JP2013187383A - バンプ構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基材の一面上にアルミニウムよりなるバンプを形成してなるバンプ構造体の製造方法において、バンプ高さを確保しつつ、短時間で錐体形状をなすアルミニウムバンプを形成する。
【解決手段】ワイヤ200を用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うツールであって、さらにワイヤ押さえ面101に、空間形状がバンプ20の外形に対応した錐体形状をなす凹部102を有するボンディングツール100を用意し、基材10の一面11上にバンプ20の素材となるワイヤ200を接触させ、ツール100のワイヤ押さえ面102にてワイヤ200を基材10の一面11側に押し付けた状態で、ウェッジボンディングを行うことで、ワイヤ200を凹部102に食い込ませて錐体形状に整形しつつ、基材10の一面11上に接合し、この整形されたワイヤ200をバンプ20とする。
【選択図】図7
【解決手段】ワイヤ200を用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うツールであって、さらにワイヤ押さえ面101に、空間形状がバンプ20の外形に対応した錐体形状をなす凹部102を有するボンディングツール100を用意し、基材10の一面11上にバンプ20の素材となるワイヤ200を接触させ、ツール100のワイヤ押さえ面102にてワイヤ200を基材10の一面11側に押し付けた状態で、ウェッジボンディングを行うことで、ワイヤ200を凹部102に食い込ませて錐体形状に整形しつつ、基材10の一面11上に接合し、この整形されたワイヤ200をバンプ20とする。
【選択図】図7
Description
本発明は、基材の一面上にアルミニウムよりなる錐体形状のバンプを形成してなるバンプ構造体の製造方法に関する。
一般に、この種のバンプ構造体は、一面を接合面とする基材と、この基材の一面上に設けられ当該一面側を底面とする錐体形状をなすアルミニウムよりなるバンプと、を備える。ここで、基材としては、たとえば半導体チップや基板等が挙げられる。
ここで、バンプは、接続されるべき相手側部材に対して押し付けられることで、当該バンプの先端側が潰れた状態で相手側部材に接続されるものである。そのため、バンプの先端側には潰し代が必要であるが、バンプを円錐または角錐等の錐体形状とすることで、バンプ高さを確保するようにしている。
ところで、このような錐体形状のバンプをアルミニウムではなく金で形成する場合、従来では、ボールボンディング用のボンディングツールを用いて、放電により形成されたボールを基材の一面に押し付けて錐体形状に整形する方法が一般に挙げられる。
しかしながら、このボールボンディング法によるバンプ形成方法を、アルミニウムに適用してバンプを形成するようにした場合、放電によってボール形状とするときに、当該ボール表面に酸化膜が形成されることで歪んだボール形状となってしまい、狙いの錐体形状を形成することが困難である。つまり、従来では、ボールボンディング法によるバンプ形成方法をアルミニウムに適用することはできなかった。
一方、錐体形状をなすアルミニウムバンプを形成する方法として、従来では、基材の一面上にアルミニウムの堆積膜を形成し、これをエッチングして錐体形状のバンプを形成する方法が提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、上記特許文献1の方法の場合、バンプ高さの確保のために上記堆積膜を厚く形成する必要があり、この堆積膜の製造やこれのエッチングのための製造等に時間がかかってしまう。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、基材の一面上にアルミニウムよりなるバンプを形成してなるバンプ構造体の製造方法において、バンプ高さを確保しつつ、短時間で錐体形状をなすアルミニウムバンプを形成することのできる製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明者は、ワイヤの放電を行うことなく、超音波振動および荷重を印加することによって短時間で複数個のワイヤボンディングが可能なウェッジボンディングによって、アルミニウムバンプを形成することについて、鋭意検討を行った、本発明は、この検討に基づいて創出されたものである。
すなわち、請求項1に記載の発明では、一面(11)を接合面とする基材(10)と、基材の一面上に設けられ当該一面側を底面(21a)とする錐体形状をなすアルミニウムよりなるバンプ(20)と、を備えるバンプ構造体の製造方法であって、
基材、およびバンプの素材となるアルミニウムよりなるワイヤ(200)を用意する部品用意工程と、ワイヤを用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うツールであって、さらにワイヤの押し付けを行うワイヤ押さえ面(101)に、空間形状がバンプの外形に対応した錐体形状をなす凹部(102)を有するボンディングツール(100)を用意するツール用意工程と、基材の一面上にワイヤを接触させ、ボンディングツールのワイヤ押さえ面にてワイヤを基材の一面側に押し付けた状態で、超音波振動および荷重を印加するウェッジボンディングを行ってワイヤを凹部に食い込ませることにより、ワイヤを凹部に対応した錐体形状に整形しつつ基材の一面上に接合し、この整形されたワイヤをバンプとするバンプ形成工程と、バンプから前記ワイヤを切り離すカット工程と、を備えることを特徴とする。
基材、およびバンプの素材となるアルミニウムよりなるワイヤ(200)を用意する部品用意工程と、ワイヤを用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うツールであって、さらにワイヤの押し付けを行うワイヤ押さえ面(101)に、空間形状がバンプの外形に対応した錐体形状をなす凹部(102)を有するボンディングツール(100)を用意するツール用意工程と、基材の一面上にワイヤを接触させ、ボンディングツールのワイヤ押さえ面にてワイヤを基材の一面側に押し付けた状態で、超音波振動および荷重を印加するウェッジボンディングを行ってワイヤを凹部に食い込ませることにより、ワイヤを凹部に対応した錐体形状に整形しつつ基材の一面上に接合し、この整形されたワイヤをバンプとするバンプ形成工程と、バンプから前記ワイヤを切り離すカット工程と、を備えることを特徴とする。
この製造方法によれば、超音波振動させながら荷重印加することによって短時間で複数個のワイヤの接合動作が可能なウェッジボンディング用のボンディングツールを用い、さらにこのボンディングツールに錐体形状の凹部を設けることで、当該ワイヤを錐体形状に整形しつつ、基材に接合できるから、錐体形状のアルミニウムバンプを迅速に形成することができる。
よって、本発明によれば、基材の一面上にアルミニウムよりなるバンプを形成してなるバンプ構造体の製造方法において、バンプ高さを確保しつつ、短時間で錐体形状をなすアルミニウムバンプを形成できる製造方法を提供することができる。
さらに、請求項2に記載の発明のように、部品用意工程では、基材として、基材の一面のうちバンプが設けられる部位に、アルミニウムを含みアルミニウムを最大成分とする材料よりなる電極(30)が形成されたものを用意し、バンプ形成工程では、電極上にワイヤを押し付けて接合することによりバンプの形成を行うことが好ましい。
それによれば、アルミニウムよりなるバンプが、アルミニウムを主成分とする電極を介して、基材に接合されることによって、主としてアルミニウム同士の接合が実現されるから、バンプと基材との接合強度を強固なものにできる。
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかるバンプ構造体1について、図1、図2を参照して述べる。このバンプ構造体1は、大きくは、基材10の一面11上にアルミニウムよりなるバンプ20を形成してなる。
本発明の第1実施形態にかかるバンプ構造体1について、図1、図2を参照して述べる。このバンプ構造体1は、大きくは、基材10の一面11上にアルミニウムよりなるバンプ20を形成してなる。
そして、このバンプ構造体1は、図2に示されるように、バンプ20を介して相手側部材2に接合されることで、半導体装置を構成する。この半導体装置は、バンプ構造体1とこれに対向して設けられた相手側部材2と、これら両部材1、2の間に介在しこれら両部材1、2を接合するバンプ20とを備えた構成とされている。そして、このような半導体装置は、たとえば自動車に搭載されるECU(電子制御ユニット)等の電子装置として適用される。
基材10は、一面11を接合面とするものである。具体的には、基材10は、この一面11を接合面として、相手側部材との接合において相手側部材に対向させるものである。このような基材10としては、たとえば半導体チップ、銅等よりなるリードフレーム、プリント基板、セラミック基板等が挙げられる。
バンプ20は、基材10の一面11上に設けられており、当該一面11側を底面側とし当該一面11から離れる方向つまり先端側に向かって窄まる錐体形状をなす。このバンプ20はアルミニウムよりなるものであり、具体的には、アルミニウム、または、AlSi等のアルミワイヤボンディングに用いられるワイヤと同様の材質よりなる。
ここで、このバンプ20の錐体形状とは、円錐や角錐でもよい。さらには、バンプ20としては、先端側が尖った典型的な錐体であってもよいし、先端側の一部を錐体の軸直交方向に切断することによって先端面21aが底面21bよりも狭い平坦面とされた形状(図3参照)も含むものである。
ここで、基材10の種類によっては、基材10の一面11に直接バンプ20が形成されていてもよいが、ここでは、基板10の一面11のうちバンプ20が設けられる部位に電極30が設けられ、この電極30に対して固相接合により、バンプ20が直接接合されている。つまり、ここでは、バンプ20は、電極30を介して基材10の一面11上に形成されている。
この電極30は、特に限定するものではないが、アルミニウムを含みアルミニウムを最大成分とする材料よりなることが望ましい。この場合、電極30は純アルミニウムよりなるものでもよいし、アルミニウムを最大重量成分とするAlSi、AlSiCu等のアルミニウムの混合物、あるいは、アルミニウム合金等でもよい。このような電極30は、蒸着やスパッタリング等の成膜法により形成される。
なお、基材10がたとえばプリント基板の場合は、当該プリント基板10の一面11上には銅などの金属により導体パターンが設けられるが、この導体パターン上に、蒸着やスパッタリング等の成膜法によって上記電極30を形成すればよい。
また、基材10がたとえばセラミック基板の場合は、当該セラミック基板10の一面11上には、タングステンやモリブデンなどの金属導体ペーストを用いて導体パターンが形成されるが、この導体パターン上に、蒸着やスパッタリング等の成膜法により上記電極30を形成すればよい。
ここで、バンプ20の形状について、図3を参照して、より具体的に述べる。図3に示されるように、本実施形態のバンプ20は、先端面21aが底面21bよりも狭い平坦面として構成された円錐体としての錐体部21と、基材10の一面11側にて錐体部21の底面21bの外側に張り出した張り出し部22と、よりなる。
後述するが、この錐体部21は、バンプ20形成時にワイヤ200がボンディングツール100の凹部102内に食い込むことで整形された部位であり、張り出し部22は、ボンディングツール100のワイヤ押さえ面101における凹部102の開口縁部で押し付けられて整形された部位である(図4、図7等参照)。
さらに言えば、本実施形態の錐体部21は、典型的なプリンカップ状をなし、底面21bは円形面、先端面21aは底面21よりも小さい円形面として構成されている。一方、張り出し部22は、この錐体部21の底面21bの外郭の外側に向かって当該底面21bと同一平面方向に張り出す鍔(つば)形状をなしている。そして、錐体部21と張り出し部22とは一体に成形されている。
そして、上記図2に示される半導体装置においては、このバンプ構造体1のバンプ20における錐体部21の先端面21aが、相手側部材2の電極50に押し付けられることで、バンプ20は先端側が潰れた状態で相手側部材2の電極50に接合されている。
なお、相手側部材2は、特に限定するものではないが、ここでは、基材40の一面41上に電極50を有するものである。この相手側部材2の基材40としては、たとえば半導体チップ、銅等よりなるリードフレーム、プリント基板、セラミック基板等が挙げられる。また、相手側部材2の電極50としては、たとえば蒸着やスパッタリング等の成膜法により形成されたアルミニウム膜等が挙げられる。
次に、本実施形態のバンプ構造体1の製造方法について、図4〜図8を参照して述べる。ここで、図4はバンプ形成工程におけるワイヤ200の整形直後の状態を示しており、ワイヤ200は、長手方向が紙面垂直方向に沿って位置している。また、図6は、図4中のE−E断面にて、図6と同じくバンプ形成工程におけるワイヤ200の整形直後の状態を示している。
まず、本製造方法では、部品用意工程を行う。この工程では、一面11に電極30を有する基材10、および、バンプ20の素材となるアルミニウムよりなるワイヤ200を用意する。ここでは、電極30は、上記したようにアルミニウムを含みアルミニウムを最大成分とする材料よりなるものとし、蒸着やスパッタ等により形成する。また、ワイヤ200としては、典型的なウェッジボンディング用のアルミワイヤを用いる。
一方で、ツール用意工程にて、ワイヤを用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うボンディングツール100を用意する。このボンディングツール100は、典型的なウェッジボンディング装置のものと同様の動作機構を有するものであり、ワイヤ200に対して超音波振動の印加および荷重の印加を行うことで、ワイヤ200を被接合部材に接合するものである。
具体的には、ボンディングツール100は、図5に示されるように、ワイヤ200の押し付けを行うワイヤ押さえ面101を有する。なお、図5には、参考のためにワイヤ200を破線にて示してある。このワイヤ押さえ面101は、ワイヤ200に接触して、ワイヤ200を被接合部材へ押し付ける面であり、ここでは、ボンディングツール100の先端側に位置している。
さらに、本実施形態のボンディングツール100は、図5に示されるように、さらにワイヤ押さえ面101に、凹部102を有するものとする。この凹部102は、空間形状がバンプ20の外形に対応した錐体形状をなす。
ここでは、凹部102は、バンプ20の錐体部21に対応した円錐形の空間形状を有する。具体的には、凹部102は、底面が錐体部21の先端面21aに対応し、開口部側に向かって拡がる空間形状とされている。
このようなボンディングツール100は、セラミックや金属等よりなり、型加工や切削等により形成される。また、このボンディングツール100には、ワイヤ200を送るための図示しないワイヤ送り機構や、ワイヤ200をカットするための図示しないカッター等が備えられている。
こうして、部品用意工程およびツール用意工程を行った後、図4、図6、図7に示されるように、バンプ形成工程を行う。この工程では、まず、図6に示されるように、基材10の一面11上、ここでは電極30上にワイヤ200を接触させ、ボンディングツール100のワイヤ押さえ面101にてワイヤ200を基材10の一面11側、ここでは電極30に押し付けるようにする。
この図6に示されるバンプ形成工程の初期状態では、ワイヤ200は、ワイヤ押さえ面101に接しているが、凹部102には食い込んでいない。続いて、この状態から、ボンディングツール100を介して超音波振動および荷重を印加するウェッジボンディングを行って、ワイヤ200を凹部に食い込ませる。
これにより、図4および図7に示されるように、ワイヤ200は塑性変形し、凹部102に対応した錐体形状に整形されつつ、基材10の一面11、ここでは電極30上に接合される。そして、この整形されたワイヤ200がバンプ20とされるのである。
このとき、ワイヤ200のうち凹部102内部に入り込んだ部分が錐体部21となり、凹部102よりはみ出す部分は、ワイヤ押さえ面101に押しつぶされて上記張り出し部22となる。ここまでが、バンプ形成工程である。
このバンプ形成工程の後、図8に示されるように、バンプ20からワイヤ200を切り離すカット工程を行う。この工程では、ボンディングツール100でバンプ20を押さえつつ、上記図示しないカッターによりワイヤ200を切断する。こうして、本実施形態のバンプ構造体1ができあがる。なお、バンプ20が複数個ある場合は、上記バンプ形成工程、カット工程を順に繰り返せばよい。以上が、本実施形態のバンプ構造体1の製造方法である。
さらに、本実施形態において、図2に示される上記半導体装置を形成するためには、図9に示されるように、このバンプ構造体1を、バンプ20を介して相手側部材2に接合する。
この場合、バンプ構造体1における基材10の一面11と相手側部材2における基材40の一面41とを対向させ、バンプ20の先端面21aを相手側部材2の電極50に接触させた状態で、当該両部材1、2に超音波振動および荷重を印加してバンプ20の先端側を押し潰す。これにより、バンプ20を介して当該両部材1、2が接合され、上記半導体装置ができあがる。
ところで、上記バンプ構造体1の製造方法では、ウェッジボンディング用のボンディングツール100を用い、さらにこのボンディングツール100に錐体形状の凹部102を設けたうえで、超音波振動させながら荷重印加することで短時間にて複数個のワイヤ200の接合動作が可能なウェッジボンディング法を行うようにしている。それによって、ワイヤ200を錐体形状に整形しつつ、基材10に接合できるから、錐体形状のアルミニウムバンプ20を迅速に形成することができる。
よって、本実施形態によれば、基材10の一面11上にアルミニウムよりなるバンプ20を形成してなるバンプ構造体1の製造方法において、バンプ20高さを確保しつつ、短時間で錐体形状をなすアルミニウムバンプ20を形成できる製造方法を提供することができる。
また、上記バンプ構造体1の製造方法では、基材10として、基材10の一面11のうちバンプ20が設けられる部位に、アルミニウムを最大成分として含む材料よりなる電極30が形成されたものを用意し、バンプ形成工程では、この電極30上にワイヤ200を押し付けてウェッジボンディングで接合することによりバンプ20の形成を行うようにしている。
それによれば、アルミニウムよりなるバンプ20が、アルミニウムを主成分とする電極30に接合されることによって、主としてアルミニウム同士によるウェッジボンディングの接合が実現されることになるため、バンプ20と基材10との接合強度が強固なものとなりやすい。
また、本実施形態によれば、バンプ形成工程において、ワイヤ200のうちボンディングツール100の凹部102内に食い込んだ部位が錐体部21、ボンディングツール100のワイヤ押さえ面101における凹部102の開口縁部によって基材10の一面11側に押し付けられた部位が張り出し部22とされることで、上記した錐体部21と張り出し部22とを兼ね備えた特徴的なバンプ20形状が実現される。
また、本実施形態では、バンプ20は、先端側の一部を錐体の軸直交方向に切断することによって先端面21aが底面よりも狭い平坦面とされた形状であるから、相手側部材2との接合において、相手側部材2との接触面積を確保しやすいという利点がある。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態にかかる半導体装置について、図10を参照して述べる。ここでは、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第2実施形態にかかる半導体装置について、図10を参照して述べる。ここでは、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本実施形態では、上記第1実施形態の半導体装置において、さらに、相手側部材2にもバンプ20を形成し、バンプ構造体1のバンプ20と相手側部材2のバンプ20とを接合するようにしたものである。
この半導体装置を製造する場合、相手側部材2に対しても、バンプ構造体1と同様に、上記バンプ形成工程を行う。すなわち、相手側部材2の基材40の一面41上、ここでは相手部材2の電極50上にワイヤ200を接触させ、ボンディングツール100のワイヤ押さえ面101にてワイヤ200を電極30に押し付けた状態で、ウェッジボンディングを行う。
これにより、相手側部材2においても、ワイヤ200が凹部102に対応した錐体形状に整形されつつ電極50に接合され、この整形されたワイヤ200がバンプ20となる。その後は、上記同様カット工程を行う。これによりバンプ20を有する相手側部材2、つまり、バンプ構造体としての相手側部材2ができあがる。
その後は、図10に示されるように、バンプ構造体1のバンプ20の先端面21aと相手側部材2のバンプ20の先端面21aとを接触させた状態で、超音波振動および荷重の印加を行い、これらバンプ構造体1のバンプ20の先端側および相手側部材2のバンプ20の先端側を押し潰すようにすることで、当該両バンプ20、20同士を接合する。これにより、本実施形態の半導体装置ができあがる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態は、バンプ20の形状のバリエーションを示すものである。上記第1実施形態では、先端面21aが平坦面とされた円錐状のバンプ20であったが、上記第1実施形態および第2実施形態における各バンプ20としては、これに限定されるものではなく、錐体形状であればよい。
本発明の第3実施形態は、バンプ20の形状のバリエーションを示すものである。上記第1実施形態では、先端面21aが平坦面とされた円錐状のバンプ20であったが、上記第1実施形態および第2実施形態における各バンプ20としては、これに限定されるものではなく、錐体形状であればよい。
具体的には、図11(a)に示されるように、先端が尖った円錐形状のバンプ20でもよいし、図11(b)に示されるように、先端がとがった三角錐形状のバンプ20でもよいし、図11(c)に示されるように、先端面21aが平坦面である四角錐形状のバンプ20でもよいし、図11(d)に示されるように、先端が尖った四角錐形状のバンプ20でもよい。
また、この図11に示される例以外にも、種々の錐体形状が可能である。ここで、先端は尖った形状でも平坦面でもよいが、上述のように、平坦な先端面である場合は、相手側部材2との接触面積を確保するという点で有効である。一方、尖った形状の場合は、バンプ20の先端を相手側部材2に位置合わせしやすいという点で有効である。これら種々のバンプ20は、ボンディングツール100の凹部102の空間形状を種々変更することで形成される。
(他の実施形態)
なお、バンプ構造体1において基材10の一面11上に複数個のバンプ20を設ける場合には、すべてのバンプ20形状を同一の錐体形状とすることが、共通のボンディングツール100によって全てのバンプ20を形成できるという点で好ましいが、用途等に応じて各バンプ20が異なる錐体形状でもよい。この場合、たとえば、凹部102の空間形状を異ならせたボンディングツール100を用いればよい。
なお、バンプ構造体1において基材10の一面11上に複数個のバンプ20を設ける場合には、すべてのバンプ20形状を同一の錐体形状とすることが、共通のボンディングツール100によって全てのバンプ20を形成できるという点で好ましいが、用途等に応じて各バンプ20が異なる錐体形状でもよい。この場合、たとえば、凹部102の空間形状を異ならせたボンディングツール100を用いればよい。
また、基材10として、一面11のうちバンプ20が設けられる部位に電極30が設けられたものを用いる場合、この電極30としては、アルミニウムを含みアルミニウムを最大成分とする材料よりなるもの以外にも、ウェッジボンディングによるバンプ20と接合性が確保されるものならばよい。もちろん、当該接合性が確保されるならば、上述のように、基材10の一面11に直接、バンプ20を接合するものであってもよく、その場合も、基材10の一面11の材質は適宜選択すればよい。
また、上記各実施形態では、バンプ20は、基材10の一面11側を底面21bとする錐体部21と、当該底面21aの外側に張り出した張り出し部22とよりなるものとして形成されたが、バンプ20は、錐体形状であればよく、たとえば張り出し部22は無いものであってもよい。
ただし、張り出し部22を備えることにより、その分、錐体部21の底面21bだけの場合に比べて、基材10の一面11との接合面積が大きくなるから、バンプ20の接合性の向上が期待できる。
また、上記図3では、張り出し部22の張り出し幅については、ワイヤ200の長手方向の幅の方が、当該長手方向と直交する方向の幅よりも大きいが、この幅の関係については特に限定されるものではない。張り出し部22の形状は、ボンディングツール100のワイヤ押さえ面101の形状によって適宜制御できるものであり、当該ワイヤ押さえ面101の形状変更等により、張り出し部22の形状、さらには張り出し部22の有無は、制御される。
また、上記した各実施形態同士の組み合わせ以外にも、上記各実施形態は、可能な範囲で適宜組み合わせてもよい。
10 基材
11 基材の一面
20 バンプ
21a バンプの底面
100 ボンディングツール
101 ワイヤ押さえ面
102 凹部
200 ワイヤ
11 基材の一面
20 バンプ
21a バンプの底面
100 ボンディングツール
101 ワイヤ押さえ面
102 凹部
200 ワイヤ
Claims (3)
- 一面(11)を接合面とする基材(10)と、
前記基材の一面上に設けられ当該一面側を底面(21a)とする錐体形状をなすアルミニウムよりなるバンプ(20)と、を備えるバンプ構造体の製造方法であって、
前記基材、および前記バンプの素材となるアルミニウムよりなるワイヤ(200)を用意する部品用意工程と、
前記ワイヤを用いたウェッジボンディング法によるワイヤボンディングを行うツールであって、さらに前記ワイヤの押し付けを行うワイヤ押さえ面(101)に、空間形状が前記バンプの外形に対応した錐体形状をなす凹部(102)を有するボンディングツール(100)を用意するツール用意工程と、
前記基材の一面上に前記ワイヤを接触させ、前記ボンディングツールのワイヤ押さえ面にて前記ワイヤを前記基材の一面側に押し付けた状態で、超音波振動および荷重を印加するウェッジボンディングを行って前記ワイヤを前記凹部に食い込ませることにより、前記ワイヤを前記凹部に対応した錐体形状に整形しつつ前記基材の一面上に接合し、この整形された前記ワイヤを前記バンプとするバンプ形成工程と、
前記バンプから前記ワイヤを切り離すカット工程と、
を備えることを特徴とするバンプ構造体の製造方法。 - 前記部品用意工程では、前記基材として、前記基材の一面のうち前記バンプが設けられる部位に、アルミニウムを含みアルミニウムを最大成分とする材料よりなる電極(30)が形成されたものを用意し、
前記バンプ形成工程では、前記電極上に前記ワイヤを押し付けて接合することにより前記バンプの形成を行うことを特徴とする請求項1に記載のバンプ構造体の製造方法。 - 前記バンプ形成工程では、前記バンプは、前記基材の一面側を底面(21b)とする錐体部(21)と、前記基材の一面側にて前記錐体部の底面の外側に張り出した張り出し部(22)と、よりなるものとして形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のバンプ構造体の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111316433A (zh) * | 2017-10-05 | 2020-06-19 | 德州仪器公司 | 半导体装置中的成形互连凸块 |
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JPH07199208A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Nec Corp | 液晶表示装置 |
-
2012
- 2012-03-08 JP JP2012051703A patent/JP2013187383A/ja active Pending
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