JP2013201284A - 配列用マスク及び半田バンプの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定の配列パターンに対応した通孔12を備え、通孔12内に半田ボール2を振り込むことで、ワーク3上の所定位置に半田ボール2を搭載する配列用マスクであって、通孔12は、単通孔13と、連続通孔14とを有することを特徴とする。
【選択図】図8
Description
図1乃至図3に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクを示す。この配列用マスク(以下、単にマスクと記す)1は、半田バンプ形成における半田ボール2の配列工程において使用に供されるものである。図2における符号3は、マスク1による半田ボール2の搭載対象となるワークを示す。このワーク3にはウエハや基板があるが、例えば、ガラスエポキシ基板のベース4に複数個の半導体チップ5を搭載し、ワイヤボンドで配線した後トランスファモールド封止してなるものであり、半導体チップ5を囲むように、ワーク3の上面には、入出力端子である電極6が所定のパターンで形成されている。なお、ワーク3は、バンプの形成後に個片に切断され、個々のLSIチップとされる。
続いて、第1実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る配列用マスクについて説明する。なお、上記構成と同一の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
2 半田ボール
3 ワーク
6 電極
10 マスク本体
12 通孔
13 単通孔
14 連続通孔
15 突起部
15a 突起部
15b 突起部
30 母型
31 フォトレジスト層
34 一次パターンレジスト
35 一次電鋳層
36 フォトレジスト層
38 二次パターンレジスト
39 二次電鋳層
50 ピッチ調整部
51 開口
52 凹部
Claims (5)
- 所定の配列パターンに対応した通孔(12)を備え、前記通孔(12)内に半田ボール(2)を振り込むことで、ワーク(3)上の所定位置に前記半田ボール(2)を搭載する配列用マスクであって、
前記通孔(12)は、単通孔(13)と、連続通孔(14)とを有することを特徴とする配列用マスク。 - 前記連続通孔(14)は、前記単通孔(13)が複数連ねて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の配列用マスク。
- 前記連続通孔(14)は、前記単通孔(13)を直線状に2つ連ねてだるま状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の配列用マスク。
- 前記連続通孔(14)は、前記単通孔(13)を円周状に3つ連ねてクローバー状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の配列用マスク。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の配列用マスクを用いてワーク(3)上の所定位置に高さの異なる半田バンプを形成することを特徴とする半田バンプの形成方法。
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