JP2013126715A - 流体研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体研磨装置は、研磨対象物2の表面研磨を行うためのスラリ3が噴射される噴射口42を有するノズル40と、噴射口42に対向して配置された反射面51を有し、ノズル40から噴射されたスラリ3を反射面51で研磨対象物2の表面2aに向けて反射させる反射ヘッド50とを備え、反射ヘッド50の反射面51は、幾何学的な焦点を有する曲面形状に形成され、反射ヘッド50は、反射面51の焦点が研磨対象物2の表面2aまたは該表面2aの近傍に位置し且つ反射面51から反射されるスラリ3を焦点に略収束させるように配置されている。
【選択図】図2
Description
行うための流体が噴射される噴射口を有する噴射部と、噴射口に対向して配置された反射面を有し、噴射部から噴射された流体を反射面で研磨対象物の表面に向けて反射させる反射ヘッドとを備え、反射ヘッドの反射面は、幾何学的な焦点を有する曲面形状に形成され、反射ヘッドは、反射面の焦点が研磨対象物の表面または該表面の近傍に位置し且つ反射面から反射される流体を焦点に略収束させるように配置されている。
ここで、kは定数、Pはスラリ(研磨材)が研磨対象物に与える接触圧力、vはスラリ(研磨材)と研磨対象物との相対線速度、tは研磨対象物とスラリ(研磨材)との接触時間である。このプレストンの式によれば、研磨加工においては、研磨対象物とスラリ(研磨材)との接触圧力Pおよび相対線速度vが加工量(研磨量)Uを決める要因となっており、接触圧力Pや相対線速度vが大きくなれば研磨レート(研磨加工能率)は向上し、接触圧力Pや相対線速度vが小さくなれば研磨レートは低下することになる。
30 スラリ噴射部 40 ノズル(噴射部) 42 噴射口
50,50′ 反射ヘッド 51,51′ 反射面
F 焦点 G1 第1焦点(一方の焦点) G2 第2焦点(焦点、他方の焦点)
Claims (1)
- 研磨対象物の表面研磨を行うための流体が噴射される噴射口を有する噴射部と、
前記噴射口に対向して配置された反射面を有し、前記噴射部から噴射された前記流体を前記反射面で前記研磨対象物の表面に向けて反射させる反射ヘッドとを備え、
前記反射ヘッドの前記反射面は、幾何学的な焦点を有する曲面形状に形成され、
前記反射ヘッドは、前記反射面の前記焦点が前記研磨対象物の表面または該表面の近傍に位置し且つ前記反射面から反射される前記流体を前記焦点に略収束させるように配置されていることを特徴とする流体研磨装置。
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