JP2013182414A - タッチパネルセンサ基板、タッチパネルセンサ基板を備えた入出力装置およびタッチパネルセンサ基板の製造方法 - Google Patents

タッチパネルセンサ基板、タッチパネルセンサ基板を備えた入出力装置およびタッチパネルセンサ基板の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】表示領域Aの一部分が目立って視認されることを防ぐことができるタッチパネルセンサ基板を提供する。
【解決手段】タッチパネルセンサ基板10は、基板11と、基板11の一側に設けられたタッチパネルセンサ部30と、を備えている。タッチパネルセンサ部30は、複数の凹部36bが形成されるよう基板11の一側に設けられた第1絶縁層36と、第1絶縁層36よりも一側に位置するよう設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターン31および第2方向に延びる複数の第2電極パターン32と、を有している。第1電極パターン31および第2電極パターン32は、基板11の法線方向から見た場合に、第1絶縁層36の凹部36bにおいて互いに部分的に重なるよう配置されている。
【選択図】図4A

Description

本発明は、基板の一側に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンおよび第2方向に延びる複数の第2電極パターンを備えたタッチパネルセンサ基板に関する。また本発明は、タッチパネルセンサ基板を備えた入出力装置、およびタッチパネルセンサ基板の製造方法に関する。
タッチパネル機能を実現するためのタッチパネルセンサとして、静電容量式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合式タッチパネルセンサにおいては、人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサに接触(接近)するときに発生する静電容量の変化を利用して、タッチパネルセンサ上における人間の指などの外部導体の位置を検出する。静電容量式タッチパネルセンサには表面型と投影型とがあるが、マルチタッチの認識(多点認識)への対応に適していることから、投影型が注目を浴びている。
このようなタッチパネルセンサの形態として、基板と、基板の一側に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンおよび第2方向に延びる複数の第2電極パターンと、を備えたタッチパネルセンサ基板が知られている。このタイプのタッチパネルセンサ基板においては、第1電極パターンと第2電極パターンとが交差する部分において第1電極パターンと第2電極パターンとが導通することを防ぐため、一般に、第1電極パターンと第2電極パターンとの間に絶縁層が介在されている(例えば特許文献1,2参照)。
特開2010−140370号公報 国際公開第2010/029979号パンフレット
第1電極パターンと第2電極パターンとの間に介在される絶縁層の厚みは一般に、導電性材料から構成された第1電極パターンおよび第2電極パターンの厚みに比べて大きくなっている。このため、第1電極パターンと第2電極パターンとが交差する部分は、絶縁層の厚みの分だけ周囲の部分に比べて隆起している。この場合、隆起している部分の側面において、周囲の部分とは異なる態様で光が反射され、この結果、第1電極パターンと第2電極パターンとが交差する部分が目立って視認されることが考えられる。
本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサ基板、入出力装置、およびタッチパネルセンサ基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、基板と、基板の一側に設けられたタッチパネルセンサ部と、を備え、前記タッチパネルセンサ部は、複数の凹部が形成されるよう基板の一側に設けられた第1絶縁層と、前記第1絶縁層よりも一側に位置するよう設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンおよび第2方向に延びる複数の第2電極パターンと、を有し、各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、前記第1電極部および前記第2電極部は、基板の法線方向から見た場合に、互いに重ならないよう配置されており、前記第1接続部および前記第2接続部は、基板の法線方向から見た場合に、前記第1絶縁層の前記凹部において互いに部分的に重なるよう配置されており、前記第1接続部と前記第2接続部との間に第2絶縁層が介在されており、前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の前記凹部を埋めるよう構成されている、タッチパネルセンサ基板である。
本発明によるタッチパネルセンサ基板は、基板の一側の周縁部に設けられ、遮光性を有する遮光層をさらに備えていてもよい。この場合、前記第1絶縁層は、前記遮光層を覆うよう設けられていてもよい。
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、前記第1絶縁層の前記凹部の側面が順テーパ状に延びていてもよい。
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、第1絶縁層が有機材料から構成されていてもよい。
本発明は、映像を表示するための光を観察者側に放射する表示部と、前記表示部に対して観察者側に配置されたタッチパネルセンサ基板と、を備え、前記タッチパネルセンサ基板は、請求項1に記載のタッチパネルセンサからなる、入出力装置である。
本発明は、基板を準備する工程と、基板の一側にタッチパネルセンサ部を設けるタッチパネルセンサ形成工程と、を備え、前記タッチパネルセンサ形成工程は、基板の一側に、複数の凹部が形成された第1絶縁層を設ける工程と、少なくとも部分的に前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置された第1導電層を設ける工程と、前記第1絶縁層の前記凹部を埋めるよう第2絶縁層を設ける工程と、少なくとも部分的に前記第2絶縁層上に配置されるとともに前記第1絶縁層上において前記第1導電層に接続された第2導電層を設ける工程と、を有する、タッチパネルセンサ基板の製造方法である。
本発明によるタッチパネルセンサ基板の製造方法において、前記第1導電層または前記第2導電層の一方は、第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、を構成し、前記第1導電層または前記第2導電層の他方は、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部を構成していてもよい。ここで、前記第1導電層が前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部を構成し、前記第2導電層が前記第2接続部を構成する場合、前記第1接続部が前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置され、かつ、前記第2接続部が前記第2絶縁層上に配置されてもよい。また、前記第1導電層が前記第2接続部を構成し、前記第2導電層が前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部を構成する場合、前記第2接続部が前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置され、かつ、前記第1接続部が前記第2絶縁層上に配置されてもよい。
本発明によるタッチパネルセンサ基板の製造方法は、遮光性を有する遮光層を基板の一側の周縁部に設ける工程をさらに備えていてもよい。この場合、前記第1絶縁層は、前記遮光層を覆うよう設けられていてもよい。
本発明によれば、タッチパネルセンサ基板は、複数の凹部が形成されるよう基板の一側に設けられた第1絶縁層を備えている。また、第1電極パターンの第1接続部および第2電極パターンの第2接続部は、基板の法線方向から見た場合に、第1絶縁層の凹部において互いに部分的に重なるよう配置されている。そして、第1接続部と第2接続部との間に介在される第2絶縁層は、第1絶縁層の凹部を埋めるよう構成されている。このため、第1絶縁層および第2絶縁層の側面において光が反射されることを防ぐことができる。これによって、第1電極パターンと第2電極パターンとが交差する部分において、周囲の部分とは異なる態様で光が反射されてしまうことを防ぐことができる。このことにより、第1電極パターンと第2電極パターンとが交差する部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
図1は、本発明の第1の実施の形態における入出力装置を示す平面図。 図2は、図1の入出力装置をII−II方向から見た縦断面図。 図3は、入出力装置のタッチパネルセンサ基板を表示部側から見た場合を示す平面図。 図4Aは、図3のタッチパネルセンサ基板をIVA−IVA方向から見た縦断面図。 図4Bは、図3のタッチパネルセンサ基板をIVB−IVB方向から見た縦断面図。 図4Cは、タッチパネルセンサ基板の第1絶縁層の変形例を示す縦断面図。 図5Aは、基板の一側の周縁部に遮光層を形成する工程を示す図。 図5Bは、基板の一側に第1絶縁層を形成する工程を示す図。 図5Cは、第1絶縁層上に遮光導電層を形成する工程を示す図。 図5Dは、基板の一側に第1導電層を形成する工程を示す図。 図5Eは、基板の一側に第2絶縁層を形成する工程を示す図。 図5Fは、基板の一側に第2導電層を形成する工程を示す図。 図6Aは、第1の比較の形態におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図。 図6Bは、第2の比較の形態におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図であって、図4Bに対応する縦断面図。 図7は、本発明の第1の実施の形態の変形例におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図。 図8Aは、本発明の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図であって、第1の実施の形態における図4Aに対応する縦断面図。 図8Bは、本発明の第2の実施の形態におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図であって、第1の実施の形態における図4Bに対応する縦断面図。 図9Aは、基板の一側に第1導電層を形成する工程を示す図。 図9Bは、基板の一側に第2絶縁層を形成する工程を示す図。 図9Cは、基板の一側に第2導電層を形成する工程を示す図。 図10は、本発明の第2の実施の形態の変形例におけるタッチパネルセンサ基板を示す縦断面図。
第1の実施の形態
以下、図1乃至図5Fを参照して、本発明の第1の実施の形態について説明する。まず図1および図2により、本実施の形態における入出力装置60全体について説明する。
入出力装置
図1は、入出力装置60を示す平面図であり、図2は、入出力装置60を図1のII−II方向から見た縦断面図である。ここでは図1に示すように、入出力装置60が、スマートフォンやタブレット端末などの、タッチパネル機能を備えた小型表示装置からなる例について説明する。しかしながら、これに限られることはなく、入出力装置60は、テレビなどの大型表示装置にタッチパネル機能が搭載されたものであってもよい。
図2に示すように、表示装置60は、映像を表示するための光を観察者側(図2における上側)に放射する表示部20と、表示部20に対して観察者側に配置されたタッチパネルセンサ基板10と、を備えている。図2に示すように、表示部20とタッチパネルセンサ基板10との間に、透光性を有する接着層25が介在されていてもよい。表示部20としては、LCD、PDP、有機ELなどの一般的な表示用デバイスを用いることができる。
図1および図2に示すように、タッチパネルセンサ基板10の法線方向から見た場合、タッチパネルセンサ基板10は、タッチパネルセンサ基板10の周縁部に位置する非表示領域Aと、非表示領域Aの内側に位置し、映像を表示させるための表示領域Aとに区画されている。
タッチパネルセンサ基板
次にタッチパネルセンサ基板10について説明する。図2に示すように、タッチパネルセンサ基板10は、透光性を有する基板11と、基板11の一側(表示部側)の周縁部に設けられた遮光層12と、基板11の一側に設けられ、人間の指などの外部導体の位置を検出するためのタッチパネルセンサ部30と、を備えている。図2において、基板11の一側(表示部側)の面が符号11aで表されており、基板11の他側(観察者側)の面が符号11bで表されている。
(遮光層)
このうち遮光層12は、図1および図2に示すように、表示領域Aの周辺に位置する非表示領域A内に設けられている。遮光層12は、遮光性を有する遮光性材料から構成された層であり、このような遮光層12をタッチパネルセンサ基板10に設けることにより、入出力装置60の意匠性を高めることができる。遮光層12を構成する遮光性材料は、表示部20からの光が外部に取り出されないよう光を遮蔽することができる限り特に限定されるものではない。例えば遮光性材料として、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色着色材を含有する樹脂組成物を挙げることができる。また遮光性材料は、感光性を有する感光性材料をさらに含んでいてもよい。遮光性材料に含まれる感光性材料としては、例えば、紫外線の照射により硬化する光硬化性樹脂や、熱により硬化する熱硬化性樹脂が用いられる。なお、遮光性材料に含まれる着色剤の色が黒色に限られることはなく、白色など様々な色の着色剤が用いられ得る。
(基板)
透明基板11の材料は、表示部20からの光を外部に取り出すことができる限り特に限定されるものではない。例えば、透明基板11の材料として、透光性や耐久性等を考慮して、ガラスやポリマー等が用いられる。また、透明基板11の表面には、擦り傷を防止するためのハードコート層などが形成されていてもよい。
好ましくは、基板11は、入出力装置60の最も観察者側の面を構成する部材となっており、かつ基板11は、衝撃や外部からの圧力から表示部20を適切に保護することができる程度の強度を有している。すなわち基板11は、表示部20を保護するための前面板として機能するよう構成されている。この場合、タッチパネルセンサ基板10は、タッチパネル機能を備えた前面板として機能することができる。
(タッチパネルセンサ部)
次にタッチパネルセンサ基板10のタッチパネルセンサ部30について、図3乃至図4Bを参照して説明する。図3は、タッチパネルセンサ基板を表示部20側から見た場合を示す平面図であり、図4A,4Bはそれぞれ、図3のタッチパネルセンサ基板10をIVA−IVA,IVB−IVB方向から見た縦断面図である。
はじめに図3を参照して、平面視におけるタッチパネルセンサ部30の構造について説明する。なお説明の便宜上、図3においては、後述する第1絶縁層36および第2絶縁層37が省略されている。
図3に示すように、タッチパネルセンサ基板10のタッチパネルセンサ部30は、基板11の一側の表示領域A内に配置され、第1方向に延びる複数の第1電極パターン31と、基板11の一側の表示領域A内に配置され、第1方向とは異なる方向、例えば第1方向に直交する第2方向に延びる複数の第2電極パターン32と、を有している。
各第1電極パターン31は、第1方向に沿って並べられ、各々が略正方形の形状を有する複数の第1電極部31aと、隣り合う2つの第1電極部31aを接続する第1接続部31bと、を含んでいる。同様に、各第2電極パターン32は、第2方向に沿って並べられ、各々が略正方形の形状を有する複数の第2電極部32aと、隣り合う2つの第2電極部32aを接続する第2接続部32bと、を含んでいる。図3に示すように、第1電極部31aおよび第2電極部32aは、基板11の法線方向から見た場合に、互いに重ならないよう配置されている。一方、第1接続部31bおよび第2接続部32bは、基板11の法線方向から見た場合に部分的に重なるよう配置されている。すなわち第1電極パターン31および第2電極パターン32は、第1接続部31bおよび第2接続部32bにおいて互いに交差するように構成されている。以下の説明において、基板11の法線方向から見た場合に第1接続部31bおよび第2接続部32bが互いに重なっている部分を「交差部分」と称することもある。
人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサ基板10に接近または接触する際、各第1電極パターン31に流れる信号に基づいて、外部導体の第2方向における位置を検出することができ、また各第2電極パターン32に流れる信号に基づいて、外部導体の第1方向における位置を検出することができる。なお、各電極部31a,32aの形状が正方形に限られることはなく、多角形や円形など様々な形状が適宜採用され得る。
また図3に示すように、基板11の一側の非表示領域A内には、各電極パターン31,32からの信号を外部へ取り出すための複数の端子部34が設けられている。また基板11の一側には、各電極パターン31,32と対応する端子部34との間を電気的に接続するための複数の取出パターン33が設けられている。
次に図4A,4Bを参照して、タッチパネルセンサ部30の層構成について説明する。図4A,4Bに示すように、タッチパネルセンサ部30は、複数の凹部36bが形成されるよう基板11の一側に設けられ、絶縁性を有する第1絶縁性材料から構成された第1絶縁層36を有している。ここで「凹部」とは、表示領域A内の領域のうち、第1絶縁層36を構成する第1絶縁性材料の厚みが、第1絶縁層36の最外面36aを構成する第1絶縁性材料の厚みhよりも小さくなっている領域のことを意味している。例えば図4A,4Bに示すように、表示領域A内の領域のうち、第1絶縁層36を構成する第1絶縁性材料が存在していない領域を凹部36bと称する。また、符号36cで表されている、最外面36aから基板11に向かって延びている第1絶縁性材料の面を凹部36bの側面36cと称する。
後述する第2絶縁層37によって凹部36bを埋めることができる限りにおいて、凹部36bの具体的な寸法が特に限られることはないが、例えば凹部36bの幅wは、10〜200μmの範囲内となっており、より好ましくは約30μmとなっている。
なお図4Aにおいては、凹部36bが、第1絶縁性材料が存在していない領域を含む例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図4Cに示すように、凹部36bは、上述の厚みhよりも小さい厚みhを有するよう平坦に設けられた第1絶縁性材料が存在している領域を含んでいてもよい。
(各電極パターンと第1絶縁層との位置関係)
次に、上述の各電極パターン31,32と第1絶縁層36との位置関係について説明する。図4A,4Bに示すように、各電極パターン31,32は、第1絶縁層36よりも一側(表示部20側)に位置するよう設けられている。ここで「第1絶縁層36よりも一側に位置する」とは、表示領域A内の領域のうち各電極パターン31,32が配置されている領域においては、第1絶縁層36が各電極パターン31,32と基板11との間に介在されている、若しくは第1絶縁層36が存在していない、ということを意味している。
また図4A,4Bに示すように、第1電極パターン31の第1接続部31bおよび第2電極パターン32の第2接続部32bは、基板11の法線方向から見た場合に、第1絶縁層36の凹部36bにおいて互いに部分的に重なるよう配置されている。すなわち、上述の交差部分は、第1絶縁層36の凹部36bに形成されている。また、第1接続部31bと第2接続部32bとの間には、絶縁性を有する第2絶縁性材料から構成された第2絶縁層37が介在されている。ここで第2絶縁層37は、図4A,4Bに示すように、第1絶縁層36の凹部36bを埋めるよう構成されている。ここで「埋めるよう構成されている」とは、第1絶縁層36の凹部36bと第2絶縁層37とが同一の形状を有していることを意味している。言い換えれば、第1絶縁層36と第2絶縁層37とが、互いに相補的な形状を有していることを意味している。例えば図4A,4Bに示すように、第2絶縁層37を構成する第2絶縁性材料は、第1絶縁層36の凹部36bの全域にわたって充填されている。また第2絶縁層37の側面37cは、第1絶縁層36の側面36cと略平行に延びるよう構成されている。また好ましくは、第2絶縁層37は、その最外面37aの位置が、第1絶縁層36の最外面36aの位置と略同一になるよう構成されている。
ここで、上述の形状を有する第1絶縁層36および第2絶縁層37を設ける背景について説明する。絶縁層36および第2絶縁層37などの絶縁層の厚み、例えば図4Aに示すhは、所望の絶縁性を実現するため一般に、電極パターン31,32などの導電層の厚み、例えば図4Aに示すhよりも大きくなっている。例えばhは0.5〜3μmの範囲内、より好ましくは1〜2μmの範囲内となっており、一方、hは0.01〜0.2μmの範囲内となっている。このため、表示領域A内に絶縁層が部分的に設けられている場合、絶縁層が設けられている部分は、その周囲の部分に比べて大きく隆起することになる。また、仮に表示領域Aがオーバーコート層(図示ぜず)などによって全域にわたって覆われる場合であっても、タッチパネルセンサ部30の表面が、絶縁層に対応する部分において大きく隆起することになる。このような隆起部分が存在している場合、隆起部分において、その周囲の部分とは異なる態様で光が反射され、この結果、隆起部分が目立って視認されることになる。
ここで本実施の形態によれば、第1絶縁層36および第2絶縁層37が互いに相補的な形状で設けられている。このため、一方の絶縁層が部分的にのみ設けられる場合であっても、一方の絶縁層に起因する隆起を、他方の絶縁層によって相殺することができる。これによって、ほぼ平坦な表面を有するタッチパネルセンサ部30を得ることができ、このことにより、表示領域A内の特定の部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
(各電極パターンの層構成)
次に、電極パターン31,32の層構成についてさらに説明する。第1電極パターン31の第1接続部31bまたは第2電極パターン32の第2接続部32bの一方は、第1絶縁層36の凹部36bに沿って配置されている。例えば図4A,4Bにおいては、第2接続部32bが凹部36bに沿って配置される例が示されている。また第2接続部32bは、凹部36bを横断して第1絶縁層36の最外面36a上に至り、そして最外面36a上において第2電極部32aに接続されている。また第1電極パターン31の第1電極部31aおよび第2電極パターン32の第2電極部32aはいずれも、第1絶縁層36の最外面36a上に配置されている。すなわち第1電極部31aおよび第2電極部32aはいずれも、同一平面上に配置されている。これによって、第1方向における外部導体の検出感度と、第2方向における外部導体の検出感度とを略同一にすることができる。
また図4Bに示すように、第1電極パターン31の第1接続部31bは、第2絶縁層37の最外面37a上に配置されている。このため、第1電極パターン31の第1電極部31aおよび第1接続部31bは、略同一平面上に配置されている。これによって、起伏を有する平面上に第1電極パターン31が配置される場合に比べて、第1電極パターン31に印加される応力を軽減することができ、このことにより、第1電極パターン31の信頼性を向上させることができる。
好ましくは、図4A,4Bに示すように、第1絶縁層36の凹部36bの側面36cは、基板11に対して順テーパ状に延びている。例えば、第1絶縁層36の側面36cが基板11に対してなす角度は、10〜70度の範囲内となっている。これによって、側面36cが基板11に対して逆テーパ状に延びる場合に比べて、第1絶縁層36と第2電極パターン32の第2接続部32bとの間の密着性を向上させることができる。また、側面36cが基板11に対して逆テーパ状に延びる場合に比べて、第2電極パターン32の第2接続部32bに印加される応力を軽減することができ、このことにより、第2電極パターン32の信頼性を向上させることができる。また、第1絶縁層36の凹部36bと同一の形状を有する第2絶縁層37を形成する工程を容易化することができる。
次に、各電極パターン31,32および各絶縁層36,37を構成する材料について説明する。
各電極パターン31,32は、映像を表示させるための表示領域Aに配置される。このため各電極パターン31,32は、導電性および透明性を有する透明導電性材料から構成されている。透明導電性材料としては、例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物が用いられる。これらの金属酸化物が2種以上複合されてもよい。
第1絶縁層36および第2絶縁層37を構成する第1絶縁性材料および第2絶縁性材料は、映像を表示させるための表示領域Aに配置される。このため各絶縁性材料は、絶縁性および透明性を有する材料から構成されており、例えばアクリル樹脂などの有機材料から構成されている。また各絶縁性材料は、感光性を有する感光性材料をさらに含んでいてもよい。各絶縁性材料に含まれる感光性材料としては、例えば、紫外線の照射により硬化する光硬化性樹脂や、熱により硬化する熱硬化性樹脂が用いられる。
好ましくは、第1絶縁層36を構成する第1絶縁性材料の光屈折率と、第2絶縁層37を構成する第1絶縁性材料の光屈折率とは略同一になっている。例えば、第1絶縁性材料および第2絶縁性材料は同一の材料から構成されている。これによって、第1絶縁層36と第2絶縁層37との界面において光が反射することを抑制することができる。
(取出パターンおよび端子部の層構成)
次に取出パターン33および端子部34の層構成について説明する。好ましくは、図4A,4Bに示すように、非表示領域A内において、取出パターン33および端子部34は、金属材料から構成された遮光導電層33bに加えて、透明導電材料から構成された透明導電層33aをさらに含んでいる。ここで透明導電層33aは、図4A,4Bに示すように、第1電極パターン31の第1電極部31aおよび第1接続部31b、並びに第2電極パターン32の第2電極部32aを構成する透明導電性材料と同時に一体的に形成された層となっている。非表示領域A内の取出パターン33および端子部34がこのような透明導電層33aをさらに含むことにより、製造工数を増加させることなく、取出パターン33および端子部34の電気抵抗を低減することができる。また遮光導電層33bを透明導電層33aによって覆うことにより、遮光導電層33bが酸化することを防ぐことができる。なお表示領域A内においては、取出パターン33が視認されることを防ぐため、取出パターン33は透明導電層33aから構成されている。
ところで一般に、非表示領域A内に設けられる遮光層12は、その表面の平坦性に乏しい層となっている。このため、遮光層12の表面に直接的に透明導電層33aや遮光導電層33bが設けられる場合、透明導電層33aや遮光導電層33bに大きな応力が印加され、この結果、透明導電層33aや遮光導電層33bの信頼性が低くなってしまうことが考えられる。また遮光層12には、顔料や分散剤などのイオン性不純物が含有されている。このため、遮光層12の表面に直接的に透明導電層33aや遮光導電層33bが設けられる場合、遮光層12のイオン性不純物が透明導電層33aや遮光導電層33bの内部に入りこみ、この結果、透明導電層33aや遮光導電層33bの特性が劣化してしまうことが考えられる。このような信頼性の低下や特性の劣化を防ぐため、一般に、タッチパネル機能付き前面板においては、遮光層12と透明導電層33aおよび遮光導電層33bとの間に、絶縁性を有し、平坦に構成されたオーバーコート層が介在されている。
ここで好ましくは、遮光層12を覆う上述のオーバーコート層は、上述の第1絶縁層36と同一の層から構成されている。すなわち、タッチパネル機能付き前面板において一般に設けられるオーバーコート層を表示領域A内まで延在させることにより、上述の第1絶縁層36が構成されている。これによって、従来のタッチパネル機能付き前面板を製造する場合と同一の工数で、本実施の形態による第1絶縁層36を形成することができる。
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用および効果について説明する。ここでは、タッチパネルセンサ基板10の製造方法について説明する。
(遮光層の形成工程)
はじめに基板11を準備し、次に図5Aに示すように、基板11の一側の周縁部に遮光層12を形成する。遮光層12を形成する方法は特には限定されないが、例えばフォトリソグラフィー法を用いることができる。この場合、はじめに、遮光層12を構成する遮光性材料を基板11の一側に設け、次に、遮光性材料を所定パターンで露光し現像する。これによって、所望のパターンを有する遮光層12を形成することができる。
(第1絶縁層の形成工程)
次に図5Bに示すように、基板11の一側に、複数の凹部36bが形成された第1絶縁層を設ける。例えば遮光層12の場合と同様に、はじめに基板11の一側に第1絶縁性材料を設け、次に、フォトリソグラフィー法を用いて第1絶縁性材料をパターニングする。これによって、所望のパターンを有する第1絶縁層36を形成することができる。この際、好ましくは、形成される第1絶縁層36の凹部36bの側面36cが基板11に対して順テーパ状に延びるよう、露光光の照射条件や、第1絶縁性材料に含有される感光性材料の組成などが適切に調整される。
好ましくは、図5Bに示すように、第1絶縁層36は、基板11の周縁部に設けられた遮光層12を覆うよう形成される。これによって、遮光層12のためのオーバーコート層を、表示領域A内における絶縁層の平坦性を実現するための第1絶縁層36と同時に形成することができる。
(遮光導電層の形成工程)
次に図5Cに示すように、非表示領域A内に遮光導電層33bを形成する。例えば、はじめにスパッタリング法を用いて、基板11の一側の全域に金属材料を付着させる。次に、金属材料の層上に所定のレジストパターンを形成し、その後、レジストパターンをマスクとして金属材料の層をエッチングする。これによって、所望のパターンを有する遮光導電層33bを形成することができる。所定のレジストパターンを形成する方法が特に限られることはない。例えば、はじめに光溶解性または光硬化性の感光性樹脂を含むレジスト層を金属材料の層上に設け、次に、フォトリソグラフィー法を用いてレジスト層をパターニングし、これによって所定のレジストパターンを得ることができる。
(第1導電層の形成工程)
次に図5Dに示すように、第1絶縁層36の凹部36bに沿って配置された第2電極部32aを設ける。例えば遮光導電層33bの場合と同様に、はじめに基板11の一側にスパッタリング法を用いて透明導電性材料を付着させ、次に、透明導電性材料の層上に所定のレジストパターンを形成する。その後、レジストパターンをマスクとして透明導電性材料の層をエッチングし、これによって、透明導電性材料からなる第2接続部32bを得ることができる。
なお以下の説明において、前述の透明導電性材料の層、すなわち、第1絶縁層36を形成した後に形成される透明導電性材料の層のことを、第1導電層35Aと称することもある。本実施の形態において、第1導電層35Aは、第2接続部32bを構成している。
(第2絶縁層の形成工程)
次に図5Eに示すように、第1絶縁層36の凹部36bを埋めるよう第2絶縁層37を設ける。例えば第1絶縁層36の場合と同様に、はじめに基板11の一側に第2絶縁性材料を設け、次に、フォトリソグラフィー法を用いて第2絶縁性材料をパターニングする。これによって、所望のパターンを有する第2絶縁層37を形成することができる。この際、好ましくは、第2絶縁層37の最外面37aの位置が、第1絶縁層36の最外面36aの位置と略同一になるよう、第2絶縁性材料の使用量、第2絶縁性材料に含有される感光性材料の組成や、露光光の照射条件などが適切に調整される。
(第2導電層の形成工程)
次に図5Fに示すように、第1電極パターン31の第1接続部31b並びに第2電極パターン32の第2電極部32aを設ける。このうち第1電極パターン31の第1接続部31bは、第2絶縁層37上に設けられる。また第2電極パターン32の第2電極部32aは、上述の第1導電層35Aの形成工程によって得られた第2接続部32bに接続されるよう設けられる。なお図5Fには示されていないが、この第2導電層の形成工程において、第1電極パターン31の第1電極部31aも、第1接続部31bおよび第2電極部32aと同時に形成される。
第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aを設ける方法が特に限られることはない。例えば第2接続部32bを構成する第1透明導電層35Aの形成工程の場合と同様に、はじめに基板11の一側にスパッタリング法を用いて透明導電性材料を付着させ、次に、透明導電性材料の層上に所定のレジストパターンを形成する。その後、レジストパターンをマスクとして透明導電性材料の層をエッチングし、これによって、透明導電性材料からなる第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aを得ることができる。このようにして、ほぼ平坦な表面を有するタッチパネルセンサ部30を含むタッチパネルセンサ基板10を作製することができる。
好ましくは、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aを構成する透明導電性材料は、図5Fに示すように、非表示領域A内に設けられた遮光導電層33b上にも配置されている。すなわち、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aと同時に、透明導電性材料からなる透明導電層33aが形成される。これによって、工数を増加させることなく、取出パターン33の層構成を、透明導電層33aおよび遮光導電層33bからなる二層構成とすることができる。
なお以下の説明において、前述の透明導電性材料の層、すなわち、第2絶縁層37を形成した後に形成される透明導電性材料の層のことを、第2導電層35Bと称することもある。本実施の形態において、第2導電層35Bは、第1電極部31a,第1接続部31b、第2電極部32aおよび透明導電層33aを構成している。
このように本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ基板10は、複数の凹部36bが形成されるよう基板11の一側に設けられた第1絶縁層36を備えている。また、第1電極パターン31の第1接続部31bおよび第2電極パターン32の第2接続部32bは、基板11の法線方向から見た場合に、第1絶縁層36の凹部36bにおいて互いに部分的に重なるよう配置されている。そして、第1接続部31bと第2接続部32bとの間に介在される第2絶縁層37は、第1絶縁層36の凹部36bを埋めるよう構成されている。このため、第1絶縁層36の側面36cおよび第2絶縁層37の側面37cにおいて光が反射されることを防ぐことができる。これによって、交差部分において、周囲の部分とは異なる態様で光が反射されてしまうことを防ぐことができる。このことにより、交差部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
また本実施の形態によれば、第1絶縁層36は、非表示領域Aに設けられた遮光層12をも覆うよう構成されている。従って、タッチパネル機能付き前面板において一般に設けられるオーバーコート層を表示領域A内まで延在させることにより、第1絶縁層36を構成することができる。これによって、従来のタッチパネル機能付き前面板を製造する場合と同一の工数で、本実施の形態による第1絶縁層36を形成することができる。
第1の比較の形態
次に、本実施の形態の効果を、第1の比較の形態と比較して説明する。図6Aは、第1の比較の形態におけるタッチパネルセンサ基板70を示す縦断面図であって、上述の第1の実施の形態における図4Aに対応する縦断面図である。
図6Aに示す第1の比較の形態によるタッチパネルセンサ基板70において、第1電極パターン31の第1電極部31a並びに第2電極パターン32の第2電極部32aおよび第2接続部32bは基板11上に配置されている。また、第1接続部31bと第2接続部32bとの間には絶縁層77が介在されている。この絶縁層77は、交差部分の近傍にのみ形成されている。また非表示領域Aに形成された遮光層12上にはオーバーコート層76が設けられている。図6Aに示す第1の比較の形態において、上述の第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
第1の比較の形態によるタッチパネルセンサ基板10においては、絶縁層77の側面77cが外方に露出されている。すなわち、絶縁層77と相補的な形状を有するその他の絶縁層が設けられていない。この場合、図6Aにおいて矢印Lで示されているように、表示部20からの光が絶縁層77の側面77cにおいて反射され、この結果、絶縁層77近傍部分における光の透過率が、その周囲の部分における光の透過率よりも低くなる。このため、絶縁層77近傍部分、すなわち交差部分が目立って視認されてしまうことが考えられる。
これに対して本実施の形態によれば、互いに相補的な形状を有する第1絶縁層36および第2絶縁層37を組み合わせることにより、第1絶縁層36の側面36cおよび第2絶縁層37の側面37cにおいて光が反射されることを防ぐことができる。これによって、交差部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
第2の比較の形態
次に、本実施の形態の効果を、第2の比較の形態と比較して説明する。図6Bは、第2の比較の形態におけるタッチパネルセンサ基板70を示す縦断面図であって、上述の第1の実施の形態における図4Aに対応する縦断面図である。
図6Bに示す第2の比較の形態によるタッチパネルセンサ基板70において、第1電極パターン31の第1電極部31a並びに第2電極パターン32の第2電極部32aおよび第2接続部32bは基板11上に配置されている。また、第1接続部31bと第2接続部32bとの間には絶縁層77が介在されている。この絶縁層77は、交差部分の近傍のみでなく、表示領域Aのほぼ全域にわたって形成されている。また絶縁層77には、図6Bに示すように、第2電極部32aを第2接続部32bに対して接続するための開口部77aが形成されている。図6Bに示す第2の比較の形態において、上述の第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
第2の比較の形態によるタッチパネルセンサ基板10においては、第2電極部32aを第2接続部32bに対して接続するため、開口部77aの側面に沿って第2電極部32aが配置される。ここで一般に、絶縁層77を構成する絶縁性材料の厚みは、第2電極部32aを構成する透明導電性材料の厚みよりも大きくなっている。このため図6Bに示すように、第2電極部32aを構成する透明導電性材料によっては、絶縁層77の開口部77aを完全に埋めることはできない。このため第2の比較の形態によれば、絶縁層77の開口部77aに沿った傾斜部分が外方に露出され、当該傾斜部分において光が反射されることになる。この結果、交差部分近傍における光の透過率が、その周囲の部分における光の透過率よりも低くなる。このため、交差部分が目立って視認されてしまうことが考えられる。
これに対して本実施の形態によれば、第1絶縁層36の凹部36bが第2絶縁層37によって埋められている。このため、第1絶縁層36の凹部36bを十分に埋めることができ、この結果、第1絶縁層36の側面36cおよび第2絶縁層37の側面37cにおいて光が反射されることを防ぐことができる。これによって、交差部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
第1絶縁層の変形例
なお上述の本実施の形態において、第1絶縁層36の凹部36bが、第1接続部31bと第2接続部32bとが交差する部分に対応するよう形成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、その他の部分にも凹部36bが形成されていてもよい。例えば図7に示すように、第2電極パターン32の第2電極部32aに対応する部分にも凹部36bが形成されていてもよい。本変形例においても、第2絶縁層37は、各凹部36bを埋めるよう構成されている。すなわち本変形例においても、第1絶縁層36と第2絶縁層37とが、互いに相補的な形状を有している。このため、第1絶縁層36の側面36cおよび第2絶縁層37の側面37cにおいて光が反射されることを防ぐことができる。これによって、タッチパネルセンサ基板10の表示領域Aの一部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
第2の実施の形態
次に図8A乃至図9Cを参照して、本発明の第2の実施の形態について説明する。図8A乃至図9Cに示す第2の実施の形態は、第2電極部32aよりも先に第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aが第1絶縁層36上および基板11上に形成される点が異なるのみであり、他の構成は、上述の第1の実施の形態と略同一である。図8A乃至図9Cに示す第2の実施の形態において、上述の第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図8A,8Bは、本実施の形態によるタッチパネルセンサ基板10を示す縦断面図であって、図3のタッチパネルセンサ基板10をIVA−IVA方向,IVB−IVB方向から見た縦断面図である。図8A,8Bに示すように、本実施の形態においては、第1電極パターン31の第1接続部31bが凹部36bに沿って配置されている。また第1接続部31bは、凹部36bを横断して第1絶縁層36の最外面36a上に至っている。なお後述するように、第1電極部31aおよび第1接続部31bはいずれも第1導電層35Aに含まれる要素であり、従って図8Bに示すように、第1電極部31aおよび第1接続部31bは互いに一体的に構成されている。
本実施の形態においても、図4A,4Bに示す第1の実施の形態の場合と同様に、第1電極パターン31の第1接続部31bおよび第2電極パターン32の第2接続部32bは、基板11の法線方向から見た場合に、第1絶縁層36の凹部36bにおいて互いに部分的に重なるよう配置されている。また、第1接続部31bと第2接続部32bとの間には、絶縁性を有する第2絶縁性材料から構成された第2絶縁層37が介在されている。ここで第2絶縁層37は、図8A,8Bに示すように、第1絶縁層36の凹部36bを埋めるよう構成されている。このため本実施の形態においても、上述の第1の実施の形態の場合と同様に、ほぼ平坦な表面を有するタッチパネルセンサ部30を得ることができ、このことにより、表示領域A内の特定の部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用および効果について説明する。ここでは、タッチパネルセンサ基板10の製造方法について説明する。
はじめに基板11を準備し、次に、基板11の一側の周縁部に遮光層12を形成する(遮光層の形成工程)。その後、基板11の一側に、複数の凹部36bが形成された第1絶縁層を設け(第1絶縁層の形成工程)、次に、非表示領域A内に遮光導電層33bを形成する(遮光導電層の形成工程)。これらの工程は、図5A乃至図5Cに示す上述の第1の実施の形態における遮光層の形成工程、第1絶縁層の形成工程および遮光導電層の形成工程と略同一であるので、詳細な説明を省略する。
(第1導電層の形成工程)
次に図9Aに示すように、第1電極パターン31の第1電極部31aおよび第1接続部31b、並びに第2電極パターン32の第2電極部32aを設ける。このように本実施の形態においては、第1絶縁層36を形成した後に形成される第1導電層35Aが、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aを構成している。この場合、図9Aに示すように、第2接続部32bではなく第1接続部31bが、第1絶縁層36の凹部36bに沿って配置される。第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32を構成する第1導電層35Aは、第1の実施の形態における第1導電層の形成工程の場合と同様に、例えば、透明導電性材料のスパッタリング、レジストパターンの形成および透明導電性材料の層のエッチングを順次実施することにより得られる。
好ましくは、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aを構成する透明導電性材料は、図9Aに示すように、非表示領域A内に設けられた遮光導電層33b上にも配置されている。これによって、取出パターン33の層構成を、透明導電層33aおよび遮光導電層33bからなる二層構成とすることができる。
(第2絶縁層の形成工程)
次に図9Bに示すように、第1絶縁層36の凹部36bを埋めるよう第2絶縁層37を設ける。例えば第1の実施の形態の場合と同様に、はじめに基板11の一側に第2絶縁性材料を設け、次に、フォトリソグラフィー法を用いて第2絶縁性材料をパターニングする。これによって、所望のパターンを有する第2絶縁層37を形成することができる。この際、好ましくは、第2絶縁層37の最外面37aの位置が、第1絶縁層36の最外面36aの位置と略同一になるよう、第2絶縁性材料の使用量、第2絶縁性材料に含有される感光性材料の組成や、露光光の照射条件などが適切に調整される。
(第2導電層の形成工程)
次に図9Cに示すように、第2電極パターン32の第2接続部32bを設ける。このように本実施の形態においては、第2絶縁層37を形成した後に形成される第2導電層35Bが、第2接続部32bを構成している。第2接続部32bは、図9Cに示すように、第1接続部31bと交差するよう第2絶縁層37上を延びるとともに、第1絶縁層36上に位置する第2電極部32aに接続されるよう、形成される。
第2接続部32bを構成する第2導電層35Bは、第1の実施の形態における第2導電層の形成工程の場合と同様に、例えば、透明導電性材料のスパッタリング、レジストパターンの形成および透明導電性材料の層のエッチングを順次実施することにより得られる。このようにして、ほぼ平坦な表面を有するタッチパネルセンサ部30を含むタッチパネルセンサ基板10を作製することができる。
第1絶縁層の変形例
なお上述の本実施の形態において、第1絶縁層36の凹部36bが、第1接続部31bと第2接続部32bとが交差する部分に対応するよう形成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、その他の部分にも凹部36bが形成されていてもよい。例えば図10に示すように、第2電極パターン32の第2電極部32aに対応する部分にも凹部36bが形成されていてもよい。本変形例においても、第2絶縁層37は、各凹部36bを埋めるよう構成されている。すなわち本変形例においても、第1絶縁層36と第2絶縁層37とが、互いに相補的な形状を有している。このため、第1絶縁層36の側面36cおよび第2絶縁層37の側面37cにおいて光が反射されることを防ぐことができる。これによって、タッチパネルセンサ基板10の表示領域Aの一部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
その他の変形例
また上述の各実施の形態において、タッチパネルセンサ基板10が、タッチパネル機能を備えた前面板として構成されている例を示したが、これに限られることはない。すなわち、タッチパネルセンサ基板10と表示部20とが組み合わされて入出力装置60が構成される際、タッチパネルセンサ基板10の基板11は、入出力装置60の最も観察者側の面を構成する部材となっていなくてもよい。例えばタッチパネルセンサ基板10は、前面板とは別個に入出力装置60に組み込まれていてもよい。またタッチパネルセンサ基板10は、入出力装置60に含まれるその他の部材と一体に構成されていてもよい。例えばタッチパネルセンサ基板10の基板11の他側の面11bに複数色の着色層を含むカラーフィルタ部が設けられていてもよい。この場合、タッチパネルセンサ基板10は、タッチパネル機能に加えてカラーフィルタ機能をも提供することができる。
また上述の各実施の形態において、第1絶縁層36および第2絶縁層37が、絶縁性を有する有機材料から構成される例を示したが、これに限られることはない。例えば第1絶縁層36および第2絶縁層37を構成する材料として、絶縁性を有する無機材料を用いることもできる。このような無機材料としては、例えば、第1電極パターン31および第2電極パターン32のパターン形状が視認されることを防ぐために一般にタッチパネルセンサに設けられる、第1電極パターン31および第2電極パターン32を構成する透明導電性材料よりも高い屈折率を有する高屈折率材料を挙げることができる。
また上述の各実施の形態において、第2接続部32bを構成する材料として、透明導電性材料が用いられる例を示した。しかしながら、第2接続部32bは、第1電極部31aおよび第2電極部32aとは異なる工程で形成される要素であり、かつ、タッチパネルセンサ部30における占有率が、第1電極部31aおよび第2電極部32aに比べて非常に小さい要素である。従って、第2接続部32bを構成する材料が透光性を有する必要は必ずしもない。すなわち、第2接続部32bを構成する材料として、遮光性を有する金属材料などが用いられていてもよい。
また上述の各実施の形態において、タッチパネルセンサ基板10のタッチパネルセンサ部30が、各電極パターン31,32や絶縁層36,37上に設けられたオーバーコート層(図示せず)をさらに有していてもよい。これによって、各電極パターン31,32を外部環境からより強固に保護することができる。また上述の各実施の形態において説明したように、第1絶縁層36と第2絶縁層37とは互いに相補的な形状で構成されている。このため、第1絶縁層36および第2絶縁層37の厚みに対応する凹凸がオーバーコート層に現れることがない。このことにより、表示領域A内の特定の部分が目立って視認されることを防ぐことができる。
なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
10 タッチパネルセンサ基板
11 基板
12 遮光層
20 表示部
30 タッチパネルセンサ部
31 第1電極パターン
31a 第1電極部
31b 第1接続部
32 第2電極パターン
32a 第2電極部
32b 第2接続部
35A 第1導電層
35B 第2導電層
36 第1絶縁層
36b 凹部
36c 側面
37 第2絶縁層
37c 側面
60 入出力装置
表示領域
非表示領域

Claims (8)

  1. 基板と、
    基板の一側に設けられたタッチパネルセンサ部と、を備え、
    前記タッチパネルセンサ部は、複数の凹部が形成されるよう基板の一側に設けられた第1絶縁層と、前記第1絶縁層よりも一側に位置するよう設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンおよび第2方向に延びる複数の第2電極パターンと、を有し、
    各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、
    各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、
    前記第1電極部および前記第2電極部は、基板の法線方向から見た場合に、互いに重ならないよう配置されており、
    前記第1接続部および前記第2接続部は、基板の法線方向から見た場合に、前記第1絶縁層の前記凹部において互いに部分的に重なるよう配置されており、
    前記第1接続部と前記第2接続部との間に第2絶縁層が介在されており、
    前記第2絶縁層は、前記第1絶縁層の前記凹部を埋めるよう構成されている、タッチパネルセンサ基板。
  2. 基板の一側の周縁部に設けられ、遮光性を有する遮光層をさらに備え、
    前記第1絶縁層は、前記遮光層を覆うよう設けられている、請求項1に記載のタッチパネルセンサ基板。
  3. 前記第1絶縁層の前記凹部の側面が順テーパ状に延びている、請求項1または2に記載のタッチパネルセンサ基板。
  4. 第1絶縁層が有機材料から構成されている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ基板。
  5. 映像を表示するための光を観察者側に放射する表示部と、
    前記表示部に対して観察者側に配置されたタッチパネルセンサ基板と、を備え、
    前記タッチパネルセンサ基板は、請求項1に記載のタッチパネルセンサからなる、入出力装置。
  6. 基板を準備する工程と、
    基板の一側にタッチパネルセンサ部を設けるタッチパネルセンサ形成工程と、を備え、
    前記タッチパネルセンサ形成工程は、
    基板の一側に、複数の凹部が形成された第1絶縁層を設ける工程と、
    少なくとも部分的に前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置された第1導電層を設ける工程と、
    前記第1絶縁層の前記凹部を埋めるよう第2絶縁層を設ける工程と、
    少なくとも部分的に前記第2絶縁層上に配置されるとともに前記第1絶縁層上において前記第1導電層に接続された第2導電層を設ける工程と、を有する、タッチパネルセンサ基板の製造方法。
  7. 前記第1導電層または前記第2導電層の一方は、第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、を構成し、前記第1導電層または前記第2導電層の他方は、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部を構成し、
    前記第1導電層が前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部を構成し、前記第2導電層が前記第2接続部を構成する場合、前記第1接続部が前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置され、かつ、前記第2接続部が前記第2絶縁層上に配置され、
    前記第1導電層が前記第2接続部を構成し、前記第2導電層が前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部を構成する場合、前記第2接続部が前記第1絶縁層の前記凹部に沿って配置され、かつ、前記第1接続部が前記第2絶縁層上に配置される、請求項6に記載のタッチパネルセンサ基板の製造方法。
  8. 遮光性を有する遮光層を基板の一側の周縁部に設ける工程をさらに備え、
    前記第1絶縁層は、前記遮光層を覆うよう設けられている、請求項6または7に記載のタッチパネルセンサ基板の製造方法。
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