JP2013502729A - キャラクタプロジェクションリソグラフィを用いて可変倍率で表面を製造するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2009年8月21日に出願された「キャラクタプロジェクションリソグラフィを用いて可変サイズのパターンを有する表面を製造するための方法および装置(Method and System For Manufacturing a Surface Having Variable Sized Patterns Using Character Projection Lithography)」と題された米国仮特許出願連続番号第61/236,050号に基づく優先権を主張し、この米国仮特許出願連続番号第61/236,050号はすべての目的で引用によって本明細書に援用される。
本発明はリソグラフィに関し、特に、荷電粒子ビーム書込装置の設計、およびレチクル、ウェハ、またはいずれかの他の表面であり得る表面を製造するための荷電粒子ビーム書込装置の使用方法に関する。
ショット毎に倍率を変更可能な可変倍率縮小レンズを含む、キャラクタプロジェクション荷電粒子ビーム書込装置が開示される。
本発明の改良点および利点は、ショット毎に縮小が調整可能な荷電粒子ビーム書込装置を使用することよって、ならびにショットごとの倍率を含むショットリストを作成および使用することによって達成可能である。
Claims (16)
- 荷電粒子ビームリソグラフィのための装置であって、
ショットのセットを読出す入力装置であって、前記ショットのセットの中の各ショットは倍率を有する入力装置と、
キャラクタパターンを含むキャラクタプロジェクション(CP)ステンシルと、
前記パターンを表面上に書込む際に前記ステンシルのキャラクタパターンの倍率変更を導入する縮小レンズであって、前記倍率はショット毎に異なり得る縮小レンズとを備える、装置。 - 前記縮小レンズの1つの軸上の前記倍率変更は、前記縮小レンズの異なる軸上の前記倍率変更とは異なり得る、請求項1に記載の装置。
- 前記縮小レンズは複数の倍率に較正され得る、請求項1に記載の装置。
- 2つの較正倍率同士の間の倍率で書込む際に補間法が用いられる、請求項3に記載の装置。
- フラクチャリングまたはマスクデータ準備(MDP)または光学近接効果補正(OPC)のための方法であって、
表面上に形成すべきパターンを入力するステップと、
前記パターンを形成するためのキャラクタプロジェクションのキャラクタのショットのセットを決定するステップとを備え、前記ショットのセットの中の複数のショットについての倍率変更が計算され、前記方法はさらに、
前記複数のショットについての前記倍率変更の情報を出力するステップを備える、方法。 - 前記倍率変更は異なる軸について別個に割当てられ得る、請求項5に記載の方法。
- 前記ショットのセットの中の各ショットの線量を決定するステップをさらに備える、請求項5に記載の方法。
- 前記ショットのセットの中の各ショットについての前記倍率変更が計算される、請求項5に記載の方法。
- 表面上にパターンを形成するための方法であって、
前記表面上に前記パターンを形成するためのステンシルマスクを有する荷電粒子ビーム書込装置を用いるステップと、
各ショットが倍率変更を有するショットのセットを入力するステップと、
ショット毎に前記荷電粒子ビーム書込装置の前記倍率を変更するステップとを備える、方法。 - 前記荷電粒子ビーム書込装置の1つの軸に沿った前記倍率変更は、前記荷電粒子ビーム書込装置の異なる軸に沿った前記倍率変更とは異なり得る、請求項9に記載の方法。
- 前記ショットのセットの中の各ショットはショット線量をさらに含む、請求項9に記載の方法。
- レチクルを使用する光リソグラフィプロセスを用いて集積回路を製造するための方法であって、
前記レチクル上にパターンを形成するためのステンシルマスクを有する荷電粒子ビーム書込装置を用いるステップと、
各ショットが倍率変更を有する、前記レチクル上に前記パターンを形成するために用いるべきショットのセットを入力するステップと、
ショット毎に前記荷電粒子ビーム書込装置の前記倍率を変更するステップとを備える、方法。 - 前記荷電粒子ビーム書込装置の1つの軸に沿った前記倍率変更は、前記荷電粒子ビーム書込装置の異なる軸に沿った前記倍率変更とは異なり得る、請求項12に記載の方法。
- 前記ショットのセットの中の各ショットはショット線量をさらに含む、請求項12に記載の方法。
- 表面を有する集積回路を製造するための方法であって、
前記表面上にパターンを形成するためのステンシルマスクを有する荷電粒子ビーム書込装置を用いるステップと、
各ショットが倍率変更を有する、前記表面上に前記パターンを形成するために用いるべきショットのセットを入力するステップと、
ショット毎に前記荷電粒子ビーム書込装置の前記倍率を変更するステップとを備える、方法。 - 前記荷電粒子ビーム書込装置の1つの軸に沿った前記倍率変更は、前記荷電粒子ビーム書込装置の異なる軸に沿った前記倍率変更とは異なり得る、請求項15に記載の方法。
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