JP2013250230A - 処理装置および処理装置の校正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検出部を組み込んだ状態で検出部を校正する処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置１は、物性値が予め求められた基準流体Ｌ２を収容可能な供給部１０と、作動流体Ｌ１を収容するための収容部２０と、収容部に設けられ、作動流体を用いて処理を行う処理部３０と、流体の物性変化を電気信号に変換し出力する検出部３５と、検出部が検出した電気信号から、流体の物性値を算出する算出部５５と、検出部に、収容部内の作動流体および供給部内の基準流体のいずれか一方を切り替えて供給可能な切り替え機構６０と、検出部に基準流体を供給したときに検出部が出力した電気信号から算出部により算出される基準流体の物性値が、基準流体の予め求められた物性値となるように、算出部が算出する物性値を調節する調節部６５と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、作動流体を用いて処理を行う処理装置および処理装置の校正方法に関する。

従来、燃料電池システム（処理装置）などでは、システム内で作動流体を循環させて発電などの処理を行っている。作動流体としては、例えば、エタノールと純水との混合物が用いられ、触媒を用いて作動流体を反応させることで発電を行っている。作動流体中におけるエタノールの濃度は、発電が進むにつれて変化する。そこで、燃料電池システムには、作動流体の濃度を検出するために、例えば特許文献１に記載された、いわゆる表面弾性波溶液センサ（検出部）が組み込まれた状態で用いられている。

表面弾性波溶液センサは、センサ表面を伝搬する弾性表面波と流体との相互作用を利用して、流体の物性値を検出するデバイスである。表面弾性波溶液センサの原理上、センサと測定対象の流体とを接触させて使用する。

特開２００８−３０９７７９号公報

燃料電池システム内に組み込まれた表面弾性波溶液センサは、長期間流体に浸漬されるため、不純物がセンサ表面に堆積したり、センサ自体が変形したりしてセンサ特性が経時変化することが予想される。
しかしながら、このように構成された燃料電池システムでは、システムを連続して運転している場合が多いため定期的にセンサを取り外して校正することが難しく、また、センサの取り外しに多大な労力が必要となっている。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、検出部を組み込んだ状態で検出部を校正する処理装置および処理装置の校正方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の処理装置は、物性値が予め求められた基準流体を収容可能な供給部と、作動流体を収容するための収容部と、前記収容部に設けられ、前記作動流体を用いて処理を行う処理部と、流体の物性変化を電気信号に変換し出力する検出部と、前記検出部の出力した前記電気信号から、前記流体の前記物性値を算出する算出部と、前記検出部に、前記収容部内の前記作動流体および前記供給部内の前記基準流体のいずれか一方を切り替えて供給可能な切り替え機構と、前記検出部に前記基準流体を供給したときに前記検出部が出力した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が、前記基準流体の予め求められた前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節する調節部と、を備えることを特徴としている。

また、上記の処理装置において、前記収容部は、環状の閉流路として形成され、前記検出部は前記収容部に設けられていることがより好ましい。
また、上記の処理装置において、前記供給部は、前記収容部と連通可能とされ、前記作動流体は、前記基準流体を含むことがより好ましい。

また、上記の処理装置において、第二の流体を収容可能であって、前記収容部と連通可能とされた第二の供給部を備えることがより好ましい。
また、上記の処理装置において、前記基準流体の前記物性値は、温度に応じて予め求められ、前記調節部は、前記検出部に所定温度の前記基準流体を供給したときに前記検出部が検出した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が、前記基準流体の予め求められた前記所定温度の前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節することがより好ましい。

また、本発明の処理装置の校正方法は、収容部に収容された作動流体を用いて処理部で処理を行うとともに、流体の物性変化を電気信号に変換し出力する検出部に前記収容部内の前記作動流体を供給し、前記検出部が出力した前記電気信号から、算出部で前記作動流体の前記物性値を算出する処理工程と、予め前記物性値が求められた液状の基準流体を前記検出部に供給し、前記検出部が出力した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が前記基準流体の予め求められた前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節する校正工程と、を備えることを特徴としている。

本発明の処理装置および処理装置の校正方法によれば、検出部を組み込んだ状態で検出部を校正することができる。

本発明の一実施形態の燃料電池システムの概要構成図である。 同燃料電池システムの表面弾性波溶液センサにおける要部の断面図である。 同燃料電池システムの誘電率算出部で算出される比誘電率を示す図である。

以下、本発明に係る処理装置の一実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。以下では、処理装置が燃料電池システムである場合を例にとって説明する。
図１に示すように、本燃料電池システム１は、第一の供給部（供給部）１０および第二の供給部１５と、溶液（作動流体）Ｌ１を収容する収容部２０と、収容部２０に設けられた反応部（処理部）３０と、流体の物性変化を電気信号に変換し出力する表面弾性波溶液センサ（検出部）３５と、出力された電気信号から、流体の誘電率（物性値）を算出する誘電率算出部（算出部）５５と、表面弾性波溶液センサ３５に供給する流体を切り替える切り替え機構６０と、誘電率算出部５５が算出する誘電率を調節する調節部６５とを備えている。

第一の供給部１０としては、中空の容器を用いることができる。第一の供給部１０内には、不図示の開口から純水（基準流体）Ｌ２を収容可能となっている。
第二の供給部１５には、第一の供給部１０と同様の構成のものが用いられている。第二の供給部１５内には、不図示の開口からエタノール（第二の流体）Ｌ３を収容可能となっている。
収容部２０は、貯留タンク２１と、両端部が貯留タンク２１にそれぞれ接続された主配管２２とを有している。収容部２０は全体として、環状の閉流路の形状に形成されている。
主配管２２には、反応部３０と、後述するケース４３とが設けられている。主配管２２には、ケース４３と貯留タンク２１との間に主開閉バルブ２４が、ケース４３と反応部３０との間に主開閉バルブ２５がそれぞれ設けられている。
この例では、溶液Ｌ１は、純水Ｌ２とエタノールＬ３とを所定の割合で混合させた混合液となっている。

反応部３０は、公知の構成を有していて、反応部３０に設けられた不図示の触媒により溶液Ｌ１から電力を発生させることができる。なお、溶液Ｌ１を反応させることで、溶液Ｌ１中のエタノールＬ３の濃度が低下する。

表面弾性波溶液センサ３５は、図１および図２に示すように、第一弾性表面波素子３６と、第二弾性表面波素子３７と、高周波の電気信号を発生する発振器３８と、発振器３８からの電気信号を分配する分配器３９と、弾性表面波に対応した出力信号の振幅比および位相差を測定する振幅比位相差検出器４０とを有している。
弾性表面波素子３６、３７は、ケース４３内に収容されるとともに、圧電基板４４上に互いに並列になるように配置されている。ケース４３に形成された流入口４３ａおよび流出口４３ｂが主配管２２の管路と連通することで、主配管２２にケース４３が設けられ、ケース４３内に溶液Ｌ１を充填させることができる。

第一弾性表面波素子３６は、入力電極４７と、出力電極４８と、入力電極４７と出力電極４８との間に形成された短絡伝搬路４９とを有している。同様に、第二弾性表面波素子３７は、入力電極５０と、出力電極５１と、入力電極５０と出力電極５１との間に形成された開放伝搬路５２とを有している。
入力電極４７、５０は、発振器３８から分配器３９を介して入力された電気信号によって、弾性表面波を励振させるために櫛形電極で構成されている。出力電極４８、５１は、入力電極４７、５０で励振され伝搬してきた弾性表面波を受信するために櫛形電極で構成されている。

短絡伝搬路４９および開放伝搬路５２は、圧電基板４４上に成膜された金属膜を用いて形成されている。開放伝搬路５２には、金属膜の一部を剥離することで、圧電基板４４が露出するように開放領域Ｒ１が形成されている。したがって、圧電基板４４が露出している開放領域Ｒ１は、電気的に開放状態となっている。
なお、開放伝搬路５２においても、圧電基板４４上に金属膜が成膜された部分については、短絡伝搬路４９と同様に電気的に短絡状態となっている。

振幅比位相差検出器４０としては、例えば、ユニバーサルカウンターを用いることができる。
誘電率算出部５５は、不図示の演算素子およびメモリを有している。

ここで、表面弾性波溶液センサ３５および誘電率算出部５５で誘電率（比誘電率）を算出する手順について説明する。
ケース４３内に溶液Ｌ１を充填した状態で、発振器３８より電気信号を分配器３９で分配して、弾性表面波素子３６、３７へ同一信号を入力する。第一弾性表面波素子３６では、入力された信号に基づいて弾性表面波が励振され、短絡伝搬路４９上、および短絡伝搬路４９に隣接する溶液Ｌ１と接触しながら伝搬して、出力電極４８で受信される。同様に、第二弾性表面波素子３７では、入力された信号に基づいて弾性表面波が励振され、開放伝搬路５２上、および開放伝搬路５２に隣接する溶液Ｌ１と接触しながら伝搬して、出力電極５１で受信される。

出力電極４８と出力電極５１で受信した弾性表面波から取り出した両出力信号を振幅比位相差検出器４０で比較して振幅比及び位相差を検出し、誘電率算出部５５において溶液Ｌ１の比誘電率が算出される。
なお、誘電率算出部５５は、後述するように、誘電率算出部５５に接続された調節部６５内のメモリに記憶された補正値だけ引いた補正比誘電率を出力するようになっている。

溶液Ｌ１の比誘電率の具体的な算出は、以下に説明する摂動法による算出式によって行われる。標準液として純水を用いた場合に標準液の複素誘電率をε_ｔ、比誘電率をε_ｒ、真空の誘電率をε_０、導電率をσ、発振器３８から出力される信号の励振角周波数をωとすると、式（１）のようになる。ここで、標準液では導電率σ＝０であるために、式（１）は式（２）のようになる。

次に、測定対象である溶液Ｌ１の複素誘電率をε_ｔ ^’、比誘電率をε_ｒ ^’、導電率をσ^’とすると式（３）の関係となる。また、伝搬速度の速度変化量△Ｖ／Ｖ、減衰変化量△α／ｋは、式（４）、式（５）で表される。

ここで、Ｖは、伝搬路を伝搬する弾性表面波の伝搬速度、△Ｖは、標準液に対する溶液Ｌ１における弾性表面波の伝搬速度の変化量、αは、弾性表面波の伝搬減衰、△αは、標準液に対する溶液Ｌ１における弾性表面波の伝搬減衰の変化量、ｋは波数で、ｋ＝２π／λであり、ε_ｐ ^Ｔは、表面弾性波基板（圧電基板）の実効誘電率である。

また、伝搬速度の速度変化量△Ｖ／Ｖ、減衰変化量△α／ｋと、振幅比△ａｍｐ、位相差△φとの関係は、伝搬路長の差をＬとすると、式（６）、式（７）で表される。

振幅比位相差検出器４０では、出力信号の位相差△φ、および振幅比△ａｍｐを検出する。振幅比位相差検出器４０で検出した位相差△φおよび振幅比△ａｍｐは、誘電率算出部５５に送信される。
誘電率算出部５５のメモリには、式（４）から式（７）が記憶されている。誘電率算出部５５の演算素子は、出力信号の位相差△φを式（６）に、振幅比△ａｍｐを式（７）に代入して、速度変化量△Ｖ／Ｖ、減衰変化量△α／ｋを求める。そして、求めた速度変化量△Ｖ／Ｖを式（４）に、減衰変化量△α／ｋを式（５）に代入して、式（４）、（５）の連立方程式から測定対象である溶液Ｌ１の比誘電率ε_ｒ ^’を求める。溶液Ｌ１の誘電率は、（ε_ｒ ^’ε_０）の式で求められる値となる。
なお、溶液Ｌ１に対する振幅比位相差検出器４０で検出した出力信号の位相差△φ、振幅比△ａｍｐは、予め溶液Ｌ１と同様に標準液について検出した位相差、振幅比に対する変化量として規定化したうえで代入している。

図１に示すように、貯留タンク２１から延びる接続配管７１には、第一の供給部１０、第二の供給部１５から延びる接続配管７２、７３が連通している。接続配管７１における接続配管７２、７３が接続された部分より貯留タンク２１側には、補助開閉バルブ７５が設けられている。接続配管７２、７３には、補助開閉バルブ７６、７７がそれぞれ設けられている。

切り替え機構６０は、接続配管７１における補助開閉バルブ７５に対して貯留タンク２１とは反対側の部分と、主配管２２におけるケース４３と主開閉バルブ２５との間の部分にそれぞれ連通する接続配管６１と、接続配管６１に設けられた接続バルブ６２とを有している。
調節部６５は、内部にメモリ６５ａを有している。このメモリ６５ａには、例えば、２０℃における純水Ｌ２の比誘電率（ここでは、説明を簡単にするために、この値を８０とする。）が文献を調査することや実験などにより予め求められ、記憶されている。また、メモリ６５ａには、誘電率算出部５５の算出結果を処理した値（以下、「補正値」と称する。）が記憶可能となっている。
収容部２０には、不図示のポンプが設けられていて、収容部２０内の溶液Ｌ１を循環させることができる。

本燃料電池システム１は、反応部３０、発振器３８、誘電率算出部５５、調節部６５、主開閉バルブ２４、２５、補助開閉バルブ７５、７６、７７、接続バルブ６２に接続され、これらを制御する主制御部８０を備えている。
主制御部８０には、操作者が主制御部８０に指示を与えるためのスイッチなどの入力部８１と、後述する補正比誘電率などを表示するモニタ８２とが接続されている。
主制御部８０は、不図示の電源を備えていて、反応部３０などの燃料電池システム１の各構成に電力を供給することができる。

主開閉バルブ２４、２５、補助開閉バルブ７５、７６、７７、接続バルブ６２（以下、「主開閉バルブ２４など」と称する。）は主制御部８０に電気的に接続されていて、主開閉バルブ２４などの内部には、主制御部８０の命令に基づいて動作する不図示のソレノイドが設けられている。主開閉バルブ２４などは、主制御部８０の指示に基づいて、それぞれが設けられている配管の管路を通した状態の開状態と、管路を封止した閉状態とに切り替えることができる。
接続バルブ６２、補助開閉バルブ７７を閉状態にしつつ補助開閉バルブ７５、７６を開状態にすることで、貯留タンク２１と第一の供給部１０とを連通させて、第一の供給部１０内の純水Ｌ２を貯留タンク２１に供給することができる。同様に、接続バルブ６２、補助開閉バルブ７６を閉状態にしつつ補助開閉バルブ７５、７７を開状態とすることで、貯留タンク２１と第二の供給部１５とを連通させて、第二の供給部１５内のエタノールＬ３を貯留タンク２１に供給することができる。
また、補助開閉バルブ７５、７７、主開閉バルブ２５を閉状態にしつつ補助開閉バルブ７６、接続バルブ６２、主開閉バルブ２４を開状態にすることで、第一の供給部１０内の純水Ｌ２をケース４３に供給することができる。

次に、以上のように構成された燃料電池システム１の校正方法について説明する。以下では、ケース４３内に温度調節器が設けられていてケース４３内の溶液Ｌ１の温度が一定に保たれている場合、もしくは、ケース４３内の溶液Ｌ１の温度が変化しても、温度変化による誘電率の変化が無視できるほどわずかである場合で説明する。
本燃料電池システム１は、製造された際に校正されていて、図３の曲線Ｃ１に示すように、ケース４３内に２０℃の純水Ｌ２を充填したときに、誘電率算出部５５が算出する比誘電率が８０となるように調節されている。また、調節部６５のメモリ６５ａには、補正値として「０」が記憶されているとする。

操作者は、入力部８１を操作して主制御部８０を起動する。主制御部８０から反応部３０などに電力が供給される。
まず、主制御部８０は、以下に説明する処理工程を行う。
主制御部８０は、主開閉バルブ２４、２５を開状態にするとともに、補助開閉バルブ７５、７６、７７、接続バルブ６２を閉状態にする。不図示のポンプにより収容部２０内およびケース４３内を溶液Ｌ１が循環する。反応部３０では、溶液Ｌ１を用いて電力が取り出される。
また、反応部３０で電力が取り出される間に、発振器３８から分配器３９を介して弾性表面波素子３６、３７に電気信号を入力することで、振幅比位相差検出器４０で出力信号の位相差△φ、および振幅比△ａｍｐを検出し、誘電率算出部５５で溶液Ｌ１の比誘電率ε_ｒ ^’が算出される。このとき、調節部６５のメモリ６５ａに記憶された補正値は「０」であるため、補正比誘電率は、位相差△φおよび振幅比△ａｍｐから算出された比誘電率ε_ｒ ^’と等しい値となり、補正比誘電率がモニタ８２に表示される。

なお、純水Ｌ２の比誘電率は８０、エタノールＬ３の比誘電率は約２４であるため、モニタ８２に表示される溶液Ｌ１の補正比誘電率から溶液Ｌ１中の純水Ｌ２とエタノールＬ３との混合比率（濃度）を容易に求めることができる。
溶液Ｌ１中のエタノールＬ３の濃度が変化したら、前述のように補助開閉バルブ７５、７６、７７を操作して、純水Ｌ２やエタノールＬ３を貯留タンク２１に適宜供給する。

燃料電池システム１を動作させるにつれて、表面弾性波溶液センサ３５の弾性表面波素子３６、３７の表面には、溶液Ｌ１中の不純物が堆積してくる。
操作者は、燃料電池システム１を一定時間動作させたときに、入力部８１を操作して主制御部８０に校正の指示を送信する。主制御部８０は、処理工程を終了し、以下に説明する校正工程に移行する。
まず、前述のようにバルブの開状態と閉状態とを調節することで、第一の供給部１０内の純水Ｌ２をケース４３に供給する。ケース４３に、例えば数秒程度純水Ｌ２を流し入れることで、弾性表面波素子３６、３７に接触する液体を溶液Ｌ１から純水Ｌ２に置き換えることができる。
このとき、誘電率算出部５５において２０℃の純水Ｌ２の比誘電率ε_ｒ ^’が、図３の曲線Ｃ２に示すように８１と算出されたとする。誘電率算出部５５で算出された比誘電率ε_ｒ ^’は、調節部６５に送信され、調節部６５のメモリ６５ａの補正値には、送信された値８１から、既にメモリ６５ａに記憶されている純水Ｌ２の比誘電率８０を引いた値「１」が記憶される。
これにより、再び処理工程に移行して、誘電率算出部５５で溶液Ｌ１の比誘電率ε_ｒ ^’を算出した際には、誘電率算出部５５で算出された比誘電率ε_ｒ ^’から、調節部６５に記憶された補正値「１」を引いた値８０が、補正比誘電率としてモニタ８２に表示される。
表面弾性波溶液センサ３５に不純物が堆積している場合であっても、ケース４３に純水Ｌ２を充填したときには、図３の曲線Ｃ３に示すように補正された補正比誘電率「８０」がモニタ８２に表示されるようになる。
補正値の取得が終了すると、校正工程を終了し処理工程に移行する。

このように、処理工程と校正工程とを交互に繰り返し、発電を行いながら、溶液Ｌ１中のエタノールＬ３の濃度を測定する。

以上説明したように、本実施形態の燃料電池システム１、およびその校正方法によれば、ケース４３に純水Ｌ２を充填させたときに誘電率算出部５５により算出される溶液Ｌ１の比誘電率が、予め求められた純水Ｌ２の比誘電率である８０と等しくなるように調節部６５で調節した補正比誘電率をモニタ８２に表示する。このため、燃料電池システム１に表面弾性波溶液センサ３５を組み込んだ状態であっても、表面弾性波溶液センサ３５を校正することができる。

収容部２０は環状の閉流路として形成されているとともに、表面弾性波溶液センサ３５は主配管２２に設けられている。したがって、収容部２０内の溶液Ｌ１を用いて反応部３０で発電している間に、表面弾性波溶液センサ３５で溶液Ｌ１の比誘電率を連続的に算出することができる。また、収容部２０を環状に形成することで、収容部２０内の溶液Ｌ１が流れずに淀むのを抑制することができる。
第一の供給部１０は収容部２０と連通可能となっているため、ケース４３に純水Ｌ２を容易に供給することができる。また、溶液Ｌ１として純水Ｌ２を成分に含むものを用いることで、校正に用いた純水Ｌ２を廃棄せずに溶液Ｌ１の一部として用いることができる。これにより、校正に要する時間を短縮させることができる。

収容部２０と連通可能とされた第二の供給部１５を備えることで、収容部２０内に、純水Ｌ２とエタノールＬ３とをそれぞれ供給することができる。

以上、本発明の一実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更なども含まれる。
たとえば、前記実施形態では、検出部および算出部で算出される物性値が誘電率であるとしたが、物性値は導電率などでもよい。
燃料電池システム１のケース４３に純水Ｌ２を充填させて校正するとしたが、校正に用いる基準流体は予め誘電率が求められているものであれば、溶液Ｌ１の成分であるエタノールＬ３を用いてもよいし、溶液Ｌ１の成分以外のものを用いてもよい。
燃料電池システム１は、供給部として第一の供給部１０、第二の供給部１５の２つを備えるとしたが、燃料電池システムが備える供給部の数に制限はなく、１つでもよいし、３つ以上でもよい。

また、前記実施形態では、燃料電池システムにケース４３内の溶液Ｌ１の温度を測定する温度センサを備えてもよい。この温度センサは、調節部６５に接続される。さらに、調節部６５のメモリ６５ａには、予め求められた、例えば２０℃、４０℃における純水Ｌ２の比誘電率が記憶される。すなわち、純水Ｌ２の温度に応じた複数の比誘電率をメモリ６５ａに記憶しておく。なお、説明を簡単にするために、純水Ｌ２の比誘電率が２０℃で８０であり、４０℃で７９であるとする。
この燃料電池システムを用いた校正方法は、前記実施形態における校正方法と校正工程のみ異なる。
校正工程において、温度センサでケース４３内の溶液Ｌ１の温度を測定し、測定結果を調節部６５に送信する。この測定結果が例えば４０℃であり、誘電率算出部５５で算出された比誘電率ε_ｒ ^’が７９．６だったとする。
このとき、調節部６５のメモリ６５ａの補正値には、算出された値７９．６から、既にメモリ６５ａに記憶されている４０℃に対する純水Ｌ２の比誘電率７９を引いた値「０．６」が記憶される。
すなわち、４０℃の純水Ｌ２を基準として、燃料電池システムが校正される。
燃料電池システムをこのように構成することで、表面弾性波溶液センサ３５内の溶液Ｌ１の温度が変化する場合であっても、燃料電池システムを校正することができる。

なお、前記実施形態、および前記変形例では、燃料電池システムにケース４３内の溶液Ｌ１の圧力を測定する圧力センサを備えてもよい。この場合、調節部６５のメモリ６５ａには、予め求められた、圧力に応じた純水Ｌ２の比誘電率が記憶されることになる。
燃料電池システムに用いられる流体は、純水やエタノールに限られることなく、所望のものを適宜選択して用いることができる。

前記実施形態では、処理装置が燃料電池システムであるとしたが、処理装置はこれに限ることなく、例えば、作動流体としてペーハー（ｐＨ）が一定の値に調節された洗浄液を用いる洗浄装置などであってもよい。

１ 燃料電池システム（処理装置）
１０ 第一の供給部（供給部）
１５ 第二の供給部
２０ 収容部
３０ 反応部（処理部）
３５ 表面弾性波溶液センサ（検出部）
５５ 誘電率算出部（算出部）
６５ 調節部
Ｌ１ 溶液（作動流体）
Ｌ２ 純水（基準流体）
Ｌ３ エタノール（第二の流体）

Claims (6)

1. 物性値が予め求められた基準流体を収容可能な供給部と、
   作動流体を収容するための収容部と、
   前記収容部に設けられ、前記作動流体を用いて処理を行う処理部と、
   流体の物性変化を電気信号に変換し出力する検出部と、
   前記検出部が出力した前記電気信号から、前記流体の前記物性値を算出する算出部と、
   前記検出部に、前記収容部内の前記作動流体および前記供給部内の前記基準流体のいずれか一方を切り替えて供給可能な切り替え機構と、
   前記検出部に前記基準流体を供給したときに前記検出部が出力した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が、前記基準流体の予め求められた前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節する調節部と、
   を備えることを特徴とする処理装置。
2. 前記収容部は、環状の閉流路として形成され、
   前記検出部は前記収容部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 前記供給部は、前記収容部と連通可能とされ、
   前記作動流体は、前記基準流体を含むことを特徴とする請求項２に記載の処理装置。
4. 第二の流体を収容可能であって、前記収容部と連通可能とされた第二の供給部を備えることを特徴とする請求項３に記載の処理装置。
5. 前記基準流体の前記物性値は、温度に応じて予め求められ、
   前記調節部は、前記検出部に所定温度の前記基準流体を供給したときに前記検出部が出力した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が、前記基準流体の予め求められた前記所定温度の前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の処理装置。
6. 収容部に収容された作動流体を用いて処理部で処理を行うとともに、流体の物性変化を電気信号に変換し出力する検出部に前記収容部内の前記作動流体を供給し、前記検出部が出力した前記電気信号から、算出部で前記作動流体の前記物性値を算出する処理工程と、
   予め前記物性値が求められた液状の基準流体を前記検出部に供給し、前記検出部が出力した前記電気信号から前記算出部により算出される前記基準流体の前記物性値が前記基準流体の予め求められた前記物性値となるように、前記算出部が算出する前記物性値を調節する校正工程と、
   を備えることを特徴とする処理装置の校正方法。

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