JP2014003227A - Lead frame or substrate for led and method of manufacturing the same, and semiconductor device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、LED素子を載置するLED用リードフレームまたは基板およびその製造方法、ならびにこのようなLED用リードフレームまたは基板を有する半導体装置およびその製造方法に関する。 The present invention relates to an LED lead frame or substrate on which an LED element is mounted and a manufacturing method thereof, and a semiconductor device having such an LED lead frame or substrate and a manufacturing method thereof.
従来より、LED(発光ダイオード)素子を光源として用いる照明装置が、各種家電、OA機器、車両機器の表示灯、一般照明、車載照明、およびディスプレイ等に用いられている。このような照明装置の中には、LED用基板とLED素子とを有する半導体装置を含むものがある。 2. Description of the Related Art Conventionally, lighting devices that use LED (light emitting diode) elements as light sources have been used for various home appliances, OA equipment, display lights for vehicle equipment, general lighting, in-vehicle lighting, displays, and the like. Some of such lighting devices include a semiconductor device having an LED substrate and LED elements.
このような半導体装置として、例えば特許文献1には、Cu基板製リードフレームの一面側に凹部を形成して、LED素子をこの凹部に搭載し、該凹部側に配設された絶縁層上に接続用のCu配線層を形成し、LEDの端子部とCu配線層とをワイヤボンディング接続し、樹脂封止したものが記載されている。また特許文献1において、Cu配線層表面にはAgめっきが施されている。
As such a semiconductor device, for example, in
ところで、上述のようにリードフレーム上には反射特性を有するAgめっき層(反射用金属層)が施されているが、このような半導体装置に熱を加えた場合、基板(本体部)に含まれる銅がAgめっき層表面へ拡散し、その結果半田濡れ性やボンディング性を劣化させるおそれがあり、また、リードフレーム表面のAgめっき層が変色してAgめっき層の反射率を著しく低下させてしまう。 By the way, as described above, an Ag plating layer (reflection metal layer) having reflection characteristics is applied on the lead frame. When heat is applied to such a semiconductor device, it is included in the substrate (main body portion). Copper may diffuse to the surface of the Ag plating layer, resulting in deterioration of solder wettability and bonding properties, and the Ag plating layer on the lead frame surface may be discolored to significantly reduce the reflectance of the Ag plating layer. End up.
この場合、Agめっき層の下方に銅の拡散を抑えるバリア層を設けたり、Agめっき層の膜厚を大きくすることが検討されているが、いずれも製造コストが増加してしまう問題がある。 In this case, it has been studied to provide a barrier layer for suppressing copper diffusion under the Ag plating layer or to increase the film thickness of the Ag plating layer. However, there are problems that both increase the manufacturing cost.
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基板本体に含まれる銅が反射用金属層に拡散することを防止することが可能で、かつ製造コスト低減を図ることができる、LED用リードフレームまたは基板およびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such points, and it is possible to prevent the copper contained in the substrate body from diffusing into the reflective metal layer, and to reduce the manufacturing cost. An object is to provide an LED lead frame or substrate and a manufacturing method thereof, and a semiconductor device and a manufacturing method thereof.
本発明は、LED素子を載置するLED用リードフレームまたは基板において、LED素子を載置する載置面を有する本体部と、本体部の載置面に設けられ、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、反射用金属層と本体部との間に、銅または銅合金からなる中間介在層を設け、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 The present invention provides an LED lead frame or substrate on which an LED element is mounted, a main body having a mounting surface on which the LED element is mounted, and a mounting surface of the main body, and reflects light from the LED element. A reflective metal layer that functions as a reflective layer, the reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body includes copper or a copper alloy, and the reflective metal layer and the main body An intermediate intervening layer made of copper or a copper alloy is provided between them, and a piece of copper oxide is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer. The lead frame or the substrate for LED is characterized in that the copper of the metal is prevented from diffusing to the surface of the reflective metal layer.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って中間介在層からの銅と反応して形成されることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 In the present invention, the copper oxide piece is heated in the oxygen-containing atmosphere in the body portion, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer. An LED lead frame or substrate formed by reacting with copper from an intervening layer.
本発明は、LED素子を載置するLED用リードフレームまたは基板において、LED素子を載置する載置面を有する本体部と、本体部の載置面に設けられ、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面へ拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 The present invention provides an LED lead frame or substrate on which an LED element is mounted, a main body having a mounting surface on which the LED element is mounted, and a mounting surface of the main body, and reflects light from the LED element. A reflective metal layer that functions as a reflective layer, the reflective metal layer includes silver or a silver alloy, and the main body includes copper or a copper alloy, and is within the reflective metal layer and is reflective. A lead frame for an LED, wherein a copper oxide piece is formed at a position corresponding to a crystal grain boundary of the metal layer for the metal, thereby preventing the copper from the main body from diffusing to the surface of the metal layer for reflection. Or a substrate.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って、本体部からの銅と反応して形成されることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 In the present invention, the copper oxide piece is obtained by heating the main body portion and the reflective metal layer in an oxygen-containing atmosphere, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer, and the copper from the main body portion. It is formed by reacting with the LED lead frame or substrate.
本発明は、反射用金属層の表面であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止するとともに反射用金属層の表面を平滑化させる金属蓋片を設けたことを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 The present invention prevents the copper from diffusing to the surface of the reflective metal layer at the position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer and the surface of the reflective metal layer. An LED lead frame or substrate, characterized in that a smoothed metal lid piece is provided.
本発明は、金属蓋片はインジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、またはこれらの金属の酸化物からなることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板である。 The present invention is the lead frame or substrate for LED, wherein the metal lid piece is made of indium, palladium, rhodium or tin, or an oxide of these metals.
本発明は、LED素子を載置する載置面を含む本体部を有するLED用リードフレームまたは基板と、リードフレームまたは基板の本体部の載置面上に載置されたLED素子と、リードフレームまたは基板とLED素子とを電気的に接続する導電部と、LED素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、LED用リードフレームまたは基板の本体部の載置面に、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層を設け、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、反射用金属層と本体部との間に、銅または銅合金からなる中間介在層を設け、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置である。 The present invention relates to an LED lead frame or substrate having a main body portion including a mounting surface on which an LED element is mounted, an LED element mounted on the mounting surface of the lead frame or the main body portion of the substrate, and a lead frame. Alternatively, a conductive portion that electrically connects the substrate and the LED element, and a sealing resin portion that seals the LED element and the conductive portion, the LED lead frame or the mounting surface of the main body portion of the substrate, the LED A reflective metal layer that functions as a reflective layer for reflecting light from the element is provided, the reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body includes copper or a copper alloy, and the reflective metal layer An intermediate intervening layer made of copper or a copper alloy is provided between the metal body and the main body, and a piece of copper oxide is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer. The copper from the intermediate intervening layer A semiconductor device which is characterized in that to prevent diffusion to the surface.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って中間介在層からの銅と反応して形成されることを特徴とする半導体装置である。 In the present invention, the copper oxide piece is heated in the oxygen-containing atmosphere in the body portion, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer. The semiconductor device is formed by reacting with copper from an intervening layer.
本発明は、LED素子を載置する載置面を含む本体部を有するLED用リードフレームまたは基板と、リードフレームまたは基板の本体部の載置面上に載置されたLED素子と、リードフレームまたは基板とLED素子とを電気的に接続する導電部と、LED素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、LED用リードフレームまたは基板の本体部の載置面に、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層を設け、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面へ拡散することを防止することを特徴とする半導体装置である。 The present invention relates to an LED lead frame or substrate having a main body portion including a mounting surface on which an LED element is mounted, an LED element mounted on the mounting surface of the lead frame or the main body portion of the substrate, and a lead frame. Alternatively, a conductive portion that electrically connects the substrate and the LED element, and a sealing resin portion that seals the LED element and the conductive portion, the LED lead frame or the mounting surface of the main body portion of the substrate, the LED A reflective metal layer that functions as a reflective layer for reflecting light from the element is provided, the reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body includes copper or a copper alloy, and the reflective metal layer A copper oxide piece is formed at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the main body from diffusing to the surface of the reflective metal layer. It is a semiconductor device.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って、本体部からの銅と反応して形成されることを特徴とする半導体装置である。 In the present invention, the copper oxide piece is obtained by heating the main body portion and the reflective metal layer in an oxygen-containing atmosphere, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer, and the copper from the main body portion. It is a semiconductor device formed by reacting with
本発明は、反射用金属層の表面であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止するとともに反射用金属層の表面を平滑化させる金属蓋片を設けたことを特徴とする半導体装置である。 The present invention prevents the copper from diffusing to the surface of the reflective metal layer at the position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer and the surface of the reflective metal layer. A semiconductor device is provided with a smoothed metal lid piece.
本発明は、金属蓋片はインジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、またはこれらの金属の酸化物からなることを特徴とする半導体装置である。 The present invention is a semiconductor device characterized in that the metal lid piece is made of indium, palladium, rhodium, tin, or an oxide of these metals.
本発明は、LED素子を載置するLED用リードフレームまたは基板を製造するLED用リードフレームまたは基板の製造方法において、LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、本体部上に、中間介在層を形成する工程と、中間介在層上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、中間介在層は、銅または銅合金を含み、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 The present invention relates to a method for manufacturing an LED lead frame or substrate for manufacturing an LED lead frame or substrate for mounting an LED element, and a step of preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element; A step of forming an intermediate intervening layer on the part, and a step of forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the intermediate intervening layer, the reflective metal layer including silver or a silver alloy; The main body portion includes copper or a copper alloy, the intermediate intervening layer includes copper or a copper alloy, and the main body portion, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer are heat-treated to be within the reflective metal layer. For LED, wherein copper oxide pieces are formed at positions corresponding to the crystal grain boundaries of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the intermediate intervening layer from diffusing to the surface of the reflective metal layer. Lead frame or board manufacturing It is a method.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って中間介在層からの銅と反応して形成されることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 In the present invention, the copper oxide piece is heated in the oxygen-containing atmosphere in the body portion, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer. It is a method for manufacturing an LED lead frame or substrate, which is formed by reacting with copper from an intervening layer.
本発明は、LED素子を載置するLED用リードフレームまたは基板を製造するLED用リードフレームまたは基板の製造方法において、LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、本体部上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、本体部と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 The present invention relates to a method for manufacturing an LED lead frame or substrate for manufacturing an LED lead frame or substrate for mounting an LED element, and a step of preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element; Forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the part, the reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body part includes copper or a copper alloy, and the main body part; By heat-treating the reflective metal layer, a copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer. It is a manufacturing method of the lead frame for LED or a board | substrate characterized by preventing spreading | diffusion to the surface of a layer.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って、本体部からの銅と反応して形成されることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 In the present invention, the copper oxide piece is obtained by heating the main body portion and the reflective metal layer in an oxygen-containing atmosphere, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer, and the copper from the main body portion. It is formed by reacting with the LED lead frame or substrate manufacturing method.
本発明は、反射用金属層の表面であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止するとともに反射用金属層の表面を平滑化させる金属蓋片を設けたことを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 The present invention prevents the copper from diffusing to the surface of the reflective metal layer at the position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer and the surface of the reflective metal layer. An LED lead frame or substrate manufacturing method comprising a smoothed metal lid piece.
本発明は、金属蓋片はインジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、またはこれらの金属の酸化物からなることを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法である。 The present invention is a method for manufacturing a lead frame for an LED or a substrate, wherein the metal lid piece is made of indium, palladium, rhodium, tin, or an oxide of these metals.
本発明は、半導体装置の製造方法において、LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、本体部上に、中間介在層を形成する工程と、中間介在層上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程と、本体部の載置面上にLED素子を載置し、LED素子と本体部とを導電部によって接続する工程と、LED素子と導電部とを透光性の封止樹脂部で封止する工程とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、中間介在層は、銅または銅合金を含み、本体部の載置面上にLED素子を載置する前に、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置の製造方法である。 The present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, a step of preparing a main body having a mounting surface on which an LED element is mounted, a step of forming an intermediate intervening layer on the main body, and an intermediate intervening layer. A step of forming a reflective metal layer that functions as a reflective layer, a step of placing the LED element on the mounting surface of the main body, and connecting the LED element and the main body by a conductive portion; and the LED element and the conductive portion The reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body includes copper or a copper alloy, and the intermediate intervening layer includes copper. Or, including the copper alloy, before mounting the LED element on the mounting surface of the main body, by heat-treating the main body, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer, A piece of copper oxide is formed at a position corresponding to the grain boundary of the reflective metal layer. A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the copper from the layer is prevented from diffusing to the surface of the reflective metal layer.
本発明は、酸化銅片は、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って中間介在層からの銅と反応して形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法である。 In the present invention, the copper oxide piece is heated in the oxygen-containing atmosphere in the body portion, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer. A method of manufacturing a semiconductor device, wherein the semiconductor device is formed by reacting with copper from an intervening layer.
本発明は、半導体装置の製造方法において、LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、本体部上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程と、本体部の載置面上にLED素子を載置し、LED素子と本体部とを導電部によって接続する工程と、LED素子と導電部とを透光性の封止樹脂部で封止する工程とを備え、反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、本体部は、銅または銅合金を含み、本体部の載置面上にLED素子を載置する前に、本体部と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置の製造方法である。 The present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, a step of preparing a main body having a mounting surface on which an LED element is mounted, a step of forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the main body, A step of placing the LED element on the mounting surface of the main body, connecting the LED element and the main body with the conductive portion, and a step of sealing the LED element and the conductive portion with a translucent sealing resin portion The reflective metal layer includes silver or a silver alloy, the main body includes copper or a copper alloy, and before the LED element is mounted on the mounting surface of the main body, By heat-treating the reflective metal layer, a copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer. A method for manufacturing a semiconductor device, characterized in that diffusion to the surface of a layer is prevented
本発明は、酸化銅片は、本体部と、反射用金属層を酸素含有雰囲気中で加熱し、酸素含有雰囲気中の酸素が反射用金属層の結晶粒界を通って、本体部からの銅と反応して形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法である。 In the present invention, the copper oxide piece is obtained by heating the main body portion and the reflective metal layer in an oxygen-containing atmosphere, and oxygen in the oxygen-containing atmosphere passes through the crystal grain boundary of the reflective metal layer, and the copper from the main body portion. It is formed by reacting with the semiconductor device.
本発明は、反射用金属層の表面であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止するとともに反射用金属層の表面を平滑化させる金属蓋片を設けたことを特徴とする半導体装置の製造方法である。 The present invention prevents the copper from diffusing to the surface of the reflective metal layer at the position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer and the surface of the reflective metal layer. A method for manufacturing a semiconductor device is provided with a smoothed metal lid piece.
本発明は、金属蓋片はインジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、またはこれらの金属の酸化物からなることを特徴とする半導体装置の製造方法である。 The present invention is the method of manufacturing a semiconductor device, wherein the metal cover piece is made of indium, palladium, rhodium, tin, or an oxide of these metals.
本発明によれば、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に酸化銅片が形成されている。このため中間介在層からの銅が反射用金属層表面へ拡散することを抑制でき、また本体部からの銅が反射用金属層表面へ拡散することも抑制できる。これにより、反射特性をもつ反射用金属層の反射率が低下することを抑制でき、反射用金属層の濡れ性あるいはボンディング特性が低下することも抑制できる。 According to the present invention, the copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer. For this reason, it can suppress that the copper from an intermediate | middle intervening layer diffuses to the metal layer surface for reflection, and can also suppress that the copper from a main-body part diffuses to the metal layer surface for reflection. Thereby, it can suppress that the reflectance of the reflective metal layer which has a reflective characteristic falls, and can also suppress that the wettability or bonding characteristic of a reflective metal layer falls.
以下、本発明の実施の形態について、図1乃至図16を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
LED用リードフレームまたは基板の構成
まず、図1および図2により、LED用リードフレームまたは基板の概略について説明する。なお図1および図2においては、LED用リードフレームまたは基板の層構成を説明するため、便宜上、LED用リードフレームまたは基板の断面を矩形形状として表示している。
Configuration of LED Lead Frame or Substrate First, an outline of an LED lead frame or substrate will be described with reference to FIGS. In FIG. 1 and FIG. 2, for the sake of convenience, the LED lead frame or the substrate is shown in a rectangular shape in order to explain the layer structure of the LED lead frame or the substrate.
図1に示すように、LED用リードフレームまたは基板10(以下、リードフレーム10、あるいは基板10ともいう)は、LED素子21(後述)を載置するために用いられるものであり、LED素子21を載置する載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aに後述する中間介在層15を介して設けられた反射用金属層12とを備えている。
As shown in FIG. 1, an LED lead frame or substrate 10 (hereinafter also referred to as a
このうち本体部11は金属板からなっており、その材料は銅または銅合金からなっている。この本体部11の厚みは、半導体装置の構成にもよるが、リードフレーム10の場合で0.05mm〜0.5mm、基板10の場合で0.005mm〜0.03mmとすることが好ましい。
Among these, the main-
反射用金属層12は、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能するものであり、LED用リードフレームまたは基板10の最表面側に位置している。この反射用金属層12は銀または銀の合金、例えば銀めっき層(Agめっき層)からなり、可視光の反射率が高く、かつ酸素に対する高い耐腐食性を有している。
The
また反射用金属層12として、銀と金との合金、銀と白金との合金、銀とインジウムとの合金、銀とパラジウムとの合金、銀とすずとの合金を用いることもできる。
As the
反射用金属層(以下、銀めっき層ともいう)12は、その厚みは0.5μm〜15μmとなっている。 The reflective metal layer (hereinafter also referred to as a silver plating layer) 12 has a thickness of 0.5 μm to 15 μm.
また、本体部11と反射用金属層12との間には、上述のように中間介在層15が設けられている。中間介在層15は、銅または銅合金、例えば銅めっき層(Cuめっき層)からなっている。
Further, as described above, the
中間介在層(以下、銅めっき層ともいう)15は、銀層12のための下地層として用いられるものであり、この銅めっき層15は、例えば電解めっきにより形成することができる。この銅めっき層15の厚みは、0.005μm〜2.0μmとすることが好ましい。
An intermediate intervening layer (hereinafter also referred to as a copper plating layer) 15 is used as an underlayer for the
この場合、反射用金属層12と中間介在層15との間の界面L近傍であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の酸化銅片12Aが形成されている(図7参照)。
In this case, a large number of
このように反射用金属層12と中間介在層15との間の界面L近傍であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、酸化銅片12Aが形成されているため、リードフレーム10が加熱されても銅めっき層15からの銅原子が銀めっき層12側へ拡散することが防止される。
As described above, the
また図7に示すように、反射用金属層(銀めっき層)12の表面12sであって反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の金属蓋片12Bが設けられている。
Further, as shown in FIG. 7, a large number of
この金属蓋片12Bは酸化銅片12Aによっても、なお銅めっき層15から銀めっき層12側へ銅原子が移行してきた場合、この銅原子が銀めっき層12の表面12sへ拡散することを防止するとともに、銀めっき層12の表面12sを平滑化させて銀めっき層12の反射率を高めるものである。なお、酸化銅片12Aおよび金属蓋片12Bの詳細については後述する。
This
また、図2に示すように、銅めっき層15を設けない構成も可能である。この場合、リードフレーム10は、銅または銅の合金からなる本体部11と、本体部11上に設けられた銀または銀の合金、例えば銀めっき層からなる反射用金属層12とを有している。
Moreover, as shown in FIG. 2, the structure which does not provide the
半導体装置の構成
次に、図3および図4により、図1に示すLED用リードフレームまたは基板を用いた半導体装置の一実施の形態について説明する。図3は、本発明の一実施の形態による半導体装置(SONタイプ)を示す断面図であり、図4は、本発明の一実施の形態による半導体装置を示す平面図である。
Configuration of Semiconductor Device Next, an embodiment of a semiconductor device using the LED lead frame or substrate shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a sectional view showing a semiconductor device (SON type) according to one embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view showing the semiconductor device according to one embodiment of the present invention.
図3および図4に示すように、半導体装置20は、LED用リードフレーム10と、リードフレーム10の本体部11の載置面11a上に載置されたLED素子21と、リードフレーム10とLED素子21とを電気的に接続するボンディングワイヤ(導電部)22とを備えている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
また、LED素子21を取り囲むように、凹部23aを有する外側樹脂部23が設けられている。この外側樹脂部23は、リードフレーム10と一体化されている。さらに、LED素子21とボンディングワイヤ22とは、透光性の封止樹脂部24によって封止されている。封止樹脂部24は、外側樹脂部23の凹部23a内に充填されている。以下、このような半導体装置20を構成する各構成部材について、順次説明する。
Moreover, the outer
リードフレーム10は、載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aを含む表面および裏面に設けられた中間介在層15と、中間介在層15上に設けられ、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する銀または銀の合金、例えば銀めっき層からなる反射用金属層12とを有している。中間介在層15は、銅めっき層からなり、また、リードフレーム10の表面(上面)には、リードフレーム10と外側樹脂部23との密着性を高めるための溝19が形成されている。
The
このリードフレーム10の層構成については、図1を用いて既に説明した構成と同様であるので、ここでは詳細な説明を省略するが、この場合、リードフレーム10の本体部11の表面のみに中間介在層15および反射用金属層12を設けてもよく(図1参照)、リードフレーム10の本体部11の表面および裏面に中間介在層15および反射用金属層12を設けても良い(図3参照)。リードフレーム10の層構成としては、図2に示すものを用いても良い。この場合、リードフレーム10の本体部11の表面のみに反射用金属層12を設けても良く(図2参照)、リードフレーム10の本体部11の表面および裏面に反射用金属層12を設けても良い。
Since the layer structure of the
本実施の形態において、リードフレーム10の本体部11は、LED素子21側の第1の部分25(ダイパッド)と、第1の部分25から離間した第2の部分26(リード部)とを有している。これら第1の部分25と第2の部分26との間には、外側樹脂部23が充填されており、第1の部分25と第2の部分26とは互いに電気的に絶縁されている。
In the present embodiment, the
また第1の部分25の底面に第1のアウターリード部27が形成され、第2の部分26の底面に第2のアウターリード部28が形成されている。第1のアウターリード部27および第2のアウターリード部28は、それぞれ外側樹脂部23から外方に露出している。
A first
LED素子21は、発光層として例えばGaP、GaAs、GaAlAs、GaAsP、AlInGaP、またはInGaN等の化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。このようなLED素子21としては、従来一般に用いられているものを使用することができる。
The
またLED素子21は、はんだまたはダイボンディングペーストにより、外側樹脂部23の凹部23a内において本体部11の載置面11a上(厳密には反射用金属層12上)に固定されている。なお、ダイボンディングペーストを用いる場合、耐光性のあるエポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるダイボンディングペーストを選択することが可能である。
The
ボンディングワイヤ22は、例えば金等の導電性の良い材料からなり、その一端がLED素子21の端子部21aに接続されるとともに、その他端がリードフレーム10の本体部11の第2の部分26表面上に接続されている。
The
外側樹脂部23は、例えばリードフレーム10上に熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。外側樹脂部23の形状は、射出成形またはトランスファ成形に使用する金型の設計により、様々に実現することが可能である。例えば、外側樹脂部23の全体形状を直方体、円筒形および錐形等の形状とすることが可能である。凹部23aの底面は、円形、楕円形または多角形等とすることができる。凹部23aの側壁の断面形状は、図3のように直線から構成されていても良いし、あるいは曲線から構成されていてもよい。
The
外側樹脂部23に使用される熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂については、特に耐熱性、耐候性および機械的強度の優れたものを選ぶことが望ましい。熱可塑性樹脂の種類としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルイミド等、熱硬化性樹脂の種類としてはシリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、およびポリウレタン等、を使用することができる。さらにまた、これらの樹脂中に光反射剤として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、凹部23aの底面及び側面において、LED素子21からの光の反射率を増大させ、半導体装置20全体の光取り出し効率を増大させることが可能となる。
Regarding the thermoplastic resin or thermosetting resin used for the
封止樹脂部24としては、光の取り出し効率を向上させるために、半導体装置20の発光波長において光透過率が高く、また屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。したがって耐熱性、耐候性、及び機械的強度が高い特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂を選択することが可能である。特に、LED素子21として高輝度LEDを用いる場合、封止樹脂部24が強い光にさらされるため、封止樹脂部24は高い耐候性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。
For the sealing
ところで、リードフレーム10は図1に示すように、LED素子21を載置する載置面11aを有する銅または銅合金からなる本体部11と、本体部11の載置面11aを含む表面および裏面に設けられた銀または銀の合金、例えば銀めっき層からなる反射用金属層12とを有し、本体部11と反射用金属層12との間に、銅めっき層からなる中間介在層15が介在されている。
Incidentally, as shown in FIG. 1, the
この場合、反射用金属層12と中間介在層15との間の界面L近傍であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の酸化銅片12Aが形成されている(図7参照)。
In this case, a large number of
このように反射用金属層12と中間介在層15との間の界面L近傍であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、酸化銅片12Aが形成されているため、リードフレーム10が加熱されても銅めっき層15からの銅原子が銀めっき層12側へ拡散することが防止される。
As described above, the
すなわち、後述のように、リードフレーム10に対して後工程において、ダイボンディング工程、あるいはワイヤボンディング工程が施され、このようなダイボンディング工程あるいはワイヤボンディング工程においてリードフレーム10は加熱される。
That is, as will be described later, the
このような場合、リードフレーム10の加熱時に、銅めっき層15中の銅原子が銀めっき層12側へ拡散して銀めっき層12表面に現われることも考えられる。
In such a case, it is considered that when the
ここで図8および図9により、銅めっき層15中の銅原子の加熱時の挙動を示す。図8に示す比較例のように、銀めっき層12と銅めっき層15との界面L近傍において、何らの酸化銅片が形成されていない場合、加熱時において銅めっき層15中の銅原子は結晶粒界を伝って界面Lに達する。その後銅原子は、銀めっき層12の結晶粒界を通って拡散し、銀めっき層12の表面に現れる(図9)。
Here, FIG. 8 and FIG. 9 show the behavior of copper atoms in the
ここで、銀めっき層12の厚みは2.5μm、銅めっき層15の厚みは1.0μmであり、平均結晶粒径は銀めっき層12、銅めっき層15ともに0.6μm以下となっている。また、銀めっき層12と銅めっき層15の界面近傍における断面横方向の結晶粒子の長さも、ともに0.5μm以下となっている。
Here, the thickness of the
これに対して本発明によれば、反射用金属層12と中間介在層15との界面L近傍であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の酸化銅片12Aが形成されている(図7)。図7に示す本発明において、銀めっき層12の厚みは2.5μm、銀めっき層12のうち結晶粒界12aで囲まれる結晶の平均結晶粒径は0.7〜10μmとなっている。
On the other hand, according to the present invention, a large number of copper oxide pieces are located in the vicinity of the interface L between the
また反射用金属層12に形成された酸化銅片12Aの平均粒径は、0.01〜2μmとなっている。
The average particle diameter of the
本発明によれば、銀めっき層12と銅めっき層15との界面L近傍に形成された酸化銅片12Aが銀めっき層12の結晶粒界12aを塞ぐキャップとして機能する。このためリードフレーム10の加熱時に、銅めっき層15中の銅原子は結晶粒界を伝って界面Lに達するが、界面L近傍において銀めっき層12の結晶粒界12aに対応する位置に形成された多数の酸化銅片12Aが結晶粒界12aを塞ぐキャップとして機能するため、その後銅原子が銀めっき層12中へ拡散することが防止される。
According to the present invention, the
このように、本発明によれば、使用環境下での結晶状態変化や半導体装置組立およびLED発光時のリードフレーム10の加熱時に、銅めっき層15中の銅原子が銀めっき層12中へ拡散して銀めっき層12表面に現われることが抑制される。このように銀めっき層12表面に銅が折出することが抑制されるので、銀めっき層12の反射特性(反射率)が低下することはなく、また銀めっき層12表面のはんだ濡れ性の低下およびボンディングワイヤ性の低下を防止することができる。
As described above, according to the present invention, copper atoms in the
また図7に示すように、反射用金属層(銀めっき層)12の表面12sであって反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の金属蓋片12Bが設けられている。
Further, as shown in FIG. 7, a large number of
この金属蓋片12Bは酸化銅片12Aによっても、なお銅めっき層15から銀めっき層12側へ銅原子が移行してきた場合、この銅原子が銀めっき層12の表面12sへ拡散することを防止するとともに、銀めっき層12の表面12sを平滑化させて銀めっき層12の反射率を高めるものである。
This
このような金属蓋片12Bは、インジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、あるいはインジウムの酸化物、パラジウムの酸化物、ロジウムの酸化物またはスズの酸化物からなり、金属蓋片12Bは銀めっき層12の表面12s上にめっきを施すことにより形成することができる。
The
ここで図10(a)(b)は、反射用金属層の表面近傍の状態を示す図である。 Here, FIGS. 10A and 10B are views showing a state in the vicinity of the surface of the reflective metal layer.
図10(a)(b)に示すように、銀めっき層12には結晶粒界12aが形成され、銀めっき層12の結晶粒界12a近傍には多数の結晶欠陥12fが集中している。
As shown in FIGS. 10A and 10B,
このように結晶粒界12a近傍には、多数の結晶欠陥12fが集中し、かつ外界に対して不安定となっている。このためリードフレーム10を加熱した場合、この結晶粒界12aを伝って銅めっき層15からの銅原子が銀めっき層12の表面12s側へ移行しようとする(図10(b)参照)。
Thus,
本発明によれば、銀めっき層12の表面12sのうち結晶粒界12aに対応する位置に金属蓋片12Bが形成されているため、この金属蓋片12Bが結晶粒界12aを覆うことになる。このため銀めっき層12の表面12s側へ銅原子が拡散することはない(図10(a)参照)。
According to the present invention, since the
また結晶粒界12a近傍は外界に対して不安定となるため、結晶粒界12a近傍において、銀めっき層12の銀と外界の例えば硫黄分が反応して硫化銀を形成し、これにより銀めっき層12の反射率が低下することも考えられる(図10(b)参照)。
Further, since the vicinity of the
これに対して本発明によれば、銀めっき層12の表面12sのうち結晶粒界12aに対応する位置に金属蓋片12Bが形成されているため、この銀めっき層12の結晶粒界12a近傍において硫化銀等が生成されることはない(図10(a)参照)。
On the other hand, according to the present invention, the
ところで、図7に示すように、銀めっき層12と銅めっき層15との間の界面L近傍であって銀めっき層12の結晶粒界12aに対応する位置に酸化銅片12Aを形成した例を示したが、銀めっき層12のうち界面Lから離れた結晶粒界12aに対応する位置に酸化銅片12Aを形成しても良く、この場合でも銅めっき層15側から結晶粒界12aを伝って銀めっき層12の表面12s側へ移動する銅原子の拡散を防止することができる。
By the way, as shown in FIG. 7, an example in which a
いずれにしても、各酸化銅片12Aは銀めっき層12内のうち結晶粒界12aに対応する位置に点在しており、例えば銀めっき層12と銅めっき層15との間の界面Lに膜状に形成されることはない。
In any case, the
このように界面Lに膜状に酸化銅を形成した場合、銅めっき層15に対する銀めっき層12の密着性に問題が生じるが、酸化銅片12Aを銀めっき層12内に点在させることにより、銅めっき層15に対する銀めっき層12の密着性に影響を及ぼすことはない。
Thus, when copper oxide is formed in the form of a film at the interface L, there is a problem in the adhesion of the
また、リードフレーム10が図2に示すように、銅または銅合金からなる本体部11と、本体部11上の銀または銀の合金、例えば銀めっき層からなる反射金属層12とを有する場合も、本体部11と反射金属層12との界面近傍において、反射金属層12の銀めっき層の結晶粒界12aに対応する位置に多数の酸化銅12Aが形成されている。
In addition, as shown in FIG. 2, the
このため上述と同様に、リードフレーム10が加熱されても本体部11の銅または銅合金中の銅原子が銀めっき層12側へ拡散することはない。
For this reason, as described above, even when the
ここで本明細書における「平均結晶粒径」とは、粒子を擬似的に球とみなした場合の平均結晶粒径であり、以下のように算出した。まずミクロトーム(Leica EM UC6)により切り出されたリードフレームの切断面をSEM(日本電子社製,製品名:JSM−7001F)を用いて観察し、またEBSP検出器(TSL社製,条件:傾斜70度,加速電圧15kV,印加電流10nA)を用いて結晶方位を判別し、粒界の境界を判別した。 Here, the “average crystal grain size” in this specification is an average crystal grain size when the particles are regarded as pseudo spheres, and was calculated as follows. First, the cut surface of the lead frame cut out by a microtome (Leica EM UC6) was observed using an SEM (manufactured by JEOL Ltd., product name: JSM-7001F), and an EBSP detector (manufactured by TSL, condition: tilt 70). The crystal orientation was determined using a degree, an acceleration voltage of 15 kV, and an applied current of 10 nA) to determine the boundaries of the grain boundaries.
次に、SEM像によって観察された粒子の断面に結晶粒子の中心が現れているものとみなし、当該断面を画像処理することになり、擬似的な球を定義した。そしてこの擬似的な球の大きさを基に、平均結晶粒径を測定した。 Next, it was assumed that the center of the crystal grain appeared in the cross section of the particle observed by the SEM image, and the cross section was subjected to image processing, and a pseudo sphere was defined. Based on the size of the pseudo sphere, the average crystal grain size was measured.
LED用リードフレームの製造方法
次に、図3および図4に示す半導体装置20に用いられるLED用リードフレーム10の製造方法について、図5(a)−(f)により説明する。
Manufacturing Method of LED Lead Frame Next, a manufacturing method of the
まず図5(a)に示すように、金属基板からなる本体部11を準備する。この本体部11としては、上述のように銅または銅合金からなる金属基板を使用することができる。なお本体部11は、その両面に対して脱脂等を行い洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。
First, as shown in FIG. 5A, a
次に、本体部11の表裏に感光性レジストを塗布、乾燥し、これを所望のフォトマスクを介して露光した後、現像してエッチング用レジスト層32、33を形成する(図5(b))。なお感光性レジストとしては、従来公知のものを使用することができる。
Next, a photosensitive resist is applied to the front and back surfaces of the
次に、エッチング用レジスト層32、33を耐腐蝕膜として本体部11に腐蝕液でエッチングを施す(図5(c))。腐蝕液は、使用する本体部11の材質に応じて適宜選択することができ、例えば、本体部11として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、本体部11の両面からスプレーエッチングにて行うことができる。
Next, the etching resist
次いで、エッチング用レジスト層32、33を剥離して除去する。このようにして、第1の部分(ダイパッド)25と、第1の部分25から離間した第2の部分(リード部)26とを有する本体部11が得られる(図5(d))。またこの際、ハーフエッチングにより本体部11の表面(上面)に溝19が形成される。
Next, the etching resist
次に、本体部11の表面側、裏面側および側面を含む表面全域に、中間介在層15および反射用金属層12を順次形成する(図5(e))。
Next, the
この際、本体部11の表面側、裏面側および側面を含む表面全域に電解めっきを施す。これにより本体部11上に金属(銅)を析出させて、本体部11上に銅めっき層15を形成する。銅めっき層15を形成する電解めっき用めっき液としては、シアン化銅およびシアン化カリウムを主成分とした銅めっき液を用いることができる。
At this time, electrolytic plating is performed on the entire surface including the front surface side, the back surface side, and the side surface of the
この銅めっき層15により、中間介在層が構成される。
The
さらに中間介在層15上に銀めっき層12を形成することにより、反射用金属層12を得る(図5(e))。
Furthermore, the
次に本体部11と、中間介在層15と、反射金属層12とからなるリードフレーム10に熱して熱処理を施す(図5(f))。
Next, the
この熱処理において、まずリードフレーム10を急速に加熱する。例えばリードフレーム10を炉F内の空気中(酸素含有雰囲気中)でホットプレートHにより30秒〜10分程度加熱し、リードフレーム10の温度を室温から300℃〜500℃まで上昇させる。
In this heat treatment, the
このように、リードフレーム10を空気中でホットプレートHにより急速に300℃〜500℃まで加熱することにより、空気中の酸素が銀めっき層12の結晶粒界12aを通って銀めっき層12内部まで達する。次に銀めっき層12内部へ進入した酸素は銀めっき層12と銅めっき層15との界面L近傍において、銅めっき層15からの銅と反応して多数の酸化銅片12Aを生成する。この結果として、銀めっき層12と銅めっき層15との界面L近傍の銀めっき層12内であって、銀めっき層12の結晶粒界12aに対応する位置に酸化銅片12Aが形成される。
As described above, the
その後、リードフレーム10を炉F内で焼鈍する。このことにより銀めっき層12中の銀を再結晶させ、このことにより銀めっき層中の平均結晶粒径を大きくすることができる。
Thereafter, the
その後リードフレーム10の銀めっき層12の表面12sであって銀めっき層12の結晶粒界12aに対応する位置に、インジウム、パラジウム、ロジウムまたはスズ、あるいはこれらの金属の酸化物からなる金属蓋片12Bがめっき処理により形成される。このように銀めっき層12の表面12sであって銀めっき層12の結晶粒界12aに対応する位置に金属蓋片12Bを形成することにより、銅が銀めっき層12の表面12sに拡散することを防止することができ、かつ銀めっき層12の表面12sを平滑に仕上げることができる。
Thereafter, on the surface 12s of the
上述したように、反射用金属層12は、銀または銀の合金、例えば銀めっき層からなるが、反射用金属層12をスパッタ、イオンプレーティングまたは蒸着などにより形成することができる。また反射用金属層12として、銀と金との合金、銀と白金との合金、銀とインジウムとの合金、銀とパラジウムとの合金、銀とすずとの合金を用いてもよい。
As described above, the
なお、図5(a)−(e)において、エッチングを施すことにより本体部11を所定形状とした後(図5(a)−(d))、本体部11上に中間介在層15、および反射用金属層12を形成している(図5(e))。しかしながら、これに限らず、まず本体部11上に中間介在層15、および反射用金属層12を形成し、その後、エッチングにより本体部11を所定の形状に加工してもよい。
In FIGS. 5A to 5E, the
半導体装置の製造方法
次に、図3および図4に示す半導体装置20の製造方法について、図6(a)−(g)により説明する。
Manufacturing Method of Semiconductor Device Next, a manufacturing method of the
まず、上述した工程により(図5(a)−(g))、載置面11aを有する本体部11と、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層12と、反射用金属層12と本体部11との間に設けられた中間介在層15とを備えたリードフレーム10を作製する(図6(a))。
First, by the above-described steps (FIGS. 5A to 5G), the
次に、このリードフレーム10に対して熱可塑性樹脂を射出成形またはトランスファ成形することにより、外側樹脂部23を形成する(図6(b))。これにより、外側樹脂部23とリードフレーム10とが一体に形成される。またこのとき、射出成形またはトランスファ成形に使用する金型を適宜設計することにより、外側樹脂部23に凹部23aを形成するとともに、この凹部23a底面において反射用金属層12が外方に露出するようにする。
Next, the
次に、リードフレーム10の本体部11の載置面11a上に、LED素子21を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、LED素子21を本体部11の載置面11a上(反射用金属層12上)に載置して固定する(ダイアタッチ工程)(図6(c))。
Next, the
次に、LED素子21の端子部21aと、本体部11の第2の部分26表面とを、ボンディングワイヤ22によって互いに電気的に接続する(ワイヤボンディング工程)(図6(d))。
Next, the
その後、外側樹脂部23の凹部23a内に封止樹脂部24を充填し、封止樹脂部24によりLED素子21とボンディングワイヤ22とを封止する(図6(e))。
Thereafter, the sealing
次に、各LED素子21間の外側樹脂部23をダイシングすることにより、リードフレーム10を各LED素子21毎に分離する(図6(f))。この際、まずリードフレーム10をダイシングテープ37上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード38によって、各LED素子21間の外側樹脂部23を垂直方向に切断する。
Next, the
このようにして、図3および図4に示す半導体装置20を得ることができる(図6(g))。
In this way, the
本実施の形態の作用効果
次に、本実施の形態による作用効果について説明する。本実施の形態による半導体装置20においては、上述したように、銀めっき層からなる反射用金属層12と銅または銅合金からなる本体部11との間に銅めっき層からなる中間介在層15を設けている。そして反射用金属層12と中間介在層15との間の界面L近傍の反射用金属層12内であって反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の酸化銅片12Aが形成されている。このことにより、以下のような作用効果が得られる。
Operational effects of the present embodiment Next, operational effects of the present embodiment will be described. In the
半導体装置20を製造する際、例えばダイボンディング時(図6(c))、あるいはワイヤボンディング時(図6(d))に、リードフレーム10に対して熱が加えられる場合がある。具体的には、ダイボンディング時には、例えばはんだ接合の場合に300℃〜400℃程度の熱が加えられる場合があり、例えばペースト接続の場合に150℃〜200℃程度の熱が加えられる場合があり、ワイヤボンディング時には、例えば150℃〜250℃程度の熱が加えられる場合がある。
When manufacturing the
このようにリードフレーム10に対して加熱されても、上述のように銀めっき層からなる反射用金属層12と銅めっき層からなる中間介在層15との間の界面L近傍の反射用金属層12内であって、反射用金属層12の結晶粒界12aに対応する位置に、多数の酸化銅片12Aが形成されている。このため、酸化銅片12Aが結晶粒界12aを塞ぐキャップとして機能するので、中間介在層15からの銅原子が反射用金属層12中へ拡散してその表面に現われることはない。
Thus, even when the
このため銀めっき層からなる反射用金属層12の反射特性(反射率)が低下することはない。
For this reason, the reflection characteristic (reflectance) of the
また、中間介在層15からの銅(Cu)が、反射用金属層12の表面へ拡散することが防止されるので、銅(Cu)の拡散によって反射用金属層12の表面のはんだ濡れ性やボンディング性が低下することを防止することができる。
Moreover, since copper (Cu) from the
変形例
以下、本実施の形態による半導体装置の各変形例について、図11乃至図16を参照して説明する。図11乃至図16において、図3および図4に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
Modifications Each modification of the semiconductor device according to the present embodiment will be described below with reference to FIGS. 11 to 16, the same parts as those in the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
(変形例1)
図11は、半導体装置の変形例1(SONタイプ)を示す断面図である。図11に示す実施の形態は、導電部としてはんだボールまたは金バンプ41a、41bを用いる点が異なるものであり、他の構成は上述した図3および図4に示す実施の形態と略同一である。
(Modification 1)
FIG. 11 is a cross-sectional view showing Modification 1 (SON type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 11 is different in that solder balls or
図11に示す半導体装置40(変形例1)において、リードフレーム10の本体部11の載置面11a(反射用金属層12)上に、LED素子21が載置されている。この場合、LED素子21は、本体部11の第1の部分25(ダイパッド)と第2の部分26(リード部)とに跨って載置されている。
In the semiconductor device 40 (Modification 1) shown in FIG. 11, the
またLED素子21は、ボンディングワイヤ22に代えて、はんだボールまたは金バンプ(導電部)41a、41bによってリードフレーム10の反射用金属層12に接続されている(フリップチップ方式)。なお、図11に示すように、はんだボールまたは金バンプ41a、41bのうち、一方のはんだボールまたは金バンプ41aは第1の部分25に接続され、他方のはんだボールまたは金バンプ41bは第2の部分26に接続されている。
The
(変形例2)
図12は、半導体装置の変形例2(LGAタイプ)を示す断面図である。図12に示す実施の形態は、基板10の構成等が図3および図4に示す実施の形態と異なるものである。
(Modification 2)
FIG. 12 is a cross-sectional view showing Modification 2 (LGA type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 12 is different from the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 in the configuration of the
図12に示す半導体装置50(変形例2)において、基板10は、LED素子21を載置する載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aを含む全面に設けられLED素子21からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層12とを有している。
In the semiconductor device 50 (Modification 2) shown in FIG. 12, the
反射用金属層12と本体部11との間には、中間介在層15が設けられている。
An
本体部11は、LED素子21が載置される第1の部分(ダイパッド)51と、第1の部分51から離間した第2の部分(端子部)52とを有している。これら第1の部分51と第2の部分52との間には封止樹脂部24が充填されており、第1の部分51と第2の部分52とは互いに電気的に絶縁されている。
The
また第1の部分51の底面に第1の外部端子53が設けられ、第2の部分52の底面に第2の外部端子54が設けられている。第1の外部端子53および第2の外部端子54は、それぞれ封止樹脂部24から外方に露出している。なお図12において、本体部11は、1つのめっき層または複数のめっき層を積層した構成からなっていても良い。
A first
この場合、LED素子21は、第1の部分51において本体部11の載置面11a上に載置されている。また基板10の第2の部分52とLED素子21とは、ボンディングワイヤ(導電部)22によって電気的に接続されている。すなわちボンディングワイヤ22の一端がLED素子21の端子部21aに接続され、ボンディングワイヤ22の他端が第2の部分52の表面上に接続されている。
In this case, the
他方、透光性の封止樹脂部24は、基板10の上側部分、LED素子21、およびボンディングワイヤ22を封止している。
On the other hand, the translucent
なお図12において外側樹脂部23は設けられていないが、これに限られるものではなく、図3および図4と同様にLED素子21を取り囲むように外側樹脂部23を設けても良い。
In FIG. 12, the
(変形例3)
図13は、半導体装置の変形例3(PLCCタイプ)を示す断面図である。図13に示す実施の形態は、リードフレーム10の構成が図3および図4に示す実施の形態と異なるものである。
(Modification 3)
FIG. 13 is a cross-sectional view showing Modification 3 (PLCC type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 13 is different from the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 in the configuration of the
図13に示す半導体装置60(変形例3)において、リードフレーム10は、LED素子21を載置する載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aを含む全面に設けられ、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層12とを有している。
In the semiconductor device 60 (Modification 3) shown in FIG. 13, the
反射用金属層12と本体部11との間には、中間介在層15が設けられている。
An
本体部11は、LED素子21が載置される第1の部分(ダイパッド)61と、第1の部分61から離間した第2の部分(端子部)62および第3の部分(端子部)63とを有している。これら第1の部分61と第2の部分62の間、および第1の部分61と第3の部分63の間には、それぞれ外側樹脂部23が充填されている。これにより、第1の部分61と第2の部分62とは互いに電気的に絶縁され、かつ第1の部分61と第3の部分63とは互いに電気的に絶縁されている。
The
また第2の部分62および第3の部分63は、それぞれ断面略J字状に湾曲されている。さらに第2の部分62の端部には第1のアウターリード部64が形成され、第3の部分63の端部には第2のアウターリード部65が形成されている。これら第1のアウターリード部64および第2のアウターリード部65は、それぞれ外側樹脂部23から外方に露出している。
The
この場合、LED素子21は、第1の部分61において本体部11の載置面11a上に載置されている。またLED素子21は、リードフレーム10の本体部11の第2の部分62および第3の部分63に、それぞれボンディングワイヤ(導電部)22を介して電気的に接続されている。
In this case, the
(変形例4)
図14は、半導体装置の変形例4(基板タイプ)を示す断面図である。図14に示す実施の形態は、基板10が非導電性基板74上に配置されている点等が図3および図4に示す実施の形態と異なるものである。
(Modification 4)
FIG. 14 is a cross-sectional view showing Modification 4 (substrate type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 14 is different from the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 in that the
図14に示す半導体装置70(変形例4)において、基板10は、LED素子21を載置する載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aを含む全面に設けられ、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層12とを有している。
In the semiconductor device 70 (Modification 4) shown in FIG. 14, the
反射用金属層12と本体部11との間には、中間介在層15が設けられている。
An
本体部11は、第1の部分71と、この第1の部分71から離間した第2の部分72とを有している。これら第1の部分71と第2の部分72との間には封止樹脂部24が充填されており、第1の部分71と第2の部分72とは互いに電気的に絶縁されている。
The
この場合、LED素子21は、第1の部分71と第2の部分72とに跨って載置されている。またLED素子21は、ボンディングワイヤ22に代えて、はんだボール(導電部)73a、73bによって基板10の反射用金属層12に接続されている(フリップチップ方式)。
In this case, the
なお図14に示すように、はんだボール73a、73bのうち、はんだボール73aは第1の部分71に接続され、はんだボール73bは第2の部分72に接続されている。
As shown in FIG. 14, among the
ところで図14において、基板10は非導電性基板74上に配置されている。非導電性基板74は、有機基板であっても無機基板であってもよい。有機基板としては、例えば、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリアミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、フッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリノルボルネン系樹脂、ポリサルホン、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、又は熱可塑性ポリイミド等からなる有機基板、又はそれらの複合基板を挙げることができる。また、無機基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、セラミックス基板等を挙げることができる。
Incidentally, in FIG. 14, the
非導電性基板74には複数のスルーホール75が形成されている。また各スルーホール75内にはそれぞれ導電性物質76が充填されている。そして本体部11の第1の部分71および第2の部分72は、それぞれ各スルーホール75内の導電性物質76を介して、第1の外部端子77および第2の外部端子78に電気的に接続されている。なお、導電性物質76としては、めっきによりスルーホール75内に形成された銅等の導電性金属、あるいは銅粒子、銀粒子等の導電性粒子を含有した導電性ペースト等が挙げられる。
A plurality of through
なお図14において外側樹脂部23は設けられていないが、これに限られるものではなく、図3および図4に示す実施の形態と同様に、LED素子21を取り囲むように外側樹脂部23を設けても良い。
In FIG. 14, the
(変形例5)
図15は、半導体装置の変形例5(モジュールタイプ)を示す断面図である。図15に示す実施の形態は、1つの非導電性基板74上に複数の基板10を配置した点が異なるものであり、他の構成は上述した図15に示す実施の形態(変形例4)と略同一である。
(Modification 5)
FIG. 15 is a cross-sectional view showing Modification 5 (module type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 15 is different in that a plurality of
図15に示す半導体装置80(変形例5)において、1つの非導電性基板74上に複数の基板10が配置されている。各基板10は、LED素子21を載置する載置面11aを有する本体部11と、本体部11の載置面11aを含む全面に設けられ、LED素子21からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層12とを有している。
In the semiconductor device 80 (Modification 5) shown in FIG. 15, a plurality of
このほか、図15において、図14に示す実施の形態(変形例4)と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。 In addition, in FIG. 15, the same parts as those of the embodiment (Modification 4) shown in FIG. 14 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
(変形例6)
図16は、半導体装置の変形例6(SONタイプ)を示す断面図である。図16に示す実施の形態は、本体部11の第1の部分(ダイパッド)91の周囲に、2つのリード部(第2の部分92および第3の部分93)が設けられている点が異なるものであり、他の構成は上述した図3および図4に示す実施の形態と略同一である。
(Modification 6)
FIG. 16 is a cross-sectional view showing Modification 6 (SON type) of the semiconductor device. The embodiment shown in FIG. 16 is different in that two lead portions (
すなわち図16に示す半導体装置90(変形例6)において、本体部11は、LED素子21を載置する第1の部分(ダイパッド)91と、第1の部分(ダイパッド)91の周囲であって、第1の部分91を挟んで互いに対向する位置に設けられた、一対のリード部(第2の部分92および第3の部分93)とを有している。
That is, in the semiconductor device 90 (Modification 6) shown in FIG. 16, the
図16において、LED素子21は一対の端子部21aを有しており、この一対の端子部21aは、それぞれボンディングワイヤ22を介して、第2の部分92および第3の部分93に接続されている。
In FIG. 16, the
以上説明した変形例1乃至6による半導体装置40、50、60、70、80、90(図11乃至図16)においても、図3および図4に示す半導体装置20と略同一の作用効果を得ることができる。
Also in the
10 LED用リードフレームまたは基板
11 本体部
12 反射用金属層
12A 酸化銅片
12B 金属蓋片
12a 結晶粒界
15 中間介在層
20、40、50、60、70、80、90 半導体装置
21 LED素子
22 ボンディングワイヤ(導電部)
23 外側樹脂部
24 封止樹脂部
L 界面
H ホットプレート
F 炉
DESCRIPTION OF
23
Claims (24)
LED素子を載置する載置面を有する本体部と、
本体部の載置面に設けられ、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
反射用金属層と本体部との間に、銅または銅合金からなる中間介在層を設け、
反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板。 In an LED lead frame or substrate on which an LED element is placed,
A main body having a mounting surface for mounting the LED element;
A reflective metal layer provided on the mounting surface of the main body and functioning as a reflective layer for reflecting the light from the LED element;
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
An intermediate intervening layer made of copper or a copper alloy is provided between the reflective metal layer and the main body,
A copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the intermediate intervening layer from diffusing to the surface of the reflective metal layer. An LED lead frame or substrate.
LED素子を載置する載置面を有する本体部と、
本体部の載置面に設けられ、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面へ拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板。 In an LED lead frame or substrate on which an LED element is placed,
A main body having a mounting surface for mounting the LED element;
A reflective metal layer provided on the mounting surface of the main body and functioning as a reflective layer for reflecting the light from the LED element;
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
A copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the main body from diffusing to the surface of the reflective metal layer. An LED lead frame or substrate.
リードフレームまたは基板の本体部の載置面上に載置されたLED素子と、
リードフレームまたは基板とLED素子とを電気的に接続する導電部と、
LED素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、
LED用リードフレームまたは基板の本体部の載置面に、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層を設け、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
反射用金属層と本体部との間に、銅または銅合金からなる中間介在層を設け、
反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置。 An LED lead frame or substrate having a main body including a mounting surface on which the LED element is mounted;
LED elements mounted on the mounting surface of the main body of the lead frame or the substrate,
A conductive portion that electrically connects the lead frame or substrate and the LED element;
A sealing resin portion that seals the LED element and the conductive portion;
A reflective metal layer that functions as a reflective layer for reflecting light from the LED element is provided on the mounting surface of the LED lead frame or the main body of the substrate,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
An intermediate intervening layer made of copper or a copper alloy is provided between the reflective metal layer and the main body,
A copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the intermediate intervening layer from diffusing to the surface of the reflective metal layer. A semiconductor device.
リードフレームまたは基板の本体部の載置面上に載置されたLED素子と、
リードフレームまたは基板とLED素子とを電気的に接続する導電部と、
LED素子と導電部とを封止する封止樹脂部とを備え、
LED用リードフレームまたは基板の本体部の載置面に、LED素子からの光を反射するための反射層として機能する反射用金属層を設け、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面へ拡散することを防止することを特徴とする半導体装置。 An LED lead frame or substrate having a main body including a mounting surface on which the LED element is mounted;
LED elements mounted on the mounting surface of the main body of the lead frame or the substrate,
A conductive portion that electrically connects the lead frame or substrate and the LED element;
A sealing resin portion that seals the LED element and the conductive portion;
A reflective metal layer that functions as a reflective layer for reflecting light from the LED element is provided on the mounting surface of the LED lead frame or the main body of the substrate,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
A copper oxide piece is formed in the reflective metal layer at a position corresponding to the crystal grain boundary of the reflective metal layer, thereby preventing copper from the main body from diffusing to the surface of the reflective metal layer. A semiconductor device.
LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、
本体部上に、中間介在層を形成する工程と、
中間介在層上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
中間介在層は、銅または銅合金を含み、
本体部と、中間介在層と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法。 In the LED lead frame or substrate manufacturing method for manufacturing the LED lead frame or substrate on which the LED element is placed,
Preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element;
Forming an intermediate intervening layer on the main body;
Forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the intermediate intervening layer,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
The intermediate intervening layer includes copper or a copper alloy,
By heat-treating the main body, the intermediate intermediate layer, and the reflective metal layer, copper oxide pieces are formed at positions in the reflective metal layer corresponding to the crystal grain boundaries of the reflective metal layer. A method of manufacturing a lead frame or substrate for an LED, wherein copper from the intermediate intervening layer is prevented from diffusing to the surface of the reflective metal layer.
LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、
本体部上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
本体部と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とするLED用リードフレームまたは基板の製造方法。 In the LED lead frame or substrate manufacturing method for manufacturing the LED lead frame or substrate on which the LED element is placed,
Preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element;
Forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the main body,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
By heat-treating the main body and the reflective metal layer, copper oxide pieces are formed in the reflective metal layer at positions corresponding to the crystal grain boundaries of the reflective metal layer, whereby the copper from the main body is formed. Is prevented from diffusing to the surface of the reflective metal layer. A method for manufacturing an LED lead frame or substrate.
LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、
本体部上に、中間介在層を形成する工程と、
中間介在層上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程と、
本体部の載置面上にLED素子を載置し、LED素子と本体部とを導電部によって接続する工程と、
LED素子と導電部とを透光性の封止樹脂部で封止する工程とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
中間介在層は、銅または銅合金を含み、
本体部の載置面上にLED素子を載置する前に、本体部と、中間介在層と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより中間介在層からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置の製造方法。 In a method for manufacturing a semiconductor device,
Preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element;
Forming an intermediate intervening layer on the main body;
Forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the intermediate intervening layer;
Placing the LED element on the mounting surface of the main body, and connecting the LED element and the main body with the conductive portion;
A step of sealing the LED element and the conductive portion with a translucent sealing resin portion,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
The intermediate intervening layer includes copper or a copper alloy,
Before mounting the LED element on the mounting surface of the main body, the main body, the intermediate intervening layer, and the reflective metal layer are heat-treated, so that the crystal of the reflective metal layer in the reflective metal layer. A method of manufacturing a semiconductor device, wherein a copper oxide piece is formed at a position corresponding to a grain boundary, thereby preventing copper from an intermediate intervening layer from diffusing to the surface of a reflective metal layer.
LED素子を載置する載置面を有する本体部を準備する工程と、
本体部上に、反射層として機能する反射用金属層を形成する工程と、
本体部の載置面上にLED素子を載置し、LED素子と本体部とを導電部によって接続する工程と、
LED素子と導電部とを透光性の封止樹脂部で封止する工程とを備え、
反射用金属層は、銀または銀の合金を含み、
本体部は、銅または銅合金を含み、
本体部の載置面上にLED素子を載置する前に、本体部と、反射用金属層を熱処理することにより、反射用金属層内であって反射用金属層の結晶粒界に対応する位置に、酸化銅片を形成し、これにより本体部からの銅が反射用金属層の表面に拡散することを防止することを特徴とする半導体装置の製造方法。 In a method for manufacturing a semiconductor device,
Preparing a main body having a mounting surface for mounting the LED element;
Forming a reflective metal layer functioning as a reflective layer on the main body;
Placing the LED element on the mounting surface of the main body, and connecting the LED element and the main body with the conductive portion;
A step of sealing the LED element and the conductive portion with a translucent sealing resin portion,
The reflective metal layer comprises silver or a silver alloy;
The main body includes copper or a copper alloy,
Before mounting the LED element on the mounting surface of the main body, the main body and the reflective metal layer are heat-treated to correspond to the crystal grain boundaries in the reflective metal layer within the reflective metal layer. A method of manufacturing a semiconductor device, wherein a copper oxide piece is formed at a position, thereby preventing copper from a main body from diffusing to the surface of a reflective metal layer.
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