JP2013128996A - Transfer robot - Google Patents

Transfer robot Download PDF

Info

Publication number
JP2013128996A
JP2013128996A JP2011278220A JP2011278220A JP2013128996A JP 2013128996 A JP2013128996 A JP 2013128996A JP 2011278220 A JP2011278220 A JP 2011278220A JP 2011278220 A JP2011278220 A JP 2011278220A JP 2013128996 A JP2013128996 A JP 2013128996A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
transfer robot
base
hand
rotatably connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011278220A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5609856B2 (en
Inventor
Nobumasa Furukawa
伸征 古川
Yuki Obara
勇樹 小原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP2011278220A priority Critical patent/JP5609856B2/en
Priority to TW101134474A priority patent/TWI491482B/en
Priority to KR20120110793A priority patent/KR101509292B1/en
Priority to CN201210377524.3A priority patent/CN103171897B/en
Priority to US13/647,672 priority patent/US20130272822A1/en
Publication of JP2013128996A publication Critical patent/JP2013128996A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5609856B2 publication Critical patent/JP5609856B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0054—Cooling means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer robot capable of inhibiting the heating of an arm by radiant heat from a substrate.SOLUTION: The transfer robot includes a first arm having a base end rotatably coupled to an arm base and having a predetermined drive system internally disposed; a second arm having a based end rotatably coupled to an end of the first arm and following the first arm; a hand rotatably coupled to an end of the second arm via a hand base and capable of placing the predetermined substrate thereon, and a reflector disposed between the first arm and second arm, and reflecting heat from the substrate placed on the hand upward.

Description

開示の実施形態は、搬送ロボットに関する。   The disclosed embodiment relates to a transfer robot.

従来、成膜処理などを行うために、真空チャンバ内において、処理前の基板や処理後の基板をアーム部によって搬送する搬送ロボットがある。   2. Description of the Related Art Conventionally, in order to perform a film forming process or the like, there is a transfer robot that transfers an unprocessed substrate and a processed substrate by an arm unit in a vacuum chamber.

かかる搬送ロボットを用いて、例えば、成膜処理後の基板を搬送する場合、基板が高温になっていて搬送ロボットまで加熱されるおそれがあった。   For example, when a substrate after film formation processing is transported using such a transport robot, the substrate may be at a high temperature and may be heated up to the transport robot.

そこで、アーム部の基端部側に、基板から熱伝導によってアーム部を介して伝達された熱を放射する輻射板を設けるとともに、この輻射板と対向するように、真空チャンバにおける所定位置に受熱板を設けた搬送ロボットが提案された（例えば、特許文献１を参照）。   Therefore, a radiation plate that radiates heat transferred from the substrate through the arm portion by heat conduction is provided on the base end side of the arm portion, and heat is received at a predetermined position in the vacuum chamber so as to face the radiation plate. A transfer robot provided with a plate has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

かかる構成により、基板からの熱を真空チャンバ側に逃がし、搬送ロボット自体には熱エネルギが蓄積されないようにしている。   With this configuration, heat from the substrate is released to the vacuum chamber side so that heat energy is not accumulated in the transfer robot itself.

国際公開番号ＷＯ０６／０６２１８３号公報International Publication Number WO06 / 062183

しかしながら、上述した技術は、あくまでも、基板からの熱をアーム部が一旦受けてしまった後、その熱を逃がしているに過ぎない。つまり、上述の従来技術では、基板からの熱を受けることを未然に防ぐことはできなかった。   However, the above-described technique merely releases the heat after the arm portion has once received the heat from the substrate. That is, in the above-described conventional technology, it has not been possible to prevent the heat from the substrate from being received.

基板から熱を受けてしまったアーム部は、アーム部自体が膨張したり、アーム部の内部に収納されている駆動系の機構までが加熱されて膨張したりするおそれがある。そして、それに起因して、ロボットの精密な制御に支障をきたすおそれがある。   The arm portion that has received heat from the substrate may expand, or the mechanism of the drive system housed inside the arm portion may be heated to expand. As a result, there is a risk that precise control of the robot may be hindered.

実施形態の一態様は、基板からの輻射熱によるアーム部の加熱を抑制することができる搬送ロボットを提供することを目的とする。   An object of one embodiment is to provide a transfer robot that can suppress heating of an arm portion due to radiant heat from a substrate.

実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アームと、前記第１アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、前記第１アームに従動する第２アームとを備えている。また、搬送ロボットは、前記第２アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、前記第１アームと前記第２アームとの間に配設され、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板とを備えている。   A transfer robot according to an aspect of the embodiment includes a first arm having a base end rotatably connected to an arm base, and a predetermined drive system disposed therein, and a base arm on the tip of the first arm. An end portion is rotatably connected, and a second arm driven by the first arm is provided. In addition, the transfer robot is rotatably connected to the tip of the second arm via a hand base so that a predetermined substrate can be placed between the first arm and the second arm. And a reflecting plate that reflects heat from the substrate placed on the hand upward.

実施形態の一態様によれば基板からの輻射熱によるアームへの加熱を抑制することができる。   According to one aspect of the embodiment, heating of the arm due to radiant heat from the substrate can be suppressed.

図１は、本実施形態に係る搬送ロボットの側断面視による模式的説明図である。FIG. 1 is a schematic explanatory view of the transfer robot according to the present embodiment as seen from a side cross section. 図２は、同搬送ロボットの平面視による説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram in plan view of the transfer robot. 図３は、同搬送ロボットの第１アームの内部構造を示す平面視による模式的説明図である。FIG. 3 is a schematic explanatory view in plan view showing the internal structure of the first arm of the transfer robot. 図４は、同搬送ロボットの第１アームの内部構造を示す縦断面視による模式的説明図である。FIG. 4 is a schematic explanatory view in a longitudinal sectional view showing the internal structure of the first arm of the transfer robot.

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, an embodiment of a transfer robot disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited by embodiment shown below.

まず、本実施形態に係る搬送ロボットの概略構成について、図１および図２を用いて説明する。図１は本実施形態に係る搬送ロボットの側断面視による模式的説明図、図２は同搬送ロボットの平面視による説明図である。   First, a schematic configuration of the transfer robot according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a schematic explanatory view of the transfer robot according to this embodiment in a side sectional view, and FIG. 2 is an explanatory view of the transfer robot in plan view.

図１に示すように、本実施形態に係る搬送ロボット１は、水平方向に伸縮する２つの伸縮アームを具備するアームユニット２０と、アームユニット２０を支持する胴体部１０を備えた水平多関節ロボットである。そして、この搬送ロボット１は、真空チャンバ３０に設置されている。真空チャンバ３０は、真空ポンプ等によって減圧状態に保たれている。   As shown in FIG. 1, the transfer robot 1 according to the present embodiment includes a horizontal articulated robot including an arm unit 20 including two extendable arms that extend and contract in the horizontal direction, and a body unit 10 that supports the arm unit 20. It is. The transfer robot 1 is installed in the vacuum chamber 30. The vacuum chamber 30 is kept in a reduced pressure state by a vacuum pump or the like.

胴体部１０は、アームユニット２０の下部に設けられるユニットであり、ロボット本体を構成する。胴体部１０は、筒状の筐体１１内に図示しない昇降装置を備えており、かかる昇降装置を用いてアームユニット２０を鉛直方向に沿って昇降させることができる。なお、胴体部１０の筐体１１は、真空チャンバ３０の下部から突出し、真空チャンバ３０を支持する支持部３５内の空間に位置している。   The body 10 is a unit provided at the lower part of the arm unit 20 and constitutes a robot body. The body unit 10 includes a lifting device (not shown) in a cylindrical housing 11, and the arm unit 20 can be lifted and lowered along the vertical direction using the lifting device. The casing 11 of the body unit 10 protrudes from the lower part of the vacuum chamber 30 and is located in a space in the support unit 35 that supports the vacuum chamber 30.

胴体部１０の筐体１１内に配設される昇降装置は、たとえばモータやボールねじ、ボールナット等を含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによってアームユニット２０を昇降させる。   The lifting device disposed in the casing 11 of the body unit 10 includes, for example, a motor, a ball screw, a ball nut, and the like, and lifts and lowers the arm unit 20 by converting the rotational motion of the motor into a linear motion. .

また、筐体１１の上部には、フランジ部１２が形成されている。搬送ロボット１は、フランジ部１２が真空チャンバ３０に固定されることにより、真空チャンバ３０に設置された状態となる。なお、フランジ部１２は、真空チャンバ３０の底部に形成された開口部３１の縁部に対し、シール部材を介して固定されている。   A flange portion 12 is formed on the upper portion of the housing 11. The transfer robot 1 is installed in the vacuum chamber 30 by fixing the flange portion 12 to the vacuum chamber 30. The flange portion 12 is fixed to the edge portion of the opening portion 31 formed at the bottom portion of the vacuum chamber 30 via a seal member.

アームユニット２０は、ロボット本体である胴体部１０と連結されるユニットであり、アームベース２１と、第１アーム２２と、第２アーム２３と、ハンドベース２４とを備えている。そして、このハンドベース２４には、ガラス基板や半導体ウェハなどの基板３（以下、「ワーク」という場合がある）を保持可能なフォーク状のハンド２４ａがエンドエフェクタとして取り付けられている。   The arm unit 20 is a unit that is connected to the body unit 10 that is a robot body, and includes an arm base 21, a first arm 22, a second arm 23, and a hand base 24. The hand base 24 is provided with a fork-like hand 24a as an end effector capable of holding a substrate 3 such as a glass substrate or a semiconductor wafer (hereinafter sometimes referred to as “workpiece”).

なお、以下では、ハンド２４ａの進退方向をＸ軸方向とし、水平方向においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向、すなわち、鉛直方向をＺ軸方向とする。   In the following, the advancing / retreating direction of the hand 24a is defined as the X-axis direction, and the direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal direction is defined as the Y-axis direction. A direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction, that is, a vertical direction is defined as a Z-axis direction.

また、搬送ロボット１の各構成要素の相対的な位置関係を説明する上で、上下、左右、及び前後で方向を示す場合があるが、各方向の基準は、搬送ロボット１を水平な設置面Ｓに設置した場合とする。具体的には、図１および図２中、Ｘ軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット１の前方および後方、Ｙ軸の正方向および負方向をそれぞれ搬送ロボット１の右方および左方、Ｚ軸の正方向および負方向を搬送ロボット１の上方および下方とする。   Further, in explaining the relative positional relationship between the components of the transfer robot 1, there are cases where directions are indicated in the vertical direction, the left and right directions, and the front and rear directions. It is assumed that it is installed in S. Specifically, in FIGS. 1 and 2, the positive and negative directions of the X-axis are forward and backward of the transfer robot 1, respectively, and the positive and negative directions of the Y-axis are respectively right and left of the transfer robot 1. The positive direction and the negative direction of the Z-axis are assumed to be above and below the transfer robot 1.

アームベース２１は、図示しない昇降フランジ部に対して回転可能に支持されているもので、実質的には、この昇降フランジが胴体部１０内に設けられた昇降装置と連動連結している。また、アームベース２１は、モータや減速機等からなる旋回装置を備えており、かかる旋回装置を用いて回転、すなわち自転する。   The arm base 21 is rotatably supported with respect to a lifting flange portion (not shown), and the lifting flange is substantially linked to a lifting device provided in the body portion 10. The arm base 21 includes a turning device including a motor, a speed reducer, and the like, and rotates, that is, rotates, using the turning device.

具体的には、旋回装置は、出力軸が胴体部１０に固定された減速機に対してモータの回転を伝達ベルト経由で入力する。これにより、アームベース２１は、減速機の出力軸を旋回軸として水平方向に自転する。したがって、真空チャンバ３０の周壁に設けられた複数の処理室３２などに、ハンド２４ａを正対させることができる。   Specifically, the turning device inputs the rotation of the motor via the transmission belt to the reduction gear whose output shaft is fixed to the body portion 10. Thereby, the arm base 21 rotates in the horizontal direction with the output shaft of the speed reducer as the turning axis. Therefore, the hand 24 a can be directly opposed to the plurality of processing chambers 32 provided on the peripheral wall of the vacuum chamber 30.

アームベース２１の上部には、第１アーム２２の基端部が回転可能に連結される。すなわち、アームベース２１上の連結軸Ｐ６と、第１アーム２２の基端部に設けられた第１減速機５１の入力軸５１０とが一体的に連結され（図４を参照）、第１アーム２２は、第１減速機５１を介してアームベース２１に回転可能に連結される。   A base end portion of the first arm 22 is rotatably connected to the upper portion of the arm base 21. That is, the connecting shaft P6 on the arm base 21 and the input shaft 510 of the first speed reducer 51 provided at the base end portion of the first arm 22 are integrally connected (see FIG. 4), and the first arm 22 is rotatably connected to the arm base 21 via the first reduction gear 51.

また、第１アーム２２の先端上部には、第２アーム２３の基端部が回転可能に連結されている。すなわち、第２アーム２３の基端連結軸Ｐ５と、第１アーム２２の先端部に設けられた第２減速機５２の入力軸５２０とが連結板５２２を介して一体的に連結され（図４参照）、第２アーム２３は、第２減速機５２を介して第１アーム２２に回転可能に連結される。   In addition, the base end portion of the second arm 23 is rotatably connected to the upper end of the first arm 22. That is, the base end connecting shaft P5 of the second arm 23 and the input shaft 520 of the second reduction gear 52 provided at the tip of the first arm 22 are integrally connected via the connecting plate 522 (FIG. 4). The second arm 23 is rotatably connected to the first arm 22 via the second speed reducer 52.

搬送ロボット１は、第１アーム２２の基端部に設けられた第１減速機５１および第１アーム２２の先端部に設けられた第２減速機５２を１つのモータ５３を用いて同期的に動作させることで、駆動系を内蔵せず、リンクとして機能する第２アーム２３の先端を直線的に移動させることができる。   The transfer robot 1 uses a single motor 53 to synchronize a first reducer 51 provided at the proximal end of the first arm 22 and a second reducer 52 provided at the distal end of the first arm 22. By operating, the tip of the second arm 23 functioning as a link can be linearly moved without incorporating a drive system.

すなわち、搬送ロボット１は、アームベース２１上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アーム２２と、第１アーム２２の先端部上に基端部が回転可能に連結され、第１アーム２２に従動する第２アーム２３とを備えている。つまり、第１アーム２２は、モータ５３、第１減速機５１および第２減速機５２などを駆動系として内部に備えているが、第２アーム２３自体は駆動系を備えていない。   That is, the transfer robot 1 includes a first arm 22 having a base end rotatably connected to the arm base 21 and a predetermined drive system disposed therein, and a base end on the tip of the first arm 22. And a second arm 23 that is rotatably coupled to follow the first arm 22. That is, the first arm 22 includes the motor 53, the first speed reducer 51, the second speed reducer 52, and the like as a drive system, but the second arm 23 itself does not include the drive system.

そして、搬送ロボット１は、第１アーム２２に対する第２アーム２３の回転量がアームベース２１に対する第１アーム２２の回転量の２倍となるようにしている。たとえば、第１アーム２２がアームベース２１に対してα度回転した場合、第２アーム２３は第１アーム２２に対して２α度回転するように第１アーム２２および第２アーム２３は回転する。これにより、第２アーム２３の先端部は直線的に移動することになる。   The transfer robot 1 is configured such that the rotation amount of the second arm 23 relative to the first arm 22 is twice the rotation amount of the first arm 22 relative to the arm base 21. For example, when the first arm 22 rotates α degrees relative to the arm base 21, the first arm 22 and the second arm 23 rotate such that the second arm 23 rotates 2α degrees relative to the first arm 22. Thereby, the front-end | tip part of the 2nd arm 23 moves linearly.

なお、真空チャンバ３０内の汚染防止等の観点から、第１、第２減速機５１，５２やモータ５３といった駆動機構は、大気圧に保たれた第１アーム２２の内部に収納されている。これにより、搬送ロボット１を、例えば真空チャンバ３０などの減圧環境下に置く場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ３０の内部汚染を防止することができる。   From the viewpoint of preventing contamination in the vacuum chamber 30 and the like, the drive mechanisms such as the first and second speed reducers 51 and 52 and the motor 53 are housed in the first arm 22 maintained at atmospheric pressure. Thereby, even when the transfer robot 1 is placed in a reduced pressure environment such as the vacuum chamber 30, for example, it is possible to prevent the lubricating oil such as grease from drying, and to prevent internal contamination of the vacuum chamber 30 due to dust generation. Can be prevented.

また、第２アーム２３の先端部の上部には、ハンドベース２４が回転可能に連結されている。このハンドベース２４は、第１アーム２２および第２アーム２３の回転動作に伴って移動する部材であり、基板３を保持するためのハンド２４ａを上部に備えている。   A hand base 24 is rotatably connected to the upper portion of the tip of the second arm 23. The hand base 24 is a member that moves as the first arm 22 and the second arm 23 rotate. The hand base 24 includes a hand 24 a for holding the substrate 3 at the top.

また、図１においては図示を省略したが、アームユニット２０は、図２に示すように、リンク機構を構成する補助アーム部２５を備えている。ここで、図２を参照しながらアームユニット２０について、より具体的に説明する。   Although not shown in FIG. 1, the arm unit 20 includes an auxiliary arm portion 25 that constitutes a link mechanism, as shown in FIG. Here, the arm unit 20 will be described more specifically with reference to FIG.

リンク機構を構成する補助アーム部２５は、移動中のハンド２４ａが常に一定の方向を向くように、第１アーム２２および第２アーム２３の回転動作と連動してハンドベース２４の回転を規制している。   The auxiliary arm portion 25 constituting the link mechanism regulates the rotation of the hand base 24 in conjunction with the rotation operation of the first arm 22 and the second arm 23 so that the moving hand 24a always faces in a certain direction. ing.

すなわち、図２に示すように、補助アーム部２５は、第１リンク２５ａと、中間リンク２５ｂと、第２リンク２５ｃとを備えている。   That is, as shown in FIG. 2, the auxiliary arm portion 25 includes a first link 25a, an intermediate link 25b, and a second link 25c.

第１リンク２５ａは、基端部がアームベース２１に対し、支軸Ｐ１を介して回転可能に連結され、先端部において中間リンク２５ｂの先端部おおび第２リンク２５ｃの基端部と支軸Ｐ２を介して回転可能に連結される。また、中間リンク２５ｂは、基端部が第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する基端連結軸Ｐ５と同軸上に軸支され、先端部が第１リンク２５ａの先端部および第２リンク２５ｃと支軸Ｐ２を介して回転可能に連結される。   The base end of the first link 25a is rotatably connected to the arm base 21 via a support shaft P1, and the base end of the intermediate link 25b and the base end of the second link 25c and the support shaft at the front end. It is rotatably connected via P2. Further, the intermediate link 25b is pivotally supported on the same axis as the proximal end connecting shaft P5 that connects the first arm 22 and the second arm 23, and the distal end is connected to the distal end of the first link 25a and the second link. The link 25c and the support shaft P2 are rotatably connected.

第２リンク２５ｃは、基端部が中間リンク２５ｂの先端部と支軸Ｐ２を介して回転可能に連結され、先端部がハンドベース２４の基端部と支軸Ｐ３を介して回転可能に連結される。また、ハンドベース２４は、先端部が第２アーム２３の先端部と支軸Ｐ４を介して回転可能に連結され、基端部が第２リンク２５ｃの先端部と支軸Ｐ３を介して回転可能に連結されている。   The second link 25c has a proximal end portion rotatably connected to the distal end portion of the intermediate link 25b via a support shaft P2, and a distal end portion connected rotatably to the proximal end portion of the hand base 24 via a support shaft P3. Is done. The hand base 24 has a distal end portion rotatably connected to the distal end portion of the second arm 23 via the support shaft P4, and a proximal end portion rotatable via the distal end portion of the second link 25c and the support shaft P3. It is connected to.

こうして、第１リンク２５ａは、アームベース２１、第１アーム２２および中間リンク２５ｂとともに、第１平行リンク機構（Ｐ１−Ｐ６−Ｐ５−Ｐ２）を形成する。すなわち、第１アーム２２が連結軸Ｐ６を中心として回転すると、第１リンク２５ａおよび中間リンク２５ｂが、それぞれ第１アーム２２およびアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。   Thus, the first link 25a forms the first parallel link mechanism (P1-P6-P5-P2) together with the arm base 21, the first arm 22 and the intermediate link 25b. That is, when the first arm 22 rotates about the connection axis P6, the first link 25a and the intermediate link 25b rotate while maintaining a state parallel to the first arm 22 and the arm base 21, respectively.

また、第２リンク２５ｃは、中間リンク２５ｂ、第２アーム２３およびハンドベース２４とともに第２平行リンク機構（Ｐ２−Ｐ５−Ｐ４−Ｐ３）を形成する。すなわち、第２アーム２３が基端連結軸Ｐ５を中心として回転すると、第２リンク２５ｃおよびハンドベース２４が、それぞれ第２アーム２３および中間リンク２５ｂと平行な状態を保ちながら回転する。   The second link 25c forms a second parallel link mechanism (P2-P5-P4-P3) together with the intermediate link 25b, the second arm 23, and the hand base 24. That is, when the second arm 23 rotates about the proximal end connecting shaft P5, the second link 25c and the hand base 24 rotate while maintaining a state parallel to the second arm 23 and the intermediate link 25b, respectively.

中間リンク２５ｂは、第１平行リンク機構によってアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第２平行リンク機構のハンドベース２４もアームベース２１と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、ハンドベース２４の上部に取り付けられるハンド２４ａは、アームベース２１と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。   The intermediate link 25b rotates while maintaining a state parallel to the arm base 21 by the first parallel link mechanism. For this reason, the hand base 24 of the second parallel link mechanism also rotates while maintaining a state parallel to the arm base 21. As a result, the hand 24 a attached to the upper portion of the hand base 24 moves linearly while maintaining a state parallel to the arm base 21.

このように、搬送ロボット１は、第１平行リンク機構および第２平行リンク機構の２つの平行リンク機構を用いて、ハンド２４ａの向きを一定に保つことができる。したがって、たとえば第２アーム２３の内部にプーリや伝達ベルトなどを設け、これらによりハンド２４ａに相当するエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部２５によってアーム全体の剛性を高めることができるため、ハンド２４ａの動作時の振動を低減することができる。   As described above, the transfer robot 1 can keep the direction of the hand 24a constant by using the two parallel link mechanisms of the first parallel link mechanism and the second parallel link mechanism. Accordingly, for example, a pulley or a transmission belt is provided inside the second arm 23, and dust generation caused by the pulley or the transmission belt is compared with a case where the orientation of the end effector corresponding to the hand 24a is maintained in a certain direction. Can be suppressed. Further, since the rigidity of the entire arm can be increased by the auxiliary arm portion 25, vibration during operation of the hand 24a can be reduced.

図３は搬送ロボット１の第１アーム２２の内部構造を示す平面視による模式的説明図、図４は同第１アーム２２の縦断面視による模式的説明図である。図３おおび図４に示すように、第１アーム２２は、当該第１アーム２２を形作るアーム筐体２２ａの内部が、大気圧に保たれた箱型の収納部２２１を形成している。かかる収納部２２１内に、第１減速機５１、第２減速機５２、モータ５３、第１、第２中継プーリ５４ａ，５４ｂ、第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６等を駆動系として備えている。なお、図４に示すように、第１中継プーリ５４ａは、プーリ支持体５４１の上下にそれぞれ配置されている。   FIG. 3 is a schematic explanatory view in plan view showing the internal structure of the first arm 22 of the transfer robot 1, and FIG. 4 is a schematic explanatory view in vertical section of the first arm 22. As shown in FIGS. 3 and 4, the first arm 22 forms a box-shaped storage portion 221 in which the inside of the arm housing 22 a forming the first arm 22 is maintained at atmospheric pressure. The storage unit 221 includes a first reduction gear 51, a second reduction gear 52, a motor 53, first and second relay pulleys 54a and 54b, a first transmission belt 55, a second transmission belt 56, and the like as a drive system. ing. As shown in FIG. 4, the first relay pulley 54 a is disposed above and below the pulley support 541.

第１減速機５１は、第１アーム２２の基端部に配置され、アームベース２１と第１アーム２２とを連結軸Ｐ６を介して回転可能に連結する。また、第２減速機５２は、第１アーム２２の先端部に配置され、第１アーム２２と第２アーム２３とを基端連結軸Ｐ５を介して回転可能に連結する。   The first reduction gear 51 is disposed at the proximal end portion of the first arm 22 and rotatably connects the arm base 21 and the first arm 22 via a connecting shaft P6. Moreover, the 2nd reduction gear 52 is arrange | positioned at the front-end | tip part of the 1st arm 22, and connects the 1st arm 22 and the 2nd arm 23 rotatably via the base end connection shaft P5.

モータ５３は、駆動力を発生させる駆動部であり、第１アーム２２の略中央に配置される。中継プーリ５４ａ，５４ｂは、いずれもモータ５３の出力軸５３０と平行に配置された軸体に回転可能に取付けられており、モータ５３を挟むように並設されている。   The motor 53 is a drive unit that generates a drive force, and is arranged at the approximate center of the first arm 22. The relay pulleys 54 a and 54 b are both rotatably attached to a shaft body that is arranged in parallel with the output shaft 530 of the motor 53, and are arranged in parallel so as to sandwich the motor 53.

第１伝達ベルト５５は、第１減速機５１の入力軸５１０に対してモータ５３の駆動力を伝達する。また、第２伝達ベルト５６は、第２減速機５２の入力軸５２０に対してモータ５３の駆動力を伝達する。   The first transmission belt 55 transmits the driving force of the motor 53 to the input shaft 510 of the first reduction gear 51. The second transmission belt 56 transmits the driving force of the motor 53 to the input shaft 520 of the second reduction gear 52.

図示するように、第１伝達ベルト５５は、第１減速機５１の入力軸５１０に固定された第１プーリ５１１および第１中継プーリ５４ａに対して掛け渡される。また、第２伝達ベルト５６は、第２減速機５２の入力軸５２０に固定された第２プーリ５２１、モータ５３の出力軸５３０に固定された駆動プーリ５３ａ、下側の５４ａおよびプーリ支持体５４２の下側に配設された中継プーリ５４ｂに対して掛け渡されている。これにより、第１伝達ベルト５５は、第２伝達ベルト５６から第１中継プーリ５４ａを介して伝達されるモータ５３の駆動力を第１減速機５１の入力軸５１０へ伝達することとなる。   As shown in the figure, the first transmission belt 55 is stretched around the first pulley 511 and the first relay pulley 54a fixed to the input shaft 510 of the first speed reducer 51. The second transmission belt 56 includes a second pulley 521 fixed to the input shaft 520 of the second speed reducer 52, a drive pulley 53a fixed to the output shaft 530 of the motor 53, a lower side 54a, and a pulley support 542. It is stretched over the relay pulley 54b disposed on the lower side. Thereby, the first transmission belt 55 transmits the driving force of the motor 53 transmitted from the second transmission belt 56 via the first relay pulley 54a to the input shaft 510 of the first reduction gear 51.

このように、搬送ロボット１は、１つのモータ５３の駆動力をそれぞれ第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６を用いて第１減速機５１および第２減速機５２へ伝達することにより、第１アーム２２および第２アーム２３を同期的に動作させることができる。   As described above, the transfer robot 1 transmits the driving force of one motor 53 to the first reduction gear 51 and the second reduction gear 52 using the first transmission belt 55 and the second transmission belt 56, respectively. The first arm 22 and the second arm 23 can be operated synchronously.

また、搬送ロボット１は、駆動機構を構成する上述の各部材を大気圧に保たれた第１アーム２２内の収納部２２１に収納している。したがって、駆動機構におけるグリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ３０内の汚染を防止することができる。   In addition, the transfer robot 1 stores the above-described members constituting the drive mechanism in a storage unit 221 in the first arm 22 maintained at atmospheric pressure. Therefore, it is possible to prevent the lubricating oil such as grease from drying in the drive mechanism and to prevent contamination in the vacuum chamber 30 due to dust generation.

上述してきたように、本実施形態に係る搬送ロボット１は、たとえば、第１アーム２２および第２アーム２３を用いてハンド２４ａを直線的に移動させることで、真空チャンバ３０と接続される他の真空チャンバから基板３を取り出す。   As described above, the transfer robot 1 according to the present embodiment, for example, moves the hand 24 a linearly using the first arm 22 and the second arm 23, so that the other robot connected to the vacuum chamber 30 is used. The substrate 3 is taken out from the vacuum chamber.

つづいて、搬送ロボット１は、ハンド２４ａを引き戻したのち、アームベース２１を、旋回軸を中心に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット２０を正対させる。そして、搬送ロボット１は、第１アーム２２および第２アーム２３を用いてハンド２４ａを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。このようにして、搬送ロボット１は、真空チャンバ３０内において基板３の搬送作業を行うことができる。   Subsequently, the transfer robot 1 pulls back the hand 24a, and then rotates the arm base 21 around the pivot axis so that the arm unit 20 faces the other vacuum chamber that is the transfer destination of the workpiece. . Then, the transfer robot 1 moves the hand 24a linearly using the first arm 22 and the second arm 23, thereby loading the work into another vacuum chamber that is a work transfer destination. In this way, the transfer robot 1 can perform the transfer operation of the substrate 3 in the vacuum chamber 30.

上述した搬送ロボット１において、本実施形態では、第１アーム２２と第２アーム２３との間に、ハンド２４ａ上に載置される基板３からの熱を上方へ反射させる反射板４を設けている。   In the transfer robot 1 described above, in the present embodiment, the reflector 4 that reflects the heat from the substrate 3 placed on the hand 24a upward is provided between the first arm 22 and the second arm 23. Yes.

以下、反射板４について具体的に説明する。本実施形態に係る搬送ロボット１は、上述したように、真空チャンバ３０内に設置されている。例えば、成膜処理後の基板３を搬送する場合、成膜処理後の基板３は高温になっている。そのため、図１および図２に示すように、搬送方向Ｆに対してハンド２４ａが最も後方（図２おける左側方向）に引かれた位置では、基板３の直下に第１アーム２２および胴体部１０が位置することになる。   Hereinafter, the reflector 4 will be specifically described. The transfer robot 1 according to this embodiment is installed in the vacuum chamber 30 as described above. For example, when the substrate 3 after the film formation process is transported, the substrate 3 after the film formation process is at a high temperature. Therefore, as shown in FIGS. 1 and 2, the first arm 22 and the body portion 10 are located immediately below the substrate 3 at a position where the hand 24 a is pulled most rearward (leftward direction in FIG. 2) with respect to the transport direction F. Will be located.

なお、ハンド２４ａが最も後方に引かれた位置をとる搬送ロボット１の姿勢は最小旋回姿勢であり、旋回軸となるアームベース２１上の連結軸Ｐ６を中心とする回転半径が最小となる。   Note that the posture of the transfer robot 1 that takes the position where the hand 24a is pulled most backward is the minimum turning posture, and the turning radius around the connecting axis P6 on the arm base 21 that becomes the turning axis is the smallest.

このように、搬送ロボット１が最小旋回姿勢をとる場合、基板３の直下に位置する第１アーム２２や胴体部１０は、基板３からの輻射熱によって加熱されるおそれがある。なお、基板３は、およそ１００℃〜１３０℃程度まで高温になることが想定される。   As described above, when the transfer robot 1 takes the minimum turning posture, the first arm 22 and the body portion 10 located immediately below the substrate 3 may be heated by the radiant heat from the substrate 3. In addition, it is assumed that the board | substrate 3 becomes high temperature to about 100 to 130 degreeC.

特に、第１アーム２２のアーム筐体２２ａ内には、上述したように、第１減速機５１、第２減速機５２、モータ５３、第１、第２中継プーリ５４ａ，５４ｂ、第１伝達ベルト５５および第２伝達ベルト５６等の駆動機構を収納している。これらの各構成要素は、加熱されることにより悪影響を受けるおそれがある。   In particular, in the arm housing 22a of the first arm 22, as described above, the first reduction gear 51, the second reduction gear 52, the motor 53, the first and second relay pulleys 54a and 54b, the first transmission belt. The drive mechanisms such as 55 and the second transmission belt 56 are accommodated. Each of these components may be adversely affected by heating.

そこで、本実施形態では、第１アーム２２の上方であって、かつ第２アーム２３よりは下方の位置に反射板４を配設し、基板３からの輻射熱を上方へ反射させ、第１アーム２２や胴体部１０が輻射熱によって加熱されることを可及的に抑制している。   Therefore, in the present embodiment, the reflecting plate 4 is disposed above the first arm 22 and below the second arm 23 to reflect the radiant heat from the substrate 3 upward, and thereby the first arm. 22 and the body part 10 are suppressed as much as possible from being heated by radiant heat.

反射板４は、図１および図２に示すように、第１アーム２２の旋回領域Ａの外方に位置するようにアームベース２１上に立設した複数（本実施形態では２本）のピン体２６，２６によって支持されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the reflecting plate 4 is a plurality of (two in this embodiment) pins erected on the arm base 21 so as to be located outside the turning area A of the first arm 22. It is supported by the bodies 26, 26.

したがって、反射板４は、同じくアームベース２１に連結された第１アーム２２とともに旋回することになり、第１アーム２２との相対的な位置関係は一定となる。   Therefore, the reflecting plate 4 turns together with the first arm 22 similarly connected to the arm base 21, and the relative positional relationship with the first arm 22 is constant.

ここで、第１アーム２２の旋回領域Ａについて説明する。搬送ロボット１が、ハンド２４ａを図２における姿勢から前方（Ｘ方向）に直進させる際に、第１アーム２２は連結軸Ｐ６を中心として時計回りに旋回し、図２における姿勢と線対称の位置（図２中、二点鎖線で示す）に移動する。第１アーム２２は、平面視で所定の幅を有するため、本実施形態における第１アーム２２の旋回領域Ａとしては、当該第１アーム２２の後方側外側縁の初期位置Ａ１から当該第１アーム２２の前方側外側縁の移動位置Ａ２の間の領域となる。   Here, the turning area A of the first arm 22 will be described. When the transport robot 1 moves the hand 24a straight forward from the posture in FIG. 2 (X direction), the first arm 22 turns clockwise about the connecting axis P6, and is in a position symmetrical with the posture in FIG. (Indicated by a two-dot chain line in FIG. 2). Since the first arm 22 has a predetermined width in a plan view, the swivel region A of the first arm 22 in the present embodiment is the first arm from the initial position A1 of the rear outer edge of the first arm 22. 22 is a region between the movement positions A2 of the front outer edge of the front side.

したがって、第１アーム２２の旋回領域Ａの内側にはピン体２６を配設することはできない。逆に、第１アーム２２の旋回領域Ａの外側であれば、ピン体２６の設置数は適宜設定することができる。   Therefore, the pin body 26 cannot be disposed inside the turning area A of the first arm 22. On the contrary, if it is outside the turning area A of the first arm 22, the number of the pin bodies 26 can be set as appropriate.

また、ピン体２６は、図１に示すように、第１アーム２２の厚みよりも丈が高く規定されており、反射板４を第１アーム２２と第２アーム２３との間で保持している。本実施形態では、ピン体２６を反射板４に形成した連結孔に嵌合させて反射板４を保持しているが、連結構造などは特に限定されるものではない。また、当然ではあるが、ピン体２６の上端は第２アーム２３と干渉することのない高さに規定される。   Further, as shown in FIG. 1, the pin body 26 is defined to be higher than the thickness of the first arm 22, and holds the reflector 4 between the first arm 22 and the second arm 23. Yes. In the present embodiment, the pin body 26 is fitted into a connection hole formed in the reflection plate 4 to hold the reflection plate 4, but the connection structure and the like are not particularly limited. Needless to say, the upper end of the pin body 26 is defined to a height that does not interfere with the second arm 23.

反射板４は、図２に示すように、少なくとも駆動機構が内蔵されている第１アーム２２を覆うことのできる形状に形成される。本実施形態では、反射板４を、第１アーム２２を回転可能に連結するアームベース２１を備える胴体部１０の上面まで覆うことのできる形状としている。   As shown in FIG. 2, the reflecting plate 4 is formed in a shape that can cover at least the first arm 22 in which the drive mechanism is built. In the present embodiment, the reflecting plate 4 has a shape that can cover up to the upper surface of the body portion 10 including the arm base 21 that rotatably connects the first arm 22.

これは、胴体部１０の内部に第１アーム２２や第２アーム２３を含むアームユニット２０を昇降させるための昇降機構などが配設されているためである。また、仮に第１アーム２２などが加熱されても、胴体部１０へ熱を逃がすことができるように、胴体部１０についてもできるだけ温度上昇することがないようにしているためである。   This is because an elevating mechanism for elevating and lowering the arm unit 20 including the first arm 22 and the second arm 23 is disposed in the body portion 10. Further, even if the first arm 22 or the like is heated, the temperature of the body portion 10 is not increased as much as possible so that heat can be released to the body portion 10.

反射板４の具体的な形状としては、単純な矩形形状、円形形状でも構わないが、反射板４の軽量化を図るために、適宜不要と考えられる箇所については適宜切除した形状とするとよい。例えば、本実施形態では、図示するように、矩形形状とした反射板４の右側（図２におけるＹ軸正方向）の前後の隅部を切除した形状としている。   The specific shape of the reflecting plate 4 may be a simple rectangular shape or a circular shape. However, in order to reduce the weight of the reflecting plate 4, it is preferable that a portion that is considered unnecessary is appropriately cut out. For example, in the present embodiment, as shown in the figure, the front and rear corners on the right side (Y-axis positive direction in FIG. 2) of the rectangular reflector 4 are cut out.

また、反射板４は、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部の移動軌跡、具体的には連結部内側の移動軌跡Ｌと干渉しないように配置されている。   The reflector 4 is arranged so as not to interfere with the movement locus of the connecting portion that connects the first arm 22 and the second arm 23, specifically, the movement locus L inside the connecting portion.

すなわち、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部をなす基端連結軸Ｐ５（図４を参照）は、搬送ロボット１の前方（図２におけるＸ軸の正方向）に、連結軸Ｐ６を中心に旋回しながら移動する。   That is, the base end connection shaft P5 (see FIG. 4) that forms a connection portion that connects the first arm 22 and the second arm 23 is connected to the front of the transfer robot 1 (the positive direction of the X axis in FIG. 2). It moves while turning around the axis P6.

したがって、反射板４における搬送ロボット１の右方に向いた縁（図２における上側縁４ａ）は、連結部内側、すなわち、基端連結軸Ｐ５の左側周面の移動軌跡Ｌと干渉しない位置となるように規定される。一方、反射板４における搬送ロボット１の左方に向いた縁（図２における下側縁４ｂ）は、胴体部１０の左側周面と略重なる位置となるように規定される。これにより、反射板４の横幅（図２におけるＹ方向の幅）が規定されることになる。   Therefore, the edge (upper edge 4a in FIG. 2) facing the right side of the transfer robot 1 in the reflector 4 is a position that does not interfere with the movement locus L of the inner side of the connecting portion, that is, the left peripheral surface of the base end connecting shaft P5. It is prescribed to be On the other hand, an edge of the reflecting plate 4 facing the left side of the transfer robot 1 (a lower edge 4 b in FIG. 2) is defined to be a position that substantially overlaps the left peripheral surface of the body part 10. As a result, the lateral width of the reflecting plate 4 (the width in the Y direction in FIG. 2) is defined.

また、胴体部１０の上面を略全体的に覆うためには、反射板４の前後方向（図２におけるＸ方向）の長さは、胴体部１０の直径と略等しく規定される。胴体部１０の直径と略等しいというのは、胴体部１０の筐体１１の上部に形成されたフランジ部１２の直径と等しい場合も含む。   Further, in order to cover the upper surface of the body part 10 substantially entirely, the length of the reflector 4 in the front-rear direction (X direction in FIG. 2) is defined to be substantially equal to the diameter of the body part 10. The phrase “substantially equal to the diameter of the body part 10” includes a case where the diameter is the same as the diameter of the flange part 12 formed on the upper part of the casing 11 of the body part 10.

本実施形態に係る反射板４は、上述のようにしてその形状および配置が規定される。しかし、第１アーム２２と第２アーム２３とを連結する連結部の移動軌跡Ｌと干渉せず、かつ、少なくとも第１アーム２２を覆うことのできる形状であれば、適宜に設定しても構わない。   The shape and arrangement of the reflector 4 according to this embodiment are defined as described above. However, as long as the shape does not interfere with the movement locus L of the connecting portion that connects the first arm 22 and the second arm 23 and can cover at least the first arm 22, it may be set appropriately. Absent.

上述したように、反射板４を設けて、ハンド２４ａ上の基板３からの輻射熱を上方へ反射させて、第１アーム２２への輻射熱の影響を可及的に抑制している。しかし、どうしても第１アーム２２が加熱されて温度上昇することも考えられる。   As described above, the reflection plate 4 is provided to reflect the radiant heat from the substrate 3 on the hand 24a upward to suppress the influence of the radiant heat on the first arm 22 as much as possible. However, it can be considered that the first arm 22 is heated and the temperature rises.

そこで、本実施形態では、図３および図４に示すように、第１アーム２２を構成するアーム筐体２２ａの内部、すなわち大気圧に保たれた箱型の収納部２２１に、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃと単一の排気口６２とを設けた構成としている。そして、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃからそれぞれ噴出された圧縮空気が、アーム筐体２２ａの内壁面に沿った気流として排気口６２から排出されるようにしている。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of fumaroles are provided in the arm housing 22 a constituting the first arm 22, that is, in the box-shaped storage unit 221 maintained at atmospheric pressure. 61a to 61c and a single exhaust port 62 are provided. Then, the compressed air ejected from the plurality of jet ports 61a to 61c is discharged from the exhaust port 62 as an air flow along the inner wall surface of the arm housing 22a.

本実施形態では、アーム筐体２２ａの一端側に配設された第１減速機５１の第１入力軸５１０を中空軸とし、この中空軸を排出口６２としている。   In the present embodiment, the first input shaft 510 of the first speed reducer 51 disposed on one end side of the arm housing 22 a is a hollow shaft, and this hollow shaft is the discharge port 62.

また、アーム筐体２２ａの他端側に配設された第２減速機５２の第２入力軸５２０を中空軸とし、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃのうちの１つ、例えば、第１噴気口６１ａを中空軸である第２入力軸５２０の基端開口５２３に臨設している。   Further, the second input shaft 520 of the second speed reducer 52 disposed on the other end side of the arm housing 22a is a hollow shaft, and one of the plurality of jet holes 61a to 61c, for example, the first jet port, for example. 61a is provided adjacent to the base end opening 523 of the second input shaft 520 which is a hollow shaft.

第１噴気口６１ａから第２入力軸５２０内に向かって噴気された圧縮空気は、上昇して連結板５２２に衝突して跳ね返り、基端開口５２３から収納部２２１内の四方に流出する。そして、中空軸からなる第１入力軸５１０に形成された排出口６２から系外へ流出するまでの間、第１噴気口６１ａから供給された圧縮空気はアーム筐体２２ａの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体２２ａから熱を奪っていく。   The compressed air jetted from the first jet port 61 a into the second input shaft 520 rises, collides with the connecting plate 522, bounces off, and flows out from the base end opening 523 to the four sides in the storage portion 221. The compressed air supplied from the first jet port 61a is in contact with the inner wall surface of the arm housing 22a until it flows out of the system from the discharge port 62 formed in the first input shaft 510 formed of a hollow shaft. The heat flows away from the arm housing 22a.

一方、他の複数の噴気口６１ｂ，６１ｃは、圧縮空気をアーム筐体２２ａの側面に沿って水平方向に噴出できるように配設されている。   On the other hand, the other plurality of jet holes 61b and 61c are arranged so that the compressed air can be jetted horizontally along the side surface of the arm housing 22a.

例えば、図３に示すように、第２噴気口６１ｂは、第２減速機５２と、アーム筐体２２ａの長手側の側面との間に配設されており、アーム筐体２２ａの他端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。この第２噴気口６１ｂから噴出された圧縮空気は、収納部２２１の内部を大きく迂回して排出口６２に向かう。その間に、アーム筐体２２ａの内壁面に接しながら流れ、アーム筐体２２ａから熱を奪っていく。   For example, as shown in FIG. 3, the second air inlet 61b is disposed between the second reduction gear 52 and the longitudinal side surface of the arm housing 22a, and the other end side of the arm housing 22a. Compressed air can be ejected toward The compressed air ejected from the second gas outlet 61 b largely bypasses the inside of the storage portion 221 and travels toward the outlet 62. In the meantime, it flows in contact with the inner wall surface of the arm housing 22a and takes heat away from the arm housing 22a.

また、第３噴気口６１ｃは、第１減速機５１とモータ５３との間で、アーム筐体２２ａの長手側の側面に近接して配設され、アーム筐体２２ａの一端側に向けて圧縮空気を噴出可能としている。   In addition, the third air outlet 61c is disposed between the first reduction gear 51 and the motor 53 in the vicinity of the side surface on the long side of the arm housing 22a, and is compressed toward one end of the arm housing 22a. Air can be ejected.

このように、複数の噴気口６１ａ，６１ｂ，６１ｃから噴出された圧縮空気の気流は、収納部２２１内、すなわちアーム筐体２２ａの内部をランダムな方向に進み、排出口６２から系外に排出される間に、アーム筐体２２ａの略全体に亘る広い領域から熱を奪って冷却することができる。   As described above, the compressed air flow jetted from the plurality of jet ports 61a, 61b, and 61c proceeds in a random direction in the storage portion 221, that is, in the arm housing 22a, and is discharged from the discharge port 62 to the outside of the system. In the meantime, the heat can be taken from a wide area over substantially the entire arm housing 22a to be cooled.

このように、本実施形態に係る搬送ロボット１では、第１アーム２２のアーム筐体２２ａは、所定の駆動系を内部に備える一方、前記第２アームは、駆動系を備えず、前記第１アームに従動するリンクの一部として機能している。そして、第１アーム２２のアーム筐体２２ａ内に配設した複数の噴気口６１ａ，６１ｂ，６１ｃから圧縮空気を噴出させることにより、アーム筐体２２ａの内壁面を冷却することができる。   As described above, in the transfer robot 1 according to the present embodiment, the arm housing 22a of the first arm 22 includes a predetermined drive system therein, while the second arm does not include a drive system, and the first It functions as part of the link that follows the arm. The inner wall surface of the arm casing 22a can be cooled by ejecting compressed air from the plurality of jet openings 61a, 61b, 61c disposed in the arm casing 22a of the first arm 22.

こうして、本実施形態に係る搬送ロボット１では、アーム筐体２２ａを広域に冷却することができる。そのため、仮にハンド２４ａに保持されている高温の基板３からの輻射熱などによって第１アーム２２が加熱されたとしても、第１アーム２２の内部から広域に冷却しているため、熱の蓄積を効率的に抑制することが可能となる。   Thus, in the transfer robot 1 according to the present embodiment, the arm housing 22a can be cooled over a wide area. For this reason, even if the first arm 22 is heated by radiant heat from the high-temperature substrate 3 held by the hand 24a, the heat is efficiently accumulated because the first arm 22 is cooled in a wide area. Can be suppressed.

また、アーム筐体２２ａの内部には、当該アーム筐体２２ａと連接されたフィン２２３を圧縮空気に曝されるように配設している。すなわち、アーム筐体２２ａの熱を、フィン２２３を介して効率的に奪っていけるようにしている。   Further, inside the arm housing 22a, fins 223 connected to the arm housing 22a are disposed so as to be exposed to compressed air. That is, the heat of the arm housing 22a can be efficiently taken through the fins 223.

本実施形態では、図３に示すように、フィン２２３を、モータ５３と対向して位置させるとともに、基端をアーム筐体２２ａの長手側の側面に連接させ、モータ５３側に向けて斜めに延在させている。かかる位置においては、フィン２２３は、圧縮空気の流路、すなわち、アーム筐体２２ａの長手側の側面に沿って流れる気流を斜めに横切るように配設される。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the fin 223 is positioned facing the motor 53, and the base end is connected to the side surface on the long side of the arm housing 22 a, and obliquely toward the motor 53 side. It is extended. In such a position, the fin 223 is disposed so as to cross the airflow flowing along the flow path of the compressed air, that is, the side surface on the longitudinal side of the arm housing 22a obliquely.

したがって、圧縮空気による気流の大きな抵抗とはならず、かつ、フィン２２３の全面に亘って圧縮空気に触れさせることができ、熱交換率を向上させることが可能となっている。   Therefore, the airflow due to the compressed air does not become a great resistance, and the entire surface of the fin 223 can be brought into contact with the compressed air, so that the heat exchange rate can be improved.

なお、複数の噴気口６１ａ〜６１ｃの配置は、適宜設定することができ、上述した実施形態に限定されるものではない。また、フィン２２３の形状や配置についても、熱交換率などを勘案して、適宜設計することが可能である。   In addition, arrangement | positioning of the several jet nozzles 61a-61c can be set suitably, and is not limited to embodiment mentioned above. In addition, the shape and arrangement of the fins 223 can be appropriately designed in consideration of the heat exchange rate and the like.

ところで、上述してきた実施形態では、搬送ロボット１を１つのアームユニット２０を備えた片腕のロボットとして説明した。しかし、搬送ロボット１は、双腕であるなど、複数のアームユニット２０を備えたものでもよい。   In the embodiment described above, the transfer robot 1 has been described as a one-arm robot including one arm unit 20. However, the transfer robot 1 may include a plurality of arm units 20 such as a double arm.

要は、内部に所定の駆動系を具備する第１アーム２２と、駆動系を具備しておらず、第１アーム２２に回転可能に連結された第２アーム２３と、第１アーム２２と第２アーム２３との間に配設され、ハンド２４ａ上に載置される基板３からの熱を反射させる反射板４とを備える構成であればよい。   In short, the first arm 22 having a predetermined driving system therein, the second arm 23 not having the driving system and rotatably connected to the first arm 22, the first arm 22, Any structure may be used as long as it includes the reflector 4 disposed between the two arms 23 and reflecting the heat from the substrate 3 placed on the hand 24a.

また、上述してきた実施形態では、搬送対象となるワークをガラス基板や半導体ウェハなどの基板３として説明したが、比較的高温になるワークであれば、搬送対象が基板３でなくても構わない。   In the above-described embodiment, the workpiece to be transported has been described as the substrate 3 such as a glass substrate or a semiconductor wafer. However, the workpiece to be transported may not be the substrate 3 as long as the workpiece has a relatively high temperature. .

また、上述してきた実施形態では、搬送ロボット１が、真空チャンバ３０内に設置される場合の例について説明してきたが、搬送ロボット１は、必ずしも真空チャンバ３０内に配設されるものに限るものでもない。   In the above-described embodiment, the example in which the transfer robot 1 is installed in the vacuum chamber 30 has been described. However, the transfer robot 1 is not necessarily limited to the one installed in the vacuum chamber 30. not.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。   Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications can be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

１ 搬送ロボット
３ 基板
４ 反射板
１０ 胴体部
２１ アームベース
２２ 第１アーム
２３ 第２アーム
２４ ハンドベース
２４ａ ハンド
２５ａ 第１リンク
２５ｂ 中間リンク
２５ｃ 第２リンク
２６ ピン体
５１ 第１減速機
５２ 第２減速機
６１ａ 第１噴気口
６１ｂ 第２噴気口
６１ｃ 第３噴気口
６２ 排気口
５１０ 第１入力軸（中空軸）
５２０ 第２入力軸（中空軸）
５２３ 基端開口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transfer robot 3 Board | substrate 4 Reflector 10 Body part 21 Arm base 22 1st arm 23 2nd arm 24 Hand base 24a Hand 25a 1st link 25b Intermediate link 25c 2nd link 26 Pin body 51 1st reduction gear 52 2nd deceleration Machine 61a First air outlet 61b Second air outlet 61c Third air outlet 62 Air outlet 510 First input shaft (hollow shaft)
520 Second input shaft (hollow shaft)
523 Base end opening

Claims (6)

アームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を配設した第１アームと、
前記第１アームの先端部上に基端部が回転可能に連結され、前記第１アームに従動する第２アームと、
前記第２アームの先端部上にハンドベースを介して回転可能に連結され、所定の基板を載置可能としたハンドと、
前記第１アームと前記第２アームとの間に配設され、前記ハンド上に載置される基板からの熱を上方へ反射させる反射板と、
を備えることを特徴とする搬送ロボット。 A first arm having a base end rotatably connected to the arm base and having a predetermined drive system disposed therein;
A second arm rotatably coupled to a distal end of the first arm and driven by the first arm;
A hand that is rotatably connected to the tip of the second arm via a hand base, and on which a predetermined substrate can be placed;
A reflecting plate disposed between the first arm and the second arm and reflecting heat from a substrate placed on the hand upward;
A transport robot comprising: 所定の駆動系を具備する前記第１アームと、駆動系を具備しない前記第２アームとの連結部と同軸上に支持される中間リンクと、
先端部が前記中間リンクの先端部と回転可能に連結され、前記アームベース上に基端部が回転可能に連結されて、前記アームベースと前記第１アームと前記中間リンクとの間で第１平行リンク機構を構成する第１リンクと、
前記中間リンクの先端部と基端部が回転可能に連結され、先端部が前記ハンドベースの基端部と回転可能に連結されて、前記第２アームと前記中間リンクと前記ハンドベースとの間で第２平行リンク機構を構成する第２リンクと、
をさらに備え、
前記第１アームの旋回に連動させて前記ハンドを直動可能とした
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。 An intermediate link supported coaxially with a connecting portion between the first arm having a predetermined drive system and the second arm not having a drive system;
A distal end portion is rotatably connected to a distal end portion of the intermediate link, and a proximal end portion is rotatably connected to the arm base, and a first portion is provided between the arm base, the first arm, and the intermediate link. A first link constituting a parallel link mechanism;
A distal end portion and a proximal end portion of the intermediate link are rotatably connected, and a distal end portion is rotatably connected to the proximal end portion of the hand base, so that the second arm, the intermediate link, and the hand base are between. A second link constituting the second parallel link mechanism,
Further comprising
The transfer robot according to claim 1, wherein the hand can be directly moved in conjunction with the turning of the first arm. 前記反射板は、
前記第１アームと前記第２アームとを連結する連結部の移動軌跡と干渉しない位置に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送ロボット。 The reflector is
The transfer robot according to claim 1, wherein the transfer robot is disposed at a position that does not interfere with a movement locus of a connecting portion that connects the first arm and the second arm. 前記反射板は、
少なくとも前記第１アームを覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載の搬送ロボット。 The reflector is
The transfer robot according to claim 1, wherein the transfer robot is formed in a shape capable of covering at least the first arm. 前記反射板は、
前記アームベースを回転自在に設けたロボット本体の上面まで覆うことのできる形状に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の搬送ロボット。 The reflector is
The transfer robot according to claim 4, wherein the transfer robot is formed in a shape that can cover an upper surface of a robot body that is rotatably provided with the arm base. 前記反射板は、
前記第１アームの旋回領域外に位置するように前記アームベース上に立設した複数のピン体に支持されている
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の搬送ロボット。 The reflector is
The transfer robot according to any one of claims 1 to 5, wherein the transfer robot is supported by a plurality of pin bodies erected on the arm base so as to be located outside the turning region of the first arm. .
JP2011278220A 2011-12-19 2011-12-20 Transfer robot Expired - Fee Related JP5609856B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011278220A JP5609856B2 (en) 2011-12-20 2011-12-20 Transfer robot
TW101134474A TWI491482B (en) 2011-12-20 2012-09-20 Transfer robot
KR20120110793A KR101509292B1 (en) 2011-12-20 2012-10-05 Transfer robot
CN201210377524.3A CN103171897B (en) 2011-12-20 2012-10-08 Transfer robot
US13/647,672 US20130272822A1 (en) 2011-12-19 2012-10-09 Transfer robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011278220A JP5609856B2 (en) 2011-12-20 2011-12-20 Transfer robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013128996A true JP2013128996A (en) 2013-07-04
JP5609856B2 JP5609856B2 (en) 2014-10-22

Family

ID=48632190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011278220A Expired - Fee Related JP5609856B2 (en) 2011-12-19 2011-12-20 Transfer robot

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5609856B2 (en)
KR (1) KR101509292B1 (en)
CN (1) CN103171897B (en)
TW (1) TWI491482B (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113195170A (en) * 2018-12-11 2021-07-30 平田机工株式会社 Substrate transfer apparatus and substrate transfer system
JP2022184738A (en) * 2021-05-31 2022-12-13 株式会社ティーロボティクス Travel robot for moving substrate transfer robot in vacuum chamber
CN116968071A (en) * 2023-09-07 2023-10-31 上海广川科技有限公司 Anti-skid device for wafer transmission and mechanical finger

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015211998A (en) * 2014-05-07 2015-11-26 セイコーエプソン株式会社 robot
US11897139B2 (en) 2021-01-29 2024-02-13 Farobot Inc. Dynamic configuration method based on role assignation and multi-agent plan execution device
TWI812923B (en) * 2021-02-09 2023-08-21 法博智能移動股份有限公司 Dynamic configuration method based on role assignation, electronic device, and medium

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003291081A (en) * 2002-03-29 2003-10-14 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Arm driving device
WO2006062183A1 (en) * 2004-12-10 2006-06-15 Ulvac, Inc. Transfer robot and transfer apparatus
JP2007091433A (en) * 2005-09-29 2007-04-12 Nidec Sankyo Corp Robot hand and workpiece carrying robot using the same
JP2008235836A (en) * 2007-03-23 2008-10-02 Tokyo Electron Ltd Substrate transfer devices, substrate transfer module, substrate transfer method, and storage medium
JP2010171344A (en) * 2009-01-26 2010-08-05 Tokyo Electron Ltd Vacuum treatment device
JP2011101912A (en) * 2009-11-10 2011-05-26 Yaskawa Electric Corp Arm mechanism and vacuum robot equipped with the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4524132B2 (en) * 2004-03-30 2010-08-11 東京エレクトロン株式会社 Vacuum processing equipment
KR100773284B1 (en) * 2004-12-10 2007-11-05 가부시키가이샤 알박 Transfer robot and transfer apparatus
US8203101B2 (en) * 2007-03-02 2012-06-19 Daihen Corporation Conveying device
JP5083339B2 (en) * 2010-02-04 2012-11-28 東京エレクトロン株式会社 Substrate transport apparatus, substrate transport method, and storage medium

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003291081A (en) * 2002-03-29 2003-10-14 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Arm driving device
WO2006062183A1 (en) * 2004-12-10 2006-06-15 Ulvac, Inc. Transfer robot and transfer apparatus
JP2007091433A (en) * 2005-09-29 2007-04-12 Nidec Sankyo Corp Robot hand and workpiece carrying robot using the same
JP2008235836A (en) * 2007-03-23 2008-10-02 Tokyo Electron Ltd Substrate transfer devices, substrate transfer module, substrate transfer method, and storage medium
JP2010171344A (en) * 2009-01-26 2010-08-05 Tokyo Electron Ltd Vacuum treatment device
JP2011101912A (en) * 2009-11-10 2011-05-26 Yaskawa Electric Corp Arm mechanism and vacuum robot equipped with the same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113195170A (en) * 2018-12-11 2021-07-30 平田机工株式会社 Substrate transfer apparatus and substrate transfer system
CN113195170B (en) * 2018-12-11 2023-12-22 平田机工株式会社 Substrate transfer apparatus and substrate transfer system
JP2022184738A (en) * 2021-05-31 2022-12-13 株式会社ティーロボティクス Travel robot for moving substrate transfer robot in vacuum chamber
JP7307983B2 (en) 2021-05-31 2023-07-13 株式会社ティーロボティクス Traveling robot for running the substrate transfer robot in the vacuum chamber
CN116968071A (en) * 2023-09-07 2023-10-31 上海广川科技有限公司 Anti-skid device for wafer transmission and mechanical finger
CN116968071B (en) * 2023-09-07 2024-03-08 上海广川科技有限公司 Anti-skid device for wafer transmission and mechanical finger

Also Published As

Publication number Publication date
TW201341288A (en) 2013-10-16
JP5609856B2 (en) 2014-10-22
KR20130071344A (en) 2013-06-28
KR101509292B1 (en) 2015-04-06
CN103171897A (en) 2013-06-26
CN103171897B (en) 2016-01-20
TWI491482B (en) 2015-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5609857B2 (en) Transfer robot
JP5609856B2 (en) Transfer robot
JP6607661B2 (en) Horizontal articulated robot
US20110135437A1 (en) Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same
TWI398334B (en) Industrial robots
JP5885528B2 (en) Transport device
JP2014144527A (en) Industrial robot
JP2002137181A (en) Articulated robot device
JP2008279538A (en) Transferring device
JP2013049113A (en) Robot arm structure, and robot
JP6783459B2 (en) Work transfer robot
JP5434990B2 (en) Robot arm structure and robot
US20130272822A1 (en) Transfer robot
JP2004146714A (en) Carrying mechanism for workpiece
KR20230050139A (en) Substrate transfer equipment and substrate processingsystem using the same
WO2015020088A1 (en) Industrial robot
JP5239845B2 (en) Substrate transfer robot, substrate transfer apparatus, and semiconductor manufacturing apparatus
TWI790731B (en) Substrate transfer device
US20240162056A1 (en) Apparatus for processing substrate
JP4324512B2 (en) Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus
JP2012056034A (en) Robot arm device
KR20230000799A (en) Substrate transfer apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131105

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140401

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140430

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140805

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140818

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5609856

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees