JP2013222867A - 太陽電池素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い光電変換効率を有する新規な太陽電池素子を提供する。
【解決手段】KxAg1−x層22(0.001≦x≦0.07)及びZnO層23は透明基板に含まれ、KxAg1−x層22は2nm以上16nm以下の厚みを有し、ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有し、かつ、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有し、各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って切断することにより現れ、各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、R1はKxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、R2はZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わす。
【選択図】図1
【解決手段】KxAg1−x層22(0.001≦x≦0.07)及びZnO層23は透明基板に含まれ、KxAg1−x層22は2nm以上16nm以下の厚みを有し、ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有し、かつ、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有し、各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って切断することにより現れ、各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、R1はKxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、R2はZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わす。
【選択図】図1
Description
本発明は、太陽電池素子に関する。
図14は、特許文献1に開示された太陽電池素子を示す。この太陽電池素子は、基板101、裏面反射層102、ZnOから形成された第1透明電極層103a、ZnOから形成された第2透明電極層103b、半導体層105、上部透明電極106、および集電電極107をこの順で具備している。
第2透明電極層103bは、複数の柱状結晶粒から構成されている。各柱状結晶粒は、基板101の法線方向に沿った長手方向を有している。第2透明電極層103bは、複数の柱状結晶粒が上方向に放射状に広がる領域を有する。
光が上から上部透明電極106に照射され、第1透明電極層103および上部透明電極106の間に電圧差を発生させる。
本発明の目的は、高い光電変換効率を有する新規な太陽電池素子を提供することである。
太陽電池素子を用いて電力を発生させる方法であって、以下を具備する:
以下を具備する太陽電池素子9を用意する工程(a):
透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7、ここで、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、透明導電層3、および光電変換層4は、この順に積層されており、
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されており、
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、KxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わし、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、および透明導電層3を介して、光電変換層4に光を照射して、n側電極6およびp側電極7の間に電力を発生させる工程(b)。
一態様に係る方法であって、
太陽電池素子9は、裏面電極層5をさらに具備し、かつ
光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。
一態様に係る方法であって、
n型半導体層41は、透明電極層3およびp型半導体層42の間に挟まれ、かつ
p型半導体層42は、n型半導体層41および裏面電極層5の間に挟まれている。
一態様に係る記載の方法であって、
n側電極6は、透明導電層3上に形成されており、かつ
p側電極7は、裏面電極層5上に形成されている。
一態様に係る方法であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。
一態様に係る方法であって、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。
一態様に係る方法であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。
一態様に係る方法であって、
光は太陽光である。
一態様に係る太陽電池素子であって、
透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7を備え、
ここで、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、透明導電層3、および光電変換層4は、この順に積層されており、
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されており、
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、KxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わす。
一態様に係る太陽電池素子であって、
裏面電極層5をさらに具備し、かつ
光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
n型半導体層41は、透明電極層3およびp型半導体層42の間に挟まれ、かつ
p型半導体層42は、n型半導体層41および裏面電極層5の間に挟まれている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
n側電極6は、透明導電層3上に形成されており、かつ
p側電極7は、裏面電極層5上に形成されている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。
一態様に係る太陽電池素子であって、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。
一態様に係る太陽電池素子であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。
以下を具備する太陽電池素子9を用意する工程(a):
透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7、ここで、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、透明導電層3、および光電変換層4は、この順に積層されており、
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されており、
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、KxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わし、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、および透明導電層3を介して、光電変換層4に光を照射して、n側電極6およびp側電極7の間に電力を発生させる工程(b)。
一態様に係る方法であって、
太陽電池素子9は、裏面電極層5をさらに具備し、かつ
光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。
一態様に係る方法であって、
n型半導体層41は、透明電極層3およびp型半導体層42の間に挟まれ、かつ
p型半導体層42は、n型半導体層41および裏面電極層5の間に挟まれている。
一態様に係る記載の方法であって、
n側電極6は、透明導電層3上に形成されており、かつ
p側電極7は、裏面電極層5上に形成されている。
一態様に係る方法であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。
一態様に係る方法であって、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。
一態様に係る方法であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。
一態様に係る方法であって、
光は太陽光である。
一態様に係る太陽電池素子であって、
透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7を備え、
ここで、
透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、透明導電層3、および光電変換層4は、この順に積層されており、
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されており、
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
ZnO層23は、KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22から透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、KxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わす。
一態様に係る太陽電池素子であって、
裏面電極層5をさらに具備し、かつ
光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
n型半導体層41は、透明電極層3およびp型半導体層42の間に挟まれ、かつ
p型半導体層42は、n型半導体層41および裏面電極層5の間に挟まれている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
n側電極6は、透明導電層3上に形成されており、かつ
p側電極7は、裏面電極層5上に形成されている。
一態様に係る太陽電池素子であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。
一態様に係る太陽電池素子であって、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。
一態様に係る太陽電池素子であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。
本発明は、高い光電変換効率を有する新規な太陽電池素子を提供する。
以下、本発明の実施形態が、図面を参照しながら説明される。
(実施形態)
(工程(a))
工程(a)では、太陽電池素子9が用意される。
(実施形態)
(工程(a))
工程(a)では、太陽電池素子9が用意される。
図1は、実施形態による太陽電池素子9の断面図を示す。
太陽電池素子9は、透明基板2、透明導電層3、光電変換層4、裏面電極層5、n側電極6、p側電極7を、この順で具備する。
透明基板2は、透明基板本体21、KxAg1−x層22、およびZnO層23を含む。KxAg1−x層22は、透明基板本体21およびZnO層23に挟まれている。
(透明基板本体21)
透明基板本体21は、300ナノメートル以上1100ナノメートル以下の波長を有する光(例えば、太陽光)に対して透過性であることが望ましい。透明基板本体21の例は、ガラス基板、セラミックス基板、プラスチック基板、または金属基板である。強度および耐熱性の観点から、0.3ミリメートル〜7ミリメートルの厚みを有するガラス基板が望ましい。
透明基板本体21は、300ナノメートル以上1100ナノメートル以下の波長を有する光(例えば、太陽光)に対して透過性であることが望ましい。透明基板本体21の例は、ガラス基板、セラミックス基板、プラスチック基板、または金属基板である。強度および耐熱性の観点から、0.3ミリメートル〜7ミリメートルの厚みを有するガラス基板が望ましい。
(KxAg1−x層22)
KxAg1−x層22は、カリウムおよび銀の合金からなる。文字「x」は、0.001以上0.07以下の値を表す。xの値が0.001未満である場合、光電変換効率が低下する。比較例3を参照せよ。同様に、xの値が0.07を超えると、光電変換効率が低下する。比較例4を参照せよ。
KxAg1−x層22は、カリウムおよび銀の合金からなる。文字「x」は、0.001以上0.07以下の値を表す。xの値が0.001未満である場合、光電変換効率が低下する。比較例3を参照せよ。同様に、xの値が0.07を超えると、光電変換効率が低下する。比較例4を参照せよ。
KxAg1−x層22が設けられない場合、光電変換効率が低下する。比較例5を参照せよ。
KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有する。KxAg1−x層22は非常に薄いので、KxAg1−x層22は光に対して透過性である。KxAg1−x層22が設けられない場合、光電変換効率が低下する。KxAg1−x層22が16ナノメートルを超える厚みを有する場合、光電変換効率が低下する。
KxAg1−x層22は、スパッタ法により形成され得る。
(ZnO層23)
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さ(以下、「Ra」という)を有する。
ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さ(以下、「Ra」という)を有する。
算術平均粗さRaは、平均線から表面粗さプロファイルまでの距離の絶対値の算術平均である。
図15も参照せよ。
Raの値は、表面粗さ測定器を用いて測定され得る。表面粗さ測定器は、Taylor Hobson社より、商品名「CCI Lite」として入手可能である。
表面粗さプロファイルとは、表面粗さ測定器を用いて対象物の表面の凹凸形状を測定することによって得られたプロファイルである。図12は、表面粗さプロファイルの一例を示す。
算術平均粗さの詳細のためには、以下のホームページ: HYPERLINK"http://www.ns-tool.com/technology/technology#06.html" http://www.ns-tool.com/technology/technology#06.htmlも参照せよ。
Raの値が20ナノメートル未満の場合、光電変換効率が低下する。比較例1を参照せよ。Raの値が810ナノメートルを超えると、光電変換効率が低下する。比較例2を参照せよ。
ZnOは透明である。従って、ZnO層23は、光に対して透過性である。
図16に示されるように、ZnO層23は、複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成されている。各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22に含有されるAgを核として用いて成長する。KxAg1−x層22に含有されるKが、ZnO柱状結晶粒23aの結晶性を向上させる。
各ZnO柱状結晶粒23aは、透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有している。
各ZnO柱状結晶粒23aは、KxAg1−x層22から透明電極層3に向けて増加する幅を有している。各ZnO柱状結晶粒23aは、具体的には、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有する。図16に示されるように、R1の値は、KxAg1−x層22の表面に接するZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表す。R2の値は、ZnO層3に接するZnO柱状結晶粒の他端の幅を表す。R2/R1比が1.1未満の場合、光電変換効率が低下する。比較例1を参照せよ。R2/R1が1.6を超えると、光電変換効率が低下する。比較例2を参照せよ。
ZnO柱状結晶粒23aの幅は、透明基板本体21の法線方向に沿ってZnO柱状結晶粒23aを切断することによって現れる。この幅は、ZnO柱状結晶粒23aの長手方向と実質的に直交する。
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。
(透明導電層3)
透明導電層3は、ZnO層23および光電変換層4の間に挟まれている。透明導電層3の材料の例は、ガリウム、アルミ、およびホウ素からなる群から選択される少なくとも1つを用いてドープされた酸化亜鉛である。透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。ZnO層23は大きな体積抵抗率を有するから、ZnO層23から効率的に電気を得ることは難しい。そこで、このような低抵抗の透明導電層3が設けられることが望ましい。
透明導電層3は、ZnO層23および光電変換層4の間に挟まれている。透明導電層3の材料の例は、ガリウム、アルミ、およびホウ素からなる群から選択される少なくとも1つを用いてドープされた酸化亜鉛である。透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。ZnO層23は大きな体積抵抗率を有するから、ZnO層23から効率的に電気を得ることは難しい。そこで、このような低抵抗の透明導電層3が設けられることが望ましい。
(光電変換層4)
光電変換層4は、n型半導体層41およびp型半導体層42を含む。n型半導体層41の材料の例は、シリコンまたはGaAsである。p型半導体層42の材料の例も、シリコンまたはGaAsである。
光電変換層4は、n型半導体層41およびp型半導体層42を含む。n型半導体層41の材料の例は、シリコンまたはGaAsである。p型半導体層42の材料の例も、シリコンまたはGaAsである。
図1においては、透明導電層3上にn型半導体層41およびp型半導体層42がこの順に形成されている。n型半導体層41はp型半導体層42に接しており、pn接合を形成している。
(裏面電極層5)
太陽電池素子9は、裏面電極層5を具備し得る。裏面電極層5は、バッファー層51および反射層52を含み得る。
太陽電池素子9は、裏面電極層5を具備し得る。裏面電極層5は、バッファー層51および反射層52を含み得る。
バッファー層51は、光電変換層42および反射層52の間に挟まれている。バッファー層51の材料の例は、(a)酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫、または酸化カドミウムのような透明導電物質、または(b)酸化鉄、酸化チタン、セレン化亜鉛、または硫化亜鉛のような透明半導体物質である。酸化亜鉛が望ましい。
反射層52の材料の例は、金、銀、銅、アルミニウム、白金、またはそれらの合金である。銀が望ましい。
(n側電極6)
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されている。図1では、n側電極6は、透明導電層3とオーミック接続を形成している。n側電極6の好適な材料の例は、銀、金、銅、アルミニウム、白金、またはそれらの合金である。白金が望ましい。
n側電極6は、n型半導体層41に電気的に接続されている。図1では、n側電極6は、透明導電層3とオーミック接続を形成している。n側電極6の好適な材料の例は、銀、金、銅、アルミニウム、白金、またはそれらの合金である。白金が望ましい。
(p側電極7)
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されている。図1では、p側電極7は、反射層52とオーミック接続を形成している。p側電極7の好適な材料の例は、銀、金、銅、アルミニウム、白金、またはそれらの合金である。白金が望ましい。
p側電極7は、p型半導体層42に電気的に接続されている。図1では、p側電極7は、反射層52とオーミック接続を形成している。p側電極7の好適な材料の例は、銀、金、銅、アルミニウム、白金、またはそれらの合金である。白金が望ましい。
次に、図2〜図11を参照しながら本実施形態の太陽電池素子を製造する方法が説明される。
まず、図2に示されるように、透明基板本体21が準備される。ガラス基板が望ましい。KxAg1−x層22が、透明基板本体21の表面に、RFマグネトロンスパッタリング法または真空蒸着法のような一般的な半導体成長法により形成される。
次いで、KxAg1−x層22は加熱される。加熱方法の例は、アニール法、真空加熱法、UVオゾン法、促進酸化処理法、酸素雰囲気下でのアニール法、または陽極酸化法である。50〜800℃の温度下におけるアニール法が望ましい。熱処理を施すことで、KxAg1−x層23の幅が小さくなる。言い換えれば、KxAg1−x層22の面積が小さくなる。このようにして、島状のKxAg1-x領域22が透明基板本体21上に形成される。
KxAg1−x
従って、KxAg1−x層22は透明基板本体21の表面の全てを被覆していないかもしれない。この場合、図16に示されるように、透明基板本体21の被覆されていない部分21bが露出し得る。図16は、図1に描かれた破線Aによって囲まれた部分の拡大図を示す。図16に示されるように、ZnO層23は、複数のZnO柱状結晶粒23aから構成される。各ZnO柱状結晶粒23aが、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有するので、ZnO層23の上面は隙間を有さない。一方、ZnO層23の下面では、KxAg1−x層22およびZnO層23に被覆されていない透明基板本体21の部分21bが露出し得る。
従って、KxAg1−x層22は透明基板本体21の表面の全てを被覆していないかもしれない。この場合、図16に示されるように、透明基板本体21の被覆されていない部分21bが露出し得る。図16は、図1に描かれた破線Aによって囲まれた部分の拡大図を示す。図16に示されるように、ZnO層23は、複数のZnO柱状結晶粒23aから構成される。各ZnO柱状結晶粒23aが、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有するので、ZnO層23の上面は隙間を有さない。一方、ZnO層23の下面では、KxAg1−x層22およびZnO層23に被覆されていない透明基板本体21の部分21bが露出し得る。
KxAg1−x層22の表面粗さは、熱処理の温度により変更され得る。
図3に示されるように、ZnO層23が、20〜90℃の温度下において、Zn(NO3)2およびヘキサメチレンテトラミン(以下、「HMT」という)の混合液を用いたCBD法によって、KxAg1−x層22上に形成される。
反応性イオンエッチングまたは化学エッチングの処理時間の増加に伴い、形成されたZnO層23の表面凸凹粗さが大きくなる。反応性イオンエッチングでは、CH4ガスが用いられ得る。化学エッチングでは、塩化物溶液が用いられ得る。ZnO層23はKxAg1−x層22と接触している。より性格には、ZnO層23はKxAg1−x層22の上面と接触している。
図4に示されるように、透明導電層3が、ZnO層23上に均一に形成される。透明導電層3を形成する方法の例は、パルスレーザー堆積法(以下、「PLD法」という)である。
図5に示されるように、n型シリコン層41およびp型シリコン層42が透明導電層3の上にこの順でプラズマCVD法によって堆積され、光電変換層4を形成する。
n型シリコン層41は、ホスフィン、シラン、および水素を含有する混合ガスを用いたプラズマCVD法によって形成され得る。p型シリコン層41は、ジボラン、シラン、メタン、および水素を含有する混合ガスを用いるプラズマCVD法によって堆積される。
図6に示されるように、バッファー層51および反射層52を含む裏面電極層5が形成される。
バッファー層51を形成する方法の例は、PLD法、RFマグネトロンスパッタリング法、または真空蒸着法である。
反射層52を形成する方法の例は、RFマグネトロンスパッタリング法または真空蒸着法である。
このようにして、図6に示される積層体1が得られる。
次に、図7に示されるように、第1マスク81が、積層体1の上面にフォトリソグラフィにより形成される。
図8に示されるように、積層体1の不要な部分がエッチングにより除去される。より具体的には、反射層52の不要な部分およびバッファー層51の不要な部分が、塩酸と硝酸の混合溶液を用いるウェットエッチングによって除去される。さらに、このレジスト膜を第1マスク81として用いて、光電変換層4の不要な部分が、酸素、アルゴン、およびSF6の混合ガスを用いるICPプラズマエッチングによって除去される。
最後に、第1マスク81が除去される。
図9に示されるように、第2マスク82がフォトリソグラフィにより形成される。この第2マスク82は、第1開口部821および第2開口部822を有する。透明導電層3が、第1開口部821の下に位置する。反射層52が、第2開口部822の下に位置する。
図10に示されるように、金属層が、第2マスク82上にスパッタ蒸着法または電子ビーム蒸着法により形成される。最後に、図11に示されるように、第2マスク82が除去される。このようにして、n側電極6およびp側電極7が形成される。
(工程(b))
工程(b)では、図1に示されるように、透明基板本体21に光が照射される。光は、透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、および透明導電層3を貫通し、光電変換層4に到達する。光は、光電変換層4により電気に変換される。このようにして、n側電極6およびp側電極7の間に電力が発生する。
工程(b)では、図1に示されるように、透明基板本体21に光が照射される。光は、透明基板本体21、KxAg1−x層22、ZnO層23、および透明導電層3を貫通し、光電変換層4に到達する。光は、光電変換層4により電気に変換される。このようにして、n側電極6およびp側電極7の間に電力が発生する。
(実施例)
以下の実施例は、本発明をより詳細に教示する。
以下の実施例は、本発明をより詳細に教示する。
(実施例1)
実施例1では、図1に示される太陽電池素子9が、図2〜図11に示される方法によって以下のように作製した。
実施例1では、図1に示される太陽電池素子9が、図2〜図11に示される方法によって以下のように作製した。
まず、透明基板本体21として、5ミリメートルの厚みを有するガラス基板が用意された。この透明基板本体21は、25ミリメートルの長さおよび25ミリメートルの幅を有していた。この透明基板本体21は、88〜90%の透光率を有していた。透明基板本体21は、エタノールに浸漬され、そして超音波印加の下で洗浄された。
次に、KxAg1−x層22(x=0.001)が、RFマグネトロンスパッタ法にて、透明基板本体21上に形成された。RFマグネトロンスパッタ法では、1:999のモル比を有するKおよびAgの混合ターゲットが用いられた。形成されたKxAg1−x層22は、2ナノメートルの厚みを有していた。
このようにして得られた透明基板本体21は、300℃の温度下で、10分間、加熱された。
次に、図3に示されるように、透明基板本体21は、70℃に加温したZn(NO3)2およびHMTの混合液に3時間浸漬され、ZnO層23を形成した。Zn(NO3)2は0.1Mの濃度を有していた。HMTも、0.1Mの濃度を有していた。形成されたZnO層23は、1マイクロメートルの厚みを有していた。
形成されたZnO層23のRaが、表面粗さ測定器(Taylor Hobson社から入手、商品名「CCI Lite」)を用いて測定された。その結果、Raの値は20ナノメートルであった。
次に、ZnO層23に含まれるZnO柱状結晶粒23aのR1およびR2の値が測定された。より具体的には、透明基板本体21の法線方向に沿って積層体1が切断された。続いて、このようにして現れた断面のSEM像が得られた。図17は、切断された積層体1に含まれるZnO層23のSEM像を示す。図17に基づいて、R1およびR2の値が測定された。
その結果、R1の値は115ナノメートルであった。R2の値は149ナノメートルであった。従って、R2/R1比はおおよそ1.3であった。
体積抵抗率は、以下の式に基づいて算出された:
体積抵抗率=RE・t・RCF
ここで、REの値は、四端子測定法によって測定される抵抗値を表す。四端子測定法に基づいて抵抗値を測定するための測定器は、三菱化学株式会社より、商品名:Loresta−Gp MCP−T610として入手可能である。
tの値は、ZnO層23の厚みを表す。
RCFの値は、補正係数(Resistivity Correction Factor)を表す。本実施例では、RCFの値は4.398であった。
体積抵抗率=RE・t・RCF
ここで、REの値は、四端子測定法によって測定される抵抗値を表す。四端子測定法に基づいて抵抗値を測定するための測定器は、三菱化学株式会社より、商品名:Loresta−Gp MCP−T610として入手可能である。
tの値は、ZnO層23の厚みを表す。
RCFの値は、補正係数(Resistivity Correction Factor)を表す。本実施例では、RCFの値は4.398であった。
その結果、ZnO層23は、9.89×10−3Ω・cmの体積抵抗率を有していた。
次に、図4に示されるように、透明導電層3が、ZnO層23の上にPLD法により形成された。透明導電層3の材料は、5.7質量%のガリウムがドープされた酸化亜鉛であった。以下、ガリウムがドープされた酸化亜鉛は、「GZO」と言われる。透明導電層3は、100ナノメートルの厚みを有していた。透明導電層3の体積抵抗率が、ZnO層23と同様に測定された。その結果、透明導電層3は、5.2×10−4Ω・cmの体積抵抗率を有していた。
図5に示されるように、n型シリコンからなるn型半導体層41およびp型シリコンからなるp型半導体層42がプラズマCVD法によりこの順で形成され、光電変換層4を形成した。n型半導体層41は、40ナノメートルの厚みを有していた。p型半導体層42は、11ナノメートルの厚みを有していた。
図6に示されるように、40ナノメートルの厚みを有するGZO膜が、p型半導体層42の上に、スパッタ蒸着法によって形成された。このようにして、GZO膜からなるバッファー層51が形成された。
さらに、200ナノメートルの厚みを有する銀層が、バッファー層51上にスパッタ蒸着法により形成された。このようにして、銀からなる反射層52が形成された。
図7に示されるように、20ミリメートル四方のレジスト膜81が、反射層52の上にフォトリソグラフィにより形成された。このレジスト膜を第1マスク81として用いて、反射層52の不要な部分およびバッファー層51の不要な部分が、塩酸と硝酸の混合溶液を用いるウェットエッチングによって除去された。さらに、このレジスト膜を第1マスク81として用いて、光電変換層4の不要な部分が、酸素、アルゴン、およびSF6の混合ガスを用いるICPプラズマエッチングによって除去された。
その後、図8に示されるように、第1マスク81が除去された。
図9に示されるように、第2マスク82がフォトリソグラフィにより形成された。第2マスク82は、第1開口部821および第2開口部822を有していた。第1開口部821は、透明導電層3上に設けられた。第1開口部821は、22ミリメートル四方の大きさを有していた。第2開口部822は、反射層52上に設けられた。第2開口部822は、2マイクロメートル×20ミリメートルの大きさを有していた。
図10に示されるように、100ナノメートルの厚みを有する白金膜を形成し、白金膜により第2マスク82が被覆された。
最後に、図11に示されるように、第2マスク82が除去され、白金からなるn側電極6および白金からなるp側電極7を形成した。このようにして、太陽電池素子9が得られた。
光電変換効率の測定時には、透明基板本体21に後述される擬似太陽光が照射された。
太陽電池素子9の光電変換効率が、以下のように算出された。
100mW/cm2の出力エネルギーを有する擬似太陽光が、透明基板本体21に照射された。
擬似太陽光は、500ワットのキセノンランプ(株式会社ワコム電創より入手)および400ワットのハロゲンランプ(株式会社ワコム電創より入手)が組み合わされたランプより放射された。
n側電極6およびp側電極7の間が開放された際の開放電圧Voc(open circuit voltage)が測定された。
n側電極6およびp側電極7の間が短絡された際の短絡電流Isc(short-circuit current)が測定された。
ソーラーシミュレータ(株式会社ワコム電創より入手、商品名:スーパーソーラシミュレータ:WXS−90S−L2として入手)を用いて、図13に示されるようなI−V曲線が得られた。
図13に基づいて、非特許文献1に開示されている方法により、曲線因子(fill factor、以下、「FF」という)が得られた。
(非特許文献1)Jenny Nelson (2003), The physics of SolarCells, Imperial college press, pp.11-13.
ここで、Vmaxは、図13において、I−V曲線のV・Iの値が最大となる場合(図13の矢印を参照)における電圧を意味する。
Imaxは、図13において、I−V曲線のV・Iの値が最大となる場合(図13の矢印を参照)における電流を意味する。
光電変換効率は以下の式から算出される。
光電変換効率=Voc・Jsc・FF
ここで、Jsc=Isc/S
有効受光面積S=400平方ミリメートル
結果は、表1に示される。
光電変換効率=Voc・Jsc・FF
ここで、Jsc=Isc/S
有効受光面積S=400平方ミリメートル
結果は、表1に示される。
(実施例2)
K0.001Zn0.999層が16.0ナノメートルの厚みを有していたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
K0.001Zn0.999層が16.0ナノメートルの厚みを有していたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
(実施例3)
0.05M Zn(NO3)2および0.05M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
0.05M Zn(NO3)2および0.05M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
(実施例4)
0.75M Zn(NO3)2および0.75M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
0.75M Zn(NO3)2および0.75M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
(実施例5)
x=0.07であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
x=0.07であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表1に示される。
(比較例1)
0.01M Zn(NO3)2および0.01M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
0.01M Zn(NO3)2および0.01M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
(比較例2)
1M Zn(NO3)2および1M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
1M Zn(NO3)2および1M HMTの混合液を用いてZnO層23が形成されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
(比較例3)
x=0.0005であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
x=0.0005であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
(比較例4)
x=0.10であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
x=0.10であること以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
(比較例5)
KxAg1−x層22が設けられなかったこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
KxAg1−x層22が設けられなかったこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表2に示される。
(比較例6)
K0.001Zn0.999層が36.5ナノメートルの厚みを有していたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表3に示される。
K0.001Zn0.999層が36.5ナノメートルの厚みを有していたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。結果は表3に示される。
(比較例7)
KxAg1−x層22に代えて、2.2ナノメートルの平均粒径(d50)を有するZnOナノ粒子がスピンコータ法によって透明基板本体21上に塗布されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。形成された膜は、2.2ナノメートルの厚みを有していた。ZnOナノ粒子は、ゾルゲル法により合成された。結果は表3に示される。
KxAg1−x層22に代えて、2.2ナノメートルの平均粒径(d50)を有するZnOナノ粒子がスピンコータ法によって透明基板本体21上に塗布されたこと以外は、実施例1と同様の実験が行われた。形成された膜は、2.2ナノメートルの厚みを有していた。ZnOナノ粒子は、ゾルゲル法により合成された。結果は表3に示される。
表1、表2、および表3から明らかなように、全ての以下の条件(A)〜(D)を満たす場合に、太陽電池素子は高い光電変換効率を有する。
条件(A):xの値が0.001以上0.07以下であること。比較例3および比較例4を参照せよ。
条件(B):KxAg1−x層22が、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有すること。比較例6を参照せよ。
条件(C):ZnO層23が、20ナノメートル以上810ナノメートル以下のRaの値を有すること。比較例1および比較例2を参照せよ。
条件(D):R2/R1比が1.1以上1.6以下の範囲に収まること(比較例1、比較例2、および比較例4を参照せよ)
条件(A):xの値が0.001以上0.07以下であること。比較例3および比較例4を参照せよ。
条件(B):KxAg1−x層22が、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有すること。比較例6を参照せよ。
条件(C):ZnO層23が、20ナノメートル以上810ナノメートル以下のRaの値を有すること。比較例1および比較例2を参照せよ。
条件(D):R2/R1比が1.1以上1.6以下の範囲に収まること(比較例1、比較例2、および比較例4を参照せよ)
本発明は、高い光電変換効率を有する太陽電池素子を提供する。
1:積層体
2:透明基板
21:透明基板本体
22:KxAg1−x層
23:ZnO層
3:透明導電層
4:光電変換層
41:n型半導体層
42:p型半導体層
5:裏面電極層
51:バッファー層
52:反射層
6:n側電極
7:p側電極
81:第1マスク
82:第2マスク
821:第1開口部
822;第2開口部
9:太陽電池素子
2:透明基板
21:透明基板本体
22:KxAg1−x層
23:ZnO層
3:透明導電層
4:光電変換層
41:n型半導体層
42:p型半導体層
5:裏面電極層
51:バッファー層
52:反射層
6:n側電極
7:p側電極
81:第1マスク
82:第2マスク
821:第1開口部
822;第2開口部
9:太陽電池素子
Claims (15)
- 太陽電池素子を用いて電力を発生させる方法であって、以下を具備する:
以下を具備する太陽電池素子9を用意する工程(a):
透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7、ここで、
前記透明基板本体21、前記KxAg1−x層22、前記ZnO層23、前記透明導電層3、および前記光電変換層4は、この順に積層されており、
前記n側電極6は、前記n型半導体層41に電気的に接続されており、
前記p側電極7は、前記p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
前記KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
前記ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
前記ZnO層23は、前記KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、前記透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、前記KxAg1−x層22から前記透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、前記透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、前記KxAg1−x層22の表面に接する前記ZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、前記ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わし、
前記透明基板本体21、前記KxAg1−x層22、前記ZnO層23、および前記透明導電層3を介して、前記光電変換層4に光を照射して、前記n側電極6および前記p側電極7の間に電力を発生させる工程(b)。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記太陽電池素子9は、裏面電極層5をさらに具備し、かつ
光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記n型半導体層41は、前記透明電極層3および前記p型半導体層42の間に挟まれ、かつ
前記p型半導体層42は、前記n型半導体層41および前記裏面電極層5の間に挟まれている。 - 請求項3に記載の方法であって、
前記n側電極6は、前記透明導電層3上に形成されており、かつ
前記p側電極7は、前記裏面電極層5上に形成されている。 - 請求項1に記載の方法であって、
ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
前記透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。 - 請求項1に記載の方法であって、
光は太陽光である。 - 透明基板本体21、
KxAg1−x層22、
ZnO層23、
透明導電層3、
n型半導体層41およびp型半導体層42を含む光電変換層4、
n側電極6、および
p側電極7を備え、
ここで、
前記透明基板本体21、前記KxAg1−x層22、前記ZnO層23、前記透明導電層3、および前記光電変換層4は、この順に積層されており、
前記n側電極6は、前記n型半導体層41に電気的に接続されており、
前記p側電極7は、前記p型半導体層42に電気的に接続されており、
xは0.001以上0.07以下の値を表し、
前記KxAg1−x層22は、2ナノメートル以上16ナノメートル以下の厚みを有し、
前記ZnO層23は、20ナノメートル以上810ナノメートル以下の算術平均粗さを有し、
前記ZnO層23は、前記KxAg1−x層22の表面上に成長した複数のZnO柱状結晶粒23aにより構成され、
各ZnO柱状結晶粒23aは、前記透明基板本体21の法線方向に沿った長手方向を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aは、前記KxAg1−x層22から前記透明導電層3に向けて増加する幅を有しており、
各ZnO柱状結晶粒23aの幅は、前記透明基板本体21の法線方向に沿って各ZnO柱状結晶粒23aを切断することにより現れ、
各ZnO柱状結晶粒23aは、1.1以上1.6以下のR2/R1比を有し、
ここで、
R1は、前記KxAg1−x層22の表面に接する前記ZnO柱状結晶粒23aの一端の幅を表し、
R2は、前記ZnO柱状結晶粒23aの他端の幅を表わす、
太陽電池素子。 - 請求項9に記載の太陽電池素子であって、
前記裏面電極層5をさらに具備し、かつ
前記光電変換層4は、裏面電極層5および透明導電層3の間に挟まれている。 - 請求項10に記載の太陽電池素子であって、
前記n型半導体層41は、前記透明電極層3および前記p型半導体層42の間に挟まれ、かつ
前記p型半導体層42は、前記n型半導体層41および前記裏面電極層5の間に挟まれている。 - 請求項11に記載の太陽電池素子であって、
前記n側電極6は、前記透明導電層3上に形成されており、かつ
前記p側電極7は、前記裏面電極層5上に形成されている。 - 請求項9に記載の太陽電池素子であって、
前記ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有する。 - 請求項9に記載の太陽電池素子であって、
前記透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有する。 - 請求項9に記載の太陽電池素子であって、
前記ZnO層23は、1×10−3Ω・cm以上の体積抵抗率を有し、
前記透明導電層3は、1×10−3Ω・cm未満の体積抵抗率を有するZnOから形成されている。
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