JP2013238537A - Maintenance cost calculation system of particle detector and maintenance cost calculation method of particle detector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は環境評価技術に関し、特に粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法に関する。 The present invention relates to an environmental evaluation technique, and more particularly to a maintenance cost calculation system for a particle detection device and a maintenance cost calculation method for a particle detection device.
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している汚染物質等の粒子が検出され、記録される（例えば、非特許文献１参照。）。しかし、空調システム等の改善によってクリーンルーム内に飛散する粒子の量が低減すると、その後は、粒子検出装置を配置する必要性が薄れる場合がある。そのため、クリーンルームの所有者は、高価な粒子検出装置を購入せず、クリーンルームの立ち上げ後、一定期間のみリース業者等から粒子検出装置を借りる場合がある。クリーンルームの所有者は、一定期間経過後、リース業者に粒子検出装置を返却する。 In a clean room such as a bio clean room, particles such as scattered contaminants are detected and recorded using a particle detection device (see, for example, Non-Patent Document 1). However, if the amount of particles scattered in the clean room is reduced by improving the air conditioning system or the like, the necessity of arranging the particle detector may be reduced thereafter. For this reason, the owner of a clean room may not purchase an expensive particle detection device, but may borrow a particle detection device from a leasing company or the like only for a certain period after the clean room is started up. The owner of the clean room returns the particle detector to the leasing company after a certain period.
粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム内の空気を吸引するための吸気機構と、吸引された空気中の粒子を検出するための検出機構と、粒子を検出した後の空気をクリーンルームに戻すための排気機構と、を有する。粒子検出装置の内部に吸引された気体に含まれる粒子は、検出機構を通過後、そのほとんどが外部に排出される。しかし、粒子検出装置の内部に付着する粒子もある。したがって、クリーンルームの汚染度に応じて、粒子検出装置の内部も汚染される。そのため、リース業者は、返却された粒子検出装置をメンテナンスした後に、次の客に粒子検出装置を貸す。 The particle detection device includes, for example, an intake mechanism for sucking air in the clean room, a detection mechanism for detecting particles in the sucked air, and an exhaust for returning the air after detecting the particles to the clean room. And a mechanism. Most of the particles contained in the gas sucked into the inside of the particle detection device are discharged outside after passing through the detection mechanism. However, some particles adhere to the inside of the particle detector. Therefore, the inside of the particle detector is also contaminated according to the degree of contamination in the clean room. Therefore, the leasing company lends the particle detection device to the next customer after maintaining the returned particle detection device.
メンテナンスされている間は、粒子検出装置は稼働していない。したがって、粒子検出装置のメンテナンス期間の長期化は、粒子検出装置の稼働率を下げる要因となる。そのため、粒子検出装置のメンテナンス期間は、短い方が好ましい。しかし、粒子検出装置のリース先のクリーンルームの環境は事前には不明であることが多く、またリース先によって様々である。そのため、粒子検出装置の汚染度は、返却後、メンテナンスに着手して初めて明らかになることが多い。よって、リース業者側の努力によって、粒子検出装置のメンテナンス期間を短縮するのは困難である。 While being maintained, the particle detector is not in operation. Therefore, the prolongation of the maintenance period of the particle detection device becomes a factor of lowering the operation rate of the particle detection device. Therefore, it is preferable that the maintenance period of the particle detection apparatus is short. However, the environment of the clean room to which the particle detector is leased is often unknown in advance and varies depending on the lease destination. For this reason, the degree of contamination of the particle detector is often clarified only after the maintenance is started. Therefore, it is difficult to shorten the maintenance period of the particle detector by the effort of the leasing company.
また、粒子検出装置のメンテナンス費用は、リース先に請求することが可能であるが、上述したように粒子検出装置のメンテナンス費用はリース先のクリーンルームの環境に応じて変動する。そのため、リース先に一律なメンテナンス費用を請求することは公平ではない。そこで、本発明は、粒子検出装置の使用環境に応じて粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供することを目的の一つとする。 In addition, the maintenance cost of the particle detection device can be charged to the lease destination, but as described above, the maintenance cost of the particle detection device varies depending on the environment of the clean room of the lease destination. Therefore, it is not fair to charge a uniform maintenance fee to the lease destination. Therefore, the present invention aims to provide a maintenance cost calculation system for a particle detection device and a maintenance cost calculation method for the particle detection device, which can calculate the maintenance cost of the particle detection device according to the use environment of the particle detection device. One.
上述したように、粒子検出装置のメンテナンス費用は、粒子検出装置の使用環境に応じて変動する。しかし、メンテナンスを実施後、実際にかかったメンテナンス費用を粒子検出装置の借用者に請求すると、借用者が不服を申し立てた場合に、メンテナンス費用の回収が困難となる場合がある。したがって、借用者が粒子検出装置の借用を終えた段階で、実際にメンテナンス作業に着手する前に、メンテナンス費用を算出し、借用者に請求することが好ましい。また、一律ではないメンテナンス費用を請求する以上、メンテナンス費用の算出根拠は、客観的かつ具体的であることが望まれる。ここで、粒子検出装置の内部の汚染度は、粒子検出装置が検出した粒子の数に相関することから、本発明者は、汚染度に相関するメンテナンス費用を、検出粒子の数から見積もるということに想到した。 As described above, the maintenance cost of the particle detector varies depending on the environment in which the particle detector is used. However, if the maintenance fee actually charged is charged to the borrower of the particle detection device after the maintenance is performed, it may be difficult to collect the maintenance fee when the borrower makes a complaint. Therefore, it is preferable to calculate the maintenance cost and charge the borrower after the borrower has finished borrowing the particle detector and before actually starting the maintenance work. In addition, as long as non-uniform maintenance costs are charged, it is desirable that the basis for calculating maintenance costs be objective and specific. Here, since the degree of contamination inside the particle detector correlates with the number of particles detected by the particle detector, the present inventor estimates the maintenance cost correlated with the degree of contamination from the number of detected particles. I came up with it.
本発明の態様によれば、（ａ）粒子検出装置によって所定の期間に測定された粒子の総数と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に保存する関係記憶装置と、（ｂ）粒子検出装置が所定の期間に測定した粒子の総数を測定する総数測定部と、（ｃ）関係と、測定された粒子の総数と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、を備える、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムが提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) the relationship between the total number of particles measured in a predetermined period by the particle detector and the maintenance cost of the parts of the particle detector is stored for each part of the particle detector. Based on the relationship storage device, (b) a total number measurement unit that measures the total number of particles measured by the particle detection device in a predetermined period, (c) a particle detection device based on the relationship and the total number of particles measured There is provided a maintenance cost calculation system for a particle detection device, comprising: an individual cost specifying unit that specifies a maintenance cost for each of the parts; and (d) a total cost calculation unit that calculates a sum of maintenance costs.
また、本発明の態様によれば、（ａ）粒子検出装置によって所定の期間に測定された粒子の総数と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に用意することと、（ｂ）粒子検出装置が所定の期間に測定した粒子の総数を得ることと、（ｃ）関係と、測定された粒子の総数と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定することと、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出することと、を含む、粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法が提供される。 According to the aspect of the present invention, the relationship between (a) the total number of particles measured by the particle detection device in a predetermined period and the maintenance cost of the particle detection device parts is determined for each part of the particle detection device. And (b) obtaining the total number of particles measured in a predetermined period by (b) the particle detection device, and (c) based on the relationship and the total number of particles measured, A maintenance cost calculation method for a particle detection device, including: (d) calculating a total maintenance cost; and (d) calculating a total maintenance cost.
本発明によれば、粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供可能である。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the maintenance cost calculation system of a particle detection apparatus and the maintenance cost calculation method of a particle detection apparatus which can calculate the maintenance cost of a particle detection apparatus can be provided.
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図１に示すように、粒子検出装置２０によって所定の期間に測定された粒子の総数と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の部品毎に保存する関係記憶装置４０１と、粒子検出装置２０が所定の期間に測定した粒子の総数を測定する総数測定部３０１と、関係と、測定された粒子の総数と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部３０２と、メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部３０３と、を備える。関係記憶装置４０１、総数測定部３０１、個別費用特定部３０２、及び総費用算出部３０３は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれている。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the maintenance cost calculation system for the particle detection device according to the first embodiment is configured to maintain the total number of particles measured by the particle detection device 20 in a predetermined period and the components of the particle detection device 20. A relationship storage device 401 that stores the relationship between costs for each part of the particle detection device 20, a total number measurement unit 301 that measures the total number of particles measured by the particle detection device 20 in a predetermined period, a relationship, and a measurement An individual cost specifying unit 302 that specifies maintenance costs for each part of the particle detector 20 based on the total number of particles that have been generated, and a total cost calculation unit 303 that calculates the sum of maintenance costs. The relationship storage device 401, the total number measurement unit 301, the individual cost specifying unit 302, and the total cost calculation unit 303 are included in, for example, a central processing unit (CPU) 300.
粒子検出装置２０は、例えばクリーンルームに配置される。図２に示す移動式クリーンルーム１０は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備える。ただし、実施の形態に係るクリーンルームは、これに限定されない。例えば、コンテナ型のクリーンルーム、プレハブ型のクリーンルーム、及び移動式手術室等も、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。また、移動式ではないクリーンルームも、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。 The particle | grain detection apparatus 20 is arrange | positioned at a clean room, for example. The mobile clean room 10 shown in FIG. 2 includes a frame made of, for example, aluminum that forms a skeleton, and a transparent panel made of polycarbonate that is fitted into the frame and forms a side wall. However, the clean room according to the embodiment is not limited to this. For example, a container-type clean room, a prefabricated clean room, a mobile operating room, and the like are also included in the clean room according to the embodiment. In addition, a clean room that is not mobile is also included in the clean room according to the embodiment.
クリーンルーム１０内部には、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、清浄な空気が送り込まれる。さらにクリーンルーム１０内部には、空気等の気体に含まれる微粒子や微生物を除去し、気体を清浄化する清浄化装置が配置されていてもよい。 Clean air is fed into the clean room 10 through ultra-high performance air filters such as HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) and ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter). Furthermore, in the clean room 10, a cleaning device that removes fine particles and microorganisms contained in a gas such as air and cleans the gas may be disposed.
図３に示すように、粒子検出装置２０は、クリーンルーム１０内の気体を内部に吸引するための吸気機構に接続された吸引口２１と、検査後の気体をクリーンルーム１０に戻すための排気機構に接続された排気口２２と、を有する。例えば、粒子検出装置２０は、内部に、レーザ光源が発したレーザ光を、吸引された気体に照射する光学系２３を備える。レーザ光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。レーザ光が可視光である場合、レーザ光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。レーザ光が紫外光である場合、レーザ光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３５５ｎｍである。なお、粒子検出装置２０が備える光源はレーザ光源に限られない。例えば、粒子検出装置２０は、粒子に光を照射する光源として、発光ダイオード（ＬＥＤ）、及びキセノンランプ等を備えていてもよい。 As shown in FIG. 3, the particle detection device 20 includes a suction port 21 connected to an intake mechanism for sucking the gas in the clean room 10 and an exhaust mechanism for returning the inspected gas to the clean room 10. And an exhaust port 22 connected thereto. For example, the particle detection device 20 includes an optical system 23 that irradiates the sucked gas with laser light emitted from a laser light source. The laser light may be visible light or ultraviolet light. When the laser light is visible light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 400 to 410 nm, for example, 405 nm. When the laser light is ultraviolet light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 310 to 380 nm, for example, 355 nm. In addition, the light source with which the particle | grain detection apparatus 20 is not limited to a laser light source. For example, the particle detection device 20 may include a light emitting diode (LED), a xenon lamp, or the like as a light source that irradiates light to particles.
空気中に細菌を含む微生物等の微粒子が含まれる場合、レーザ光を照射された細菌が、蛍光を発する。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。粒子検出装置２０は、レーザ光を照射された微生物が発した蛍光を検出する検出機構をさらに備える。検出機構は、例えばフォトデテクタ等を含む。また、検出機構は、検出した蛍光の蛍光強度を計測する、フォトデテクタに接続された回路等も含む。粒子検出装置２０は、蛍光強度の大きさに基づき、空気中に含まれている微生物を検出する。 When fine particles such as microorganisms containing bacteria are contained in the air, the bacteria irradiated with the laser light emit fluorescence. Examples of bacteria include gram negative bacteria, gram positive bacteria, and fungi including mold spores. Examples of gram-negative bacteria include E. coli. Examples of gram positive bacteria include Staphylococcus epidermidis, Bacillus subtilis spores, Micrococcus, and Corynebacterium. Examples of fungi containing mold spores include Aspergillus. The particle detection device 20 further includes a detection mechanism that detects fluorescence emitted by the microorganisms irradiated with the laser light. The detection mechanism includes, for example, a photo detector. The detection mechanism also includes a circuit connected to a photodetector that measures the fluorescence intensity of the detected fluorescence. The particle detector 20 detects microorganisms contained in the air based on the magnitude of the fluorescence intensity.
なお、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は微生物に限られない。例えば、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は、無害又は有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダストも含む。また、粒子検出装置２０の粒子の検出原理も、上記に限定されない。粒子検出装置２０は、逐次、検出した粒子の数の情報を含む検出結果情報を電子的又は磁気的に生成する。生成された検出結果情報は、粒子検出装置２０が備える内部メモリ等に逐次保存される。さらに粒子検出装置２０は、シリアルナンバ等の識別記号を記録した識別素子を備えていてもよい。この場合、粒子検出装置２０は、識別記号を検出結果情報に付与する。 Note that the particles to be detected by the particle detection device 20 are not limited to microorganisms. For example, the particles to be detected by the particle detection device 20 include harmless or harmful chemical substances, dust, dust, and other dust. Further, the particle detection principle of the particle detector 20 is not limited to the above. The particle detection device 20 sequentially or electronically generates detection result information including information on the number of detected particles. The generated detection result information is sequentially stored in an internal memory or the like included in the particle detection device 20. Further, the particle detection device 20 may include an identification element that records an identification symbol such as a serial number. In this case, the particle detector 20 gives an identification symbol to the detection result information.
粒子検出装置２０には、送受信機２及びアンテナ２４が固定されている。送受信機２は、逐次、アンテナ２４を用いて、図１に示すネットワークに検出結果情報を無線送信する。例えば、図３に示す粒子検出装置２０が備える電子機器には、内蔵バッテリ２５から電源が供給される。図１に示す情報受信機３は、ネットワークを経由してきた検出結果情報を受信する。情報受信機３は、受信した検出結果情報をＣＰＵ３００に伝送する。情報受信機３はＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、有線又は無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続されていてもよい。 The transceiver 2 and the antenna 24 are fixed to the particle detector 20. The transmitter / receiver 2 wirelessly transmits the detection result information to the network shown in FIG. For example, power is supplied from the built-in battery 25 to the electronic device included in the particle detection device 20 illustrated in FIG. The information receiver 3 shown in FIG. 1 receives the detection result information that has passed through the network. The information receiver 3 transmits the received detection result information to the CPU 300. The information receiver 3 may be directly connected to the CPU 300 or may be connected via a wired or wireless local area network (LAN).
ＣＰＵ３００に含まれる総数測定部３０１は、情報受信機３から伝送されてきた、粒子検出装置２０が検出した粒子の数の情報を含む検出結果情報を逐次受信する。総数測定部３０１は、粒子検出装置２０が前回メンテナンスされた後、粒子検出装置２０が検出してきた粒子の数を積算する。なお、粒子検出装置２０がメンテナンスを受けたことがない場合には、総数測定部３０１は、粒子検出装置２０が初めてクリーンルーム１０に配置された後、粒子検出装置２０が検出してきた粒子の数を積算する。ここで、粒子検出装置２０のメンテナンスとは、粒子検出装置２０のソフトウェアによる検出機構の補正、粒子検出装置２０を構成する部品の清掃、及び部品の交換等を含む。総数測定部３０１は、粒子検出装置２０が検出してきた粒子の総数を、ＣＰＵ３００に含まれる総数記憶装置４０３に保存する。 The total number measurement unit 301 included in the CPU 300 sequentially receives detection result information including information on the number of particles detected by the particle detection device 20 transmitted from the information receiver 3. The total number measurement unit 301 integrates the number of particles detected by the particle detection device 20 after the particle detection device 20 was previously maintained. When the particle detection device 20 has not undergone maintenance, the total number measurement unit 301 calculates the number of particles detected by the particle detection device 20 after the particle detection device 20 is first placed in the clean room 10. Accumulate. Here, the maintenance of the particle detection device 20 includes correction of a detection mechanism by software of the particle detection device 20, cleaning of parts constituting the particle detection device 20, replacement of parts, and the like. The total number measurement unit 301 stores the total number of particles detected by the particle detection device 20 in a total number storage device 403 included in the CPU 300.
関係記憶装置４０１は、粒子検出装置２０によって所定の期間に測定された粒子の総数と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構等の部品毎に保存する。関係は、テーブルで表現されていてもよい。ここで、粒子検出装置２０に必要なメンテナンスは、粒子検出装置２０によって測定された粒子の総数によって異なりうる。例えば、検出粒子の総数が少ない場合は、粒子検出装置２０の部品を清掃あるいは交換することなく、粒子検出装置２０に含まれる検出機構の回路をソフトウェアで補正することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。ソフトウェアによる補正では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を清掃することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。部品の清掃では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を交換することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。 The relationship storage device 401 shows the relationship between the total number of particles measured in a predetermined period by the particle detection device 20 and the maintenance costs of the parts of the particle detection device 20, the light source, lens, detector, and detection of the particle detection device 20. Stored for each part of the mechanism circuit, nozzle, intake mechanism, exhaust mechanism and the like. The relationship may be expressed as a table. Here, the maintenance required for the particle detector 20 may vary depending on the total number of particles measured by the particle detector 20. For example, when the total number of detected particles is small, maintenance of the particle detection device 20 is performed by correcting the circuit of the detection mechanism included in the particle detection device 20 with software without cleaning or replacing parts of the particle detection device 20. Is made. When the function recovery of the particle detection device 20 is insufficient by the correction by software, the particle detection device 20 is maintained by cleaning the parts of the particle detection device 20. When the functional recovery of the particle detection device 20 is insufficient when cleaning the components, the particle detection device 20 is maintained by replacing the components of the particle detection device 20.
なお、検出粒子の総数に対するメンテナンスの内容は部品によって異なりうる。例えば、ある検出粒子の総数に対して、ある部品に対しては掃除がなされたり、ある部品に対しては交換がなされたりしうる。また、検出粒子の総数と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、一つの部品に対して一つのみ用意されてもよいし、一つの部品に対して複数用意されてもよい。一つの部品に対して一つの関係が用意された場合は、一つの関係が、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容に対応する。一つの部品に対して複数の関係が用意された場合は、複数の関係のそれぞれが、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容のいずれかに対応する。 The content of maintenance with respect to the total number of detected particles may vary depending on the part. For example, with respect to the total number of detection particles, a certain part may be cleaned, or a certain part may be replaced. In addition, the relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost of the parts of the particle detector 20 may be prepared for one part, or a plurality of parts may be prepared for one part. Good. When one relation is prepared for one part, the one relation corresponds to a plurality of contents of maintenance such as correction by software, cleaning of parts, and replacement. When a plurality of relations are prepared for one part, each of the plurality of relations corresponds to one of a plurality of contents of maintenance such as correction by software, cleaning of parts, and replacement.
検出粒子の総数と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、図４に示すように、粒子の総数を独立変数とし、部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式で表されていてもよい。メンテナンス費用算出式は、一次方程式で表される場合もあるし、二次を含む高次方程式で表される場合もある。例えば、光源のように、ある時期を境に急に光量が落ちるものは、ある時期を境にメンテナンス費用が急上昇する。したがって、図５に示すように、光源のメンテナンス費用算出式は、高次方程式で表される場合もある。 As shown in FIG. 4, the relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost of the parts of the particle detection device 20 is a maintenance cost calculation formula in which the total number of particles is an independent variable and the maintenance cost of the part is a dependent variable. May be represented. The maintenance cost calculation formula may be expressed by a linear equation or a high-order equation including a secondary. For example, when the amount of light suddenly drops after a certain time, such as a light source, the maintenance cost suddenly increases after a certain time. Therefore, as shown in FIG. 5, the light source maintenance cost calculation formula may be expressed by a high-order equation.
一つの部品に対して複数の関係が用意された場合、ＣＰＵ３００は、関係選択部３０４をさらに有しうる。関係選択部３０４は、検出粒子の総数に応じて、複数の関係から一つの関係を選択する。例えば、検出粒子の総数が所定の第１の設定値未満である場合は、関係選択部３０４は、ソフトウェアによる補正に対応する関係を選択する。検出粒子の総数が第１の設定値以上第２の設定値未満である場合は、関係選択部３０４は、部品の清掃に対応する関係を選択する。検出粒子の総数が第２の設定値以上である場合は、関係選択部３０４は、部品の交換に対応する関係を選択する。第１の設定値、及び第２の設定値は、部品毎に任意に設定される。 When a plurality of relationships are prepared for one component, the CPU 300 may further include a relationship selection unit 304. The relationship selection unit 304 selects one relationship from a plurality of relationships according to the total number of detected particles. For example, when the total number of detected particles is less than a predetermined first set value, the relationship selecting unit 304 selects a relationship corresponding to correction by software. When the total number of detected particles is greater than or equal to the first set value and less than the second set value, the relationship selecting unit 304 selects a relationship corresponding to the cleaning of the part. When the total number of detected particles is equal to or greater than the second set value, the relationship selecting unit 304 selects a relationship corresponding to the replacement of the part. The first set value and the second set value are arbitrarily set for each component.
検出粒子の総数と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、ソフトウェアによる補正に必要な作業代、部品の清掃に必要な清掃具の費用、部品の清掃に必要な作業代、交換する際の部品の費用、及び部品の交換に必要な作業代等に基づいて、予め取得される。例えば、検出粒子の総数が増えるにつれて、ソフトウェアによる補正が複雑になったり、部品の清掃時間が長くなったりするので、それらに対応するように、関係は求められる。また、部品の清掃や交換が行われることにより、ソフトウェアによる補正が行われなくなることもありうる。 The relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost of the parts of the particle detection device 20 is as follows: work cost required for correction by software, cost of cleaning tool required for cleaning parts, work cost required for cleaning parts, It is acquired in advance on the basis of the cost of the parts at the time of replacement and the work cost necessary for the replacement of the parts. For example, as the total number of detected particles increases, the correction by software becomes more complicated, and the cleaning time of parts becomes longer. Therefore, the relationship is required to cope with them. Further, correction by software may not be performed by cleaning or replacing parts.
個別費用特定部３０２は、関係選択部３０４が関係記憶装置４０１から選択して読み出した粒子検出装置２０の部品毎に用意された関係と、総数測定部３０１が測定した粒子の総数と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。関係がメンテナンス費用算出式で表されている場合、個別費用特定部３０２は、粒子検出装置２０の部品毎に用意されたメンテナンス費用算出式の独立変数に、総数測定部３０１が測定した粒子の総数を代入して、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。例えば個別費用特定部３０２は、検出粒子の総数に応じて、粒子検出装置２０の光源のメンテナンス費用、レンズのメンテナンス費用、デテクタのメンテナンス費用、検出機構の回路のメンテナンス費用、ノズルのメンテナンス費用、吸気機構のメンテナンス費用、及び排気機構のメンテナンス費用等を算出する。個別費用特定部３０２は、部品毎に特定したメンテナンス費用を、ＣＰＵ３００に含まれる個別費用記憶装置４０４に保存する。 The individual cost specifying unit 302 is based on the relationship prepared for each part of the particle detection device 20 selected and read from the relationship storage unit 401 by the relationship selection unit 304 and the total number of particles measured by the total number measurement unit 301. Thus, the maintenance cost is specified for each part of the particle detector 20. When the relationship is expressed by a maintenance cost calculation formula, the individual cost specification unit 302 uses the total number of particles measured by the total number measurement unit 301 as an independent variable of the maintenance cost calculation formula prepared for each part of the particle detector 20. Is substituted, and the maintenance cost is specified for each part of the particle detector 20. For example, according to the total number of detected particles, the individual cost specifying unit 302 determines the maintenance cost of the light source of the particle detection device 20, the maintenance cost of the lens, the maintenance cost of the detector, the maintenance cost of the circuit of the detection mechanism, the maintenance cost of the nozzle, the intake air The maintenance cost of the mechanism and the maintenance cost of the exhaust mechanism are calculated. The individual cost specifying unit 302 stores the maintenance cost specified for each part in an individual cost storage device 404 included in the CPU 300.
総費用算出部３０３は、個別費用特定部３０２が部品毎に算出したメンテナンス費用の総和を算出する。例えば、総費用算出部３０３は、個別費用特定部３０２が算出した光源のメンテナンス費用と、レンズのメンテナンス費用と、デテクタのメンテナンス費用と、検出機構の回路のメンテナンス費用と、ノズルのメンテナンス費用と、吸気機構のメンテナンス費用と、排気機構のメンテナンス費用と、の総和を算出する。ＣＰＵ３００は、算出費用記憶装置４０２をさらに含む。総費用算出部３０３は、算出した図６に示すようなメンテナンス費用の総和を、算出費用記憶装置４０２に保存する。また、図１に示すＣＰＵ３００には、出力装置３５０が接続されている。総費用算出部３０３は、算出したメンテナンス費用の総和を、出力装置３５０に出力させる。出力装置３５０としては、プリンタ、及びディスプレイ等が使用可能である。出力装置３５０は、ＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、ネットワークや他のコンピュータを介して、ＣＰＵ３００に接続されていてもよい。 The total cost calculation unit 303 calculates the total maintenance cost calculated for each part by the individual cost specifying unit 302. For example, the total cost calculation unit 303 includes a light source maintenance cost calculated by the individual cost specifying unit 302, a lens maintenance cost, a detector maintenance cost, a detection mechanism circuit maintenance cost, a nozzle maintenance cost, The sum of the maintenance cost of the intake mechanism and the maintenance cost of the exhaust mechanism is calculated. CPU 300 further includes a calculated cost storage device 402. The total cost calculation unit 303 stores the calculated total maintenance cost as shown in FIG. 6 in the calculated cost storage device 402. Further, an output device 350 is connected to the CPU 300 shown in FIG. The total cost calculation unit 303 causes the output device 350 to output the calculated sum of maintenance costs. As the output device 350, a printer, a display, or the like can be used. The output device 350 may be directly connected to the CPU 300, or may be connected to the CPU 300 via a network or another computer.
ＣＰＵ３００は、期間監視部３０５をさらに含んでいてもよい。期間監視部３０５は、例えば、粒子検出装置２０のリース期間等の所定の期間が満了したか否かを監視する。なお、期間監視部３０５の機能は、ＣＰＵ３００にネットワークを介して接続されたタイムサーバ等によって実現されてもよい。例えば、個別費用特定部３０２は、期間監視部３０５が、所定の期間が満了したと判断した場合に、粒子検出装置２０の部品毎のメンテナンス費用の特定を行ってもよい。 The CPU 300 may further include a period monitoring unit 305. For example, the period monitoring unit 305 monitors whether a predetermined period such as a lease period of the particle detection device 20 has expired. Note that the function of the period monitoring unit 305 may be realized by a time server or the like connected to the CPU 300 via a network. For example, the individual cost specifying unit 302 may specify the maintenance cost for each part of the particle detection device 20 when the period monitoring unit 305 determines that a predetermined period has expired.
ＣＰＵ３００は、費用請求部３０６及び入金確認部３０７をさらに含んでいてもよい。費用請求部３０６は、総費用算出部３０３が算出したメンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信する。入金確認部３０７は、例えば、粒子検出装置２０の所有者の口座を監視し、粒子検出装置２０の借用者から、請求したメンテナンス費用の入金があったか否かを監視する。 The CPU 300 may further include a cost billing unit 306 and a payment confirmation unit 307. The cost billing unit 306 transmits the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 303 to the borrower's computer or the like of the particle detection device 20 via the network. The payment confirmation unit 307 monitors, for example, the account of the owner of the particle detection device 20 and monitors whether or not the charged maintenance fee has been received from the borrower of the particle detection device 20.
ＣＰＵ３００は、総数リセット部３０８をさらに含んでいてもよい。総数リセット部３０８は、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされた場合、あるいは粒子検出装置２０をメンテナンスすることが決定され、粒子検出装置２０の稼働が停止した場合、あるいは粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があった場合に、総数測定部３０１が積算した粒子の数をゼロにリセットする。 The CPU 300 may further include a total number reset unit 308. The total number reset unit 308 determines that maintenance of the particle detection device 20 has been performed, or maintenance of the particle detection device 20 has been determined and operation of the particle detection device 20 has stopped, or a borrower of the particle detection device 20 When the requested maintenance cost is received, the total number measuring unit 301 resets the number of particles accumulated to zero.
ＣＰＵ３００は、費用リセット部３０９をさらに含んでいてもよい。費用リセット部３０９は、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされた場合、あるいは粒子検出装置２０をメンテナンスすることが決定され、粒子検出装置２０の稼働が停止した場合、あるいは粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があった場合に、総費用算出部３０３が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。 The CPU 300 may further include a cost reset unit 309. The cost resetting unit 309 performs maintenance when the particle detection device 20 is performed, or when it is determined that the particle detection device 20 is maintained and the operation of the particle detection device 20 is stopped, or from a borrower of the particle detection device 20. When the requested maintenance cost is received, the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 303 is reset to zero.
ＣＰＵ３００は、警告部３１０をさらに含んでいてもよい。警告部３１０は、総数測定部３０１が測定した粒子検出装置２０が検出してきた粒子の数が所定の値を超えた場合、例えば粒子検出装置２０の正常な稼働が保証できなくなったことを知らせる警告信号を発する。この場合、粒子検出装置２０は、リース期間の満了前であっても、稼働を停止してもよい。 The CPU 300 may further include a warning unit 310. The warning unit 310 warns that the normal operation of the particle detection device 20 cannot be guaranteed, for example, when the number of particles detected by the particle detection device 20 measured by the total number measurement unit 301 exceeds a predetermined value. Send a signal. In this case, the particle detector 20 may stop operating even before the expiration of the lease period.
次に、図７及び図８に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法について説明する。
（ａ）ステップＳ１０１で、図３に示す粒子検出装置２０の借用者は、図２に示すクリーンルーム１０に粒子検出装置２０を設置する。クリーンルーム１０に設置される粒子検出装置２０は、予めメンテナンスされている。なお、粒子検出装置２０が新品で清浄であれば、設置前のメンテナンスは必ずしも必要ではない。粒子検出装置２０は、粒子の検出を開始すると、粒子の検出を開始したことを示す信号を生成し、図１に示す期間監視部３０５に送信する。ステップＳ１０２で、信号を受信した期間監視部３０５は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻を記録する。また、期間監視部３０５は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間をタイマー等で計測する。
Next, the maintenance prediction method according to the first embodiment will be described with reference to the flowcharts shown in FIGS.
(A) In step S101, the borrower of the particle detector 20 shown in FIG. 3 installs the particle detector 20 in the clean room 10 shown in FIG. The particle detector 20 installed in the clean room 10 is maintained in advance. In addition, if the particle | grain detection apparatus 20 is new and clean, the maintenance before installation is not necessarily required. When the particle detection device 20 starts detecting particles, the particle detection device 20 generates a signal indicating that the particle detection has started, and transmits the signal to the period monitoring unit 305 illustrated in FIG. 1. In step S102, the period monitoring unit 305 that has received the signal records the time at which the particle detection device 20 starts detecting particles. In addition, the period monitoring unit 305 measures the operation time of the particle detection device 20 from the time when the particle detection device 20 starts detecting particles with a timer or the like.
（ｂ）ステップＳ１０３で、粒子検出装置２０は、粒子の検出を継続し、検出した粒子の数の情報を含む検出結果情報を、ネットワークを介して、総数測定部３０１に逐次送信する。ステップＳ１０４で、総数測定部３０１は、粒子検出装置２０が検出してきた粒子の数を積算する。総数測定部３０１は、借用者が粒子検出装置２０の稼働を開始した後、粒子検出装置２０が検出してきた粒子の総数を、総数記憶装置４０３に保存する。 (B) In step S103, the particle detection device 20 continues to detect particles, and sequentially transmits detection result information including information on the number of detected particles to the total number measurement unit 301 via the network. In step S104, the total number measurement unit 301 integrates the number of particles detected by the particle detection device 20. The total number measurement unit 301 stores the total number of particles detected by the particle detection device 20 in the total number storage device 403 after the borrower starts the operation of the particle detection device 20.
（ｃ）ステップＳ１０５で、期間監視部３０５は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間と、粒子検出装置２０のリース期間と、を対比して、粒子検出装置２０のリース期間が満了したか否かを監視する。期間監視部３０５が粒子検出装置２０のリース期間が満了したと判断した場合は、粒子検出装置２０は粒子の検出を終了し、ステップＳ１０６に進む。期間監視部３０５が粒子検出装置２０のリース期間が満了していないと判断した場合は、ステップＳ１０３に戻る。 (C) In step S105, the period monitoring unit 305 compares the operation time of the particle detection apparatus 20 from the time when the particle detection apparatus 20 starts detecting particles with the lease period of the particle detection apparatus 20, It is monitored whether the lease period of the particle detector 20 has expired. When the period monitoring unit 305 determines that the lease period of the particle detection device 20 has expired, the particle detection device 20 ends the particle detection, and proceeds to step S106. If the period monitoring unit 305 determines that the lease period of the particle detector 20 has not expired, the process returns to step S103.
（ｄ）ステップＳ１０６で、関係選択部３０４は、粒子検出装置２０の構成部品のうち、メンテナンス費用の算出がなされていない一つの部品を特定する。ステップＳ１０７で、関係選択部３０４は、総数記憶装置４０３から、粒子検出装置２０がリース期間中に検出してきた粒子の総数を読み出す。次に、関係選択部３０４は、検出粒子の総数が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ1未満であるか否かを判断する。検出粒子の総数が第１の設定値Ｎ1未満である場合、ステップＳ２０１に進む。 (D) In step S <b> 106, the relationship selection unit 304 identifies one component for which the maintenance cost has not been calculated among the components of the particle detection device 20. In step S107, the relationship selection unit 304 reads the total number of particles detected by the particle detection device 20 during the lease period from the total number storage device 403. Next, the relationship selecting unit 304 determines whether or not the total number of detected particles is less than the first set value N 1 set for the part specified in step S106. If the total number of particles detected is lower than the first set value N 1, the process proceeds to step S201.
（ｅ）ステップＳ２０１で、関係選択部３０４は、関係記憶装置４０１から、検出粒子の総数と、ステップＳ１０６で特定された部品の清掃交換を伴わないメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０４は、選択した関係と、検出粒子の総数と、を、個別費用特定部３０２に伝送する。ステップＳ２０２で、個別費用特定部３０２は、関係選択部３０４が選択した関係と、総数記憶装置４０３から読み出した検出粒子の総数と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０２は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０４に保存する。 (E) In step S201, the relationship selection unit 304 selects and reads out the relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost that does not involve the replacement of the parts specified in step S106 from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 304 transmits the selected relationship and the total number of detected particles to the individual cost specifying unit 302. In step S202, the individual cost specifying unit 302 specifies the maintenance cost for the part specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 304 and the total number of detected particles read from the total number storage device 403. To do. The individual cost specifying unit 302 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 404.
（ｆ）ステップＳ１０７で、関係選択部３０４が、検出粒子の総数が第１の設定値Ｎ1以上であると判断した場合、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８で、関係選択部３０４は、検出粒子の総数が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満であるか否かを判断する。検出粒子の総数が第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満である場合、ステップＳ３０１に進む。 (F) In step S107, when the relationship selecting unit 304, the total number of particles detected is determined to be the first set value N 1 or more, the process proceeds to step S108. In step S108, the relationship selecting unit 304, the total number of particles detected is whether or not the first set value N 1 or more second less than the set value N 2, which is set for the component identified in Step S106 Judging. If the total number of detected particles is not less than the first set value N 1 and less than the second set value N 2 , the process proceeds to step S301.
（ｇ）ステップＳ３０１で、関係選択部３０４は、関係記憶装置４０１から、検出粒子の総数と、ステップＳ１０６で特定された部品を清掃するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０４は、選択した関係と、検出粒子の総数と、を、個別費用特定部３０２に伝送する。ステップＳ３０２で、個別費用特定部３０２は、関係選択部３０４が選択した関係と、総数記憶装置４０３から読み出した検出粒子の総数と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０２は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０４に保存する。 (G) In step S301, the relationship selection unit 304 selects and reads the relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost for cleaning the component specified in step S106 from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 304 transmits the selected relationship and the total number of detected particles to the individual cost specifying unit 302. In step S302, the individual cost specifying unit 302 specifies the maintenance cost of the part specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 304 and the total number of detected particles read from the total number storage device 403. To do. The individual cost specifying unit 302 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 404.
（ｈ）ステップＳ１０８で、関係選択部３０４が、検出粒子の総数が第２の設定値Ｎ2以上であると判断した場合、ステップＳ４０１に進む。ステップＳ４０１で、関係選択部３０４は、関係記憶装置４０１から、検出粒子の総数と、ステップＳ１０６で特定された部品を交換するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０４は、選択した関係と、検出粒子の総数と、を、個別費用特定部３０２に伝送する。ステップＳ４０２で、個別費用特定部３０２は、関係選択部３０４が選択した関係と、総数記憶装置４０３から読み出した検出粒子の総数と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０２は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０４に保存する。 (H) In step S108, when the relationship selecting unit 304, the total number of particles detected is determined to be a second set value N 2 or more, the process proceeds to step S401. In step S401, the relationship selection unit 304 selects and reads the relationship between the total number of detected particles and the maintenance cost for replacing the part specified in step S106 from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 304 transmits the selected relationship and the total number of detected particles to the individual cost specifying unit 302. In step S402, the individual cost specifying unit 302 specifies the maintenance cost for the part specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 304 and the total number of detected particles read from the total number storage device 403. To do. The individual cost specifying unit 302 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 404.
（ｉ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０３は、個別費用記憶装置４０４に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されているか否かを確認する。メンテナンス費用が特定されていない部品がある場合は、ステップＳ１０６に戻る。ステップＳ１０６からステップＳ５０１までのループが繰り返されることで、粒子検出装置２０の総ての構成部品のそれぞれのメンテナンス費用が算出され、個別費用記憶装置４０４に保存される。なお、メンテナンス費用の算出対象となっていない部品は、「総ての構成部品」には含まれない。 (I) In step S <b> 501, the total cost calculation unit 303 confirms whether or not maintenance costs for all the components of the particle detection device 20 are stored in the individual cost storage device 404. If there is a part whose maintenance cost is not specified, the process returns to step S106. By repeating the loop from step S <b> 106 to step S <b> 501, the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20 are calculated and stored in the individual cost storage device 404. Parts that are not subject to maintenance cost calculation are not included in “all components”.
（ｊ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０３が、個別費用記憶装置４０４に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されていることを確認した場合、図８に示すステップＳ５０２で、総費用算出部３０３は、個別費用記憶装置４０４から、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用を読み出す。次に、総費用算出部３０３は、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用の総和を算出する。ステップＳ５０３で、総費用算出部３０３は、算出したメンテナンス費用の総和を算出費用記憶装置４０２に保存する。また、ステップＳ５０４で、総費用算出部３０３は、算出したメンテナンス費用の総和を出力装置３５０に出力する。 (J) When the total cost calculation unit 303 confirms in step S501 that the maintenance costs for all the components of the particle detection device 20 are stored in the individual cost storage device 404, the steps shown in FIG. In S <b> 502, the total cost calculation unit 303 reads the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20 from the individual cost storage device 404. Next, the total cost calculation unit 303 calculates the sum of the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20. In step S <b> 503, the total cost calculation unit 303 stores the calculated total sum of maintenance costs in the calculated cost storage device 402. In step S <b> 504, the total cost calculation unit 303 outputs the calculated total maintenance cost to the output device 350.
（ｋ）ステップＳ５０５で、費用請求部３０６は、算出費用記憶装置４０２からメンテナンス費用の総和を読み出す。次に、費用請求部３０６は、メンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信し、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。ステップＳ５０６で、入金確認部３０７は、粒子検出装置２０の借用者からのメンテナンス費用の入金が、粒子検出装置２０の所有者の口座にあったか否かを監視する。入金が確認された場合は、ステップＳ５０７に進む。入金が確認されなかった場合は、ステップＳ５０６に戻り、再度、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。 (K) In step S <b> 505, the cost billing unit 306 reads the total maintenance cost from the calculated cost storage device 402. Next, the cost billing unit 306 transmits the sum of maintenance costs to the borrower's computer or the like of the particle detection device 20 via the network, and charges the borrower of the particle detection device 20 for the maintenance cost. In step S <b> 506, the deposit confirmation unit 307 monitors whether the deposit of the maintenance cost from the borrower of the particle detection device 20 is in the account of the owner of the particle detection device 20. If payment is confirmed, the process proceeds to step S507. If payment is not confirmed, the process returns to step S506, and the maintenance fee is charged again to the borrower of the particle detection device 20.
（ｌ）ステップＳ５０７で、総数リセット部３０８は、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされた場合、総数測定部３０１が積算した粒子の数をゼロにリセットする。また、費用リセット部３０９は、総費用算出部３０３が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。 (L) In step S507, the total number reset unit 308 resets the number of particles accumulated by the total number measurement unit 301 to zero when the particle detection apparatus 20 is maintained. In addition, the cost reset unit 309 resets the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 303 to zero.
以上説明した第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法によれば、粒子検出装置２０のメンテナンス費用を借用者に請求する場合に、請求するメンテナンス費用の客観的かつ具体的な裏付けを、借用者に対して提示することが可能となる。 According to the maintenance prediction method according to the first embodiment described above, when the maintenance fee for the particle detector 20 is charged to the borrower, objective and specific support for the maintenance fee to be charged is borrowed. Can be presented to the person.
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図９に示すように、ＣＰＵ３００が、更新確認部３１１をさらに含む。更新確認部３１１は、入金確認部３０７が粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があったことを確認した場合に、粒子検出装置２０の借用者が所有するコンピュータ等に、リース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を、ネットワークを介して送信する。借用者から契約を更新する回答があった場合は、更新確認部３１１は、粒子検出装置２０を再稼働させる。
(Second Embodiment)
In the maintenance cost calculation system for the particle detector according to the second embodiment, the CPU 300 further includes an update confirmation unit 311 as shown in FIG. The update confirmation unit 311 leases a computer or the like owned by the borrower of the particle detector 20 to the computer or the like owned by the borrower of the particle detector 20 when the deposit confirmation unit 307 confirms that the maintenance fee requested by the borrower of the particle detector 20 has been received. A signal for inquiring whether or not to renew the contract is transmitted via the network. When there is a reply from the borrower that the contract is updated, the update confirmation unit 311 restarts the particle detection device 20.
なお、更新確認部は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送る前に、粒子検出装置２０の再稼働可能期間を計算してもよい。再稼働可能期間Ａは、検出粒子数の所定の上限値をＮMAX、契約期間中に検出した粒子の数をｎ、契約期間をＣとして、下記（１）式で表される。
Ａ＝（ＮMAX／ｎ）×Ｃ ・・・（１）
再稼働可能期間Ａが所定の期間より短い場合は、更新確認部３１１は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送らなくてもよい。
Note that the update confirmation unit may calculate the reusable period of the particle detection device 20 before sending a signal asking the borrower whether or not to renew the lease contract. The reusable period A is expressed by the following formula (1), where N MAX is a predetermined upper limit of the number of detected particles, n is the number of particles detected during the contract period, and C is the contract period.
A = (N MAX / n) × C (1)
When the reusable period A is shorter than the predetermined period, the update confirmation unit 311 may not send a signal asking the borrower whether or not to renew the lease contract.
（第３の実施の形態）
図１０に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態で説明した、粒子の総数を独立変数とし、部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式における、係数の算出方法について説明する。
（ａ）ステップＳ６０１で、形状及び容積が同じで、室内に飛散している粒子の種類、濃度が同じ２つのクリーンルームを用意する。ステップＳ６０２で、２つのクリーンルームのうちの一つに、基準用粒子検出装置を配置する。基準用粒子検出装置とは、内部汚染の進行が極めて遅い装置である。ここで、基準用粒子検出装置の検出粒子数がゼロでない場合は、ゼロにリセットする。ステップＳ６０３で、基準用粒子検出装置が配置されなかったクリーンルームに、検査対象粒子検出装置を配置する。図１に示した粒子検出装置２０である検査対象粒子検出装置は、基準用粒子検出装置より、内部汚染の進行が早い。ここで、検査対象粒子検出装置の検出粒子数がゼロでない場合は、ゼロにリセットする。
(Third embodiment)
With reference to the flowchart shown in FIG. 10, a coefficient calculation method in the maintenance cost calculation formula described in the first embodiment in which the total number of particles is an independent variable and the maintenance cost of a component is a dependent variable will be described.
(A) In step S601, two clean rooms having the same shape and volume and the same type and concentration of particles scattered in the room are prepared. In step S602, the reference particle detector is placed in one of the two clean rooms. The reference particle detection device is a device in which the progress of internal contamination is extremely slow. Here, when the number of detected particles of the reference particle detecting device is not zero, it is reset to zero. In step S603, the inspection target particle detection device is arranged in a clean room where the reference particle detection device is not arranged. The particle detection apparatus 20 that is the particle detection apparatus 20 shown in FIG. 1 has a faster internal contamination than the reference particle detection apparatus. Here, when the number of detected particles of the inspection target particle detecting device is not zero, the number is reset to zero.
（ｂ）ステップＳ６０４で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置は粒子の検出を開始する信号を生成し、ステップＳ６０５で、記録装置に、粒子の検出開始時刻を記録する。その後、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置は、粒子の検出を継続する。ステップＳ６０７で、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSを算出する。また、ステップＳ６０８で、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTを算出する。次に、ステップＳ６０９で、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、の差が、ゼロより大か、あるいは誤差ｄより大かを判定する。換言すれば、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が異なるか否かを判定する。 (B) In step S604, the reference particle detection device and the inspection target particle detection device generate a signal for starting particle detection, and in step S605, the particle detection start time is recorded in the recording device. Thereafter, the reference particle detection device and the inspection target particle detection device continue to detect the particles. In step S607, the inspection target particle detector to calculate the total number A S particles has been detected. In step S608, the total number AT of particles detected by the reference particle detection device is calculated. Next, in step S609, the difference between the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device and the total number of particles AT detected by the reference particle detection device is greater than zero or an error. Determine if greater than d. In other words, it is determined whether or not the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device is different from the total number A T of particles detected by the reference particle detection device.
（ｃ）検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が同じである場合、ステップＳ６０６に戻り、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が異なるまで、粒子の検出を続ける。検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が異なる場合、ステップＳ６１０で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれは、粒子の検出を停止する。ステップＳ６１１で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれが粒子の検出を開始してから停止するまでの要した時間Δｔを記録する。また、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれの検出粒子数をゼロにリセットする。 (C) When the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device is the same as the total number A T of particles detected by the reference particle detection device, the process returns to step S606 to detect the inspection target particles. The particle detection is continued until the total number A S of particles detected by the apparatus is different from the total number A T of particles detected by the reference particle detection apparatus. When the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device is different from the total number AT of particles detected by the reference particle detection device, in step S610, the reference particle detection device and the inspection target particle detection Each of the devices stops detecting particles. In step S611, the time Δt required from when the reference particle detection device and the inspection target particle detection device each start detecting the particle to when it stops is recorded. Further, the number of detected particles of the reference particle detecting device and the inspection target particle detecting device is reset to zero.
（ｄ）ステップＳ６１２で、検査対象粒子検出装置の任意の一つの部品を、清浄な部品、メンテナンスされた部品、あるいは新品の部品に交換する。次に、ステップＳ６１３で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれがステップＳ６０５で粒子の検出を開始してからステップＳ６１０で停止するまでの要した時間Δｔより極めて長い時間ｔを設定する。ステップＳ６１４で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれは粒子の検出を開始し、ステップＳ６１５で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置は、粒子の検出を継続する。ステップＳ６１６で、検査対象粒子検出装置が、ステップＳ６１３で設定した時間ｔが経過するまで検出してきた粒子の総数ＡSを算出する。また、ステップＳ６１７で、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTを算出する。 (D) In step S612, any one part of the inspection target particle detection apparatus is replaced with a clean part, a maintained part, or a new part. Next, in step S613, a time t that is extremely longer than the time Δt required from the start of particle detection in step S605 to the stop in step S610 by each of the reference particle detection device and the inspection target particle detection device is set. To do. In step S614, each of the reference particle detection device and the inspection target particle detection device starts detection of particles, and in step S615, the reference particle detection device and the inspection target particle detection device continue to detect particles. In step S616, the inspection target particle detection device calculates the total number A S of particles detected until the time t set in step S613 elapses. In step S617, the total number AT of particles detected by the reference particle detection device is calculated.
（ｅ）ステップＳ６１８で、基準用粒子検出装置及び検査対象粒子検出装置のそれぞれは、粒子の検出を停止する。ステップＳ６１９で、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が同じか否かを判定する。検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が同じであった場合は、ステップＳ６１２で交換される前の部品が汚染あるいは劣化していたことを示している。この場合、ステップＳ６２１で、ステップＳ６０９で算出した、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、の差を、時間Δｔで割った値を係数として算出し、ステップＳ６２２で、粒子の総数を独立変数とし、部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式における係数として、関係記憶装置４０１に保存する。 (E) In step S618, each of the reference particle detection device and the inspection target particle detection device stops detection of particles. In step S619, it is determined whether or not the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device is the same as the total number AT of particles detected by the reference particle detection device. When the total number A S of particles detected by the inspection target particle detection device is the same as the total number A T of particles detected by the reference particle detection device, the parts before replacement in step S612 are determined. It indicates that it was contaminated or deteriorated. In this case, in step S621, it calculated in step S609, the total number A S particles are inspected particle detector has been detected, the total number A T of particles criteria for particle detection devices have detected a difference of time The value divided by Δt is calculated as a coefficient. In step S622, the value is stored in the relation storage device 401 as a coefficient in a maintenance cost calculation formula in which the total number of particles is an independent variable and the maintenance cost of a part is a dependent variable.
（ｆ）ステップＳ６１９で、検査対象粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡSと、基準用粒子検出装置が検出してきた粒子の総数ＡTと、が依然異なる場合は、ステップＳ６１２で交換した部品以外の部品が汚染又は劣化している可能性がある。この場合、ステップＳ６２０で、まだ交換されていない部品を、清浄な部品、メンテナンスされた部品、あるいは新品の部品交換し、ステップＳ６１３に戻る。ステップＳ６１３乃至ステップＳ６２０のループを繰り返すことにより、汚染又は劣化している部品を特定することが可能となる。 (F) In step S619, the total number A S particles are inspected particle detector has been detected, the total number A T of particles criteria for particle detection devices have detected, but if still different, was replaced in step S612 Parts other than parts may be contaminated or deteriorated. In this case, in step S620, the parts that have not been replaced are replaced with clean parts, maintained parts, or new parts, and the process returns to step S613. By repeating the loop from step S613 to step S620, it is possible to identify a contaminated or deteriorated part.
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態において、図３に示す送受信機２は、アンテナ２４を用いて情報を無線送信すると説明したが、送受信機２は情報を有線ネットワークに送信してもよい。また、粒子検出装置２０が備える電子機器には、外部電源から電源が供給されてもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although this invention was described by embodiment, it should not be understood that the description and drawing which form a part of this indication limit this invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, in the embodiment, the transceiver 2 illustrated in FIG. 3 has been described as wirelessly transmitting information using the antenna 24, but the transceiver 2 may transmit information to a wired network. In addition, power may be supplied from an external power source to the electronic device included in the particle detection device 20. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.
２ 送受信機
３ 情報受信機
１０ クリーンルーム
２０ 粒子検出装置
２１ 吸引口
２２ 排気口
２３ 光学系
２４ アンテナ
２５ 内蔵バッテリ
３０１ 総数測定部
３０２ 個別費用特定部
３０３ 総費用算出部
３０４ 関係選択部
３０５ 期間監視部
３０６ 費用請求部
３０７ 入金確認部
３０８ 総数リセット部
３０９ 費用リセット部
３１０ 警告部
３１１ 更新確認部
３５０ 出力装置
４０１ 関係記憶装置
４０２ 算出費用記憶装置
４０３ 総数記憶装置
４０４ 個別費用記憶装置
2 Transceiver 3 Information receiver 10 Clean room 20 Particle detector 21 Suction port 22 Exhaust port 23 Optical system 24 Antenna 25 Built-in battery 301 Total number measuring unit 302 Individual cost specifying unit 303 Total cost calculating unit 304 Relationship selecting unit 305 Period monitoring unit 306 Cost request unit 307 Payment confirmation unit 308 Total number reset unit 309 Cost reset unit 310 Warning unit 311 Update confirmation unit 350 Output device 401 Relational storage device 402 Calculated cost storage device 403 Total number storage device 404 Individual cost storage device
Claims (12)
前記粒子検出装置が前記所定の期間に測定した前記粒子の総数を測定する総数測定部と、
前記関係と、前記測定された粒子の総数と、に基づいて、前記粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、
前記メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、
を備える、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム。 A relationship storage device for storing the relationship between the total number of particles measured by the particle detection device in a predetermined period and the maintenance cost of the parts of the particle detection device for each component of the particle detection device;
A total number measuring unit that measures the total number of the particles measured by the particle detection device in the predetermined period;
Based on the relationship and the total number of particles measured, an individual cost specifying unit that specifies maintenance costs for each part of the particle detection device,
A total cost calculation unit for calculating the sum of the maintenance costs;
A maintenance cost calculation system for a particle detector.
前記粒子検出装置が前記所定の期間に測定した前記粒子の総数を得ることと、
前記関係と、前記測定された粒子の総数と、に基づいて、前記粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定することと、
前記メンテナンス費用の総和を算出することと、
を含む、粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法。 Preparing a relationship between the total number of particles measured by the particle detector in a predetermined period and the maintenance cost of the parts of the particle detector for each part of the particle detector;
Obtaining the total number of particles measured by the particle detector during the predetermined period;
Identifying maintenance costs for each part of the particle detector based on the relationship and the total number of particles measured;
Calculating the sum of the maintenance costs;
A method for calculating the maintenance cost of a particle detector.
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