JP5952146B2 - Maintenance cost calculation system for particle detector and maintenance cost calculation method for particle detector - Google Patents
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Description
本発明は環境評価技術に関し、特に粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法に関する。 The present invention relates to an environmental evaluation technique, and more particularly to a maintenance cost calculation system for a particle detection device and a maintenance cost calculation method for a particle detection device.
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している汚染物質等の粒子が検出され、記録される（例えば、非特許文献１参照。）。しかし、空調システム等の改善によってクリーンルーム内に飛散する粒子の量が低減すると、その後は、粒子検出装置を配置する必要性が薄れる場合がある。そのため、クリーンルームの所有者は、高価な粒子検出装置を購入せず、クリーンルームの立ち上げ後、一定期間のみリース業者等から粒子検出装置を借りる場合がある。クリーンルームの所有者は、一定期間経過後、リース業者に粒子検出装置を返却する。 In a clean room such as a bio clean room, particles such as scattered contaminants are detected and recorded using a particle detection device (see, for example, Non-Patent Document 1). However, if the amount of particles scattered in the clean room is reduced by improving the air conditioning system or the like, the necessity of arranging the particle detector may be reduced thereafter. For this reason, the owner of a clean room may not purchase an expensive particle detection device, but may borrow a particle detection device from a leasing company or the like only for a certain period after the clean room is started up. The owner of the clean room returns the particle detector to the leasing company after a certain period.
粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム内の空気を吸引するための吸気機構と、吸引された空気中の粒子を検出するための検出機構と、粒子を検出した後の空気をクリーンルームに戻すための排気機構と、を有する。粒子検出装置の内部に吸引された気体に含まれる粒子は、検出機構を通過後、そのほとんどが外部に排出される。しかし、粒子検出装置の内部に付着する粒子もある。したがって、クリーンルームの汚染度に応じて、粒子検出装置の内部も汚染される。そのため、リース業者は、返却された粒子検出装置をメンテナンスした後に、次の客に粒子検出装置を貸す。 The particle detection device includes, for example, an intake mechanism for sucking air in the clean room, a detection mechanism for detecting particles in the sucked air, and an exhaust for returning the air after detecting the particles to the clean room. And a mechanism. Most of the particles contained in the gas sucked into the inside of the particle detection device are discharged outside after passing through the detection mechanism. However, some particles adhere to the inside of the particle detector. Therefore, the inside of the particle detector is also contaminated according to the degree of contamination in the clean room. Therefore, the leasing company lends the particle detection device to the next customer after maintaining the returned particle detection device.
メンテナンスされている間は、粒子検出装置は稼働していない。したがって、粒子検出装置のメンテナンス期間の長期化は、粒子検出装置の稼働率を下げる要因となる。そのため、粒子検出装置のメンテナンス期間は、短い方が好ましい。しかし、粒子検出装置のリース先のクリーンルームの環境は事前には不明であることが多く、またリース先によって様々である。そのため、粒子検出装置の汚染度は、返却後、メンテナンスに着手して初めて明らかになることが多い。よって、リース業者側の努力によって、粒子検出装置のメンテナンス期間を短縮するのは困難である。 While being maintained, the particle detector is not in operation. Therefore, the prolongation of the maintenance period of the particle detection device becomes a factor of lowering the operation rate of the particle detection device. Therefore, it is preferable that the maintenance period of the particle detection apparatus is short. However, the environment of the clean room to which the particle detector is leased is often unknown in advance and varies depending on the lease destination. For this reason, the degree of contamination of the particle detector is often clarified only after the maintenance is started. Therefore, it is difficult to shorten the maintenance period of the particle detector by the effort of the leasing company.
また、粒子検出装置のメンテナンス費用は、リース先に請求することが可能であるが、上述したように粒子検出装置のメンテナンス費用はリース先のクリーンルームの環境に応じて変動する。そのため、リース先に一律なメンテナンス費用を請求することは公平ではない。そこで、本発明は、粒子検出装置の使用環境に応じて粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供することを目的の一つとする。 In addition, the maintenance cost of the particle detection device can be charged to the lease destination, but as described above, the maintenance cost of the particle detection device varies depending on the environment of the clean room of the lease destination. Therefore, it is not fair to charge a uniform maintenance fee to the lease destination. Therefore, the present invention aims to provide a maintenance cost calculation system for a particle detection device and a maintenance cost calculation method for the particle detection device, which can calculate the maintenance cost of the particle detection device according to the use environment of the particle detection device. One.
上述したように、粒子検出装置のメンテナンス費用は、粒子検出装置の使用環境に応じて変動する。しかし、メンテナンスを実施後、実際にかかったメンテナンス費用を粒子検出装置の借用者に請求すると、借用者が不服を申し立てた場合に、メンテナンス費用の回収が困難となる場合がある。したがって、借用者が粒子検出装置の借用を終えた段階で、実際にメンテナンス作業に着手する前に、メンテナンス費用を算出し、借用者に請求することが好ましい。また、一律ではないメンテナンス費用を請求する以上、メンテナンス費用の算出根拠は、客観的かつ具体的であることが望まれる。ここで、本発明者は、粒子検出装置の内部の汚染度は、粒子検出装置の内部の湿度に相関することを見出し、汚染度に相関するメンテナンス費用を、粒子検出装置の内部で測定した湿度の値から見積もるということに想到した。 As described above, the maintenance cost of the particle detector varies depending on the environment in which the particle detector is used. However, if the maintenance fee actually charged is charged to the borrower of the particle detection device after the maintenance is performed, it may be difficult to collect the maintenance fee when the borrower makes a complaint. Therefore, it is preferable to calculate the maintenance cost and charge the borrower after the borrower has finished borrowing the particle detector and before actually starting the maintenance work. In addition, as long as non-uniform maintenance costs are charged, it is desirable that the basis for calculating maintenance costs be objective and specific. Here, the present inventor found that the contamination level inside the particle detection device correlates with the humidity inside the particle detection device, and the maintenance cost correlated with the contamination level was measured inside the particle detection device. I came up with an estimate from the value of.
本発明の態様によれば、（ａ）内部に湿度計を有する粒子検出装置と、（ｂ）粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に保存する関係記憶装置と、（ｃ）関係と、湿度計が測定した粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、を備える、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムが提供される。 According to the aspect of the present invention, the relationship between (a) a particle detection device having a hygrometer inside, (b) the humidity inside the particle detection device, and the maintenance costs of parts of the particle detection device Individual costs for identifying maintenance costs for each part of the particle detection device based on the relationship storage device stored for each part of (2), (c) the relationship and the humidity value inside the particle detection device measured by the hygrometer There is provided a maintenance cost calculation system for a particle detection device, comprising: a specifying unit; and (d) a total cost calculation unit that calculates a sum of maintenance costs.
また、本発明の態様によれば、（ａ）粒子検出装置内部の湿度と、粒子検出装置の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置の部品毎に用意することと、（ｂ）粒子検出装置内部に配置された湿度計で粒子検出装置内部の湿度の値を得ることと、（ｃ）関係と、湿度計が測定した粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置の部品毎にメンテナンス費用を特定することと、（ｄ）メンテナンス費用の総和を算出することと、を含む、粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法が提供される。 Moreover, according to the aspect of the present invention, (a) preparing the relationship between the humidity inside the particle detection device and the maintenance cost of the components of the particle detection device for each component of the particle detection device, and (b) Obtaining the humidity value inside the particle detection device with a hygrometer arranged inside the particle detection device, and (c) based on the relationship and the humidity value inside the particle detection device measured by the hygrometer A method for calculating a maintenance cost for a particle detection device is provided, which includes specifying a maintenance cost for each part of the detection device, and (d) calculating a sum of the maintenance costs.
本発明によれば、粒子検出装置のメンテナンス費用を算出可能な、粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム及び粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法を提供可能である。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the maintenance cost calculation system of a particle detection apparatus and the maintenance cost calculation method of a particle detection apparatus which can calculate the maintenance cost of a particle detection apparatus can be provided.
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図１に示すように、内部に湿度計を有する粒子検出装置２０と、粒子検出装置２０内部の湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の部品毎に保存する関係記憶装置４０１と、関係と、湿度計が測定した粒子検出装置２０内部の湿度の値と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部３０１と、メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部３０２と、を備える。関係記憶装置４０１、個別費用特定部３０１、及び総費用算出部３０２は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれている。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the maintenance cost calculation system for a particle detector according to the first embodiment includes a particle detector 20 having a hygrometer inside, the humidity inside the particle detector 20, and the particle detector 20. Based on the relationship storage device 401 that stores the relationship between the maintenance cost of each part of the particle detection device 20 for each component of the particle detection device 20, the relationship, and the humidity value inside the particle detection device 20 measured by the hygrometer, An individual cost specifying unit 301 that specifies a maintenance cost for each part of the particle detection device 20 and a total cost calculating unit 302 that calculates the sum of maintenance costs are provided. The relationship storage device 401, the individual cost specifying unit 301, and the total cost calculation unit 302 are included in, for example, a central processing unit (CPU) 300.
粒子検出装置２０は、例えばクリーンルームに配置される。図２に示す移動式クリーンルーム１０は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備える。ただし、実施の形態に係るクリーンルームは、これに限定されない。例えば、コンテナ型のクリーンルーム、プレハブ型のクリーンルーム、及び移動式手術室等も、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。また、移動式ではないクリーンルームも、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。 The particle | grain detection apparatus 20 is arrange | positioned at a clean room, for example. The mobile clean room 10 shown in FIG. 2 includes a frame made of, for example, aluminum that forms a skeleton, and a transparent panel made of polycarbonate that is fitted into the frame and forms a side wall. However, the clean room according to the embodiment is not limited to this. For example, a container-type clean room, a prefabricated clean room, a mobile operating room, and the like are also included in the clean room according to the embodiment. In addition, a clean room that is not mobile is also included in the clean room according to the embodiment.
クリーンルーム１０内部には、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、清浄な空気が送り込まれる。さらにクリーンルーム１０内部には、空気等の気体に含まれる微粒子や微生物を除去し、気体を清浄化する清浄化装置が配置されていてもよい。 Clean air is fed into the clean room 10 through ultra-high performance air filters such as HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) and ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter). Furthermore, in the clean room 10, a cleaning device that removes fine particles and microorganisms contained in a gas such as air and cleans the gas may be disposed.
図３に示すように、粒子検出装置２０は、クリーンルーム１０内の気体を内部に吸引するための吸気機構に接続された吸引口２１と、検査後の気体をクリーンルーム１０に戻すための排気機構に接続された排気口２２と、を有する。例えば、粒子検出装置２０は、内部に、レーザ光源が発したレーザ光を、吸引された気体に照射する光学系２３を備える。レーザ光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。レーザ光が可視光である場合、レーザ光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。レーザ光が紫外光である場合、レーザ光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３５５ｎｍである。なお、粒子検出装置２０が備える光源はレーザ光源に限られない。例えば、粒子検出装置２０は、粒子に光を照射する光源として、発光ダイオード（ＬＥＤ）、及びキセノンランプ等を備えていてもよい。 As shown in FIG. 3, the particle detection device 20 includes a suction port 21 connected to an intake mechanism for sucking the gas in the clean room 10 and an exhaust mechanism for returning the inspected gas to the clean room 10. And an exhaust port 22 connected thereto. For example, the particle detection device 20 includes an optical system 23 that irradiates the sucked gas with laser light emitted from a laser light source. The laser light may be visible light or ultraviolet light. When the laser light is visible light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 400 to 410 nm, for example, 405 nm. When the laser light is ultraviolet light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 310 to 380 nm, for example, 355 nm. The light source provided in the particle detection device 20 is not limited to a laser light source. For example, the particle detection device 20 may include a light emitting diode (LED), a xenon lamp, or the like as a light source that irradiates light to particles.
空気中に細菌を含む微生物等の微粒子が含まれる場合、レーザ光を照射された細菌に含まれるトリプトファン、ニコチンアミドアデニンジヌクレオチド、及びリボフラビン等が、蛍光を発する。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。粒子検出装置２０は、レーザ光を照射された微生物が発した蛍光を検出する検出機構をさらに備える。検出機構は、例えばフォトデテクタ等を含む。また、検出機構は、検出した蛍光の蛍光強度を計測する、フォトデテクタに接続された回路等も含む。粒子検出装置２０は、蛍光強度の大きさに基づき、空気中に含まれている微生物を検出する。 When fine particles such as microorganisms containing bacteria are contained in the air, tryptophan, nicotinamide adenine dinucleotide, riboflavin and the like contained in the bacteria irradiated with the laser light emit fluorescence. Examples of bacteria include gram negative bacteria, gram positive bacteria, and fungi including mold spores. Examples of gram-negative bacteria include E. coli. Examples of gram positive bacteria include Staphylococcus epidermidis, Bacillus subtilis spores, Micrococcus, and Corynebacterium. Examples of fungi containing mold spores include Aspergillus. The particle detection device 20 further includes a detection mechanism that detects fluorescence emitted by the microorganisms irradiated with the laser light. The detection mechanism includes, for example, a photo detector. The detection mechanism also includes a circuit connected to a photodetector that measures the fluorescence intensity of the detected fluorescence. The particle detector 20 detects microorganisms contained in the air based on the magnitude of the fluorescence intensity.
なお、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は微生物に限られない。例えば、粒子検出装置２０が検出対象とする粒子は、無害又は有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダストも含む。また、粒子検出装置２０の粒子の検出原理も、上記に限定されない。粒子検出装置２０は、逐次、検出した粒子の数の情報を含む検出結果情報を電子的又は磁気的に生成する。生成された検出結果情報は、粒子検出装置２０が備える内部メモリ等に逐次保存される。さらに粒子検出装置２０は、シリアルナンバ等の識別記号を記録した識別素子を備えていてもよい。この場合、粒子検出装置２０は、識別記号を検出結果情報に付与する。 Note that the particles to be detected by the particle detection device 20 are not limited to microorganisms. For example, the particles to be detected by the particle detection device 20 include harmless or harmful chemical substances, dust, dust, and other dust. Further, the particle detection principle of the particle detector 20 is not limited to the above. The particle detection device 20 sequentially or electronically generates detection result information including information on the number of detected particles. The generated detection result information is sequentially stored in an internal memory or the like included in the particle detection device 20. Further, the particle detection device 20 may include an identification element that records an identification symbol such as a serial number. In this case, the particle detector 20 gives an identification symbol to the detection result information.
湿度計２６は、例えば、粒子検出装置２０の光学系２３の近傍に配置されている。ここで、粒子検出装置２０が吸引した気体に微生物が含まれていると、微生物が粒子検出装置２０内部の部品に付着し、増殖する場合がある。微生物の増殖は、一般に、雰囲気の湿度と相関し、湿度が高いほど微生物の増殖速度は速く、湿度が低いほど微生物の増殖速度は遅い。したがって、粒子検出装置２０内部に配置された湿度計２６で測定された湿度の値が高いほど、粒子検出装置２０内部の部品が微生物の増殖により汚染されている可能性が高い。湿度計２６は、逐次、測定した湿度の値の情報を含む湿度情報を電子的又は磁気的に生成する。生成された湿度情報は、湿度計２６が備える内部メモリ等に逐次保存される。湿度計２６は、粒子検出装置２０の識別記号を湿度情報に付与してもよい。 The hygrometer 26 is disposed, for example, in the vicinity of the optical system 23 of the particle detector 20. Here, if the gas sucked by the particle detection device 20 contains microorganisms, the microorganisms may adhere to the components inside the particle detection device 20 and proliferate. The growth of microorganisms generally correlates with the humidity of the atmosphere. The higher the humidity, the faster the growth rate of the microorganisms, and the lower the humidity, the slower the growth rate of the microorganisms. Therefore, the higher the humidity value measured by the hygrometer 26 disposed inside the particle detection device 20, the higher the possibility that the components inside the particle detection device 20 are contaminated by the growth of microorganisms. The hygrometer 26 sequentially or electronically generates humidity information including information on the measured humidity value. The generated humidity information is sequentially stored in an internal memory or the like provided in the hygrometer 26. The hygrometer 26 may give the identification symbol of the particle detector 20 to the humidity information.
粒子検出装置２０には、送受信機２及びアンテナ２４が固定されている。送受信機２は、逐次、アンテナ２４を用いて、図１に示すネットワークに湿度情報を無線送信する。なお、送受信機２は、有線ネットワークに情報を送信してもよい。例えば、図３に示す粒子検出装置２０が備える電子機器には、内蔵バッテリ２５から電源が供給される。あるいは、電子機器は、外部電源から電源が供給されてもよい。 The transceiver 2 and the antenna 24 are fixed to the particle detector 20. The transceiver 2 sequentially transmits the humidity information to the network shown in FIG. The transceiver 2 may transmit information to a wired network. For example, power is supplied from the built-in battery 25 to the electronic device included in the particle detection device 20 illustrated in FIG. Alternatively, the electronic device may be supplied with power from an external power source.
図１に示す情報受信機３は、ネットワークを経由してきた湿度情報を受信する。情報受信機３は、受信した湿度情報をＣＰＵ３００に伝送する。情報受信機３はＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、有線又は無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続されていてもよい。 The information receiver 3 shown in FIG. 1 receives humidity information that has passed through a network. The information receiver 3 transmits the received humidity information to the CPU 300. The information receiver 3 may be directly connected to the CPU 300 or may be connected via a wired or wireless local area network (LAN).
関係記憶装置４０１は、湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係を、粒子検出装置２０の光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構等の部品毎に保存する。関係は、テーブルで表現されていてもよい。ここで、粒子検出装置２０のメンテナンスとは、粒子検出装置２０のソフトウェアによる検出機構の補正、粒子検出装置２０を構成する部品の清掃、及び部品の交換等を含む。 The relationship storage device 401 indicates the relationship between the humidity and the maintenance cost of the parts of the particle detection device 20, such as the light source, lens, detector, detection mechanism circuit, nozzle, intake mechanism, and exhaust mechanism of the particle detection device 20. Save for each part. The relationship may be expressed as a table. Here, the maintenance of the particle detection device 20 includes correction of a detection mechanism by software of the particle detection device 20, cleaning of parts constituting the particle detection device 20, replacement of parts, and the like.
粒子検出装置２０に必要なメンテナンスは、粒子検出装置２０内部の湿度によって異なりうる。例えば、粒子検出装置２０内部の湿度が低かった場合は、粒子検出装置２０の部品を清掃あるいは交換することなく、粒子検出装置２０に含まれる検出機構の回路をソフトウェアで補正することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。粒子検出装置２０内部の湿度が低くなく、ソフトウェアによる補正では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を清掃することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。粒子検出装置２０内部の湿度が高く、部品の清掃では粒子検出装置２０の機能回復が不十分である場合には、粒子検出装置２０の部品を交換することによって、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされる。 The maintenance required for the particle detector 20 may vary depending on the humidity inside the particle detector 20. For example, when the humidity inside the particle detection device 20 is low, particle detection is performed by correcting the circuit of the detection mechanism included in the particle detection device 20 with software without cleaning or replacing parts of the particle detection device 20. Maintenance of the apparatus 20 is performed. When the humidity inside the particle detection device 20 is not low and the function recovery of the particle detection device 20 is insufficient by correction by software, the particle detection device 20 is maintained by cleaning the parts of the particle detection device 20. Made. When the humidity inside the particle detection device 20 is high and the functional recovery of the particle detection device 20 is insufficient when cleaning the components, the particle detection device 20 is maintained by replacing the components of the particle detection device 20. The
なお、粒子検出装置２０内部の湿度に応じたメンテナンスの内容は部品によって異なりうる。例えば、ある湿度に対して、ある部品に対しては掃除がなされたり、ある部品に対しては交換がなされたりしうる。また、湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、一つの部品に対して一つのみ用意されてもよいし、一つの部品に対して複数用意されてもよい。一つの部品に対して一つの関係が用意された場合は、一つの関係が、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容に対応する。一つの部品に対して複数の関係が用意された場合は、複数の関係のそれぞれが、ソフトウェアによる補正、部品の掃除、交換等のメンテナンスの複数の内容のいずれかに対応する。 In addition, the content of the maintenance according to the humidity inside the particle | grain detection apparatus 20 may change with components. For example, for a certain humidity, a certain part may be cleaned or a certain part may be replaced. Further, only one relationship between the humidity and the maintenance cost of the components of the particle detector 20 may be prepared for one component, or a plurality of relationships may be prepared for one component. When one relation is prepared for one part, the one relation corresponds to a plurality of contents of maintenance such as correction by software, cleaning of parts, and replacement. When a plurality of relations are prepared for one part, each of the plurality of relations corresponds to one of a plurality of contents of maintenance such as correction by software, cleaning of parts, and replacement.
湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、図４に示すように、湿度を独立変数とし、部品のメンテナンス費用を従属変数とするメンテナンス費用算出式で表されていてもよい。メンテナンス費用算出式は、一次方程式で表される場合もあるし、二次を含む高次方程式で表される場合もある。例えば、光源のように、劣化により急に光量が落ちるものは、劣化が進んだ時点を境にメンテナンス費用が急上昇する。したがって、図５に示すように、光源のメンテナンス費用算出式は、高次方程式で表される場合もある。 As shown in FIG. 4, the relationship between the humidity and the maintenance cost of the parts of the particle detection device 20 may be expressed by a maintenance cost calculation formula in which the humidity is an independent variable and the maintenance cost of the part is a dependent variable. Good. The maintenance cost calculation formula may be expressed by a linear equation or a high-order equation including a secondary. For example, when the amount of light suddenly drops due to deterioration, such as a light source, the maintenance cost suddenly increases at the point where deterioration has advanced. Therefore, as shown in FIG. 5, the light source maintenance cost calculation formula may be expressed by a high-order equation.
湿度と、部品のメンテナンス費用と、の関係は、例えば部品を加湿槽に格納して、湿度と部品の特性の劣化の関係を取得し、さらに部品の特性の劣化と、メンテナンス費用と、の関係を取得することによって得られる。あるいは、湿度と、部品のメンテナンス費用と、の関係は、例えば部品を初期状態における特性を取得し、その後、粒子検出装置２０に部品を組み付けて、粒子検出装置２０を加湿槽に格納して、湿度と部品の特性の劣化の関係を取得し、さらに部品の特性の劣化と、メンテナンス費用と、の関係を取得することによって得られる。これらの試験は、加速試験によって得られてもよい。また、これらの試験は、粒子検出装置２０が配置される環境と同じ温度条件下で実施されるのが好ましい。 The relationship between the humidity and the maintenance cost of the part is, for example, that the part is stored in a humidifying tank, the relation between the humidity and the deterioration of the part characteristic is acquired, and the relation between the deterioration of the part characteristic and the maintenance cost. Can be obtained by Alternatively, the relationship between the humidity and the maintenance cost of the component is obtained, for example, by acquiring the characteristics of the component in the initial state, then assembling the component into the particle detection device 20, and storing the particle detection device 20 in the humidification tank. It is obtained by acquiring the relationship between the humidity and the deterioration of the component characteristics, and further acquiring the relationship between the deterioration of the component characteristics and the maintenance cost. These tests may be obtained by accelerated tests. These tests are preferably performed under the same temperature conditions as the environment in which the particle detection device 20 is arranged.
一つの部品に対して複数の関係が用意された場合、ＣＰＵ３００は、関係選択部３０３をさらに有しうる。関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度に応じて、複数の関係から一つの関係を選択する。例えば、測定湿度が所定の第１の設定値Ｎ1未満である場合は、関係選択部３０３は、ソフトウェアによる補正に対応する関係を選択する。測定湿度が第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満である場合は、関係選択部３０３は、部品の清掃に対応する関係を選択する。測定湿度が第２の設定値Ｎ2以上である場合は、関係選択部３０３は、部品の交換に対応する関係を選択する。第１の設定値Ｎ1及び第２の設定値Ｎ2は、部品毎に任意に設定される。 When a plurality of relationships are prepared for one component, the CPU 300 may further include a relationship selection unit 303. The relationship selection unit 303 selects one relationship from a plurality of relationships according to the humidity measured by the hygrometer 26 inside the particle detection device 20. For example, when the measured humidity is less than the predetermined first set value N 1 , the relationship selection unit 303 selects a relationship corresponding to correction by software. When the measured humidity is greater than or equal to the first set value N 1 and less than the second set value N 2 , the relationship selecting unit 303 selects a relationship corresponding to the cleaning of the parts. When the measured humidity is equal to or higher than the second set value N 2 , the relationship selection unit 303 selects a relationship corresponding to component replacement. The first set value N 1 and the second set value N 2 are arbitrarily set for each component.
粒子検出装置２０内部の湿度と、粒子検出装置２０の部品のメンテナンス費用と、の関係は、ソフトウェアによる補正に必要な作業代、部品の清掃に必要な清掃具の費用、部品の清掃に必要な作業代、交換する際の部品の費用、及び部品の交換に必要な作業代等に基づいて、予め取得される。例えば、湿度が高くなるにつれて、ソフトウェアによる補正が複雑になったり、部品の清掃時間が長くなったりするので、それらに対応するように、関係は求められる。また、部品の清掃や交換が行われることにより、ソフトウェアによる補正が行われなくなることもありうる。 The relationship between the humidity inside the particle detection device 20 and the maintenance cost of the parts of the particle detection device 20 includes the work cost necessary for correction by software, the cost of the cleaning tool necessary for cleaning the parts, and the need for cleaning the parts. It is acquired in advance based on the work cost, the cost of the parts for replacement, and the work cost necessary for replacement of the parts. For example, as the humidity increases, the correction by the software becomes more complicated and the cleaning time of the parts becomes longer. Therefore, the relationship is required to cope with them. Further, correction by software may not be performed by cleaning or replacing parts.
個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が関係記憶装置４０１から選択して読み出した粒子検出装置２０の部品毎に用意された関係と、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度と、に基づいて、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。関係がメンテナンス費用算出式で表されている場合、個別費用特定部３０１は、粒子検出装置２０の部品毎に用意されたメンテナンス費用算出式の独立変数に、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の値を代入して、粒子検出装置２０の部品毎にメンテナンス費用を特定する。例えば個別費用特定部３０１は、湿度の測定値に応じて、粒子検出装置２０の光源のメンテナンス費用、レンズのメンテナンス費用、デテクタのメンテナンス費用、検出機構の回路のメンテナンス費用、ノズルのメンテナンス費用、吸気機構のメンテナンス費用、及び排気機構のメンテナンス費用等を算出する。個別費用特定部３０１は、部品毎に特定したメンテナンス費用を、ＣＰＵ３００に含まれる個別費用記憶装置４０３に保存する。 The individual cost specifying unit 301 includes the relationship prepared for each part of the particle detection device 20 selected and read from the relationship storage device 401 by the relationship selection unit 303, and the humidity measured by the hygrometer 26 inside the particle detection device 20. , The maintenance cost is specified for each part of the particle detection device 20. When the relationship is expressed by a maintenance cost calculation formula, the individual cost specifying unit 301 sets the hygrometer 26 inside the particle detection device 20 as an independent variable of the maintenance cost calculation formula prepared for each part of the particle detection device 20. By substituting the measured humidity value, the maintenance cost is specified for each part of the particle detector 20. For example, the individual cost specifying unit 301 determines the maintenance cost of the light source of the particle detection device 20, the maintenance cost of the lens, the maintenance cost of the detector, the maintenance cost of the circuit of the detection mechanism, the maintenance cost of the nozzle, the intake air according to the measured humidity value. The maintenance cost of the mechanism and the maintenance cost of the exhaust mechanism are calculated. The individual cost specifying unit 301 stores the maintenance cost specified for each part in an individual cost storage device 403 included in the CPU 300.
総費用算出部３０２は、個別費用特定部３０１が部品毎に算出したメンテナンス費用の総和を算出する。例えば、総費用算出部３０２は、個別費用特定部３０１が算出した光源のメンテナンス費用と、レンズのメンテナンス費用と、デテクタのメンテナンス費用と、検出機構の回路のメンテナンス費用と、ノズルのメンテナンス費用と、吸気機構のメンテナンス費用と、排気機構のメンテナンス費用と、の総和を算出する。総費用算出部３０２は、算出した図６に示すようなメンテナンス費用の総和を、算出費用記憶装置４０２に保存する。また、図１に示すＣＰＵ３００には、出力装置３５０が接続されている。総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を、出力装置３５０に出力させる。出力装置３５０としては、プリンタ、及びディスプレイ等が使用可能である。出力装置３５０は、ＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、ネットワークや他のコンピュータを介して、ＣＰＵ３００に接続されていてもよい。 The total cost calculation unit 302 calculates the total maintenance cost calculated for each part by the individual cost specifying unit 301. For example, the total cost calculation unit 302 includes a light source maintenance cost calculated by the individual cost specifying unit 301, a lens maintenance cost, a detector maintenance cost, a detection mechanism circuit maintenance cost, a nozzle maintenance cost, The sum of the maintenance cost of the intake mechanism and the maintenance cost of the exhaust mechanism is calculated. The total cost calculation unit 302 stores the calculated total maintenance cost as shown in FIG. 6 in the calculated cost storage device 402. Further, an output device 350 is connected to the CPU 300 shown in FIG. The total cost calculation unit 302 causes the output device 350 to output the calculated sum of maintenance costs. As the output device 350, a printer, a display, or the like can be used. The output device 350 may be directly connected to the CPU 300, or may be connected to the CPU 300 via a network or another computer.
ＣＰＵ３００は、期間監視部３０４をさらに含んでいてもよい。期間監視部３０４は、例えば、粒子検出装置２０のリース期間等の所定の期間が満了したか否かを監視する。なお、期間監視部３０４の機能は、ＣＰＵ３００にネットワークを介して接続されたタイムサーバ等によって実現されてもよい。例えば、個別費用特定部３０１は、期間監視部３０４が、所定の期間が満了したと判断した場合に、粒子検出装置２０の部品毎のメンテナンス費用の特定を行ってもよい。 The CPU 300 may further include a period monitoring unit 304. For example, the period monitoring unit 304 monitors whether a predetermined period such as a lease period of the particle detection device 20 has expired. Note that the function of the period monitoring unit 304 may be realized by a time server or the like connected to the CPU 300 via a network. For example, the individual cost specifying unit 301 may specify the maintenance cost for each part of the particle detection device 20 when the period monitoring unit 304 determines that a predetermined period has expired.
ＣＰＵ３００は、費用請求部３０５及び入金確認部３０６をさらに含んでいてもよい。費用請求部３０５は、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信する。入金確認部３０６は、例えば、粒子検出装置２０の所有者の口座を監視し、粒子検出装置２０の借用者から、請求したメンテナンス費用の入金があったか否かを監視する。 The CPU 300 may further include a cost billing unit 305 and a payment confirmation unit 306. The cost billing unit 305 transmits the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 302 to the borrower's computer or the like of the particle detection device 20 via the network. The payment confirmation unit 306 monitors, for example, the account of the owner of the particle detection device 20 and monitors whether or not the charged maintenance fee has been received from the borrower of the particle detection device 20.
ＣＰＵ３００は、費用リセット部３０７をさらに含んでいてもよい。費用リセット部３０７は、粒子検出装置２０のメンテナンスがなされた場合、あるいは粒子検出装置２０をメンテナンスすることが決定され、粒子検出装置２０の稼働が停止した場合、あるいは粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があった場合に、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。 The CPU 300 may further include a cost reset unit 307. The cost resetting unit 307 performs maintenance when the particle detection device 20 is performed, or when it is determined that the particle detection device 20 is to be maintained and the operation of the particle detection device 20 is stopped, or from a borrower of the particle detection device 20. When the requested maintenance cost is received, the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 302 is reset to zero.
ＣＰＵ３００は、警告部３０８をさらに含んでいてもよい。警告部３０８は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の値が所定の値を超えた場合、例えば粒子検出装置２０の正常な稼働が保証できなくなったことを知らせる警告信号を発する。この場合、粒子検出装置２０は、リース期間の満了前であっても、稼働を停止してもよい。 The CPU 300 may further include a warning unit 308. When the humidity value measured by the hygrometer 26 inside the particle detection device 20 exceeds a predetermined value, the warning unit 308 issues a warning signal notifying that normal operation of the particle detection device 20 cannot be guaranteed, for example. . In this case, the particle detector 20 may stop operating even before the expiration of the lease period.
次に、図７及び図８に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法について説明する。 Next, the maintenance prediction method according to the first embodiment will be described with reference to the flowcharts shown in FIGS.
（ａ）ステップＳ１０１で、図３に示す粒子検出装置２０の借用者は、図２に示すクリーンルーム１０に粒子検出装置２０を設置する。クリーンルーム１０に設置される粒子検出装置２０は、予めメンテナンスされている。なお、粒子検出装置２０が新品で清浄であれば、設置前のメンテナンスは必ずしも必要ではない。粒子検出装置２０は、粒子の検出を開始すると、粒子の検出を開始したことを示す信号を生成し、図１に示す期間監視部３０４に送信する。ステップＳ１０２で、信号を受信した期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻を記録する。また、期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間をタイマー等で計測する。 (A) In step S101, the borrower of the particle detector 20 shown in FIG. 3 installs the particle detector 20 in the clean room 10 shown in FIG. The particle detector 20 installed in the clean room 10 is maintained in advance. In addition, if the particle | grain detection apparatus 20 is new and clean, the maintenance before installation is not necessarily required. When particle detection starts, particle detection device 20 generates a signal indicating that particle detection has started, and transmits the signal to period monitoring unit 304 shown in FIG. In step S <b> 102, the period monitoring unit 304 that has received the signal records the time when the particle detection device 20 starts detecting particles. In addition, the period monitoring unit 304 measures the operation time of the particle detection device 20 from the time when the particle detection device 20 starts detecting particles with a timer or the like.
（ｂ）ステップＳ１０３で、粒子検出装置２０は、粒子の検出を継続する。ステップＳ１０４で、粒子検出装置２０内部の湿度計２６は、湿度を測定し、測定した湿度の値の情報を含む湿度情報を、ネットワークを介して、ＣＰＵ３００に逐次送信する。なお、湿度計は、所定の期間における湿度の平均値の情報を含む湿度情報を、ネットワークを介して、ＣＰＵ３００に送信してもよい。 (B) In step S103, the particle detector 20 continues to detect particles. In step S104, the hygrometer 26 inside the particle detector 20 measures humidity, and sequentially transmits humidity information including information on the measured humidity value to the CPU 300 via the network. Note that the hygrometer may transmit humidity information including information on the average value of humidity during a predetermined period to the CPU 300 via a network.
（ｃ）ステップＳ１０５で、期間監視部３０４は、粒子検出装置２０が粒子の検出を開始した時刻からの粒子検出装置２０の稼働時間と、粒子検出装置２０のリース期間と、を対比して、粒子検出装置２０のリース期間が満了したか否かを監視する。期間監視部３０４が粒子検出装置２０のリース期間が満了したと判断した場合は、粒子検出装置２０は粒子の検出を終了し、ステップＳ１０６に進む。期間監視部３０４が粒子検出装置２０のリース期間が満了していないと判断した場合は、ステップＳ１０３に戻る。 (C) In step S105, the period monitoring unit 304 compares the operation time of the particle detection apparatus 20 from the time when the particle detection apparatus 20 starts detecting particles with the lease period of the particle detection apparatus 20, It is monitored whether the lease period of the particle detector 20 has expired. When the period monitoring unit 304 determines that the lease period of the particle detection device 20 has expired, the particle detection device 20 ends the particle detection and proceeds to step S106. If the period monitoring unit 304 determines that the lease period of the particle detection device 20 has not expired, the process returns to step S103.
（ｄ）ステップＳ１０６で、関係選択部３０３は、粒子検出装置２０の構成部品のうち、メンテナンス費用の算出がなされていない一つの部品を特定する。ステップＳ１０７で、関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６による湿度の測定値が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ1未満であるか否かを判断する。湿度の測定値が第１の設定値Ｎ1未満である場合、ステップＳ２０１に進む。 (D) In step S <b> 106, the relationship selection unit 303 identifies one component for which maintenance cost is not calculated among the components of the particle detection device 20. In step S107, whether the relationship selecting unit 303, the measured value of the humidity by the particle detector 20 inside the hygrometer 26 is less than a first set value N 1 set for the component identified in Step S106 Judge whether or not. If the measured value of the humidity is lower than the first set value N 1, the process proceeds to step S201.
（ｅ）ステップＳ２０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品の、清掃交換を伴わないメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ２０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。 (E) In step S201, the relationship selecting unit 303 selects and reads the relationship between the humidity and the maintenance cost of the part specified in step S106 that does not involve cleaning and replacement from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 303 transmits the selected relationship and the measured humidity value to the individual cost specifying unit 301. In step S202, the individual cost specifying unit 301 specifies the maintenance cost of the component specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 303 and the measured value of humidity. The individual cost specifying unit 301 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 403.
（ｆ）ステップＳ１０７で、関係選択部３０３が、湿度の測定値が第１の設定値Ｎ1以上であると判断した場合、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８で、関係選択部３０３は、湿度の測定値が、ステップＳ１０６で特定された部品に対して設定された第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満であるか否かを判断する。湿度の測定値が第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満である場合、ステップＳ３０１に進む。 (F) In step S107, when the relationship selecting unit 303, the measured value of the humidity is determined to be the first set value N 1 or more, the process proceeds to step S108. In step S108, the relationship selecting unit 303, the measured value of the humidity, whether the first set value N 1 or more second less than the set value N 2, which is set for the component identified in Step S106 Judging. If the measured humidity value is greater than or equal to the first set value N 1 and less than the second set value N 2 , the process proceeds to step S301.
（ｇ）ステップＳ３０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品を清掃するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ３０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。 (G) In step S301, the relationship selecting unit 303 selects and reads out the relationship between the humidity and the maintenance cost for cleaning the part specified in step S106 from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 303 transmits the selected relationship and the measured humidity value to the individual cost specifying unit 301. In step S302, the individual cost specifying unit 301 specifies the maintenance cost of the component specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 303 and the measured humidity value. The individual cost specifying unit 301 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 403.
（ｈ）ステップＳ１０８で、関係選択部３０３が、湿度の測定値が第２の設定値Ｎ2以上であると判断した場合、ステップＳ４０１に進む。ステップＳ４０１で、関係選択部３０３は、関係記憶装置４０１から、湿度と、ステップＳ１０６で特定された部品を交換するためのメンテナンス費用と、の関係を選択して読み出す。関係選択部３０３は、選択した関係と、湿度の測定値と、を、個別費用特定部３０１に伝送する。ステップＳ４０２で、個別費用特定部３０１は、関係選択部３０３が選択した関係と、湿度の測定値と、に基づいて、ステップＳ１０６で特定された部品のメンテナンス費用を特定する。個別費用特定部３０１は、特定した部品のメンテナンス費用を、個別費用記憶装置４０３に保存する。 (H) In step S108, when the relationship selecting unit 303, the measured value of the humidity is determined to be a second set value N 2 or more, the process proceeds to step S401. In step S401, the relationship selection unit 303 selects and reads the relationship between the humidity and the maintenance cost for replacing the part specified in step S106 from the relationship storage device 401. The relationship selecting unit 303 transmits the selected relationship and the measured humidity value to the individual cost specifying unit 301. In step S402, the individual cost specifying unit 301 specifies the maintenance cost of the component specified in step S106 based on the relationship selected by the relationship selecting unit 303 and the measured value of humidity. The individual cost specifying unit 301 stores the maintenance cost of the specified part in the individual cost storage device 403.
（ｉ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０２は、個別費用記憶装置４０３に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されているか否かを確認する。メンテナンス費用が特定されていない部品がある場合は、ステップＳ１０６に戻る。ステップＳ１０６からステップＳ５０１までのループが繰り返されることで、粒子検出装置２０の総ての構成部品のそれぞれのメンテナンス費用が算出され、個別費用記憶装置４０３に保存される。なお、メンテナンス費用の算出対象となっていない部品は、「総ての構成部品」には含まれない。 (I) In step S <b> 501, the total cost calculation unit 302 confirms whether the maintenance costs for all the components of the particle detection device 20 are stored in the individual cost storage device 403. If there is a part whose maintenance cost is not specified, the process returns to step S106. By repeating the loop from step S <b> 106 to step S <b> 501, the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20 are calculated and stored in the individual cost storage device 403. Parts that are not subject to maintenance cost calculation are not included in “all components”.
（ｊ）ステップＳ５０１で、総費用算出部３０２が、個別費用記憶装置４０３に、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用が保存されていることを確認した場合、図８に示すステップＳ５０２で、総費用算出部３０２は、個別費用記憶装置４０３から、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用を読み出す。次に、総費用算出部３０２は、粒子検出装置２０の総ての構成部品のメンテナンス費用の総和を算出する。ステップＳ５０３で、総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を算出費用記憶装置４０２に保存する。また、ステップＳ５０４で、総費用算出部３０２は、算出したメンテナンス費用の総和を出力装置３５０に出力する。 (J) When the total cost calculation unit 302 confirms in step S501 that the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20 are stored in the individual cost storage device 403, the steps shown in FIG. In S <b> 502, the total cost calculation unit 302 reads maintenance costs for all the components of the particle detection device 20 from the individual cost storage device 403. Next, the total cost calculation unit 302 calculates the sum of the maintenance costs of all the components of the particle detection device 20. In step S <b> 503, the total cost calculation unit 302 stores the calculated total sum of maintenance costs in the calculated cost storage device 402. In step S504, the total cost calculation unit 302 outputs the calculated total sum of maintenance costs to the output device 350.
（ｋ）ステップＳ５０５で、費用請求部３０５は、算出費用記憶装置４０２からメンテナンス費用の総和を読み出す。次に、費用請求部３０５は、メンテナンス費用の総和を、粒子検出装置２０の借用者のコンピュータ等に、ネットワークを介して送信し、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。ステップＳ５０６で、入金確認部３０６は、粒子検出装置２０の借用者からのメンテナンス費用の入金が、粒子検出装置２０の所有者の口座にあったか否かを監視する。入金が確認された場合は、ステップＳ５０７に進む。ステップＳ５０７で、費用リセット部３０７は、総費用算出部３０２が算出したメンテナンス費用の総和をゼロにリセットする。ステップＳ５０６で入金が確認されなかった場合は、ステップＳ５０５に戻り、再度、粒子検出装置２０の借用者にメンテナンス費用を請求する。 (K) In step S <b> 505, the cost billing unit 305 reads the total maintenance cost from the calculated cost storage device 402. Next, the cost claiming unit 305 transmits the total maintenance cost to the borrower's computer or the like of the particle detection device 20 via the network, and charges the maintenance cost to the borrower of the particle detection device 20. In step S <b> 506, the deposit confirmation unit 306 monitors whether the deposit of the maintenance cost from the borrower of the particle detection device 20 is in the account of the owner of the particle detection device 20. If payment is confirmed, the process proceeds to step S507. In step S507, the cost reset unit 307 resets the total maintenance cost calculated by the total cost calculation unit 302 to zero. If payment is not confirmed in step S506, the process returns to step S505, and the maintenance fee is charged again to the borrower of the particle detection device 20.
以上説明した第１の実施の形態に係るメンテナンス時予測方法によれば、粒子検出装置２０のメンテナンス費用を借用者に請求する場合に、請求するメンテナンス費用の客観的かつ具体的な裏付けを、借用者に対して提示することが可能となる。 According to the maintenance prediction method according to the first embodiment described above, when the maintenance fee for the particle detector 20 is charged to the borrower, objective and specific support for the maintenance fee to be charged is borrowed. Can be presented to the person.
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子検出装置のメンテナンス費用算出システムは、図９に示すように、ＣＰＵ３００が、更新確認部３０９をさらに含む。更新確認部３０９は、入金確認部３０６が粒子検出装置２０の借用者から請求したメンテナンス費用の入金があったことを確認した場合に、粒子検出装置２０の借用者が所有するコンピュータ等に、リース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を、ネットワークを介して送信する。借用者から契約を更新する回答があった場合は、更新確認部３０９は、粒子検出装置２０を再稼働させる。
(Second Embodiment)
In the maintenance cost calculation system for the particle detector according to the second embodiment, the CPU 300 further includes an update confirmation unit 309 as shown in FIG. The update confirmation unit 309 provides a lease to a computer or the like owned by the borrower of the particle detection device 20 when the payment confirmation unit 306 confirms that the maintenance fee requested by the borrower of the particle detection device 20 has been received. A signal for inquiring whether or not to renew the contract is transmitted via the network. If there is a response from the borrower to update the contract, the update confirmation unit 309 causes the particle detection device 20 to restart.
なお、更新確認部は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送る前に、粒子検出装置２０の再稼働可能期間を計算してもよい。再稼働可能期間Ａは、検出粒子数の所定の上限値をＮMAX、契約期間中に検出した粒子の数をｎ、契約期間をＣとして、下記（１）式で表される。
Ａ＝（ＮMAX／ｎ）×Ｃ ・・・（１）
再稼働可能期間Ａが所定の期間より短い場合は、更新確認部３０９は、借用者にリース契約を更新するか否かを問い合わせる信号を送らなくてもよい。
Note that the update confirmation unit may calculate the reusable period of the particle detection device 20 before sending a signal asking the borrower whether or not to renew the lease contract. The reusable period A is expressed by the following formula (1), where N MAX is a predetermined upper limit of the number of detected particles, n is the number of particles detected during the contract period, and C is the contract period.
A = (N MAX / n) × C (1)
When the reusable period A is shorter than the predetermined period, the update confirmation unit 309 may not send a signal asking the borrower whether or not to renew the lease contract.
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図１に示す関係選択部３０３は、粒子検出装置２０内部の湿度計２６が測定した湿度の経時変化を観測し、図１０に示すように、測定湿度が所定の第１の設定値Ｎ1未満になった場合のパルスカウント、測定湿度が第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満になった場合のパルスカウント、及び測定湿度が第２の設定値Ｎ2以上になった場合のパルスカウントを生成してもよい。ここで、第１の設定値Ｎ1未満のパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、ソフトウェアによる補正に対応する関係を選択する。第１の設定値Ｎ1以上第２の設定値Ｎ2未満のパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、部品の清掃に対応する関係を選択する。第２の設定値Ｎ2以上であるパルスカウントが最も多かった場合は、関係選択部３０３は、部品の交換に対応する関係を選択する。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although this invention was described by embodiment, it should not be understood that the description and drawing which form a part of this indication limit this invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, the relationship selection unit 303 shown in FIG. 1 observes the change over time of the humidity measured by the hygrometer 26 inside the particle detector 20, and the measured humidity is a predetermined first set value N as shown in FIG. pulse count when it becomes less than 1, the pulse count when the measured humidity reaches a first set value N 1 or more second less than the set value N 2, and the measurement humidity to the second set value N 2 or more A pulse count may be generated if Here, when the pulse count less than the first set value N 1 is the largest, the relationship selection unit 303 selects a relationship corresponding to correction by software. When the pulse count of the first set value N 1 or more and less than the second set value N 2 is the largest, the relationship selection unit 303 selects the relationship corresponding to the cleaning of the parts. When the pulse count that is equal to or greater than the second set value N 2 is the largest, the relationship selection unit 303 selects the relationship corresponding to the replacement of the component. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.
２ 送受信機
３ 情報受信機
１０ クリーンルーム
２０ 粒子検出装置
２１ 吸引口
２２ 排気口
２３ 光学系
２４ アンテナ
２５ 内蔵バッテリ
２６ 湿度計
３０１ 個別費用特定部
３０２ 総費用算出部
３０３ 関係選択部
３０４ 期間監視部
３０５ 費用請求部
３０６ 入金確認部
３０７ 費用リセット部
３０８ 警告部
３０９ 更新確認部
３５０ 出力装置
４０１ 関係記憶装置
４０２ 算出費用記憶装置
４０３ 個別費用記憶装置
2 Transceiver 3 Information receiver 10 Clean room 20 Particle detection device 21 Suction port 22 Exhaust port 23 Optical system 24 Antenna 25 Built-in battery 26 Hygrometer 301 Individual cost specifying unit 302 Total cost calculation unit 303 Relationship selection unit 304 Period monitoring unit 305 Cost Claim 306 Payment confirmation unit 307 Cost reset unit 308 Warning unit 309 Update confirmation unit 350 Output device 401 Relational storage device 402 Calculated cost storage device 403 Individual cost storage device
Claims (6)
前記光学式微生物粒子検出装置内部の湿度と、前記光学式微生物粒子検出装置の部品であって、光源、レンズ、デテクタ、検出機構の回路、ノズル、吸気機構、及び排気機構を含む部品のメンテナンス費用と、の関係を、前記部品毎に保存する関係記憶装置であって、前記メンテナンス費用が、前記湿度に応じて、前記光学式微生物粒子検出装置の回路のソフトウェアによる補正、前記部品の清掃、及び前記部品の交換のいずれかを選択した際の作業代に基づいている、関係記憶装置と、
前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値に応じて、前記ソフトウェアによる補正に対応する関係、前記部品の清掃に対応する関係、又は前記部品の交換に対応する関係を前記部品毎に選択する関係選択部と、
前記選択された関係と、前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、前記部品毎にメンテナンス費用を特定する個別費用特定部と、
前記メンテナンス費用の総和を算出する総費用算出部と、
を備える、光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出システム。 An optical microbial particle detection device for detecting microbial particles contained in a fluid having a hygrometer inside;
And humidity inside the optical microorganism particle detector, said a part of the optical microorganism particle detector, light source, lens, detector circuit of the detection mechanism, a nozzle, the maintenance cost of the parts including the intake mechanism, and an exhaust mechanism And a relationship storage device for storing the relationship for each part, wherein the maintenance cost is corrected by software of the circuit of the optical microbial particle detection device according to the humidity, cleaning the part, and A relation storage device based on the work cost when selecting one of the replacement parts;
The relationship corresponding to correction by the software, the relationship corresponding to the cleaning of the component, or the relationship corresponding to the replacement of the component according to the humidity value measured by the hygrometer in the optical microbial particle detection device A relationship selection unit to select for each part;
Based on the selected relationship and the value of the humidity inside the optical microbial particle detection device measured by the hygrometer, an individual cost specifying unit for specifying a maintenance cost for each component,
A total cost calculation unit for calculating the sum of the maintenance costs;
A maintenance cost calculation system for an optical microbial particle detection apparatus.
前記光学式微生物粒子検出装置内部に配置された湿度計で前記光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値を得ることと、
前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値に応じて、前記ソフトウェアによる補正に対応する関係、前記部品の清掃に対応する関係、又は前記部品の交換に対応する関係を前記部品毎に選択することと、
前記選択された関係と、前記湿度計が測定した光学式微生物粒子検出装置内部の湿度の値と、に基づいて、前記部品毎にメンテナンス費用を特定することと、
前記メンテナンス費用の総和を算出することと、
を含む、光学式微生物粒子検出装置のメンテナンス費用算出方法。 And humidity inside the optical microorganism particle detector, said a part of the optical microorganism particle detector, light source, lens, detector circuit of the detection mechanism, a nozzle, and maintenance cost of the part, including an intake mechanism, and an exhaust mechanism The maintenance cost is corrected by the software of the circuit of the optical microbial particle detection device according to the humidity, cleaning the component, and the component. Based on the cost of the work when choosing one of the exchanges ,
And to obtain a humidity value of the inside of the optical microorganism particle detector hygrometer located inside the optical microorganism particle detector,
The relationship corresponding to correction by the software, the relationship corresponding to the cleaning of the component, or the relationship corresponding to the replacement of the component according to the humidity value measured by the hygrometer in the optical microbial particle detection device Selecting for each part,
Identifying maintenance costs for each of the parts based on the selected relationship and the value of humidity inside the optical microbial particle detector measured by the hygrometer;
Calculating the sum of the maintenance costs;
A maintenance cost calculation method for an optical microbial particle detection apparatus.
Wherein the plurality of the relationship for each component of the optical microorganism particle detector is provided, maintenance costs calculation method of an optical microorganism particle detection apparatus according to claim 4 or 5.
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