JP2013506309A - 3次元マイクロ構造体を有する熱電エネルギ変換器、該エネルギ変換器を製造する方法および該エネルギ変換器の使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a) テンプレート材料を有するテンプレートを準備するステップ、ただしこのテンプレートは、上記の熱電エネルギ変換器のマイクロ構造体と実質的に逆の、ピラー状のテンプレート空所を有する3次元テンプレート構造体を有しており、
b) 上記のピラー状の空所にマイクロピラー材料を配置して、マイクロピラーを生じさせるステップと、
c) 上記のテンプレート材料を少なくとも部分的に除去するステップとを有する。
d) 複数のマイクロピラー材料のうちの少なくとも1つの出発材料を上記の空所に入れるステップと、
e) 上記のマイクロピラー材料の出発材料をマイクロピラー材料に変化させるステップとを有する。
− 上記の3次元マイクロ構造体により、単位面積当たりに多くの個数の熱電対が可能である。
− 単位面積当たりの熱電対の個数が多いことにより、高い空間分解能を有する、熱エネルギ用のセンサが得られる。
− 本発明により、ラテラル方向に延在するセンサ面を有する熱電エネルギ変換器を作製することできる。すなわち、ここでは分解能が高くかつ面積の大きな熱検出器が可能になる。
− (マイクロメートルの数分の1の範囲までの)極端に細くかつ(数ミリメートルの範囲までの)極めて長いマイクロピラーにより、高い感度が得られる。
− このマイクロ構造体は、自立式のマイクロピラーを有する。したがってマイクロ構造体を支持するためのサポート面は必要ないのである。
− 殊に保護ガスまたは真空を使用した場合、隣接するピクセル間で熱伝達が少ない。これにより、付加的に感度が高くなり、また空間分解能が高くなる。
− 上記のマイクロピラーは、あらかじめ定めたようにかつ再現可能に形成することができる。
− プロセス技術が簡単であることにより、テンプレート空所を充填するため、マイクロピラー材料に対して極めて多くの材料選択肢がある。
− フリップチップ技術によってマイクロ構造支持体に接続される集積化読み出しないしは駆動制御電子回路を有する回路支持体を使用する場合、マイクロ構造体によって決まる表面積よりもあまり大きくない、全体熱電エネルギ変換器のラテラル方向サイズが得られる。熱電エネルギ変換器の厚さは、マイクロ構造支持体に配置されるマイクロ構造体および回路支持体によって決まる。すなわち、エネルギ変換器の厚さは、積層される2つのチップの厚さに相応するのである。
a) テンプレート材料を有するテンプレートを準備するステップ。ただしこのテンプレートは、上記の熱電エネルギ変換器のマイクロ構造体とは実質的に逆の、ピラー状のテンプレート空所を有する3次テンプレート構造体を有する。
b) 上記のピラー状の空所にマイクロピラー材料を入れて、マイクロピラーを生じさせるステップ。
c) 上記のテンプレート材料を少なくとも部分的に除去するステップを有する(図3)。
上記のマイクロピラー材料を配置するため、以下に示す別の方法ステップを実行する。すなわち、
d) 上記のマイクロピラー材料のうちの少なくとも1つの出発材料を上記の空所に入れるステップと、
e) 上記のマイクロピラー材料の出発材料をマイクロピラー材料に変化させるステップとを有する。
パッシベーションおよびPAECEプロセスの後、上記の熱電対の「低温のコンタクト151」が形成される(図5Aおよび5B)。
実施例2(図6Aおよび6B)のステップ601ないし606および608と、実施例1の相応するステップ501ないし506および508とは同じである。実施例1とは異なり、第1マイクロピラーを配置した後、ステップ6021においてフレーム503を載置する。これらのフレームにより、まだ充填されていないテンプレート空所の一部が覆われる。これらのテンプレート空所は、この方法の後続の過程において空いたままにされる。すなわち充填されないのである。
上の実施例とは異なり、熱電対の第1マイクロピラーおよび第2マイクロピラーは並んで配置されるのではなく、上下に配置されて、全体マイクロピラー長手方向長さ131を有する全体マイクロピラー13になる(図9)。全体マイクロピラー直径は、第1マイクロピラーおよび第2マイクロピラーのマイクロピラー直径に等しい。この熱電エネルギ変換器は、多数のこのような全体マイクロピラーを有する。
Claims (23)
- 少なくとも1つの自立式3次元マイクロ構造体(10)を有しかつ少なくとも1つの熱電対によって熱エネルギおよび電気エネルギを相互に変換する熱電エネルギ変換器(1)において、
該熱電エネルギ変換器は、
− 第1マイクロピラー長手方向長さ(111)と、第1マイクロピラー直径(112)と、第1熱電能を備えた少なくとも1つの第1マイクロピラー材料(110)とを有する少なくとも1つの第1マイクロピラー(11)と、
− 第2マイクロピラー長手方向長さ(121)と、第2マイクロピラー直径(122)と、前記第1マイクロピラー材料とは異なる第2熱電能を備えた少なくとも1つの第2マイクロピラー材料(120)とを有する少なくとも1つの第2マイクロピラー(12)とを有しており、
− 前記マイクロピラーは、長手方向長さ(111,121)が実質的に互いに平行に配置されており、
− 前記マイクロピラー直径(112,122)は、0.1μmないし200μmの範囲から選択されており、
− 前記マイクロピラー(11,12)はそれぞれ、20ないし1000の範囲のアスペクト比を有しており、
− 前記マイクロピラーは、熱電対(15)として熱電圧を形成するために互いに結合されている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器(1)。 - 請求項1に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記第1マイクロピラー材料および/または前記第2マイクロピラー材料は、ビスマス、アンチモン、テルルおよび鉛のグループならびこれらの化合物から選択される、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1または2に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロピラー直径は、0.3μmないし200μmの範囲から選択される、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロピラーは、上下に重なって接して配置されて、全体長手方向(131)を有する全体マイクロピラー(13)を構成する、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロピラーのうちの少なくとも1つのマイクロピラー長手方向長さ、または前記全体マイクロピラーの全体マイクロピラー長手方向長さは、50μmないし10mmの範囲から、殊に100μmないし1mmの範囲から選択される、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から5までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロピラーは、前記マイクロピラー間にマイクロピラー中間空間(14)が得られるように互いに並べて配置されており、ただし当該マイクロピラー中間空間は、前記マイクロピラー間で0.3μmないし100μmの範囲から選択されたマイクロピラー間隔(141)を有する、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から6までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
隣接する前記マイクロピラー間のマイクロピラー中間空間に、前記マイクロピラーを互いに熱的にデカップリングする少なくとも1つの手段(142)が配置されている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項7に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記熱的にデカップリングする手段は、10-2mbar未満の気圧を有する真空である、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から8までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロ構造体は、熱エネルギを前記熱電対に入力結合するため、および/または前記熱電対から熱エネルギを出力結合するための少なくとも1つの熱結合装置(17)を有する、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項9に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記熱結合装置は、熱吸収ビーム(18)の形態の熱エネルギを吸収するため、および/または熱放射ビームの形態の熱エネルギを放射するための熱機能層(171)を有する、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から10までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロ構造体は、マイクロ構造支持体(16)に配置されている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記熱電対の熱電圧を読み出す読み出し装置(191)、および/または駆動制御電圧によって前記熱電対を駆動制御する駆動制御装置が設けられている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項12に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記読み出し装置および/または前記駆動制御装置は、前記マイクロ構造体のマイクロ構造支持体に組み込まれている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項12または13に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記読み出し装置および/または前記駆動制御装置は、前記マイクロ構造支持体とは異なる回路支持体(19)に組み込まれている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項14に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロ構造支持体および前記回路支持体は、フリップチップ技術によって互いに接続されている、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から15までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器において、
前記マイクロ構造体は、複数の熱電対を有しておりかつ複数の当該熱電対は互いに直列に接続されており、当該熱電対の熱電圧の総和により、実質的に複数の前記熱電対の全体熱電圧が得られる、ことを特徴とする熱電エネルギ変換器。 - 請求項1から16までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器を製造する方法において、
該方法は、
a) テンプレート材料(201)を有するテンプレート(20)を準備するステップと、ただし該テンプレートは、前記熱電エネルギ変換器のマイクロ構造体と実質的に逆の、ピラー状のテンプレート空所(203)を有する3次元テンプレート構造体(202)を有しており、
b) 前記ピラー状の空所に前記マイクロピラー材料を配置して前記マイクロピラーを生じさせるステップと、
c) 前記テンプレート材料を少なくとも部分的に除去するステップとを有する、ことを特徴とする、熱電エネルギ変換器を製造する方法。 - 請求項17に記載の方法において、
前記マイクロピラー材料を配置するためにさらにつぎの方法ステップを実行する、すなわち、
d) 前記マイクロ構造体材料のうちの少なくとも1つの出発材料を前記空所に入れるステップと、
e) 前記マイクロ構造体材料の出発材料を前記マイクロ構造体材料に変化させるステップとを有する、ことを特徴とする方法。 - 請求項17または18に記載の方法において、
シリコンを有するテンプレートをテンプレート材料として使用する、ことを特徴とする方法。 - 請求項17から19までのいずれか1項に記載の方法において、
支持体材料を備えたマイクロ構造支持体を有するテンプレートをマイクロ構造体に使用する、ことを特徴とする方法。 - 熱エネルギおよび電気エネルギを互いに変換するために、請求項1から16までのいずれか1項に記載の熱電エネルギ変換器を使用する方法において、
前記熱電対における前記熱エネルギにより、前記熱電圧を形成して電気エネルギに変換するか、または前記熱電対を電気的に駆動制御することによって電気エネルギを熱エネルギに変換する、ことを特徴とする、熱電エネルギ変換器を使用する方法。 - 請求項21に記載の使用方法において、
前記熱エネルギから得られた前記電気エネルギを使用して、前記熱エネルギを検出する、ことを特徴とする使用方法。 - 請求項22に記載の使用方法において、
熱吸収ビーム(18)の形態の熱エネルギを使用する、ことを特徴とする使用方法。
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