JP2013205494A - 光素子モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】より低消費電力である光素子モジュールを提供すること。
【解決手段】底板を有する筐体と、前記筐体内において前記底板に載置された温度調節素子と、前記筐体内において前記底板に載置された支持部材と、前記温度調整素子に載置された半導体光素子と、前記半導体光素子に接合するとともに前記支持部材に載置された、シリコン基板を有する石英ガラス系平面光波回路素子とを有する光素子と、を備え、前記支持部材は、熱が外部から前記底板を介して前記筐体内部に流入することを抑制する構成を有する。
【選択図】図1
【解決手段】底板を有する筐体と、前記筐体内において前記底板に載置された温度調節素子と、前記筐体内において前記底板に載置された支持部材と、前記温度調整素子に載置された半導体光素子と、前記半導体光素子に接合するとともに前記支持部材に載置された、シリコン基板を有する石英ガラス系平面光波回路素子とを有する光素子と、を備え、前記支持部材は、熱が外部から前記底板を介して前記筐体内部に流入することを抑制する構成を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、光素子モジュールに関する。
石英系ガラスからなる平面光波回路(Planner Lightwave Circuit:PLC)素子と半導体光素子とを一体集積した、ハイブリッド集積モジュールと呼ばれる光素子モジュールが開示されている(特許文献1、2参照)。このような光素子モジュールでは、低消費電力化のために、特性の温度依存性が高い半導体光素子のみを温度調節素子によって温度制御し、特性の温度依存性が低いPLC素子については温度制御をしない構成をとる場合がある。
しかしながら、上述した半導体光素子のみを温度制御する構成の光素子モジュールにおいて、温度調節素子の消費電力が、予測される値よりも大きくなる場合があるという問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、より低消費電力である光素子モジュールを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光素子モジュールは、底板を有する筐体と、前記筐体内において前記底板に載置された温度調節素子と、前記筐体内において前記底板に載置された支持部材と、前記温度調整素子に載置された半導体光素子と、前記半導体光素子に接合するとともに前記支持部材に載置された、シリコン基板を有する石英ガラス系平面光波回路素子とを有する光素子と、を備え、前記支持部材は、熱が外部から前記底板を介して前記筐体内部に流入することを抑制する構成を有することを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記支持部材の熱伝導率は、前記底板の熱伝導率よりも低いことを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記支持部材の熱伝導率は、前記底板の熱伝導率の1/10以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記底板はCuWからなり、前記支持部材はジルコニア、石英ガラス、ガラスセラミック、およびホウケイ酸ガラスのいずれか一つからなることを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記支持部材の熱膨張係数と前記平面光波回路素子の基板の熱膨張係数との差が3×10−6/K以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記支持部材が石英ガラスまたはホウケイ酸ガラスからなることを特徴とする。
また、本発明に係る光素子モジュールは、上記の発明において、前記支持部材は、前記底板および前記平面光波回路素子に接触する面積の合計が小さく設定されていることを特徴とする。
本発明によれば、より低消費電力である光素子モジュールを実現できるという効果を奏する。
以下に、図面を参照して本発明に係る光素子モジュールの実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付し、適宜説明を省略している。さらに、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実のものとは異なる場合があることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光素子モジュールの模式的な側断面図である。図1に示すように、本実施の形態1に係る光素子モジュール100は、筐体10内に、温度調節素子20、サブキャリア30、半導体光素子41とPLC素子42とを有する光素子40、支持部材50、および光ファイバ固定部材60が収容され、かつ光ファイバ70の一端が挿入された構成を有する。
図1は、本発明の実施の形態1に係る光素子モジュールの模式的な側断面図である。図1に示すように、本実施の形態1に係る光素子モジュール100は、筐体10内に、温度調節素子20、サブキャリア30、半導体光素子41とPLC素子42とを有する光素子40、支持部材50、および光ファイバ固定部材60が収容され、かつ光ファイバ70の一端が挿入された構成を有する。
筐体10は、底板11と、側壁部12と、蓋13と、側壁部12に形成された光ファイバ挿入部14とを有している。これらの要素は内部が気密構造となるように封止されている。底板11は熱伝導率が180W/m・K〜200W/m・Kと高い銅タングステン(CuW)からなる。側壁部12、蓋13、および光ファイバ挿入部14は熱膨張係数が低いKovar(登録商標)からなる。
温度調節素子20は、筐体10内において、底板11に載置されている。温度調節素子20は、たとえばペルチェ素子であり、駆動電流が供給されることによって光素子40の半導体光素子41を冷却し、その温度を調節することができる。
サブキャリア30は、温度調節素子20に載置されている。サブキャリア30は、光素子40の半導体光素子41の部分を載置するものであり、熱伝導率が170W/m・Kと高いAlNからなる。半導体光素子41は、サブキャリア30を介して温度調節素子20に載置されている。
光素子40は、半導体光素子41とPLC素子42とが接着剤等によって接合され、ハイブリッド集積素子として構成されている。光素子40のより具体的構成については後述する。
支持部材50は、筐体10内において、底板11に載置されている。支持部材50は、光素子40のPLC素子42の部分を載置するものであり、熱伝導率が低い石英系ガラスからなる。
光ファイバ固定部材60は、PLC素子42の先端に接合されている。光ファイバ固定部材60は、たとえばガラスからなり、光ファイバ挿入部14から挿入された光ファイバ70の一端を載置し、固定するためのものである。光ファイバ70の光ファイバ挿入部14にかかる部分はメタライズ加工されている。PLC素子42と半導体素子41とを筺体10内に固定した後、光ファイバ挿入部14にハンダを封入することで、気密封止が行なわれる。
つぎに、光素子40についてより具体的に説明する。図2は、図1に示す光素子の平面図である。図2に示すように、光素子40は、接合された半導体光素子41とPLC素子42とを有する。
半導体光素子41は、InP基板上に積層されたInP半導体積層構造内に、埋め込み型の光増幅導波路41aがU字状に形成されたものである。光増幅導波路41aは、たとえばGaInNAsP系半導体材料、またはAlGaInAs半導体材料からなる活性層で構成されており、1.55μm帯の波長の光を増幅することができるようにその組成が設定されている。また、InP基板の裏面およびInP半導体積層構造の表面には、それぞれ不図示のn側電極、p側電極が形成されている。なお、上記の半導体材料は例示であり、使用される半導体材料は、使用される光の波長に応じて適宜選択することができる。
PLC素子42は、シリコン基板上に積層された石英系ガラスからなるクラッド層内に、クラッド層の屈折率よりも高い屈折率を有する石英系ガラスからなるコア層で構成された各種の光導波路が形成されたものである。具体的には、PLC素子42は、入力光導波路42aと、光導波路型方向性結合器からなる3dBカプラ42bと、2つのアーム光導波路42c、42dと、光導波路型方向性結合器からなる3dBカプラ42eと、出力光導波路42f、42gとが順次接続されて、マッハツェンダー(Mach-Zehnder Interferometer:MZI)干渉計型の偏波分離/合成素子として構成されている。出力光導波路42fには1/2波長板42hが挿入されている。アーム光導波路42c、42dの上方のクラッド層の表面には、ヒータ42i、42jがそれぞれ形成されている。ヒータ42i、42jは、アーム光導波路42c、42dを局所加熱して実効屈折率を変化させることによって、PLC素子42の偏波分離/合成素子としての特性を、導波路構造形成後に調整するためのものである。ヒータ42i、42jはたとえば金属薄膜で形成される。
半導体光素子41の光増幅導波路41aと、PLC素子42の出力光導波路42f、42gとは、互いに端面41b、42kにおいて光学的に結合している。なお、光増幅導波路41a、出力光導波路42f、42gのそれぞれは、端面41bまたは42kの近傍において曲げ導波路となっている。これによって、端面41bまたは42kによって反射された光が各導波路に再び結合することが防止されている。
つぎに、光素子モジュール100の動作の一例について説明する。まず、光ファイバ70は、ポートC1、C2、C3を有する光サーキュレータCのポートC2に接続される。光サーキュレータCは、ポートC1から任意の偏波状態を有する1.55μm帯の波長の光L1が入力され、ポートC2から光ファイバ70に光L1を入力させる。PLC素子42は、入力光導波路42aから光L1が入力されると、光L1をTM偏波(PLC素子42の基板面に垂直方向の偏波)の光L11とTE偏波(TM偏波に対して垂直方向の偏波)の光L12に偏波分離し、それぞれを出力光導波路42f、42gから出力する。
1/2波長板42hは、光L11が入力されるとその偏波方向を90度回転し、TE偏波の光L13として出力し、半導体光素子41の光増幅導波路41aの一端に入力させる。一方、光L12はTE偏波のままで光増幅導波路41aの他の一端に入力する。
ここで、半導体光素子41は、n側電極およびp側電極間に電圧を印加して電力を供給されて、活性層で構成された光増幅導波路41aが光増幅作用を有する状態となっている。そこで、光増幅導波路41aは、入力された光L12、L13を光増幅しながら導波し、入力された側の一端とは反対側の一端から出力する。このとき、光L12、L13は、いずれもTE偏波として光増幅導波路41aを導波し、増幅されるので、半導体光素子41が有する偏波依存利得(Polarization Dependent Gain:PDG)の影響を受けずに光増幅される。
その後、光増幅された光L13は、TE偏波で出力光導波路42gに入力される。一方、光増幅された光L12は、TE偏波で出力光導波路42fに入力され、1/2波長板42hによってTM偏波とされる。その後、PLC素子42は、光L12、L13を偏波合成したものを、増幅された光L2として、入力光導波路41aから光ファイバ70に出力する。光サーキュレータCは、光ファイバ70から入力された光L2をポートC2で受付け、ポートC3から出力する。
このように、光素子モジュール100は、PDGが低い光増幅モジュールとして動作する。
上記の光素子モジュール100において、半導体光素子41は、光増幅作用を奏する際に発熱する。温度調節素子20はサブキャリア30を介して半導体光素子41を冷却し、半導体光素子41が好ましい特性(たとえば増幅特性)となるような適正な温度に調節する。この温度調節は、たとえば外部に設けられた制御装置が、半導体光素子41の近傍に設けられた温度モニタからの情報に基づいて、温度調節素子20の駆動電流を調整することによって行う。
ここで、従来の光素子モジュールでは、PLC素子42の部分を載置するための支持部材としては、底板11との熱膨張係数との差を小さくするために、底板11と同じ材料、たとえばCuWからなる支持部材を用いているものがあった。
ところが、本発明者らが検討したところによれば、CuWからなる支持部材を用いた場合、両者ともに熱伝導性が高い底板11から支持部材を介して、外部から熱が流入し、さらに流入した熱がPLC素子42を介して半導体光素子41に到達し、半導体光素子41の温度を上昇させる場合があることを発見した。この場合、半導体光素子41を適正な温度とするために、温度調節素子20の駆動電流を大きくして、半導体光素子41をさらに冷却する必要があるため、光素子モジュール100の消費電力が大きくなる。
これに対して、本実施の形態1に係る光素子モジュール100では、支持部材として、底板11の材料であるCuWに比べて熱伝導率が低い石英系ガラスからなる支持部材50を備えているので、外部から底板11および支持部材50を介した熱の流入は抑制される。その結果、温度調節素子20に必要な駆動電流は低減されるので、光素子モジュール100はより低消費電力となる。
つぎに、本発明の実施例、比較例として、上記実施の形態1に係る光素子モジュールと、同様の構成を有する、石英ガラスからなる支持部材を用いた光素子モジュール、および、実施例の光素子モジュールと略同じ構成を有するが、CuWからなる支持部材を用いた光素子モジュールの熱的特性を比較した。石英ガラスの熱伝導率は2W/m・Kとし、CuWの熱伝導率は200W/m・Kとした。また、参考例としては、実施例の光素子モジュールにおいて、PLC素子と支持部材とを除去した構成の光素子モジュールとした。実施例、比較例、および参考例の光素子モジュールを75℃の環境温度に設置し、半導体光素子の発熱量が2.7Wとなるように駆動させた状態で、半導体光素子の表面温度が25℃になるように温度調節素子を駆動するように設定した。
図3は、温度調節素子の駆動電流と素子表面温度との関係を示す図である。図3に示すように、参考例の場合は、駆動電流を0.75Aにすれば素子表面温度を25℃にできた。実施例の場合は、駆動電流を1.9Aにすれば素子表面温度を25℃にできた。しかしながら、比較例の場合は、駆動電流を2.0Aとしても素子表面温度は48.8℃にしかできなかった。また、駆動電流を4.0Aまで増加させても素子表面温度を25℃にすることはできなかった。
以上説明したように、本実施の形態1に係る光素子モジュール100は、より低消費電力なものである。
なお、支持部材50の構成材料としては、底板11の構成材料よりも熱伝導率が低いものであればよいが、熱伝導率が1/10以下のものが好ましく、1/100以下のものがさらに好ましい。たとえば、底板11がCuW(熱伝導率:180W/m・K〜200W/m・K)からなる場合は、支持部材50の構成材料は、ジルコニア(熱伝導率:3W/m・K)、石英ガラス(熱伝導率:2W/m・K)、ガラスセラミック(熱伝導率:0.2W/m・K)、ホウケイ酸ガラス、たとえばパイレックスガラス(登録商標)(熱伝導率:1W/m・K)などを利用できる。
また、支持部材50の構成材料としては、PLC素子42の基板の構成材料と比較して熱膨張係数の差がたとえば小さいものであれば、光素子モジュール100が温度変化した場合に支持部材50とPLC素子42との間に発生する熱応力が小さいので好ましい。基板の構成材料であるシリコンの熱膨張係数は2.6×10−6/Kであるが、ジルコニア、石英ガラス、ガラスセラミック、パイレックスガラスの熱膨張係数は、それぞれ10×10−6/K、0.4×10−6/K、11.5×10−6/K、3.2×10−6/Kであり、差はそれぞれ7.4×10−6/K、2.2×10−6/K、8.9×10−6/K、0.6×10−6/Kである。したがって、熱膨張係数の点からは、支持部材50の熱膨張係数とPLC素子42の基板の熱膨張係数との差が3×10−6/K以下である石英ガラス、パイレックスガラスがより好ましい。
(実施の形態2)
図4は、実施の形態2に係る光素子モジュールの模式的な要部側断面図である。図5は、図4に示す光素子モジュールの模式的な要部平面図である。本実施の形態2に係る光素子モジュール100Aは、実施の形態1に係る光素子モジュール100において、支持部材50を支持部材50Aに置き換えた構成を有する。
図4は、実施の形態2に係る光素子モジュールの模式的な要部側断面図である。図5は、図4に示す光素子モジュールの模式的な要部平面図である。本実施の形態2に係る光素子モジュール100Aは、実施の形態1に係る光素子モジュール100において、支持部材50を支持部材50Aに置き換えた構成を有する。
支持部材50Aは、底板11の上に載置されている。支持部材50Aは、光素子40のPLC素子42の部分を載置するものであり、石英系ガラスからなる2つのブロック体からなる。
この支持部材50Aは、橋げた状の形状であるため、底板11およびPLC素子42に接触する面積の合計が、板状である支持部材50の場合よりも小さい。これによって、外部から底板11および支持部材50Aを介した熱の流入はさらに抑制される。その結果、温度調節素子20に必要な駆動電流は低減されるので、光素子モジュール100Aはさらに低消費電力となる。
なお、支持部材50Aの構成材料としては、支持部材50と同様に、底板11の構成材料よりも、熱伝導率が1/10以下のものが好ましく、1/100以下のものがさらに好ましく、たとえば、ジルコニア、石英ガラス、ガラスセラミック、パイレックスガラスなどを利用できる。
また、本実施の形態2で使用することができる支持部材としては、支持部材50Aのように2つのブロック体からなるものに限られない。支持部材は、底板11およびPLC素子42に接触する面積が、外部から底板11を介しての熱の流入が抑制され、温度調節素子20に必要な駆動電流が増加しない程度の大きさのものであればよい。図6は、支持部材の一例の模式的な平面図である。図6に示すような格子状の支持部材50Bも、底板11およびPLC素子42に接触する面積を小さくできるので好ましい。
なお、上記実施の形態では、光素子は図2に示す構成のものであるが、本発明に係る光素子の構成は、半導体光素子とPLC素子とが接合されたものであれば特に限定されず、たとえば特許文献1に示すような、半導体レーザ素子と光選択素子と半導体光増幅器とを備えた構成の光素子でもよい。
また、上記実施の形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
10 筐体
11 底板
12 側壁部
13 蓋
14 光ファイバ挿入部
20 温度調節素子
30 サブキャリア
40 光素子
41 半導体光素子
41a 光増幅導波路
41b 端面
42 PLC素子
42a 入力光導波路
42b、42e 3dBカプラ
42c、42d アーム光導波路
42f、42g 出力光導波路
42h 1/2波長板
42i、42j ヒータ
50、50A、50B 支持部材
60 光ファイバ固定部材
70 光ファイバ
100、100A 光素子モジュール
C 光サーキュレータ
C1、C2、C3 ポート
L1、L11、L12、L13、L2 光
11 底板
12 側壁部
13 蓋
14 光ファイバ挿入部
20 温度調節素子
30 サブキャリア
40 光素子
41 半導体光素子
41a 光増幅導波路
41b 端面
42 PLC素子
42a 入力光導波路
42b、42e 3dBカプラ
42c、42d アーム光導波路
42f、42g 出力光導波路
42h 1/2波長板
42i、42j ヒータ
50、50A、50B 支持部材
60 光ファイバ固定部材
70 光ファイバ
100、100A 光素子モジュール
C 光サーキュレータ
C1、C2、C3 ポート
L1、L11、L12、L13、L2 光
Claims (7)
- 底板を有する筐体と、
前記筐体内において前記底板に載置された温度調節素子と、
前記筐体内において前記底板に載置された支持部材と、
前記温度調整素子に載置された半導体光素子と、前記半導体光素子に接合するとともに前記支持部材に載置された、シリコン基板を有する石英ガラス系平面光波回路素子とを有する光素子と、
を備え、前記支持部材は、熱が外部から前記底板を介して前記筐体内部に流入することを抑制する構成を有することを特徴とする光素子モジュール。 - 前記支持部材の熱伝導率は、前記底板の熱伝導率よりも低いことを特徴とする請求項1に記載の光素子モジュール。
- 前記支持部材の熱伝導率は、前記底板の熱伝導率の1/10以下であることを特徴とする請求項2に記載の光素子モジュール。
- 前記底板はCuWからなり、前記支持部材はジルコニア、石英ガラス、ガラスセラミック、およびホウケイ酸ガラスのいずれか一つからなることを特徴とする請求項2に記載の光素子モジュール。
- 前記支持部材の熱膨張係数と前記平面光波回路素子の基板の熱膨張係数との差が3×10−6/K以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の光素子モジュール。
- 前記支持部材が石英ガラスまたはホウケイ酸ガラスからなることを特徴とする請求項5に記載の光素子モジュール。
- 前記支持部材は、前記底板および前記平面光波回路素子に接触する面積の合計が小さく設定されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の光素子モジュール。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015177115A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール、光モジュールの製造方法 |
CN113424087A (zh) * | 2019-02-08 | 2021-09-21 | 古河电气工业株式会社 | 光模块 |
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- 2012-03-27 JP JP2012072021A patent/JP2013205494A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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