JP2013255310A - 振動波駆動装置、撮像装置、及びそれらの駆動方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、振動波駆動装置が長時間駆動されない場合や、高温高湿度状態において、性能や信頼性を犠牲にすることなく、振動体と被駆動体の間の保持力を所定の値以上に維持することが可能な振動波駆動装置とその駆動方法、および撮像装置とその駆動方法振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】 電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、前記振動体に加圧接触され、第１摩擦部を有する被駆動体と、第２摩擦部とを備え、前記第２摩擦部は前記第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さく、前記被駆動体と前記振動体が相対移動する時は、前記第１摩擦部と前記振動体とが接触し、前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記振動体とが接触するように相対移動する振動型駆動装置を提供する。
【選択図】 図２

Description

本発明は振動波駆動装置、撮像装置、及びそれらの駆動方法に関する。

被駆動体を回転させる回転型超音波モータを内蔵したオートフォーカス用のレンズ鏡筒の例として特許文献１に示すレンズ鏡筒がある。この構成を図７に示す。同図において、１は本レンズ鏡筒をカメラ本体へ着脱するためのマウント、２７はマウントの内径側に取付けられた裏蓋である。３０は該マウント１に取付き、フォーカスレンズ５をささえる案内筒３につながる構造部品であると共に、本レンズ鏡筒の外観にもなっている固定筒であり、４は該フォーカスレンズ５を保持するフォーカスレンズ鏡筒である。３は該固定筒及びモータユニット本体３１とビス等で固定され、かつ内周側において該フォーカスレンズ鏡筒４を摺動可能な状態で保持している案内筒であり、フォーカスレンズ繰出し用のカム３ａを有する。該フォーカスレンズ鏡筒外周面より放射方向に取付けられた数個のコロ６の外周面と該カム３ａの端面とは、摺動可能に保持されている。３１はモータユニット本体であり、該固定筒３０及び該案内筒３とビス等により固着されている。９〜１９はモータユニットの構成部品である。

１２は環状に形成された振動体であり、１３は振動体１２に加圧接触する被駆動体で、該振動体１２の振動により光軸回りに回転する。１１は該振動体１２の振動を外部に伝達しない吸振材、１０はサラバネ、９は加圧調整リング、１４は被駆動体１３の振動を吸収する吸振材である。１５は連絡環で、該被駆動体１３と吸振材１４を支えているが、反対側の端面で少なくとも３つのコロ１７の外周面と接触している。コロ１７は、コロリング１６に、光軸に直角な平面上の、光軸との交点を通る軸中心に回転可能に支持され、ワッシャ１８により回転軸方向の移動を規制されている。コロリング１６は内周側で該モータユニット本体３１に嵌合している。１９はマニュアル入力リングであり、該モータユニット本体３１に光軸を中心に回転可能に支持され、かつ該複数のコロ１７の外周面に当接されている。

また、マニュアル入力リング１９の外周部には凹凸部１９ａが形成され、マニュアルリング３２の内周側の凹凸部３２ａとかみ合い、一体で回転する。マニュアルリング３２は固定筒３０とモータユニット本体３１と係合し、光軸中心に回転可能に支持されている。７はフォーカスキーであり、一端を該コロリング１６に固定され、モータユニット本体３１の開口部３１ａを通って、コロ６の光軸まわりの回転方向規制を行なっている。２８は本レンズ鏡筒の電気回路基板であり、モータ等の制御も行う。

次に、動作についての概略を説明する。まず、振動体１２が電力を供給され振動すると、被駆動体１３、吸振材１４、連絡環１５が一体で光軸中心に回転する。すると、連絡環１５に接しているコロ１７が取付軸中心に回転しようとする力が働く。マニュアル入力リング１９はモータユニット本体３１の端面と摩擦力により保持されているため、コロ１７はマニュアル入力リング１９の端面上をころがり接触で動き、コロ１７を軸支持しているコロリング１６が光軸中心に回転する。その回転量は該被駆動体１３の回転量の１／２倍となる。コロリング１６の回転量をフォーカスキー７により、コロ６を介してフォーカスレンズ５及びフォーカスレンズ鏡筒４に伝達している。案内筒３上にはカム３ａがあり、コロ６が係合しており、該フォーカスキー７の回転と共に、コロ６、フォーカスレンズ鏡筒４及びフォーカスレンズ５が光軸中心に回転しながら光軸方向に移動してフォーカシングを行なう。

また、マニュアルリング３２を回転させると、内径凹凸３２ａとマニュアル入力リング１９の外周部凹凸１９ａがかみ合っているため、マニュアル入力リング１９が光軸中心に回転され、この回転力がコロ１７の軸中心回転の力となる。その際、連絡環１５、被駆動体１３等は、被駆動体１３と振動体１２との間に作用する摩擦力により保持されているため回転しない。よって、前述と同様に、コロリング１６はマニュアルリング３２の回転量の１／２の回転量で回転し、フォーカスキー７を介してフォーカスレンズ５に伝達され、マニュアルフォーカスが行なわれる。

ここで、上記の振動体の代わりに、特許文献２に示すような矩形状のリニア型振動体を振動体の長手方向が被駆動体の回転方向と一致するように複数配置することで特許文献１の被駆動体を回転させるモータを作製することが出来る。

リニア型振動体の例を図８に示す。振動体５０１は、圧電素子５０５と、該圧電素子５０５の片面に接合されて一体化される矩形の形状に形成された弾性体５０２と、この弾性体５０２の上面に対して凸状に形成された２つの突起部５０３、５０４から構成される。

図８（ａ）のモータでは、圧電素子に特定の周波数の電圧を印加することで、図８（ｂ−１）、（ｂ−２）に示す２つの曲げ振動モードを振動体５０１に励振させる。この２つの曲げ振動モードはどちらも、板状の振動体５０１の面外方向の曲げ振動モードである。

一方の振動モードは、振動体５０１の長手方向に２次の曲げ振動モード（Ｍｏｄｅ−Ａ）であり、他方の振動モードは、振動子５０１の短手方向に１次の曲げ振動モード（Ｍｏｄｅ−Ｂ）である。

振動体５０１の形状は、２つの振動モードの共振周波数が一致するか、近くなるように設計される。

突起部５０３、５０４は、Ｍｏｄｅ−Ａの振動において振動の節となる位置の近傍に配置されており、Ｍｏｄｅ−Ａの振動によって、突起部先端面５０３−１、５０４−１は振動の節を支点として振り子運動をするため、Ｘ方向に往復運動する。

また突起部５０３、５０４は、Ｍｏｄｅ−Ｂの振動において振動の腹となる位置の近傍に配置されており、Ｍｏｄｅ−Ｂの振動によって、突起部先端面５０３−１、５０４−１はＺ方向に往復運動する。

これら２つの振動モード（Ｍｏｄｅ−ＡとＭｏｄｅ−Ｂ）の振動位相差が±π／２近傍となるように同時に励振し、重ね合わせることで、突起部先端面５０３−１、５０４−１が、ＸＺ面内で楕円運動する。
この楕円運動により、加圧接触された被駆動体５０６を一方向に駆動することが出来る。

この振動体５０１を３個配置した場合を図９に示す。振動体５０１の突起部先端面５０３−１、５０４−１と被駆動体１０３の摺動部１０３ｃを加圧接触し、振動体５０１に図８に示す２つの曲げ振動モードを励振させると回転する。

３個配置して回転させる振動体としては、リニア型だけでなく、特許文献３に示される多自由度に動く振動体でも適用可能である。図１０に多自由度振動体の構成を示す。

特開平０６−１６０６９０号公報 特開２００４−３０４８８７号公報 特開２００２−２７２１４７号公報

前記したように、マニュアルフォーカスするためには、連絡環１５、被駆動体１３等は被駆動体１３と振動体１２との間に作用する摩擦力により保持されている必要がある。

また、振動体の停止時に、被駆動体に衝撃等の外力が加わっても、被駆動体が停止した状態を保ちフォーカスレンズが動かないようにする必要がある。

つまり、振動体停止時に被駆動体に外力が加わっても、被駆動体が動かないようにする必要がある。

超音波モータを用いた場合、振動体の停止時には摩擦力により振動体と被駆動体の位置関係が保持されるため、別途、振動体と被駆動体の位置を保持する機構を設ける必要がない。しかし、振動体停止後、長時間経過した後や高湿度下において、振動体と被駆動体との間の保持力が低下し、被駆動体に外力が加わった際、被駆動体が動いてしまう場合があった。

被駆動体の表面を荒らしたり、無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合メッキをすることで、被駆動体と振動体の保持力を増加させることが出来る。しかし、この方法では、モータの制御性が悪化したり、摩耗量が増え、耐久性が悪化したりするといった、性能や信頼性を損なう可能性がある。

本発明は、上記課題に鑑み、性能や信頼性を犠牲にすることなく保持力を増加させることが可能な、振動波駆動装置とその駆動方法の提供を目的とするものである。

本発明の一様態は、電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、前記振動体に加圧接触され、第１摩擦部を有する被駆動体と、第２摩擦部とを備え、前記第２摩擦部は前記第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さく、前記被駆動体と前記振動体が相対移動する時は、前記第１摩擦部と前記振動体とが接触し、前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記振動体とが接触するように相対移動する振動波駆動装置に関する。

また、本発明の一様態は、電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、前記振動体に加圧接触された被駆動体を備え、前記振動体は、第１摩擦部と第２摩擦部を有し、前記第２摩擦部は前記第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さく、前記被駆動体を相対移動させる時に、前記第１摩擦部を前記被駆動体に接触させ、前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するように相対移動する振動波駆動装置に関する。

本発明の一様態は、振動体の電気−機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することで、前記振動体に楕円運動を励振する工程と、被駆動体に設けられた第１摩擦部と、前記振動体とを接触させることで、前記被駆動体と前記振動体を相対移動する工程と、前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記振動体と前記被駆動体の第２摩擦部とが接触するような位置関係とする工程とを有し、第２摩擦部は第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さい振動波駆動装置の駆動方法に関する。

また本発明の一様態は、振動体の電気−機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することで、突起部を有する前記振動体に楕円運動を励振する工程と、前記突起部に設けられた第１摩擦部と、前記振動体を接触させることで、前記被駆動体と前記振動体を相対移動する工程と、前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記突起部に設けられた第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するような位置関係とする工程とを有し、第２摩擦部は第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さい振動波駆動装置の駆動方法に関する。

本明細書において、被駆動体とは、振動体の振動により、振動体と相対移動するものであり、振動体と被駆動体の相対移動は、振動体が固定され被駆動体が移動する場合だけでなく、被駆動体が固定され振動体が移動する場合も含む。

また、本明細書において、摩擦部とは、振動体と被駆動体において、相対移動の際に互いに擦れ合い、摩擦力が生じる部分を指す。したがって、振動体が固定され被駆動体が移動する場合、被駆動体が固定され振動体が移動する場合、及び振動体と被駆動体の両方が移動する、いずれの場合においても、振動体及び被駆動体の、相対移動の際に互いに擦れ合い、摩擦力が生じる部分を、摩擦部と呼ぶ。なお、振動体と被駆動体が相対移動する際、振動体と被駆動体が多数の接触点にて接触する場合、互いに擦れ合い、摩擦力が生じる部分とは、多数の接触点のみでなく、それらを含む部分を指す。

本明細書において、摩擦係数は、静止摩擦係数であり、被駆動体が静止した状態から動くのに要する力の値を加圧力の値で割って算出する。ただし、被駆動体が円環状の場合は、摩擦係数は、被駆動体が静止した状態から動くのに要するトルクの値を被駆動体の摩擦部の半径と加圧力の積の値で割って算出する。なお、トルクの測定は、振動体と被駆動体を治具に組み込んで加圧し、トルクメーターにより、被駆動体が静止した状態から動くのに要するトルク（力）を測定することで行う。また、被駆動体の摩擦部の半径とは、被駆動体の円環形状の中心軸から、被駆動体と振動体の接触部までの距離の平均の値を用いる。

摩擦係数の変化率は、時間経過後または環境条件変化後の摩擦係数の値を、駆動直後の摩擦係数の値で除した値とする。ここでの環境条件の変化とは、時間の経過による環境の変化だけでなく、例えば、振動波駆動装置を常温常湿の空間から、高温多湿な空間に移動させた場合のような、場所を変えることによる環境の変化も含む。なお、本明細書において、駆動直後とは、被駆動体を５０回転以上駆動した後、静止状態とした時点を示し、摩擦係数の経時変化を考慮する場合には、駆動直後から１日以上経過した場合について考慮するものとする。

本発明によれば、性能や信頼性を犠牲にすることなく、保持力を増加させることが可能な振動波駆動装置とその駆動方法、および撮像装置とその駆動方法を実現することが出来る。

被駆動体と振動体の構成を説明する図である。 振動体をガイドに沿って駆動させる方法を説明する図である。 被駆動体と振動体の構成を説明する図である。 被駆動体と振動体の構成を説明する図である。 被駆動体と振動体の構成を説明する図である。 被駆動体と振動体の構成を説明する図である。 レンズ鏡筒である。 リニア型超音波モータを説明する図であり、（ａ）は特許文献１のリニア型超音波モータの外観斜視図、（ｂ−１）、（ｂ−２）はその振動体に励振される振動モードを示す図である。 リニア型振動子を用いて、回転型超音波モータを構成した鉛直方向真上図である。 多自由度超音波モータである。 振動波駆動装置の構成を説明する図である。 保持トルク測定時の構成を示す図であり、（ａ）は真上図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図である。 本発明の振動波駆動装置の応用例を示す図である。 本発明の振動波駆動装置を撮像装置に設けた場合の、撮像装置の一部を示した図である。

（実施の形態１）
本実施形態の振動波駆動装置は、振動体と被駆動体を備えている。本実施の形態では、振動波駆動装置を撮像装置に設けた場合を例として説明する。図１（ａ）に本発明の実施の形態の一様態に係る被駆動体を示す。

振動体には、電気−機械エネルギー変換素子として圧電素子を有し、圧電素子に特定の周波数の電圧が印加されることで、振動体に加圧接触された被駆動体が駆動される。

被駆動体１０６は円環形状をしており、被駆動体１０６の摩擦部は、表面状態が互いに異なる第１摩擦部１０６ａ及び第２摩擦部１０６ｂを有する。

第１摩擦部１０６ａは、後述する第２摩擦部１０６ｂより耐摩耗性が高い領域である。前記第１摩擦部１０６ａの表面は、振動体との摺動に対し、耐摩耗性が付与された面であり、例えば、窒化面とする。前記第１摩擦部１０６ａは、例えば、窒素雰囲気化で加熱処理を行うことにより形成することが出来る。

第２摩擦部１０６ｂは、前記第１摩擦部１０６ａと比較して摩擦係数の変化率が小さく、高湿度下や長期放置後でも摩擦係数の値が所定の値以上に維持される。

よって、第２摩擦部１０６ｂは、長期放置後や高湿度下でも振動体との保持力が必要な値以上の値に維持される、つまり摩擦係数が必要な値以上の値に維持される材質を有する。また、前記第２摩擦部１０６ｂは、高温高湿度状態においても、前記振動体との保持力、つまり摩擦係数が必要な値以上に維持される材質を有することが好ましい。

この第２摩擦部１０６ｂは、被駆動体１０６の摺動方向に沿って円環状に形成されている。この第２摩擦部１０６ｂは、母体材料中に、振動体に対する耐摩耗性が母体材料よりも高い凸部が不規則に設けられた表面となるように、構成することが出来る。例えば、マトリックス金属に粒子を分散させた粒子分散複合材料を用いることが出来、前記粒子分散複合材料としては、例えば、無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合材料を用いることが出来る。また、第２摩擦部１０６ｂの形成は、無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合メッキや表面を荒らすことにより、行うことが出来る。

振動体は、例えば図８で示したリニア型振動体を用いる。したがって、振動体は、電気―機械エネルギー変換素子である圧電素子と、該圧電素子の片面に接合されて一体化される弾性体と、該弾性体の、該圧電素子が接合された面と反対側の面に設けられた２つの突起部とを有する。該圧電素子に交流電圧が引加されることで、振動体に振動が励起され、振動体に加圧接触された被駆動体が駆動される。

振動体１０１には、図１（ｂ）に示すようにガイド１１０が振動体１０１の短手方向と平行に取り付けられており、振動体１０１はガイド１１０に沿ってＸ方向にのみ移動可能な構成となっている。被駆動体１０６は、振動体１０１と接触する領域として、第１摩擦部１０６ａと第２摩擦部１０６ｂを有する。被駆動体１０６は円環形状をしており、第１摩擦部１０６ａと第２摩擦部１０６ｂとは、被駆動体１０６の周方向に沿って内径側と外径側に周状に並んで設けられている。

図１（ｃ）に示すように、被駆動体１０６の周方向と１つの振動体１０１に設けられた２つの突起部１０１ａを結んだ直線の方向とが一致するように、３つの振動体が１２０°の間隔を置いて配置される。

以下に、この被駆動体１０６を用いた駆動方法について説明する。図１（ｄ）は、振動体の突起部が被駆動体と接した部分を径方向に切断した断面図である。

被駆動体１０６が回転駆動される際は、図１（ｄ）に示すように、振動体１０１の突起部１０１ａ先端面は、被駆動体１０６の第１摩擦部１０６ａと接した状態で駆動される。

撮像装置の電源ＯＦＦ時に、振動体１０１を前記第２摩擦部１０６ｂに移動し、停止させる。例えば、図１４に示すように、ユーザーが撮像装置９０１の電源をＯＦＦする操作を行い、撮像装置９０１の電源をＯＦＦするという情報がＣＰＵ９０２に入力されると、ＣＰＵ９０２から移動信号が制御装置９０３に出力される。該移動信号に応じて、制御装置９０３は振動波駆動装置９０４を制御し、振動体１０１は前記第２摩擦部１０６ｂに接触する位置に移動して停止する。この時、振動体は、２つの突起部１０１ａが第２摩擦部１０６ｂと接触する位置になるよう、ガイド１１０に沿って駆動される。

前記振動体１０１が前記第２摩擦部１０６ｂに停止した状態を図１（ｅ）に示す。図１（ｅ）は、振動体の突起部が被駆動体と接した部分を径方向に切断した断面図である。

ガイド１１０に沿って振動体１０１を駆動させる方法として以下に示す３つの方法があげられる。

１つ目は、まず図２に示すように振動体１０１の２つの突起部１０１ａを結んだ軸を中心として振動体１０１を他のアクチュエータにより傾ける。その後、図８（ｂ−２）で説明した１次の屈曲モードを励振させる。振動体１０１の突起部１０１ａがきつつきのように矢印Ｂ方向に被駆動体１０６を叩くと、被駆動体１０６は、径方向の力が加わっても構造上動かないので、振動体１０１が反力を受けて相対的に矢印Ｃの方向に駆動される。

２つ目は、リニア型振動体１０１の代わりに従来技術で説明したような多自由度振動体を用いる。被駆動体１０６の径方向にリニア型振動体１０１の突起部１０１ａを楕円運動させることで、振動体を駆動させる。

３つ目は、振動体１０１を外部のアクチュエータにより移動させる。

ここで、本実施の形態の第２摩擦部１０６ｂは、時間変化や環境の変化に対する、摩擦係数の変化率が小さい。したがって、被駆動体１０６の第２摩擦部１０６ｂと振動体１０１との保持力は、長期放置後や高湿下においても維持されるため、振動波駆動装置の電源がＯＦＦの状態の時に被駆動体１０６に外力が加わった場合でも、被駆動体１０６が動くことがない。

なお、本実施の形態では、撮像装置の電源ＯＦＦ時の動作を述べたが、本発明は、これに限定されない。例えば、電源がＯＮの状態でも、停止時間が所定の値以上となった場合（所定の停止時間経過後）や湿度検出センサにより湿度が所定の値以上になった場合に、振動体１０１を、被駆動体１０６の第２摩擦部１０６ｂと接触する位置に移動させる。これにより、常時、被駆動体１０６と振動体１０１との保持力が維持される。例えば、カウンタ等を含む停止時間検出手段により、撮像装置の電源がＯＮの状態での被駆動体の停止時間を検出する。前記停止時間が所定の値以上になった場合、前記振動体の駆動方法のいずれかにより、振動体１０１を被駆動体１０６の第２摩擦部１０６ｂと接触する位置になるよう駆動する。また、振動体停止時、湿度検出センサにより検出される湿度が所定の値以上になった場合、撮像装置の電源がＯＮ状態であっても、前記振動体の駆動方法のいずれかにより、振動体１０１を、被駆動体１０６の第２摩擦部１０６ｂと接触する位置になるよう駆動する。

また、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、振動体１０１を再度駆動させる時は、振動体１０１と被駆動体１０６の位置関係を、振動体１０１を第２摩擦部１０６ｂと振動体１０１が接触する位置に移動させる前の位置関係に戻す。例えば、前記振動体をガイド１１０に沿って駆動し、被駆動体１０６を撮像装置の電源をＯＦＦする直前の位置に戻す。これにより、振動波駆動装置において、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、振動体１０１を再度駆動させる場合に、撮像装置の電源をＯＦＦする直前と同じ状態で、振動波駆動装置の駆動を開始することが出来る。

ここでは、振動波駆動装置を撮像装置に設ける例を説明したが、振動波駆動装置の応用はこれに限定されず、複写機の感光ドラムの駆動やステージの移動等、様々な分野での応用が可能である。

（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２に係る振動波駆動装置を説明する図である。本実施の形態では、振動波駆動装置を撮像装置のレンズや撮像素子の移動用途として設けた場合を例として説明する。

以下に、実施の形態１と異なる構成について示す。本実施の形態のその他の点は、上述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

被駆動体２０６は直方体形状をしており、駆動方向Ａにリニア駆動される。被駆動体２０６には、駆動方向Ａに垂直な方向（Ｘ軸方向）に、第１摩擦部２０６ａと第２摩擦部２０６ｂが並んで設けられている。前記第１摩擦部２０６ａ及び前記第２摩擦部２０６ｂの材料や性質、形成方法については、実施の形態１と同様のものを用いることができる。

振動体２０１には、図３（ｂ）に示すようにガイド２１０が振動体２０１の短手方向（Ｘ軸方向）と平行に取り付けられており、振動体２０１はガイド２１０に沿ってＸ軸方向にのみ移動可能な構成となっている。

被駆動体２０６は、振動体２０１によって相対移動され、振動体２０１と接触する領域として、第１摩擦部２０６ａと第２摩擦部２０６ｂを有する。

以下に、この被駆動体２０６を用いた駆動方法について説明する。図３（ｃ）は、振動体２０１の突起部が被駆動体２０６と接した部分をＸ−Ｚ平面で切断した断面図である。なお、Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸に垂直な軸である。

被駆動体２０６がＹ軸方向に駆動される際は、図３（ｃ）に示すように、振動体２０１の突起部先端面と、被駆動体２０６の第１摩擦部２０６ａとが接する位置で、駆動される。

撮像装置の電源ＯＦＦ時に、振動体２０１を前記第２摩擦部２０６ｂに移動し、停止させる。例えば、ユーザーが撮像装置の電源をＯＦＦする操作を行い、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報がＣＰＵに入力されると、ＣＰＵから移動信号が制御装置に出力される。該移動信号に応じて、制御装置は振動波駆動装置を制御し、振動体２０１は前記第２摩擦部２０６ｂに移動し停止する。この時、振動体２０１は、突起部が前記第２摩擦部２０６ｂと接触する位置になるよう、ガイド２１０に沿って駆動される。駆動方法としては、前記実施の形態１で示した方法を用いることができる。前記振動体２０１が前記第２摩擦部２０６ｂに停止した状態を図３（ｄ）に示す。図３（ｄ）は、振動体２０１の突起部が被駆動体２０６と接した部分を径方向に切断した断面図である。

前記被駆動体２０６の第２摩擦部２０６ｂは、時間変化や環境変化に対する摩擦係数の変化が小さい。したがって、第２摩擦部２０６ｂと振動体２０１との保持力は、長期放置後や高湿下においても維持されるため、撮像装置の電源がＯＦＦの状態の時に被駆動体２０６に外力が加わった場合でも、被駆動体２０６が動くことがない。

なお、本実施の形態では、撮像装置の電源ＯＦＦ時の動作を述べたが、本発明は、これに限定されない。例えば、電源がＯＮの状態であっても、停止時間が所定の値以上となった場合（所定の停止時間経過後）や湿度検出センサにより湿度が所定の値以上になった場合、前記実施の形態１と同様にして、振動体２０１を、被駆動体２０６の第２摩擦部２０６ｂと接触する位置に移動させる。これにより、常時被駆動体２０６と振動体２０１との保持力が維持される。

また、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、被駆動体２０６を再度移動させる時に、振動体２０１と被駆動体２０６の位置関係を、第２摩擦部２０６ｂに移動させる前の位置関係に戻すように設定してもよい。振動体２０１と被駆動体２０６の位置関係を第２摩擦部２０６ｂに移動させる前の位置関係に戻すことで、再度撮像装置の電源をＯＮした時や振動体２０１を再度駆動させる時に、撮像装置の電源をＯＦＦする直前と同じ状態から駆動を開始することが出来る。

なお、本実施の形態において、被駆動体２０６は直方体形状としたが、形状はこれに限定されない。また、直方体形状は、完全な直方体形状だけでなく、角が丸みを帯びた形状や、角が９０度でない場合も含む。

本実施の形態において、第２摩擦部２０６ｂは被駆動体に設けたが、被駆動体以外に設けてもよい。例えば、図１１（ａ）に示す構成のように第１摩擦部６０６ａが設けられた被駆動体６０６とは別に第２摩擦部６０７ｂを設けた固定部６０７を取付けてもよい。

この場合、被駆動体はＹ方向に駆動可能であるが、固定部６０７はガイドバー６１０と同様に位置が一定である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示した振動体６０１、前記被駆動体６０６、前記固定部６０７、及び前記ガイドバー６１０の断面図であり、図１１（ｃ）は、前記振動体６０１が、前記第２摩擦部６０７ｂに停止した状態を示す。

また、本実施の形態では振動波駆動装置を撮像装置に設ける例を説明したが、振動波駆動装置の応用はこれに限定されず、複写機の感光ドラムの駆動やステージの移動等、様々な分野での応用が可能である。

（実施の形態３）
図４は、本発明の実施の形態３に係る振動波駆動装置を説明する図である。本実施の形態でも、実施の形態１乃至２と同様、振動波駆動装置を撮像装置に設けた例について説明する。

以下に、実施の形態２と異なる構成について示す。本実施の形態のその他の点は、上述した実施の形態２と同様であるので、説明を省略する。

振動体３０１はステータとして用いられ、駆動方向Ａや駆動方向Ａ（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に対して駆動されない。

被駆動体３０６は直方体形状をしており、振動体３０１により駆動方向Ａに駆動される。被駆動体３０６には、第１摩擦部３０６ａと第２摩擦部３０６ｂが設けられている。高摩擦係数部３０６ｂは、被駆動体３０６の駆動方向の端部に設けられている。なお、前記第１摩擦部３０６ａ及び前記第２摩擦部３０６ｂの材料や性質、形成方法については、実施の形態１と同様のものを用いることができる。

以下に、この被駆動体３０６を用いた駆動方法について説明する。

撮像装置の電源ＯＦＦ時に、被駆動体３０６を、第２摩擦部３０６ｂが振動体３０１の突起部に接触する位置に移動し、停止させる。例えば、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報がＣＰＵに入力されると、ＣＰＵから移動信号が制御装置に出力される。制御装置は、該移動信号に応じて振動波駆動装置を制御する。これによって、被駆動体３０６は、前記第２摩擦部３０６ｂが振動体３０１に停止するよう、移動し、停止する。第２摩擦部３０６ｂは、時間変化や環境の変化に対する、摩擦係数の変化率が小さい。したがって、第２摩擦部３０６ｂと振動体３０１との保持力は、長期放置後や高湿下においても維持されるため、撮像装置の電源がＯＦＦ状態の時に被駆動体３０６に外力が加わった場合でも、被駆動体３０６が動くことがない。この時、被駆動体３０６は、第２摩擦部３０６ｂが前記振動体の突起部と接触する位置になるよう、駆動される。

駆動体３０６を駆動させる方法として、例えば、振動体を固定部材によって固定し、被駆動体を移動可能とすることで、被駆動体３０６は、第２摩擦部３０６ｂが前記振動体の突起部と接触する位置になるまで駆動される。

前記第２摩擦部３０６ｂの面積は、前記第１摩擦部３０６ａの面積より小さい。従って、被駆動体と振動体とが相対移動する場合、前記振動体が前記第２摩擦部３０６ｂと接触している時間は短く、駆動時間の多くは、摩擦係数の小さい第１摩擦部３０６ａと振動体が接触する。したがって、摩耗が少なくてすみ、耐久性が高いとともに、必要な時に高い保持力を維持することが出来る。

なお、本実施の形態では、撮像装置の電源ＯＦＦ時の動作を述べたが、本発明は、これに限定されない。例えば、撮像装置の電源がＯＮの状態であっても、振動体の停止時間が所定の値以上となった場合（所定の停止時間経過後）や湿度検出センサにより湿度が所定の値以上になった場合、被駆動体３０６を第２摩擦部３０６ｂが振動体３０１に接する位置に移動させる。これにより、常時被駆動体３０６と振動体３０１との保持力が維持される。例えば、カウンタ等を含む停止時間検出手段により、撮像装置の電源がＯＮの状態での被駆動体の停止時間を検出する。前記停止時間が所定の値以上になった場合、前記被駆動体の駆動方法のいずれかにより、被駆動体３０６を第２摩擦部３０６ｂが振動体３０１と接触する位置になるよう駆動する。また、振動体停止時、湿度検出センサで検出される湿度が所定の値以上になった場合、撮像装置の電源がＯＮ状態であっても、前記被駆動体の駆動方法のいずれかにより、被駆動体３０６を、第２摩擦部３０６ｂが振動体３０１と接触する位置になるよう駆動する。

なお、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、振動体３０１を再度駆動させる時に、振動体３０１と被駆動体３０６の位置関係を、撮像装置の電源ＯＦＦ時に被駆動体３０６を移動する直前の位置関係に戻すように設定してもよい。例えば、位置検出手段により撮像装置の電源をＯＦＦする直前の振動体３０１と被駆動体３０６の位置情報を検出し、記憶手段に前記位置情報を保存する。振動波駆動装置において、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や振動体３０１を再度駆動させる際には、前記位置情報を基に、前記被駆動体の駆動方法を応用して、被駆動体３０６を撮像装置の電源をＯＦＦする直前の位置に戻す。これにより、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、振動体３０１を再度駆動させる場合に、撮像装置の電源をＯＦＦする直前と同じ状態で、振動波駆動装置の駆動を開始することが出来る。

なお、本実施の形態において、被駆動体３０６は直方体形状としたが、形状はこれに限定されない。また、直方体形状は、完全な直方体形状だけでなく、角が丸みを帯びた形状や角が９０度でない場合も含む。

ここでは、振動波駆動装置を撮像装置に設ける例を説明したが、実施の形態１及び２同様、振動波駆動装置の応用はこれに限定されず、複写機の感光ドラムの駆動やステージの移動等、様々な分野での応用が可能である。

（実施の形態４）
本実施形態の振動波駆動装置は、回転駆動用である。図５に本発明の実施の形態４に係る被駆動体を示す。本実施の形態でも、実施の形態１乃至３と同様、振動波駆動装置を撮像装置に設けた例について説明する。

以下に、実施の形態１と異なる構成について示す。本実施の形態のその他の点は、上述した実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。

振動体４０１はステータとして用いられ、被駆動体４０６の回転方向や径方向に対して駆動されない。

被駆動体４０６は円環形状をしており、振動体４０１により回転駆動される。被駆動体４０６には、第１摩擦部４０６ａと第２摩擦部４０６ｂが設けられている。第１摩擦部４０６ａと第２摩擦部４０６ｂは、周方向に隣接して設けられ、第２摩擦部４０６ｂの面積は、第１摩擦部４０６ａの面積より小さい。第２摩擦部４０６ｂは、図５に示すように被駆動体４０６の径方向４０６に沿って３個所に振動体４０１の２つの突起間以上の幅で設けられている。なお、前記第１摩擦部４０６ａ及び前記第２摩擦部４０６ｂの材料や性質、形成方法については、実施の形態１と同様のものを用いることができる。

以下に、この被駆動体を用いた駆動方法について説明する。

撮像装置の電源ＯＦＦ時に、被駆動体４０６を、第２摩擦部４０６ｂが振動体４０１の突起部と接触する位置に停止させる。例えば、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報がＣＰＵに入力されると、ＣＰＵから移動信号が制御装置に出力される。制御装置は、該移動信号に応じて振動波駆動装置を制御し、被駆動体４０６は、前記第２摩擦部４０６ｂが振動体４０１に停止するよう、移動して停止する。この時、被駆動体４０６の駆動方法としては、例えば、前記実施の形態３で説明した方法を用いることができる。第２摩擦部４０６ｂは、時間変化や環境の変化に対する、摩擦係数の変化率が小さい。したがって、第２摩擦部４０６ｂと振動体４０１との保持力は、長期放置後や高湿下においても維持されるため、撮像装置の電源がＯＦＦの状態で被駆動体に外力が加わった場合でも、被駆動体４０６が動くことなく、レンズを動かすことが出来る。

前記第２摩擦部４０６ｂの面積は、前記第１摩擦部４０６ａの面積より小さい。従って、被駆動体と振動体とが相対移動する場合、前記振動体が前記高摩擦係数部と接触する時間は短く、駆動時間の多くは、摩擦係数の少ない第１摩擦部と振動体が接触する。よって、摩耗が少なくてすみ、耐久性が高いとともに、必要な時に高い保持力を維持することが出来る。

なお、本実施の形態では、撮像装置の電源ＯＦＦ時の動作を述べたが、本発明は、これに限定されない。例えば、撮像装置の電源がＯＮ状態であっても、停止時間が所定の値以上となった場合（所定の停止時間経過後）や湿度検出センサにより湿度が所定の値以上になった場合、前記実施の形態３と同様にして、被駆動体４０６を、第２摩擦部４０６ｂが振動体４０１に接触する位置に移動させる。これにより、常時被駆動体４０６と振動体４０１との保持力が維持される。

また、撮像装置を電源ＯＦＦの状態から電源ＯＮの状態に切り替える時や、振動体４０１を再度駆動させる時に、振動体４０１と被駆動体４０６の位置関係を、撮像装置の電源をＯＦＦする直前の位置関係に戻すように設定してもよい。振動体４０１と被駆動体４０６の位置関係を第２摩擦部４０６ｂに移動させる前の位置関係に戻すことで、撮像装置の電源を再度ＯＮした時や、振動体４０１を再度駆動させる時に、撮像装置の電源をＯＦＦする直前と同じ状態から駆動を開始することが出来る。

ここでは、振動波駆動装置を撮像装置に設ける例を説明したが、実施の形態１乃至３同様、振動波駆動装置の応用はこれに限定されず、複写機の感光ドラムの駆動やステージの移動等、様々な分野での応用が可能である。

（実施の形態５）
図６は本発明の実施の形態５に係る振動波駆動装置を説明する図である。本実施の形態では、振動波駆動装置を撮像装置に設けた場合を例として説明する。

被駆動体５０６は、摺動面が耐摩耗性のある第１摩擦部５０６ａのみから構成されている。

振動体５０１の突起部は、互いに表面状態の異なる第１摩擦部５０１ｓと第２摩擦部５０１ｔを有する。

第１摩擦部５０１ｓは、後述する第２摩擦部５０１ｔより耐摩耗性が高い領域であり、第１摩擦部と呼ぶ。前記第１摩擦部５０１ｓの表面は、被駆動体との摺動に対して耐摩耗性が付与された面であり、例えば、窒化面とする。前記第１摩擦部５０１ｓは、例えば、窒素雰囲気化で加熱処理を行うことにより形成することが出来る。

第２摩擦部５０１ｔは、前記第１摩擦部５０１ｓと比較して摩擦係数の変化率が小さく、高湿度下や長期放置後でも摩擦係数の値が所定の値以上に維持される。

よって、第２摩擦部５０１ｔは、長期放置後や高湿度下でも振動体との保持力が必要な値以上の値に維持される、つまり摩擦係数が必要な値以上の値に維持される。

この第２摩擦部５０１ｔは、例えば、母体材料中に、母体材料より耐摩耗性の高い凸部を有する表面となるように構成することができる。第２摩擦部５０１ｔの材料としては、マトリックス金属に粒子を分散させた粒子分散複合材料を用いることが出来る。前記粒子分散複合材料として、例えば、無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合材料を用いることが出来る。また、第２摩擦部５０１ｔの形成は、無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合メッキや表面を荒らすことにより行うことが出来る。

図６に上記の構成を示す。被駆動体５０６を回転又は直動駆動させる際は、第１摩擦部５０１ｓが被駆動体５０６と接触している。

撮像装置の電源ＯＦＦ時に振動体５０１を図６（ｂ）に示すように他のアクチュエータにより傾けることで、高摩擦係数部５０１ｔが被駆動体５０６と接触し、保持力を維持することが出来る。例えば、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報がＣＰＵに入力されると、ＣＰＵから移動信号が制御装置に出力される。制御装置は、該移動信号に応じて他のアクチュエータを制御し、振動体５０１を傾ける。

なお、本実施の形態では、撮像装置の電源ＯＦＦ時の動作を述べたが、本発明は、これに限定されない。例えば、電源ＯＮ時でも、停止時間が所定の値以上となった場合（所定の停止時間経過後）や湿度検出センサにより湿度が所定の値以上になった場合、高摩擦係数部５０１ｔを被駆動体５０６と接触する位置とする。これにより、常時、被駆動体５０６と振動体５０１との保持力が維持される。例えば、カウンタ等を含む停止時間検出手段により、撮像装置の電源ＯＮ時における、被駆動体の停止時間を検出する。前記停止時間が所定の値以上になった場合、振動体５０１の第２摩擦部５０１ｔを、被駆動体５０６と接触させる。また、振動体停止時、湿度検出センサで検出される湿度が所定の値以上になった場合、撮像装置の電源がＯＮ状態でも、被駆動体５０６の第２摩擦部５０１ｔを振動体５０１と接触させる。

また、ここでは振動波駆動装置を撮像装置に設ける例を説明したが、実施の形態１乃至４同様、振動波駆動装置の応用はこれに限定されず、複写機の感光ドラムの駆動やステージの移動等、様々な分野での応用が可能である。

（実施の形態６）
第１乃至第５の実施形態で説明した振動波駆動装置は、レンズ駆動用途、または撮像素子駆動用途として用いることが出来る。本実施形態では、第１乃至第５の実施の形態で説明した振動波駆動装置を撮影装置（光学機器）のレンズ駆動用に用いた例について図１３を用いて説明する。

図１３は、レンズ鏡筒を備えた撮影装置（光学機器）を説明するためのブロック図である。レンズ鏡筒には、固定の第１レンズユニット８３１、変倍のために入射する光の光軸方向に移動する第２レンズユニット８３２、固定の第３レンズユニット８３３、焦点調整のために光軸方向に移動する第４レンズユニット８３４が配されている。光量調整ユニット８３５は、一対の絞り羽根を上下方向に平行移動させることにより、開口径を増減させる絞り機構である。前記第１レンズユニット８３１〜第４レンズユニット８３４の光軸上の後方に撮像素子８８１が配置される。第１乃至第５の実施の形態のいずれか１、または複数の実施の形態で説明した振動波駆動装置を用いて、前記第２レンズユニットや前記第３レンズユニットを、光軸方向に移動する。前記撮像素子８８１の出力はカメラ処理回路８８２に接続されている。カメラ処理回路８８２の一方の出力はＡＥゲート８８３を介してＣＰＵ８８４に接続され、他方の出力はＡＦゲート８８５、ＡＦ信号処理回路８８６を介してＣＰＵ８８４に接続されている。

第２レンズユニット８３２の位置を検出する第１のリニアエンコーダ８８７、光量調整ユニット８３５の絞りを検出する絞りエンコーダ８８８、第４レンズユニット８３４の位置を検出する第２のリニアエンコーダ８８９の出力はＣＰＵ８８４に接続されている。リニアエンコーダ８８７、８８９はそれぞれ第２レンズユニット８３２及び第４レンズユニット８３４の光軸方向での相対位置（基準位置からの移動量）を検出する。

ＣＰＵ８８４の出力は、振動体８９１、８９２と、光量調整ユニット８３５の駆動源であるメータ８９３に接続されている。ＣＰＵ８８４は、撮影装置の動作の制御を行う制御回路であり、カメラ処理回路８８２は撮像素子８８１の出力に対して増幅やガンマ補正などを施す。特定の処理を受けた映像信号のコントラスト信号は、ＡＥゲート８８３及びＡＦゲート８８５を通過する。これらのゲート８８３、８８５により、露出決定及びピント合わせのために最適な信号の取り出し範囲が全画面内から設定される。ＡＦ信号処理回路８８６は、オートフォーカス（ＡＦ）用であり、映像信号の高周波成分を抽出してＡＦ評価値信号を生成する。

以上説明したように、第１〜第５の実施形態で説明した駆動装置は、撮影装置のレンズ駆動用途として用いることが出来る。また、これに限定されず、第１乃至第５の実施の形態で説明した振動波駆動装置は、撮像素子駆動用途として用いることが出来る。また、静止画用撮影装置だけでなく、動画撮影装置においても、レンズ駆動用途または撮像素子駆動用途に用いることが出来る。

被駆動体に、耐摩耗性の高い第１の摩擦部として窒化処理を行った領域と、第２の摩擦部として無電解ニッケル（ＮｉＰ）―ＳｉＣ粒子複合メッキを行った領域を形成した場合の、保持トルクの時間変化を測定し、摩擦係数の変化率を求めた。測定は、振動体と被駆動体を治具に組み込んで加圧し、トルクメーターにより、被駆動体が静止した状態から動くのに要するトルクを測定することで行った。図１２に構成を示す。図１２（ａ）は、真上図を、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＢ−Ｂ断面図を示している。被駆動体７０６を、中心に軸７０７ａを有する円環状の治具７０７に固定し、振動体７０１を被駆動体７０６に不図示のばね加圧手段により加圧接触させる。また振動体は、不図示の固定部品により、位置が固定される。治具７０７は不図示のベアリング等を介して、保持される。

保持トルクメータにより、治具７０７の軸７０７ｂを把持し、治具７０７と一体化した被駆動体７０６が静止状態から回転移動するのに要するトルクを測定した。ここで、被駆動体を５０回転以上駆動した後、静止状態とした時を、駆動直後と呼ぶ。

測定サンプルとして、駆動直後のサンプルをサンプルＡ、駆動直後から常温常湿で２日経過後のサンプルをサンプルＢ、駆動直後から常温常湿で４日経過後のサンプルをサンプルＣとし、それぞれ、静止状態から回転移動するのに要するトルクを測定した。サンプルＡ乃至Ｃの保持トルクの測定は、室温２４℃、湿度６０％で行った。また、駆動直後のサンプルを４５℃湿度９０％の条件下で測定したサンプルをサンプルＤとした。

摩擦係数は、測定したトルクの値を被駆動体の摩擦部の半径と加圧力の積の値で割って算出した。

保持トルクの測定結果を表１に示す。

表中、−は、測定を行っていない条件を示す。表１より、第１摩擦部（窒化処理部）は、駆動直後から２日経過後、保持トルクの値が駆動直後の値に比べて２６％になっているのに対し、第２摩擦部では、９８％とほとんど低下していない。従って、第１摩擦部に比べ、第２摩擦部は、保持トルクを維持することができることが確認された。また、第２摩擦部の保持トルクは駆動直後から４日経過後でも、９１％であった。更に、湿度９０％で測定したサンプルＤにおいても、第２摩擦部の保持トルクは、駆動直後の７３％であり、第１摩擦部の２日放置後のトルクの２６％に比べて、非常に高い値を維持していた。よって、高湿度下においても、第２摩擦部は第１摩擦部に比べ、保持トルクを良好に維持できることが確認された。

また、上記保持トルクの値から算出した摩擦係数の変化率（％）を表２に示す。

表２より、第１摩擦部の摩擦係数の変化率は、駆動直後から２日経過後では７３％であるのに対し、第２摩擦部の摩擦係数の変化率は、駆動直後から２日経過後でも３％であり、第１摩擦部より第２摩擦部の方が摩擦係数の変化率が小さい。更に、第２摩擦部の摩擦係数の変化率は、駆動直後から４日経過後でも９％と小さく、摩擦係数を良好に維持している。また、湿度９０％で測定したサンプルＤについても、摩擦係数の変化率は２７％と、第１摩擦部に比べて非常に小さかった。

以上より、本実施例より、振動体と被駆動体を、振動体と摩擦係数の変化率の小さい第２摩擦部とが接触するような位置関係とすることにより、振動体と被駆動体との間の保持力を維持できることが確認された。

本発明では、振動波駆動体を長い時間振動体を停止する場合、振動体と被駆動体を、振動体と摩擦係数維持率の高い第２摩擦部が接触するような位置関係とする。これによって、振動体停止時に被駆動体に外力が加わっても、被駆動体が動かない振動波駆動装置を提供することができる。また、更に、振動波駆動体の駆動時には、振動体と被駆動体を、振動体と耐摩耗性の高い第１摩擦部が接触するような位置関係とする。これによって、性能や信頼性を犠牲にすることがない。したがって、性能や信頼性を犠牲にすることなく保持力を増加させることが可能な振動波駆動装置とその駆動方法を実現することが出来る。

１０１ 振動体
１０６ 被駆動体
１０６ａ 第１摩擦部
１０６ｂ 第２摩擦部
５０１ 振動体
５０１ｓ 第１摩擦部
５０１ｔ 第２摩擦部
５０６ 被駆動体

Claims (20)

1. 電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
   前記振動体に加圧接触され、第１摩擦部を有する被駆動体と、
   第２摩擦部とを備え、
   前記第２摩擦部は前記第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さく、
   前記被駆動体と前記振動体が相対移動する時は、前記第１摩擦部と前記振動体とが接触し、
   前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記振動体とが接触するように相対移動する振動波駆動装置。
2. 前記第２摩擦部は、前記被駆動体に設けられている、請求項１に記載の振動波駆動装置。
3. 前記被駆動体は円環形状をしており、
   前記第１摩擦部と前記第２摩擦部とは、前記被駆動体の周方向に沿って内径側と外径側に周状に並んで設けられている、請求項２に記載の振動波駆動装置。
4. 前記被駆動体は直方体形状をしており、前記第１摩擦部と前記第２摩擦部は、前記被駆動体の駆動方向に垂直な方向に並んで設けられている、請求項２に記載の振動波駆動装置。
5. 前記被駆動体は直方体形状をしており、前記第２摩擦部は、前記被駆動体の駆動方向の端部に設けられている、請求項２に記載の振動波駆動装置。
6. 前記被駆動体は円環形状をしており、
   前記第１摩擦部と前記第２摩擦部とは、周方向に隣接して設けられ、
   前記第２摩擦部の面積が、前記第１摩擦部と比較して小さい、請求項２に記載の振動波駆動装置。
7. 前記振動体は、弾性体と突起部を有し、
   前記電気−機械エネルギー変換素子は前記弾性体に接合され、
   前記被駆動体と前記振動体が相対移動する時は、前記第１摩擦部と前記突起部とが接触し、
   前記振動体の所定の停止時間経過後、または前記移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記突起部とが接触するように相対移動する、前記請求項１乃至６いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
8. 電気−機械エネルギー変換素子を有する振動体と、
   前記振動体に加圧接触された被駆動体を備え、
   前記振動体は、第１摩擦部と第２摩擦部を有し、
   前記第２摩擦部は前記第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さく、
   前記被駆動体を相対移動させる時に、前記第１摩擦部を前記被駆動体に接触させ、
   前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体が、前記第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するように相対移動する振動波駆動装置。
9. 前記振動体と前記被駆動体の位置関係を検出する検出手段を更に有する、請求項１乃至８いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
10. 前記振動体と前記被駆動体は、前記電気−機械エネルギー変換素子への交流電圧の印加により励起される、前記振動体の楕円運動により相対移動する、前記請求項１乃至９いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
11. 前記第１摩擦部は前記第２摩擦部より耐摩耗性が高い、請求項１乃至１０いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
12. 前記第１摩擦部は、窒化面を有する請求項１乃至１１いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
13. 前記第２摩擦部は、母体材料中に、母体材料より耐摩耗性の高い凸部が不規則に設けられた表面を有する、請求項１乃至１２いずれか１項に記載の振動波駆動装置。
14. 撮像素子と、
    レンズと、
    請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の前記振動波駆動装置と、
    ＣＰＵと、
    制御装置と、を有し、
    前記ＣＰＵは、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報に基づき前記移動信号を生成して前記制御装置に出力し、
    前記制御装置は、前記移動信号に基づいて、前記振動体と前記被駆動装置の相対移動を制御する撮像装置。
15. 振動体の電気−機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することで、前記振動体に楕円運動を励振する工程と、
    被駆動体に設けられた第１摩擦部と、前記振動体とを接触させることで、前記被駆動体と前記振動体を相対移動する工程と、
    前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記振動体と前記被駆動体の第２摩擦部とが接触するような位置関係とする工程とを有し、
    第２摩擦部は第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さい振動波駆動装置の駆動方法。
16. 前記振動体と前記被駆動体を、前記振動体と前記第２摩擦部とが接触するような位置関係とする工程の直前に、前記振動体と前記被駆動体の位置情報を検出する工程と、
    前記振動体と前記被駆動体を、前記振動体と前記第２摩擦部とが接触するような位置関係とする工程の後、前記振動体と前記被駆動体を、前記位置情報に基づいた位置に相対移動させる工程を有する請求項１５に記載の振動波駆動装置の駆動方法。
17. 更に、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報に基づき前記移動信号を生成する工程を有し、
    前記移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記振動体と前記被駆動体の第２摩擦部とが接触するような位置関係とする請求項１５または１６に記載の工程は、
    前記移動信号に基づいて、前記振動体と前記被駆動装置の相対移動を制御することで行われる撮像装置の駆動方法。
18. 振動体の電気−機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することで、突起部を有する前記振動体に楕円運動を励振する工程と、
    前記突起部に設けられた第１摩擦部と、前記振動体を接触させることで、前記被駆動体と前記振動体を相対移動する工程と、
    前記振動体の所定の停止時間経過後、または移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記突起部に設けられた第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するような位置関係とする工程とを有し、
    第２摩擦部は第１摩擦部より、摩擦係数の変化率が小さい振動波駆動装置の駆動方法。
19. 前記振動体と前記被駆動体を、前記第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するような位置関係とする工程の直前に、前記振動体と前記被駆動体の位置情報を検出する工程と、
    前記振動体と前記被駆動体を、前記第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するような位置関係とする工程の後、前記振動体と前記被駆動体を、前記位置情報に基づいた位置に相対移動させる工程を更に有する請求項１８に記載の振動波駆動装置の駆動方法。
20. 更に、撮像装置の電源をＯＦＦするという情報に基づき前記移動信号を生成する工程を有し、
    前記移動信号に応じて、前記振動体と前記被駆動体を、前記突起部に設けられた第２摩擦部と前記被駆動体とが接触するような位置関係とする請求項１８または１９に記載の工程は、
    前記移動信号に基づいて、前記振動体と前記被駆動装置の相対移動を制御することで行われる撮像装置の駆動方法。

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