JP2013247360A - ライトパスに沿う一体化される透過部分および反射部分を備える原子センサの物理パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このブロックは、真空密閉チャンバに交差する複数のライトパスを画定するための複数の透過表面および反射表面を含む、真空密閉チャンバを画定する光学的に透明な材料の1つまたは複数のセクションを備える。これらの光学的に透明な材料の1つまたは複数のセクションは、真空密閉チャンバの少なくとも一部分を画定する第1のモノリシックセクションを含む。この第1のモノリシックセクションは、複数のライトパスのうちの第1のライトパスに跨がるように配置される第1の部分を含み、それにより、第1のライトパス内の光が第1のモノリシックセクションの第1の部分上に入射するようになる。
【選択図】図1
Description
[0008]以下の詳細な説明では、本明細書の一部をなす添付図面を参照し、これらの添付図面では、特定の説明的な実施形態が説明のために示される。しかし、別の実施形態も使用され得ること、ならびに、論理的変更、機械的変更および電気的変更がなされ得ることを理解されたい。さらに、描かれる図および本明細書で提示される方法は、個別のステップが実施され得る順番を限定するものとしてみなされない。したがって、以下の詳細な説明は限定的な意味とみなされない。
[0034]ブロック314では、ブロック308で外部表面が処理されている場合には、外部表面が研磨され得、それにより、表面がさらに平滑化され、および/または、表面が光学的に透明になる。
[0038]ブロック320で、試料容器が真空密閉チャンバ120の第2の外部開口部に取り付けられ得る。一実施例では、光学的に透明な材料の複数のモノリシックブロックが固定的に一体に取り付けられるときと同時に、チャンバ排気構造および試料容器が取り付けられ得る。
[0041]実施例3は実施例1または2のいずれかのブロックの含み、ここでは、第1のセクションの第1の部分の内側表面および外側表面が光学的に透明であり、それにより、第1のライトパスに入るようにさらには第1のライトパスから出るように光が透過する。
[0046]実施例8は実施例6または7のいずれかのブロックを含み、ここでは、第1のモノリシックセクションおよび第2のモノリシックセクションがフリットシールを用いて固定的に取り付けられる。
[0059]実施例21は実施例19または20のいずれかのブロックを含み、これは、光学的に透明な材料のモノリシック構造の透過部分を透過するように構成される少なくとも1つの測定ライトパスを備える。
Claims (3)
- 原子センサの物理パッケージのためのブロックであって、
真空密閉チャンバを画定し、また、前記真空密閉チャンバと交差する複数のライトパスを画定するための複数の透過表面および反射表面を含む、光学的に透明な材料の1つまたは複数のセクションであって、前記光学的に透明な材料の1つまたは複数のセクションが、前記真空密閉チャンバの少なくとも一部分を画定する第1のモノリシックセクションを含み、前記第1のモノリシックセクションが、前記複数のライトパスのうちの第1のライトパスに跨がるように配置される第1の部分を含み、それにより、前記第1のライトパス内の光が前記第1のモノリシックセクションの前記第1の部分上に入射するようになる、光学的に透明な材料の1つまたは複数のセクション
を備える、ブロック。 - 物理パッケージのためのブロックを形成する方法であって、
真空密閉チャンバの少なくとも一部分を形成するために光学的に透明な材料のモノリシックマスを機械加工するステップと、
前記真空密閉チャンバと交差するライトパスの少なくとも一部分を形成するために前記光学的に透明な材料のモノリシックマスを機械加工するステップと、
前記光学的に透明な材料のモノリシックマスを研磨するステップであって、前記研磨するステップが、前記ライトパスの前記少なくとも一部分の端部のところにある第1の表面をエッチングするステップを含み、それにより、前記第1の表面が光学的に透明になる、ステップと、
前記第1の表面の裏側にあって前記ライトパスの前記部分に位置合わせされる第2の表面を形成するために、前記光学的に透明な材料のモノリシックマスを機械加工するステップと、
前記第2の表面を光学的に透明にするために前記第2の表面を研磨するステップと、
前記真空密閉チャンバの第1の外部開口部にチャンバ排気構造を取り付けるステップと
を含む、方法。 - 原子センサの物理パッケージのためのブロックであって、
光学的に透明な材料のモノリシック構造であって、
第1の外部開口部および第2の外部開口部を有する真空密閉チャンバ、および、
複数のライトパスの孔であって、前記複数のライトパスの孔の各々が外部開口部を有し、前記複数のライトパスの孔のうちの少なくとも1つが、前記光学的に透明な材料のモノリシック構造の内部表面のところで終端する、複数のライトパスの孔
を画定し、
前記内部表面が光学的に透明であり、それにより、前記それぞれのライトパスの孔の中の光が、前記光学的に透明な材料のモノリシック構造の外部部分まで、または、その外部部分から、前記光学的に透明な材料のモノリシック構造を透過することができる
光学的に透明な材料のモノリシック構造と、
前記ライトパスの孔の前記外部開口部の上に固定的に取り付けられる複数のミラーまたは窓と、
真空密シールを使用して、前記真空密閉チャンバの前記第1の外部開口部の上に固定的に取り付けられるチャンバ排気構造と、
真空密シールを使用して、前記真空密閉チャンバの第2の外部開口部の上に固定的に取り付けられる試料容器と
を備える、ブロック。
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