JP2013165144A - Mos構造の製造方法 - Google Patents
Mos構造の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013165144A JP2013165144A JP2012026957A JP2012026957A JP2013165144A JP 2013165144 A JP2013165144 A JP 2013165144A JP 2012026957 A JP2012026957 A JP 2012026957A JP 2012026957 A JP2012026957 A JP 2012026957A JP 2013165144 A JP2013165144 A JP 2013165144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- layer
- mos structure
- nitrogen
- gaas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】ステップS101で、GaおよびAsを含む化合物半導体からなる半導体層を形成する。次に、ステップS102で、半導体層の表面に粒子線を照射する。この粒子線の照射では、窒素、アンチモン、およびリンより選択した原子のラジカルを照射する。次に、ステップS103で、粒子線を照射した半導体層の上に絶縁層を形成する。
【選択図】 図1
Description
はじめに、実施例1について、説明する。実施例1では、図2に示したMOS構造を作製し、作製したMOS構造の特性を評価する。実施例1では、GaおよびAsを含む化合物半導体からなる半導体層として、GaAs基板を用いる。また、窒素(N)のラジカルを照射する。
次に、実施例2について、説明する。実施例2では、図10に示すMOS構造を作製し、作製したMOS構造の特性を評価する。図10に示すMOS構造は、例えば、n型のGaAsからなる半導体層1001と、この主表面に形成された酸化アルミニウムからなる絶縁層1002と、絶縁層1002の上に形成されたTi/Auからなる第1電極1003とを備える。また、半導体層1001の裏面に形成されたAuGeNiからなる第2電極1004を備える。第2電極1004は、半導体層1001の裏面にオーミック接続している。このように第2電極1004を形成することで、上記MOS構造をキャパシタとすることができる。
Claims (3)
- GaおよびAsを含む化合物半導体からなる半導体層を形成する工程と、
前記半導体層の表面に粒子線を照射する工程と、
前記粒子線を照射した前記半導体層の上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の上に電極を形成する工程と
を少なくとも備え、
前記粒子線の照射では、窒素、アンチモン、およびリンより選択した原子のラジカルを照射することを特徴とするMOS構造の製造方法。 - 請求項1記載のMOS構造の製造方法において、
前記粒子線の照射では、砒素が解離する温度に前記半導体層を加熱することを特徴とするMOS構造の製造方法。 - 請求項1または2記載のMOS構造の製造方法において、
前記半導体層は、GaAs層であることを特徴とするMOS構造の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026957A JP2013165144A (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | Mos構造の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026957A JP2013165144A (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | Mos構造の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013165144A true JP2013165144A (ja) | 2013-08-22 |
Family
ID=49176332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012026957A Pending JP2013165144A (ja) | 2012-02-10 | 2012-02-10 | Mos構造の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013165144A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01211976A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Nec Corp | ヒ化ガリウムを用いたmis型半導体装置の製造方法 |
JPH1083988A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Hideki Matsumura | 薄膜作成方法及び薄膜作成装置並びに半導体−絶縁体接合構造を有する半導体デバイス |
JP2006059956A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011103318A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Univ Of Tokyo | 半導体デバイス及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-02-10 JP JP2012026957A patent/JP2013165144A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01211976A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Nec Corp | ヒ化ガリウムを用いたmis型半導体装置の製造方法 |
JPH1083988A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Hideki Matsumura | 薄膜作成方法及び薄膜作成装置並びに半導体−絶縁体接合構造を有する半導体デバイス |
JP2006059956A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011103318A (ja) * | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Univ Of Tokyo | 半導体デバイス及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI691081B (zh) | 用於半導體表面氣相硫鈍化之系統及方法 | |
US8314017B2 (en) | Method for manufacturing a low defect interface between a dielectric and a III-V compound | |
Hashizume et al. | Effects of nitrogen deficiency on electronic properties of AlGaN surfaces subjected to thermal and plasma processes | |
Yang et al. | Comparative band alignment of plasma-enhanced atomic layer deposited high-k dielectrics on gallium nitride | |
Wallace | In-situ studies of interfacial bonding of high-k dielectrics for CMOS beyond 22nm | |
Reddy et al. | Microstructural, electrical and carrier transport properties of Au/NiO/n-GaN heterojunction with a nickel oxide interlayer | |
US9685322B2 (en) | Layer deposition on III-V semiconductors | |
US20160163846A1 (en) | Metalorganic chemical vapor deposition of oxide dielectrics on n-polar iii-nitride semiconductors with high interface quality and tunable fixed interface charge | |
Alam et al. | Effect of surface preparation and interfacial layer on the quality of SiO2/GaN interfaces | |
Hinkle et al. | Comparison of n-type and p-type GaAs oxide growth and its effects on frequency dispersion characteristics | |
Kim et al. | Fabrication and properties of A1N film on GaN substrate by using remote plasma atomic layer deposition method | |
Shih et al. | Investigations of GaN metal-oxide-semiconductor capacitors with sputtered HfO2 gate dielectrics | |
US9824889B2 (en) | CVD silicon monolayer formation method and gate oxide ALD formation on III-V materials | |
Ahn et al. | In Situ As2 Decapping and Atomic Layer Deposition of Al2O3 on n-InGaAs (100) | |
Eller et al. | Surface band bending and interface alignment of plasma-enhanced atomic layer deposited SiO2 on AlxGa1-xN | |
Lau et al. | Capping and decapping of InP and InGaAs surfaces | |
JP2013165144A (ja) | Mos構造の製造方法 | |
Kudo et al. | Fabrication and analysis of AlN/GaAs (001) and AlN/Ge/GaAs (001) metal–insulator–semiconductor structures | |
Nabatame et al. | Study of HfO2-Based High-k Gate Insulators for GaN Power Device | |
Kim et al. | Investigation of fast and slow traps in atomic layer deposited AlN on 4H-SiC | |
JP5571410B2 (ja) | 特性劣化防止方法 | |
Kobayashi et al. | The effects of wet surface clean and in situ interlayer on In0. 52Al0. 48As metal-oxide-semiconductor characteristics | |
CN113540208B (zh) | 基于原位生长MIS结构的垂直GaN肖特基二极管及其制备方法 | |
Hao | Characterization of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposited Ga2O3 using Ga (acac) 3 On GaN | |
Yafarov | Formation of built-in potential in Si (100) crystals under microwave plasma treatment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140715 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140826 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150324 |