JP2013251943A

JP2013251943A - Linear motor armature and linear motor

Info

Publication number: JP2013251943A
Application number: JP2012123088A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Watanabe; 和也渡邉
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2012-05-30
Filing date: 2012-05-30
Publication date: 2013-12-12
Anticipated expiration: 2032-05-30
Also published as: JP5609921B2; CN203166726U

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor armature which reduces unevenness of the temperature on a surface of a cooling jacket while cooling a heating body disposed near the cooling jacket.SOLUTION: A linear motor armature 2 includes: an armature coil 21 disposed along a moving direction of a field magnet; and a cooling jacket 22 which is disposed near a surface of the armature coil 21. The cooling jacket 22 includes multiple coolant passages 22d defined by an inner jacket 22a positioned at the side close to the armature coil 21, an outer jacket 22b positioned at the side far from the armature coil 21, and a division wall 22c connecting the inner jacket 22a with the outer jacket 22b. Heat transmission reduction parts 24b, 27b, which reduce heat conduction from the armature coil 21, are placed facing the division wall 22c in at least one of the inner jacket 22a and the outer jacket 22b.

Description

本発明は、リニアモータ電機子及びリニアモータに関する。 The present invention relates to a linear motor armature and a linear motor.

従来より、半導体製造装置や工作機器等におけるテーブル送りにリニアモータが用いられている。リニアモータの電機子においては、電機子コイルをキャンで覆い、電機子コイルとキャンとの間に冷媒流路を設けてその流路内に冷媒を通過させ、電機子コイルを冷却するものが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。また、冷却ジャケット内部に冷媒流路を設けたリニアモータ電機子も提案されている（例えば、特許文献２を参照）。 Conventionally, linear motors are used for table feeding in semiconductor manufacturing apparatuses, machine tools, and the like. For linear motor armatures, it is proposed to cover the armature coil with a can, provide a refrigerant flow path between the armature coil and the can, allow the refrigerant to pass through the flow path, and cool the armature coil (For example, refer to Patent Document 1). A linear motor armature in which a coolant channel is provided inside the cooling jacket has also been proposed (see, for example, Patent Document 2).

国際公開第２００５／１１２２３３号International Publication No. 2005/112233 国際公開第２００８／１５２８７６号International Publication No. 2008/152877

冷却ジャケット内部に冷媒流路を複数設けた場合には、その冷媒流路と冷媒流路との間に、互いを仕切る仕切り壁が配置される。すると、電機子コイルからの熱伝導が、冷媒流路部分と仕切り壁部分とで不均一となってしまう場合がある。 When a plurality of refrigerant flow paths are provided inside the cooling jacket, a partition wall that partitions each other is disposed between the refrigerant flow paths. Then, the heat conduction from the armature coil may be non-uniform between the refrigerant flow path portion and the partition wall portion.

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、冷却ジャケット近傍に配置された発熱体を冷却しつつ、冷却ジャケット表面における温度不均一を低減することができるリニアモータ電機子及びリニアモータを提供することを例示的課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a linear motor armature and a linear motor that can reduce temperature non-uniformity on the surface of the cooling jacket while cooling a heating element disposed in the vicinity of the cooling jacket. It is an exemplary problem to provide

上記の課題を解決するために、本発明の例示的側面としてのリニアモータ電機子は、可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子である。冷却ジャケットは、発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、内側ジャケットと外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有している。発熱体からの熱伝導を低減する伝熱低減部が、内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の内部において仕切り壁に対向して配置される。 In order to solve the above problems, a linear motor armature as an exemplary aspect of the present invention includes a heating element arranged along a moving direction of a mover, and a cooling jacket arranged near the surface of the heating element. Are linear motor armatures. The cooling jacket includes a plurality of refrigerant flow paths defined by an inner jacket located on the side closer to the heating element, an outer jacket located on the side far from the heating element, and a partition wall connecting the inner jacket and the outer jacket. Has inside. A heat transfer reduction portion that reduces heat conduction from the heating element is disposed to face the partition wall in at least one of the inner jacket and the outer jacket.

冷媒流路に対向する内側ジャケットの内部位置にも外側ジャケットの内部位置にも、伝熱低減部が非配置とされてもよい。 The heat transfer reduction unit may be not arranged in the inner position of the inner jacket or the inner position of the outer jacket facing the refrigerant flow path.

伝熱低減部が、空隙であってもよい。 A space | gap may be sufficient as a heat-transfer reduction part.

伝熱低減部が、内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方の厚さ方向における略中央に配置されてもよい。 The heat transfer reduction part may be arranged at the approximate center in the thickness direction of at least one of the inner jacket and the outer jacket.

本発明の他の例示的側面としてのリニアモータ電機子は、可動子の移動方向に沿って配置された発熱体と、発熱体の表面近傍に配置された冷却ジャケットと、を有するリニアモータ電機子である。冷却ジャケットは、発熱体に近い側に位置する内側ジャケット、発熱体から遠い側に位置する外側ジャケット、及び、内側ジャケットと外側ジャケットとを接続する仕切り壁、によって画定される複数の冷媒流路を内部に有している。内側ジャケット及び外側ジャケットのうち少なくともいずれか一方は、発熱体に近い側から順に内側層、中央層、及び、外側層の少なくとも３層が積層されて構成されている。内側層及び外側層は、繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスで形成され、中央層は、冷媒流路の延長方向を長手方向とする短冊状の繊維強化樹脂、セラミックス又はステンレスの部材と短冊状の伝熱低減部とが長手方向と直交する方向に沿って交互に配置されて形成されている。伝熱低減部は、仕切り壁に対向配置されて発熱体からの熱伝導を低減する。 A linear motor armature according to another exemplary aspect of the present invention includes a heating element arranged along a moving direction of a mover, and a cooling jacket arranged near the surface of the heating element. It is. The cooling jacket includes a plurality of refrigerant flow paths defined by an inner jacket located on the side closer to the heating element, an outer jacket located on the side far from the heating element, and a partition wall connecting the inner jacket and the outer jacket. Has inside. At least one of the inner jacket and the outer jacket is configured by laminating at least three layers of an inner layer, a center layer, and an outer layer in order from the side close to the heating element. The inner layer and the outer layer are formed of fiber reinforced resin, ceramics, or stainless steel, and the center layer is formed of a strip-shaped fiber reinforced resin, ceramics, or stainless steel member having a longitudinal direction that extends in the direction of the refrigerant flow path. The heat reduction portions are alternately arranged along the direction orthogonal to the longitudinal direction. The heat transfer reduction unit is disposed opposite to the partition wall to reduce heat conduction from the heating element.

本発明の更に他の例示的側面としてのリニアモータは、上記のリニアモータ電機子と、リニアモータ電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に相互に極性が異なる複数の永久磁石を交互に順次配置した界磁と、を備え、リニアモータ電機子と界磁のいずれか一方を固定子とし、他方を可動子として、リニアモータ電機子と界磁とを相対的に走行させる。 According to still another exemplary aspect of the present invention, a linear motor includes the above-described linear motor armature, and a plurality of permanent magnets which are arranged opposite to each other with a magnetic air gap and have different polarities from each other. The linear motor armature and the field are relatively driven by using one of the linear motor armature and the field as a stator and the other as a mover.

本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施の形態によって明らかにされるであろう。 Further objects and other features of the present invention will become apparent from the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings.

本発明によれば、冷却ジャケット近傍に配置された発熱体を冷却しつつ、冷却ジャケット表面における温度不均一を低減することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the temperature nonuniformity in a cooling jacket surface can be reduced, cooling the heat generating body arrange | positioned in the cooling jacket vicinity.

本発明の実施の形態に係るリニアモータの斜視図である。1 is a perspective view of a linear motor according to an embodiment of the present invention. 図１に示すリニアモータ電機子について、図１のＺ−Ｚ線における断面を矢印Ｚ方向から見たときの模式的な斜視図である。It is a typical perspective view when the cross section in the ZZ line of FIG. 1 is seen from the arrow Z direction about the linear motor armature shown in FIG. 図２に示す冷却ジャケットの一部の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a part of the cooling jacket shown in FIG. 2. 図２に示すリニアモータ電機子のＩＶ−ＩＶ´線における断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of cross section in the IV-IV 'line of the linear motor armature shown in FIG. 図２から図４に示す内側ジャケットの一部の分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of a part of the inner jacket shown in FIGS. 2 to 4. 伝熱低減部を有さない冷却ジャケットを含むリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of cross section of the linear motor armature containing the cooling jacket which does not have a heat-transfer reduction part. 伝熱低減部を有する冷却ジャケットを含むリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。It is a figure which shows a part of cross section of a linear motor armature including the cooling jacket which has a heat-transfer reduction part. 冷媒流路が膨張した状態のリニアモータ電機子の断面の一部を示す図である。It is a figure showing a part of section of a linear motor armature in the state where a refrigerant channel expanded.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るリニアモータ１の斜視図である。リニアモータ１は、リニアモータ電機子２と、界磁３とを有する。図１では、リニアモータ電機子２は、一部が破断した状態で示されている。リニアモータ電機子２は、複数個の電機子コイル２１を内部に有する。リニアモータ電機子２には、後述する冷媒流路２２ｄに冷媒を流すための冷媒供給口２２ｅ及び冷媒排出口２２ｆが形成されている。界磁３にはリニアモータ電機子２を挿入するための空間Ｓが形成されている。界磁３は、永久磁石３１を有する。図１には、簡単に説明するために永久磁石３１は１つしか示されていないが、界磁３は、相互に極性が異なる複数の永久磁石３１を有している。リニアモータ電機子２は、電機子コイル２１の巻線と永久磁石３１とが磁気的空隙を介して対向するように、界磁３の空間Ｓに挿入される。界磁３は可動子として機能し、固定子として機能するリニアモータ電機子２に対し矢印Ａ方向に相対移動する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a linear motor 1 according to an embodiment of the present invention. The linear motor 1 has a linear motor armature 2 and a field 3. In FIG. 1, the linear motor armature 2 is shown in a partially broken state. The linear motor armature 2 has a plurality of armature coils 21 therein. The linear motor armature 2 is formed with a refrigerant supply port 22e and a refrigerant discharge port 22f for flowing a refrigerant through a refrigerant flow path 22d described later. A space S for inserting the linear motor armature 2 is formed in the field 3. The field 3 has a permanent magnet 31. Although only one permanent magnet 31 is shown in FIG. 1 for simple explanation, the field 3 has a plurality of permanent magnets 31 having different polarities. The linear motor armature 2 is inserted into the space S of the field 3 such that the winding of the armature coil 21 and the permanent magnet 31 face each other with a magnetic gap. The field 3 functions as a mover and moves relative to the linear motor armature 2 functioning as a stator in the direction of arrow A.

図２は、図１に示すリニアモータ電機子２について、図１のＺ−Ｚ線における断面を矢印Ｚ方向から見たときの模式的な斜視図である。図２では、リニアモータ電機子２は、一部が破断した状態で示されている。リニアモータ電機子２は、複数個の電機子コイル２１と冷却ジャケット２２とを有する。電機子コイル２１は、可動子として機能する界磁３の移動方向に沿って配置されている。電機子コイル２１は図示されていない巻線を有し、巻線には電流が流され、巻線に電流が流された場合に電機子コイル２１は発熱体となる。本実施の形態では、リニアモータ電機子２は、筒状の冷却ジャケット２２の内部に配置される結線基板２９を更に有しており、複数個の電機子コイル２１は、結線基板２９の両側に配置され、結線基板２９により電気的に接続されている。 FIG. 2 is a schematic perspective view of the linear motor armature 2 shown in FIG. 1 when the cross section taken along the line ZZ in FIG. 1 is viewed from the direction of the arrow Z. In FIG. 2, the linear motor armature 2 is shown in a partially broken state. The linear motor armature 2 includes a plurality of armature coils 21 and a cooling jacket 22. The armature coil 21 is disposed along the moving direction of the field 3 that functions as a mover. The armature coil 21 has a winding (not shown). When a current is passed through the winding, the armature coil 21 becomes a heating element when a current is passed through the winding. In the present embodiment, the linear motor armature 2 further includes a connection board 29 disposed inside the cylindrical cooling jacket 22, and the plurality of armature coils 21 are provided on both sides of the connection board 29. They are arranged and electrically connected by the wiring board 29.

冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１の表面近傍に配置されている。冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１の周囲を囲む筒状のものであって、電機子コイル２１を内部に保持するカバー（ジャケット）としての機能と、電機子コイル２１からの熱を効率的に外部へと放出する冷却機能とを有する。加えて、冷却ジャケット２２の内部は、冷却ジャケット２２内に電機子コイル２１を固定的に保持するために、エポキシ樹脂等の接着剤が充填される。図３は、図２に示す冷却ジャケット２２の一部の分解斜視図である。図４は、図２に示すリニアモータ電機子２のＩＶ−ＩＶ´線における断面の一部を示す図である。図２から図４に示す通り、冷却ジャケット２２は、電機子コイル２１に近い側に位置する層状の内側ジャケット２２ａと、電機子コイル２１から遠い側に位置する層状の外側ジャケット２２ｂと、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとを接続する仕切り壁２２ｃとを有する。冷却ジャケット２２は、内側ジャケット２２ａと、外側ジャケット２２ｂと、仕切り壁２２ｃとによって画定される複数の冷媒流路２２ｄを内部に有する。 The cooling jacket 22 is disposed near the surface of the armature coil 21. The cooling jacket 22 has a cylindrical shape surrounding the periphery of the armature coil 21, and efficiently functions as a cover (jacket) that holds the armature coil 21 inside and the heat from the armature coil 21. It has a cooling function to discharge to the outside. In addition, the inside of the cooling jacket 22 is filled with an adhesive such as an epoxy resin in order to hold the armature coil 21 in the cooling jacket 22 in a fixed manner. FIG. 3 is an exploded perspective view of a part of the cooling jacket 22 shown in FIG. FIG. 4 is a diagram illustrating a part of a cross section taken along line IV-IV ′ of the linear motor armature 2 illustrated in FIG. 2. As shown in FIGS. 2 to 4, the cooling jacket 22 includes a layered inner jacket 22 a positioned on the side closer to the armature coil 21, a layered outer jacket 22 b positioned on the side far from the armature coil 21, and an inner jacket. A partition wall 22c that connects the outer jacket 22b to the outer jacket 22b. The cooling jacket 22 has a plurality of refrigerant flow paths 22d defined therein by an inner jacket 22a, an outer jacket 22b, and a partition wall 22c.

図５は、図２から図４に示す内側ジャケット２２ａの一部の分解斜視図である。図２、図４及び図５に示す通り、内側ジャケット２２ａは、電機子コイル２１に近い側から順に内側層２３と、中央層２４と、外側層２５とを有する。内側層２３及び外側層２５は、繊維強化樹脂によって形成されている。例えば、内側層２３及び外側層２５は、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。内側層２３及び外側層２５の厚さは、０．５ｍｍ程度である。 FIG. 5 is an exploded perspective view of a part of the inner jacket 22a shown in FIGS. As shown in FIGS. 2, 4, and 5, the inner jacket 22 a includes an inner layer 23, a central layer 24, and an outer layer 25 in order from the side closer to the armature coil 21. The inner layer 23 and the outer layer 25 are made of fiber reinforced resin. For example, the inner layer 23 and the outer layer 25 are members obtained by laminating a large number of fibers such as carbon fibers in layers using an adhesive such as an epoxy resin. The thickness of the inner layer 23 and the outer layer 25 is about 0.5 mm.

中央層２４は、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａ複数個と、短冊状の伝熱低減部２４ｂ複数個とを有する。繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは実質的に同じであり、厚さは例えば０．３ｍｍである。繊維強化樹脂の部材２４ａの幅は、伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。冷媒流路２２ｄの延長方向を長手方向Ｌとして、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとは、長手方向Ｌと直交する方向Ｐに沿って交互に配置される。短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａは、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて短冊状に固められた部材であって、内側層２３及び外側層２５よりも小さい。 The central layer 24 includes a plurality of strip-shaped fiber reinforced resin members 24a and a plurality of strip-shaped heat transfer reduction portions 24b. The thickness of the fiber reinforced resin member 24a and the thickness of the heat transfer reducing portion 24b are substantially the same, and the thickness is, for example, 0.3 mm. The width of the fiber reinforced resin member 24a is slightly narrower than the width of the heat transfer reducing portion 24b. With the extending direction of the refrigerant flow path 22d as the longitudinal direction L, the strip-shaped fiber reinforced resin members 24a and the strip-shaped heat transfer reduction portions 24b are alternately arranged along the direction P orthogonal to the longitudinal direction L. . The strip-shaped fiber-reinforced resin member 24 a is a member obtained by solidifying a large number of fibers such as carbon fibers into a strip shape using an adhesive such as an epoxy resin, and is smaller than the inner layer 23 and the outer layer 25.

伝熱低減部２４ｂは、発熱体となった場合の電機子コイル２１からの熱の伝導を低減する部材である。伝熱低減部２４ｂは、内側層２３、外側層２５及び繊維強化樹脂の部材２４ａより熱伝導率が低い材料によって形成されている。例えば、伝熱低減部２４ｂは、繊維強化樹脂より密度が低いウレタン樹脂によって形成されている。伝熱低減部２４ｂは、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと同様に内側層２３及び外側層２５よりも小さい。図４に示す通り、伝熱低減部２４ｂは仕切り壁２２ｃに対向して配置され、内側ジャケット２２ａにおいて、厚さ方向Ｄにおける略中央に配置される。 The heat transfer reduction unit 24b is a member that reduces heat conduction from the armature coil 21 when it becomes a heating element. The heat transfer reduction portion 24b is formed of a material having a lower thermal conductivity than the inner layer 23, the outer layer 25, and the fiber reinforced resin member 24a. For example, the heat transfer reduction part 24b is formed of a urethane resin having a density lower than that of the fiber reinforced resin. The heat transfer reduction part 24b is smaller than the inner layer 23 and the outer layer 25, like the strip-shaped fiber reinforced resin member 24a. As shown in FIG. 4, the heat transfer reduction part 24 b is disposed so as to face the partition wall 22 c and is disposed substantially at the center in the thickness direction D in the inner jacket 22 a.

内側ジャケット２２ａの製造方法を説明する。図５に示す通り、内側層２３の一方の面の上に短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとを方向Ｐに沿って交互に配置する。すなわち、短冊状の繊維強化樹脂の部材２４ａと短冊状の伝熱低減部２４ｂとを方向Ｐに沿って縞状に配置する。繊維強化樹脂の部材２４ａ及び伝熱低減部２４ｂの上に外側層２５を配置する。その際、内側ジャケット２２ａの強度を高めるために、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように、外側層２５を配置する。 A method for manufacturing the inner jacket 22a will be described. As shown in FIG. 5, strip-shaped fiber reinforced resin members 24 a and strip-shaped heat transfer reduction portions 24 b are alternately arranged along the direction P on one surface of the inner layer 23. That is, the strip-shaped fiber reinforced resin member 24 a and the strip-shaped heat transfer reduction portion 24 b are arranged in a stripe shape along the direction P. The outer layer 25 is disposed on the fiber reinforced resin member 24a and the heat transfer reduction portion 24b. At this time, in order to increase the strength of the inner jacket 22a, the outer layer 25 is arranged so that the extending direction of the fibers constituting the inner layer 23 and the extending direction of the fibers constituting the outer layer 25 are orthogonal to each other.

そして、内側層２３、中央層２４及び外側層２５を例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。上述の通り、内側層２３及び外側層２５のそれぞれは多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により層状に固められた部材であり、繊維強化樹脂の部材２４ａも多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により短冊状に固められた部材である。そのため、内側層２３、中央層２４及び外側層２５を加熱すると、接着剤が溶解する。接着剤が溶解した後に内側層２３、中央層２４及び外側層２５を冷却する。冷却により接着剤が固化し、それにより内側層２３、中央層２４及び外側層２５を接合し、内側ジャケット２２ａを製造する。 Then, the inner layer 23, the central layer 24, and the outer layer 25 are heated at a temperature of 100 to 150 ° C., for example. As described above, each of the inner layer 23 and the outer layer 25 is a member in which a large number of fibers are layered with an adhesive such as an epoxy resin, and the fiber reinforced resin member 24a also includes a large number of fibers such as an epoxy resin. It is a member solidified into a strip shape by the adhesive. Therefore, when the inner layer 23, the central layer 24, and the outer layer 25 are heated, the adhesive dissolves. After the adhesive is dissolved, the inner layer 23, the central layer 24, and the outer layer 25 are cooled. Cooling causes the adhesive to solidify, thereby joining the inner layer 23, the central layer 24, and the outer layer 25 to produce the inner jacket 22a.

外側ジャケット２２ｂは、内側ジャケット２２ａと同じ構成を有する。すなわち、外側ジャケット２２ｂは、内側ジャケット２２ａに近い側から順に内側層２６と、中央層２７と、外側層２８とを有する。内側層２６、中央層２７及び外側層２８はそれぞれ、内側ジャケット２２ａの内側層２３、中央層２４及び外側層２５と同じものであり、内側層２６は、短冊状の繊維強化樹脂の部材２７ａ複数個と、短冊状の伝熱低減部２７ｂ複数個とを有する。繊維強化樹脂の部材２７ａは繊維強化樹脂の部材２４ａと同じものであり、伝熱低減部２７ｂは伝熱低減部２４ｂと同じものである。仕切り壁２２ｃは、炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。仕切り壁２２ｃの厚さは０．５ｍｍ程度であり、仕切り壁２２ｃの幅は伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。 The outer jacket 22b has the same configuration as the inner jacket 22a. That is, the outer jacket 22b includes the inner layer 26, the center layer 27, and the outer layer 28 in order from the side close to the inner jacket 22a. The inner layer 26, the center layer 27, and the outer layer 28 are the same as the inner layer 23, the center layer 24, and the outer layer 25 of the inner jacket 22a, respectively. The inner layer 26 includes a plurality of strip-like fiber reinforced resin members 27a. And a plurality of strip-shaped heat transfer reduction portions 27b. The fiber reinforced resin member 27a is the same as the fiber reinforced resin member 24a, and the heat transfer reduction unit 27b is the same as the heat transfer reduction unit 24b. The partition wall 22c is a member formed by laminating a large number of fibers such as carbon fibers in a layer shape using an adhesive such as an epoxy resin. The thickness of the partition wall 22c is about 0.5 mm, and the width of the partition wall 22c is slightly narrower than the width of the heat transfer reduction part 24b.

冷却ジャケット２２の製造方法を説明する。まず、複数の仕切り壁２２ｃを、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置する。その際、複数の仕切り壁２２ｃを、一定の間隔をおいて内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置する。一定の間隔は、例えば隣り合う２つの伝熱低減部２４ｂの中心相互の間隔と実質的に同じである。そして、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。上述の通り、内側ジャケット２２ａの外側層２５、仕切り壁２２ｃ、及び外側ジャケット２２ｂの内側層２６のそれぞれは多数本の繊維がエポキシ樹脂等の接着剤により層状に固められた部材である。そのため、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを加熱すると、接着剤が溶解する。接着剤が溶解した後に内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを冷却する。冷却により接着剤が固化し、それにより内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを接合し、冷却ジャケット２２を製造する。 A method for manufacturing the cooling jacket 22 will be described. First, the plurality of partition walls 22c are arranged between the inner jacket 22a and the outer jacket 22b. At this time, the plurality of partition walls 22c are arranged between the inner jacket 22a and the outer jacket 22b with a certain interval. The constant interval is substantially the same as, for example, the interval between the centers of two adjacent heat transfer reduction portions 24b. Then, the inner jacket 22a, the partition wall 22c, and the outer jacket 22b are heated at a temperature of 100 to 150 ° C., for example. As described above, each of the outer layer 25 of the inner jacket 22a, the partition wall 22c, and the inner layer 26 of the outer jacket 22b is a member in which a large number of fibers are layered with an adhesive such as an epoxy resin. Therefore, when the inner jacket 22a, the partition wall 22c, and the outer jacket 22b are heated, the adhesive dissolves. After the adhesive is dissolved, the inner jacket 22a, the partition wall 22c and the outer jacket 22b are cooled. The adhesive is solidified by cooling, whereby the inner jacket 22a, the partition wall 22c, and the outer jacket 22b are joined to manufacture the cooling jacket 22.

上述の通り、リニアモータ電機子２を構成する冷却ジャケット２２は内側ジャケット２２ａ、外側ジャケット２２ｂ及び仕切り壁２２ｃを有し、内側ジャケット２２ａ及び外側ジャケット２２ｂは内部に伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する。伝熱低減部２４ｂ，２７ｂは、仕切り壁２２ｃに対向して配置され、冷媒流路２２ｄに対向する内側ジャケット２２ａ及び外側ジャケット２２ｂのそれぞれの内部位置には実質的に配置されない。 As described above, the cooling jacket 22 constituting the linear motor armature 2 has the inner jacket 22a, the outer jacket 22b, and the partition wall 22c, and the inner jacket 22a and the outer jacket 22b have heat transfer reduction portions 24b and 27b inside. . The heat transfer reduction parts 24b and 27b are disposed to face the partition wall 22c, and are not substantially disposed at the respective internal positions of the inner jacket 22a and the outer jacket 22b facing the refrigerant flow path 22d.

図６は、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない冷却ジャケット２２´を含むリニアモータ電機子２´の断面の一部を示す図である。つまり、図６に示すリニアモータ電機子２´では、内側ジャケット２２ａ´も外側ジャケット２２ｂ´も伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない。図６における矢印Ｈは、電機子コイル２１からの熱の伝達方向を示している。冷却ジャケット２２´が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有さない場合、冷却ジャケット２２´の外側ジャケット２２ｂ´表面において仕切り壁２２ｃと対向する部分は、電機子コイル２１からの熱が仕切り壁２２ｃを介して伝達されるので高温になる。外側ジャケット２２ｂ´表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分は、冷媒流路２２ｄを流れる冷媒によって電機子コイル２１からの熱が伝達されにくくなるので高温にはならない。そのため、外側ジャケット２２ｂ´表面には、高温の部分と高温でない部分とが交互に発生する。外側ジャケット２２ｂ´表面の温度が不均一になると、リニアモータ電機子２´を有するリニアモータを半導体製造装置等に用いた場合、場所によって光の屈折率が異なることになるので、所望の半導体等を製造することができなくなる場合が生じる。 FIG. 6 is a diagram showing a part of a cross section of a linear motor armature 2 ′ including a cooling jacket 22 ′ that does not have the heat transfer reduction sections 24b and 27b. That is, in the linear motor armature 2 ′ shown in FIG. 6, neither the inner jacket 22 a ′ nor the outer jacket 22 b ′ has the heat transfer reducing portions 24 b and 27 b. An arrow H in FIG. 6 indicates the direction of heat transfer from the armature coil 21. When the cooling jacket 22 ′ does not have the heat transfer reduction parts 24 b and 27 b, the portion of the cooling jacket 22 ′ facing the partition wall 22 c on the outer jacket 22 b ′ surface is heated by the armature coil 21 through the partition wall 22 c. Since it is transmitted through, it becomes high temperature. The portion facing the refrigerant flow path 22d on the surface of the outer jacket 22b ′ does not reach a high temperature because heat from the armature coil 21 is hardly transmitted by the refrigerant flowing through the refrigerant flow path 22d. Therefore, high temperature portions and non-high temperature portions are alternately generated on the surface of the outer jacket 22b ′. If the surface temperature of the outer jacket 22b ′ becomes non-uniform, when a linear motor having the linear motor armature 2 ′ is used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, the refractive index of light varies depending on the location. May not be able to be manufactured.

図７は、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する冷却ジャケット２２を含むリニアモータ電機子２の断面の一部を示す図である。図７における矢印Ｈは、電機子コイル２１からの熱の伝達方向を示している。冷却ジャケット２２が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有する場合、伝熱低減部２４ｂ，２７ｂが熱の伝達を低減するので、仕切り壁２２ｃに伝達される電機子コイル２１からの熱は、冷却ジャケット２２の外側ジャケット２２ｂ表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分に迂回しやすくなる。そのため、外側ジャケット２２ｂ表面において仕切り壁２２ｃと対向する部分は高温になりにくい。外側ジャケット２２ｂ表面において冷媒流路２２ｄと対向する部分は、冷媒流路２２ｄを流れる冷媒によって電機子コイル２１からの熱が伝達されにくくなるので高温にはならない。そのため、外側ジャケット２２ｂ表面の温度は均一に近くなる。したがって、リニアモータ電機子２を有するリニアモータ１を半導体製造装置等に用いた場合、場所によって光の屈折率がほとんど変わらないので、所望の半導体等を製造することができる。 FIG. 7 is a diagram showing a part of a cross section of the linear motor armature 2 including the cooling jacket 22 having the heat transfer reduction portions 24b and 27b. An arrow H in FIG. 7 indicates the direction of heat transfer from the armature coil 21. When the cooling jacket 22 has the heat transfer reduction parts 24b and 27b, the heat transfer reduction parts 24b and 27b reduce heat transfer, so that the heat from the armature coil 21 transmitted to the partition wall 22c is the cooling jacket 22. It becomes easy to make a detour to the part facing the refrigerant flow path 22d on the surface of the outer jacket 22b. Therefore, the portion facing the partition wall 22c on the surface of the outer jacket 22b is unlikely to become high temperature. The portion facing the refrigerant flow path 22d on the surface of the outer jacket 22b does not reach a high temperature because heat from the armature coil 21 is hardly transmitted by the refrigerant flowing through the refrigerant flow path 22d. Therefore, the temperature of the surface of the outer jacket 22b becomes nearly uniform. Therefore, when the linear motor 1 having the linear motor armature 2 is used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, the refractive index of light hardly changes depending on the location, so that a desired semiconductor or the like can be manufactured.

上述した実施の形態では、図４を用いて説明した通り、伝熱低減部２４ｂは、内側ジャケット２２ａにおいて、厚さ方向Ｄにおける略中央に配置される。冷媒流路２２ｄに冷媒が流されると、冷媒の圧力が冷媒流路２２ｄの外側に作用するので冷媒流路２２ｄは膨張する。図８は、冷媒流路２２ｄが膨張した状態のリニアモータ電機子２の断面の一部を示す図である。冷媒流路２２ｄが膨張すると、伝熱低減部２４ｂには圧縮応力Ｆ１と引張応力Ｆ２とが作用する。伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａの厚さ方向Ｄにおいて中央より電機子コイル２１側に配置された場合、圧縮応力Ｆ１が大きくなるので、伝熱低減部２４ｂは破壊される可能性が高くなる。他方、伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａの厚さ方向Ｄにおいて中央より仕切り壁２２ｃ側に配置された場合、引張応力Ｆ２が大きくなるので、伝熱低減部２４ｂは破壊される可能性が高くなる。伝熱低減部２４ｂが内側ジャケット２２ａにおいて厚さ方向Ｄにおける略中央に配置されると、圧縮応力Ｆ１と引張応力Ｆ２とは実質的に等しくなって実質的に釣り合う。そのため、伝熱低減部２４ｂは、冷媒流路２２ｄが膨張した場合に破壊されにくくするように、内側ジャケット２２ａにおいて厚さ方向Ｄにおける略中央に配置されることが好ましい。 In the above-described embodiment, as described with reference to FIG. 4, the heat transfer reduction unit 24 b is disposed at the approximate center in the thickness direction D in the inner jacket 22 a. When the refrigerant flows through the refrigerant flow path 22d, the refrigerant flow 22d expands because the pressure of the refrigerant acts on the outside of the refrigerant flow path 22d. FIG. 8 is a view showing a part of a cross section of the linear motor armature 2 in a state where the refrigerant flow path 22d is expanded. When the refrigerant flow path 22d expands, the compressive stress F1 and the tensile stress F2 act on the heat transfer reduction part 24b. When the heat transfer reduction part 24b is arranged on the armature coil 21 side from the center in the thickness direction D of the inner jacket 22a, the compressive stress F1 increases, so that the heat transfer reduction part 24b is likely to be destroyed. . On the other hand, when the heat transfer reduction part 24b is disposed closer to the partition wall 22c than the center in the thickness direction D of the inner jacket 22a, the tensile stress F2 increases, so the heat transfer reduction part 24b is likely to be destroyed. Become. When the heat transfer reduction part 24b is arranged at the approximate center in the thickness direction D in the inner jacket 22a, the compressive stress F1 and the tensile stress F2 are substantially equal and substantially balanced. For this reason, it is preferable that the heat transfer reduction part 24b be arranged at the approximate center in the thickness direction D in the inner jacket 22a so that the refrigerant flow path 22d is less likely to be destroyed when expanded.

なお、上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａの内側層２３及び外側層２５は繊維強化樹脂によって形成されており、例えば炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材である。上記繊維は、ガラス繊維であってもよい。また、内側層２３及び外側層２５は繊維強化樹脂以外の材料によって形成されてもよい。例えば、内側層２３及び外側層２５はセラミックス又はステンレスによって形成されてもよい。 In the embodiment described above, the inner layer 23 and the outer layer 25 of the inner jacket 22a are formed of fiber reinforced resin. For example, a large number of fibers such as carbon fibers are layered using an adhesive such as an epoxy resin. It is a hardened member. The fiber may be a glass fiber. Further, the inner layer 23 and the outer layer 25 may be formed of a material other than the fiber reinforced resin. For example, the inner layer 23 and the outer layer 25 may be formed of ceramics or stainless steel.

同様に上述した実施の形態では、中央層２４における繊維強化樹脂の部材２４ａは例えば炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて短冊状に固められた部材である。上記繊維は、ガラス繊維であってもよい。また、繊維強化樹脂の部材２４ａは繊維強化樹脂以外の材料によって形成されてもよい。例えば、繊維強化樹脂の部材２４ａはセラミックス又はステンレスによって形成されてもよい。要するに、伝熱低減部２４ｂの熱伝導率が、内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂等によって形成される部材２４ａの熱伝導率より低ければ、内側層２３等の材料は限定されない。 Similarly, in the embodiment described above, the fiber reinforced resin member 24a in the central layer 24 is a member obtained by solidifying a large number of fibers such as carbon fibers into a strip shape using an adhesive such as an epoxy resin. The fiber may be a glass fiber. The fiber reinforced resin member 24a may be formed of a material other than the fiber reinforced resin. For example, the fiber reinforced resin member 24a may be formed of ceramics or stainless steel. In short, if the thermal conductivity of the heat transfer reduction part 24b is lower than the thermal conductivity of the member 24a formed by the strip-like fiber reinforced resin of the inner layer 23, the outer layer 25, and the central layer 24, the inner layer 23 is used. Such materials are not limited.

上述した実施の形態では、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように、内側層２３及び外側層２５を配置する。しかしながら、内側層２３及び外側層２５は、内側層２３を構成する繊維の延長方向と、外側層２５を構成する繊維の延長方向とが直交するように配置されると限定されない。 In the embodiment described above, the inner layer 23 and the outer layer 25 are arranged so that the extension direction of the fibers constituting the inner layer 23 and the extension direction of the fibers constituting the outer layer 25 are orthogonal to each other. However, the inner layer 23 and the outer layer 25 are not limited as long as the extending direction of the fibers constituting the inner layer 23 and the extending direction of the fibers forming the outer layer 25 are orthogonal to each other.

上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａを製造する際、積層された内側層２３、中央層２４及び外側層２５を例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。しかしながら、内側ジャケット２２ａを製造する際の加熱温度は１００−１５０℃に限定されない。同様に上述した実施の形態では、冷却ジャケット２２を製造する際、内側ジャケット２２ａ、仕切り壁２２ｃ及び外側ジャケット２２ｂを例えば１００−１５０℃の温度で加熱する。しかしながら、冷却ジャケット２２を製造する際の加熱温度は１００−１５０℃に限定されない。 In embodiment mentioned above, when manufacturing the inner jacket 22a, the laminated | stacked inner layer 23, the center layer 24, and the outer layer 25 are heated at the temperature of 100-150 degreeC, for example. However, the heating temperature at the time of manufacturing the inner jacket 22a is not limited to 100-150 ° C. Similarly, in the embodiment described above, when the cooling jacket 22 is manufactured, the inner jacket 22a, the partition wall 22c, and the outer jacket 22b are heated at a temperature of 100 to 150 ° C., for example. However, the heating temperature when manufacturing the cooling jacket 22 is not limited to 100-150 ° C.

上述した実施の形態では、内側層２３及び外側層２５のそれぞれの厚さは０．５ｍｍ程度であるが、内側層２３及び外側層２５のそれぞれの厚さは０．５ｍｍ程度に限定されない。また、上述した実施の形態では、繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは実質的に同じであり、繊維強化樹脂の部材２４ａの幅は伝熱低減部２４ｂの幅より狭い。しかしながら、繊維強化樹脂の部材２４ａの厚さと伝熱低減部２４ｂの厚さとは異なっていてもよいし、繊維強化樹脂の部材２４ａの幅と伝熱低減部２４ｂの幅とは同じであってもよい。繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとの厚さ及び幅は限定されない。つまり、上述した実施の形態では、繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとは例えば０．３ｍｍという同じ厚さであるが、繊維強化樹脂の部材２４ａと伝熱低減部２４ｂとの厚さは０．３ｍｍであると限定されない。 In the embodiment described above, the thickness of each of the inner layer 23 and the outer layer 25 is about 0.5 mm, but the thickness of each of the inner layer 23 and the outer layer 25 is not limited to about 0.5 mm. In the above-described embodiment, the thickness of the fiber reinforced resin member 24a and the thickness of the heat transfer reducing portion 24b are substantially the same, and the width of the fiber reinforced resin member 24a is the width of the heat transfer reducing portion 24b. Narrower. However, the thickness of the fiber reinforced resin member 24a may be different from the thickness of the heat transfer reduction portion 24b, and the width of the fiber reinforced resin member 24a may be the same as the width of the heat transfer reduction portion 24b. Good. The thickness and width of the fiber reinforced resin member 24a and the heat transfer reduction portion 24b are not limited. That is, in the above-described embodiment, the fiber reinforced resin member 24a and the heat transfer reduction portion 24b have the same thickness of, for example, 0.3 mm, but the fiber reinforced resin member 24a and the heat transfer reduction portion 24b have the same thickness. The thickness is not limited to 0.3 mm.

上述した実施の形態では、伝熱低減部２４ｂはウレタン樹脂の部材である。しかしながら、伝熱低減部２４ｂはウレタン樹脂以外の材料の部材であってもよい。例えば、伝熱低減部２４ｂは空隙であってもよいし、紙の部材であってもよい。伝熱低減部２４ｂが空隙である場合、図５に示す伝熱低減部２４ｂの部分には何も配置されない。その場合、伝熱低減部２４ｂの強度はそれがウレタン樹脂で形成されている場合よりも小さくなるので、内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂によって形成される部材２４ａは、強度が大きいステンレスによって形成されることが好ましい。 In the above-described embodiment, the heat transfer reduction portion 24b is a urethane resin member. However, the heat transfer reduction part 24b may be a member made of a material other than urethane resin. For example, the heat transfer reduction unit 24b may be a gap or a paper member. When the heat transfer reduction part 24b is a space | gap, nothing is arrange | positioned in the part of the heat transfer reduction part 24b shown in FIG. In that case, since the strength of the heat transfer reduction portion 24b is smaller than that of the case where it is formed of urethane resin, the heat transfer reduction portion 24b is formed of strip-like fiber reinforced resin of the inner layer 23, the outer layer 25, and the central layer 24. The member 24a is preferably formed of stainless steel having a high strength.

内側層２３及び外側層２５、並びに中央層２４の短冊状の繊維強化樹脂によって形成される部材２４ａが、ステンレスによって形成されたものに置き換えられた場合、内側ジャケット２２ａを製造する際の加熱工程では、例えば１０００−１５００℃の温度で加熱する。その加熱により、内側層２３、外側層２５、及び中央層２４のステンレスによって形成される部材２４ａの相互に拡散接合を作用させ、その作用によりそれらを接合させ、内側ジャケット２２ａを製造する。なお、上述の加熱工程における加熱温度は１０００−１５００℃であると限定されない。加熱温度は、内側層２３、外側層２５、及び中央層２４の短冊状のステンレスによって形成される部材２４ａが接合する温度であればよい。 When the member 24a formed by the strip-like fiber reinforced resin of the inner layer 23, the outer layer 25, and the central layer 24 is replaced with one formed of stainless steel, in the heating step when manufacturing the inner jacket 22a, For example, heating is performed at a temperature of 1000 to 1500 ° C. By the heating, members 24a formed of stainless steel of the inner layer 23, the outer layer 25, and the central layer 24 are subjected to diffusion bonding, and these members are bonded by the action to manufacture the inner jacket 22a. In addition, the heating temperature in the above-mentioned heating process is not limited to 1000-1500 degreeC. The heating temperature should just be the temperature which the member 24a formed with the strip-shaped stainless steel of the inner side layer 23, the outer side layer 25, and the center layer 24 joins.

上述した実施の形態では、仕切り壁２２ｃは炭素繊維等の繊維多数本をエポキシ樹脂等の接着剤を用いて層状に固められた部材であり、仕切り壁２２ｃの厚さは０．５ｍｍ程度である。しかしながら、仕切り壁２２ｃの材料は限定されないし、仕切り壁２２ｃの厚さも限定されない。加えて、上述した実施の形態では、仕切り壁２２ｃの幅は伝熱低減部２４ｂの幅よりやや狭い。しかしながら、仕切り壁２２ｃの幅は限定されない。 In the embodiment described above, the partition wall 22c is a member formed by laminating a large number of fibers such as carbon fibers using an adhesive such as an epoxy resin, and the thickness of the partition wall 22c is about 0.5 mm. . However, the material of the partition wall 22c is not limited, and the thickness of the partition wall 22c is not limited. In addition, in the embodiment described above, the width of the partition wall 22c is slightly narrower than the width of the heat transfer reduction unit 24b. However, the width of the partition wall 22c is not limited.

上述した実施の形態では、複数の仕切り壁２２ｃを一定の間隔をおいて内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの間に配置し、一定の間隔は例えば例えば隣り合う２つの伝熱低減部２４ｂの中心相互の間隔と実質的に同じである。しかしながら、隣り合う２つの仕切り壁２２ｃの間隔は場所によって異なってもよい。また、隣り合う２つの仕切り壁２２ｃの間隔が場所に依存せずに同じであっても、その間隔は限定されない。いずれの場合であっても、伝熱低減部２４ｂは仕切り壁２２ｃに対向して配置される。 In the above-described embodiment, the plurality of partition walls 22c are arranged between the inner jacket 22a and the outer jacket 22b at a certain interval, and the certain interval is, for example, the center of two adjacent heat transfer reduction portions 24b. It is substantially the same as the mutual distance. However, the interval between two adjacent partition walls 22c may vary depending on the location. Moreover, even if the space | interval of two adjacent partition walls 22c is the same irrespective of a place, the space | interval is not limited. In any case, the heat transfer reduction part 24b is arranged to face the partition wall 22c.

上述した実施の形態では、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとは同じ構成を有する。しかしながら、内側ジャケット２２ａと外側ジャケット２２ｂとの一方が伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有していれば、他方は伝熱低減部２４ｂ，２７ｂを有していなくてもよい。その場合であっても、実施の形態のリニアモータ電機子２の冷却ジャケット２２表面における温度不均一を低減することができる。 In the embodiment described above, the inner jacket 22a and the outer jacket 22b have the same configuration. However, if one of the inner jacket 22a and the outer jacket 22b has the heat transfer reduction portions 24b and 27b, the other may not have the heat transfer reduction portions 24b and 27b. Even in that case, temperature non-uniformity on the surface of the cooling jacket 22 of the linear motor armature 2 of the embodiment can be reduced.

上述した実施の形態では、界磁３は可動子として機能し、リニアモータ電機子２は固定子として機能し、界磁３はリニアモータ電機子２に対し相対的に走行する。しかしながら、リニアモータ電機子２が可動子として機能し、界磁３が固定子として機能し、リニアモータ電機子２が界磁３に対し相対移動してもよい。 In the embodiment described above, the field 3 functions as a mover, the linear motor armature 2 functions as a stator, and the field 3 travels relative to the linear motor armature 2. However, the linear motor armature 2 may function as a mover, the field 3 may function as a stator, and the linear motor armature 2 may move relative to the field 3.

１：リニアモータ
２，２´：リニアモータ電機子
３：界磁
２１：電機子コイル
２２，２２´：冷却ジャケット
２２ａ，２２ａ´：内側ジャケット
２２ｂ，２２ｂ´：外側ジャケット
２２ｃ：仕切り壁
２２ｄ：冷媒流路
２２ｅ：冷媒供給口
２２ｆ：冷媒排出口
２３，２６：内側層
２４，２７：中央層
２４ａ：繊維強化樹脂の部材，繊維強化樹脂によって形成される部材、繊維強化樹脂等によって形成される部材、ステンレスによって形成される部材
２４ｂ，２７ｂ：伝熱低減部
２７ａ：繊維強化樹脂の部材
２５，２８：外側層
２９：結線基板
３１：永久磁石
Ａ，Ｈ，Ｚ：矢印
Ｄ：厚さ方向
Ｆ１：圧縮応力
Ｆ２：引張応力
Ｌ：長手方向
Ｐ：方向
Ｓ：空間 1: Linear motor 2, 2 ': Linear motor armature 3: Field 21: Armature coil 22, 22': Cooling jacket 22a, 22a ': Inner jacket 22b, 22b': Outer jacket 22c: Partition wall 22d: Refrigerant Channel 22e: Refrigerant supply port 22f: Refrigerant discharge port 23, 26: Inner layer 24, 27: Center layer 24a: Fiber reinforced resin member, member formed of fiber reinforced resin, member formed of fiber reinforced resin, etc. Members 24b and 27b formed of stainless steel: Heat transfer reduction part 27a: Fiber reinforced resin member 25, 28: Outer layer 29: Connection substrate 31: Permanent magnets A, H, Z: Arrow D: Thickness direction F1: Compressive stress F2: Tensile stress L: Longitudinal direction P: Direction S: Space

Claims

A heating element arranged along the moving direction of the mover;
A linear motor armature having a cooling jacket disposed near the surface of the heating element,
The cooling jacket is
A plurality of refrigerant flow paths defined by an inner jacket located on the side closer to the heating element, an outer jacket located on the side far from the heating element, and a partition wall connecting the inner jacket and the outer jacket. Have inside,
A linear motor armature, wherein a heat transfer reduction unit that reduces heat conduction from the heating element is disposed to face the partition wall in at least one of the inner jacket and the outer jacket.

2. The linear motor armature according to claim 1, wherein the heat transfer reduction unit is not arranged in an inner position of the inner jacket and an inner position of the outer jacket facing the refrigerant flow path.

The linear motor armature according to claim 1, wherein the heat transfer reduction portion is a gap.

The heat transfer reduction part
The linear motor armature according to any one of claims 1 to 3, wherein the linear motor armature is disposed at a substantially center in a thickness direction of at least one of the inner jacket and the outer jacket.

A heating element arranged along the moving direction of the mover;
A linear motor armature having a cooling jacket disposed near the surface of the heating element,
The cooling jacket is
A plurality of refrigerant flow paths defined by an inner jacket located on the side closer to the heating element, an outer jacket located on the side far from the heating element, and a partition wall connecting the inner jacket and the outer jacket. Have inside,
At least one of the inner jacket and the outer jacket is configured by laminating at least three layers of an inner layer, a center layer, and an outer layer in order from the side close to the heating element,
The inner layer and the outer layer are formed of fiber reinforced resin, ceramics or stainless steel,
The central layer has strip-shaped fiber reinforced resin, ceramic or stainless steel members and strip-shaped heat transfer reduction portions alternately extending along a direction perpendicular to the longitudinal direction. Arranged to form,
The heat transfer reduction unit is a linear motor armature that is disposed opposite to the partition wall to reduce heat conduction from the heating element.

The linear motor armature according to any one of claims 1 to 5,
A magnetic field which is arranged opposite to the linear motor armature via a magnetic air gap and alternately arranges a plurality of permanent magnets having different polarities.
A linear motor in which one of the linear motor armature and the field is a stator and the other is a mover, and the linear motor armature and the field are relatively driven.