/US9187313B2/en active Active
-
2013
- 2013-06-13 EP EP13171937.9A patent/EP2679536B1/en not_active Not-in-force
- 2013-06-13 EP EP15163575.2A patent/EP2915778B1/en not_active Not-in-force
- 2013-06-20 JP JP2013129309A patent/JP2014004681A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9187313B2 (en) | 2015-11-17 |
EP2915778A1 (en) | 2015-09-09 |
US20130341735A1 (en) | 2013-12-26 |
EP2679536B1 (en) | 2015-04-15 |
EP2679536A3 (en) | 2014-01-22 |
EP2679536A2 (en) | 2014-01-01 |
EP2915778B1 (en) | 2016-11-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160602 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170421 |