JP2013139661A

JP2013139661A - フッ素樹脂繊維の製造方法、エアフィルター用ろ材およびその製造方法

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Publication number: JP2013139661A
Application number: JP2012220610A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Yuya; 康油谷; Naoko Hayashi; 直子林; Tomohiro Nakagawa; 智洋中川; Hiroyuki Fukushima; 博之福島
Original assignee: Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Current assignee: Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Priority date: 2011-12-05
Filing date: 2012-10-02
Publication date: 2013-07-18

Abstract

【課題】圧力損失が低く、粒子、特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子の捕集率が高いエアフィルター用ろ材、ならびにこのようなエアフィルター用ろ材に適した繊維材料、ならびにこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂、イオン性界面活性剤および溶媒を含む紡糸液から電界紡糸法により前記フッ素樹脂の繊維を製造することを特徴とするフッ素樹脂繊維の製造方法。
【選択図】なし

Description

本発明は、フッ素樹脂繊維の製造方法、エアフィルター用ろ材およびその製造方法に関し、より詳しくは、エアフィルター用ろ材層として適したフッ素樹脂繊維の製造方法、およびこれを用いたエアフィルター用ろ材等に関する。

空気中の微細な粒子を捕集（捕捉）するためのエアフィルターには、粒子を高い効率で捕集できることや、圧力損失が低いことが求められる。
特許文献１〜５には、電界紡糸法により得られた繊維径が数百ｎｍ前後である繊維から製造されたフィルター（用ろ材層）が開示されており、これらは、粒子の捕集率が高く、圧力損失も低い。

また、特許文献６にも、液体の処理に用いられるフィルターに関する技術ではあるが、ポリフッ化ビニリデンなどから電界紡糸法により得られた繊維径が数百ｎｍ前後である繊維から製造されたフィルターが開示されている。

特許文献７〜８には、界面活性剤を含んでもよい紡糸液から電界紡糸法によりフッ素樹脂繊維を製造する技術が開示され、このフッ素樹脂繊維の集積体をフィルター（用ろ材層）にも使用できる旨が記載されている。

さらに、特許文献９にも界面活性剤を含んでもよい紡糸液から電界紡糸法によりフッ素樹脂繊維を製造する技術が開示されている。

特開２００７−３０１７５号公報国際公開ＷＯ２００９／５１２６３号パンフレット特開２０１０−２５３４４９号公報特開２０１０−２７５６６３号公報特開２０１０−２７５６６５号公報特開２００９−２０２１１６号公報特開平３−１６１５０２号公報特表２００８−５１５６６８号公報特開２００６−２８３２４０号公報

しかしながら、従来のエアフィルターには、高い捕集率で粒子、特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子を捕集するという点で、さらなる改良の余地があった。また、エアフィルターが取り付けられる空調機等の送風に要する消費電力を低減するため、つまり省エネルギー化のためには、エアフィルターの圧力損失の低減が必要である。

したがって本発明は、圧力損失が低く、粒子、特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子の捕集率が高いエアフィルター用ろ材、およびこのようなエアフィルター用ろ材に適した繊維材料、ならびにこれらの製造方法を提供することを目的としている。

本発明者らは鋭意研究した結果、特定の方法により製造された繊維材料をエアフィルター用ろ材層に用いると、圧力損失が低く、粒子、特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子の捕集率が高いエアフィルター用ろ材を製造できることを見出し、本発明を完成させた。

本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法は、フッ素樹脂、イオン性界面活性剤および溶媒を含む紡糸液から電界紡糸法により前記フッ素樹脂の繊維を製造することを特徴としている。

前記イオン性界面活性剤としてはフッ素系界面活性剤が挙げられる。
本発明に係るエアフィルター用ろ材の製造方法は、
前記の方法によりフッ素樹脂繊維を製造する工程、および
支持体層の少なくとも一方の表面に前記フッ素樹脂繊維をシート状に集積してエアフィルター用ろ材層を形成する工程
を含むことを特徴としている。

前記のエアフィルター用ろ材の製造方法においては、好ましくは、
前記フッ素樹脂繊維として、繊維径が１０〜３００ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜２５０ｎｍであるフッ素樹脂繊維を用い、
前記エアフィルター用ろ材層を、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²となり、厚さが２０μｍ以下となるように形成し、さらに好ましくは、
前記フッ素樹脂繊維として、繊維径が１０〜１５０ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜１００ｎｍであるフッ素樹脂繊維を用い、
前記エアフィルター用ろ材層を、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²となり、厚さが１５μｍ以下となるように形成する。

前記フッ素樹脂繊維としては、アスペクト比（平均繊維長／平均繊維径）が１０００以上のフッ素樹脂繊維が好ましく、走査型電子顕微鏡で観察した際に、前記フッ素樹脂繊維に繊維状部および任意に非細繊維状部が認められ、これらの部分の面積比が繊維状部：非細繊維状部＝１００：０〜９５：５であるフッ素樹脂繊維が好ましい。

本発明に係るエアフィルター用ろ材は、前記の方法により製造されることを特徴としている。
また、本発明に係るエアフィルター用ろ材は、支持体層、および該支持体層の少なくとも一方の表面に、繊維径が１０〜３００ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜２５０ｎｍであるフッ素樹脂繊維からなり、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²であり、厚さが２０μｍ以下である前記エアフィルター用ろ材層を有することを特徴としている。

本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法によれば、繊維径が小さくかつ均一なフッ素樹脂繊維を製造することができる。
また本発明に係るエアフィルター用ろ材は、圧力損失が低く、かつ粒子（特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子）捕集率が高く、本発明に係るエアフィルター用ろ材の製造方法によれば、このようなエアフィルター用ろ材を製造することができる。

以下、本発明をより詳細に説明する。
［フッ素樹脂繊維の製造方法］
本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法は、フッ素樹脂、イオン性界面活性剤ならびに溶媒を含む紡糸液から電界紡糸（静電紡糸）法により前記フッ素樹脂の繊維を製造することを特徴としている。

＜紡糸液＞
前記フッ素樹脂としては、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリヘキサフルオロプロピレン、ポリパーフルオロアルキルビニルエーテル、ポリクロロトリフルオロエチレンなどが挙げられる。また、これらの共重合体、またはポリマーブレンドなどを用いてもよく、その例としては、フルオロエチレン／ビニルエーテル交互共重合体（ＦＥＶＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソール共重合体などが挙げられる。

前記フッ素樹脂としては、市販品であれば、「ルミフロン（登録商標）ＬＦ−２００」（ＦＥＶＥ、旭硝子（株））、「ＣＹＴＯＰ」（登録商標）（脂肪族環含有共重合体、旭硝子（株））などが挙げられる。

前記フッ素樹脂は、樹脂の種類などにも依存するが、紡糸液中にたとえば５〜６０重量％、好ましくは１０〜５０重量％含まれる。
前記イオン性界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤（すなわち、フッ素原子を有する界面活性剤。たとえば、パーフルオロアルキル基を有する酸のアンモニウム塩。）、炭化水素系界面活性剤（主鎖がアルキル基よりなる界面活性剤）、シリコーン系界面活性剤（ケイ素原子を有する界面活性剤）などが挙げられる。

前記フッ素系界面活性剤としては、市販品であれば、フタージェント（登録商標）１００（アニオン系のフッ素系界面活性剤）、フタージェント（登録商標）３１０（カチオン系のフッ素系界面活性剤）（以上、（株）ネオス）、メガファックＦ１１４（アニオン系のフッ素系界面活性剤、ＤＩＣ（株））、サーフロンＳ−２３１（両性のフッ素系界面活性剤、旭硝子（株））などが挙げられる。

前記界面活性剤は、紡糸液中にたとえば０．１〜１０重量％、好ましくは１〜５重量％含まれる。
本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法によれば、紡糸液がイオン性界面活性剤を含んでいるため、電界紡糸時に電荷に対する紡糸溶液の安定性を高め、以てフッ素樹脂繊維を細径化することができると考えられる。中でも、イオン性界面活性剤としてフッ素系界面活性剤を用いることで、電界紡糸時の紡糸溶液の安定性を特に高められると考えられる。

前記溶媒としては、前記フッ素樹脂を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、メチルピロリドン、キシレン、アセトン、クロロホルム、エチルベンゼン、シクロヘキサンなどが挙げられる。これらの溶媒は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせた混合溶媒として用いてもよい。

前記溶媒は、紡糸液中にたとえば１０〜９５重量％、好ましくは４０〜９０重量％含まれる。
前記紡糸液は、さらに粘度調整剤等の添加剤を含んでいてもよい。

前記紡糸液は、上述したフッ素樹脂、界面活性剤、溶媒、および必要に応じて添加剤を従来公知の方法で混合することにより製造できる。
前記紡糸液の好ましい態様の例としては、以下の紡糸液（１）、（２）が挙げられる。

紡糸液（１）：ＰＶＤＦを５〜３０重量％、好ましくは１０〜２０重量％含み、イオン性界面活性剤を１〜１０重量％、好ましくは２〜５重量％含む紡糸液
紡糸液（２）：ＦＥＶＥを３０〜６０重量％、好ましくは４０〜５０重量％含み、イオン性界面活性剤を１〜１０重量％、好ましくは２〜５重量％含む紡糸液

＜電界紡糸＞
本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法においては、前記紡糸液から電界紡糸（静電紡糸）法により前記フッ素樹脂の繊維を製造する。

この電界紡糸を行う際の印加電圧は、好ましくは５〜５０ｋＶ、より好ましくは２０〜４０ｋＶである。
紡糸ノズルの先端径（外径）は、好ましくは０．１〜２．０ｍｍ、より好ましくは０．２〜１．０ｍｍ、さらに好ましくは０．２０〜０．８５ｍｍである。

より具体的には、たとえば前記紡糸液（１）または前記紡糸液（２）を用いる場合であれば、前記印加電圧は、好ましくは１０〜５０ｋＶ、より好ましくは２０〜４０ｋＶであり、前記の紡糸ノズルの先端径（外径）は、好ましくは０．２〜０．８５ｍｍである。

このような本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法によれば、繊維径が小さく、繊維径のばらつきが小さいフッ素樹脂繊維、具体的には、平均繊維径が４０〜２５０ｎｍであり、繊維径が１０〜３００ｎｍの範囲にある繊維の割合（本数基準）が９０％以上であるフッ素樹脂繊維（以下「本発明に係るフッ素樹脂繊維」ともいう。）を製造することができる。

本発明に係るフッ素樹脂繊維においては、平均繊維径は好ましくは４０〜２００ｎｍ、より好ましくは４０〜１５０ｎｍ、より好ましくは４０〜１００ｎｍであり、これらの範囲の下限値は５０ｎｍであってもよく、また、好ましくは繊維径が１０〜２５０ｎｍの範囲にある繊維の割合（本数基準）が９０％以上であり、より好ましくは繊維径が１０〜２００ｎｍの範囲にある繊維の割合（本数基準）が９０％以上であり、さらに好ましくは繊維径が１０〜１５０ｎｍの範囲にある繊維の割合（本数基準）が９０％以上である。

本発明に係るフッ素樹脂は、後述するように、圧力損失が低く、粒子（特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子）捕集率が高いエアフィルター用ろ材層およびエアフィルター用ろ材の構成材料として適している。

また、本発明に係るフッ素樹脂繊維のアスペクト比（平均繊維長／平均繊維径）は、好ましくは１０００以上、より好ましくは１００００以上であり、その上限はたとえば１００００００程度であってもよい。

なお、上記平均繊維径、特定の径の繊維の割合、および平均アスペクト比の値は、いずれも、測定対象となるフッ素樹脂繊維（群）について、無作為に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察の領域を選び、この領域をＳＥＭ観察（倍率：１００００倍）して無作為に１０本のフッ素樹脂繊維を選び、これらのフッ素樹脂繊維の測定結果に基づいて算出される値である。

前記アスペクト比が上記範囲内にある前記フッ素樹脂繊維は、実質的にダマを形成しない。「実質的にダマを形成しない」とは、たとえば、前記エアフィルター用ろ材層の無作為に選んだ領域をＳＥＭ観察（倍率：１０００倍）した際に、前記フッ素樹脂繊維に繊維状部および任意に非細繊維状部が認められ、これらの部分の面積比が繊維状部：非細繊維状部＝１００：０〜９５：５、好ましくは１００：０〜９７：３であることをいう。なお「非細繊維状部分」とは、繊維状であるが繊維径が上述した平均繊維径の５倍以上である部分およびフッ素樹脂が繊維状ではなく粒子状である部分を意味し、ここでは、ＳＥＭ観察（倍率：１０００倍）されるアスペクト比が１０以上である部分を繊維状、１０未満である部分を粒子状とする。

実質的にダマを形成しない前記フッ素樹脂繊維は、圧力損失が低く、粒子（特に粒径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子）捕集率が高いエアフィルター用ろ材層およびエアフィルター用ろ材の構成材料として特に適している。

前記平均繊維径は、電界紡糸の際に、濃度（フッ素樹脂濃度）の低い前記紡糸液を用いる、湿度を下げる、ノズル径を小さくする、印加電圧を大きくする、あるいは電圧密度を大きくすることにより小さくなる傾向にある。

一方、特定の範囲の繊維径を有するフッ素樹脂繊維の割合は、電界紡糸の際に、濃度（フッ素樹脂濃度）の高い前記紡糸液を用いる、湿度を上げる、ノズル径を大きくする、印加電圧を小さくする、あるいは電圧密度を小さくすることにより高くなる傾向にある。

［エアフィルター用ろ材層、エアフィルター用ろ材、これらの製造方法］
本発明に係るエアフィルター用ろ材層は、上述した本発明に係るフッ素樹脂繊維からなり、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²であり、厚さが２０μｍ以下であることを特徴としている。

前記目付は、好ましくは０．１０〜０．５０ｇ／ｍ²である。
前記厚さは、好ましくは１５μｍ以下であり、さらに好ましくは１０μｍ以下であり、その下限値は、たとえば１μｍ程度であってもよい。

前記目付および厚さは、紡糸時間を長くする、紡糸ノズル数を増やすなどにより、増大する傾向にある。
本発明に係るエアフィルター用ろ材層は、圧力損失が低く、直径が０．１〜０．３μｍ程度の粒子の捕集率が高い。

本発明に係るエアフィルター用ろ材層の製造方法は、上述した本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法によりフッ素樹脂繊維を製造する工程、および前記フッ素樹脂繊維をシート状に集積してエアフィルター用ろ材層を形成する工程を含むことを特徴としている。

これら２つの工程は、別途独立に行ってもよく、同時に行ってもよい（すなわち、フッ素樹脂繊維を、製造しつつシート状に集積して、エアフィルター用ろ材層を形成してもよい）。

また、本発明に係るエアフィルター用ろ材は、支持体層と該支持体層の少なくとも一方の面に設けられた本発明に係るエアフィルター用ろ材層とを有することを特徴としている。

前記エアフィルター用ろ材には、その性能を損なわない範囲で従来公知の加工が施されていてもよく、たとえばプリーツ加工が施されていてもよい。
本発明に係るエアフィルター用ろ材の製造方法は、上述した本発明に係るフッ素樹脂繊維の製造方法によりフッ素樹脂繊維を製造する工程、および支持体層の少なくとも一方の表面に前記フッ素樹脂繊維をシート状に集積してエアフィルター用ろ材層を形成する工程を含むことを特徴としている。

これら２つの工程は、別途独立に行ってもよく、同時に行ってもよい（すなわち、フッ素樹脂繊維を、製造しつつ支持体層の少なくとも一方の表面にシート状に集積して、エアフィルター用ろ材を形成してもよい）。

前記フッ素樹脂繊維をシート状に集積してエアフィルター用ろ材層を形成する工程においては、樹脂繊維が上述した本発明に係るフッ素樹脂繊維であることを除けば、従来公知の方法によってエアフィルター用ろ材層を形成することができる。

また、前記支持体層としては、エアフィルター用ろ材における従来公知の支持体層を用いることができ、たとえばガラス不織布、セルロース不織布、ポリオレフィン不織布、ナイロン不織布、ポリエステル不織布、アラミド不織布などが挙げられる。

耐久性の観点からは、ガラス不織布からなる支持体と本発明に係るエアフィルター用ろ材層とを有するエアフィルター用ろ材が好ましい。

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。

＜測定方法＞
実施例、比較例で作製されたフッ素樹脂繊維およびエアフィルター用ろ材の各種物性は、以下の方法により測定した。

１．フッ素樹脂繊維
実施例および比較例で製造された各フッ素樹脂繊維（群）について、無作為にＳＥＭ観察の領域を選び、この領域をＳＥＭ観察（装置：Ｓ−３４００Ｎ（（株）日立ハイテクノロジーズ製）、倍率：１００００倍）して無作為に１０本のフッ素樹脂繊維を選び、これらのフッ素樹脂繊維の測定結果に基づいて、平均（算術平均）繊維径、繊維径のばらつき（繊維径が特定の範囲にある繊維の本数の割合）およびアスペクト比（平均（算術平均）繊維長／平均繊維径）を求めた。

また、実施例および比較例で製造された各フッ素樹脂繊維（群）について、無作為にＳＥＭ観察の領域を選び、この領域をＳＥＭ観察（装置：Ｓ−３４００Ｎ（（株）日立ハイテクノロジーズ社製）、倍率：１０００倍）し、繊維状部と非細繊維状部との面積比を求めた。面積の計測には画像解析処理ソフト（Ｉｍａｇｅ−Ｊ（ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＨｅａｌｔｈ））を用いた。

２．エアフィルター用ろ材
（目付け）
エアフィルター用ろ材層の目付は、ＪＩＳＬ１９０６（２０００）に準じて測定した。この際、エアフィルター用ろ材層の重量は、ガラス不織布の重量と、ガラス不織布上にフッ素樹脂繊維を集積して形成されたエアフィルター用ろ材の重量との差より算出した。

（厚さ）
エアフィルター用ろ材層の厚さは、ＬＩＴＥＭＡＴＩＣＶＬ-50（（株）ミツトヨ製）により測定した。

（粒子捕集率、圧力損失）
実施例および比較例で製造された各エアフィルター用ろ材について、ＪＩＳＢ９９０８に準じて、粒子捕集率を測定した。この際、フィルタユニットの替わりに２００ｍｍ×２００ｍｍの大きさに切り出されたエアフィルター用ろ材を用い、測定用粉じんとして大気塵（粒径が０．１０μｍ〜２．０μｍの塵を含む）を用いた。粒子捕集率の測定の際には、空気の流量を面速度５．３ｃｍ／ｓとした。
また、この測定と共に、エアフィルター用ろ材の上流側および下流側での圧力の差（すなわち、圧力損失）を微差圧計により測定した。この測定は空気の流量を変えて行った。

［実施例１−１］
１．フッ素樹脂繊維の製造；
フッ素樹脂としてポリフッ化ビニリデン（重量平均分子量：２７５，０００、アルドリッチ社製）を１７重量％、界面活性剤としてアニオン系フッ素系界面活性剤（フタージェント（登録商標）１００、（株）ネオス製）（以下「Ｆ１００」ともいう。）を３重量％および溶媒としてジメチルアセトアミド（特級試薬、和光純薬工業（株）製）（以下「ＤＭＡｃ」ともいう。）を８０重量％含有する紡糸液を調製した。

この紡糸液を電界紡糸装置（ＥＳ−２３００（装置名）、ヒューエンス社製）の溶液充填部に充填し、２０ｋＶの電圧をかけて、３０分間かけて電界紡糸を行い、フッ素樹脂繊維を製造した。なお、紡糸ノズルの先端径（外径）は０．８ｍｍ（ゲージ：２１Ｇ）であり、コレクター（アルミ箔）までの距離は１３ｃｍであった。
得られたフッ素樹脂繊維の特性を表３に示す。

２．エアフィルター用ろ材の製造；
このフッ素樹脂繊維を、ガラス不織布（平均繊維径１０μｍ、厚さ０．３６ｍｍ、目付５０ｇ／ｍ²の２０ｃｍ×２０ｃｍの正方形のガラス不織布、商品名：グラベスト（登録商標）ＳＡＳ−０５０、オリベスト（株）製）の一方の面の上に接着せずに集積してエアフィルター用ろ材層を形成し、エアフィルター用ろ材を製造した。

［実施例１−２〜１−８、比較例１−１〜１−３］
各種条件を表１に記載されたように変更した他は実施例１−１と同様の手順により、フッ素樹脂繊維およびエアフィルター用ろ材を製造した。これらの特性を表３および表４に示す。

［実施例２−１］
１．フッ素樹脂繊維の製造；
フッ素樹脂としてフルオロエチレン／ビニルエーテル交互共重合体溶液（ＬＦ−２００、フッ素樹脂分を６０重量％含む溶液、旭硝子（株）製）のフッ素樹脂分４６．２重量％、界面活性剤としてカチオン系フッ素系界面活性剤（フタージェント３１０、（株）ネオス製）（以下「Ｆ３１０」ともいう。）を３重量％ならびに溶媒として前記ＬＦ−２００由来の溶媒およびジメチルアセトアミド（特級試薬、和光純薬工業（株）製）を含有する紡糸液を調製した。

この紡糸液から、電界紡糸法によりフッ素樹脂繊維を製造した。電界紡糸の際の条件は以下のとおりである。
電圧：３０ｋＶ
シリンジ径：０．４ｍｍ（ゲージ：２７Ｇ）
得られたフッ素樹脂繊維の特性を表３に示す。

２．エアフィルター用ろ材の製造；
フッ素樹脂繊維としてこのフッ素樹脂繊維を用いたこと以外は実施例１−１と同様の方法によりエアフィルター用ろ材を製造した。このエアフィルター用ろ材の特性を表３に示す。

［実施例２−２〜２−３、比較例２−１〜２−３］
各種条件を表１に記載されたように変更した他は実施例２−１と同様の手順により、フッ素樹脂繊維およびエアフィルター用ろ材を製造した。これらの特性を表３に示す。

Claims

フッ素樹脂、イオン性界面活性剤および溶媒を含む紡糸液から電界紡糸法により前記フッ素樹脂の繊維を製造することを特徴とするフッ素樹脂繊維の製造方法。
前記イオン性界面活性剤がフッ素系界面活性剤であることを特徴とする請求項１に記載のフッ素樹脂繊維の製造方法。
請求項１または２に記載の方法によりフッ素樹脂繊維を製造する工程、および
支持体層の少なくとも一方の表面に前記フッ素樹脂繊維をシート状に集積してエアフィルター用ろ材層を形成する工程
を含むことを特徴とするエアフィルター用ろ材の製造方法。
前記フッ素樹脂繊維として、繊維径が１０〜３００ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜２５０ｎｍであるフッ素樹脂繊維を用い、
前記エアフィルター用ろ材層を、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²となり、厚さが２０μｍ以下となるように形成する
ことを特徴とする請求項３に記載のエアフィルター用ろ材の製造方法。
前記フッ素樹脂繊維として、繊維径が１０〜１５０ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜１００ｎｍであるフッ素樹脂繊維を用い、
前記エアフィルター用ろ材層を、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²となり、厚さが１５μｍ以下となるように形成する
ことを特徴とする請求項４に記載のエアフィルター用ろ材の製造方法。
前記フッ素樹脂繊維のアスペクト比（平均繊維長／平均繊維径）が１０００以上であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載のエアフィルター用ろ材の製造方法。
走査型電子顕微鏡で観察した際に、前記フッ素樹脂繊維に繊維状部および任意に非細繊維状部が認められ、これらの部分の面積比が繊維状部：非細繊維状部＝１００：０〜９５：５であることを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のエアフィルター用ろ材の製造方法。
請求項３〜７のいずれかに記載の方法で製造されたエアフィルター用ろ材。
支持体層、および該支持体層の少なくとも一方の表面に、繊維径が１０〜３００ｎｍの範囲にある繊維の割合が９０％以上であり、平均繊維径が４０〜２５０ｎｍであるフッ素樹脂繊維からなり、目付が０．０５〜０．５０ｇ／ｍ²であり、厚さが２０μｍ以下である前記エアフィルター用ろ材層を有することを特徴とするエアフィルター用ろ材。