JP2013099784A - 予測的パルストリガーの使用によるリンク加工における精度の向上 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】予測的パルストリガー(PPT)法によって、リンク加工システムにおいてレーザビーム100の正確なトリガーが可能になる。PPT法では、ターゲット106とレーザビーム軸108について推定される相対運動パラメータに基づいてレーザビームをトリガーすることが必要になる。PPT法では、レーザ位置決め精度において、従来の全面的な測定ベースの方法に対して、6倍の向上が可能になる。
【選択図】図1
Description
(C) 2008 Electro Scientific Industries, Inc. 本特許文献の開示の一部分は、著作権保護の対象である資料を含んでいる。本著作権所有者は、特許商標庁の特許包袋または記録に現れるように何人が本特許文献または特許開示をファクシミリ再生することに対して異議はないが、そうではない場合、何であれ、37 CFR§1.71(d)に従って全ての著作権を留保する。
Claims (14)
- ターゲット試料の加工のために案内されるレーザパルスの発射をトリガーする方法において、
前記レーザパルスは、ビーム軸に沿って伝播し、前記ターゲット試料は、支持体に取り付けられ、前記ビーム軸と前記支持体は互いに相対的にある速度で移動し、前記ターゲット試料の指定位置へのレーザパルスの入射によって前記ターゲット試料を加工する方法であって:
測定サンプリングレートに対応する時間軸上の複数の測定区間で、前記ビーム軸と前記支持体との間の対応する相対位置を測定し、相対位置データの測定値を取得する処理と、
時間軸上の前記複数の測定区間の各範囲内の異なる時点に対する相対位置データを推定し、前記相対位置データの推定値は、前記測定サンプリングレートより大きい外挿位置データサンプリングレートに対応する異なる時点における前記ビーム軸と前記支持体間の外挿相対位置に対応し、時間軸上の複数の測定区間のそれぞれについて、前記外挿相対位置は前記相対位置データの測定値、速度、及び測定区間内での経過時間の値から導出される処理と、
相対位置データの前記推定値を、特定のターゲット試料位置に関するレーザパルストリガー位置と比較し、特定されたターゲット試料位置の中から選択された1つに関するトリガー・ウインドウ内にビーム軸が存在するか判定する処理であって、前記トリガー・ウインドウは測定サンプリングレートの外挿位置データサンプリングレートに対する比に関連して設定される処理と、
トリガー・ウインドウ内のビーム軸の出現判定に対応して、レーザパルスの発射をトリガーし、特定されたターゲット試料位置の中から選択された1つについてターゲット試料を加工する処理と、
を含む方法。 - 前記速度は、前記ビーム軸と前記支持体との間の前記相対位置の1つに対応する測定された速度値を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記速度は、前記ビーム軸と前記支持体との前記相対運動について指令された設定速度を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記速度は、前記ビーム軸と前記支持体との前記相対運動に基づく推定値を含む、請求項1に記載の方法。
- 時間軸上の前記複数の測定区間で実行された相対位置の測定は、干渉計によって提供される、請求項1に記載の方法。
- 時間軸上の前記複数の測定区間で実行された相対位置の測定は、光学又は干渉法によるエンコーダによって提供される、請求項1に記載の方法。
- 相対位置データの予測は、カルマンフィルターを利用する、請求項1に記載の方法。
- 相対位置データの予測は、FPGAを使用する処理回路を利用する、請求項1に記載の方法。
- 外挿相対位置に対応する相対位置データの予測は、前記速度を使用し、時間軸上の前記複数の測定区間より短い時間区間で、増分位置の値を計算することを含む、請求項1に記載の方法。
- 外挿相対位置が導き出される相対位置データの値は、時間軸上の以前の測定区間の数に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記支持体は、移動ステージを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ターゲット試料は、導電性リンク構造物が作られている半導体ウエハを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記トリガー・ウインドウは、トリガータイム・ウインドウを表し、レーザパルスの発射のトリガーは、前記トリガータイム・ウインドウ内のある時刻に実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記トリガー・ウインドウは、トリガー位置・ウインドウを表し、レーザパルスの発射のトリガーは、前記トリガー位置・ウインドウ内のビーム軸の出現により実行される、請求項1に記載の方法。
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