JP2013206106A

JP2013206106A - Simulator and simulation system

Info

Publication number: JP2013206106A
Application number: JP2012074134A
Authority: JP
Inventors: Koichi Matsuda; 浩一松田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2012-03-28
Filing date: 2012-03-28
Publication date: 2013-10-07

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simulator and a simulation system for quickly or instantaneously ending a simulating operation.SOLUTION: A definition list 221A with operation time variables constituted to have operation time variables is stored in a storage device 22 installed in a unit simulation device 20. Test information for high speed change such as test information 224B and 224D for high speed mode and test information 224C for instantaneous completion mode is stored in the storage device 22. The operation time of the operation time variables included in the definition list 221A with operation time variables is changed in accordance with the test information 224B, 224C and 224D for high speed change, and the simulating operations in simulating parts 212a through 212n are executed in the changed operation time.

Description

この発明は、基板に処理を施すための基板処理装置のソフトウェアを試験するためのシミュレータおよびシミュレーションシステムに関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板が含まれる。 The present invention relates to a simulator and a simulation system for testing software of a substrate processing apparatus for processing a substrate. Examples of substrates to be processed include semiconductor wafers, glass substrates for liquid crystal display devices, substrates for plasma displays, FED (Field Emission Display) substrates, optical disk substrates, magnetic disk substrates, magneto-optical disk substrates, Substrates such as a photomask substrate, a ceramic substrate, and a solar cell substrate are included.

半導体ウエハ等の基板に対して処理を施す基板処理装置のソフトウェアを試験するためのシミュレータが知られている。このようなシミュレータとして、たとえば、下記特許文献１〜３に示すシミュレータがある。 A simulator for testing software of a substrate processing apparatus for processing a substrate such as a semiconductor wafer is known. As such a simulator, for example, there are simulators shown in Patent Documents 1 to 3 below.

特開２００８−９０３９４号公報JP 2008-90394 A 特開２００８−８４０７３号公報JP 2008-84073 A 特開２００８−８４０７５号公報JP 2008-84075 A

特許文献１〜３のシミュレータでは、実機（基板処理装置）の処理速度と同じ速度で、各模擬動作が実行されている。そのため、基板処理装置が多数個の処理ユニットを備えている場合等には、試験のために長期間（たとえば数日）を要することがあった。しかも、シミュレータには、用意されている模擬動作を全て実行する必要があり、一部に関する模擬動作だけを選択して実行させることはできない。 In the simulators of Patent Literatures 1 to 3, each simulation operation is executed at the same speed as the processing speed of the actual machine (substrate processing apparatus). Therefore, when the substrate processing apparatus includes a large number of processing units, it may take a long time (for example, several days) for the test. Moreover, it is necessary for the simulator to execute all of the prepared simulation operations, and it is not possible to select and execute only some simulation operations.

したがって、一部のデバイス（たとえば一部の処理ユニット）のソフトウェアのみを試験したい場合であっても、そのデバイスに関する模擬動作の前に用意されている模擬動作を全て終了した後でなければ、そのソフトウェアを試験することはできなかった。その結果、ソフトウェアの試験のために長い待ち時間を生じることがあった。
そこで、この発明の目的は、模擬動作を高速化または即時終了させることができるシミュレータおよびシミュレーションシステムを提供することを目的とする。 Therefore, even if you only want to test the software of some devices (for example, some processing units), if you do not finish all the simulation operations prepared before the simulation operation for that device, The software could not be tested. As a result, there may be a long waiting time for software testing.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a simulator and a simulation system that can speed up or immediately terminate a simulation operation.

前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板処理装置（１００）の制御ユニットとしての機能を有する制御装置（６）に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータ（２）であって、前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報（２２１Ａ）を記憶する定義情報記憶手段（２２）と、前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報（２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄ）を記憶する試験情報記憶手段（２２）と、前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段（２１１）とを含む、シミュレータである。 The invention according to claim 1 for achieving the above object is a simulator for testing software of the substrate processing apparatus connected to the control apparatus (6) having a function as a control unit of the substrate processing apparatus (100). (2) Comprising an operation time variable for defining an operation time of a simulated operation related to a device constituting the substrate processing apparatus, and storing definition information (221A) with an operation time variable for defining the simulated operation. Definition information storage means (22) for performing, and test information storage means for storing test information with shift information (224B, 224C, 224D) having shift information for changing the operation time defined by the operation time variable (22) and performing a simulated operation on the device at an operation speed corresponding to the operation time after being changed based on the shift information. That includes simulation operation execution means (211), a simulator.

この構成によれば、動作時間変数付き定義情報に含まれる動作時間変数の動作時間が、変速情報付き試験情報に基づいて変更され、この変更後の動作時間に応じた動作速度で、デバイスに関する模擬動作が実行される。そのため、模擬動作に要する時間を変更することができる。換言すると、模擬動作を高速化または即時終了させることが可能になり、この場合、試験時間を大幅に短縮することができる。 According to this configuration, the operation time of the operation time variable included in the definition information with the operation time variable is changed based on the test information with the shift information, and the simulation related to the device is performed at the operation speed according to the operation time after the change. The action is executed. Therefore, the time required for the simulation operation can be changed. In other words, the simulation operation can be speeded up or immediately terminated, and in this case, the test time can be greatly shortened.

また、所望のデバイスに関する模擬動作だけを本来の速度で実行させ、それ以外に関する模擬動作を高速化または即時終了させることも可能である。この場合、一部のデバイスのソフトウェアを試験する場合に待ち時間が発生するのを防止することができる。
請求項２記載の発明は、前記動作時間変数付き定義情報はグループ別に区分けされており、前記変速情報付き試験情報に含まれる前記変速情報は、各グループに含まれる動作時間変数付き定義情報の動作時間変数を一括して変更するための一括変速情報を含む、請求項１記載のシミュレータである。 It is also possible to execute only the simulated operation relating to the desired device at the original speed, and to speed up or immediately terminate the simulated operation relating to other devices. In this case, it is possible to prevent a waiting time from occurring when testing software of some devices.
According to a second aspect of the present invention, the definition information with an operation time variable is divided into groups, and the shift information included in the test information with the shift information is an operation of the definition information with an operation time variable included in each group. The simulator according to claim 1, comprising collective shift information for collectively changing time variables.

この構成によれば、変速情報付き試験情報により、グループに含まれる動作時間変数付き定義情報の動作時間変数が一括して変更される。これにより、変速情報付き試験情報を定義情報ごとに作成する必要がないので、試験情報の作成者の負担を低減させることができる。
請求項３記載の発明は、基板処理装置（１００）の制御ユニットとしての機能を有する制御装置（６）と、この制御装置に接続されて、前記基板処理装置のソフトウェアを試験するシミュレータ（２）とを含むシミュレーションシステム（１）であって、前記シミュレータは、前記基板処理装置を構成するデバイスに関する模擬動作の動作時間を規定する動作時間変数を有し、前記模擬動作を定義するための動作時間変数付き定義情報（２２１Ａ）を記憶する定義情報記憶手段（２２）と、前記動作時間変数によって規定されている前記動作時間を変更するための変速情報を有する変速情報付き試験情報（２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄ）を記憶する試験情報記憶手段（２２）と、前記変速情報に基づいて変更した後の前記動作時間に対応する動作速度で、前記デバイスに関する模擬動作を実行する模擬動作実行手段（２１１）とを含む、シミュレーションシステムである。 According to this configuration, the operation time variable of the definition information with the operation time variable included in the group is collectively changed by the test information with the shift information. Thereby, since it is not necessary to create the test information with shift information for each definition information, the burden on the creator of the test information can be reduced.
The invention described in claim 3 is a control device (6) having a function as a control unit of the substrate processing apparatus (100), and a simulator (2) connected to the control device for testing software of the substrate processing apparatus. The simulator includes an operation time variable that defines an operation time of a simulated operation related to a device constituting the substrate processing apparatus, and an operation time for defining the simulated operation. Definition information storage means (22) for storing definition information with variable (221A), and test information with shift information (224B, 224C, having shift information for changing the operation time defined by the operation time variable) 224D) corresponding to the operation time after the change based on the shift information and the test information storage means (22) for storing In operation speed, including a simulation operation execution unit and (211) to perform a simulation operation relating to the device is a simulation system.

この構成によれば、請求項１に関連して説明した作用効果と同等の作用効果を奏する。 According to this structure, there exists an effect equivalent to the effect demonstrated in relation to Claim 1.

本発明の一実施形態に係るシミュレーションシステムを模式的に示す図である。It is a figure showing typically the simulation system concerning one embodiment of the present invention. 図１に示すシミュレーションシステムによる試験の対象になる基板処理装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the substrate processing apparatus used as the test object by the simulation system shown in FIG. 図１に示すユニット模擬装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the unit simulation apparatus shown in FIG. 図１に示すユニット模擬装置の機能ブロックを示す図である。It is a figure which shows the functional block of the unit simulation apparatus shown in FIG. 動作時間変数付き定義リストの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a definition list | wrist with an operation time variable. 定義リストの他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of a definition list. 図１に示す情報処理装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the information processing apparatus shown in FIG. 図１に示す情報処理装置の機能ブロックを示す図である。It is a figure which shows the functional block of the information processing apparatus shown in FIG. 図１に示すインタフェース模擬装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the interface simulation apparatus shown in FIG. 図１に示すコンピュータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the computer shown in FIG. 図１に示す操作ユニットの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the operation unit shown in FIG. 試験実行時の図１に示すユニット模擬装置における処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of a process in the unit simulation apparatus shown in FIG. 1 at the time of test execution. 通常モード用試験情報、高速モード用試験情報および即完了モード用試験情報の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the test information for normal mode, the test information for high-speed modes, and the test information for immediate completion modes. 高速モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the test operation | movement in high speed mode. 即完了試験モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the test operation | movement in an immediate completion test mode.

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るシミュレーションシステム１を模式的に示す図である。図２は、シミュレーションシステム１による試験の対象になる基板処理装置１００の構成を示す図である。
シミュレーションシステム１は、基板処理装置１００のために開発されたソフトウェアを、試験（デバッグ）するためのシステムである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a diagram schematically showing a simulation system 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the substrate processing apparatus 100 to be tested by the simulation system 1.
The simulation system 1 is a system for testing (debugging) software developed for the substrate processing apparatus 100.

図２に示すように、基板処理装置１００は、制御ユニット１０１、インタフェースユニット１０２、操作ユニット１０３および複数個の実装処理ユニット１０４を含む構成である。基板処理装置１００の各実装処理ユニット１０４において、基板に対する一連の処理が施される。各実装処理ユニット１０４は、基板を一枚ずつ処理する枚葉式の洗浄ユニットであってもよいし、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式の洗浄ユニットであってもよい。より具体的には、実装処理ユニット１０４は、所定の処理を基板に対して施すためのユニットであり、たとえば、洗浄ユニット、搬送ユニット、乾燥ユニット、加熱ユニット、冷却ユニット、塗布ユニット、現像ユニット、検査ユニットおよび除去（剥離）ユニット等を例示することができる。また、実装処理ユニット１０４には、基板に対して直接処理を行わない液供給ユニットのような処理ユニットを含むようにしてもよい。 As shown in FIG. 2, the substrate processing apparatus 100 includes a control unit 101, an interface unit 102, an operation unit 103, and a plurality of mounting processing units 104. In each mounting processing unit 104 of the substrate processing apparatus 100, a series of processing is performed on the substrate. Each mounting processing unit 104 may be a single wafer cleaning unit that processes substrates one by one, or may be a batch cleaning unit that processes a plurality of substrates at once. More specifically, the mounting processing unit 104 is a unit for performing predetermined processing on the substrate, and includes, for example, a cleaning unit, a transport unit, a drying unit, a heating unit, a cooling unit, a coating unit, a developing unit, An inspection unit, a removal (peeling) unit, and the like can be exemplified. Further, the mounting processing unit 104 may include a processing unit such as a liquid supply unit that does not directly process the substrate.

また、処理ユニットは、複数のハードウェアを有するものに限定されるものではなく、制御可能でかつ所定の動作を行うハードウェアであれば、個々のランプやセンサ、ブザー、モータ等の単体のハードウェアでも含む趣旨である。ただし、説明の都合上、「実装処理ユニット」は、「制御ユニット」、「インタフェースユニット」および「操作ユニット」を含まないものとする。 In addition, the processing unit is not limited to one having a plurality of hardware, and may be a single hardware such as an individual lamp, sensor, buzzer, or motor as long as it is a hardware that can be controlled and performs a predetermined operation. This is intended to include wear. However, for convenience of explanation, the “mounting processing unit” does not include “control unit”, “interface unit”, and “operation unit”.

制御ユニット１０１は、汎用のパーソナルコンピュータが備えるのと同等のハードウェアを備えている。制御ユニット１０１は、ネットワーク９を介してインタフェースユニット１０２と接続されている。制御ユニット１０１は、専用のソフトウェア（プログラムや設定ファイル等）に従って動作し、複数個の実装処理ユニット１０４を制御する。
インタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４をネットワーク９に接続する機能を有している。これにより、各実装処理ユニット１０４におけるデータ通信のプロトコルの種類によらずに、制御ユニット１０１と各実装処理ユニット１０４との間でデータの送受信が行われる。 The control unit 101 includes hardware equivalent to that of a general-purpose personal computer. The control unit 101 is connected to the interface unit 102 via the network 9. The control unit 101 operates in accordance with dedicated software (such as a program or a setting file) and controls a plurality of mounting processing units 104.
The interface unit 102 has a function of connecting the mounting processing unit 104 to the network 9. As a result, data is transmitted and received between the control unit 101 and each mounting processing unit 104 regardless of the type of data communication protocol in each mounting processing unit 104.

インタフェースユニット１０２には、基板処理装置１００を操作するのに必要な指示を入力するための操作ユニット１０３が接続されている。
実装処理ユニット１０４は、予め製品のラインナップとして準備されている複数種類の処理ユニットの中から、ユーザの要望等に従ってその組合せが選択されて、基板処理装置１００に搭載される。そのため、基板処理装置１００のハードウェア構成はその装置に固有のものになるので、制御ユニット１０１のソフトウェアは、基板処理装置１００のハードウェア構成に対応するものが必要である。シミュレーションシステム１は、そのソフトウェアを試験するためのものである。 An operation unit 103 for inputting instructions necessary for operating the substrate processing apparatus 100 is connected to the interface unit 102.
The mounting processing unit 104 is selected from a plurality of types of processing units prepared in advance as a product lineup, and the combination is selected according to the user's request and the like, and mounted on the substrate processing apparatus 100. For this reason, since the hardware configuration of the substrate processing apparatus 100 is unique to the apparatus, the software of the control unit 101 needs to correspond to the hardware configuration of the substrate processing apparatus 100. The simulation system 1 is for testing the software.

図１に示すように、シミュレーションシステム１は、シミュレータ２と、コンピュータ４と、操作ユニット５と、情報処理装置６とを含む。シミュレータ２とコンピュータ４とは、汎用のネットワーク９を介して接続されている。また、シミュレータ２（主として、次に述べるユニット模擬装置２０）は、情報処理装置６との間で、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、ブルーレイディスクなどに代表される記憶媒体９０を介してデータのやりとりを行う。しかしながら、たとえばシミュレータ２と情報処理装置６とをネットワーク９等のネットワークで接続し、ネットワークにおける通信によってデータのやりとりを行うようにしてもよいのは言うまでもない。 As shown in FIG. 1, the simulation system 1 includes a simulator 2, a computer 4, an operation unit 5, and an information processing device 6. The simulator 2 and the computer 4 are connected via a general-purpose network 9. In addition, the simulator 2 (mainly the unit simulation device 20 described below) exchanges data with the information processing device 6 via a storage medium 90 typified by a CD-ROM, DVD, Blu-ray disc or the like. . However, it goes without saying that, for example, the simulator 2 and the information processing apparatus 6 may be connected via a network such as the network 9 to exchange data by communication over the network.

シミュレータ２は、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３とを備えている。ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３とは、ネットワーク９を介して接続されている。
図３は、ユニット模擬装置２０の構成を示す図である。
ユニット模擬装置２０は、ＣＰＵ２１、記憶装置２２、操作部２３、表示部２４、ディスク装置２５および通信部２６を備えている。ユニット模擬装置２０は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。 The simulator 2 includes a unit simulation device 20 and an interface simulation device 3. The unit simulator 20 and the interface simulator 3 are connected via the network 9.
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the unit simulation device 20.
The unit simulation device 20 includes a CPU 21, a storage device 22, an operation unit 23, a display unit 24, a disk device 25, and a communication unit 26. The unit simulation device 20 has a function as a general-purpose personal computer.

記憶装置２２には定義リスト（定義情報）２２１が記憶されている。定義リスト２２１は、様々なパラメータや定義式、設定等の情報を含む情報の集合体である。定義リスト２２１には、実装処理ユニット１０４に関する模擬動作を定義する情報（振る舞い定義情報）、入力情報のデフォルト値を定義する情報（デフォルト定義情報）等が含まれる。定義リスト２２１により模擬動作を定義できるようになっている。 A definition list (definition information) 221 is stored in the storage device 22. The definition list 221 is a collection of information including information such as various parameters, definition formulas, and settings. The definition list 221 includes information (behavior definition information) that defines a simulated operation related to the mounting processing unit 104, information that defines a default value of input information (default definition information), and the like. A simulation operation can be defined by the definition list 221.

ＣＰＵ２１は、記憶装置２２に記憶されているプログラム２２０に従ってユニット模擬装置２０を制御する。また、ＣＰＵ２１は、動作の実行に際し、必要に応じて定義リスト２２１を参照する。
記憶装置２２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置２２には、定義リスト２２１のほか、プログラム２２０を含む各種データが記憶されている。 The CPU 21 controls the unit simulation device 20 according to the program 220 stored in the storage device 22. Further, the CPU 21 refers to the definition list 221 as necessary when executing the operation.
The storage device 22 includes, for example, a ROM (not shown), a RAM (not shown), a hard disk (not shown), and the like. The storage device 22 stores various data including the program 220 in addition to the definition list 221.

操作部２３は、オペレータがデータを入力するために使用される操作部であり、たとえば各種スイッチ類、キーボード、マウス等を含む構成である。オペレータにより入力されるデータの一例として、たとえばユニット模擬装置２０の操作のために必要なデータを例示することができ、このようなデータを入力する場合には、オペレータは、表示部２４に表示される画面（ＧＵＩ）に従って操作部２３を操作する。 The operation unit 23 is an operation unit used for an operator to input data, and includes, for example, various switches, a keyboard, a mouse, and the like. As an example of data input by the operator, for example, data necessary for the operation of the unit simulator 20 can be exemplified. When such data is input, the operator is displayed on the display unit 24. The operation unit 23 is operated according to a screen (GUI).

表示部２４には、デバイス模擬部２１２（図４参照）の動作状況や、定義リスト２２１の内容等各種データが、画面に表示される。したがって、表示部２４の表示内容を見ることにより、オペレータは、試験の進行状況を観察することができる。
ディスク装置２５は、記憶媒体９０からデータを読み取るための装置である。この実施形態では、記憶媒体９０に記憶されている定義リスト２２１がディスク装置２５によって読み取られるとともに、その定義リスト２２１が記憶装置２２に転送され、その記憶装置２２に記憶される。ディスク装置２５は、たとえば、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置、ＤＶＤドライブ装置、ブルーレイディスクドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置２５は、各種データを記憶媒体９０に対して書き込むための書込み機能を有していてもよい。 Various data such as the operation status of the device simulation unit 212 (see FIG. 4) and the contents of the definition list 221 are displayed on the display unit 24 on the screen. Therefore, the operator can observe the progress of the test by looking at the display content of the display unit 24.
The disk device 25 is a device for reading data from the storage medium 90. In this embodiment, the definition list 221 stored in the storage medium 90 is read by the disk device 25, and the definition list 221 is transferred to the storage device 22 and stored in the storage device 22. The disk device 25 corresponds to, for example, a CD-ROM drive device, a DVD drive device, a Blu-ray disk drive device, or the like. The disk device 25 may have a write function for writing various data to the storage medium 90.

通信部２６は、ネットワーク９を介して、インタフェース模擬装置３との間でデータの授受を行う。なお、シミュレーションシステム１では、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３との間も、ネットワーク９を介して通信可能に設けられている。
また、通信部２６は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で採用されるプロトコルにかかわらず、インタフェース模擬装置３との間で採用されるプロトコルで、データの授受を行う。 The communication unit 26 exchanges data with the interface simulation device 3 via the network 9. In the simulation system 1, the unit simulation device 20 and the interface simulation device 3 are also provided to be communicable via the network 9.
Further, the communication unit 26 exchanges data with the protocol adopted between the interface simulation device 3 regardless of the protocol adopted between the interface unit 102 and the mounting processing unit 104 in the substrate processing apparatus 100. Do.

図４は、ユニット模擬装置２０の機能ブロックを示す図である。ユニット模擬装置２０は、データ転送部２１０、ユニット模擬部２１１、試験制御部２１３および情報生成部２１４を備えている。図４に示すデータ転送部２１０、ユニット模擬部２１１および試験制御部２１３の機能は、プログラム２２０に従うＣＰＵ２１の動作により実現される。
データ転送部２１０は、インタフェース模擬装置３から通信部２６が受信した情報を、入力情報２２２として記憶装置２２に転送する。また、データ転送部２１０は、出力情報２２３のうち、コンピュータ４や操作ユニット５に送信すべき情報を、通信部２６に伝達してインタフェース模擬装置３に向けて送信させる。 FIG. 4 is a diagram illustrating functional blocks of the unit simulator 20. The unit simulation device 20 includes a data transfer unit 210, a unit simulation unit 211, a test control unit 213, and an information generation unit 214. The functions of the data transfer unit 210, the unit simulation unit 211, and the test control unit 213 illustrated in FIG. 4 are realized by the operation of the CPU 21 according to the program 220.
The data transfer unit 210 transfers information received by the communication unit 26 from the interface simulation device 3 to the storage device 22 as input information 222. In addition, the data transfer unit 210 transmits information to be transmitted to the computer 4 and the operation unit 5 among the output information 223 to the communication unit 26 and transmits the information to the interface simulation device 3.

ユニット模擬部２１１は、複数のデバイス模擬部２１２（第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎ（ｎは自然数））を備えている。ユニット模擬部２１１では、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイスが、第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎのいずれかに割り当てられる。換言すると、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイス（処理ユニット）に１対１対応している。各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、割り当てられた（対応する）デバイスの動作を個々に模擬する。 The unit simulation unit 211 includes a plurality of device simulation units 212 (a first simulation unit 212a, a second simulation unit 212b,..., An nth simulation unit 212n (n is a natural number)). In the unit simulation unit 211, a plurality of devices mounted on the substrate processing apparatus 100 are allocated to any one of the first simulation unit 212a, the second simulation unit 212b,. In other words, each simulation unit 212a,..., 212n has a one-to-one correspondence with a plurality of devices (processing units) mounted on the substrate processing apparatus 100. Each simulation unit 212a,..., 212n individually simulates the operation of the assigned (corresponding) device.

各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎは、定義リスト２２１に模擬動作が定義されているデバイスのみに割り当てられている。実装処理ユニット１０４を構成しないデバイス（すなわち、基板処理装置１００に搭載されていないデバイス）は、定義リスト２２１に模擬動作が定義されることがないために、ユニット模擬装置２０がこれを模擬することはない。逆に言えば、定義リスト２２１において模擬動作が定義されているデバイスには、必ず模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎが割り当てられている。 Each simulation unit 212a,..., 212n is assigned only to a device whose simulation operation is defined in the definition list 221. A device that does not constitute the mounting processing unit 104 (that is, a device that is not mounted on the substrate processing apparatus 100) is not defined in the definition list 221, so that the unit simulation apparatus 20 simulates this. There is no. In other words, the simulation units 212a,..., 212n are always assigned to the devices for which the simulated operation is defined in the definition list 221.

つまり、処理ユニットは、通常、１つ以上のデバイスから構成される。そして、この処理ユニットが、実装処理ユニット１０４として基板処理装置１００に搭載されると、実装処理ユニット１０４を構成するすべてのデバイスは基板処理装置１００に搭載されることとなる。したがって、基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイスをデバイス模擬部２１２に割り当てて、各デバイス模擬部２１２がそれらの動作を模擬することによって、ユニット模擬部２１１は、すべての実装処理ユニット１０４の動作を模擬する。 That is, the processing unit is usually composed of one or more devices. When this processing unit is mounted on the substrate processing apparatus 100 as the mounting processing unit 104, all devices constituting the mounting processing unit 104 are mounted on the substrate processing apparatus 100. Accordingly, all the devices mounted on the substrate processing apparatus 100 are assigned to the device simulation unit 212, and each device simulation unit 212 simulates the operation thereof, so that the unit simulation unit 211 has all of the mounting processing units 104. Simulate operation.

振る舞い定義情報としての（デバイスに関する模擬動作を定義するための）定義リスト２２１は、動作時間変数を有する構成の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを含む。もちろん、定義リスト２２１は、動作時間変数を有しない構成の定義リストをも備えている。本実施形態の定義リスト２２１は、デバイス（ハードウェア）ごとにＣＳＶ形式（テキスト文）で模擬動作を定義している。定義リスト２２１は、情報処理装置６を用いて生成される。 The definition list 221 (for defining a simulated operation related to a device) as behavior definition information includes a definition list 221A with an operation time variable having an operation time variable. Of course, the definition list 221 also includes a definition list having a configuration having no operation time variable. The definition list 221 of this embodiment defines a simulated operation in CSV format (text sentence) for each device (hardware). The definition list 221 is generated using the information processing apparatus 6.

試験制御部２１３は、情報生成部２１４により生成される次に述べる試験情報２２４に基づいて、デバイスに関する模擬動作（シミュレーション）を制御する。試験制御部２１３による模擬動作の実行は自動的に（オートモードで）行われる。そのため、試験制御部２１３を自動化ツールと言い換えることもできる。
また、試験制御部２１３は、デバイス（たとえば実装処理ユニット１０４）に関する模擬動作の状況を表示させる機能およびシミュレーションシステム１におけるＧＵＩを提供する機能を有している。なお、表示部２４によって模擬されるハードウェア（デバイス）としては、たとえば、「ゲージ」や「メータ」「パネル」等を例示することができる。 The test control unit 213 controls a simulation operation (simulation) related to the device based on test information 224 described below generated by the information generation unit 214. Execution of the simulation operation by the test control unit 213 is automatically performed (in the auto mode). Therefore, the test control unit 213 can be rephrased as an automated tool.
In addition, the test control unit 213 has a function of displaying a simulation operation status regarding a device (for example, the mounting processing unit 104) and a function of providing a GUI in the simulation system 1. Examples of hardware (device) simulated by the display unit 24 include “gauge”, “meter”, “panel”, and the like.

情報生成部２１４は、操作部２３が受け付けた指示情報に基づいて、基板処理装置１００のソフトウェアに対する試験内容を規定する試験情報２２４を作成する。作成された試験情報２２４は記憶装置２２に記憶される。記憶装置２２に記憶される試験情報２２４として、通常モード用試験情報２２４Ａの他に、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄ、即完了モード用試験情報２２４Ｃ等の高速変更用の試験情報とを含む。 Based on the instruction information received by the operation unit 23, the information generation unit 214 creates test information 224 that defines test contents for the software of the substrate processing apparatus 100. The created test information 224 is stored in the storage device 22. The test information 224 stored in the storage device 22 includes high-speed change test information such as high-speed mode test information 224B and 224D, and immediate completion mode test information 224C in addition to the normal mode test information 224A.

前述のように、定義リスト２２１は、動作時間変数を有する構成の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを含む。
図５は、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの一例を示す図である。図６は、定義リスト２２１の他の例を示す図である。
図５（ａ）および図５（ｂ）には、それぞれ３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの例が示されている。動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、模擬動作の大まかな種別に基づいてグループ化されている。動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、その動作時間変数付き定義リスト２２１Ａが属するグループを表すグループ名と、動作時間変数としての動作時間変数とを含み、ＣＳＶ形式で定義している。 As described above, the definition list 221 includes the operation time variable definition list 221A having an operation time variable.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the definition list 221A with an operation time variable. FIG. 6 is a diagram illustrating another example of the definition list 221.
FIGS. 5A and 5B show examples of the definition lists 221A with three operation time variables. The definition list 221 </ b> A with operation time variable is grouped based on the rough type of simulated operation. The definition list with operation time variable 221A includes a group name representing a group to which the definition list with operation time variable 221A belongs and an operation time variable as an operation time variable, and is defined in CSV format.

図５（ａ）に示す３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは、共通のグループに属しており、それぞれ、原点復帰動作の実行時間を規定している。図５（ａ）に示す例では、「Timer_Home」がグループ名に相当し、「ID_Speed」、「SH_Speed」および「CR_Speed」がそれぞれ動作時間変数に相当する。
図５（ｂ）に示す３つの動作時間変数付き定義リスト２２１Ａは共通のグループに属しており、それぞれ、バルブ開動作の遅延時間を規定している。図５（ｂ）に示す例では、「Timer_Valve_Delay」がグループ名に相当し、「ValveＡ_Delay」、「ValveＢ_Delay」および「ValveＣ_Delay」がそれぞれ動作時間変数に相当する。 The definition list 221A with three operation time variables shown in FIG. 5A belongs to a common group, and each defines the execution time of the origin return operation. In the example illustrated in FIG. 5A, “Timer_Home” corresponds to a group name, and “ID_Speed”, “SH_Speed”, and “CR_Speed” each correspond to an operation time variable.
The definition list 221A with three operating time variables shown in FIG. 5B belongs to a common group, and each defines a delay time of the valve opening operation. In the example shown in FIG. 5B, “Timer_Valve_Delay” corresponds to the group name, and “ValveA_Delay”, “ValveB_Delay”, and “ValveC_Delay” each correspond to the operation time variable.

また、図５（ａ）の一番上の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａには、図６に示す定義リストが対応している。この定義リストでは、「ID_Speed =10」と定義されている。図５（ａ）の一番上の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａと、図６に示す定義リスト２２１とによって、「原点復帰動作の実行時間が１０秒間」という模擬動作が定義されている。
また、動作時間変数として、個々の実装処理ユニット１０４を併せて特定することも可能である。この場合、図５（ｃ）に示すように、実装処理ユニット１０４の名称を含めた情報を動作時間変数とすることができる。すなわち、図５（ｃ）に示す例では、「Timer_Valve_Delay」がグループ名に相当し、「ValveＡ_Delay/ＭＰＣ１」、「ValveＢ_Delay/ＭＰＣ１」および「ValveＣ_Delay/ＭＰＣ１」がそれぞれ動作時間変数に相当する。なお、「ＭＰＣ１」は、基板処理装置１に実装される複数個の実装処理ユニット１０４の１つを特定するものである。 The definition list shown in FIG. 6 corresponds to the definition list 221A with the operating time variable at the top in FIG. In this definition list, “ID_Speed = 10” is defined. The simulation operation “the execution time of the origin return operation is 10 seconds” is defined by the definition list 221A with the operation time variable at the top of FIG. 5A and the definition list 221 shown in FIG.
It is also possible to specify individual mounting processing units 104 as operation time variables. In this case, as shown in FIG. 5C, information including the name of the mounting processing unit 104 can be used as an operation time variable. That is, in the example shown in FIG. 5C, “Timer_Valve_Delay” corresponds to the group name, and “ValveA_Delay / MPC1”, “ValveB_Delay / MPC1”, and “ValveC_Delay / MPC1” each correspond to the operation time variable. “MPC1” specifies one of the plurality of mounting processing units 104 mounted on the substrate processing apparatus 1.

この実施形態では、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａがグループ別に登録されている。そのため、各グループに含まれる動作時間変数付き定義リスト２２１の動作時間変数、つまり動作速度を一括して変更することができる。
ところで、図５（ｂ）の動作時間変数付き定義リスト２２１Ａを例に挙げると、たとえば第１模擬部２１２ａが「バルブＡ」に対応付けられる。そして、同じデバイスであっても、互いに異なる模擬動作は互いに異なる定義情報に定義される（たとえばバルブＡの開動作とバルブＡの閉動作）。 In this embodiment, an operation time variable definition list 221A is registered for each group. Therefore, the operation time variable of the definition list 221 with operation time variable included in each group, that is, the operation speed can be collectively changed.
By the way, taking the example of the definition list 221A with operating time variable in FIG. 5B, for example, the first simulation unit 212a is associated with “valve A”. Even in the same device, different simulated operations are defined in different definition information (for example, valve A opening operation and valve A closing operation).

さらに詳しく言えば、ユニット模擬部２１１は、予め定められた個数の模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎを備えているわけではない。ユニット模擬部２１１が定義リスト２２１を参照することにより、新たに割り当てが必要なデバイスを発見したときに、新たな模擬部を生成し、これにその新たに発見したデバイスが対応付けられる。
図７は、情報処理装置６の構成を示す図である。 More specifically, the unit simulating unit 211 does not include a predetermined number of simulating units 212a, ..., 212n. When the unit simulation unit 211 refers to the definition list 221, when a device that needs to be newly allocated is discovered, a new simulation unit is generated, and the newly discovered device is associated with the new simulation unit.
FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of the information processing apparatus 6.

情報処理装置６は、ＣＰＵ６１、記憶装置６２、操作部６３、表示部６４およびディスク装置６５を備えている。情報処理装置６は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
ＣＰＵ６１は、記憶装置６２に記憶されているプログラム６２０に従って動作することにより、情報処理装置６の各構成を制御する。 The information processing apparatus 6 includes a CPU 61, a storage device 62, an operation unit 63, a display unit 64, and a disk device 65. The information processing apparatus 6 has a function as a general-purpose personal computer.
The CPU 61 controls each component of the information processing device 6 by operating according to the program 620 stored in the storage device 62.

記憶装置６２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置６２には、プログラム６２０や各種データが記憶されている。
とくに、記憶装置６２には、ディスク装置６５によって取得された設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１が記憶されている。また、情報生成部６１０により生成された定義リスト２２１も、一時的に、記憶装置６２に記憶される。 The storage device 62 includes, for example, a ROM (not shown), a RAM (not shown), a hard disk (not shown), and the like. The storage device 62 stores a program 620 and various data.
In particular, the storage device 62 stores a setting file 421 and a basic file 621 acquired by the disk device 65. In addition, the definition list 221 generated by the information generation unit 610 is also temporarily stored in the storage device 62.

操作部６３はキーボードやマウス等から構成され、オペレータが情報処理装置６に必要な情報を入力するために使用する。
表示部６４は、たとえば汎用のディスプレイ装置であって、ＣＰＵ６１からの指示に従って、各種データを画面に表示する。
情報処理装置６では、ディスク装置６５が記憶媒体９０に記憶されている設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１を読み取ることにより、基板処理装置１００の構成を規定する基礎情報を取得する。 The operation unit 63 includes a keyboard, a mouse, and the like, and is used by an operator to input necessary information to the information processing apparatus 6.
The display unit 64 is a general-purpose display device, for example, and displays various data on the screen in accordance with instructions from the CPU 61.
In the information processing apparatus 6, the disk device 65 reads the setting file 421 and the basic file 621 stored in the storage medium 90, thereby acquiring basic information that defines the configuration of the substrate processing apparatus 100.

ディスク装置６５は、次に述べる情報生成部６１０により生成された定義リスト２２１を記憶媒体９０に書き込む（出力する）書込み機能を有しており、出力された定義リスト２２１は、シミュレータ２によって読み取られる。
図８は、情報処理装置６の機能ブロックを示す図である。図８に示す情報生成部６１０および誤り検出部６１１が、主にＣＰＵ６１がプログラム６２０に従って動作することにより実現される機能ブロックである。 The disk device 65 has a writing function for writing (outputting) a definition list 221 generated by the information generation unit 610 described below to the storage medium 90, and the output definition list 221 is read by the simulator 2. .
FIG. 8 is a diagram illustrating functional blocks of the information processing apparatus 6. The information generation unit 610 and the error detection unit 611 illustrated in FIG. 8 are functional blocks realized mainly by the CPU 61 operating according to the program 620.

情報生成部６１０は、記憶装置６２に記憶された設定ファイル４２１および基礎ファイル６２１に基づいて、基板処理装置１００を構成する実装処理ユニット１０４の動作を模擬するシミュレータ２のための定義リスト２２１を生成する。
なお、設定ファイル４２１とは、基板処理装置１００に搭載される実装処理ユニット１０４に応じて生成される情報であり、基板処理装置１００を動作させるために必要な情報である。すなわち、設定ファイル４２１は、基板処理装置１００のソフトウェアの一部であり、基板処理装置１００にインストールされるファイルである。 The information generation unit 610 generates a definition list 221 for the simulator 2 that simulates the operation of the mounting processing unit 104 constituting the substrate processing apparatus 100 based on the setting file 421 and the basic file 621 stored in the storage device 62. To do.
The setting file 421 is information generated according to the mounting processing unit 104 mounted on the substrate processing apparatus 100, and is information necessary for operating the substrate processing apparatus 100. That is, the setting file 421 is a part of software of the substrate processing apparatus 100 and is a file installed in the substrate processing apparatus 100.

また、基礎ファイル６２１とは、複数のファイルの集合体であって、実装処理ユニット１０４の仕様書とも言うべき情報を含む。すなわち、基礎ファイル６２１は、すべての処理ユニットについて、個々の処理ユニットを設計・開発する段階で、オペレータによって予め作成される。
図９は、インタフェース模擬装置３の構成を示す図である。インタフェース模擬装置３は、ＣＰＵ３１、記憶装置３２、第１通信部３３および第２通信部３４を備えている。インタフェース模擬装置３は、コンピュータ４にネットワーク９を介して接続され、コンピュータ４とユニット模擬装置２０との間のデータの授受を行う機能を有している。 The basic file 621 is an aggregate of a plurality of files, and includes information that can be referred to as a specification of the mounting processing unit 104. That is, the basic file 621 is created in advance by the operator at the stage of designing and developing individual processing units for all the processing units.
FIG. 9 is a diagram illustrating the configuration of the interface simulation device 3. The interface simulation device 3 includes a CPU 31, a storage device 32, a first communication unit 33, and a second communication unit 34. The interface simulation device 3 is connected to the computer 4 via the network 9 and has a function of transferring data between the computer 4 and the unit simulation device 20.

ＣＰＵ３１は、記憶装置３２に記憶されているプログラム３２０に従って動作することにより、インタフェース模擬装置３の各構成を制御する。
記憶装置３２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）等によって構成されている。記憶装置３２にはプログラム３２０が記憶されている。
第１通信部３３および第２通信部３４は、具体的には端子やケーブル等のハードウェアである。 The CPU 31 controls each component of the interface simulation device 3 by operating according to the program 320 stored in the storage device 32.
The storage device 32 includes, for example, a ROM (not shown), a RAM (not shown), and the like. A program 320 is stored in the storage device 32.
Specifically, the first communication unit 33 and the second communication unit 34 are hardware such as terminals and cables.

第１通信部３３は、インタフェース模擬装置３をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４およびインタフェース模擬装置３間のデータ通信、ならびにユニット模擬装置２０およびインタフェース模擬装置３間のデータ通信が実現される。
図１０は、コンピュータ４の構成を示す図である。コンピュータ４は、ＣＰＵ４１、記憶装置４２、操作部４３、表示部４４、ディスク装置４５および通信部４６を備えている。コンピュータ４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１が備えるハードウェアと同等のハードウェアを備えている。また、コンピュータ４は、汎用のパーソナルコンピュータとしての機能を有している。 The first communication unit 33 connects the interface simulation device 3 to the network 9. Thereby, data communication between the computer 4 and the interface simulation device 3 and data communication between the unit simulation device 20 and the interface simulation device 3 are realized.
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of the computer 4. The computer 4 includes a CPU 41, a storage device 42, an operation unit 43, a display unit 44, a disk device 45, and a communication unit 46. The computer 4 includes hardware equivalent to the hardware included in the control unit 101 of the substrate processing apparatus 100. The computer 4 has a function as a general-purpose personal computer.

ＣＰＵ４１は、設定ファイル４２１を参照しつつプログラム４２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号の生成を行い、コンピュータ４の各構成を制御する。
プログラム４２０は、シミュレーションシステム１による試験（デバッグ）の対象となるソフトウェアである。プログラム４２０は、基板処理装置１００を設計・開発する際に、オペレータ（プログラマ）によって作成される。 The CPU 41 operates according to the program 420 while referring to the setting file 421, thereby calculating various data and generating control signals and controlling each configuration of the computer 4.
The program 420 is software to be tested (debugged) by the simulation system 1. The program 420 is created by an operator (programmer) when designing and developing the substrate processing apparatus 100.

制御ユニット１０１にインストールされるプログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶し、当該プログラム４２０および設定ファイル４２１に基づいて、制御ユニット１０１と同等のハードウェアを制御することにより、コンピュータ４は制御ユニット１０１としての機能を発揮する。
たとえば、ＣＰＵ４１は、実装処理ユニット１０４に対する制御情報を生成する。ＣＰＵ４１は、生成した制御情報を、インタフェースユニット１０２を介して実装処理ユニット１０４に向けて送信するように通信部４６を制御する。ただし、シミュレータ２では、通信部４６から送信される情報は、インタフェース模擬装置３を介してユニット模擬装置２０に向けて送信される。また、ＣＰＵ４１は、シミュレータ２０から通信部４６が受信した情報に基づいて、新たな制御情報を生成したり、あるいは必要な情報を表示部４４に表示したりさせる。 The computer 4 stores the program 420 and the setting file 421 installed in the control unit 101, and controls the hardware equivalent to the control unit 101 based on the program 420 and the setting file 421. Demonstrate the function.
For example, the CPU 41 generates control information for the mounting processing unit 104. The CPU 41 controls the communication unit 46 so as to transmit the generated control information to the mounting processing unit 104 via the interface unit 102. However, in the simulator 2, information transmitted from the communication unit 46 is transmitted toward the unit simulator 20 via the interface simulator 3. Further, the CPU 41 generates new control information based on information received by the communication unit 46 from the simulator 20 or displays necessary information on the display unit 44.

記憶装置４２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置４２には、プログラム４２０および設定ファイル４２１が記憶されている。
操作部４３は、オペレータがデータを入力するために使用される操作部であり、たとえば各種スイッチ類、キーボード、マウス等を含む構成である。オペレータにより入力されるデータの一例として、たとえば基板処理装置１００を操作するために入力されるデータを例示することができる。 The storage device 42 includes, for example, a ROM (not shown), a RAM (not shown), a hard disk (not shown), and the like. The storage device 42 stores a program 420 and a setting file 421.
The operation unit 43 is an operation unit used for an operator to input data, and includes a variety of switches, a keyboard, a mouse, and the like, for example. As an example of data input by the operator, for example, data input to operate the substrate processing apparatus 100 can be exemplified.

また、表示部４４は、各種データを画面に表示する。表示部４４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１において表示されるデータを表示する機能を有している。コンピュータ４は、特に操作部４３および表示部４４について、実際の基板処理装置１００に搭載される制御ユニット１０１と同等のハードウェアを採用する。
ディスク装置４５は、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、ブルーレイディスクなどに代表される記憶媒体９０記憶媒体９１からデータを読み取るための装置である。この実施形態では、記憶媒体９１に記憶されているプログラム４２０および設定ファイル４２１がディスク装置４５によって読み取られるとともに、そのプログラム４２０および設定ファイル４２１が記憶装置４２に転送され、その記憶装置４２に記憶される。 The display unit 44 displays various data on the screen. The display unit 44 has a function of displaying data displayed in the control unit 101 of the substrate processing apparatus 100. The computer 4 employs hardware equivalent to the control unit 101 mounted on the actual substrate processing apparatus 100, particularly for the operation unit 43 and the display unit 44.
The disk device 45 is a device for reading data from a storage medium 90 represented by a CD-ROM, a DVD, a Blu-ray disc, and the like. In this embodiment, the program 420 and the setting file 421 stored in the storage medium 91 are read by the disk device 45, and the program 420 and the setting file 421 are transferred to the storage device 42 and stored in the storage device 42. The

ディスク装置４５は、たとえば、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置、ＤＶＤドライブ装置、ブルーレイディスクドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置４５は、各種データを記憶媒体４５に対して書き込むための書込み機能を有していてもよい。
通信部４６は、ネットワーク９を介して、インタフェース模擬装置３との間でデータの授受を行う。 The disk device 45 corresponds to, for example, a CD-ROM drive device, a DVD drive device, a Blu-ray disk drive device, or the like. The disk device 45 may have a write function for writing various data to the storage medium 45.
The communication unit 46 exchanges data with the interface simulation device 3 via the network 9.

図１１は、操作ユニット５の構成を示す図である。操作ユニット５は、オペレータが片手で保持しつつ操作できる程度の比較的小型のユニットである。操作ユニット５は、シミュレーションシステム１を遠隔操作可能なリモコンによって構成されていてもよい。操作ユニット５は、ＣＰＵ５１、記憶装置５２、操作部５３、表示部５４および通信部５６を備えている。 FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of the operation unit 5. The operation unit 5 is a relatively small unit that can be operated while being held by one operator with one hand. The operation unit 5 may be configured by a remote control capable of remotely operating the simulation system 1. The operation unit 5 includes a CPU 51, a storage device 52, an operation unit 53, a display unit 54, and a communication unit 56.

操作ユニット５としてはたとえば操作ユニット１０３と同じ操作ユニットが用いられる。この場合、操作ユニット１０３を用いた場合の基板処理装置１００のシミュレーションが行える。
ＣＰＵ５１は、プログラム５２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号を生成する。なお、プログラム５２０は、基板処理装置１００の操作ユニット１０３に搭載されるものと同じプログラムである。 For example, the same operation unit as the operation unit 103 is used as the operation unit 5. In this case, the substrate processing apparatus 100 can be simulated when the operation unit 103 is used.
The CPU 51 operates in accordance with the program 520 to generate various data calculations and control signals. The program 520 is the same program that is installed in the operation unit 103 of the substrate processing apparatus 100.

記憶装置５２は、たとえばＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（図示しない）およびハードディスク（図示しない）等によって構成されている。記憶装置５２には、プログラム５２０や各種データが記憶されている。
操作部５３は、オペレータが指示を入力するために使用される。また、表示部５４は、適宜、情報（たとえばＧＵＩ）を画面に表示する。 The storage device 52 includes, for example, a ROM (not shown), a RAM (not shown), a hard disk (not shown), and the like. The storage device 52 stores a program 520 and various data.
The operation unit 53 is used for an operator to input an instruction. In addition, the display unit 54 appropriately displays information (for example, GUI) on the screen.

次に、シミュレーションシステム１による試験動作について説明する。
図１２は、試験実行時のユニット模擬装置２０における処理の流れを示すフローチャートである。
所定の操作により、デバイスに関する模擬動作の実行が開始されると、まず、初期設定が実行される（ステップＳ１）。初期設定とは、たとえば、必要なファイル（定義リスト２２１等）の転送を含む動作である。この初期設定の終了後には、必要なハードウェアの電源がすべて投入されており、かつ必要なプログラムやファイルの転送（インストール）が完了した状態になる。初期設定の終了後には、試験制御部２１３は、オペレータからの所定の指示があるまで待機する。 Next, the test operation by the simulation system 1 will be described.
FIG. 12 is a flowchart showing the flow of processing in the unit simulation device 20 during test execution.
When execution of a simulated operation related to a device is started by a predetermined operation, first, initial setting is executed (step S1). The initial setting is, for example, an operation including transfer of a necessary file (such as the definition list 221). After completion of the initial setting, all necessary hardware is turned on, and transfer (installation) of necessary programs and files is completed. After completion of the initial setting, the test control unit 213 stands by until a predetermined instruction is issued from the operator.

この待機状態において、オペレータにより操作部２３が操作されて、試験情報の作成を選択する指示情報が入力されると（ステップＳ２でＹＥＳ）、模擬動作の開始に先立って、情報生成部２１４が試験情報２２４を作成する（ステップＳ３）。
待機状態において、オペレータが操作部２３を操作することにより、模擬動作の開始を選択する指示情報を入力すると（ステップＳ４でＹＥＳ）、試験制御部２１３は、ユニット模擬部２１１に模擬動作を実行させる（ステップＳ５）。試験制御部２１３は、選択した試験情報２１４を読み込み、その読み込んだ試験情報２１４の内容を実行させる。 In this standby state, when the operation unit 23 is operated by the operator and instruction information for selecting creation of test information is input (YES in step S2), the information generation unit 214 performs the test prior to the start of the simulated operation. Information 224 is created (step S3).
In the standby state, when the operator inputs the instruction information for selecting the start of the simulation operation by operating the operation unit 23 (YES in step S4), the test control unit 213 causes the unit simulation unit 211 to execute the simulation operation. (Step S5). The test control unit 213 reads the selected test information 214 and causes the contents of the read test information 214 to be executed.

この実施形態では、試験制御部２１３は自動的に試験を実行させる。そのため、たとえば、オペレータがシミュレーションをモニタリングしながら適切なタイミングで指示情報を入力する必要がなく、これにより、オペレータの負担が軽減される。
一連の処理が終了した後の待機状態において、オペレータによる操作部２３の操作により、処理を終了する指示情報が入力されると（ステップＳ６においてＹＥＳ）、ユニット模擬装置２０（試験制御部２１３）は、処理を終了する。 In this embodiment, the test control unit 213 automatically executes a test. For this reason, for example, it is not necessary for the operator to input instruction information at an appropriate timing while monitoring the simulation, thereby reducing the burden on the operator.
In the standby state after the series of processes is completed, when instruction information for terminating the process is input by the operation of the operation unit 23 by the operator (YES in step S6), the unit simulator 20 (test control unit 213) The process is terminated.

この実施形態では、ユニット模擬装置２０において実行される模擬動作には、通常モード、高速モードまたは即完了モードが設けられている。高速モードおよび即完了モードをそれぞれ実行させるために高速変更用の試験情報、すなわち高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄ（図４参照）および即完了モード用試験情報２２４Ｃ（図４参照）が用意されている。 In this embodiment, the simulation operation executed in the unit simulation device 20 is provided with a normal mode, a high-speed mode, or an immediate completion mode. In order to execute the high-speed mode and the immediate completion mode, high-speed change test information, that is, high-speed mode test information 224B and 224D (see FIG. 4) and immediate completion mode test information 224C (see FIG. 4) are prepared. Yes.

図１３は、高速モード用試験情報２２４Ｂおよび即完了モード用試験情報２２４Ｃのそれぞれの一例を示す図である。図１３（ｂ）および図１３（ｄ）の上段（１列目）にそれぞれ示す文字列が高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄを示し、図１３（ｃ）の上段（１列目）に示す文字列が即完了モード用試験情報２２４Ｃを示している。
各試験情報２２４は、「種別」、「対象」、「引数１」および「引数２」の各項目を含む文字列である。高速変更用の試験情報（すなわち、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄおよび即完了モード用試験情報２２４Ｃ）は、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）の動作時間変数（図４、図６等参照）に規定されている動作時間を変更するための試験情報である。また、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄは、各グループに対応する動作時間を一括して変更させるための試験情報である。 FIG. 13 is a diagram illustrating an example of high-speed mode test information 224B and immediate completion mode test information 224C. The character strings shown in the upper part (first column) of FIGS. 13B and 13D indicate the high-speed mode test information 224B and 224D, respectively, and the characters shown in the upper part (first column) of FIG. 13C. The column indicates the immediate completion mode test information 224C.
Each test information 224 is a character string including items of “type”, “target”, “argument 1”, and “argument 2”. The high-speed change test information (that is, the high-speed mode test information 224B and 224D and the immediate completion mode test information 224C) is stored in the operation time variable (see FIGS. 4 and 6) of the definition list 221 (definition list 221A). This is test information for changing the specified operating time. Further, the high-speed change test information 224B, 224C, and 224D is test information for collectively changing the operation time corresponding to each group.

高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄは、「対象」としてたとえば「ＳＩＭ」を、「引数１」としてグループ名（たとえば「Timer_Home」）を、「引数２」として倍数（たとえば「１０」や「０」等）をそれぞれ含む文字列である。この実施形態では、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄの「引数２」に、定義リスト２２１の動作時間変数に規定されている動作時間に対して乗算させるための乗算値（一括変速情報。「倍数」）が設定されている。また、動作時間の一括変更の対象になるグループが「引数１」に規定されている。 The test information 224B, 224C, 224D for high-speed change includes, for example, “SIM” as “target”, a group name (for example, “Timer_Home”) as “argument 1”, and a multiple (for example, “10”) as “argument 2”. Character strings including “0” and the like. In this embodiment, the “argument 2” of the test information 224B, 224C, and 224D for high-speed change is multiplied by the operation value specified in the operation time variable of the definition list 221 (collective shift information). “Multiple”) is set. In addition, a group to be a target of batch change of operation time is defined in “Argument 1”.

高速モード用試験情報２２４Ｂには、「引数２」の「倍数」として「０」を除く正の値が設定されている。図１３（ｂ）および図１３（ｄ）にそれぞれ示す例では、高速モード用試験情報２２４Ｂの「引数２」には、「倍数」として「１０」が設定されている。この場合、高速モード用試験情報２２４Ｂは、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）によって規定される模擬動作を、１０倍の速度で実行させるための試験情報である。 In the high-speed mode test information 224B, a positive value excluding “0” is set as the “multiplier” of “argument 2”. In the examples shown in FIGS. 13B and 13D, “10” is set as “Multiple” in “Argument 2” of the high-speed mode test information 224B. In this case, the high-speed mode test information 224B is test information for executing the simulation operation defined by the definition list 221 (definition list 221A) at 10 times the speed.

一方、図１３（ｃ）に示す即完了モード用試験情報２２４Ｃには、「引数２」の「倍数」として、「０」の値が設定されている。この場合、即完了モード用試験情報２２４Ｃは、定義リスト２２１（定義リスト２２１Ａ）によって規定される模擬動作を即時終了させるための試験情報である。
図１３（ａ）〜図１３（ｄ）のそれぞれに示されている試験情報２２４は、原点復帰動作に関する試験情報である。図１３（ａ）〜図１３（ｄ）では、試験情報２２４は、それぞれ原点復帰動作のための試験情報２２４Ｐを備えている。 On the other hand, in the immediate completion mode test information 224C shown in FIG. 13C, a value of “0” is set as “multiple” of “argument 2”. In this case, the immediate completion mode test information 224C is test information for immediately ending the simulation operation defined by the definition list 221 (definition list 221A).
The test information 224 shown in each of FIGS. 13A to 13D is test information related to the origin return operation. In FIGS. 13A to 13D, the test information 224 includes test information 224P for the origin return operation.

以下、図４、図５（ａ）および図１３（ａ）〜図１３（ｄ）を参照して説明する。
試験情報２２４Ｐは、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａの動作に対応するものであり、この試験情報２２４が選択された状態で模擬動作が実行されると、別途定められる動作時間で、「全原点復帰」動作が実行される。
図１３（ａ）に示すように、試験情報２２４Ｐだけが選択された状態で模擬動作が実行されると、試験制御部２１３は、選択した試験情報の内容を実行するとともに、ユニット模擬部２１１に、模擬動作対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎの原点復帰の開始を要求する。 Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 4, 5A and 13A to 13D.
The test information 224P corresponds to the operation of the definition list 221A with the operation time variable shown in FIG. 5A, and when the simulation operation is executed in a state where the test information 224 is selected, an operation determined separately. In time, an “all origin return” operation is performed.
As shown in FIG. 13A, when the simulation operation is executed in a state where only the test information 224P is selected, the test control unit 213 executes the contents of the selected test information and also sends the unit simulation unit 211 to the unit simulation unit 211. , 212m is requested to start the origin return of the simulation units 212a,.

このとき、試験情報２２４が高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃを有していないので、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａおよび図６に示す定義リスト２２１で規定された時間で、原点復帰動作を行う。そして、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始からたとえば１０秒後に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行開始される。模擬動作の対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対する原点復帰動作に関する模擬動作が完了すると、こに関する模擬動作の実行が終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合、原点復帰動作に関する模擬動作のためにたとえば５０秒間の所要時間が必要になる。 At this time, since the test information 224 does not have the test information 224B and 224C for high-speed change, the time specified in the definition list 221A with the operation time variable shown in FIG. 5A and the definition list 221 shown in FIG. Then, return to origin. Then, the origin return operation of one simulation unit 212 (corresponding to a certain mounting processing unit 104) by the unit simulation unit 211 ends, for example, 10 seconds after the start of the origin return start request. Next, the origin return operation of the other simulation unit 212 (corresponding to the other mounting processing unit 104) is started. When the simulation operation related to the origin return operation for all the mounting processing units 104 that are the targets of the simulation operation is completed, the execution of the simulation operation related to this is finished. For example, when a simulation operation related to the origin return operation is performed on the five mounting processing units 104, a time required for, for example, 50 seconds is required for the simulation operation related to the origin return operation.

一方、図１３（ｂ）に示すように、試験情報２２４Ｐの選択に先立って高速モード用試験情報２２４Ｂが選択されている場合には、試験制御部２１３から原点復帰の開始が要求されると、試験情報２２４が高速モード用試験情報２２４Ｂを有しているので、ユニット模擬部２１１は、図５（ａ）に示す動作時間変数付き定義リスト２２１Ａおよび図６に示す定義リスト２２１で規定されている速さのたとえば１０倍速で、原点復帰動作を行う。そして、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始からたとえば１秒後に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行開始される。模擬動作の対象になっている全ての実装処理ユニット１０４に対する原点復帰動作に関する模擬動作が完了すると、これに関する模擬動作の実行が終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合、原点復帰動作に関する模擬動作のためにたとえば５秒間しか要しない。 On the other hand, as shown in FIG. 13B, when the high-speed mode test information 224B is selected prior to the selection of the test information 224P, when the start of the origin return is requested from the test control unit 213, Since the test information 224 includes the high-speed mode test information 224B, the unit simulation unit 211 is defined by the definition list 221A with operation time variable shown in FIG. 5A and the definition list 221 shown in FIG. The origin return operation is performed at a speed 10 times faster, for example. Then, the origin return operation of one simulation unit 212 (corresponding to a certain mounting processing unit 104) by the unit simulation unit 211 ends, for example, after one second from the start of the origin return start request. Next, the origin return operation of the other simulation unit 212 (corresponding to the other mounting processing unit 104) is started. When the simulation operation related to the origin return operation for all the mounting processing units 104 that are the targets of the simulation operation is completed, the execution of the simulation operation related to this is finished. For example, when a simulation operation related to the origin return operation is performed on the five mounting processing units 104, it takes only 5 seconds for the simulation operation related to the origin return operation.

さらに、図１３（ｃ）に示すように、試験情報２２４Ｐの選択に先立って即完了モード用試験情報２２４Ｃが選択されている場合には、試験制御部２１３から原点復帰の開始が要求されると、試験情報２２４が即完了モード用試験情報２２４Ｃを有しているので、ユニット模擬部２１１は原点復帰動作を、その開始とともに完了（即時終了）する。そのため、ユニット模擬部２１１による１つの模擬部２１２（ある実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作は、原点復帰開始要求の開始と同時に終了する。次いで、他の模擬部２１２（他の実装処理ユニット１０４に対応）の原点復帰動作が実行されるが、これらも原点復帰開始要求の開始とともに終了する。たとえば５つの実装処理ユニット１０４に対して原点復帰動作に関する模擬動作を行う場合であっても、原点復帰動作に関する模擬動作のために時間は所要しない。 Further, as shown in FIG. 13C, when the immediate completion mode test information 224C is selected prior to the selection of the test information 224P, the start of the return to origin is requested from the test control unit 213. Since the test information 224 includes the test information 224C for immediate completion mode, the unit simulation unit 211 completes (immediately ends) the origin return operation with the start thereof. Therefore, the origin return operation of one simulation unit 212 (corresponding to a certain mounting processing unit 104) by the unit simulation unit 211 is completed simultaneously with the start of the origin return start request. Next, the origin return operation of the other simulation unit 212 (corresponding to the other mounting processing unit 104) is executed, and these are also terminated when the origin return start request is started. For example, even when a simulation operation related to the origin return operation is performed on the five mounting processing units 104, no time is required for the simulation operation related to the origin return operation.

また、図１３（ｄ）に示す高速モード用試験情報２２４Ｄは、個々の実装処理ユニット１０４を特定する試験情報である。高速モード用試験情報２２４Ｄは、図１３（ｂ）に示す高速モード用試験情報２２４Ｂの文字列に、「引数３」を加えた文字列を含んでいる。図１３（ｄ）では、「引数３」に、定義リスト２２１の動作時間変数の変更対象になる実装処理ユニット１０４を特定するための実装処理ユニット名が規定されている。この高速モード用試験情報２２４Ｄが選択された場合、その高速モード用試験情報２２４Ｄによって特定される実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２における模擬動作だけが高速化される。 Further, the high-speed mode test information 224D illustrated in FIG. 13D is test information for specifying each mounting processing unit 104. The high-speed mode test information 224D includes a character string obtained by adding “argument 3” to the character string of the high-speed mode test information 224B illustrated in FIG. In FIG. 13D, “argument 3” defines a mounting processing unit name for identifying the mounting processing unit 104 that is the target of changing the operation time variable in the definition list 221. When the high-speed mode test information 224D is selected, only the simulation operation in the simulation unit 212 corresponding to the mounting processing unit 104 specified by the high-speed mode test information 224D is accelerated.

なお、図１３（ｃ）に示す即完了モード用試験情報２２４Ｃにおいても、図１３（ｄ）と同様に「引数３」の文字列を加えることにより、特定の実装処理ユニット１０４に対応する模擬部２１２における模擬動作だけを、開始とともに終了（即時終了）させることができる。
図１４は、高速モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。 In addition, in the immediate completion mode test information 224C shown in FIG. 13C, a simulation unit corresponding to a specific mounting processing unit 104 is added by adding the character string of “argument 3” as in FIG. 13D. Only the simulated operation in 212 can be terminated (immediately terminated) with the start.
FIG. 14 is a flowchart showing the flow of the test operation in the high speed mode.

基板処理装置１００がたとえば６個の実装処理ユニット１０４を備えているものとする。ユニット模擬部２１２では、第１〜第６実装処理ユニット１０４にそれぞれに対応して、第１〜第６模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅ，２１２ｆが設けられる。この場合、第１模擬部２１２ａに関する模擬動作（ステップＳ１１）、第２模擬部２１２ｂに関する模擬動作（ステップＳ１２）、第３模擬部２１２ｃに関する模擬動作（ステップＳ１３）、第４模擬部２１２ｄに関する模擬動作（ステップＳ１４）、第５模擬部２１２ｅに関する模擬動作（ステップＳ１５）および第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作（ステップＳ１６）の順で実行される。 Assume that the substrate processing apparatus 100 includes, for example, six mounting processing units 104. In the unit simulation unit 212, first to sixth simulation units 212a, 212b, 212c, 212d, 212e, and 212f are provided corresponding to the first to sixth mounting processing units 104, respectively. In this case, a simulation operation related to the first simulation unit 212a (step S11), a simulation operation related to the second simulation unit 212b (step S12), a simulation operation related to the third simulation unit 212c (step S13), and a simulation operation related to the fourth simulation unit 212d. (Step S14), a simulation operation related to the fifth simulation unit 212e (Step S15), and a simulation operation related to the sixth simulation unit 212f (Step S16).

そして、第６実装処理ユニット１０４のソフトウェアのみを評価（試験）したい場合がある。このとき、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作における試験情報２１４として、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄを採用する。これにより、図１５に示すように、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作を高速化させ、所望の第６実装処理ユニット１０４に対応する第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作だけを、実機の動作速度と同じ速度で実行させことができる。これにより、試験（評価）対象外に関する模擬動作のためにオペレータが時間待ちするのを防止することができる。 In some cases, it is desired to evaluate (test) only the software of the sixth implementation processing unit 104. At this time, the high-speed mode test information 224B and 224D is employed as the test information 214 in each simulation operation of the first to fifth simulation units 212a, 212b, 212c, 212d, and 212e. As a result, as shown in FIG. 15, the simulation operations of the first to fifth simulation units 212a, 212b, 212c, 212d, and 212e are accelerated, and the sixth simulation unit corresponding to the desired sixth mounting processing unit 104 Only the simulation operation related to 212f can be executed at the same speed as the operation speed of the actual machine. As a result, it is possible to prevent the operator from waiting for a time for a simulation operation related to a test (evaluation) object.

図１５は、即完了モードにおける試験動作の流れを示すフローチャートである。
図１４と同様、基板処理装置１００がたとえば６個の実装処理ユニット１０４を備えており、第１模擬部２１２ａに関する模擬動作（ステップＳ２１）、第２模擬部２１２ｂに関する模擬動作（ステップＳ２２）、第３模擬部２１２ｃに関する模擬動作（ステップＳ２３）、第４模擬部２１２ｄに関する模擬動作（ステップＳ２４）、第５模擬部２１２ｅに関する模擬動作（ステップＳ２５）および第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作（ステップＳ２６）の順で実行される。 FIG. 15 is a flowchart showing the flow of the test operation in the immediate completion mode.
As in FIG. 14, the substrate processing apparatus 100 includes, for example, six mounting processing units 104, and simulates the first simulation unit 212a (step S21), the second simulation unit 212b (step S22), Simulation operation regarding the third simulation unit 212c (step S23), simulation operation regarding the fourth simulation unit 212d (step S24), simulation operation regarding the fifth simulation unit 212e (step S25), and simulation operation regarding the sixth simulation unit 212f (step S26) Are executed in this order.

そして、第６実装処理ユニット１０４のソフトウェアのみを試験（評価）したい場合がある。このとき、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作における試験情報２１４として、即完了モード用試験情報２２４Ｃを採用する。これにより、図１５に示すように、第１〜第５模擬部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ，２１２ｅの各模擬動作を即時終了させ、所望の第６実装処理ユニット１０４に対応する第６模擬部２１２ｆに関する模擬動作だけを、実機の動作速度と同じ速度で実行させる。この場合も、試験（評価）対象外に関する模擬動作のためにオペレータが時間待ちするのを防止することができる。 In some cases, it is desired to test (evaluate) only the software of the sixth implementation processing unit 104. At this time, immediately complete mode test information 224C is adopted as the test information 214 in each simulation operation of the first to fifth simulation units 212a, 212b, 212c, 212d, and 212e. As a result, as shown in FIG. 15, each simulation operation of the first to fifth simulation units 212a, 212b, 212c, 212d, and 212e is immediately terminated, and the sixth simulation unit corresponding to the desired sixth mounting processing unit 104 is obtained. Only the simulation operation related to 212f is executed at the same speed as the operation speed of the actual machine. Also in this case, it is possible to prevent the operator from waiting for a time for a simulation operation related to a test (evaluation) object.

以上により、この実施形態によれば、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａに含まれる動作時間変数の動作時間が、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄに応じて変更され、この変更後の動作時間で、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎにおける模擬動作が実行される。そのため、各模擬動作に要する時間を変更することができる。換言すると、各模擬部２１２ａ，・・・，２１２ｎにおける模擬動作を高速化または即時終了させることが可能になり、この場合、シミュレータ２による試験時間を大幅に短縮することができる。 As described above, according to this embodiment, the operation time of the operation time variable included in the definition list 221A with the operation time variable is changed according to the test information 224B, 224C, 224D for high-speed change, and the operation after the change The simulation operation in each simulation unit 212a,..., 212n is executed in time. Therefore, the time required for each simulation operation can be changed. In other words, the simulation operation in each simulation unit 212a,..., 212n can be speeded up or immediately terminated, and in this case, the test time by the simulator 2 can be greatly shortened.

また、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄにより、各グループに含まれる動作時間変数付き定義リスト２２１Ａに含まれる動作時間変数が一括して変更される。これにより、動作時間変数を変更させるために、動作時間変数付き定義リスト２２１Ａごとに個々に試験情報を作成する必要がないので、試験情報の作成者の負担を低減させることができる。 In addition, the operation time variables included in the definition list 221A with operation time variables included in each group are collectively changed by the test information 224B, 224C, and 224D for high-speed change. Thereby, in order to change the operation time variable, it is not necessary to individually create test information for each definition list 221 </ b> A with the operation time variable, so that the burden on the creator of the test information can be reduced.

以上、この発明の一実施形態について説明したが、本発明は他の形態で実施することもできる。
たとえば、高速モード用試験情報２２４Ｂ，２２４Ｄについて、設定する「倍数」を、０を超えかつ１未満の値に設定することもできる。この場合には、模擬動作の動作時間が、予め動作時間変数で定める時間よりも長期化する。 As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention can also be implemented with another form.
For example, for the high-speed mode test information 224B and 224D, the “multiplier” to be set can be set to a value exceeding 0 and less than 1. In this case, the operation time of the simulated operation is longer than the time previously determined by the operation time variable.

また、前述の実施形態では、高速変更用の試験情報２２４Ｂ，２２４Ｃ，２２４Ｄに含まれる一括変速情報として乗算値が設定されているとものとして説明したが、除算値や加減算値を設定するようにすることもできる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 In the above-described embodiment, the multiplication value is set as the collective shift information included in the high-speed change test information 224B, 224C, and 224D. However, the division value and the addition / subtraction value are set. You can also
In addition, various design changes can be made within the scope of matters described in the claims.

１シミュレーションシステム
２シミュレータ
６情報処理装置（制御装置）
２２記憶装置（定義情報記憶手段、試験情報記憶手段）
１００基板処理装置
２１１ユニット模擬部（模擬動作実行手段）
２２１Ａ動作時間変数付き定義リスト（動作時間変数付き定義情報）
２２４Ｂ，２２４Ｄ高速モード用試験情報（変速情報付き試験情報）
２２４Ｃ即完了モード用試験情報（変速情報付き試験情報） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Simulation system 2 Simulator 6 Information processing apparatus (control apparatus)
22 Storage device (definition information storage means, test information storage means)
100 substrate processing apparatus 211 unit simulation section (simulation operation execution means)
221A Definition list with operation time variable (definition information with operation time variable)
224B, 224D High-speed mode test information (test information with shift information)
224C Test information for immediate completion mode (test information with shift information)

Claims

A simulator for testing software of the substrate processing apparatus connected to a control apparatus having a function as a control unit of the substrate processing apparatus,
A definition information storage unit having an operation time variable for defining an operation time of a simulated operation related to a device constituting the substrate processing apparatus, and storing definition information with an operation time variable for defining the simulated operation;
Test information storage means for storing test information with shift information having shift information for changing the operation time defined by the operation time variable;
A simulator including simulation operation execution means for executing a simulation operation related to the device at an operation speed corresponding to the operation time after being changed based on the shift information.

The definition information with the operating time variable is divided into groups,
The simulator according to claim 1, wherein the shift information included in the test information with shift information includes batch shift information for collectively changing operation time variables of definition information with operation time variables included in each group.

A simulation system including a control device having a function as a control unit of a substrate processing apparatus, and a simulator connected to the control device and testing software of the substrate processing apparatus,
The simulator
A definition information storage unit having an operation time variable for defining an operation time of a simulated operation related to a device constituting the substrate processing apparatus, and storing definition information with an operation time variable for defining the simulated operation;
Test information storage means for storing test information with shift information having shift information for changing the operation time defined by the operation time variable;
A simulation system including simulation operation execution means for executing a simulation operation related to the device at an operation speed corresponding to the operation time after being changed based on the shift information.