JP2013197218A - Electronic component manufacturing method and electronic component - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component manufacturing method which excels in workability when pasted to a body and an electronic component.SOLUTION: The electronic component manufacturing method includes in the order mentioned: an adhesive layer lamination step in which an adhesive layer fitted with a heat resistant separator is laminated on a second metal layer in a wiring board material having a first metal layer for circuit formation, an insulation layer and the second metal layer laminated thereon in that order, or a wiring board having a metal circuit layer with a circuit formed from the first metal layer, an insulation layer and the second metal layer laminated thereon in that order; a step in which, if the wiring board material was used in the adhesive layer lamination step, a circuit is formed from the first metal layer for circuit formation to fabricate a metal circuit layer after the adhesive layer lamination step and thereby turns the wiring board material into a wiring board; a semiconductor component mounting step in which semiconductor components are mounted in place on the metal circuit layer; and a pasting step in which the heat resistant separator is separated from the adhesive layer at a boundary therewith and a body is pasted onto the adhesive layer.

Description

本発明は、電子部品の製造方法、および電子部品に関する。   The present invention relates to an electronic component manufacturing method and an electronic component.

発光素子としてLED(発光ダイオード)を実装する配線板は、液晶ディスプレイのバックライトなどの用途で広く用いられている。このような配線板にはLEDの発する熱を効率的に外部に逃がすことが求められるため、回路層とは反対側の面(以下、「裏面」ともいう)にアルミ、銅などの金属板を片面に配したいわゆる金属ベース配線板が使用されることが多い。通常、金属ベース配線板は、熱を遅滞なく伝導し、取り除くため、金属等からなる筐体に両面粘着テープを介して貼り付けられることが行われている。   A wiring board on which an LED (light emitting diode) is mounted as a light emitting element is widely used in applications such as a backlight of a liquid crystal display. Since such a wiring board is required to efficiently release the heat generated by the LED to the outside, a metal plate such as aluminum or copper is provided on the surface opposite to the circuit layer (hereinafter also referred to as “back surface”). A so-called metal base wiring board arranged on one side is often used. Usually, in order to conduct and remove heat without delay, the metal base wiring board is affixed to a casing made of metal or the like via a double-sided adhesive tape.

金属ベース配線板に使用される金属板は、配線板の部材としては比較的高価であり、金属板の厚みが厚くなると、材料費が大きくなるほか、重量増、熱抵抗の増大などの課題が多くなる傾向にある。そのため、薄い金属板を使用することが軽量化、熱抵抗低減、コスト削減の点で好ましい。しかし、金属板が薄いと、フレキシブルになりすぎるため、回路加工、組立時の作業性が悪化する傾向にある。そのため、300μm以下の金属板を使用することはほとんど行われていない。   The metal plate used for the metal base wiring board is relatively expensive as a member of the wiring board. When the thickness of the metal plate is increased, the material cost increases, and there are problems such as an increase in weight and an increase in thermal resistance. It tends to increase. Therefore, it is preferable to use a thin metal plate in terms of weight reduction, thermal resistance reduction, and cost reduction. However, if the metal plate is thin, it becomes too flexible, so that the workability during circuit processing and assembly tends to deteriorate. For this reason, the use of a metal plate of 300 μm or less is hardly performed.

またこのような薄い配線板では、回路加工時に裏面の金属箔を保護するために、レジスト、保護フィルムなどを設置することがあるが、回路加工後にこれらを剥離する際に、配線板が変形してしまうなどの課題があった。このような変形を防止するために、スティフナなどの支持体あるいは裏打ち材が付設される場合があるが、これらはコストアップの原因になっていた。   In such a thin wiring board, a resist, a protective film, etc. may be installed to protect the metal foil on the back side during circuit processing. However, when these are peeled after circuit processing, the wiring board is deformed. There were problems such as. In order to prevent such deformation, a support such as a stiffener or a backing material may be attached, which has been a cause of cost increase.

また、金属ベース配線板は、部品実装後、筐体に両面粘着テープ等を介して貼り付けられる。しかし、部品実装した基板は表面に該部品が突出して設置されているため、部品を強く押すと破壊される可能性がある。そのため、金属ベース配線板を筐体に貼り付ける際には部品が配置されていない部分を軽く押して貼り付けることになり、十分な密着性を得ることが難しい。また、密着性の不良は熱抵抗を増大させることになる。ここで、密着性を保つために、厚い両面粘着テープを使用する方法が考えられるが、これにより熱抵抗を悪化させる傾向にある。   Further, the metal base wiring board is attached to the housing via a double-sided adhesive tape or the like after component mounting. However, since the component is mounted on the surface of the substrate on which the component is mounted, there is a possibility that the component will be destroyed if the component is strongly pressed. Therefore, when a metal base wiring board is affixed to a housing, a portion where no parts are arranged is lightly pressed and affixed, and it is difficult to obtain sufficient adhesion. Also, poor adhesion increases thermal resistance. Here, in order to maintain adhesiveness, a method using a thick double-sided pressure-sensitive adhesive tape can be considered, but this tends to deteriorate the thermal resistance.

上記に関連して、金属ベース配線板における配線板とは反対面側に、粘着剤層と、金属箔又は高分子材料を積層した金属箔のセパレータを設置する技術が開示され、耐リフロー性、耐洗浄性に優れるとされている(例えば、特許文献1参照)。
また同様にセパレータとして、塩化ビニリデン系共重合体膜で被覆した紙を用いる技術(例えば、特許文献2参照)や、セラミックスと紙からなる複合材料を用いる技術(例えば、特許文献3参照)が開示され、耐リフロー性、耐洗浄性、打ち抜き性に優れるとされている。
さらにセパレータとしてガラスやセラミックスを用いる技術が開示され、耐熱性や耐エッチング性に優れるとされている(例えば、特許文献4参照)。
In relation to the above, a technique for disposing a pressure-sensitive adhesive layer and a metal foil separator in which a metal foil or a polymer material is laminated on the side opposite to the wiring board in the metal base wiring board is disclosed. It is said that it is excellent in washing | cleaning resistance (for example, refer patent document 1).
Similarly, a technique using paper coated with a vinylidene chloride copolymer film as a separator (see, for example, Patent Document 2) and a technique using a composite material made of ceramics and paper (see, for example, Patent Document 3) are disclosed. It is said to be excellent in reflow resistance, cleaning resistance, and punchability.
Furthermore, a technique using glass or ceramics as a separator is disclosed, and is excellent in heat resistance and etching resistance (see, for example, Patent Document 4).

特開平8−64919号公報JP-A-8-64919 特開平8−222818号公報JP-A-8-222818 特許第4480814号公報Japanese Patent No. 4480814 特許第4178869号公報Japanese Patent No. 4178869

しかしながら、特許文献1〜4に記載の技術では、筐体に貼り付ける際の作業性が十分とはいえない場合があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、筐体に貼り付ける際の作業性に優れる電子部品の製造方法、および電子部品を提供することを課題とする。
However, in the techniques described in Patent Documents 1 to 4, there are cases where the workability at the time of attaching to the housing is not sufficient.
This invention is made | formed in view of the above, and makes it a subject to provide the manufacturing method of an electronic component excellent in workability | operativity at the time of affixing on a housing | casing, and an electronic component.

本発明は以下の通りである。
<1> 回路形成用の第一の金属層、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板材料における前記第二の金属層に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する、または粘着剤層を積層した後に耐熱性セパレータを積層する粘着剤層積層工程と、
前記粘着剤層積層工程の後で、前記回路形成用の第一の金属層から回路を形成して金属回路層を作製し、配線板材料から配線板とする工程と、
前記金属回路層上に半導体部品を実装する半導体部品実装工程と、
前記耐熱性セパレータを剥離して、前記粘着剤層上に筐体を貼付する貼付工程と、
を含む電子部品の製造方法。
The present invention is as follows.
<1> A pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator is laminated on the second metal layer in the wiring board material in which the first metal layer for circuit formation, the insulating layer, and the second metal layer are laminated in this order. Or the pressure-sensitive adhesive layer laminating step of laminating the heat-resistant separator after laminating the pressure-sensitive adhesive layer,
After the pressure-sensitive adhesive layer laminating step, forming a circuit from the first metal layer for forming the circuit to produce a metal circuit layer, and using the wiring board material as a wiring board;
A semiconductor component mounting step of mounting a semiconductor component on the metal circuit layer;
An affixing step of peeling the heat-resistant separator and affixing a housing on the adhesive layer;
Of electronic parts including

<2> 金属回路、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板における前記第二の金属層に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する、または粘着剤層を積層した後に耐熱性セパレータを積層する粘着剤層積層工程と、
前記金属回路層上に半導体部品を実装する半導体部品実装工程と、
前記耐熱性セパレータを剥離して、前記粘着剤層上に筐体を貼付する貼付工程と、
を含む電子部品の製造方法。
<2> After laminating the pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator on the second metal layer in the wiring board in which the metal circuit, the insulating layer, and the second metal layer are laminated in this order, or after laminating the pressure-sensitive adhesive layer A pressure-sensitive adhesive layer laminating step for laminating a heat-resistant separator;
A semiconductor component mounting step of mounting a semiconductor component on the metal circuit layer;
An affixing step of peeling the heat-resistant separator and affixing a housing on the adhesive layer;
Of electronic parts including

<3> 前記貼付工程において、前記配線板に付された前記粘着剤層と前記筐体とを対向させ、前記配線板の長尺方向の一方の端部を前記筐体に付け、もう一方の他端部は前記筐体から離し、前記他端部を徐々に前記筐体に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、前記粘着剤層と前記筐体とを貼付する前記<1>又は<2>に記載の電子部品の製造方法。 <3> In the affixing step, the adhesive layer attached to the wiring board and the casing are opposed to each other, and one end in the longitudinal direction of the wiring board is attached to the casing. The other end is separated from the casing, and while the other end is gradually approaching the casing, pressure is applied from the one end toward the other end, and the adhesive layer and the casing are The method for producing an electronic component according to <1> or <2> to be attached.

<4> 前記耐熱性セパレータが、更に耐熱性樹脂層を有する前記<1>〜<3>のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 <4> The method for manufacturing an electronic component according to any one of <1> to <3>, wherein the heat resistant separator further includes a heat resistant resin layer.

<5> 前記耐熱性セパレータが、基材として紙を有する前記<1>〜<4>のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 <5> The method for manufacturing an electronic component according to any one of <1> to <4>, wherein the heat-resistant separator includes paper as a base material.

<6> 前記耐熱性セパレータが、基材としてアルミニウム箔及び銅箔から選択される少なくとも1種の金属箔を有する前記<1>〜<4>のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 <6> The method for producing an electronic component according to any one of <1> to <4>, wherein the heat-resistant separator has at least one metal foil selected from an aluminum foil and a copper foil as a base material. .

<7> 前記配線板の平均厚さが50μm以上500μm以下である、前記<1>〜<6>のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 <7> The method for manufacturing an electronic component according to any one of <1> to <6>, wherein an average thickness of the wiring board is 50 μm or more and 500 μm or less.

<8> 前記<1>〜<7>のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法を用いて作製される電子部品。 <8> An electronic component manufactured using the method for manufacturing an electronic component according to any one of <1> to <7>.

本発明によれば、筐体に貼り付ける際の作業性に優れる電子部品の製造方法、および電子部品を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of an electronic component excellent in workability | operativity at the time of affixing on a housing | casing, and an electronic component can be provided.

配線板材料の断面図例である。It is an example of a sectional view of wiring board material. 配線板の断面図例である。It is an example of a sectional view of a wiring board. 回路基板の断面図例である。It is an example of a sectional view of a circuit board. 本発明の電子部品の製造方法の工程の一例である。It is an example of the process of the manufacturing method of the electronic component of this invention. 本発明における耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する様子を説明する図である。It is a figure explaining a mode that the adhesive layer with a heat resistant separator in this invention is laminated | stacked. (A)配線板材料積層体、(B)部品実装配線板積層体、および(C)電子部品の断面図例である。(A) Wiring board material laminated body, (B) Component mounting wiring board laminated body, (C) It is an example of sectional drawing of an electronic component. 配線板材料積層体の平面図例である。It is an example of a top view of a wiring board material laminated body. 配線板材料積層体の断面図例である。It is an example of a sectional view of a wiring board material laminate. 配線板積層体の断面図例である。It is an example of a sectional view of a wiring board laminated body. 部品実装配線板積層体の断面図例である。It is an example of a sectional view of a component mounting wiring board laminate. 電子部品の断面図例である。It is an example of a sectional view of electronic parts. 従来における粘着剤層の積層の様子を説明する図である。It is a figure explaining the mode of lamination of the conventional adhesive layer.

本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
また本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値および最大値として含む範囲を示す。
In this specification, the term “process” is not limited to an independent process, and is included in the term if the intended action of the process is achieved even when it cannot be clearly distinguished from other processes. .
In the present specification, numerical ranges indicated using “to” indicate ranges including the numerical values described before and after “to” as the minimum value and the maximum value, respectively.

なお、本発明における配線板材料30とは、図1に示すように、回路形成用の第一の金属層10、絶縁層12、及び第二の金属層14がこの順に積層された積層体をいう。また配線板31とは、図2に示すように、金属回路層11、絶縁層12、及び第二の金属層14がこの順に積層された積層体をいう。金属回路層11は、第一の金属層10から回路が形成されたものである。さらに回路基板32とは、図3に示すように、半導体部品40、金属回路層11、絶縁層12、及び第二の金属層14がこの順に積層された積層体をいう。   In addition, as shown in FIG. 1, the wiring board material 30 in the present invention is a laminate in which a first metal layer 10 for circuit formation, an insulating layer 12, and a second metal layer 14 are laminated in this order. Say. Moreover, the wiring board 31 means the laminated body by which the metal circuit layer 11, the insulating layer 12, and the 2nd metal layer 14 were laminated | stacked in this order, as shown in FIG. The metal circuit layer 11 is obtained by forming a circuit from the first metal layer 10. Furthermore, the circuit board 32 refers to a laminated body in which the semiconductor component 40, the metal circuit layer 11, the insulating layer 12, and the second metal layer 14 are laminated in this order, as shown in FIG.

<電子部品の製造方法>
本発明の電子部品の製造方法は、回路形成用の第一の金属層、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板材料、又は前記第一の金属層から回路が形成された金属回路層、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板、における前記第二の金属層に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する、または粘着剤層を積層した後に耐熱性セパレータを積層する粘着剤層積層工程と、前記粘着剤層積層工程において、配線板材料を用いた場合には、前記粘着剤層積層工程の後で、前記回路形成用の第一の金属層から回路を形成して金属回路層を作製し、配線板材料から配線板とする工程と、前記金属回路層上に半導体部品を実装する半導体部品実装工程と、前記耐熱性セパレータを前記粘着剤層との界面で剥離して、前記粘着剤層上に筐体を貼付する貼付工程と、をこの順に含む。この一連の製造工程の一例を図4に示す。
なお、耐熱性セパレータ付き粘着剤層とは、耐熱性セパレータに粘着剤層を予め積層させたものをいい、この場合の耐熱性セパレータを基材とも称する。本発明では、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を用いても、耐熱性セパレータと粘着剤層とを別々に準備して用いてもよい。
<Method for manufacturing electronic parts>
In the method of manufacturing an electronic component according to the present invention, a circuit is formed from a wiring board material in which a first metal layer for circuit formation, an insulating layer, and a second metal layer are laminated in this order, or the first metal layer. After laminating the pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator on the second metal layer in the wiring board in which the metal circuit layer, the insulating layer, and the second metal layer are laminated in this order, or after laminating the pressure-sensitive adhesive layer When a wiring board material is used in the pressure-sensitive adhesive layer laminating step for laminating the heat-resistant separator and the pressure-sensitive adhesive layer laminating step, the first metal for circuit formation is formed after the pressure-sensitive adhesive layer laminating step. Forming a circuit from a layer to produce a metal circuit layer and using the wiring board material as a wiring board; mounting a semiconductor component on the metal circuit layer; and mounting the heat-resistant separator to the adhesive The adhesive layer peels off at the interface with the layer Including, a bonding step for affixing the housing in this order. An example of this series of manufacturing steps is shown in FIG.
The pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator refers to a layer in which a pressure-sensitive adhesive layer is previously laminated on a heat-resistant separator, and the heat-resistant separator in this case is also referred to as a substrate. In this invention, even if it uses an adhesive layer with a heat resistant separator, you may prepare and use a heat resistant separator and an adhesive layer separately.

本発明の電子部品の製造方法では、半導体部品の実装前に、配線板材料30又は配線板31に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18を積層させる、または配線板材料30又は配線板31に粘着剤層16を積層してから耐熱性セパレータ22を積層させる。そのため、半導体部品実装前の平坦な配線板材料30又は配線板31に粘着剤層16を積層させることができる。この結果、粘着剤層16を積層する際に、(1)配線板材料30又は配線板31の変形を抑えることができ、また(2)ラミネータ等の装置を用いることができる。ラミネータ等の装置を用いると、充分に加圧しながら粘着剤層16を貼り付けることができるため、配線板材料30又は配線板31における第二の金属層14と粘着剤層16の間に気泡が巻き込まれるのが抑えられる。また、粘着剤層18と配線板31が充分に固定されているため、互いの積層位置がずれるのが抑えられる。また、位置合わせを手作業等で慎重に行いながら積層しなくともよく、作業性が向上する。   In the method for manufacturing an electronic component of the present invention, the adhesive layer 18 with a heat-resistant separator is laminated on the wiring board material 30 or the wiring board 31 before the semiconductor component is mounted, or the wiring board material 30 or the wiring board 31 has an adhesive. After the layer 16 is laminated, the heat-resistant separator 22 is laminated. Therefore, the adhesive layer 16 can be laminated on the flat wiring board material 30 or the wiring board 31 before mounting the semiconductor component. As a result, when the adhesive layer 16 is laminated, (1) deformation of the wiring board material 30 or the wiring board 31 can be suppressed, and (2) a device such as a laminator can be used. When an apparatus such as a laminator is used, the pressure-sensitive adhesive layer 16 can be applied while being sufficiently pressurized, so that bubbles are formed between the second metal layer 14 and the pressure-sensitive adhesive layer 16 in the wiring board material 30 or the wiring board 31. Entrainment is suppressed. In addition, since the pressure-sensitive adhesive layer 18 and the wiring board 31 are sufficiently fixed, it is possible to prevent the mutual lamination positions from being shifted. Further, it is not necessary to stack the layers while carefully aligning them manually, etc., and workability is improved.

以上から、本発明の電子部品の製造方法では、半導体部品40の実装に先立って配線板材料30又は配線板31に粘着剤層16が設けられることで、配線板材料30又は配線板31における第二の金属層14と粘着剤層16の密着性に優れ、配線板31(更には回路基板32)と筐体70との熱伝導性により優れた電子部品を作業性よく製造することができる。   As described above, in the electronic component manufacturing method of the present invention, the adhesive layer 16 is provided on the wiring board material 30 or the wiring board 31 prior to the mounting of the semiconductor component 40, so It is possible to manufacture an electronic component that is excellent in the adhesion between the second metal layer 14 and the pressure-sensitive adhesive layer 16 and that is excellent in thermal conductivity between the wiring board 31 (and the circuit board 32) and the housing 70 with good workability.

更に、本発明の電子部品の製造方法では耐熱性セパレータ22を用いるため、配線板材料30又は配線板31の取り扱い性に優れる。なお、本発明では、耐熱性セパレータ22が耐熱性を有することから、リフロー処理などの加熱によって金属回路層11上に半導体部品40を実装する際の配線板31の変形を抑制することができる。
また、配線板材料30又は配線板31が第二の金属層14を有することで熱伝導性に優れる配線板31を構成できる。また第二の金属層14が耐熱性セパレータ22で被覆されていることで、配線板31に半導体部品40を実装する際に第二の金属層14が酸化等されることを抑制し、熱伝導性が低下することを抑制できる。
Furthermore, since the heat-resistant separator 22 is used in the method for manufacturing an electronic component of the present invention, the handleability of the wiring board material 30 or the wiring board 31 is excellent. In the present invention, since the heat-resistant separator 22 has heat resistance, deformation of the wiring board 31 when the semiconductor component 40 is mounted on the metal circuit layer 11 by heating such as reflow treatment can be suppressed.
Moreover, the wiring board 31 which is excellent in thermal conductivity can be comprised because the wiring board material 30 or the wiring board 31 has the 2nd metal layer 14. FIG. Further, since the second metal layer 14 is covered with the heat-resistant separator 22, the second metal layer 14 is suppressed from being oxidized when the semiconductor component 40 is mounted on the wiring board 31. It can suppress that property falls.

以下では、上記の本発明の電子部品の製造方法について、図を参照しながら、従来の製造方法と比較する。   Hereinafter, the manufacturing method of the electronic component of the present invention will be compared with the conventional manufacturing method with reference to the drawings.

まず、従来の電子部品の製造方法について、図12を参照しながら説明する。
従来の電子部品の製造方法では、図12(A)に示すように、まず、配線板31に半導体部品40が実装された回路基板32を準備する。図示しないが、配線板31は、半導体部品40が設けられた側から順に、金属回路層、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層されている。回路基板32では、半導体部品40が実装されているため、この半導体部品40が突出して設置されている。
そして、図12(B)に示すように、回路基板32の半導体部品40側を下向きとし、配線板31の第二の金属層側を上向きとして台50の上に配置させ、次いで、図12(C)に示すように、第二の金属層にセパレータ付き粘着剤層19を積層させる。セパレータ付き粘着剤層19は、粘着剤層16およびセパレータ23が積層されている。
First, a conventional method for manufacturing an electronic component will be described with reference to FIG.
In the conventional electronic component manufacturing method, as shown in FIG. 12A, first, a circuit board 32 having a semiconductor component 40 mounted on a wiring board 31 is prepared. Although not shown, the wiring board 31 has a metal circuit layer, an insulating layer, and a second metal layer stacked in this order from the side where the semiconductor component 40 is provided. Since the semiconductor component 40 is mounted on the circuit board 32, the semiconductor component 40 is protruded and installed.
Then, as shown in FIG. 12B, the circuit board 32 is disposed on the base 50 with the semiconductor component 40 side facing downward and the second metal layer side of the wiring board 31 facing upward, and then FIG. As shown to C), the adhesive layer 19 with a separator is laminated | stacked on a 2nd metal layer. As for the adhesive layer 19 with a separator, the adhesive layer 16 and the separator 23 are laminated | stacked.

上記手順によりセパレータ付き粘着剤層19を積層させているため、図12(D)に示すように、第二の金属層が金属箔である場合には、セパレータ付き粘着剤層19を積層するための応力(図12(D)では指60による応力)により、配線板31が変形する場合があった。また、セパレータ付き粘着剤層19を積層するための応力によって、半導体部品40、あるいは半導体部品40と配線板31の接続部が損傷する場合があった。   Since the pressure-sensitive adhesive layer 19 with a separator is laminated according to the above procedure, as shown in FIG. 12D, when the second metal layer is a metal foil, the pressure-sensitive adhesive layer 19 with a separator is laminated. In some cases, the wiring board 31 may be deformed by the above stress (stress due to the finger 60 in FIG. 12D). Moreover, the connection part of the semiconductor component 40 or the semiconductor component 40 and the wiring board 31 may be damaged by the stress for laminating | stacking the adhesive layer 19 with a separator.

そのため、従来の方法では、低い応力によってセパレータ付き粘着剤層19を積層させることがあり、部分的に粘着剤層16が密着されていないことがあった。半導体部品40の熱は粘着剤層16を経由して筐体に逃がされるため、粘着剤層16の第二の金属層に対する接触面積が減少した場合は、放熱性も低下する。つまり、粘着剤層16と回路基板32の密着不良により、放熱性が低下する場合があった。また、指60などによって押圧を微調整しながら慎重に積層させる必要があるため、作業性が低くなる。   Therefore, in the conventional method, the pressure-sensitive adhesive layer 19 with a separator may be laminated by a low stress, and the pressure-sensitive adhesive layer 16 may not be partially adhered. Since the heat of the semiconductor component 40 is released to the housing via the pressure-sensitive adhesive layer 16, if the contact area of the pressure-sensitive adhesive layer 16 with respect to the second metal layer is reduced, the heat dissipation is also reduced. That is, due to poor adhesion between the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the circuit board 32, the heat dissipation may be reduced. Moreover, since it is necessary to laminate | stack carefully, adjusting a press finely with the finger | toe 60 etc., workability | operativity falls.

また、低い応力によってセパレータ付き粘着剤層19を積層させるため、更には指60などによって手動で積層させるため、気泡を巻き込んだ状態で粘着剤層16が積層される場合があり、この気泡による空気層が形成されることで、放熱性がさらに低下する場合があった。一方で、粘着剤層16に気泡を巻き込まないように積層を慎重に行うと、この積層の速度が低下し、作業性が低下する場合があった。   Further, since the pressure-sensitive adhesive layer 19 with a separator is laminated with a low stress and further manually laminated with a finger 60 or the like, the pressure-sensitive adhesive layer 16 may be laminated in a state where air bubbles are involved. In some cases, the heat radiation performance may be further reduced due to the formation of the layer. On the other hand, if the lamination is carefully performed so as not to entrain air bubbles in the pressure-sensitive adhesive layer 16, the speed of the lamination may be reduced, and workability may be reduced.

また、回路基板32にセパレータ付き粘着剤層19を手80で位置合わせして積層するため、図12(E)のように、セパレータ付き粘着剤層19が回路基板32からずれて積層されることがあった。なお、図12(E)は、回路基板32上に耐熱性セパレータ付き粘着剤層19を設けた部品実装配線板積層体を、セパレータ23側から観察したときの平面図である。図12(E)の部品実装配線板積層体のようにずれて積層されると、粘着剤層16の回路基板32との接触面積が減少し、放熱性も低下する。つまり、粘着剤層16と回路基板32の位置ずれにより、放熱性は低下する。
なお、粘着剤層16の位置ずれや粘着剤層16の気泡巻き込み等は、粘着剤層16の除去及び再積層が必要となるため、作業性がさらに低下することがあった。
In addition, since the adhesive layer 19 with a separator is aligned and stacked on the circuit board 32 by hand 80, the adhesive layer 19 with a separator is shifted from the circuit board 32 and stacked as shown in FIG. was there. FIG. 12E is a plan view of the component-mounted wiring board laminate in which the heat-resistant separator-attached adhesive layer 19 is provided on the circuit board 32 when observed from the separator 23 side. When the components are mounted so as to be shifted as in the component-mounted wiring board laminate of FIG. 12E, the contact area of the adhesive layer 16 with the circuit board 32 is reduced, and the heat dissipation is also reduced. That is, the heat dissipation is reduced due to the positional deviation between the adhesive layer 16 and the circuit board 32.
Note that misalignment of the pressure-sensitive adhesive layer 16 and entrainment of bubbles in the pressure-sensitive adhesive layer 16 require the removal and re-lamination of the pressure-sensitive adhesive layer 16, which may further reduce workability.

これに対し、本発明では、図5(A)に示すように、半導体部品の実装工程の前に、配線板材料30又は配線板31に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18を積層するか、あるいは配線板材料30又は配線板31に粘着剤層16を積層した後に耐熱性セパレータ22を積層する。そのため、第二の金属層として金属箔を用いた配線板材料30又は配線板31であっても、セパレータ付き粘着剤層19、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層するための応力によって、配線板材料30又は配線板31が変形するのが抑制される。   On the other hand, in the present invention, as shown in FIG. 5A, the adhesive layer 18 with a heat-resistant separator is laminated on the wiring board material 30 or the wiring board 31 before the semiconductor component mounting step, or After the pressure-sensitive adhesive layer 16 is laminated on the wiring board material 30 or the wiring board 31, the heat-resistant separator 22 is laminated. Therefore, even if it is the wiring board material 30 or the wiring board 31 which used metal foil as a 2nd metal layer, with the stress for laminating | stacking the adhesive layer 19 with a separator, or the adhesive layer 16 and the heat resistant separator 22 The deformation of the wiring board material 30 or the wiring board 31 is suppressed.

また、半導体部品40の実装工程の前に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を配線板材料30又は配線板31に積層するため、図5(B)に示すように、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22は、ラミネータロール等のラミネータ装置を用いて積層することができる。ラミネータ装置を用いれば、リールなどに巻き付けた形態の耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22をラミネータ装置の一部に固定することができる。これにより図5(C)に示すように、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22と配線板材料30又は配線板31との位置ずれ(特に幅方向のずれ)が抑制できる。なお図5(C)は、配線板材料30又は配線板31上に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を設けた積層体を、耐熱性セパレータ側22から観察したときの平面図である。   In addition, since the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated on the wiring board material 30 or the wiring board 31 before the mounting process of the semiconductor component 40, FIG. As shown in FIG. 2, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 can be laminated using a laminator device such as a laminator roll. If the laminator device is used, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator wound around a reel or the like, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 can be fixed to a part of the laminator device. As a result, as shown in FIG. 5 (C), the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the positional deviation between the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 and the wiring board material 30 or the wiring board 31 (particularly in the width direction) ) Can be suppressed. 5C shows a laminate in which the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are provided on the wiring board material 30 or the wiring board 31 from the heat-resistant separator side 22. It is a top view when observed.

このように、従来の方法では、セパレータ付き粘着剤層19、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ23の積層が、半導体部品40が実装された回路基板32に行われるため、突出した半導体部品40の存在によって回路基板32の固定が困難であることに比べて、本発明では、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22が平坦な配線板材料30又は配線板31に積層されるため、配線板材料30又は配線板31の固定が容易となっている。そのため、ラミネータ装置によって、配線板材料30又は配線板31の幅方向の位置固定と、積層箇所の幅方向の位置固定と、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22の幅方向の位置固定が実現され、位置ずれが抑制できる。   As described above, in the conventional method, the separator-attached adhesive layer 19 or the adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 23 are stacked on the circuit board 32 on which the semiconductor component 40 is mounted. In the present invention, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 is a flat wiring board material 30 or a wiring board. Therefore, the wiring board material 30 or the wiring board 31 can be easily fixed. Therefore, the laminator device fixes the position of the wiring board material 30 or the wiring board 31 in the width direction, the position of the laminated part in the width direction, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator. Position fixing of the width direction of 22 is implement | achieved and position shift can be suppressed.

このようにして、図6(A)に示すような、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層した配線板材料30又は配線板31を得ることができる。配線板材料30に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層した場合には、その後で、配線板材料30における第一の金属層10を回路形成し、金属回路層11とする。さらに、金属回路層11に半導体部品40を実装することで、図6(B)に示すような、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を備えた回路基板(部品実装配線板積層体)を得ることができる。   In this way, the wiring board material 30 or the wiring board 31 in which the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated as shown in FIG. 6A can be obtained. . When the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated on the wiring board material 30, a circuit is formed on the first metal layer 10 in the wiring board material 30 after that. The metal circuit layer 11 is used. Furthermore, by mounting the semiconductor component 40 on the metal circuit layer 11, a circuit board provided with the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22, as shown in FIG. (Component mounting wiring board laminated body) can be obtained.

さらに、この耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を備えた回路基板(部品実装配線板積層体)から耐熱性セパレータ22を剥離し、露出した粘着剤層16を筐体70に貼りつけることで、図6(C)に示すような電子部品が得られる。   Further, the heat-resistant separator 22 is peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or a circuit board (component-mounted wiring board laminate) provided with the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22, and the exposed pressure-sensitive adhesive layer 16 is exposed. Is attached to the housing 70 to obtain an electronic component as shown in FIG.

また、図7は、配線板材料30上に粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を設けた配線板材料積層体を、耐熱性セパレータ22側から観察したときの平面図である。図7に示すような配線板材料30へ粘着剤層16を積層する場合は、その後、粘着剤層16は配線板材料30とともに外形加工されるため、粘着剤層16と配線板材料30との位置ずれは発生せず、それに付随した放熱性低下等の問題も発生しない。さらに、配線板材料30は外形加工された配線板31に比べて面積が大きいため、個片化された配線板31への積層に比べて、積層工程数を少なくすることができる。
以下では、本発明の電子部品の製造方法に用いる部材を説明する。
FIG. 7 is a plan view of the wiring board material laminate in which the adhesive layer 16 and the heat resistant separator 22 are provided on the wiring board material 30 when observed from the heat resistant separator 22 side. When the pressure-sensitive adhesive layer 16 is laminated on the wiring board material 30 as shown in FIG. 7, since the pressure-sensitive adhesive layer 16 is then processed with the wiring board material 30, the adhesive layer 16 and the wiring board material 30 Misalignment does not occur, and problems such as deterioration of heat dissipation associated therewith do not occur. Furthermore, since the wiring board material 30 has a larger area than the wiring board 31 that has been subjected to external processing, the number of lamination steps can be reduced as compared with the lamination to the wiring board 31 that has been separated into pieces.
Below, the member used for the manufacturing method of the electronic component of this invention is demonstrated.

(配線板材料)
図1に示すように、配線板材料30は、回路形成用の第一の金属層10と、絶縁層12と、及び第二の金属層14とがこの順に積層され、必要に応じてその他の層をさらに含んで構成される。
(Wiring board material)
As shown in FIG. 1, the wiring board material 30 includes a first metal layer 10 for circuit formation, an insulating layer 12, and a second metal layer 14 stacked in this order. Further comprising a layer.

本発明における第一の金属層10は回路を形成可能な金属からなるものであれば特に制限はないが、一般的には金属箔を用いて構成される。
金属箔としては、銅、アルミ、鉄、金、銀、ニッケル、パラジウム、クロム、モリブデン又はこれらの合金の箔が好適に用いられる。これらの中でも銅箔が好ましい。
第一の金属層10の厚みは回路を形成可能である限り特に制限されない。例えば、熱伝導性、加工性及び軽量化の観点から、平均厚みは5μm〜500μmであることが好ましく、30μm〜200μmであることがより好ましい。
The first metal layer 10 in the present invention is not particularly limited as long as it is made of a metal capable of forming a circuit, but is generally configured using a metal foil.
As the metal foil, a foil of copper, aluminum, iron, gold, silver, nickel, palladium, chromium, molybdenum or an alloy thereof is preferably used. Among these, copper foil is preferable.
The thickness of the first metal layer 10 is not particularly limited as long as a circuit can be formed. For example, from the viewpoint of thermal conductivity, workability, and weight reduction, the average thickness is preferably 5 μm to 500 μm, and more preferably 30 μm to 200 μm.

金属箔の絶縁層12と接する面には、絶縁層12との接着力を高めるために、化学的粗化、コロナ放電、サンディング及びめっきや、アルミニウムアルコラート、アルミニウムキレート、シランカップリング剤等によって機械的又は化学的な処理が施されていてもよい。
第一の金属層10は絶縁層12の全面に設けられていても、一部の領域にのみ設けられていてもよい。
The surface of the metal foil in contact with the insulating layer 12 is mechanically roughened, corona discharged, sanded, plated, aluminum alcoholate, aluminum chelate, silane coupling agent, etc. Or chemical treatment may be applied.
The first metal layer 10 may be provided on the entire surface of the insulating layer 12 or may be provided only in a partial region.

本発明における第二の金属層14は、絶縁層12の第一の金属層10が設けられた面とは反対側の面(以下、「裏面」ともいう)に設けられる。配線板材料30が第二の金属層14を有することで熱伝導性と加工性に優れる配線板31を構成できる。
第二の金属層14は一般的には金属箔を用いて構成される。第二の金属箔としては、第一の金属層10における金属箔と同様のものを挙げることができ、銅箔が好適に用いられる。なお、加工性や軽量化の観点からは、アルミニウムが好適に用いられる。
The second metal layer 14 in the present invention is provided on the surface of the insulating layer 12 opposite to the surface on which the first metal layer 10 is provided (hereinafter also referred to as “back surface”). Since the wiring board material 30 includes the second metal layer 14, the wiring board 31 having excellent thermal conductivity and workability can be configured.
The second metal layer 14 is generally configured using a metal foil. As a 2nd metal foil, the thing similar to the metal foil in the 1st metal layer 10 can be mentioned, A copper foil is used suitably. From the viewpoint of workability and weight reduction, aluminum is preferably used.

第二の金属層14の厚みは特に制限されないが、剛性の観点から平均厚みは17μm〜2mmであることが好ましく、流通性の観点から35μm〜1.5mmであることがより好ましく、軽量化の観点から35μm〜1mmであることがさらに好ましい。また、熱伝導性、加工性及び軽量化の観点から、50μm〜500μmであることが好ましく、70μm〜200μmであることがより好ましい。   The thickness of the second metal layer 14 is not particularly limited, but the average thickness is preferably 17 μm to 2 mm from the viewpoint of rigidity, and more preferably 35 μm to 1.5 mm from the viewpoint of flowability. From a viewpoint, it is more preferable that it is 35 micrometers-1 mm. Moreover, from a viewpoint of heat conductivity, workability, and weight reduction, it is preferable that they are 50 micrometers-500 micrometers, and it is more preferable that they are 70 micrometers-200 micrometers.

第二の金属層14を構成する金属箔の絶縁層12と接する面には、絶縁層12との接着力を高めるために、化学的粗化、コロナ放電、サンディング及びめっきや、アルミニウムアルコラート、アルミニウムキレート、シランカップリング剤等によって機械的又は化学的な処理が施されていてもよい。
第二の金属層14は絶縁層12の全面に設けられていても、一部の領域にのみ設けられていてもよいが、熱伝導性と加工性の観点から、絶縁層12の全面に設けられていることが好ましい。
On the surface of the metal foil constituting the second metal layer 14 in contact with the insulating layer 12, chemical roughening, corona discharge, sanding and plating, aluminum alcoholate, aluminum are used in order to increase the adhesive strength with the insulating layer 12. Mechanical or chemical treatment may be performed by a chelate, a silane coupling agent or the like.
The second metal layer 14 may be provided on the entire surface of the insulating layer 12 or may be provided only on a part of the region, but it is provided on the entire surface of the insulating layer 12 from the viewpoint of thermal conductivity and workability. It is preferable that

本発明における絶縁層12は、絶縁性の樹脂シートから構成されることが好ましい。絶縁層12を構成する樹脂は特に制限されない。樹脂としては例えば、ポリイミド、ポリエステル等の高分子量樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂及びこれらの混合物等を挙げることができる。   The insulating layer 12 in the present invention is preferably composed of an insulating resin sheet. The resin constituting the insulating layer 12 is not particularly limited. Examples of the resin include high molecular weight resins such as polyimide and polyester, epoxy resins, silicone resins, acrylic resins, and mixtures thereof.

前記樹脂のなかでも、機械特性や電気特性の観点から、少なくとも1種がポリイミド樹脂またはポリイミド前駆体であることが好ましい。ポリイミド前駆体であるポリアミック酸は製造過程でポリイミドに変換される。   Among the resins, at least one kind is preferably a polyimide resin or a polyimide precursor from the viewpoint of mechanical properties and electrical properties. Polyamic acid, which is a polyimide precursor, is converted to polyimide during the production process.

また、前記ポリイミド前駆体を含む樹脂組成物として、エポキシ化合物、アクリル化合物、ジイソシアネート化合物、フェノール化合物等の硬化成分、フィラー、粒子、色材、レベリング剤、カップリング剤等の添加成分を任意に混合することも可能である。   In addition, as a resin composition containing the polyimide precursor, additive components such as curing components such as epoxy compounds, acrylic compounds, diisocyanate compounds, and phenol compounds, fillers, particles, coloring materials, leveling agents, and coupling agents are arbitrarily mixed. It is also possible to do.

前記フィラーとしては、例えば、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、シリカなどが挙げられるが、中でも、アルミナであることが好ましい。   Examples of the filler include alumina, boron nitride, aluminum nitride, and silica. Among these, alumina is preferable.

これらの硬化成分および添加成分の含有量は、ポリイミド樹脂使用の効果である機械特性や電気特性を低下させない観点から、ポリイミド樹脂の含有量よりも少なくすることが好ましい。   The content of these curing components and additive components is preferably less than the content of the polyimide resin from the viewpoint of not reducing the mechanical properties and electrical properties that are the effects of using the polyimide resin.

絶縁層12の厚みは特に制限されない。例えば、放熱性の観点から平均厚みは3μm〜200μmとすることができ、3μm〜150μmであることが好ましく、5μm〜130μmであることがより好ましく、9μm〜110μmであることがさらに好ましく、9μm〜40μmであることがさらに好ましい。   The thickness of the insulating layer 12 is not particularly limited. For example, from the viewpoint of heat dissipation, the average thickness can be 3 μm to 200 μm, preferably 3 μm to 150 μm, more preferably 5 μm to 130 μm, still more preferably 9 μm to 110 μm, and more preferably 9 μm to More preferably, it is 40 μm.

絶縁層12内の積層数は特に制限されず、1層でもよく、2層以上の多層構造でもよい。例えば、2層の構造では、1層目が高い絶縁破壊電圧を示す層であり、2層目は高い接着力を示す層である等、求める機能が異なってもよい。   The number of stacked layers in the insulating layer 12 is not particularly limited, and may be one layer or a multilayer structure including two or more layers. For example, in a two-layer structure, the required function may be different, for example, the first layer is a layer showing a high dielectric breakdown voltage, and the second layer is a layer showing a high adhesive force.

配線板材料30の厚みは特に制限されないが、熱伝導性と軽量化の観点から、平均厚さが50μm以上700μm以下であることが好ましく、25μm以上600μm以下であることがより好ましく、50μm以上500μm以下であることがさらに好ましく、55μm以上440μm以下であることがさらに好ましく、70μm以上200μm以下であることがさらに好ましい。
尚、配線板材料30の平均厚さは、5点の厚さを測定しその算術平均値として与えられる。
The thickness of the wiring board material 30 is not particularly limited, but from the viewpoint of thermal conductivity and weight reduction, the average thickness is preferably 50 μm to 700 μm, more preferably 25 μm to 600 μm, and more preferably 50 μm to 500 μm. Or less, more preferably 55 μm or more and 440 μm or less, and further preferably 70 μm or more and 200 μm or less.
The average thickness of the wiring board material 30 is given as an arithmetic average value obtained by measuring five thicknesses.

配線板材料30として具体的には、従来の芳香族ポリイミドのような非熱可塑性ポリイミドのフィルムを高分子絶縁フィルムとして用いた金属箔付フレキシブル基板、ポリイミドフィルム上に銅などの金属を蒸着やスパッタで成膜した配線板材料、熱成形可能な液晶ポリマーを使用した配線板材料などを挙げることができる。特に、耐熱性に優れる点で、特開2007−273829号公報、WO2007/049502号パンフレット、特開2007−168123号公報等に記載されているエポキシ樹脂やアクリル樹脂等を用いた接着剤を用いないフレキシブル基板又はフレキシブルプリント配線板を好ましく用いることができる。   Specifically, the wiring board material 30 is a flexible substrate with a metal foil using a non-thermoplastic polyimide film such as a conventional aromatic polyimide as a polymer insulating film, and a metal such as copper is deposited or sputtered on the polyimide film. And a wiring board material using a thermoformable liquid crystal polymer. In particular, an adhesive using an epoxy resin, an acrylic resin, or the like described in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2007-274329, 2007-049502, 2007-168123, etc. is not used because of excellent heat resistance. A flexible substrate or a flexible printed wiring board can be preferably used.

(配線板)
図2に示すように、配線板31は、金属回路層11と、絶縁層12と、及び第二の金属層14とがこの順に積層され、必要に応じてその他の層をさらに含んで構成される。
(Wiring board)
As shown in FIG. 2, the wiring board 31 includes a metal circuit layer 11, an insulating layer 12, and a second metal layer 14 stacked in this order, and further includes other layers as necessary. The

本発明における金属回路層11は、回路形成用の第一の金属層10から回路を形成して得ることができる。第一の金属層10に回路を形成する工程は、配線板材料の金属層を回路加工するのに通常用いられる方法から適宜選択して行うことができる。例えば、印刷、フォトレジストフィルム等を使用して、第一の金属層10上に回路形成用のレジストを所望の形状に形成する工程と、第一の金属層10のレジストが形成されていない領域を、腐食性の液でエッチングして除去する工程とを含む方法で回路を形成することができる。   The metal circuit layer 11 in the present invention can be obtained by forming a circuit from the first metal layer 10 for circuit formation. The step of forming a circuit on the first metal layer 10 can be performed by appropriately selecting from methods usually used for processing a metal layer of a wiring board material. For example, a step of forming a circuit forming resist in a desired shape on the first metal layer 10 using printing, a photoresist film, and the like, and a region where the resist of the first metal layer 10 is not formed The circuit can be formed by a method including a step of removing by etching with a corrosive liquid.

本発明においては、第二の金属層14が耐熱性セパレータ22で保護されるため、第二の金属層14がエッチングによってダメージを受けることなく、第一の金属層10に回路を形成することができる。特に、第一の金属層10及び第二の金属層14の厚みを薄くすること(例えば、30μm以上100μm以下)により、耐熱性セパレータ22を備えた配線板材料30の外周部に保護材を使用する必要がなくなり、より容易に回路加工ができる。
その他の構成は、配線板材料30と同様であるため説明を省略する。
In the present invention, since the second metal layer 14 is protected by the heat-resistant separator 22, a circuit can be formed in the first metal layer 10 without the second metal layer 14 being damaged by etching. it can. In particular, by reducing the thickness of the first metal layer 10 and the second metal layer 14 (for example, 30 μm or more and 100 μm or less), a protective material is used on the outer peripheral portion of the wiring board material 30 provided with the heat resistant separator 22. This eliminates the need to perform circuit processing and makes circuit processing easier.
Since other configurations are the same as those of the wiring board material 30, the description thereof is omitted.

なお、配線板31は、半導体部品40、配線用コネクタ等を搭載するためのパッド部を除き、ソルダーレジストが表面に形成されていることが望ましい。配線板31は回路形成及びソルダーレジスト形成の後に、回路基板32として使用するためのサイズに、あるいはそのサイズの配線板31がいくつか繋がったサイズに外形加工されることが好ましい。それらの外形加工された配線板31に半導体部品40を実装し、回路基板32が得られる。また、半導体部品40が実装された後に回路基板32が外形加工されてもよい。   The wiring board 31 preferably has a solder resist formed on the surface thereof except for a pad portion for mounting the semiconductor component 40, a wiring connector, and the like. It is preferable that the wiring board 31 is externally processed to a size for use as the circuit board 32 or a size in which several wiring boards 31 of that size are connected after circuit formation and solder resist formation. The semiconductor component 40 is mounted on the wiring board 31 having the outer shape processed, and the circuit board 32 is obtained. Further, after the semiconductor component 40 is mounted, the circuit board 32 may be processed in outline.

なお、本発明では、配線板31に半導体部品40を実装するに先立ち、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を配線板材料30又は配線板31に積層する。   In the present invention, prior to mounting the semiconductor component 40 on the wiring board 31, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated on the wiring board material 30 or the wiring board 31. .

(耐熱性セパレータ)
耐熱性セパレータ22において、耐熱性とは250℃の雰囲気下で1分間熱処理した後の収縮率が、長さ基準で3%以下であることを意味する。具体的には、以下のようにして収縮率が算出される。
長さ10cm×10cm、厚さ20μm〜100μmのシート状に加工した評価用の樹脂シートを用意する。評価用の樹脂シートについて25℃で対角線の長さを測定する。次いで250℃の雰囲気下で1分間熱処理した後、室温で放冷した評価用の樹脂シートについて25℃で対角線の長さを測定し、熱処理後の対角線の長さを熱処理前の対角線の長さで除して収縮率を算出する。
(Heat resistant separator)
In the heat-resistant separator 22, heat resistance means that the shrinkage rate after heat treatment for 1 minute in an atmosphere at 250 ° C. is 3% or less based on the length. Specifically, the shrinkage rate is calculated as follows.
A resin sheet for evaluation processed into a sheet having a length of 10 cm × 10 cm and a thickness of 20 μm to 100 μm is prepared. The length of the diagonal line is measured at 25 ° C. for the resin sheet for evaluation. Next, the length of the diagonal line was measured at 25 ° C. for the evaluation resin sheet that was heat-treated at 250 ° C. for 1 minute and then allowed to cool at room temperature. The length of the diagonal line after the heat treatment was the length of the diagonal line before the heat treatment. Divide by to calculate the shrinkage rate.

耐熱性セパレータ22の材質としては特に制限はないが、はんだリフロー工程で著しい変形や変質が起こらない耐熱性があるものが好ましい。具体的には例えば、紙、不織布、金属箔等を挙げることができる。中でも、耐熱性の観点から、紙、又は金属箔が好ましく、耐酸性、耐アルカリ性及び耐水性の観点から、金属箔であることがより好ましい。   The material of the heat-resistant separator 22 is not particularly limited, but a material having heat resistance that does not cause significant deformation or alteration in the solder reflow process is preferable. Specific examples include paper, non-woven fabric, and metal foil. Among these, paper or metal foil is preferable from the viewpoint of heat resistance, and metal foil is more preferable from the viewpoint of acid resistance, alkali resistance, and water resistance.

前記金属箔は、アルミニウム箔および銅箔から選ばれる少なくとも1種の金属箔であることがより好ましい。   More preferably, the metal foil is at least one metal foil selected from aluminum foil and copper foil.

耐熱性セパレータ22の厚みは特に制限されないが、加工性や取り扱い性の観点から平均厚みは5μm〜200μmであることが好ましく、9μm〜110μmであることがより好ましく、17μm〜80μmであることがさらに好ましく、20μm〜60μmであることがさらに好ましい。耐熱性セパレータ22の平均厚みが5μm以上の場合には取扱性に優れ、200μm以下の場合には加工性や副資材のコストの点で優れる。   The thickness of the heat-resistant separator 22 is not particularly limited, but the average thickness is preferably 5 μm to 200 μm, more preferably 9 μm to 110 μm, and further preferably 17 μm to 80 μm from the viewpoints of workability and handleability. Preferably, it is 20 micrometers-60 micrometers. When the average thickness of the heat-resistant separator 22 is 5 μm or more, the handleability is excellent, and when it is 200 μm or less, the processability and the cost of the auxiliary material are excellent.

[粘着剤層]
本発明で使用する粘着剤層16は、回路基板32を筐体70に固定できるものであれば特に制限はないが、膜厚が均一な点で両面粘着テープの形態で使用されることが好ましい。このような両面テープは粘着剤だけで形成されていてよく、また粘着剤層16が基材を含んで形成されたものでもよい。熱抵抗が低い観点から粘着剤層16は基材を含まないことが好ましい。粘着剤層16は粘着剤の少なくとも1種を含んで構成される。
[Adhesive layer]
The pressure-sensitive adhesive layer 16 used in the present invention is not particularly limited as long as the circuit board 32 can be fixed to the housing 70, but is preferably used in the form of a double-sided pressure-sensitive adhesive tape in terms of uniform film thickness. . Such a double-sided tape may be formed only with an adhesive, or the adhesive layer 16 may be formed including a base material. From the viewpoint of low thermal resistance, the pressure-sensitive adhesive layer 16 preferably does not contain a substrate. The pressure-sensitive adhesive layer 16 includes at least one pressure-sensitive adhesive.

粘着剤は、例えば、高分子量成分、タッキファイヤ及び必要に応じてその他添加物を含んで構成される。粘着剤を構成する高分子量成分として具体的には、ポリイミド、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ブタジエンゴム、アクリルゴム、(メタ)アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノキシ樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、それらの混合物等が挙げられる。   An adhesive is comprised including a high molecular weight component, a tackifier, and other additives as needed, for example. Specific examples of the high molecular weight component constituting the adhesive include polyimide, polystyrene, polyethylene, polyester, polyamide, butadiene rubber, acrylic rubber, (meth) acrylic resin, urethane resin, polyphenylene ether resin, polyetherimide resin, and phenoxy resin. , Modified polyphenylene ether resin, phenoxy resin, polycarbonate, and mixtures thereof.

これらの中でも、耐熱性の観点から、(メタ)アクリル酸エステル共重合体を主成分とし、架橋剤により架橋された粘着剤が好ましい。
(メタ)アクリル酸エステル共重合体は、(メタ)アクリル酸エステルの少なくとも1種とこれらと共重合可能な不飽和モノマーを材料として構成される。(メタ)アクリル酸エステルの例としては、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
ここで、(メタ)アクリル酸エステルとは、メタクリル酸エステル、アクリル酸エステルおよびそれらの混合物を意味する。
Among these, from the viewpoint of heat resistance, a pressure-sensitive adhesive mainly composed of a (meth) acrylic acid ester copolymer and crosslinked with a crosslinking agent is preferable.
The (meth) acrylic acid ester copolymer is composed of at least one (meth) acrylic acid ester and an unsaturated monomer copolymerizable therewith. Examples of (meth) acrylic acid esters include n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, ethyl (meth ) Acrylate, methyl (meth) acrylate, and the like.
Here, (meth) acrylic acid ester means methacrylic acid ester, acrylic acid ester and a mixture thereof.

(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な不飽和モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸、アクリロニトリル、スチレン等を挙げることができる。   Examples of unsaturated monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid esters include 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic. Examples thereof include glycidyl acid, (meth) acrylic acid, acrylonitrile, and styrene.

接着力を高める観点から好ましくは粘着剤層16中に(メタ)アクリル酸エステル共重合体を70体積%以上含むことが望ましく、80体積%以上含むことがより好ましく、90体積%以上含むことがさらに好ましい。70体積%以上の場合は、粘着力が充分となる。   From the viewpoint of increasing the adhesive force, it is preferable that the pressure-sensitive adhesive layer 16 contains 70% by volume or more of (meth) acrylic acid ester copolymer, more preferably 80% by volume or more, and more preferably 90% by volume or more. Further preferred. In the case of 70% by volume or more, the adhesive strength is sufficient.

本発明に好適に用いられる(メタ)アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は、特に制限されるものではないが、接着力を高める観点から好ましくは20万〜150万であり、より好ましくは30万〜120万であり、さらに好ましくは40万〜100万であり、さらに好ましくは40万〜80万である。
(メタ)アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量が20万以上であると、通常の架橋剤配合量を添加した場合にも、粘着剤の凝集力が十分に得られ、良好な粘着特性が得られる。また重量平均分子量が150万以下であると良好な粘着特性が得られる。
尚、アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレン検量線より換算して得た値である。
The weight average molecular weight of the (meth) acrylic acid ester copolymer suitably used in the present invention is not particularly limited, but is preferably 200,000 to 1,500,000, more preferably from the viewpoint of increasing the adhesive force. It is 300,000 to 1,200,000, more preferably 400,000 to 1,000,000, and more preferably 400,000 to 800,000.
When the weight average molecular weight of the (meth) acrylic acid ester copolymer is 200,000 or more, the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive can be sufficiently obtained even when the usual amount of the crosslinking agent is added, and good pressure-sensitive adhesive properties are obtained. can get. Further, when the weight average molecular weight is 1.5 million or less, good adhesive properties can be obtained.
The weight average molecular weight of the acrylic ester copolymer is a value obtained by measuring by a gel permeation chromatography method and converting from a standard polystyrene calibration curve.

アクリル酸エステル共重合体の官能基は、接着力の向上に有効な官能基であれば制限はなく、カルボキシ基、水酸基、エポキシ基、ニトリル基などが挙げられる。なかでも、接着力の耐熱性が高いことから、カルボキシ基、水酸基またはエポキシ基を有することが好ましく、カルボキシ基を有することがより好ましい。カルボキシ基、水酸基またはエポキシ基を有することは部品実装時などの高温加熱におけるアクリル酸エステル共重合体の接着力の低下を抑制できる点で好ましい。   The functional group of the acrylic ester copolymer is not limited as long as it is a functional group effective for improving the adhesive force, and examples thereof include a carboxy group, a hydroxyl group, an epoxy group, and a nitrile group. Especially, since it has high heat resistance of adhesive force, it preferably has a carboxy group, a hydroxyl group or an epoxy group, and more preferably has a carboxy group. Having a carboxy group, a hydroxyl group, or an epoxy group is preferable in that a decrease in the adhesive strength of the acrylate copolymer during high-temperature heating such as during component mounting can be suppressed.

また、柔軟性を損なわない範囲で架橋構造を含ませることが、長期間の密着保持性と膜強度の点で好ましい。アクリル酸エステル共重合体の前記官能基と結合する官能基を2個以上有する架橋剤をアクリル酸エステル共重合体と反応させてもよい。例えば、−OH基等の極性基を有するアクリル酸エステル共重合体に、複数のイソシアネート基やエポキシ基等の前記極性基と結合する官能基を持つ化合物を反応させることで、アクリル酸エステル共重合体に架橋構造を含ませることができる。架橋剤としては特に制限されない。例えば、イソシアネート化合物、エポキシ樹脂、金属キレートなどが挙げられる。   In addition, it is preferable to include a crosslinked structure within a range that does not impair flexibility, from the viewpoint of long-term adhesion retention and film strength. A crosslinking agent having two or more functional groups that bind to the functional group of the acrylate copolymer may be reacted with the acrylate copolymer. For example, by reacting an acrylic ester copolymer having a polar group such as -OH group with a compound having a functional group that binds to the polar group such as an isocyanate group or an epoxy group, the acrylic ester copolymer The coalescence can include a cross-linked structure. The crosslinking agent is not particularly limited. For example, an isocyanate compound, an epoxy resin, a metal chelate, etc. are mentioned.

前記架橋剤の含有量としては例えば、(メタ)アクリル酸エステル共重合体に対して0.01質量%〜10質量%であることが好ましく、0.02質量%〜5質量%であることがより好ましく、1質量%〜10質量%であることがさらに好ましく、2質量%〜5質量%であることがさらに好ましい。架橋剤量が0.01%以上の場合は、長期間の密着保持性に優れる。また、架橋剤量が10%以下の場合は、良好な粘着特性が得られる。   As content of the said crosslinking agent, it is preferable that it is 0.01 mass%-10 mass% with respect to a (meth) acrylic acid ester copolymer, and it is 0.02 mass%-5 mass%. More preferably, it is 1 mass%-10 mass%, More preferably, it is 2 mass%-5 mass%. When the amount of the crosslinking agent is 0.01% or more, the long-term adhesion retention is excellent. Moreover, when the amount of the crosslinking agent is 10% or less, good adhesive properties can be obtained.

粘着剤層16の膜厚は特に制限されない。例えば100μm以下とすることができる。熱伝導性の観点から、1μm〜100μmであることが好ましく、3μm〜80μmであることがより好ましく、5μm〜70μmであることがさらに好ましい。
粘着剤層16の膜厚が1μm以上の場合、十分な粘着性が得られる傾向があり、回路加工時のエッチング工程で第二の金属層14を適切に保護することが可能である。また100μm以下であると、良好な熱伝導性が得られる傾向があり、さらに生産性に優れる。
The film thickness of the adhesive layer 16 is not particularly limited. For example, it can be set to 100 μm or less. From the viewpoint of thermal conductivity, it is preferably 1 μm to 100 μm, more preferably 3 μm to 80 μm, and even more preferably 5 μm to 70 μm.
When the film thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is 1 μm or more, sufficient adhesiveness tends to be obtained, and the second metal layer 14 can be appropriately protected in an etching process during circuit processing. Moreover, there exists a tendency for favorable heat conductivity to be acquired as it is 100 micrometers or less, and also it is excellent in productivity.

粘着剤層16の熱抵抗は特に制限されないが、放熱性の観点から6℃・cm/W以下であることが好ましく、高放熱性の観点から4℃・cm/W以下であることがより好ましく、高温駆動素子への適用の観点から3℃・cm/W以下であることがさらに好ましい。粘着剤層16の熱抵抗が6℃・cm/W以下の場合は、半導体部品40の温度低下が十分となる。 The thermal resistance of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is not particularly limited, but is preferably 6 ° C. · cm 2 / W or less from the viewpoint of heat dissipation, and is preferably 4 ° C. · cm 2 / W or less from the viewpoint of high heat dissipation. More preferably, it is more preferably 3 ° C. · cm 2 / W or less from the viewpoint of application to a high-temperature drive element. When the thermal resistance of the adhesive layer 16 is 6 ° C. · cm 2 / W or less, the temperature drop of the semiconductor component 40 is sufficient.

なお、本発明において熱抵抗は以下のように測定される。10mmφの2枚の金属円板に粘着剤層16を挟んだ試料において、レーザーフラッシュ法やXeフラッシュ法により粘着剤層16の熱伝導率を測定し、次いで、粘着剤層16の厚み[mm]に10を乗算し、熱伝導率[W/mK]で除算することで、粘着剤層16の熱抵抗[℃・cm/W]を評価することができる。 In the present invention, the thermal resistance is measured as follows. In a sample in which the pressure-sensitive adhesive layer 16 is sandwiched between two 10 mmφ metal discs, the thermal conductivity of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is measured by a laser flash method or a Xe flash method, and then the thickness [mm] of the pressure-sensitive adhesive layer 16 Is multiplied by 10 and divided by the thermal conductivity [W / mK], the thermal resistance [° C. · cm 2 / W] of the pressure-sensitive adhesive layer 16 can be evaluated.

粘着剤層16のピール強度は特に制限されないが、空気中で260℃2分間熱処理した後の粘着剤層16のピール強度が、熱処理前の粘着剤層16のピール強度に比べて30%以上であることが好ましく、50%以上であることがより好ましく、60%以上であることがさらに好ましく、70%以上であることがさらに好ましい。   The peel strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is not particularly limited, but the peel strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 after heat treatment in air at 260 ° C. for 2 minutes is 30% or more compared to the peel strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 before heat treatment. It is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and even more preferably 70% or more.

粘着剤層16は配線板31とともに半導体部品40実装のために加熱(リフロー時)されるため、粘着剤層16のピール強度は加熱による減少が小さいことが好ましい。実装前に、耐熱性セパレータ22が一部でも配線板31から剥離すると、粘着剤層16は空気中で実装時の熱に曝され、粘着剤層16の粘着力はより低下しやすくなる。そのため、粘着力の高温耐久性が高い粘着剤層16が望ましい。   Since the pressure-sensitive adhesive layer 16 is heated together with the wiring board 31 for mounting the semiconductor component 40 (during reflow), it is preferable that the peel strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is less reduced by heating. If even a part of the heat-resistant separator 22 is peeled off from the wiring board 31 before mounting, the pressure-sensitive adhesive layer 16 is exposed to heat at the time of mounting in the air, and the pressure-sensitive adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is more likely to decrease. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer 16 having high adhesive strength at high temperature is desirable.

粘着剤層16のピール強度は以下の方法で測定される。
支持用金属層として100mm×25mm、105μm厚の銅箔に、粘着剤層16を貼り付け、さらに、粘着剤層16の上に、1mm厚のアルミ基板(A5052)を、ゴムロールを用いて50Nの応力にて貼り付けて剥離用サンプルを作製する。
剥離用サンプル作製後に室温で72時間放置した後に、引張試験機(テンシロン万能試験機RTA−100、オリエンテック社製)により、測定温度25℃、剥離角度90°、剥離速度0.2m/minでピール強度を測定する。
高温加熱後のピール強度は、上記剥離用サンプルの作製において、粘着剤層16を空気中に露出させた状態で260℃のホットプレートに2分間のせた後、室温にて放冷し、その後、アルミ基板を貼り付ける以外は、上記方法と同様にして測定される。
The peel strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is measured by the following method.
A pressure-sensitive adhesive layer 16 is attached to a copper foil having a thickness of 100 mm × 25 mm and a thickness of 105 μm as a supporting metal layer. Further, a 1 mm-thick aluminum substrate (A5052) is placed on the pressure-sensitive adhesive layer 16 by using a rubber roll. A peeling sample is prepared by applying with stress.
After leaving the sample for peeling, it was allowed to stand at room temperature for 72 hours, and then measured with a tensile tester (Tensilon universal testing machine RTA-100, manufactured by Orientec Co., Ltd.) at a measurement temperature of 25 ° C., a peeling angle of 90 °, and a peeling speed of 0.2 m / min Measure peel strength.
The peel strength after high-temperature heating was determined by allowing the adhesive layer 16 to be exposed to the air in a state where the pressure-sensitive adhesive layer 16 was exposed in the air for 2 minutes, and then allowing to cool at room temperature. The measurement is performed in the same manner as in the above method except that an aluminum substrate is attached.

粘着剤は、さらに粘着付与樹脂、老化防止剤、充填剤、難燃剤など各種添加剤や、有機フィラーや無機フィラーなどを含んでいてもよい。
粘着剤に含まれる無機フィラーの体積比率は特に制限はないが、20体積%以下であることが好ましく、15体積%以下であることがより好ましく、10体積%以下であることがさらに好ましく、5体積%以下がさらに好ましい。粘着剤層16の粘着力は、空気中の実装温度での加熱により低下しやすいため、粘着力に寄与しない無機フィラーの含有量は高すぎないことが好ましく、また、20体積%以下の場合は実装温度での加熱により粘着剤層16の粘着力の低下が抑えられる。
The pressure-sensitive adhesive may further contain various additives such as a tackifier resin, an anti-aging agent, a filler, a flame retardant, an organic filler, an inorganic filler, and the like.
The volume ratio of the inorganic filler contained in the pressure-sensitive adhesive is not particularly limited, but is preferably 20% by volume or less, more preferably 15% by volume or less, and further preferably 10% by volume or less. A volume% or less is more preferable. Since the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is likely to be reduced by heating at the mounting temperature in the air, the content of the inorganic filler that does not contribute to the adhesive strength is preferably not too high, and in the case of 20% by volume or less A decrease in the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is suppressed by heating at the mounting temperature.

(耐熱性セパレータ付き粘着剤層)
本発明における耐熱性セパレータ付き粘着剤層18は、耐熱性セパレータ22と粘着剤層16とを含んで構成される。耐熱性セパレータ付き粘着剤層18は、更に、耐熱性セパレータ22の一方の面又は両面に耐熱性や耐薬品性を有する樹脂層20を有していてもよい。耐熱性セパレータ付き粘着剤層18が樹脂層20を含む場合、耐熱性セパレータ22における粘着剤層16に対向する面とは反対側の面上に樹脂層20を少なくとも有することが好ましく、耐熱性セパレータ22の両面に樹脂層20を有することがより好ましい。
(Adhesive layer with heat-resistant separator)
The pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator in the present invention includes a heat-resistant separator 22 and a pressure-sensitive adhesive layer 16. The pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator may further have a resin layer 20 having heat resistance and chemical resistance on one surface or both surfaces of the heat-resistant separator 22. When the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator includes the resin layer 20, it is preferable to have at least the resin layer 20 on the surface opposite to the surface facing the pressure-sensitive adhesive layer 16 in the heat-resistant separator 22. It is more preferable to have the resin layer 20 on both surfaces of 22.

耐熱性セパレータ22上に粘着剤層16を設ける工程としては、粘着剤層16の形成に通常用いられる方法を特に制限なく適用することができる。例えば、耐熱性セパレータ22上に粘着剤を含む粘着剤層用組成物を塗布又はラミネートする方法等を挙げることができる。また、別の基材上に粘着剤層16を形成した後、形成された粘着剤層16を耐熱性セパレータ22上に転写してもよい。別の基材としては、例えば離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルムなどが使用される。   As a process of providing the pressure-sensitive adhesive layer 16 on the heat-resistant separator 22, a method usually used for forming the pressure-sensitive adhesive layer 16 can be applied without particular limitation. For example, the method etc. which apply | coat or laminate the composition for adhesive layers containing an adhesive on the heat resistant separator 22 can be mentioned. Further, after the pressure-sensitive adhesive layer 16 is formed on another substrate, the formed pressure-sensitive adhesive layer 16 may be transferred onto the heat-resistant separator 22. As another substrate, for example, a polyethylene terephthalate film subjected to a release treatment is used.

耐熱性セパレータ22の粘着剤層16に対向する面は、粘着剤層16に対する剥離性を有していることが好ましい。これにより粘着剤層16から耐熱性セパレータ22を剥離することが容易となり、回路基板32を筐体70に貼付する工程をより効率的に実施することができる。
耐熱性セパレータ22の粘着剤層16に対向する面に剥離性を付与する方法は特に制限されない。例えば、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤、フッ素樹脂等の離型剤、あるいはそれら離型剤を含有する樹脂等の離型剤で表面処理する方法を挙げることができる。
The surface of the heat-resistant separator 22 facing the pressure-sensitive adhesive layer 16 preferably has peelability from the pressure-sensitive adhesive layer 16. Thereby, it becomes easy to peel the heat-resistant separator 22 from the pressure-sensitive adhesive layer 16, and the process of attaching the circuit board 32 to the housing 70 can be performed more efficiently.
The method for imparting peelability to the surface of the heat-resistant separator 22 facing the pressure-sensitive adhesive layer 16 is not particularly limited. For example, surface treatment with a release agent such as a silicone release agent, a fluorine release agent, a long-chain alkyl acrylate release agent, a release agent such as a fluororesin, or a resin containing these release agents. Can do.

本発明における耐熱性セパレータ付き粘着剤層18は、耐熱性に加えて耐薬品性を有することが望ましい。耐薬品性を有することで、配線板材料30における第一の金属層10から回路を形成するのに使用される酸性やアルカリ性の薬品に対する耐性が高まる。そこで、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18は、耐熱性セパレータ22および粘着剤層16に加えて、耐酸性と耐アルカリ性を有する樹脂層20を有していてもよい。樹脂層20を形成する方法は特に制限されない。   The pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator in the present invention desirably has chemical resistance in addition to heat resistance. By having chemical resistance, resistance to acidic and alkaline chemicals used to form a circuit from the first metal layer 10 in the wiring board material 30 is increased. Therefore, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator may have a resin layer 20 having acid resistance and alkali resistance in addition to the heat-resistant separator 22 and the pressure-sensitive adhesive layer 16. The method for forming the resin layer 20 is not particularly limited.

耐熱性と耐薬品性を有する樹脂として具体的には、例えば、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、及びポリアミド樹脂等を挙げることができる。中でも低収縮性の観点から、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミドイミドから選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミドから選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。   Specific examples of the resin having heat resistance and chemical resistance include polyethylene naphthalate resin, polyimide resin, epoxy resin, and polyamide resin. Among these, from the viewpoint of low shrinkage, at least one selected from polyimide resins, epoxy resins, and polyamideimides is preferable, and at least one selected from polyimide resins and polyamideimides is more preferable.

ポリイミド樹脂としては、耐熱性樹脂として通常用いられるポリイミド樹脂から適宜選択して用いることができる。またエポキシ樹脂としては、耐熱性樹脂として通常用いられるエポキシ樹脂から適宜選択して用いることができる。   As a polyimide resin, it can select from the polyimide resin normally used as a heat resistant resin, and can use it suitably. Moreover, as an epoxy resin, it can select from the epoxy resin normally used as a heat resistant resin, and can use it suitably.

樹脂層20の平均厚みは、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性、耐水性及び加工性の観点から、0.1μm〜10μmであることが好ましく、0.3μm〜7μmであることがより好ましい。   The average thickness of the resin layer 20 is preferably 0.1 μm to 10 μm, and more preferably 0.3 μm to 7 μm, from the viewpoints of heat resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance, and processability.

耐熱性セパレータ付き粘着剤層18が、耐熱性セパレータ22と粘着剤層16と樹脂層20とから構成される場合、該樹脂層20は、少なくとも基材22の粘着剤層16に対向する面とは反対側の面上に設けられていればよく、耐熱性セパレータ22の両面に樹脂層20が設けられていてもよい。   When the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator is composed of the heat-resistant separator 22, the pressure-sensitive adhesive layer 16, and the resin layer 20, the resin layer 20 has at least a surface facing the pressure-sensitive adhesive layer 16 of the substrate 22. May be provided on the opposite surface, and the resin layer 20 may be provided on both surfaces of the heat-resistant separator 22.

[粘着剤層積層工程]
本発明における粘着剤層積層工程では、前記配線板材料30又は前記配線板31における第二の金属層14に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18を積層する。または、前記配線板材料30又は前記配線板31における第二の金属層14に、粘着剤層16を積層し、その後に耐熱性セパレータ22を積層する。半導体部品40の実装に先立って、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22が積層されることで、保護フィルム等の貼付・剥離工程を設ける必要がなく生産性が向上する。またリフロー処理時に第二の金属層14が耐熱性セパレータ22で保護されているため、第二の金属層14の熱抵抗の上昇を抑制でき、優れた放熱性を達成することができる。
[Adhesive layer lamination process]
In the pressure-sensitive adhesive layer laminating step in the present invention, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator is laminated on the second metal layer 14 in the wiring board material 30 or the wiring board 31. Alternatively, the pressure-sensitive adhesive layer 16 is laminated on the second metal layer 14 in the wiring board material 30 or the wiring board 31, and then the heat-resistant separator 22 is laminated. Prior to mounting the semiconductor component 40, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated, so that there is no need to provide a sticking / peeling process such as a protective film. Will improve. Moreover, since the 2nd metal layer 14 is protected by the heat resistant separator 22 at the time of a reflow process, the raise of the thermal resistance of the 2nd metal layer 14 can be suppressed, and the outstanding heat dissipation can be achieved.

図8に、配線板材料30に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層した配線板材料積層体90の断面図例を示す。また、図9に、配線板31に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18、又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層した配線板積層体92の断面図例を示す。なお、図8及び図9では、樹脂層20を備えているが、樹脂層20の設置は任意である。   FIG. 8 shows an example of a cross-sectional view of a wiring board material laminate 90 in which the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated on the wiring board material 30. FIG. 9 shows an example of a cross-sectional view of a wiring board laminate 92 in which the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator or the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are laminated on the wiring board 31. 8 and 9, the resin layer 20 is provided, but the resin layer 20 can be installed arbitrarily.

配線板材料30または配線板31における第二の金属層14と粘着剤層16とが接するように、配線板材料30または配線板31上に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18を積層する工程、並びに配線板材料30または配線板31上に粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22をそれぞれ積層する工程としては、通常に用いられる積層方法を特に制限なく適用することができる。例えば、プレス、ラミネート方法が挙げられ、連続的に製造でき、効率が良好な観点から、ラミネート方法が好ましい。
プレス、ラミネート方法は当該技術分野で通常行なわれる方法から適宜選択して行うことができる。例えば、ラミネート方法としては、シリコーンゴム被覆ロールを備えたラミネータを用いて、20℃〜50℃という条件で行うことができる。
A step of laminating the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator on the wiring board material 30 or the wiring board 31 so that the second metal layer 14 and the pressure-sensitive adhesive layer 16 in the wiring board material 30 or the wiring board 31 are in contact with each other; As a process of laminating the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 on the wiring board material 30 or the wiring board 31, a laminating method that is usually used can be applied without any particular limitation. For example, a pressing method and a laminating method can be mentioned, and the laminating method is preferable from the viewpoint of continuous production and good efficiency.
The pressing and laminating method can be appropriately selected from methods usually performed in the technical field. For example, as a laminating method, it can carry out on the conditions of 20 to 50 degreeC using the laminator provided with the silicone rubber coating roll.

配線板材料30または配線板31上に耐熱性セパレータ付き粘着剤層18を積層する工程の具体的な方法としては、配線板材料30または配線板31における第二の金属層14と耐熱性セパレータ付き粘着剤層18における粘着剤層16とを対向させ、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18の長尺方向の一方の端部を第二の金属層14に付け、もう一方の他端部は第二の金属層14から離し、前記他端部を徐々に第二の金属層14に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、配線板材料30または配線板31と耐熱性セパレータ付き粘着剤層18とを貼付する方法が挙げられる。   As a specific method of laminating the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat resistant separator on the wiring board material 30 or the wiring board 31, the second metal layer 14 in the wiring board material 30 or the wiring board 31 and the heat resistant separator are attached. The pressure-sensitive adhesive layer 18 is opposed to the pressure-sensitive adhesive layer 16, one end in the longitudinal direction of the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator is attached to the second metal layer 14, and the other end is the second. While being separated from the metal layer 14, the other end portion is gradually brought closer to the second metal layer 14, and the pressure is applied from the one end portion toward the other end portion, so that the wiring board material 30 or the wiring board 31 is heat resistant. The method of sticking the adhesive layer 18 with a conductive separator is mentioned.

また、配線板材料30または配線板31上に粘着剤層16を積層する工程、この粘着剤層16上に耐熱性セパレータ22を積層する工程についても、上記に挙げた具体的な方法を適用することができる。詳細には、配線板材料30または配線板31における第二の金属層14と粘着剤層16とを対向させ、粘着剤層16の長尺方向の一方の端部を第二の金属層14に付け、もう一方の他端部は第二の金属層14から離し、前記他端部を徐々に第二の金属層14に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、配線板材料30または配線板31と粘着剤層16とを貼付する方法が挙げられる。そして、この粘着層16と耐熱性セパレータ22とを対向させ、耐熱性セパレータ22の長尺方向の一方の端部を粘着剤層16に付け、もう一方の他端部は粘着剤層16から離し、前記他端部を徐々に粘着剤層16に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、粘着剤層16と耐熱性セパレータ22とを貼付する方法が挙げられる。   The specific method described above is also applied to the step of laminating the pressure-sensitive adhesive layer 16 on the wiring board material 30 or the wiring board 31 and the step of laminating the heat-resistant separator 22 on the pressure-sensitive adhesive layer 16. be able to. Specifically, the second metal layer 14 and the pressure-sensitive adhesive layer 16 in the wiring board material 30 or the wiring board 31 are opposed to each other, and one end in the longitudinal direction of the pressure-sensitive adhesive layer 16 is used as the second metal layer 14. The other end is separated from the second metal layer 14, and the other end is gradually moved closer to the second metal layer 14 while being pressurized from the one end toward the other end. The method of sticking the wiring board material 30 or the wiring board 31 and the adhesive layer 16 is mentioned. The pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 are opposed to each other, one end of the heat-resistant separator 22 in the longitudinal direction is attached to the pressure-sensitive adhesive layer 16, and the other end is separated from the pressure-sensitive adhesive layer 16. There is a method of applying the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 by applying pressure from the one end to the other end while gradually bringing the other end closer to the pressure-sensitive adhesive layer 16.

配線板材料30又は配線板31に粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を積層することで、配線板材料30又は配線板31の厚みをかせぐことができる。これにより配線板材料30又は配線板31の取り扱い性に優れ、配線板材料30又は配線板31の厚みをより薄くすることができ、熱伝導性がより向上する。また、配線板材料30に積層した場合には、その後に行う外形加工が行いやすくなる。これは例えば、セパレータがスティフナ(補強材)として機能するためと考えることができる。さらに第二の金属層14が耐熱性セパレータ22で被覆されているため、通常用いられるエッチング処理によって第一の金属層10に回路形成することができ、生産性が向上する。   By laminating the adhesive layer 16 and the heat-resistant separator 22 on the wiring board material 30 or the wiring board 31, the thickness of the wiring board material 30 or the wiring board 31 can be increased. Thereby, it is excellent in the handleability of the wiring board material 30 or the wiring board 31, the thickness of the wiring board material 30 or the wiring board 31 can be made thinner, and thermal conductivity improves more. Moreover, when it laminates | stacks on the wiring board material 30, it becomes easy to perform the external shape process performed after that. This can be considered, for example, because the separator functions as a stiffener (reinforcing material). Furthermore, since the second metal layer 14 is covered with the heat-resistant separator 22, a circuit can be formed on the first metal layer 10 by a commonly used etching process, and productivity is improved.

またセパレータが耐熱性を有することから、リフロー処理によって金属回路層11上に半導体部品40等を実装する際の配線板31の変形を抑制することができる。
さらに半導体部品40等の実装に先立って粘着剤層16が設けられることで、第二の金属層14と粘着剤層16の密着性に優れ、回路基板32と筐体70との熱伝導性により優れた電子部品を生産性よく製造することができる。
Further, since the separator has heat resistance, it is possible to suppress deformation of the wiring board 31 when the semiconductor component 40 or the like is mounted on the metal circuit layer 11 by reflow processing.
Furthermore, the adhesive layer 16 is provided prior to mounting the semiconductor component 40 and the like, so that the adhesion between the second metal layer 14 and the adhesive layer 16 is excellent, and the thermal conductivity between the circuit board 32 and the housing 70 is improved. Excellent electronic components can be manufactured with high productivity.

また配線板材料30又は配線板31が回路形成用の第一の金属層10に加えて、第二の金属層14を有することで熱伝導性に優れる配線板31を構成できる。また第二の金属層14が耐熱性セパレータ22で被覆されていることで、半導体部品40が実装された回路基板32を製造する際に第二の金属層14が酸化等されることを抑制し、熱伝導性が低下することを抑制できる。   Moreover, the wiring board 31 which is excellent in thermal conductivity can be comprised because the wiring board material 30 or the wiring board 31 has the 2nd metal layer 14 in addition to the 1st metal layer 10 for circuit formation. Further, since the second metal layer 14 is covered with the heat-resistant separator 22, the second metal layer 14 is prevented from being oxidized when the circuit board 32 on which the semiconductor component 40 is mounted is manufactured. It can suppress that heat conductivity falls.

[半導体部品実装工程]
半導体部品実装工程では、金属回路層11上に半導体部品40を実装する。図10に、半導体部品実装工程により得られる部品実装配線板積層体100の断面図例を示す。
[Semiconductor component mounting process]
In the semiconductor component mounting step, the semiconductor component 40 is mounted on the metal circuit layer 11. FIG. 10 shows an example of a cross-sectional view of the component-mounted wiring board laminate 100 obtained by the semiconductor component mounting process.

半導体部品40は、例えばLED素子、コンデンサ、インダクタンス、抵抗体、半導体、LEDチップなどである。半導体部品40は、半導体素子と、半導体素子及び外部を電気的に接続する端子と、半導体素子を密封し保持する封止材とから構成される。前記端子としては、特に制限されず、例えば、銅などの導体や、はんだ等が用いられる。前記封止材としては、特に制限されず、エポキシ樹脂等が用いられる。なお、半導体部品40は、特開2007−110113号公報等に記載の方法等に準じて得ることができる。なお、配線板31上には、半導体部品40とともにコネクタ44が搭載されてもよい。   The semiconductor component 40 is, for example, an LED element, a capacitor, an inductance, a resistor, a semiconductor, an LED chip, or the like. The semiconductor component 40 includes a semiconductor element, a terminal that electrically connects the semiconductor element and the outside, and a sealing material that seals and holds the semiconductor element. The terminal is not particularly limited, and for example, a conductor such as copper, solder, or the like is used. The sealing material is not particularly limited, and an epoxy resin or the like is used. The semiconductor component 40 can be obtained according to the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-110113. A connector 44 may be mounted on the wiring board 31 together with the semiconductor component 40.

金属回路層11上にリフロー処理によって半導体部品40を実装する工程においては、例えば、必要に応じて、ソルダーレジストを回路面に形成する工程や、耐熱性セパレータ付き粘着剤層18又は粘着剤層16及び耐熱性セパレータ22を備えた配線板材料30を必要な大きさに外形加工する工程を実施した後、半導体部品40を金属回路層11上に配置し、リフロー処理によって半導体部品40を金属回路層11上に実装する。このとき半導体部品40以外のその他の部品を同時に実装してもよい。リフロー処理は通常用いられる条件で行われる。   In the process of mounting the semiconductor component 40 on the metal circuit layer 11 by the reflow process, for example, the process of forming a solder resist on the circuit surface, the pressure-sensitive adhesive layer 18 with a heat-resistant separator, or the pressure-sensitive adhesive layer 16 as necessary. Then, after carrying out a process of externally processing the wiring board material 30 provided with the heat-resistant separator 22 to a required size, the semiconductor component 40 is placed on the metal circuit layer 11 and the semiconductor component 40 is removed by reflow processing. 11 is mounted. At this time, other components other than the semiconductor component 40 may be simultaneously mounted. The reflow process is performed under the conditions normally used.

半導体部品40の実装方法は、通常用いられる方法から適宜選択することができる。例えば、金属回路層上に設けられた金属ペーストやはんだなどの導電性接続材料42を介して実装される方法が用いられる。   The mounting method of the semiconductor component 40 can be appropriately selected from commonly used methods. For example, a method of mounting via a conductive connection material 42 such as a metal paste or solder provided on the metal circuit layer is used.

金属ペーストを介して半導体部品40を搭載する方法としては、特に制限はなく、公知の方法に従うことができる。例えば、フリップチップ接続して搭載する方法等が挙げられ、具体的には、特開2004−039736号公報に記載の方法等に準じることができる。なお、搭載工程の条件については、特に限定されず、搭載しようとする半導体部品40の種類により異なり、公知の方法に準じることができる。   There is no restriction | limiting in particular as a method of mounting the semiconductor component 40 via a metal paste, A well-known method can be followed. For example, a method of mounting by flip-chip connection and the like can be mentioned, and specifically, the method described in JP-A-2004-039736 can be applied. The conditions for the mounting process are not particularly limited, and depend on the type of the semiconductor component 40 to be mounted, and can conform to a known method.

半導体部品40をはんだにより接続する場合は、はんだを溶融させるためにリフロー炉を通すなどして、配線板31及び耐熱性セパレータ22も高温に曝される。しかしながら、本発明においては、耐熱性セパレータ22が耐熱性を有することから、リフロー処理によって、260℃程度にまで加熱されても、第二の金属層14の熱抵抗が上昇することを効果的に抑制することができる。   When the semiconductor component 40 is connected by solder, the wiring board 31 and the heat-resistant separator 22 are also exposed to a high temperature, for example, by passing through a reflow furnace in order to melt the solder. However, in the present invention, since the heat resistant separator 22 has heat resistance, it is effective that the thermal resistance of the second metal layer 14 is increased even when heated to about 260 ° C. by reflow treatment. Can be suppressed.

[貼付工程]
貼付工程では、金属回路層11上に半導体部品40が実装された後、耐熱性セパレータ22を粘着剤層16との界面で剥離して、粘着剤層16を露出させ、この粘着剤層16の面上に筐体70を貼付し、電子部品が製造される。図11に、電子部品の断面図例を示す。
[Attaching process]
In the pasting step, after the semiconductor component 40 is mounted on the metal circuit layer 11, the heat-resistant separator 22 is peeled off at the interface with the pressure-sensitive adhesive layer 16 to expose the pressure-sensitive adhesive layer 16. A housing 70 is pasted on the surface to manufacture an electronic component. FIG. 11 shows an example of a cross-sectional view of an electronic component.

耐熱性セパレータ22を粘着剤層16との界面で剥離する方法及び粘着剤層16上に筐体70を貼付する方法は、特に制限されず通常行なわれる方法から適宜選択することができる。
粘着剤層16上に筐体70を貼付する方法は、粘着剤層16と筐体70とを接触させ、実装された半導体部品40以外の領域に圧力を加える方法であることが好ましい。加える圧力は特に制限されず粘着剤層16の構成に応じて適宜選択される。
The method of peeling the heat-resistant separator 22 at the interface with the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the method of sticking the housing 70 on the pressure-sensitive adhesive layer 16 are not particularly limited and can be appropriately selected from commonly performed methods.
The method of attaching the housing 70 on the pressure-sensitive adhesive layer 16 is preferably a method in which the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the housing 70 are brought into contact with each other and pressure is applied to a region other than the mounted semiconductor component 40. The pressure to be applied is not particularly limited and is appropriately selected according to the configuration of the pressure-sensitive adhesive layer 16.

粘着剤層16上に筐体70を貼付する具体的な方法としては、例えば、配線板31に付された粘着剤層16と筐体70とを対向させ、配線板31の長尺方向の一方の端部を筐体70に付け、もう一方の他端部は筐体70から離し、前記他端部を徐々に筐体70に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、粘着剤層16と筐体70とを貼付する方法が挙げられる。   As a specific method of attaching the housing 70 on the adhesive layer 16, for example, the adhesive layer 16 attached to the wiring board 31 and the housing 70 are opposed to each other, and one of the wiring boards 31 in the longitudinal direction is arranged. Is attached to the housing 70, the other end is separated from the housing 70, and the other end is gradually brought closer to the housing 70, from the one end toward the other end. A method of applying pressure and attaching the pressure-sensitive adhesive layer 16 and the housing 70 to each other is exemplified.

従来の電子部品の製造方法においては、一般に、両面に金属層を有する配線板材料の片面に保護フィルムを配置して回路加工した後、保護フィルムを剥離する。次いでリフロー処理により半導体素子を実装した後、半導体素子の実装面とは反対側に粘着剤層とセパレータを積層する。次いでセパレータを剥離して粘着剤層上に筐体を貼付する。
このように積層、剥離の工程が、本発明の電子部品の製造方法よりも多くなるため、工程が煩雑になる。また従来の方法では、リフロー処理時に第二の金属層が酸化し、熱抵抗が悪化する場合があるが、本発明においてはリフロー処理時においても第二の金属層14が保護されているため、熱抵抗の上昇を抑制することができる。
In a conventional method for manufacturing an electronic component, generally, a protective film is disposed on one side of a wiring board material having metal layers on both sides and a circuit is processed, and then the protective film is peeled off. Next, after mounting the semiconductor element by reflow treatment, an adhesive layer and a separator are laminated on the side opposite to the mounting surface of the semiconductor element. Next, the separator is peeled off, and the housing is stuck on the adhesive layer.
As described above, the number of steps of stacking and peeling is larger than that of the method for manufacturing an electronic component of the present invention, so that the steps become complicated. In the conventional method, the second metal layer may be oxidized during the reflow process, and the thermal resistance may be deteriorated. However, in the present invention, the second metal layer 14 is protected even during the reflow process. An increase in thermal resistance can be suppressed.

以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」及び「%」は質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

<実施例1>
回路形成用の第一の金属層として35μm厚の銅箔、15μm厚の絶縁層12、第二の金属層として105μm厚の銅箔がこの順に積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、HT−9000IMC)における105μm厚の銅箔面に、耐熱性セパレータ付き両面粘着テープ(耐熱性セパレータ:片面に5μmのエポキシ樹脂層が設けられた耐熱性樹脂被覆アルミ箔、厚み35μm、エポキシ樹脂の収縮率0.1%;粘着剤層:アクリル系粘着剤、厚さ50μm)の耐熱性セパレータと反対面のセパレータを剥離した後、ホットロールラミネータを用いて、温度25℃の条件で貼り付けて、配線板材料積層体を得た。
<Example 1>
A wiring board material (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 35 μm thick copper foil, a 15 μm thick insulating layer 12 and a 105 μm thick copper foil are laminated in this order as a first metal layer for circuit formation , HT-9000IMC), double-sided pressure-sensitive adhesive tape with a heat-resistant separator on a 105-μm-thick copper foil surface (heat-resistant separator: heat-resistant resin-coated aluminum foil with a 5-μm epoxy resin layer on one side, thickness 35 μm, epoxy resin Shrinkage 0.1%; pressure-sensitive adhesive layer: acrylic pressure-sensitive adhesive, thickness 50 μm) After peeling the separator on the opposite side of the heat-resistant separator, it was attached using a hot roll laminator at a temperature of 25 ° C. A wiring board material laminate was obtained.

尚、セパレータを構成する耐熱性樹脂の収縮率は以下のようにして測定した。厚さ50μmの耐熱性樹脂からなる耐熱性樹脂フィルムを10cm×10cmに切断して対角線の長さを25℃で測定した。次いで250℃のオーブン中に1分間熱処理した後、室温で放冷した。熱処理後の耐熱性樹脂フィルムについて対角線の長さを測定し、これを熱処理前の対角線の長さで除して収縮率を算出した。   The shrinkage rate of the heat resistant resin constituting the separator was measured as follows. A heat-resistant resin film made of a heat-resistant resin having a thickness of 50 μm was cut into 10 cm × 10 cm, and the length of the diagonal line was measured at 25 ° C. Subsequently, after heat-treating in an oven at 250 ° C. for 1 minute, it was allowed to cool at room temperature. The diagonal length of the heat-resistant resin film after the heat treatment was measured, and this was divided by the length of the diagonal line before the heat treatment to calculate the shrinkage rate.

得られた配線板材料積層体を用いて、35μm厚の銅箔面上にエッチングレジストを設けた後、銅箔を塩化鉄水溶液中で腐食、溶解して、回路加工した。その後、ソルダーレジストを所定箇所に印刷して、150℃で2時間硬化処理した。その後、幅5mm、長さ400mmに外形加工して、回路が形成された面とは反対側の面上に粘着剤層とセパレータとが積層された配線板を得た。   Using the obtained wiring board material laminate, an etching resist was provided on a 35 μm thick copper foil surface, and then the copper foil was corroded and dissolved in an aqueous iron chloride solution to process a circuit. Thereafter, a solder resist was printed at a predetermined location and cured at 150 ° C. for 2 hours. Thereafter, the outer shape was processed to a width of 5 mm and a length of 400 mm to obtain a wiring board in which an adhesive layer and a separator were laminated on a surface opposite to the surface on which the circuit was formed.

得られた配線板の回路上に、LEDチップ及びコネクタを配置した後、リフロー処理(温度265℃)によってLEDチップ及びコネクタをはんだで実装した。
その後、セパレータを剥離し、露出した粘着剤層をアルミ筐体(大きさ10mm×430mm×2mm)に貼付して半導体装置を得た。尚、貼付時にはLEDチップ及びコネクタが実装されていない基板部分に圧力を加えて固定した。
得られた半導体装置の通電時のLEDチップの表面温度を測定したところ、80℃であった。
After arranging the LED chip and the connector on the circuit of the obtained wiring board, the LED chip and the connector were mounted with solder by a reflow process (temperature of 265 ° C.).
Thereafter, the separator was peeled off, and the exposed adhesive layer was attached to an aluminum housing (size 10 mm × 430 mm × 2 mm) to obtain a semiconductor device. At the time of pasting, pressure was applied to the substrate portion on which the LED chip and the connector were not mounted and fixed.
It was 80 degreeC when the surface temperature of the LED chip at the time of electricity supply of the obtained semiconductor device was measured.

<実施例2>
実施例1において、耐熱性セパレータとして片面に5μmのポリイミド樹脂層(ポリイミド樹脂の収縮率0.1%)が設けられた耐熱性樹脂被覆アルミ箔を用いたこと以外は、実施例1と同様にして半導体装置を得た。
得られた半導体装置の通電時のLEDチップの表面温度を測定したところ、80℃であった。
<Example 2>
In Example 1, a heat resistant resin-coated aluminum foil provided with a 5 μm polyimide resin layer (polyimide resin shrinkage 0.1%) on one side was used as the heat resistant separator in the same manner as in Example 1. A semiconductor device was obtained.
It was 80 degreeC when the surface temperature of the LED chip at the time of electricity supply of the obtained semiconductor device was measured.

<実施例3>
<耐熱性樹脂層を有する銅セパレータの作製>
35μm厚の銅箔、15μm厚のポリイミド層が積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、MCF−5000IS)を150℃で1時間焼成した。次いで、配線板材料の銅箔面にフッ素含有珪素化合物を固形分濃度0.2質量%含有したフッ素含有珪素化合物の処理液(住友スリーエム社製、EGC−1720)を塗布し、室温で6時間乾燥させた。その後、前記配線板材料を100℃で1時間熱処理し、アセトンを浸したキムワイプ(登録商標)で銅箔面をこすることで、耐熱性樹脂層を有する銅セパレータを作製した。
<Example 3>
<Preparation of a copper separator having a heat resistant resin layer>
A wiring board material (MCF-5000IS, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) obtained by laminating a 35 μm thick copper foil and a 15 μm thick polyimide layer was fired at 150 ° C. for 1 hour. Next, a fluorine-containing silicon compound treatment liquid (Sumitomo 3M, EGC-1720) containing a fluorine-containing silicon compound in a solid content concentration of 0.2% by mass is applied to the copper foil surface of the wiring board material, and at room temperature for 6 hours. Dried. Then, the said wiring board material was heat-processed at 100 degreeC for 1 hour, and the copper separator which has a heat resistant resin layer was produced by rubbing a copper foil surface with Kimwipe (trademark) which immersed acetone.

<配線板の作製>
回路形成用の第一の金属層として35μm厚の銅箔、10μm厚の絶縁層12、第二の金属層として105μm厚の銅箔がこの順に積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、HT−9000IMC)の回路形成用の第一の金属層にエッチングレジストを設けた後、塩化第二鉄水溶液中で銅を溶解することで回路加工し、金属回路層とした。その後、金属回路層面上の所定箇所にソルダーレジストを印刷し、120℃90分間の熱処理により硬化した。次いで、6mm幅、100mm長に外形加工し、配線板を製造した。
<Production of wiring board>
A circuit board material (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 35 μm-thick copper foil, a 10 μm-thick insulating layer 12, and a second metal layer of 105 μm-thick copper foil are laminated in this order as a first metal layer for circuit formation , HT-9000IMC), an etching resist was provided on the first metal layer for circuit formation, and then the circuit was processed by dissolving copper in a ferric chloride aqueous solution to obtain a metal circuit layer. Then, the soldering resist was printed in the predetermined location on the metal circuit layer surface, and it hardened | cured by heat processing for 120 minutes at 120 degreeC. Next, the outer shape was processed to a width of 6 mm and a length of 100 mm to manufacture a wiring board.

<耐熱性セパレータ付き粘着剤層の積層>
配線板と同形の両面粘着テープ(日立化成工業社製、ヒタレックスDA−3050、50μm)を準備した。配線板の第二の金属層を上向きにし、この両面粘着テープの一方の面の離型PETフィルムを剥がして、上記配線板の第二の金属層に貼り付けることで粘着剤層を積層した。
なお、粘着剤層の熱伝導率は0.2W/mK、熱抵抗は2.5℃・cm/Wであった。粘着剤層の熱伝導率および熱抵抗の測定は、下記の方法により行った。
<Lamination of adhesive layer with heat-resistant separator>
A double-sided adhesive tape (Hitalex DA-3050, 50 μm, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having the same shape as the wiring board was prepared. The adhesive layer was laminated | stacked by making the 2nd metal layer of a wiring board face upward, peeling the release PET film of one surface of this double-sided adhesive tape, and affixing on the 2nd metal layer of the said wiring board.
The pressure-sensitive adhesive layer had a thermal conductivity of 0.2 W / mK and a thermal resistance of 2.5 ° C. · cm 2 / W. The thermal conductivity and thermal resistance of the pressure-sensitive adhesive layer were measured by the following method.

次いで、前記配線板に粘着させた粘着剤層からもう一枚の離型PETフィルムを剥離した後に、粘着剤層上に上記銅セパレータを積層し、配線板積層体を得た。このとき、銅セパレータの長尺方向の一方の端部を配線板に付け、他方の他端部を配線板から離した状態で、他端部を徐々に配線板に近づけながら、銅セパレータの一方の端部から他端部に向けてゴムロールで加圧して粘着した。   Next, another release PET film was peeled from the adhesive layer adhered to the wiring board, and then the copper separator was laminated on the adhesive layer to obtain a wiring board laminate. At this time, with one end of the copper separator in the longitudinal direction attached to the wiring board and the other end of the copper separator separated from the wiring board, one end of the copper separator is gradually brought closer to the wiring board. A pressure was applied with a rubber roll from one end to the other end to adhere.

<粘着剤層の熱伝導率と熱抵抗の評価>
まず、粘着剤層の熱伝導率をレーザーフラッシュ法にて評価した。キセノンフラッシュアナライザー(NETZSCH社製NanoflashLFA447)を用いて、粘着剤層を0.6MPaで挟んだ2枚の銅板(1mm厚)にキセノンフラッシュ光を照射し、裏面銅板の温度の時間依存性を測定し、3層モデルを解析することで粘着剤層の熱伝導率[W/mK]を評価した。
<Evaluation of thermal conductivity and thermal resistance of adhesive layer>
First, the thermal conductivity of the adhesive layer was evaluated by a laser flash method. Using a xenon flash analyzer (Nanoflash LFA447 manufactured by NETZSCH), two copper plates (1 mm thick) with an adhesive layer sandwiched at 0.6 MPa were irradiated with xenon flash light, and the time dependence of the temperature of the back copper plate was measured. The thermal conductivity [W / mK] of the pressure-sensitive adhesive layer was evaluated by analyzing the three-layer model.

次いで、熱抵抗を計算式(熱抵抗[℃・cm/W]=10×粘着剤層の厚み[mm]/熱伝導率[W/mK])から評価した。ここで粘着剤層の厚みは、前記熱伝導シートを0.6MPaで挟んだ2枚の銅板の厚みから、銅板の厚みを差し引いた値とした。 Next, the thermal resistance was evaluated from the calculation formula (thermal resistance [° C. · cm 2 / W] = 10 × pressure-sensitive adhesive layer thickness [mm] / thermal conductivity [W / mK]). Here, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer was a value obtained by subtracting the thickness of the copper plate from the thickness of the two copper plates sandwiching the heat conductive sheet at 0.6 MPa.

<部品実装>
配線板積層体の金属回路層に複数のはんだ(千住金属工業社製、ECO SOLDER PASTE Lead Free、M705、Sn−3.0Ag−0.5Cu、溶融温度220℃)、LED部品(Philips Lumileds Lighting社製、LXML−PWC1−0080、4.6mm長×3.2mm幅×2.1mm高)、コネクタ等を載せ、リフロー処理(最大260℃)することで、片面実装した部品実装配線板積層体が良好に得られた。
得られた部品実装配線板積層体における粘着剤層から銅セパレータは容易に剥離できた。これは銅セパレータが耐熱性を有しており、リフロー炉の搬送器に溶融接着しなかったためである。
<Component mounting>
Multiple solders (ECO SOLDER PASTE Lead Free, manufactured by Senju Metal Industry Co., Ltd., M705, Sn-3.0Ag-0.5Cu, melting temperature 220 ° C.), LED parts (Philips Lumileds Lighting) Made by LXML-PWC1-0080, 4.6mm length x 3.2mm width x 2.1mm height), connectors, etc., and reflow treatment (maximum 260 ° C), so that the component-mounted wiring board laminate mounted on one side is Obtained well.
The copper separator could be easily peeled from the pressure-sensitive adhesive layer in the obtained component-mounted wiring board laminate. This is because the copper separator has heat resistance and did not melt and adhere to the transporter of the reflow furnace.

<実施例4>
回路形成用の第一の金属層として35μm厚の銅箔、100μm厚の絶縁層、第二の金属層として1mm厚のアルミニウム板がこの順に積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、HT−5100M)を用いた以外は、実施例3と同様に配線板の作製、セパレータ付き粘着剤層の積層、部品実装を行うことで、部品実装配線板積層体が良好に得られた。
得られた部品実装配線板積層体における粘着剤層から銅セパレータは容易に剥離できた。
<Example 4>
A wiring board material (made by Hitachi Chemical Co., Ltd.), in which a 35 μm thick copper foil, a 100 μm thick insulating layer, and a 1 mm thick aluminum plate are laminated in this order as a first metal layer for circuit formation A component-mounted wiring board laminate was satisfactorily obtained by preparing a wiring board, laminating a pressure-sensitive adhesive layer with a separator, and mounting components in the same manner as in Example 3 except that HT-5100M) was used.
The copper separator could be easily peeled from the pressure-sensitive adhesive layer in the obtained component-mounted wiring board laminate.

<実施例5>
<耐熱性樹脂層を有するアルミセパレータの作製>
エポキシ樹脂(リファインテック社製、エポマウント主剤27−771、100部とエポマウント硬化剤27−772、9部の混合物)を35μm厚のアルミ箔に塗布した。エポキシ樹脂を塗布したアルミ箔を室温(25℃)で24時間放置した後、150℃で1時間焼成し、5μmのエポキシ樹脂層と35μmのアルミ箔が積層されてなる積層物を得た。
<Example 5>
<Preparation of an aluminum separator having a heat resistant resin layer>
Epoxy resin (a mixture of Refinetech Co., Ltd., Epomount main agent 27-771, 100 parts and Epomount curing agent 27-772, 9 parts) was applied to an aluminum foil having a thickness of 35 μm. The aluminum foil coated with the epoxy resin was allowed to stand at room temperature (25 ° C.) for 24 hours and then fired at 150 ° C. for 1 hour to obtain a laminate in which a 5 μm epoxy resin layer and a 35 μm aluminum foil were laminated.

次いで、この積層物のアルミ箔面にフッ素含有珪素化合物を固形分濃度0.2質量%含有したフッ素含有珪素化合物の処理液(住友スリーエム社製、EGC−1720)を塗布し、室温(25℃)で6時間乾燥させた。その後、前記配線板材料を100℃で1時間熱処理し、アセトンを浸したキムワイプ(登録商標)でアルミ箔面をこすることで、耐熱性樹脂層を有するアルミセパレータを作製した。   Next, a treatment liquid of fluorine-containing silicon compound containing 0.2% by mass of a solid content of fluorine-containing silicon compound (EGC-1720, manufactured by Sumitomo 3M Limited) was applied to the aluminum foil surface of the laminate, and room temperature (25 ° C. ) For 6 hours. Thereafter, the wiring board material was heat-treated at 100 ° C. for 1 hour, and the aluminum foil surface was rubbed with Kimwipe (registered trademark) soaked in acetone to produce an aluminum separator having a heat-resistant resin layer.

また、耐熱性樹脂層の収縮率を測定するためのサンプルは以下のように作製した。同様にして得た35μm厚のアルミ箔、50μm厚のエポキシ樹脂層が積層されてなる積層物からアルミ箔をエッチングにより除去し、50μmのエポキシ樹脂フィルムを得た。10cm×10cmに切断したエポキシ樹脂フィルムの対角線の長さを25℃で測定した。このエポキシ樹脂フィルムの収縮率を上記と同様の方法により求めた。エポキシ樹脂フィルムの収縮率は1.7%だった。   Moreover, the sample for measuring the shrinkage | contraction rate of a heat resistant resin layer was produced as follows. Similarly, the aluminum foil was removed by etching from a laminate obtained by laminating a 35 μm-thick aluminum foil and a 50 μm-thick epoxy resin layer to obtain a 50 μm epoxy resin film. The length of the diagonal line of the epoxy resin film cut into 10 cm × 10 cm was measured at 25 ° C. The shrinkage ratio of this epoxy resin film was determined by the same method as described above. The shrinkage ratio of the epoxy resin film was 1.7%.

<セパレータ付き粘着剤層の積層>
回路形成用の第一の金属層として35μm厚の銅箔、10μm厚の絶縁層、第二の金属層として105μm厚の銅箔がこの順に積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、HT−9000IMC)の第二の金属層に、配線板材料と同形の両面粘着テープ(日立化成工業社製、ヒタレックスDA−3050、50μm)を貼り付けることで粘着剤層を積層した。なお、粘着剤層の熱伝導率は0.2W/mK、熱抵抗は2.5℃・cm/Wであった。
次いで、両面粘着テープのPET離型フィルムを剥離して粘着剤層を露出させ、ここに耐熱性樹脂層を有するアルミセパレータを積層した。
<Lamination of pressure-sensitive adhesive layer with separator>
As a first metal layer for circuit formation, a 35 μm thick copper foil, a 10 μm thick insulating layer, and a second metal layer of 105 μm thick copper foil layered in this order (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., The adhesive layer was laminated | stacked on the 2nd metal layer of HT-9000IMC by affixing the double-sided adhesive tape (The Hitachi Chemical Co., Ltd. make, Hitachilex DA-3050, 50 micrometers) of the same shape as wiring board material. The pressure-sensitive adhesive layer had a thermal conductivity of 0.2 W / mK and a thermal resistance of 2.5 ° C. · cm 2 / W.
Next, the PET release film of the double-sided pressure-sensitive adhesive tape was peeled to expose the pressure-sensitive adhesive layer, and an aluminum separator having a heat-resistant resin layer was laminated thereon.

<配線板の作製>
配線板材料に粘着剤層、耐熱性樹脂層を有するアルミセパレータをこの順に積層させた配線板材料積層体の回路形成用の第一の金属層にエッチングレジストを設けた後、塩化第二鉄水溶液中で銅を溶解することで回路加工し、金属回路層11とした。その後、金属回路層面上の所定箇所にソルダーレジストを印刷し、120℃90分間の熱処理により硬化した。次いで、6mm幅、100mm長に外形加工し、配線板積層体を製造した。
<Production of wiring board>
After providing an etching resist on the first metal layer for circuit formation of the wiring board material laminate in which an aluminum separator having an adhesive layer and a heat-resistant resin layer is laminated in this order on the wiring board material, an aqueous ferric chloride solution is provided. Circuit processing was performed by dissolving copper in the metal circuit layer 11. Then, the soldering resist was printed in the predetermined location on the metal circuit layer surface, and it hardened | cured by heat processing for 120 minutes at 120 degreeC. Next, the outer shape was processed to a width of 6 mm and a length of 100 mm to produce a wiring board laminate.

<部品実装>
実施例3と同様にして部品実装を行うことで、部品実装配線板積層体が良好に得られた。得られた部品実装配線板積層体における粘着剤層からセパレータは容易に剥離できた。
<Component mounting>
By performing component mounting in the same manner as in Example 3, a component-mounted wiring board laminate was satisfactorily obtained. The separator was easily peeled from the pressure-sensitive adhesive layer in the obtained component-mounted wiring board laminate.

<比較例1>
回路形成用の第一の金属層として35μm厚の銅箔、15μm厚の絶縁層12、第二の金属層として105μm厚の銅箔がこの順に積層されてなる配線板材料(日立化成工業社製、HT−9000IMC)の105μm厚の銅箔面に、保護フィルム(片面に粘着剤層(厚さ50μm)が設けられた非耐熱性のポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ50μm、収縮率20%)を貼り付けて、配線板形成用積層体を得た。
<Comparative Example 1>
A wiring board material (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 35 μm thick copper foil, a 15 μm thick insulating layer 12 and a 105 μm thick copper foil are laminated in this order as a first metal layer for circuit formation HT-9000IMC) with a protective film (non-heat-resistant polyethylene terephthalate film (thickness 50 μm, shrinkage 20%) with a pressure-sensitive adhesive layer (thickness 50 μm) on one side) In addition, a laminate for forming a wiring board was obtained.

その後、35μm厚の銅箔面上にエッチングレジストを設けた後、銅箔を塩化鉄水溶液中で腐食、溶解して、回路加工した。その後、ソルダーレジストを所定箇所に印刷して、150℃で2時間硬化処理した。保護フィルムを剥離した後、幅5mm、長さ400mmに外形加工して、配線板を得た。   Thereafter, an etching resist was provided on the surface of the 35 μm thick copper foil, and then the copper foil was corroded and dissolved in an aqueous iron chloride solution to process a circuit. Thereafter, a solder resist was printed at a predetermined location and cured at 150 ° C. for 2 hours. After peeling off the protective film, the outer shape was processed to a width of 5 mm and a length of 400 mm to obtain a wiring board.

得られた配線板の回路上に、LEDチップ及びコネクタを配置した後、リフロー処理によってLEDチップ及びコネクタを半田で実装した。
その後、両面セパレータ付き粘着テープ(セパレータ:ポリエチレンテレフタレートフィルム;粘着剤層:アクリル系粘着剤、厚さ50μm)の片面のセパレータを剥離した後、LEDチップが実装された配線板の実装面とは反対側の面上に粘着テープを貼り付けた。粘着テープは、LEDチップが実装されていない基板部分に圧力を加えて貼り付けたため、配線板の銅箔面と粘着テープの間に部分的に空隙が生じた。
次いで粘着テープのポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、露出した粘着剤層をアルミ筐体に貼付して半導体装置を得た。尚、筐体への貼付時にはLEDチップ及びコネクタが実装されていない基板部分に圧力を加えて固定した。
得られた半導体装置の通電時のLEDチップの表面温度を測定したところ、88℃であった。
After arranging the LED chip and the connector on the circuit of the obtained wiring board, the LED chip and the connector were mounted with solder by a reflow process.
Then, after removing the separator on one side of the adhesive tape with double-sided separator (separator: polyethylene terephthalate film; adhesive layer: acrylic adhesive, thickness 50 μm), it is opposite to the mounting surface of the wiring board on which the LED chip is mounted Adhesive tape was affixed on the side surface. Since the adhesive tape was applied by applying pressure to the substrate portion on which the LED chip was not mounted, a gap was partially generated between the copper foil surface of the wiring board and the adhesive tape.
Next, the polyethylene terephthalate film of the pressure-sensitive adhesive tape was peeled off, and the exposed pressure-sensitive adhesive layer was attached to an aluminum casing to obtain a semiconductor device. In addition, at the time of sticking to a housing | casing, it applied and fixed to the board | substrate part in which the LED chip and the connector are not mounted.
It was 88 degreeC when the surface temperature of the LED chip at the time of electricity supply of the obtained semiconductor device was measured.

<比較例2>
まず、実施例3と同様に配線板の作製まで行った。次いで、配線板の第二の金属層を上向きにし、第二の金属層に配線板と同形の両面粘着テープ(日立化成工業社製、ヒタレックスDA−3050)を貼り付けることで粘着剤層を積層した。しかし、セパレータにはPET離型フィルムをそのまま使用した。
<Comparative example 2>
First, the production of the wiring board was performed in the same manner as in Example 3. Next, the second metal layer of the wiring board faces upward, and a double-sided adhesive tape (Hitalex DA-3050, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having the same shape as the wiring board is attached to the second metal layer to laminate the adhesive layer did. However, the PET release film was used as it was for the separator.

次いで、実施例3と同様に部品実装を行った。その結果、PETセパレータが収縮、溶融し、リフロー炉の搬送ラインからセパレータがはずせなかった。また、PETセパレータの収縮にともない配線板が変形し、LED部品がパッド部からずれていた。その結果、良好な回路基板積層体は得られなかった。   Next, component mounting was performed in the same manner as in Example 3. As a result, the PET separator contracted and melted, and the separator could not be removed from the transfer line of the reflow furnace. Further, the wiring board was deformed with the shrinkage of the PET separator, and the LED component was displaced from the pad portion. As a result, a good circuit board laminate was not obtained.

[比較例3]
まず、実施例3と同様に配線板の作製を行い、次いで実施例3と同様に部品実装を行った。次に、実施例3と同様に耐熱性セパレータ付き粘着剤層の積層を行った。その際、セパレータ付き粘着剤層を指で強く加圧し、素早く配線板に積層した。その結果、セパレータ付き粘着剤層を積層させる時の応力により、図12(D)に示すように配線板が変形した。
[Comparative Example 3]
First, a wiring board was produced in the same manner as in Example 3, and then component mounting was carried out in the same manner as in Example 3. Next, the pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator was laminated in the same manner as in Example 3. At that time, the pressure-sensitive adhesive layer with a separator was strongly pressed with a finger and quickly laminated on the wiring board. As a result, the wiring board was deformed as shown in FIG. 12D due to the stress when the pressure-sensitive adhesive layer with a separator was laminated.

[比較例4]
まず、実施例3と同様に配線板の作製を行い、次いで実施例3と同様に部品実装を行った。次に、実施例3と同様に耐熱性セパレータ付き粘着剤層の積層を行った。その際、セパレータ付き粘着剤層を指で弱く加圧し、素早く配線板に積層した。その結果、粘着剤層と配線板の間に気泡が巻き込まれた。
[Comparative Example 4]
First, a wiring board was produced in the same manner as in Example 3, and then component mounting was carried out in the same manner as in Example 3. Next, the pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator was laminated in the same manner as in Example 3. At that time, the pressure-sensitive adhesive layer with a separator was weakly pressed with a finger and quickly laminated on the wiring board. As a result, bubbles were caught between the pressure-sensitive adhesive layer and the wiring board.

[比較例5]
まず、実施例3と同様に配線板の作製を行い、次いで実施例3と同様に部品実装を行った。次に、実施例3と同様に耐熱性セパレータ付き粘着剤層の積層を行った。その際、セパレータ付き粘着剤層を指で弱く加圧し、ゆっくりと配線板に積層した。その結果、図12(E)のように、積層したセパレータ付き粘着剤層が回路基板からずれた。
[Comparative Example 5]
First, a wiring board was produced in the same manner as in Example 3, and then component mounting was carried out in the same manner as in Example 3. Next, the pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator was laminated in the same manner as in Example 3. At that time, the pressure-sensitive adhesive layer with the separator was weakly pressed with a finger and slowly laminated on the wiring board. As a result, as shown in FIG. 12E, the laminated pressure-sensitive adhesive layer with a separator was displaced from the circuit board.

以上の結果から、本発明の電子部品の製造方法によれば、熱伝導性に優れる電子部品を、効率よく製造できることが分かる。   From the above results, it can be seen that according to the method of manufacturing an electronic component of the present invention, an electronic component having excellent thermal conductivity can be efficiently manufactured.

10 回路形成用の第一の金属層
11 金属回路層
12 絶縁層
14 第二の金属層
16 粘着剤層
18 耐熱性セパレータ付き粘着剤層
20 樹脂層
22 耐熱性セパレータ(基材)
30 配線板材料
31 配線板
40 半導体部品
42 導電性接続材料
44 コネクタ
70 筐体
90 配線板材料積層体
92 配線板積層体
100 部品実装配線板積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st metal layer 11 for circuit formation Metal circuit layer 12 Insulating layer 14 2nd metal layer 16 Adhesive layer 18 Adhesive layer 20 with a heat resistant separator Resin layer 22 Heat resistant separator (base material)
30 Wiring board material 31 Wiring board 40 Semiconductor component 42 Conductive connection material 44 Connector 70 Housing 90 Wiring board material laminated body 92 Wiring board laminated body 100 Component mounting wiring board laminated body

Claims (8)

回路形成用の第一の金属層、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板材料における前記第二の金属層に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する、または粘着剤層を積層した後に耐熱性セパレータを積層する粘着剤層積層工程と、
前記粘着剤層積層工程の後で、前記回路形成用の第一の金属層から回路を形成して金属回路層を作製し、配線板材料から配線板とする工程と、
前記金属回路層上に半導体部品を実装する半導体部品実装工程と、
前記耐熱性セパレータを剥離して、前記粘着剤層上に筐体を貼付する貼付工程と、
を含む電子部品の製造方法。
A pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator is laminated on the second metal layer in the wiring board material in which the first metal layer for circuit formation, the insulating layer, and the second metal layer are laminated in this order, or a pressure-sensitive adhesive An adhesive layer laminating step of laminating a heat-resistant separator after laminating the layers;
After the pressure-sensitive adhesive layer laminating step, forming a circuit from the first metal layer for forming the circuit to produce a metal circuit layer, and using the wiring board material as a wiring board;
A semiconductor component mounting step of mounting a semiconductor component on the metal circuit layer;
An affixing step of peeling the heat-resistant separator and affixing a housing on the adhesive layer;
Of electronic parts including
金属回路、絶縁層及び第二の金属層がこの順に積層された配線板における前記第二の金属層に、耐熱性セパレータ付き粘着剤層を積層する、または粘着剤層を積層した後に耐熱性セパレータを積層する粘着剤層積層工程と、
前記金属回路層上に半導体部品を実装する半導体部品実装工程と、
前記耐熱性セパレータを剥離して、前記粘着剤層上に筐体を貼付する貼付工程と、
を含む電子部品の製造方法。
A pressure-sensitive adhesive layer with a heat-resistant separator is laminated on the second metal layer in the wiring board in which the metal circuit, the insulating layer, and the second metal layer are laminated in this order, or the heat-resistant separator after the pressure-sensitive adhesive layer is laminated. A pressure-sensitive adhesive layer laminating step,
A semiconductor component mounting step of mounting a semiconductor component on the metal circuit layer;
An affixing step of peeling the heat-resistant separator and affixing a housing on the adhesive layer;
Of electronic parts including
前記貼付工程において、前記配線板に付された前記粘着剤層と前記筐体とを対向させ、前記配線板の長尺方向の一方の端部を前記筐体に付け、もう一方の他端部は前記筐体から離し、前記他端部を徐々に前記筐体に近づけながら、前記一方の端部から前記他端部に向けて加圧し、前記粘着剤層と前記筐体とを貼付する請求項1または請求項2に記載の電子部品の製造方法。   In the attaching step, the adhesive layer attached to the wiring board and the housing are opposed to each other, and one end portion in the longitudinal direction of the wiring board is attached to the housing, and the other other end portion. Is pressed from the one end to the other end while the other end is gradually brought closer to the case, and the adhesive layer and the case are attached. The manufacturing method of the electronic component of Claim 1 or Claim 2. 前記耐熱性セパレータが、更に耐熱性樹脂層を有する請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component as described in any one of Claims 1-3 in which the said heat resistant separator has a heat resistant resin layer further. 前記耐熱性セパレータが、基材として紙を有する請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component as described in any one of Claims 1-4 in which the said heat resistant separator has paper as a base material. 前記耐熱性セパレータが、基材としてアルミニウム箔及び銅箔から選択される少なくとも1種の金属箔を有する請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component as described in any one of Claims 1-4 in which the said heat resistant separator has at least 1 sort (s) of metal foil selected from aluminum foil and copper foil as a base material. 前記配線板の平均厚さが50μm以上500μm以下である、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component as described in any one of Claims 1-6 whose average thickness of the said wiring board is 50 micrometers or more and 500 micrometers or less. 請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法を用いて作製される電子部品。   The electronic component produced using the manufacturing method of the electronic component as described in any one of Claims 1-7.
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