JP2013205077A - Sample holding device, and sample analysis method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample holding device for performing the measurement by beam irradiation with an environment with which front and rear faces of a sample contact separated.SOLUTION: A sample holding device 1 includes a holder holding a sample 99. The holder includes: a front-side environmental chamber 18 formed in a manner to contact with a front face of the sample 99; a back-side environmental chamber 28 formed in a manner to contact with a rear face of the sample 99; a beam incidence port 16 for letting a beam enter the sample 99; and a beam outgoing port 26 for letting the beam go out of the sample 99.

Description

本発明は、試料保持装置および試料分析方法に関し、さらに詳しくは、ビーム照射のために試料を保持する試料保持装置およびビームを照射して試料を分析する試料分析方法に関する。   The present invention relates to a sample holding device and a sample analysis method, and more particularly to a sample holding device for holding a sample for beam irradiation and a sample analysis method for analyzing a sample by irradiating a beam.

従来、電磁波または粒子線などのビームを試料に照射して、試料を分析する試料分析方法が知られている。精度の高い測定を行うためには、ビームが照射される位置が一定になるように、試料を保持する必要がある。   Conventionally, a sample analysis method for analyzing a sample by irradiating the sample with a beam such as an electromagnetic wave or a particle beam is known. In order to perform measurement with high accuracy, it is necessary to hold the sample so that the position irradiated with the beam is constant.

ビーム照射による測定において、試料の環境(媒体、温度、湿度、圧力、電場、または磁場など)を変化させながら測定をしたい場合がある。例えば、試料に溶液を作用させるため、試料室に溶液を流通させたい場合がある。この場合、試料保持装置は、試料室に溶液を流通させることができ、かつ、試料を動かないように固定できる構造が求められる。   In measurement by beam irradiation, there are cases where it is desired to perform measurement while changing the environment of the sample (medium, temperature, humidity, pressure, electric field, magnetic field, etc.). For example, there is a case where it is desired to distribute the solution in the sample chamber in order to cause the solution to act on the sample. In this case, the sample holding device is required to have a structure capable of allowing the solution to flow through the sample chamber and fixing the sample so as not to move.

特開2008−64463号公報(特許文献1)には、ビーム照射を行う軟質材料の試料を測定装置に動かないように簡易に固定することができ、より試料に溶液を均一になるように流した状態を簡易に維持して計測を行うビーム照射による軟質材料の構造解析方法および軟質材料保持装置、が記載されている。   In Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-64463 (Patent Document 1), a sample of a soft material to be irradiated with a beam can be easily fixed so as not to move to a measuring apparatus, and the solution can be more uniformly applied to the sample. A structure analysis method and a soft material holding device of a soft material by beam irradiation for performing measurement while maintaining a simple state are described.

特開2008−64463号公報JP 2008-64463 A

ところで、板状または膜状の試料では、試料の表裏の面が接する環境を分離したい場合がある。例えば、試料の一方の面から溶液を作用させて、試料の溶液透過性を測定したい場合がある。このとき、ビーム照射による測定を併せて行えば、ビーム照射から得られる試料の結晶構造と、溶液透過性との相関関係を調べることができる。   By the way, in the case of a plate-like or film-like sample, it may be desired to separate the environment where the front and back surfaces of the sample are in contact. For example, there is a case where it is desired to measure the solution permeability of a sample by applying a solution from one side of the sample. At this time, if measurement by beam irradiation is also performed, the correlation between the crystal structure of the sample obtained from beam irradiation and the solution permeability can be examined.

生体皮膚など、固体差または部位差が大きい試料では、この2つの測定を、同一試料で、同時に行うことが好ましい。すなわち、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことが好ましい。   In the case of a sample having a large solid difference or site difference, such as biological skin, it is preferable to perform these two measurements simultaneously on the same sample. That is, it is preferable to perform measurement by beam irradiation by separating the environment where the front and back surfaces of the sample are in contact.

特許文献1に記載されている軟質材料保持装置では、溶液透過性を有する板状の試料収容部材の試料収容孔に、試料である皮膚がくしゃくしゃにして挿入される。そのため、この軟質材料保持装置では、流通される溶液は、試料の周り全体から試料に作用する。したがって、この軟質材料保持装置は、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことはできない。   In the soft material holding device described in Patent Document 1, the skin as a sample is crumpled and inserted into a sample accommodation hole of a plate-like sample accommodation member having solution permeability. Therefore, in this soft material holding device, the distributed solution acts on the sample from the entire periphery of the sample. Therefore, this soft material holding device cannot separate the environment where the front and back surfaces of the sample are in contact and perform measurement by beam irradiation.

本発明の目的は、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うこと、およびそのための試料保持装置を提供することである。   An object of the present invention is to separate an environment where the front and back surfaces of a sample are in contact with each other and perform measurement by beam irradiation, and to provide a sample holding device therefor.

本発明による試料保持装置は、試料を保持するホルダを備える。ホルダは、試料の表面に接するように形成される表側環境室と、試料の裏面に接するように形成される裏側環境室と、試料へビームを入射させるためのビーム入射口と、試料からビームを出射させるためのビーム出射口とを含む。   The sample holding device according to the present invention includes a holder for holding a sample. The holder includes a front-side environment chamber formed so as to be in contact with the surface of the sample, a back-side environment chamber formed so as to be in contact with the back surface of the sample, a beam entrance for allowing a beam to enter the sample, and a beam from the sample. And a beam exit for emitting.

この構成によれば、表側環境室および裏側環境室によって、試料の表裏の面が接する環境を分離することができる。   According to this configuration, the environment in which the front and back surfaces of the sample are in contact with each other can be separated by the front-side environment chamber and the back-side environment chamber.

好ましくは、ホルダと試料との境界がシールされる。これによって、表側環境室と裏側環境室とが、効果的に分離される。   Preferably, the boundary between the holder and the sample is sealed. As a result, the front-side environmental chamber and the back-side environmental chamber are effectively separated.

好ましくは、ホルダはさらに、表側環境室および裏側環境室の一方へ通じ、外部へ開口する環境連絡通路を含む。これによって、表側環境室または裏側環境室の環境を測定または制御することができる。   Preferably, the holder further includes an environment communication passage that leads to one of the front environment chamber and the back environment chamber and opens to the outside. As a result, the environment of the front environment room or the back environment room can be measured or controlled.

好ましくは、ホルダはさらに、試料の表側に配置される表側部材と、試料の裏側に配置され、表側部材に着脱可能な裏側部材とを含む。表側環境室は表側部材内に形成され、裏側環境室は裏側部材内に形成される。ビーム入射口およびビーム出射口の一方は表側部材内に形成され、ビーム入射口およびビーム出射口の他方は裏側部材内に形成される。この構成によれば、ホルダを表側部材と裏側部材とに分割することができる。これによって、試料の交換を容易に行うことができる。   Preferably, the holder further includes a front side member disposed on the front side of the sample and a back side member disposed on the back side of the sample and attachable to and detachable from the front side member. The front side environmental chamber is formed in the front side member, and the back side environmental chamber is formed in the back side member. One of the beam entrance and the beam exit is formed in the front member, and the other of the beam entrance and the beam exit is formed in the back member. According to this structure, a holder can be divided | segmented into a front side member and a back side member. As a result, the sample can be easily exchanged.

好ましくは、試料保持装置は、試料と接触して配置され、試料の実験条件を制御する制御部材を備える。この構成によれば、制御部材は試料と接触して配置されるため、試料の実験条件を制御することができる。   Preferably, the sample holding device includes a control member that is disposed in contact with the sample and controls experimental conditions of the sample. According to this configuration, since the control member is arranged in contact with the sample, the experimental conditions of the sample can be controlled.

好ましくは、制御部材は、ホルダの熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する。これによって、例えば、試料の温度を制御することができる。   Preferably, the control member has a thermal conductivity higher than that of the holder. Thereby, for example, the temperature of the sample can be controlled.

好ましくは、制御部材は、ホルダの電気抵抗よりも低い電気抵抗を有する。これによって、例えば、試料に電場を印加することができる。   Preferably, the control member has an electrical resistance lower than that of the holder. Thereby, for example, an electric field can be applied to the sample.

本発明による試料分析方法は、試料の表面に接する表側環境と試料の裏面に接する裏側環境とを分離して試料を保持する工程と、試料へビームを入射し、試料から出射するビームを観察する工程とを備える。   The sample analysis method according to the present invention separates the front-side environment in contact with the surface of the sample and the back-side environment in contact with the back surface of the sample and holds the sample, and the beam is incident on the sample and the beam emitted from the sample is observed A process.

好ましくは、試料分析方法はさらに、表側環境および裏側環境の少なくとも一方を測定する工程を備える。   Preferably, the sample analysis method further includes a step of measuring at least one of the front side environment and the back side environment.

好ましくは、試料分析方法はさらに、表側環境および裏側環境の少なくとも一方を制御する工程を備える。   Preferably, the sample analysis method further includes a step of controlling at least one of the front side environment and the back side environment.

本発明によれば、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。また、そのための試料保持装置が得られる。   According to the present invention, measurement by beam irradiation can be performed by separating the environment where the front and back surfaces of the sample are in contact with each other. In addition, a sample holding device for that purpose is obtained.

本発明の第1の実施形態による試料保持装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of the sample holding device by the 1st Embodiment of this invention. 図1のII−II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 本発明の第2の実施形態による試料保持装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of the sample holding device by the 2nd Embodiment of this invention. 図3のIV−IV線に沿った断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3. 制御部材による実験条件の制御の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of control of the experimental condition by a control member. 本発明の第3の実施形態による試料保持装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of the sample holding device by the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態による試料保持装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of the sample holding device by the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施形態による試料保持装置の概略構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows schematic structure of the sample holding device by the 5th Embodiment of this invention. 試料分析方法の一例を説明するための図であって、本発明の一実施形態による試料保持装置の模式的断面図である。It is a figure for demonstrating an example of the sample analysis method, Comprising: It is typical sectional drawing of the sample holding device by one Embodiment of this invention. 試料分析方法の他の例を説明するための図であって、本発明の一実施形態による試料保持装置の模式的断面図である。It is a figure for demonstrating the other example of the sample analysis method, Comprising: It is typical sectional drawing of the sample holding device by one Embodiment of this invention. 試料分析方法の他の例を説明するための図であって、本発明の一実施形態による試料保持装置の模式的断面図である。It is a figure for demonstrating the other example of the sample analysis method, Comprising: It is typical sectional drawing of the sample holding device by one Embodiment of this invention. ヒト角層の経皮水分蒸散量および脂質分子の秩序性の、温度変化を示すグラフである。It is a graph which shows the temperature change of the transdermal moisture transpiration | evaporation amount of a human stratum corneum, and the order of a lipid molecule. マウス角層の経皮水分蒸散量および脂質分子の秩序性の、温度変化を示すグラフである。It is a graph which shows the temperature change of the transdermal moisture transpiration | evaporation amount of a mouse | mouth stratum corneum, and the order of a lipid molecule.

以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。なお、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法および各部材の寸法比率などを忠実に表したものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated. In addition, the dimension of the member in each figure does not represent the dimension of an actual structural member, the dimension ratio of each member, etc. faithfully.

[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態による試料保持装置1の概略構成を示す分解斜視図である。試料保持装置1は、ホルダH1と、Oリング31および32と、高分子フィルム33および34とを備えている。
[First Embodiment]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a sample holding device 1 according to a first embodiment of the present invention. The sample holding device 1 includes a holder H1, O-rings 31 and 32, and polymer films 33 and 34.

ホルダH1は、表側部材10と裏側部材20とを含んでいる。表側部材10は、概略直方体形状であり、その下面に形成された凹部12を含んでいる。裏側部材20は、概略直方体形状の本体部21と、本体部21の上面に形成された凸部22とを備えている。凸部22は、凹部12に嵌合するように形成されている。ホルダH1は、凹部12と凸部22との間に試料99を挟むことによって、試料99を保持する。試料99は典型的には板状をなし、例えば人の皮膚である。   The holder H <b> 1 includes a front side member 10 and a back side member 20. The front side member 10 has a substantially rectangular parallelepiped shape and includes a recess 12 formed on the lower surface thereof. The back-side member 20 includes a substantially rectangular parallelepiped main body 21 and a convex portion 22 formed on the upper surface of the main body 21. The convex portion 22 is formed so as to fit into the concave portion 12. The holder H <b> 1 holds the sample 99 by sandwiching the sample 99 between the concave portion 12 and the convex portion 22. The sample 99 is typically plate-shaped, for example human skin.

ホルダH1の材質は、特に限定されない。ホルダH1の材質は、例えばアクリル樹脂である。   The material of the holder H1 is not particularly limited. The material of the holder H1 is, for example, an acrylic resin.

説明の便宜のため、x方向、y方向、およびz方向を、図1のように定義する。x方向、y方向、およびz方向は、表側部材10および裏側部材20の本体部21の外面の法線のいずれかと一致する。   For convenience of explanation, the x direction, the y direction, and the z direction are defined as shown in FIG. The x direction, the y direction, and the z direction coincide with one of the normals of the outer surface of the main body portion 21 of the front side member 10 and the back side member 20.

凹部12の底面と凸部22の上面とは概略平行である。凹部12は、横に倒された三角柱の形状を有している。具体的には、凹部12は、三角形状の断面を有しており、凹部12の深さはy方向下流に向かって深くなっている。凸部22も凹部12と同様に、横に倒された三角柱の形状を有している。具体的には、凸部22は、三角形状の側面を有しており、凸部22の高さはy方向下流に向かって高くなっている。   The bottom surface of the concave portion 12 and the top surface of the convex portion 22 are substantially parallel. The recess 12 has a triangular prism shape that is tilted sideways. Specifically, the recess 12 has a triangular cross section, and the depth of the recess 12 increases toward the downstream in the y direction. Similarly to the concave portion 12, the convex portion 22 has a triangular prism shape that is tilted sideways. Specifically, the convex portion 22 has a triangular side surface, and the height of the convex portion 22 increases toward the downstream in the y direction.

凹部12の斜面には、Oリング31を配置するための溝13が形成されている。凸部22の斜面には、Oリング32を配置するための溝23が形成されている。ホルダH1は、Oリング31および32を間に挟んで試料99を保持することによって、ホルダH1と試料99との境界がシールされる。すなわち、ホルダH1と試料とが、シール性をもって密接(密着)される。   A groove 13 for arranging the O-ring 31 is formed on the slope of the recess 12. A groove 23 for arranging the O-ring 32 is formed on the slope of the convex portion 22. The holder H1 holds the sample 99 with the O-rings 31 and 32 interposed therebetween, whereby the boundary between the holder H1 and the sample 99 is sealed. That is, the holder H1 and the sample are brought into close contact (adherence) with a sealing property.

表側部材10は、z方向と平行に形成された貫通孔14および15を含んでいる。裏側部材20は、z方向と平行に形成された貫通孔24および25を含んでいる。表側部材10の貫通孔14と裏側部材20の貫通孔24とは、凸部22を凹部12に嵌合させたときに、互いに同軸となるように形成されている。このとき、貫通孔15と貫通孔25とも、互いに同軸となるように形成されている。図示しないボルトをこれらの貫通孔の一方の端部から通し、他方の端部において図示しないナットで締め付けることによって、表側部材10と裏側部材20とを固定することができる。また、締め付けたボルトとナットとを緩めて、表側部材10と裏側部材20とを分割することができる。すなわち、表側部材10と裏側部材20とは、着脱可能に形成されている。   The front side member 10 includes through holes 14 and 15 formed in parallel with the z direction. The back side member 20 includes through holes 24 and 25 formed in parallel with the z direction. The through hole 14 of the front side member 10 and the through hole 24 of the back side member 20 are formed to be coaxial with each other when the convex portion 22 is fitted into the concave portion 12. At this time, the through hole 15 and the through hole 25 are formed so as to be coaxial with each other. The front-side member 10 and the back-side member 20 can be fixed by passing a bolt (not shown) from one end of these through holes and tightening a bolt (not shown) at the other end. Moreover, the bolt and nut which were fastened can be loosened and the front side member 10 and the back side member 20 can be divided | segmented. That is, the front side member 10 and the back side member 20 are formed to be detachable.

表側部材10は、試料99へビームを入射させるためのビーム入射口16を含んでいる。ビーム入射口16は、y方向と平行な中心軸を持つ円筒形状を有している。ビーム入射口16は、表側部材10の、y方向上流側の側面において開口し、凹部12へ通じている。すなわち、ビーム入射口16は、表側部材10をy方向に貫通している。   The front side member 10 includes a beam entrance 16 for allowing a beam to enter the sample 99. The beam entrance 16 has a cylindrical shape having a central axis parallel to the y direction. The beam entrance 16 opens on the side surface of the front side member 10 on the upstream side in the y direction and communicates with the recess 12. In other words, the beam entrance 16 penetrates the front side member 10 in the y direction.

ビーム入射口16のy方向上流側の開口部を覆って、表側部材10に、高分子フィルム33が接着されている。高分子フィルム33によって、ビーム入射光16のy方向上流側の開口部は密封されている。   A polymer film 33 is bonded to the front member 10 so as to cover the opening on the upstream side in the y direction of the beam entrance 16. The opening on the upstream side in the y direction of the beam incident light 16 is sealed by the polymer film 33.

裏側部材20は、試料99からビームを出射させるためのビーム出射口26を含んでいる。ビーム出射口26は、y方向と平行な中心軸を持ち、y方向下流に向かって口径が大きくなる円錐形状を有している。ビーム出射口26は、裏側部材20の凸部22をy方向に貫通している。   The back side member 20 includes a beam emission port 26 for emitting a beam from the sample 99. The beam exit port 26 has a central axis parallel to the y direction, and has a conical shape whose diameter increases toward the downstream in the y direction. The beam exit 26 penetrates the convex portion 22 of the back side member 20 in the y direction.

ビーム出射口26のy方向下流側の開口部を覆って、裏側部材20に、高分子フィルム34が接着されている。高分子フィルム34によって、ビーム出射口26のy方向下流側の開口部は密封されている。   A polymer film 34 is bonded to the back member 20 so as to cover the opening on the downstream side in the y direction of the beam exit port 26. The opening on the downstream side in the y direction of the beam exit port 26 is sealed by the polymer film 34.

高分子フィルム33および34は、ビーム透過率の高いものが好ましい。一般的に、フィルムの厚さが薄くなるほど、ビーム透過率は高くなる。そのため、高分子フィルム33および34は、薄くしても高い強度を維持できるものが好ましい。高分子フィルム33および34は、例えばポリイミドフィルムである。   The polymer films 33 and 34 preferably have a high beam transmittance. In general, the thinner the film, the higher the beam transmission. Therefore, it is preferable that the polymer films 33 and 34 can maintain high strength even if they are thinned. The polymer films 33 and 34 are polyimide films, for example.

表側部材10はさらに、表側環境連絡通路17を含んでいる。表側環境連絡通路17は、z方向と平行な中心軸を持つ円筒形状を有している。表側環境連絡通路17は、表側部材10のz方向上流側の上面において開口し、凹部12に通じている。すなわち、表側環境連絡通路17は、表側部材10をz方向に貫通している。   The front side member 10 further includes a front side environment communication passage 17. The front-side environment communication passage 17 has a cylindrical shape having a central axis parallel to the z direction. The front-side environment communication passage 17 opens on the upper surface on the upstream side in the z direction of the front-side member 10 and communicates with the recess 12. That is, the front-side environment communication passage 17 penetrates the front-side member 10 in the z direction.

裏側部材20はさらに、裏側環境連絡通路27を含んでいる。裏側環境連絡通路27は、z方向と平行な中心軸を持つ円筒形状を有している。裏側環境連絡通路27は、裏側部材20の本体部21のz方向下流側の面、および凸部22の上面において開口している。すなわち、裏側環境連絡通路27は、裏側部材20をz方向に貫通している。   The back side member 20 further includes a back side environment communication passage 27. The back side environment communication passage 27 has a cylindrical shape having a central axis parallel to the z direction. The back-side environment communication passage 27 is open on the surface on the downstream side in the z direction of the main body portion 21 of the back-side member 20 and the top surface of the convex portion 22. That is, the back-side environment communication passage 27 penetrates the back-side member 20 in the z direction.

図2は、図1のII−II線に沿った断面図である。図2は、試料99の近傍を拡大して示している。   FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. FIG. 2 shows the vicinity of the sample 99 in an enlarged manner.

試料保持装置1は、ビームをy方向上流側から入射させるように配置されている。ここで、試料99の表裏の面のうち、ビームが入射する側の面を、表(おもて)面と呼び、他方の面を裏面と呼んで参照する。表面および裏面という呼び方は便宜的なものであり、試料99の配置方法を限定する趣旨ではない。   The sample holding device 1 is arranged so that the beam is incident from the upstream side in the y direction. Here, of the front and back surfaces of the sample 99, the surface on which the beam is incident is referred to as the front (front) surface, and the other surface is referred to as the back surface. The terms “front surface” and “rear surface” are for convenience and do not limit the arrangement method of the sample 99.

図2に示すように、表側部材10は、試料99の表面に接するように形成された表側環境室18を含んでいる。裏側部材20は、試料99の裏面に接するように形成された裏側環境室28を含んでいる。   As shown in FIG. 2, the front side member 10 includes a front side environmental chamber 18 formed so as to be in contact with the surface of the sample 99. The back-side member 20 includes a back-side environment chamber 28 formed so as to be in contact with the back surface of the sample 99.

表側環境連絡通路17は、表側環境室18に通じている。同様に、裏側環境連絡通路27は、裏側環境室28に通じている。   The front environment communication passage 17 communicates with the front environment chamber 18. Similarly, the back-side environment communication passage 27 communicates with the back-side environment chamber 28.

以上、試料保持装置1の概略構成を説明した。ホルダH1は、樹脂などの材料を切削する機械加工、樹脂などの材料を型に充填して形成する射出成型など、周知の加工方法によって製造することができる。また、Oリング31および32、ならびに高分子フィルム33および34は、周知のものを用いることができる。   The schematic configuration of the sample holding device 1 has been described above. The holder H1 can be manufactured by a known processing method such as machining that cuts a material such as resin, or injection molding that fills a mold with a material such as resin. Further, well-known O-rings 31 and 32 and polymer films 33 and 34 can be used.

[試料分析方法、および第1の実施形態の効果]
次に、試料保持装置1による試料分析方法について説明する。試料分析方法は、試料99の表面に接する表側環境と試料99の裏面に接する裏側環境とを分離して試料99を保持する工程と、試料99へビームを入射し、試料99から出射するビームを観察する工程とを備えている。
[Sample Analysis Method and Effects of First Embodiment]
Next, a sample analysis method using the sample holding device 1 will be described. In the sample analysis method, the front side environment in contact with the surface of the sample 99 and the back side environment in contact with the back side of the sample 99 are separated to hold the sample 99, and the beam incident on the sample 99 and the beam emitted from the sample 99 are emitted. A step of observing.

まず、試料保持装置1のホルダH1によって、試料99を保持する。具体的には、凹部12と凸部22との間に、試料99を配置する。表側部材10と裏側部材20とは、着脱可能に構成されているので、試料99の交換を容易に行うことができる。   First, the sample 99 is held by the holder H1 of the sample holding device 1. Specifically, the sample 99 is disposed between the concave portion 12 and the convex portion 22. Since the front side member 10 and the back side member 20 are configured to be detachable, the sample 99 can be easily replaced.

後述するように、試料保持装置1のホルダH1によって試料99を保持することで、試料99の表面に接する表側環境と試料99の裏面に接する裏側環境とを分離することができる。   As will be described later, by holding the sample 99 by the holder H <b> 1 of the sample holding device 1, the front side environment in contact with the surface of the sample 99 and the back side environment in contact with the back surface of the sample 99 can be separated.

試料99に入射するビームは、例えば、γ線、X線、紫外線、可視光線、赤外線、テラヘルツ波、マイクロ波、およびミリ波などの電磁波、ならびに電子線、中性子線、α線、重粒子線、およびイオンビームなどの粒子線である。ビームは、単色化されたものであっても、広いエネルギー分布を持つものであっても良い。   The beam incident on the sample 99 includes, for example, electromagnetic waves such as γ rays, X rays, ultraviolet rays, visible rays, infrared rays, terahertz waves, microwaves, and millimeter waves, and electron beams, neutron rays, α rays, heavy particle rays, And particle beams such as ion beams. The beam may be monochromatic or have a wide energy distribution.

試料99から出射するビームは、例えば、試料99によって回折もしくは散乱されたビーム、または試料99を透過したビームである。試料99から出射するビームは、試料99によって一部吸収されたり、または試料99から放射されたりするものを含む。また、試料99から出射するビームのエネルギー分布は、入射ビームのエネルギー分布と異なる場合がある。   The beam emitted from the sample 99 is, for example, a beam diffracted or scattered by the sample 99 or a beam transmitted through the sample 99. The beam emitted from the sample 99 includes a beam partially absorbed by the sample 99 or emitted from the sample 99. In addition, the energy distribution of the beam emitted from the sample 99 may be different from the energy distribution of the incident beam.

試料99から出射するビームを観察することは、例えば、回折もしくは散乱による角度変化もしくは強度変化、吸収もしくは放射による強度変化、または相互作用によるエネルギー分布の変化を観察することである。このような観察(測定)の代表的なものとして、X線回折およびX線散乱、中性子回折および中性子散乱、赤外線吸収、紫外可視吸収スペクトル、円偏光二色性、ラマンスペクトル、電子スピン共鳴、核磁気共鳴、ならびに蛍光分析が挙げられる。   Observing the beam emitted from the sample 99 is, for example, observing an angle change or intensity change due to diffraction or scattering, an intensity change due to absorption or radiation, or a change in energy distribution due to interaction. Typical examples of such observation (measurement) are X-ray diffraction and X-ray scattering, neutron diffraction and neutron scattering, infrared absorption, ultraviolet-visible absorption spectrum, circular dichroism, Raman spectrum, electron spin resonance, nucleus Examples include magnetic resonance as well as fluorescence analysis.

図2を参照して、ビームは、ビーム入射口16から試料99へ入射する。試料99によって回折もしくは散乱されたビーム、試料99を透過したビーム、または試料99から放射されたビームは、ビーム出射口26へ出射する。   Referring to FIG. 2, the beam enters the sample 99 from the beam entrance 16. The beam diffracted or scattered by the sample 99, the beam transmitted through the sample 99, or the beam emitted from the sample 99 is emitted to the beam exit 26.

ビーム出射口26は、既述のように、y方向と平行な中心軸を持ち、y方向下流に向かって口径が大きくなる円錐形状を有している。これによって、試料99によって回折もしくは散乱されたビーム、または試料99から放射されたビームを、試料保持装置1の外側に出射させることができる。もっとも、y方向と平行に出射するビームを観察する場合には、ビーム出射口26は、円筒形状であっても良い。また、ビーム入射口16を円錐形状にしても良い。ビーム入射口16を円錐形状にすれば、ビームを斜めに入射することができる。   As described above, the beam exit port 26 has a conical shape having a central axis parallel to the y direction and increasing in diameter toward the downstream in the y direction. Accordingly, the beam diffracted or scattered by the sample 99 or the beam emitted from the sample 99 can be emitted to the outside of the sample holding device 1. Of course, when observing a beam emitted parallel to the y direction, the beam emission port 26 may be cylindrical. The beam entrance 16 may be conical. If the beam entrance 16 is conical, the beam can be incident obliquely.

表側部材10および裏側部材20は、表側環境室18と裏側環境室28とを含んでいる。表側環境室18は試料99の表面に接しており、裏側環境室28は試料99の裏面に接している。この構成によって、試料保持装置1は、試料99の表面が接する環境と、試料99の裏面が接する環境とを、分離することができる。そして、試料99の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。   The front side member 10 and the back side member 20 include a front side environment chamber 18 and a back side environment chamber 28. The front-side environment chamber 18 is in contact with the surface of the sample 99, and the back-side environment chamber 28 is in contact with the back surface of the sample 99. With this configuration, the sample holding device 1 can separate the environment in which the surface of the sample 99 is in contact with the environment in which the back surface of the sample 99 is in contact. Then, the environment in which the front and back surfaces of the sample 99 are in contact with each other can be separated, and measurement by beam irradiation can be performed.

ここで、「環境」とは例えば、媒体(固体、液体、および気体を含む)、温度、湿度、圧力、電場、および磁場である。   Here, “environment” is, for example, a medium (including solid, liquid, and gas), temperature, humidity, pressure, electric field, and magnetic field.

Oリング31および32によって、ホルダH1と試料99との境界がシールされている。これによって、表側環境室18と裏側環境室28とが、効果的に分離されている。具体的には、表側環境室18および裏側環境室28内の流体(気体、液体など)がOリング31および32によって相互に流通しない。   O-rings 31 and 32 seal the boundary between the holder H1 and the sample 99. Thereby, the front-side environment chamber 18 and the back-side environment chamber 28 are effectively separated. Specifically, fluids (gas, liquid, etc.) in the front environment chamber 18 and the back environment chamber 28 do not circulate with each other by the O-rings 31 and 32.

表側部材10は、表側環境室18に通じる表側環境連絡通路17を含んでいる。裏側部材20は、裏側環境室28に通じる裏側環境連絡通路27を含んでいる。表側環境連絡通路17を通じて、表側環境室18の環境を測定したり、制御したりすることができる。同様に、裏側環境連絡通路27を通じて、表側環境室28の環境を測定したり、制御したりすることができる。そして、表裏の環境を測定または制御して、ビーム照射による観察を行うことができる。   The front member 10 includes a front environment communication passage 17 that communicates with the front environment chamber 18. The back side member 20 includes a back side environment communication passage 27 that communicates with the back side environment chamber 28. Through the front-side environment communication passage 17, the environment of the front-side environment chamber 18 can be measured and controlled. Similarly, the environment of the front-side environment chamber 28 can be measured and controlled through the back-side environment communication passage 27. Then, observation by beam irradiation can be performed by measuring or controlling the front and back environment.

以上、試料分析方法および第1の実施形態の効果を説明した。本実施形態では、試料99が入射ビームに対して約45°傾斜して配置されるように、凹部12および凸部22が形成されている。しかし、試料99を傾斜させる角度は任意である。凹部12および凸部22は、実験条件に応じて任意に設計される。   The sample analysis method and the effects of the first embodiment have been described above. In the present embodiment, the concave portion 12 and the convex portion 22 are formed so that the sample 99 is arranged with an inclination of about 45 ° with respect to the incident beam. However, the angle at which the sample 99 is inclined is arbitrary. The concave portion 12 and the convex portion 22 are arbitrarily designed according to experimental conditions.

本実施形態では、Oリング31および32を試料99の両側に配置して、ホルダH1と試料99との境界をシールしている。しかしこの構成は必須ではない。例えば、試料99の表面に液体を接触させる実験を行う場合を考える。この場合、表側環境室18に充填された液体が、少なくとも裏側環境室28に漏れ出さなければ良い。充填する液体の粘度など、実験条件によっては、Oリング31および32の一方または両方が不要な場合もある。   In this embodiment, O-rings 31 and 32 are arranged on both sides of the sample 99 to seal the boundary between the holder H1 and the sample 99. However, this configuration is not essential. For example, consider the case of conducting an experiment in which a liquid is brought into contact with the surface of the sample 99. In this case, it is sufficient that the liquid filled in the front-side environment chamber 18 does not leak into at least the back-side environment chamber 28. Depending on the experimental conditions such as the viscosity of the liquid to be filled, one or both of the O-rings 31 and 32 may be unnecessary.

本実施形態では、表側環境室18を表側部材10に形成し、裏側環境室28を裏側部材20に形成している。また、ビーム入射口16を表側部材10に形成し、ビーム出射口26を裏側部材20に形成している。しかし、表側環境室18、裏側環境室28、ビーム入射口16、およびビーム出射口26をどちらに形成するかは任意である。例えば、表側部材10にビーム出射口26を形成し、裏側部材20にビーム入射口16を形成しても良い。   In the present embodiment, the front side environmental chamber 18 is formed on the front side member 10, and the back side environmental chamber 28 is formed on the back side member 20. Further, the beam entrance 16 is formed in the front member 10, and the beam exit 26 is formed in the back member 20. However, the front side environment chamber 18, the back side environment chamber 28, the beam incident port 16, and the beam emission port 26 are arbitrarily formed. For example, the beam emitting port 26 may be formed in the front side member 10 and the beam incident port 16 may be formed in the back side member 20.

[第2の実施形態]
図3は、本発明の第2の実施形態による試料保持装置2の概略構成を示す分解斜視図である。試料保持装置2は、上記第1の実施形態と異なり、ホルダH2と、試料99の温度を制御するための制御部材60とを備えている。
[Second Embodiment]
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the sample holding device 2 according to the second embodiment of the present invention. Unlike the first embodiment, the sample holding device 2 includes a holder H2 and a control member 60 for controlling the temperature of the sample 99.

ホルダH2は、表側部材40と裏側部材50とを含んでいる。表側部材40および裏側部材50は、上記第1の実施形態における表側部材10および裏側部材20と概略同じ構成である。ただし、表側部材40は、表側部材10の構成に加えて、制御部材60を配置するためのガイド溝41をさらに含んでいる。裏側部材50は、裏側部材20の構成に加えて、制御部材60を配置するためのガイド溝51と、制御部材60を固定するためのねじ穴52および53とをさらに備えている。   The holder H <b> 2 includes a front side member 40 and a back side member 50. The front side member 40 and the back side member 50 have substantially the same configurations as the front side member 10 and the back side member 20 in the first embodiment. However, the front side member 40 further includes a guide groove 41 for arranging the control member 60 in addition to the configuration of the front side member 10. In addition to the configuration of the back side member 20, the back side member 50 further includes a guide groove 51 for arranging the control member 60 and screw holes 52 and 53 for fixing the control member 60.

制御部材60は、枠状部61と、傾斜部62とを備えている。枠状部61は、板状であり、中央が矩形状に開口した形状を有している。傾斜部62は、板状であり、枠状部61の開口部の一辺に連続して形成されている。図3に示すように、枠状部61をy方向と垂直に配置したとき、傾斜部62は、凹部12の斜面および凸部22の斜面と概略平行になるように形成されている。   The control member 60 includes a frame-shaped part 61 and an inclined part 62. The frame-shaped part 61 is plate-shaped and has a shape in which the center is opened in a rectangular shape. The inclined portion 62 has a plate shape and is formed continuously on one side of the opening of the frame-shaped portion 61. As shown in FIG. 3, when the frame-like portion 61 is arranged perpendicular to the y direction, the inclined portion 62 is formed so as to be substantially parallel to the inclined surface of the concave portion 12 and the inclined surface of the convex portion 22.

制御部材60の枠状部61は、貫通孔63および64を含んでいる。貫通孔63および64は、制御部材60を裏側部材50のガイド溝51に配置したとき、裏側部材50のねじ穴52および53と同軸になるように形成されている。そのため、図示しないねじによって、制御部材60を裏側部材50に固定することができる。   The frame-like portion 61 of the control member 60 includes through holes 63 and 64. The through holes 63 and 64 are formed so as to be coaxial with the screw holes 52 and 53 of the back side member 50 when the control member 60 is disposed in the guide groove 51 of the back side member 50. Therefore, the control member 60 can be fixed to the back side member 50 with a screw (not shown).

制御部材60の傾斜部62は、ビーム通過口65を含んでいる。   The inclined portion 62 of the control member 60 includes a beam passage port 65.

制御部材60の材質は、例えばアルミニウム、銅、鉄である。制御部材60は、例えば次の様にして製造することができる。まず、アルミニウムの平板に、貫通孔63および64、ならびにビーム通過孔65を形成する。続いて、平板よりも一回り小さい矩形状の3辺にスリットを形成し、これを折り曲げて傾斜部62を形成する。傾斜部62を形成することによって、残部は枠状部61となる。   The material of the control member 60 is, for example, aluminum, copper, or iron. The control member 60 can be manufactured as follows, for example. First, through holes 63 and 64 and a beam passage hole 65 are formed in an aluminum flat plate. Subsequently, slits are formed on three sides of the rectangular shape that is slightly smaller than the flat plate, and the inclined portions 62 are formed by bending the slits. By forming the inclined portion 62, the remaining portion becomes the frame-shaped portion 61.

図4は、図3のIV−IV線に沿った断面図である。図4は、試料99の近傍を拡大して示している。   4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 4 shows an enlarged view of the vicinity of the sample 99.

表側部材40および裏側部材50は、表側部材10および裏側部材20と同様に、表側環境室18および裏側環境室28を含んでいる。表側環境室18は、試料99の表面に接している。裏側環境室28は、試料99の裏面に接している。なお、裏側環境室28は、制御部材60の傾斜部62に形成されたビーム通過口65を介して、試料99の裏面と接している。   The front side member 40 and the back side member 50 include the front side environment chamber 18 and the back side environment chamber 28, similarly to the front side member 10 and the back side member 20. The front environment chamber 18 is in contact with the surface of the sample 99. The back environment chamber 28 is in contact with the back surface of the sample 99. Note that the back-side environment chamber 28 is in contact with the back surface of the sample 99 via the beam passage port 65 formed in the inclined portion 62 of the control member 60.

[試料分析方法、および第2の実施形態の効果]
次に、試料保持装置2による試料分析方法について説明する。試料保持装置2による試料分析方法は、試料保持装置1による試料分析方法と概略同じである。
[Sample Analysis Method and Effects of Second Embodiment]
Next, a sample analysis method using the sample holding device 2 will be described. The sample analysis method using the sample holding device 2 is substantially the same as the sample analysis method using the sample holding device 1.

まず、試料保持装置2のホルダH2によって、試料99を保持する。図3および図4に示すように、制御部材60は、裏側部材50と試料99との間に配置される。制御部材60は、表側部材40と試料99との間に配置されても良い。   First, the sample 99 is held by the holder H2 of the sample holding device 2. As shown in FIGS. 3 and 4, the control member 60 is disposed between the back side member 50 and the sample 99. The control member 60 may be disposed between the front side member 40 and the sample 99.

制御部材60は、試料99と接触して配置される。具体的には、制御部60の傾斜部62が、試料99と接触するように配置される。制御部材60と試料99とは、密着して配置されることが好ましい。制御部材60と試料99とを密着して配置するために、傾斜部62に、グリスなどを塗布しても良い。   The control member 60 is disposed in contact with the sample 99. Specifically, the inclined portion 62 of the control unit 60 is disposed so as to contact the sample 99. The control member 60 and the sample 99 are preferably arranged in close contact with each other. In order to arrange the control member 60 and the sample 99 in close contact with each other, grease or the like may be applied to the inclined portion 62.

表側部材40と試料99との間および裏側部材50と試料99との間には、Oリング31および32が配置される。これによって、ホルダH2と試料99との境界がシールされる。ただし、第1の実施形態と同様に、この構成は必須ではない。   O-rings 31 and 32 are arranged between the front side member 40 and the sample 99 and between the back side member 50 and the sample 99. Thereby, the boundary between the holder H2 and the sample 99 is sealed. However, as in the first embodiment, this configuration is not essential.

図4を参照して、ビームは、ビーム入射口16から試料99へ入射する。試料99によって回折もしくは散乱されたビーム、試料99を透過したビーム、または試料99から放射されたビームは、傾斜部62のビーム通過孔65を通って、ビーム出射口26へ出射する。   Referring to FIG. 4, the beam enters the sample 99 from the beam entrance 16. The beam diffracted or scattered by the sample 99, the beam transmitted through the sample 99, or the beam emitted from the sample 99 is emitted to the beam exit 26 through the beam passage hole 65 of the inclined portion 62.

試料保持装置2によっても、表側環境室18および裏側環境室28によって、試料99の表裏の面が接する環境を分離することができる。そして、試料99の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。また、表側環境連絡通路17および裏側環境連絡通路27によって、表裏の環境の測定または制御を行うことができる。   The sample holding device 2 can also separate the environment where the front and back surfaces of the sample 99 are in contact with each other by the front environment chamber 18 and the back environment chamber 28. Then, the environment in which the front and back surfaces of the sample 99 are in contact with each other can be separated, and measurement by beam irradiation can be performed. Further, the front and back environment communication passages 17 and the back side environment communication passage 27 can measure or control the front and back environments.

試料保持装置2ではさらに、制御部材60によって、試料99の実験条件を制御することができる。制御部材60は、試料99と接触して配置される。そのため、試料99の実験条件を迅速に制御することができる。   In the sample holding device 2, the experimental condition of the sample 99 can be further controlled by the control member 60. The control member 60 is disposed in contact with the sample 99. Therefore, the experimental conditions of the sample 99 can be controlled quickly.

図5は、制御部材60による実験条件の制御の一例を示す模式図である。図5に示す例では、制御部材60の枠状部61に、ペルチェ素子91と、ペルチェ素子91の熱を放出するためのヒートシンク92とが取り付けられている。そして、傾斜部62の、試料99に近い部分に、熱電対93が取り付けられている。   FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an example of control of experimental conditions by the control member 60. In the example shown in FIG. 5, a Peltier element 91 and a heat sink 92 for releasing heat of the Peltier element 91 are attached to the frame-shaped portion 61 of the control member 60. A thermocouple 93 is attached to a portion of the inclined portion 62 close to the sample 99.

この構成によれば、ペルチェ素子91によって、試料99の温度制御を行うことができる。また、熱電対93によって、試料99の温度を測定することができる。   According to this configuration, the temperature of the sample 99 can be controlled by the Peltier element 91. Further, the temperature of the sample 99 can be measured by the thermocouple 93.

この場合、ホルダH2は、熱伝導率の低い材料で形成されていることが好ましい。これによって、試料99を冷却する場合には、ホルダH2からの単位時間当たりの熱の流入量が小さくなるため、試料99をさらに低温にすることができる。試料99を加熱する場合には、ホルダH2への単位時間当たりの熱の流出量が小さくなるため、試料99をさらに高温にすることができる。また、いずれの場合も、試料99の温度を、全体にわたって均一にすることができる。   In this case, the holder H2 is preferably made of a material having low thermal conductivity. As a result, when the sample 99 is cooled, the amount of heat inflow per unit time from the holder H2 is reduced, so that the sample 99 can be further cooled. When the sample 99 is heated, the amount of heat flowing out to the holder H2 per unit time is reduced, so that the sample 99 can be further heated. In any case, the temperature of the sample 99 can be made uniform throughout.

一方で、制御部材60は、熱伝導率の高い材料で形成されていることが好ましい。これによって、制御部材60への単位時間当たりの熱の流出量または制御部材60からの単位時間当たりの熱の流入量が大きくなる。そのため、試料99の温度を迅速に制御することができる。また、制御部60の温度を全体にわたって均一にすることができる。これよって、制御部材60と接触している試料99の温度も、全体にわたって均一にすることができる。また、制御部材60の温度と試料99の温度とが近づくことによって、熱電対93は、試料99の正確な温度を測定することができる。   On the other hand, the control member 60 is preferably formed of a material having high thermal conductivity. As a result, the amount of heat flowing out to the control member 60 per unit time or the amount of heat flowing in from the control member 60 per unit time increases. Therefore, the temperature of the sample 99 can be quickly controlled. Moreover, the temperature of the control part 60 can be made uniform throughout. Thus, the temperature of the sample 99 that is in contact with the control member 60 can also be made uniform throughout. Further, when the temperature of the control member 60 and the temperature of the sample 99 approach each other, the thermocouple 93 can measure the accurate temperature of the sample 99.

すなわち、制御部材60は、ホルダH2の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有することが好ましい。これによって、試料99の温度を迅速に制御することができる。   That is, it is preferable that the control member 60 has a thermal conductivity higher than that of the holder H2. Thereby, the temperature of the sample 99 can be quickly controlled.

本実施形態では、制御部材60は、枠状部61と、傾斜部62とを備えている。この構成は例示である。制御部材60は、例えば平板を45°折り曲げた形状のものであっても良い。   In the present embodiment, the control member 60 includes a frame-shaped portion 61 and an inclined portion 62. This configuration is exemplary. For example, the control member 60 may have a shape obtained by bending a flat plate by 45 °.

[第3の実施形態]
図6は、本発明の第3の実施形態による試料保持装置3の概略構成を示す分解斜視図である。試料保持装置3は、上記第1の実施形態と異なり、制御部材70Aおよび70Bを備えている。
[Third Embodiment]
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the sample holding device 3 according to the third embodiment of the present invention. Unlike the first embodiment, the sample holding device 3 includes control members 70A and 70B.

制御部材70Aおよび70Bは、例えばアルミニウム、銅、鉄で形成されている。制御部材70Aおよび70Bは、板形状であり、中心部にビーム通過口71を含んでいる。   The control members 70A and 70B are made of, for example, aluminum, copper, or iron. The control members 70A and 70B have a plate shape and include a beam passage port 71 at the center.

制御部材70Aおよび70Bは、試料99に接触して配置される。具体的には、制御部材70Aは、試料99の表面に接触して、試料99と表側部材10との間に配置される。制御部材70Bは、試料99の裏面に接触して、試料99と裏側部材20との間に配置される。   Control members 70A and 70B are arranged in contact with sample 99. Specifically, the control member 70 </ b> A contacts the surface of the sample 99 and is disposed between the sample 99 and the front side member 10. The control member 70 </ b> B is disposed between the sample 99 and the back member 20 in contact with the back surface of the sample 99.

表側部材10と制御部材70Aとの間、および裏側部材20と制御部材70Bとの間には、Oリング31および32が配置される。これによって、ホルダH1と試料99との境界がシールされる。ただし、第1の実施形態と同様に、この構成は必須ではない。   O-rings 31 and 32 are arranged between the front side member 10 and the control member 70A and between the back side member 20 and the control member 70B. Thereby, the boundary between the holder H1 and the sample 99 is sealed. However, as in the first embodiment, this configuration is not essential.

[第3の実施形態の効果]
試料保持装置3では、制御部材70Aおよび70Bが、試料99の両面に接触して配置される。制御部材70Aおよび70Bによって、試料99に電場を印加することができる。例えば、制御部材70Aを電位V1に、制御部材70Bを電位V2に接続することによって、試料99の面と交差する方向に電場を印加することができる。または、試料99の面と交差する方向に、電流を流すことができる。電位V1およびV2は、定電位であっても良く、交流電位であっても良く、また、パルスであっても良い。
[Effect of the third embodiment]
In the sample holding device 3, the control members 70 </ b> A and 70 </ b> B are arranged in contact with both surfaces of the sample 99. An electric field can be applied to the sample 99 by the control members 70A and 70B. For example, by connecting the control member 70A to the potential V1 and the control member 70B to the potential V2, an electric field can be applied in a direction intersecting the surface of the sample 99. Alternatively, a current can be passed in a direction that intersects the surface of the sample 99. The potentials V1 and V2 may be constant potentials, AC potentials, or pulses.

この場合、ホルダH1は、電気抵抗の高い材料で形成されていることが好ましい。これによって、試料99に電場を印加するときに、ホルダH1へ漏れ出る電流を少なくすることができる。ホルダH1は、より好ましくは、絶縁体である。   In this case, the holder H1 is preferably formed of a material having high electrical resistance. Thereby, when an electric field is applied to the sample 99, the current leaking to the holder H1 can be reduced. The holder H1 is more preferably an insulator.

一方、制御部材70Aおよび70Bは、電気抵抗の低い材料で形成されていることが好ましい。これによって、制御部材70Aの全体の電位、および制御部材70Bの全体の電位を、それぞれ均一にすることができる。そのため、試料99に、均一な電場を印加することができる。または、試料99に均一な電流を流すことができる。   On the other hand, the control members 70A and 70B are preferably formed of a material having low electrical resistance. Thereby, the entire potential of the control member 70A and the entire potential of the control member 70B can be made uniform. Therefore, a uniform electric field can be applied to the sample 99. Alternatively, a uniform current can be passed through the sample 99.

すなわち、制御部材70Aおよび70Bは、ホルダH1の電気抵抗よりも低い電気抵抗を有することが好ましい。これによって、試料99に均一な電場を印加することができる。または、試料99に均一な電流を流すことができる。   That is, it is preferable that the control members 70A and 70B have an electrical resistance lower than that of the holder H1. Thereby, a uniform electric field can be applied to the sample 99. Alternatively, a uniform current can be passed through the sample 99.

[第4の実施形態]
図7は、本発明の第4の実施形態による試料保持装置4の概略構成を示す分解斜視図である。試料保持装置4は、上記第1の実施形態と異なり、制御部材80を備えている。
[Fourth Embodiment]
FIG. 7 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the sample holding device 4 according to the fourth embodiment of the present invention. Unlike the first embodiment, the sample holding device 4 includes a control member 80.

制御部材80は、板形状であり、中心部にビーム通過口81を含んでいる。制御部材80は、導電部82および83と、絶縁部84とを備えている。絶縁部84は、導電部82と83との間に形成され、導電部82と83とを絶縁する。導電部82および83は、例えばアルミニウムで形成されている。絶縁部84は、例えばエポキシ樹脂やポリエチレンで形成されている。   The control member 80 has a plate shape and includes a beam passage port 81 at the center. The control member 80 includes conductive portions 82 and 83 and an insulating portion 84. The insulating part 84 is formed between the conductive parts 82 and 83 and insulates the conductive parts 82 and 83. The conductive portions 82 and 83 are made of aluminum, for example. The insulating part 84 is made of, for example, epoxy resin or polyethylene.

制御部材80は、試料99に接触して配置される。図7に示すように、制御部材80は、試料99の裏面に接触して、試料99と裏側部材20との間に配置される。制御部材80は、試料99の表面に接触して、試料99と表側部材10との間に配置されても良い。   The control member 80 is disposed in contact with the sample 99. As shown in FIG. 7, the control member 80 is disposed between the sample 99 and the back member 20 in contact with the back surface of the sample 99. The control member 80 may be disposed between the sample 99 and the front side member 10 in contact with the surface of the sample 99.

表側部材10と試料99との間、および裏側部材20と制御部材80との間には、Oリング31および32が配置される。これによって、ホルダH1と試料99との境界がシールされる。ただし、第1の実施形態と同様に、この構成は必須ではない。   O-rings 31 and 32 are disposed between the front side member 10 and the sample 99 and between the back side member 20 and the control member 80. Thereby, the boundary between the holder H1 and the sample 99 is sealed. However, as in the first embodiment, this configuration is not essential.

[第4の実施形態の効果]
試料保持装置4では、制御部材80が、試料99に接触して配置される。制御部材80によって、試料99に電場を印加することができる。例えば、制御部材80の導電部82を電位V1に、導電部83を電位V2に接続することによって、試料99の面内方向に電場を印加することができる。または、試料99の面内方向に、電流を流すことができる。
[Effect of the fourth embodiment]
In the sample holding device 4, the control member 80 is disposed in contact with the sample 99. An electric field can be applied to the sample 99 by the control member 80. For example, the electric field can be applied in the in-plane direction of the sample 99 by connecting the conductive portion 82 of the control member 80 to the potential V1 and the conductive portion 83 to the potential V2. Alternatively, a current can be passed in the in-plane direction of the sample 99.

第3の実施形態と同様に、ホルダH1は、電気抵抗の高い材料で形成されていることが好ましい。また、導電部82および83は、電気抵抗の低い材料で形成されていることが好ましい。すなわち、導電部82および83は、ホルダH1の電気抵抗よりも低い電気抵抗を有することが好ましい。これによって、試料99に均一な電場を印加することができる。または、試料99に均一な電流を流すことができる。   Similar to the third embodiment, the holder H1 is preferably formed of a material having high electrical resistance. Conductive portions 82 and 83 are preferably formed of a material with low electrical resistance. That is, it is preferable that the conductive parts 82 and 83 have an electrical resistance lower than that of the holder H1. Thereby, a uniform electric field can be applied to the sample 99. Alternatively, a uniform current can be passed through the sample 99.

試料保持装置4を変形させた構成を用いて、試料99に磁場を印加することもできる。例えば、導電部82に代えてS極、導電部83に代えてN極を配置することで、試料99の面内方向に磁場を印加することができる。   A magnetic field can also be applied to the sample 99 using a configuration in which the sample holding device 4 is deformed. For example, the magnetic field can be applied in the in-plane direction of the sample 99 by arranging the S pole instead of the conductive part 82 and the N pole instead of the conductive part 83.

[第5の実施形態]
図8は、本発明の第5の実施形態による試料保持装置5の概略構成を示す分解斜視図である。試料保持装置5は、上記第1の実施形態と異なり、制御部材80Aおよび80Bを備えている。
[Fifth Embodiment]
FIG. 8 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the sample holding device 5 according to the fifth embodiment of the present invention. Unlike the first embodiment, the sample holding device 5 includes control members 80A and 80B.

制御部材80Aおよび80Bは、制御部材80と同一の構成である。   The control members 80A and 80B have the same configuration as the control member 80.

制御部材80Aおよび80Bは、試料99に接触して配置される。具体的には、制御部材80Aは、試料99の表面に接触して、試料99と表側部材10との間に配置される。制御部材80Bは、試料99の裏面に接触して、試料99と裏側部材20との間に配置される。   Control members 80A and 80B are arranged in contact with sample 99. Specifically, the control member 80 </ b> A contacts the surface of the sample 99 and is arranged between the sample 99 and the front side member 10. The control member 80B is disposed between the sample 99 and the back side member 20 in contact with the back surface of the sample 99.

表側部材10と制御部材80Aとの間、および裏側部材20と制御部材80Bとの間には、Oリング31および32が配置される。これによって、ホルダH1と試料99との境界がシールされる。ただし、第1の実施形態と同様に、この構成は必須ではない。   O-rings 31 and 32 are arranged between the front side member 10 and the control member 80A and between the back side member 20 and the control member 80B. Thereby, the boundary between the holder H1 and the sample 99 is sealed. However, as in the first embodiment, this configuration is not essential.

[第5の実施形態の効果]
試料保持装置5では、制御部材80Aおよび80Bが、試料99の両面に接触して配置される。制御部材80Aおよび80Bによって、試料99に電場を印加することができる。例えば、制御部材80Aの導電部82を電位V1に、導電部83を電位V2に接続する。さらに、制御部材80Bの導電部82を電位V3に、導電部83を電位V4に接続する。これによって、試料99の面と交差する方向、および面内方向に電場を印加することができる。または、試料99の面と交差する方向、および面内方向に電流を流すことができる。電位V1〜V4のうちのいくつかが、等しくても良い。
[Effect of Fifth Embodiment]
In the sample holding device 5, the control members 80 </ b> A and 80 </ b> B are arranged in contact with both surfaces of the sample 99. An electric field can be applied to the sample 99 by the control members 80A and 80B. For example, the conductive portion 82 of the control member 80A is connected to the potential V1, and the conductive portion 83 is connected to the potential V2. Further, the conductive portion 82 of the control member 80B is connected to the potential V3, and the conductive portion 83 is connected to the potential V4. Thereby, an electric field can be applied in the direction intersecting the surface of the sample 99 and in the in-plane direction. Alternatively, a current can be passed in the direction intersecting the surface of the sample 99 and in the in-plane direction. Some of the potentials V1 to V4 may be equal.

第3の実施形態と同様に、制御部材80Aおよび80Bの導電部82および83は、ホルダH1の電気抵抗よりも低い電気抵抗を有することが好ましい。これによって、試料99に均一な電場を印加することができる。または、試料99に均一な電流を流すことができる。   Similar to the third embodiment, the conductive portions 82 and 83 of the control members 80A and 80B preferably have an electrical resistance lower than the electrical resistance of the holder H1. Thereby, a uniform electric field can be applied to the sample 99. Alternatively, a uniform current can be passed through the sample 99.

試料保持装置5を変形させた構成を用いて、試料99に磁場を印加することもできる。例えば、制御部材80Aおよび80Bの導電部82および83に代えて、それぞれS極とN極とを配置することで、試料99の面と交差する方向、および面内方向に磁場を印加することができる。   A magnetic field can also be applied to the sample 99 using a configuration in which the sample holding device 5 is deformed. For example, instead of the conductive portions 82 and 83 of the control members 80A and 80B, by arranging the S pole and the N pole, respectively, a magnetic field can be applied in the direction intersecting the surface of the sample 99 and in the in-plane direction. it can.

なお、試料保持装置1〜5の全体にコイルを巻きつけることによって、試料99に磁場を印加することもできる。   A magnetic field can also be applied to the sample 99 by winding a coil around the entire sample holding device 1-5.

上記では、制御部材60、70A、70B、80、80A、および80Bを用いて、試料99の温度、ならびに試料99に印加する電場および磁場を制御する例を説明した。制御部材はこの他に、試料99に張力を付与するなど、機械的な外力を制御するように構成することも可能である。   In the above description, the example in which the temperature of the sample 99 and the electric and magnetic fields applied to the sample 99 are controlled using the control members 60, 70A, 70B, 80, 80A, and 80B has been described. In addition to this, the control member can be configured to control a mechanical external force such as applying tension to the sample 99.

[試料分析方法の具体例]
試料保持装置1〜5による試料分析方法の具体例を説明する。本発明による試料分析方法は、以下の具体例に限定されない。図9〜図11は、試料分析方法の一例を説明するための図であって、試料保持装置2の模式的断面図である。これらの図面では、試料保持装置2を用いて測定を行う場合を例示している。しかし、試料保持装置1、および試料保持装置3〜5を用いて測定を行う場合も、同様である。
[Specific example of sample analysis method]
A specific example of the sample analysis method using the sample holding devices 1 to 5 will be described. The sample analysis method according to the present invention is not limited to the following specific examples. 9 to 11 are diagrams for explaining an example of the sample analysis method, and are schematic cross-sectional views of the sample holding device 2. In these drawings, a case where measurement is performed using the sample holding device 2 is illustrated. However, the same applies to the measurement using the sample holding device 1 and the sample holding devices 3 to 5.

図9に示す例では、試料99の裏面側、具体的には、ビーム出射口26、裏側環境連絡通路27、および裏側環境室28が、水Wで満たされている。そして、表側環境連絡通路17の開口部に閉塞型蒸散計94が配置されている。この例では、閉塞型蒸散計94によって、試料99の水分蒸散量を測定することができる。そして、ビーム入射口16およびビーム出射口26によって、ビーム照射による測定を水分蒸散量の測定と並行して行うことができる。   In the example shown in FIG. 9, the back side of the sample 99, specifically, the beam emission port 26, the back side environment communication passage 27, and the back side environment chamber 28 are filled with water W. A closed transpiration meter 94 is disposed at the opening of the front-side environment communication passage 17. In this example, the amount of moisture transpiration of the sample 99 can be measured by the closed type transpiration meter 94. The beam incident port 16 and the beam exit port 26 can perform measurement by beam irradiation in parallel with the measurement of the moisture transpiration amount.

なお、試料99の表面側を水Wで満たし、裏側環境連絡通路27の開口部に閉塞型蒸散計94を配置しても良い。   Note that the surface side of the sample 99 may be filled with water W, and the closed-type transpiration meter 94 may be disposed at the opening of the back-side environment communication passage 27.

図10に示す例では、図9に示す例と同様に、試料99の裏面側が、水Wで満たされている。一方、表側環境連絡通路17の開口部には、開放型蒸散計95が配置されている。表側部材40には、表側環境室18に通じるように、第2環境連絡通路19が追加されている。図10に示す例では、第2環境連絡通路19から乾燥窒素を吹き込む。または、第2環境連絡通路19を追加せず、表側環境連絡通路17に送気管を挿入してそこから乾燥窒素を吹き込むようにしても良い。これによって、開放型蒸散計95は、試料99の水分蒸散量を測定する。そして、ビーム入射口16およびビーム出射口26によって、ビーム照射による測定を水分蒸散量の測定と並行して行うことができる。   In the example shown in FIG. 10, the back side of the sample 99 is filled with water W as in the example shown in FIG. 9. On the other hand, an open transpiration meter 95 is disposed at the opening of the front-side environment communication passage 17. A second environment communication passage 19 is added to the front member 40 so as to communicate with the front environment chamber 18. In the example shown in FIG. 10, dry nitrogen is blown from the second environment communication passage 19. Alternatively, the second environment communication passage 19 may not be added, and an air supply pipe may be inserted into the front side environment communication passage 17 and dry nitrogen may be blown from there. Thereby, the open transpiration meter 95 measures the moisture transpiration amount of the sample 99. The beam incident port 16 and the beam exit port 26 can perform measurement by beam irradiation in parallel with the measurement of the moisture transpiration amount.

図10に示す例においても、試料99の表面側を水Wで満たし、裏側環境連絡通路27の開口部に開放型蒸散計95を配置しても良い。この場合は、裏側部材50に設けた第2環境連絡通路(図示せず)、または裏側環境連絡通路27に挿入した送気管から乾燥窒素を吹き込む。   Also in the example shown in FIG. 10, the surface side of the sample 99 may be filled with water W, and the open transpiration meter 95 may be disposed at the opening of the back side environment communication passage 27. In this case, dry nitrogen is blown from a second environment communication passage (not shown) provided in the back side member 50 or an air supply pipe inserted into the back side environment communication passage 27.

図11に示す例では、試料99の表面側、具体的には、ビーム入射口16、表側環境連絡通路17、および表側環境室18が、水Wで満たされている。そして、表側環境連絡通路17の開口部には、超音波素子96が配置されている。超音波素子96によって、試料99の表面を超音波に暴露させることができる。そして、ビーム入射口16およびビーム出射口26によって、ビーム照射による測定を超音波暴露と並行して行うことができる。   In the example shown in FIG. 11, the surface side of the sample 99, specifically, the beam incident port 16, the front-side environment communication passage 17, and the front-side environment chamber 18 are filled with water W. An ultrasonic element 96 is disposed in the opening of the front environment communication passage 17. With the ultrasonic element 96, the surface of the sample 99 can be exposed to ultrasonic waves. The beam entrance 16 and the beam exit 26 can perform measurement by beam irradiation in parallel with ultrasonic exposure.

なお、試料99の裏面側を水Wで満たし、裏側環境連絡通路27の開口部に超音波素子96を配置しても良い。   Note that the back side of the sample 99 may be filled with water W, and the ultrasonic element 96 may be disposed in the opening of the back side environment communication passage 27.

本発明に特に好適な試料は例えば、生物薄膜試料もしくは高分子シート、またはこれらに塗布された固体もしくは液体である。生物薄膜試料は例えば、哺乳類もしくは鳥類の皮膚、爬虫類、両生類、もしくは魚類の鱗、または植物の皮である。高分子シートは例えば、セロファンテープまたはラップである。これらに塗布された固体または液体は例えば、皮膚上に塗布された化粧品もしくは製剤、または基板に塗布されたコーティング剤である。   Particularly suitable samples for the present invention are, for example, biological thin film samples or polymer sheets, or solids or liquids applied to them. The biofilm sample is, for example, mammalian or avian skin, reptiles, amphibians, or fish scales, or plant skins. The polymer sheet is, for example, cellophane tape or wrap. The solid or liquid applied to these is, for example, a cosmetic or formulation applied on the skin, or a coating applied to the substrate.

[皮膚角層の構造解析]
皮膚角層の重要な機能は、生体と外界とを隔離し、生体の恒常性を維持することである。この機能は皮膚バリア機能と呼ばれる。荒れ肌や乾燥肌、アトピー性皮膚炎などでは、バリア機能が低下しており、したがって症状改善のためには、外部から医薬品や化粧品を塗布し、バリア機能を補うことが必要となる。逆に、皮膚バリア機能は、経皮吸収型の医薬品または化粧品を体内へ浸透させたい場合には、大きな障壁となる。近年、皮膚角層に放射光を照射すると、細胞脂質由来と思われる散乱ピークが観察されることが見出された。この情報の下に、バリア機能に重要な役割を果たす角層構造の解明、さらには様々な製剤と角層との相互作用の解析が試みられている。本発明によれば、生体皮膚を様々な溶液に暴露したときの角層の構造変化を、リアルタイムで解析することができる。
[Structural analysis of stratum corneum]
An important function of the skin stratum corneum is to isolate the living body from the outside world and maintain the homeostasis of the living body. This function is called the skin barrier function. In rough skin, dry skin, atopic dermatitis and the like, the barrier function is lowered. Therefore, in order to improve the symptoms, it is necessary to supplement the barrier function by applying medicines and cosmetics from the outside. On the other hand, the skin barrier function is a great barrier when it is desired to penetrate a transdermal drug or cosmetic into the body. In recent years, it has been found that when the skin stratum corneum is irradiated with synchrotron radiation, a scattering peak thought to be derived from cellular lipids is observed. Based on this information, attempts have been made to elucidate the stratum corneum structure that plays an important role in the barrier function, and to analyze the interaction between various preparations and the stratum corneum. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the structural change of a stratum corneum when living body skin is exposed to various solutions can be analyzed in real time.

[医薬品や化粧品製剤の経皮浸透過程における角層構造変化の解析]
皮膚上に塗布された経皮吸収型の医薬品や化粧品は、角層と相互作用しながら角層内を透過する。本来角層は、異物の侵入に対して防御壁として機能するが、製剤の構造を工夫し、角層と積極的に相互作用させることで、効率よく体内に浸透させることが可能となる。本試料保持装置を用いることで、経皮吸収過程に生じる角層の構造変化、さらにはその温度特性を解析することが可能となり、高吸収型の製剤開発に役立てることができる。また化粧品は、皮膚に塗布された場合、皮膚表面で新たな構造体を形成することも推測される。本発明によれば、皮膚に塗布された化粧品または製剤そのものの構造変化を、リアルタイムで観察することも可能となる。
[Analysis of stratum corneum structure change during percutaneous penetration of pharmaceuticals and cosmetics]
A transdermal drug or cosmetic applied on the skin permeates through the stratum corneum while interacting with the stratum corneum. The stratum corneum originally functions as a defense wall against the invasion of foreign substances, but it can be efficiently penetrated into the body by devising the structure of the preparation and actively interacting with the stratum corneum. By using this sample holding device, it becomes possible to analyze the structural change of the stratum corneum that occurs in the percutaneous absorption process, and also the temperature characteristics thereof, which can be useful for the development of a high-absorption type preparation. It is also speculated that cosmetics form new structures on the skin surface when applied to the skin. According to the present invention, it is also possible to observe in real time the structural change of a cosmetic or formulation itself applied to the skin.

[イオン導入またはエレクトロポレーション]
本発明による試料保持装置は、試料をシート状のまま保持する。そのため、試料の表面に電極などを配置できる。これによって、イオン導入またはエレクトロポレーション時に生じる構造変化を解析することができる。
[Iontophoresis or electroporation]
The sample holding device according to the present invention holds a sample in a sheet form. Therefore, an electrode or the like can be arranged on the surface of the sample. As a result, structural changes that occur during ion introduction or electroporation can be analyzed.

[トライポロジー分野への応用]
高密度のハードディスクでは、ディスクとヘッドとを近づけなければならない。そのため、ディスクとヘッドとの間の潤滑が、重要な課題となっている。そこで、炭素膜または潤滑油膜をディスク表面に塗布して、ディスクおよびヘッドの摩耗を抑制している。性能の高い表面処理を行うためには、表面の構造解析が必要である。本発明によれば、基板表面に塗布された物質の構造解析を行うことができる。
[Application to the field of tribology]
In a high-density hard disk, the disk and the head must be brought close to each other. Therefore, lubrication between the disk and the head is an important issue. Therefore, a carbon film or a lubricating oil film is applied to the disk surface to suppress wear of the disk and head. In order to perform surface treatment with high performance, structural analysis of the surface is necessary. According to the present invention, the structure analysis of the substance applied to the substrate surface can be performed.

[高分子フィルムの開発]
本発明によれば、高分子フィルムの耐薬品性評価または薬品暴露時に生じる構造変化の、ダイナミック構造解析を行うことができる。
[Development of polymer film]
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dynamic structural analysis of the structural change which arises at the time of chemical resistance evaluation or chemical exposure of a polymer film can be performed.

以上、本発明についての実施形態を説明したが、本発明は上述の各実施形態のみに限定されず、発明の範囲内で種々の変更が可能である。また、各実施形態は、適宜組み合わせて実施することが可能である。   As mentioned above, although embodiment about this invention was described, this invention is not limited only to each above-mentioned embodiment, A various change is possible within the scope of the invention. Moreover, each embodiment can be implemented in combination as appropriate.

以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明する。なお、この実施例は本発明を限定するものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples. In addition, this Example does not limit this invention.

第2の実施形態による試料保持装置2を用いて、ヒトおよびマウスの皮膚から採取した角層の経皮水分蒸散量(TEWL:TransEpidermal Water Loss)と、脂質分子の秩序性との相関を調査した。   Using the sample holding device 2 according to the second embodiment, the correlation between the transdermal water loss (TEWL) of the stratum corneum collected from human and mouse skin and the order of lipid molecules was investigated. .

測定は、図9に示す配置で行った。試料99(角層)の裏面側、具体的には、ビーム出射口26、裏側環境連絡通路27、および裏側環境室28を、水Wで満たした。そして、表側環境連絡通路17の開口部に閉塞型蒸散計94を配置して、試料99のTEWLを測定した。TEWLの測定と並行して、ビーム入射光16から単色化された放射光X線を試料99へ入射し、ビーム出射口26から出射される回折光を観察した。試料99の温度を、20〜70℃に変化させてこれらの測定を行った。   The measurement was performed in the arrangement shown in FIG. The back side of the sample 99 (corner layer), specifically, the beam exit port 26, the back side environment communication passage 27, and the back side environment chamber 28 were filled with water W. Then, a closed transpiration meter 94 was placed in the opening of the front-side environment communication passage 17 and the TEWL of the sample 99 was measured. In parallel with the TEWL measurement, synchrotron radiation X-rays monochromatized from the beam incident light 16 were incident on the sample 99, and the diffracted light emitted from the beam exit 26 was observed. These measurements were performed by changing the temperature of the sample 99 to 20 to 70 ° C.

結果を図12および図13に示す。図12および図13は、横軸に試料99の温度(℃)を、縦軸に面間隔0.41nm付近の回折X線の積分強度(任意単位)およびTEWL(任意単位)を示したグラフである。図12はヒト角層の測定結果であり、図13はマウス角層の測定結果である。図12および図13に示すように、ヒト角層およびマウス角層の両方において、TEWLと脂質分子の秩序性との間に相関が認められた。   The results are shown in FIGS. FIG. 12 and FIG. 13 are graphs in which the horizontal axis indicates the temperature (° C.) of the sample 99 and the vertical axis indicates the integrated intensity (arbitrary unit) and TEWL (arbitrary unit) of the diffracted X-ray near the surface interval of 0.41 nm. is there. FIG. 12 shows the measurement results of the human stratum corneum, and FIG. 13 shows the measurement results of the mouse stratum corneum. As shown in FIGS. 12 and 13, there was a correlation between TEWL and lipid molecule ordering in both the human and mouse stratum corneum.

本発明によって、試料の表裏の面の環境を分離して、ビーム照射による測定が可能となった。その結果、TEWLと脂質分子の秩序性との相関を明らかにした。   According to the present invention, the environment of the front and back surfaces of the sample can be separated and measurement by beam irradiation becomes possible. As a result, the correlation between TEWL and the order of lipid molecules was clarified.

本発明は、試料保持装置および試料分析方法として産業上の利用が可能である。   The present invention can be industrially used as a sample holding device and a sample analysis method.

1〜5 試料保持装置
H1,H2 ホルダ
10,40 表側部材
12 凹部
13 溝
14,15 貫通孔
16 ビーム入射口
17 表側環境連絡通路
18 表側環境室
20,50 裏側部材
21 本体部
22 凸部
23 溝
24,25 貫通孔
26 ビーム出射口
27 裏側環境連絡通路
28 裏側環境室
31,32 Oリング
33,34 高分子フィルム
60,70,80 制御部材
99 試料
1 to 5 Sample holding device H1, H2 Holder 10, 40 Front side member 12 Recess 13 Groove 14, 15 Through hole 16 Beam entrance 17 Front side environment communication passage 18 Front side environment chamber 20, 50 Back side member 21 Main body part 22 Projection part 23 Groove 24, 25 Through hole 26 Beam exit port 27 Back side environment communication passage 28 Back side environment chamber 31, 32 O-ring 33, 34 Polymer film 60, 70, 80 Control member 99 Sample

Claims (10)

試料を保持するホルダを備え、
前記ホルダは、
前記試料の表面に接するように形成される表側環境室と、
前記試料の裏面に接するように形成される裏側環境室と、
前記試料へビームを入射させるためのビーム入射口と、
前記試料からビームを出射させるためのビーム出射口とを含む、試料保持装置。
A holder for holding the sample;
The holder is
A front-side environment chamber formed so as to be in contact with the surface of the sample;
A back environmental chamber formed so as to be in contact with the back surface of the sample;
A beam entrance for allowing a beam to enter the sample;
A sample holding device including a beam exit for emitting a beam from the sample.
請求項1に記載の試料保持装置であって、
前記ホルダと前記試料との境界がシールされる、試料保持装置。
The sample holding device according to claim 1,
A sample holding device in which a boundary between the holder and the sample is sealed.
請求項1または2に記載の試料保持装置であって、
前記ホルダはさらに、
前記表側環境室および前記裏側環境室の一方へ通じ、外部へ開口する環境連絡通路を含む、試料保持装置。
The sample holding device according to claim 1 or 2,
The holder further includes
A sample holding device including an environment communication passage that leads to one of the front-side environment chamber and the back-side environment chamber and opens to the outside.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料保持装置であって、
前記ホルダはさらに、
前記試料の表側に配置される表側部材と、
前記試料の裏側に配置され、前記表側部材に着脱可能な裏側部材とを含み、
前記表側環境室は前記表側部材内に形成され、前記裏側環境室は前記裏側部材内に形成され、前記ビーム入射口および前記ビーム出射口の一方は前記表側部材内に形成され、前記ビーム入射口および前記ビーム出射口の他方は前記裏側部材内に形成される、試料保持装置。
The sample holding device according to any one of claims 1 to 3,
The holder further includes
A front member disposed on the front side of the sample;
A back side member disposed on the back side of the sample and detachable from the front side member;
The front-side environment chamber is formed in the front-side member, the back-side environment chamber is formed in the back-side member, and one of the beam incident port and the beam emission port is formed in the front-side member, and the beam incident port And the other of the beam exit ports is formed in the back member.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料保持装置であってさらに、
前記試料と接触して配置され、前記試料の実験条件を制御する制御部材を備える、試料保持装置。
The sample holding device according to any one of claims 1 to 4, further comprising:
A sample holding device provided with a control member arranged in contact with the sample and controlling an experimental condition of the sample.
請求項5に記載の試料保持装置であって、
前記制御部材は、前記ホルダの熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する、試料保持装置。
The sample holding device according to claim 5,
The sample holding device, wherein the control member has a thermal conductivity higher than that of the holder.
請求項5に記載の試料保持装置であって、
前記制御部材は、前記ホルダの電気抵抗よりも低い電気抵抗を有する、試料保持装置。
The sample holding device according to claim 5,
The sample holding device, wherein the control member has an electrical resistance lower than that of the holder.
試料の表面に接する表側環境と前記試料の裏面に接する裏側環境とを分離して前記試料を保持する工程と、
前記試料へビームを入射し、前記試料から出射するビームを観察する工程とを備える、試料分析方法。
Separating the front-side environment in contact with the surface of the sample and the back-side environment in contact with the back surface of the sample, and holding the sample;
And a step of observing the beam emitted from the sample and entering the sample.
請求項8に記載の試料分析方法であってさらに、
前記表側環境および前記裏側環境の少なくとも一方を測定する工程を備える、試料分析方法。
The sample analysis method according to claim 8, further comprising:
A sample analysis method comprising a step of measuring at least one of the front side environment and the back side environment.
請求項8または9に記載の試料分析方法であってさらに、
前記表側環境および前記裏側環境の少なくとも一方を制御する工程を備える、試料分析方法。
The sample analysis method according to claim 8 or 9, further comprising:
A sample analysis method comprising a step of controlling at least one of the front side environment and the back side environment.
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