JP2013083673A - Detection unit and encoder - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detection unit for detecting the rotation amount of a motor shaft in which credibility as an encoder is improved easily.SOLUTION: A detection unit includes a light-receiving element array where plural light receiving elements for outputting output signals corresponding to the quantity of incident light are arranged in a predetermined direction, and a light source for applying light to at least part of a code plate. The plural light receiving elements are respectively provided so that the width of an effective domain in a width direction vertical to the predetermined direction is changed according to the light quantity distribution.

Description

本発明は、モータ軸の回転量を検出する際に適用するのに好適な検出ユニット、エンコーダおよび出力信号補正方法に関するものである。   The present invention relates to a detection unit, an encoder, and an output signal correction method suitable for application when detecting the rotation amount of a motor shaft.

従来、モータ軸の回転量を検出するためのエンコーダは、インクリメンタルパターンおよびアブソリュートパターンが形成された回転符号板と、この回転符号板に対向するように設けられた検出ユニットとを備えている。図5は、この種の検出ユニットを示す平面図である。この検出ユニット2では、図5に示すように、シリコン基板21上に点光源22および2個の受光素子アレイ23、24が設けられている。ここで、一方の受光素子アレイ23は、同じサイズに形成された例えば12個の受光素子25から構成されており、他方の受光素子アレイ24は、同じサイズに形成された例えば6個の受光素子26から構成されている。さらに、これらの受光素子25、26には信号処理回路7が接続されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an encoder for detecting the rotation amount of a motor shaft includes a rotary code plate on which an incremental pattern and an absolute pattern are formed, and a detection unit provided so as to face the rotary code plate. FIG. 5 is a plan view showing this type of detection unit. In this detection unit 2, as shown in FIG. 5, a point light source 22 and two light receiving element arrays 23 and 24 are provided on a silicon substrate 21. Here, one light receiving element array 23 is composed of, for example, twelve light receiving elements 25 formed in the same size, and the other light receiving element array 24 is formed, for example, six light receiving elements formed in the same size. 26. Further, a signal processing circuit 7 is connected to these light receiving elements 25 and 26.

そして、このエンコーダでモータ軸の回転量を検出する際には、点光源22からの出射光が回転符号板のインクリメンタルパターンおよびアブソリュートパターンで反射してそれぞれ受光素子アレイ23、24に入射し、光電変換により、これらの入射光の光量に比例した出力信号S1、S2が各受光素子25、26から出力される。そして、これらの出力信号S1、S2が信号処理回路7によって信号処理され、モータ軸の回転量が算出される(例えば、特許文献1参照)。   When the rotation amount of the motor shaft is detected by this encoder, the light emitted from the point light source 22 is reflected by the incremental pattern and the absolute pattern of the rotary code plate and enters the light receiving element arrays 23 and 24, respectively. By the conversion, output signals S1 and S2 proportional to the amount of incident light are output from the light receiving elements 25 and 26, respectively. Then, these output signals S1 and S2 are signal-processed by the signal processing circuit 7, and the rotation amount of the motor shaft is calculated (see, for example, Patent Document 1).

特開2005−121593号公報(段落〔0009〕〔0010〕の欄、図2、3)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-121593 (paragraphs [0009] and [0010], FIGS. 2 and 3)

しかしながら、点光源22からの出射光は発散光であるとともに、点光源22からインクリメンタルパターンを経て受光素子25、26に至る光路の距離は受光素子25、26ごとに異なるため、受光素子25、26への入射光は照度(受光素子25、26の単位面積あたりの光量)が不均一となる。ここで、受光素子25、26は、それぞれ同じサイズに形成されているので、入射光の光量に違いが生じる。そうすると、受光素子25、26からの出力信号の出力値が受光素子25、26ごとに異なるため、何らかの原因により、点光源22からの出射光量が変動した場合には、エンコーダの機能(回転角度の正確な検出機能など)に支障を来して、エンコーダとしての信頼性が低下する事態が発生する恐れがある。したがって、こうした事態を回避すべく、受光素子25、26からの出力信号の出力値の差を調整する処理を信号処理回路7に追加しなければならない面倒があった。   However, the light emitted from the point light source 22 is divergent light, and the distance of the optical path from the point light source 22 through the incremental pattern to the light receiving elements 25 and 26 differs depending on the light receiving elements 25 and 26. Incident light has uneven illuminance (light quantity per unit area of the light receiving elements 25 and 26). Here, since the light receiving elements 25 and 26 are formed in the same size, a difference occurs in the amount of incident light. Then, since the output values of the output signals from the light receiving elements 25 and 26 are different for each of the light receiving elements 25 and 26, if the amount of light emitted from the point light source 22 fluctuates for some reason, the function of the encoder (the rotation angle) There is a risk that the accuracy of the encoder will be hindered and the reliability of the encoder will be reduced. Therefore, in order to avoid such a situation, it is troublesome to add to the signal processing circuit 7 a process for adjusting the difference between the output values of the output signals from the light receiving elements 25 and 26.

本発明は、このような事情に鑑み、エンコーダとしての信頼性を簡便に高めることが可能な検出ユニット、エンコーダおよび出力信号補正方法を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a detection unit, an encoder, and an output signal correction method capable of easily increasing the reliability as an encoder.

本発明は、受光素子からの出力信号が、入射光の光量のみならず受光素子そのものの出力特性(受光面の実効面積、素子感度など)にも依存することに着目し、この受光素子の出力特性を入射光の光量に応じて適宜変更することにより、上述した目的を達成しようとするものである。   The present invention pays attention to the fact that the output signal from the light receiving element depends not only on the amount of incident light but also on the output characteristics of the light receiving element itself (effective area of the light receiving surface, element sensitivity, etc.). The above-described object is achieved by appropriately changing the characteristics according to the amount of incident light.

すなわち、本発明に係る第1の検出ユニット(2)は、入射光の光量に対応した出力信号(S1、S2)を信号処理回路(7)に出力する受光素子(25、26)が複数設けられ、これら複数の受光素子に入射する入射光の光量に違いがある検出ユニットであって、前記複数の受光素子は、入射光の光量が低い受光素子からの出力信号の出力値と入射光の光量が高い受光素子からの出力信号の出力値とをほぼ等しくするように出力特性が設定されている検出ユニットとしたことを特徴とする。   That is, the first detection unit (2) according to the present invention is provided with a plurality of light receiving elements (25, 26) for outputting output signals (S1, S2) corresponding to the amount of incident light to the signal processing circuit (7). A plurality of light receiving elements having different amounts of incident light incident on the plurality of light receiving elements, wherein the plurality of light receiving elements have an output value of an output signal from a light receiving element having a low amount of incident light and The detection unit is characterized in that the output characteristics are set so that the output value of the output signal from the light receiving element having a high amount of light is substantially equal.

本発明に係るエンコーダ(1)は、上記検出ユニット(2)を備えているエンコーダとしたことを特徴とする。   An encoder (1) according to the present invention is an encoder including the detection unit (2).

本発明に係る出力信号補正方法は、入射光の光量に対応した出力信号(S1、S2)を信号処理回路(7)に出力する受光素子(25、26)が複数設けられた検出ユニット(2)に適用される出力信号補正方法であって、前記受光素子に入射する入射光の光量に違いがある場合に、入射光の光量が低い受光素子からの出力信号の出力値と入射光の光量が高い受光素子からの出力信号の出力値とをほぼ等しくする出力信号補正方法としたことを特徴とする。   The output signal correction method according to the present invention includes a detection unit (2) provided with a plurality of light receiving elements (25, 26) for outputting output signals (S1, S2) corresponding to the amount of incident light to the signal processing circuit (7). Output signal correction method applied to the light receiving element, and when there is a difference in the amount of incident light incident on the light receiving element, the output value of the output signal from the light receiving element with a low amount of incident light and the amount of incident light The output signal correction method is characterized in that the output value of the output signal from the light receiving element having a high value is substantially equal.

なお、ここでは、本発明をわかりやすく説明するため、実施の形態を表す図面の符号に対応づけて説明したが、本発明が実施の形態に限定されるものでないことは言及するまでもない。   Here, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description has been made in association with the reference numerals of the drawings representing the embodiments. However, it goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments.

本発明によれば、各受光素子への入射光の光量に違いがある場合に、受光素子側で出力信号の出力値が補正されて出力信号の均一度が向上することから、信号処理回路側で面倒な処理を行う必要がなくなり、エンコーダとしての信頼性を簡便に高めることができる。   According to the present invention, when there is a difference in the amount of incident light to each light receiving element, the output value of the output signal is corrected on the light receiving element side and the uniformity of the output signal is improved. Therefore, it is not necessary to perform troublesome processing, and the reliability as an encoder can be easily improved.

本発明の実施の形態1に係る反射型のアブソリュートエンコーダを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the reflection type absolute encoder which concerns on Embodiment 1 of this invention. 同実施の形態1に係る回転符号板の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the rotary code plate according to the first embodiment. 同実施の形態1に係る検出ユニットの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the detection unit according to the first embodiment. 本発明の実施の形態2に係る検出ユニットを示す平面図である。It is a top view which shows the detection unit which concerns on Embodiment 2 of this invention. 従来の検出ユニットを示す平面図である。It is a top view which shows the conventional detection unit.

以下、本発明の実施の形態について説明する。
[発明の実施の形態1]
図1乃至図3は、本発明の実施の形態1に係る図である。
まず、構成を説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.
Embodiment 1 of the Invention
1 to 3 are diagrams according to Embodiment 1 of the present invention.
First, the configuration will be described.

反射型のアブソリュートエンコーダ1は、図1に示すように、モータ軸6と同期的に回転するようにモータ軸6の先端部に装着される回転符号板3を有している。この回転符号板3は、図2に示すように、円板状の回転基板4を有しており、回転基板4の中心部には、モータ軸6の先端部に嵌着されるボス部4aが形成されている。回転基板4の上面には、円周状のインクリメンタルパターン8が、その中心をモータ軸6の軸心CT1に一致させた形で形成されており、このインクリメンタルパターン8は、反射パターン領域8aと非反射パターン領域(パターンニングが施されていない領域)8bとが交互に配列されたものである。また、回転基板4の上面には、インクリメンタルパターン8の内側に円周状のアブソリュートパターン9が、その中心をモータ軸6の軸心CT1に一致させた形でインクリメンタルパターン8と同心円状に形成されており、このアブソリュートパターン9は、例えばN次のM系列パターンにより、反射パターン領域9aと非反射パターン領域(パターンニングが施されていない領域)9bとが配列されたものである。   As shown in FIG. 1, the reflective absolute encoder 1 has a rotary code plate 3 that is attached to the tip of the motor shaft 6 so as to rotate synchronously with the motor shaft 6. As shown in FIG. 2, the rotary code plate 3 has a disc-shaped rotary substrate 4, and a boss portion 4 a that is fitted to the tip end portion of the motor shaft 6 at the center of the rotary substrate 4. Is formed. A circumferential incremental pattern 8 is formed on the upper surface of the rotating substrate 4 so that the center thereof coincides with the axial center CT1 of the motor shaft 6. The incremental pattern 8 is not connected to the reflection pattern region 8a. The reflection pattern areas (areas not subjected to patterning) 8b are alternately arranged. Further, a circumferential absolute pattern 9 is formed on the upper surface of the rotating substrate 4 concentrically with the incremental pattern 8 so that the center thereof coincides with the axis CT1 of the motor shaft 6 inside the incremental pattern 8. The absolute pattern 9 is a pattern in which a reflective pattern region 9a and a non-reflective pattern region (region not subjected to patterning) 9b are arranged by, for example, an Nth order M-sequence pattern.

また、回転符号板3の上方には、図1に示すように、プリント配線基板5が配設されており、プリント配線基板5の下面(つまり、回転符号板3側の面)には検出ユニット2が、インクリメンタルパターン8およびアブソリュートパターン9に対向する位置に貼設されている。   Further, as shown in FIG. 1, a printed wiring board 5 is disposed above the rotation code plate 3, and a detection unit is provided on the lower surface of the printed wiring board 5 (that is, the surface on the rotation code plate 3 side). 2 is attached at a position facing the incremental pattern 8 and the absolute pattern 9.

そして、この検出ユニット2は、図3に示すように、長方形板状のシリコン基板21を有している。シリコン基板21上には、その中央部にLED(発光ダイオード)などの点光源22が発光素子として設けられているとともに、2個の受光素子アレイ23、24が点光源22を挟んで互いに対向する形で配設されている。   And this detection unit 2 has the silicon substrate 21 of a rectangular plate shape as shown in FIG. On the silicon substrate 21, a point light source 22 such as an LED (light emitting diode) is provided as a light emitting element at the center thereof, and two light receiving element arrays 23 and 24 face each other with the point light source 22 interposed therebetween. Arranged in a shape.

ここで、一方の受光素子アレイ23は、インクリメンタルパターン8を検出するためのものであり、図3に示すように、同じサイズ(形状・大きさ)の長方形状に形成された12個のフォトダイオード、フォトトランジスタなどの受光素子25が、インクリメンタルパターン8に対応する円弧状に並んで互いに隣接する形で受光素子アレイ23を構成している。なお、図3では、便宜上これらの受光素子25を一直線状に並べて図示している。   Here, one light receiving element array 23 is for detecting the incremental pattern 8, and as shown in FIG. 3, twelve photodiodes formed in a rectangular shape having the same size (shape and size). The light receiving elements 25 such as phototransistors are arranged in an arc shape corresponding to the incremental pattern 8 and are adjacent to each other to form the light receiving element array 23. In FIG. 3, these light receiving elements 25 are shown in a straight line for convenience.

そして、これらの受光素子25は、図3に示すように、種々の大きさの遮光膜27により、入射光の光量分布に対応して(具体的には、点光源22からインクリメンタルパターン8を経て受光素子25に至る光路の距離の2乗に比例して)実効面積が変化している。すなわち、12個の受光素子25のうち、両端に位置する2個の受光素子25(点光源22から最も離れている受光素子25)については、遮光膜27が設けられていないため、受光面の全面が実効領域となって実効面積が受光面の面積に一致しているとともに、残余の10個の受光素子25については、受光面の一部(左右両端部)が遮光膜27でマスキング(被覆)されているため、実効領域の周方向の幅が狭くなる形で実効面積が小さくなっている。しかも、これらの遮光膜27の大きさ(周方向の幅)は、点光源22からインクリメンタルパターン8を経て受光素子25に至る光路の距離の2乗に比例して受光素子25の実効面積が変化するように、点光源22に近い受光素子25ほど大きくなっている。   Then, as shown in FIG. 3, these light receiving elements 25 correspond to the light quantity distribution of incident light by light shielding films 27 of various sizes (specifically, from the point light source 22 through the incremental pattern 8). The effective area changes (in proportion to the square of the distance of the optical path to the light receiving element 25). That is, of the twelve light receiving elements 25, the two light receiving elements 25 located at both ends (the light receiving element 25 farthest from the point light source 22) are not provided with the light shielding film 27. The entire surface is an effective region and the effective area matches the area of the light receiving surface, and part of the light receiving surface (both left and right ends) is masked (covered) by the light shielding film 27 for the remaining 10 light receiving elements 25. ), The effective area is reduced in such a manner that the circumferential width of the effective region is reduced. In addition, the effective area of the light receiving element 25 varies in proportion to the square of the distance of the optical path from the point light source 22 to the light receiving element 25 through the incremental pattern 8 with respect to the size (circumferential width) of these light shielding films 27. As shown, the light receiving element 25 closer to the point light source 22 is larger.

また、他方の受光素子アレイ24は、アブソリュートパターン9を検出するためのものであり、図3に示すように、同じサイズ(形状・大きさ)の長方形状に形成された6個のフォトダイオード、フォトトランジスタなどの受光素子26が、アブソリュートパターン9に対応する円弧状に並んで互いに隣接する形で受光素子アレイ24を構成している。なお、図3では、便宜上これらの受光素子26を一直線状に並べて図示している。   The other light receiving element array 24 is for detecting the absolute pattern 9, and as shown in FIG. 3, six photodiodes formed in a rectangular shape having the same size (shape and size), The light receiving elements 26 such as phototransistors are arranged in an arc shape corresponding to the absolute pattern 9 and are adjacent to each other to form the light receiving element array 24. In FIG. 3, these light receiving elements 26 are shown in a straight line for convenience.

そして、これらの受光素子26は、図3に示すように、種々の大きさの遮光膜28により、入射光の光量分布に対応して(具体的には、点光源22からアブソリュートパターン9を経て受光素子26に至る光路の距離の2乗に比例して)実効面積が変化している。すなわち、6個の受光素子26のうち、両端に位置する2個の受光素子26(点光源22から最も離れている受光素子26)については、遮光膜28が設けられていないため、受光面の全面が実効領域となって実効面積が受光面の面積に一致しているとともに、残余の4個の受光素子26については、受光面の一部(左右両端部)が遮光膜28でマスキング(被覆)されているため、実効領域の周方向の幅が狭くなる形で実効面積が小さくなっている。しかも、これらの遮光膜28の大きさ(周方向の幅)は、点光源22からアブソリュートパターン9を経て受光素子26に至る光路の距離の2乗に比例して受光素子26の実効面積が変化するように、点光源22に近い受光素子26ほど大きくなっている。   Then, as shown in FIG. 3, these light receiving elements 26 correspond to the light quantity distribution of incident light by light shielding films 28 of various sizes (specifically, from the point light source 22 through the absolute pattern 9). The effective area changes (in proportion to the square of the distance of the optical path to the light receiving element 26). That is, of the six light receiving elements 26, the two light receiving elements 26 (the light receiving elements 26 farthest from the point light source 22) located at both ends are not provided with the light shielding film 28. The entire surface is an effective region, and the effective area is equal to the area of the light receiving surface. For the remaining four light receiving elements 26, part of the light receiving surface (both left and right ends) is masked (covered) by the light shielding film 28. ), The effective area is reduced in such a manner that the circumferential width of the effective region is reduced. In addition, the effective area of the light receiving element 26 varies in proportion to the square of the distance of the optical path from the point light source 22 through the absolute pattern 9 to the light receiving element 26. As shown, the light receiving element 26 closer to the point light source 22 is larger.

さらに、これらの受光素子25、26は、図3に示すように、プリント配線基板5上の信号処理回路7に接続されている。   Further, these light receiving elements 25 and 26 are connected to a signal processing circuit 7 on the printed wiring board 5 as shown in FIG.

次に、作用について説明する。
以上のような構成を有するアブソリュートエンコーダ1を用いて、モータ軸6の回転量(相対回転角度、絶対角度位置など)を検出する際には、モータ軸6の先端部に回転符号板3が装着された状態で、点光源22から発散光を出射させる。
Next, the operation will be described.
When detecting the amount of rotation (relative rotation angle, absolute angle position, etc.) of the motor shaft 6 using the absolute encoder 1 having the above-described configuration, the rotary code plate 3 is attached to the tip of the motor shaft 6. In this state, divergent light is emitted from the point light source 22.

すると、この点光源22からの発散光は、図1に示すように、回転符号板3のインクリメンタルパターン8で反射された後、検出ユニット2の受光素子アレイ23に入射する。その結果、受光素子アレイ23の各受光素子25ではそれぞれ、光電変換により、図3に示すように、入射光の光量に比例した出力信号(電荷など)S1が信号処理回路7に時系列的に出力される。これを受けて信号処理回路7では、この出力信号S1の出力値が順次読み込まれて信号処理され、モータ軸6の相対回転角度が算出される。   Then, the divergent light from the point light source 22 is reflected by the incremental pattern 8 of the rotary code plate 3 and then enters the light receiving element array 23 of the detection unit 2 as shown in FIG. As a result, in each light receiving element 25 of the light receiving element array 23, an output signal (charge or the like) S1 proportional to the amount of incident light is time-sequentially sent to the signal processing circuit 7 by photoelectric conversion, as shown in FIG. Is output. In response to this, the signal processing circuit 7 sequentially reads and processes the output value of the output signal S1, and calculates the relative rotation angle of the motor shaft 6.

このとき、点光源22からの出射光が発散光であるとともに、点光源22からインクリメンタルパターン8を経て受光素子25に至る光路の距離が受光素子25ごとに異なるが、これらの受光素子25は、上述したとおり、入射光の光量分布に対応して実効面積が変化しているので、各受光素子25から信号処理回路7へ出力される出力信号S1は均一となる。これは、入射光の光量が低い受光素子25からの出力信号S1の出力値と入射光の光量が高い受光素子25からの出力信号S1の出力値とが等しくなるからである。その結果、モータ軸6の相対回転角度を正確に算出することができる。   At this time, the light emitted from the point light source 22 is divergent light, and the distance of the optical path from the point light source 22 through the incremental pattern 8 to the light receiving element 25 is different for each light receiving element 25. As described above, since the effective area changes corresponding to the light quantity distribution of the incident light, the output signal S1 output from each light receiving element 25 to the signal processing circuit 7 is uniform. This is because the output value of the output signal S1 from the light receiving element 25 where the amount of incident light is low is equal to the output value of the output signal S1 from the light receiving element 25 where the amount of incident light is high. As a result, the relative rotation angle of the motor shaft 6 can be accurately calculated.

なお、インクリメンタルパターン8を検出するための受光素子アレイ23は、モータ軸6の回転方向(正逆方向)が判別できるように、0°、90°、180°および270°の4位相の信号を出力する。すると、信号処理回路7では、0°信号と180°信号との差動および90°信号と270°信号との差動をそれぞれ演算することにより、回転符号板3、ひいてはモータ軸6の回転方向を判別する。   The light receiving element array 23 for detecting the incremental pattern 8 outputs signals of four phases of 0 °, 90 °, 180 ° and 270 ° so that the rotation direction (forward / reverse direction) of the motor shaft 6 can be determined. Output. Then, the signal processing circuit 7 calculates the differential between the 0 ° signal and the 180 ° signal and the differential between the 90 ° signal and the 270 ° signal, respectively, so that the rotation direction of the rotary code plate 3 and thus the motor shaft 6 is calculated. Is determined.

また、点光源22からの発散光は、図1に示すように、回転符号板3のアブソリュートパターン9で反射された後、検出ユニット2の受光素子アレイ24に入射する。その結果、受光素子アレイ24の各受光素子26ではそれぞれ、光電変換により、図3に示すように、入射光の光量に比例した出力信号(電荷など)S2が信号処理回路7に時系列的に出力される。これを受けて信号処理回路7では、この出力信号S2の出力値が順次読み込まれて信号処理され、モータ軸6の絶対角度位置が算出される。   Further, divergent light from the point light source 22 is reflected by the absolute pattern 9 of the rotary code plate 3 and then enters the light receiving element array 24 of the detection unit 2 as shown in FIG. As a result, in each light receiving element 26 of the light receiving element array 24, an output signal (charge or the like) S2 proportional to the amount of incident light is time-sequentially sent to the signal processing circuit 7 by photoelectric conversion, as shown in FIG. Is output. In response to this, in the signal processing circuit 7, the output value of the output signal S2 is sequentially read and subjected to signal processing, and the absolute angular position of the motor shaft 6 is calculated.

このとき、点光源22からの出射光が発散光であるとともに、点光源22からアブソリュートパターン9を経て受光素子26に至る光路の距離が受光素子26ごとに異なるが、これらの受光素子26は、上述したとおり、入射光の光量分布に対応して実効面積が変化しているので、各受光素子26から信号処理回路7へ出力される出力信号S2は均一となる。これは、入射光の光量が低い受光素子26からの出力信号S2の出力値と入射光の光量が高い受光素子26からの出力信号S2の出力値とが等しくなるからである。その結果、モータ軸6の絶対角度位置を正確に算出することができる。   At this time, the light emitted from the point light source 22 is divergent light, and the distance of the optical path from the point light source 22 through the absolute pattern 9 to the light receiving element 26 is different for each light receiving element 26. As described above, since the effective area changes corresponding to the light quantity distribution of the incident light, the output signal S2 output from each light receiving element 26 to the signal processing circuit 7 is uniform. This is because the output value of the output signal S2 from the light receiving element 26 where the amount of incident light is low is equal to the output value of the output signal S2 from the light receiving element 26 where the amount of incident light is high. As a result, the absolute angular position of the motor shaft 6 can be accurately calculated.

このように、受光素子25、26では、信号処理回路7に出力する出力信号S1、S2が均一となる。したがって、これらの出力信号S1、S2の出力値の差を調整する処理を信号処理回路7に追加することなく、アブソリュートエンコーダ1としての信頼性を簡便に高めることができる。   Thus, in the light receiving elements 25 and 26, the output signals S1 and S2 output to the signal processing circuit 7 are uniform. Therefore, the reliability of the absolute encoder 1 can be easily increased without adding processing for adjusting the difference between the output values of the output signals S1 and S2 to the signal processing circuit 7.

また、受光素子アレイ23、24においては、遮光膜27、28の幅を変えるだけで受光素子25、26の実効面積を増減させることができるため、検出ユニット2を容易に製造することができる。   Moreover, in the light receiving element arrays 23 and 24, since the effective area of the light receiving elements 25 and 26 can be increased / decreased only by changing the width of the light shielding films 27 and 28, the detection unit 2 can be manufactured easily.

[発明の実施の形態2]
図4は、本発明の実施の形態2に係る図である。
この実施の形態2では、図4に示すように、複数の受光素子25、26から信号処理回路7へ出力される出力信号S1、S2を均一化するため、これら受光素子25、26の径方向の幅を入射光の光量分布に対応して変更した点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。
[Embodiment 2 of the Invention]
FIG. 4 is a diagram according to Embodiment 2 of the present invention.
In the second embodiment, as shown in FIG. 4, in order to equalize the output signals S1 and S2 output from the plurality of light receiving elements 25 and 26 to the signal processing circuit 7, the radial directions of these light receiving elements 25 and 26 are used. The configuration is the same as that of the first embodiment described above except that the width is changed in accordance with the light amount distribution of the incident light.

すなわち、12個の受光素子25については、図4に示すように、周方向の幅はすべて同じで、径方向の幅は、点光源22からインクリメンタルパターン8を経て受光素子25に至る光路の距離の2乗に比例して受光素子25の受光面の面積(実効面積)が変化するように、点光源22から離れた受光素子25ほど大きくなっている。また、6個の受光素子26については、周方向の幅はすべて同じで、径方向の幅は、点光源22からアブソリュートパターン9を経て受光素子26に至る光路の距離の2乗に比例して受光素子26の受光面の面積(実効面積)が変化するように、点光源22から離れた受光素子25ほど大きくなっている。   That is, the twelve light receiving elements 25 have the same circumferential width as shown in FIG. 4, and the radial width is the distance of the optical path from the point light source 22 through the incremental pattern 8 to the light receiving element 25. The light receiving element 25 farther from the point light source 22 is larger so that the area (effective area) of the light receiving surface of the light receiving element 25 changes in proportion to the square of. The six light receiving elements 26 have the same circumferential width, and the radial width is proportional to the square of the distance of the optical path from the point light source 22 through the absolute pattern 9 to the light receiving element 26. The light receiving element 25 farther from the point light source 22 is larger so that the area (effective area) of the light receiving surface of the light receiving element 26 changes.

なお、実施の形態1と同じ構成部分については、同じ符号を付してその説明を省略する。
したがって、この実施の形態2によれば、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。
In addition, about the same component as Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.
Therefore, according to this Embodiment 2, there exists the same effect as Embodiment 1 mentioned above.

[発明のその他の実施の形態]
なお、上述した実施の形態1では、受光素子25、26において、受光面を遮光膜27、28でマスキングして実効面積を小さくする場合について説明した。しかし、遮光膜27、28を使用せず、受光素子25、26そのもののサイズを小さくすることにより、受光面の実効面積を小さくすることも可能である。
[Other Embodiments of the Invention]
In the first embodiment described above, the case where the light receiving surfaces of the light receiving elements 25 and 26 are masked with the light shielding films 27 and 28 to reduce the effective area has been described. However, it is possible to reduce the effective area of the light receiving surface by reducing the size of the light receiving elements 25 and 26 without using the light shielding films 27 and 28.

また、上述した実施の形態2では、受光素子25、26において、受光素子25、26そのもののサイズを小さくする場合について説明した。しかし、受光面を遮光膜でマスキングして実効面積を小さくすることも可能である。   In the second embodiment described above, the case where the size of the light receiving elements 25 and 26 themselves is reduced in the light receiving elements 25 and 26 has been described. However, the effective area can be reduced by masking the light receiving surface with a light shielding film.

さらに、上述した実施の形態1では、受光素子25、26において、実効領域の周方向の幅を変更することにより、実効面積を変える場合について説明し、上述した実施の形態2では、受光素子25、26において、実効領域の径方向の幅を変更することにより、実効面積を変える場合について説明した。しかし、実効領域の周方向の幅と径方向の幅の両方を変更するようにしても構わない。   Further, in the first embodiment described above, the case where the effective area is changed by changing the circumferential width of the effective region in the light receiving elements 25 and 26 will be described. In the second embodiment described above, the light receiving element 25 is described. 26, the case where the effective area is changed by changing the radial width of the effective region has been described. However, both the circumferential width and the radial width of the effective region may be changed.

さらにまた、上述した実施の形態1、2では、複数の受光素子25、26からの出力信号S1、S2を均一化すべく、受光素子25、26の実効面積を入射光の光量分布に対応して設定する場合について説明した。しかし、受光素子25、26からの出力信号S1、S2は、受光素子25、26の実効面積のみならず受光素子25、26の素子感度(つまり、一定の強さの光を受光したときの受光素子25、26の出力信号S1、S2の出力値)にも依存するとの考えに立脚し、受光素子25、26の素子感度を入射光の光量分布に対応して設定することも可能である。或いはまた、受光素子25、26の実効面積と素子感度の両方を設定するようにしても構わない。   Furthermore, in the first and second embodiments described above, the effective areas of the light receiving elements 25 and 26 correspond to the light quantity distribution of the incident light in order to make the output signals S1 and S2 from the plurality of light receiving elements 25 and 26 uniform. The case of setting has been described. However, the output signals S1 and S2 from the light receiving elements 25 and 26 receive not only the effective area of the light receiving elements 25 and 26 but also the element sensitivity of the light receiving elements 25 and 26 (that is, the light reception when light of a certain intensity is received). Based on the idea that it also depends on the output values of the output signals S1 and S2 of the elements 25 and 26, it is also possible to set the element sensitivities of the light receiving elements 25 and 26 corresponding to the light quantity distribution of the incident light. Alternatively, both the effective area of the light receiving elements 25 and 26 and the element sensitivity may be set.

また、上述した実施の形態1、2では、反射型のアブソリュートエンコーダ1について説明したが、受光素子25、26の入射光の光量分布が明らかである限り、反射型以外のアブソリュートエンコーダ1に本発明を適用することもできる。例えば、透過型のアブソリュートエンコーダ1であっても、点光源22からの拡散光をコリメートレンズ(凸レンズ)で視準して平行光線にすることなく拡散光のまま利用する場合には、本発明の有用性が顕著となる。また、点光源22から出射される光が発散光でなくても、受光素子25、26の入射光の光量に違いが生じる場合があり、このような場合にも本発明の有用性が顕著となる。   In the first and second embodiments described above, the reflection type absolute encoder 1 has been described. However, as long as the light quantity distribution of the incident light of the light receiving elements 25 and 26 is clear, the invention is applied to the absolute encoder 1 other than the reflection type. Can also be applied. For example, even if the transmissive absolute encoder 1 is used as diffuse light without collimating the diffused light from the point light source 22 with a collimating lens (convex lens), Usefulness becomes remarkable. Even if the light emitted from the point light source 22 is not divergent light, there may be a difference in the amount of incident light of the light receiving elements 25 and 26. In such a case, the usefulness of the present invention is remarkable. Become.

また、上述した実施の形態1、2では、モジュラー型のアブソリュートエンコーダ1について説明したが、ホローシャフト型のアブソリュートエンコーダ1に本発明を適用することも可能である。   In the first and second embodiments, the modular type absolute encoder 1 has been described. However, the present invention can also be applied to the hollow shaft type absolute encoder 1.

さらに、上述した実施の形態1、2では、アブソリュートエンコーダ1について説明したが、複数の受光素子25、26に入射する入射光の光量に違いがある検出ユニット2を備えている限り、アブソリュートエンコーダ1以外のエンコーダ(例えば、インクリメンタルエンコーダ)に本発明を適用することもできる。   Further, in the first and second embodiments, the absolute encoder 1 has been described. However, as long as the detection unit 2 having a difference in the amount of incident light incident on the plurality of light receiving elements 25 and 26 is provided, the absolute encoder 1 is used. The present invention can also be applied to other encoders (for example, an incremental encoder).

また、上述した実施の形態1、2では、発光素子として点光源22を用いる場合について説明したが、線光源や面光源を代用することも可能である。   Moreover, although Embodiment 1 and 2 mentioned above demonstrated the case where the point light source 22 was used as a light emitting element, it is also possible to substitute a line light source and a surface light source.

また、上述した実施の形態1、2では、モータ軸6の回転量を検出するアブソリュートエンコーダ1、つまりロータリーエンコーダについて説明したが、リニアエンコーダ(リニアセンサ)に本発明を適用することも無論できる。   In the first and second embodiments described above, the absolute encoder 1 that detects the rotation amount of the motor shaft 6, that is, the rotary encoder has been described. However, it goes without saying that the present invention can be applied to a linear encoder (linear sensor).

また、上述した実施の形態1、2では、複数の受光素子25、26から信号処理回路7へ出力される出力信号S1、S2を均一化する場合について説明したが、これらの出力信号S1、S2の均一度を必ずしも100%まで達成させる必要はなく、これらの出力信号S1、S2の均一度が少しでも向上すればよい。   In the first and second embodiments described above, the case where the output signals S1 and S2 output from the plurality of light receiving elements 25 and 26 to the signal processing circuit 7 are equalized has been described. However, these output signals S1 and S2 It is not always necessary to achieve the uniformity of 100%, and the uniformity of these output signals S1 and S2 may be improved as much as possible.

また、上述した実施の形態1、2では、12個の受光素子25からなる受光素子アレイ23と6個の受光素子26からなる受光素子アレイ24を備えた検出ユニット2について説明したが、受光素子25、26の個数は、複数(2個以上)であれば何個でも構わない。   In the first and second embodiments described above, the detection unit 2 including the light receiving element array 23 including the 12 light receiving elements 25 and the light receiving element array 24 including the six light receiving elements 26 has been described. The number of 25 and 26 may be any number as long as it is plural (two or more).

本発明は、ロータリーエンコーダ、リニアエンコーダなど各種のエンコーダに幅広く適用することができる。   The present invention can be widely applied to various encoders such as a rotary encoder and a linear encoder.

1……アブソリュートエンコーダ(エンコーダ)
2……検出ユニット
3……回転符号板
4……回転基板
4a……ボス部
5……プリント配線基板
6……モータ軸
7……信号処理回路
8……インクリメンタルパターン
8a……反射パターン領域
8b……非反射パターン領域
9……アブソリュートパターン
9a……反射パターン領域
9b……非反射パターン領域
21……シリコン基板
22……点光源(発光素子)
23、24……受光素子アレイ
25、26……受光素子
27、28……遮光膜
S1、S2……出力信号
1 …… Absolute encoder (encoder)
2 ... Detection unit 3 ... Rotation code plate 4 ... Rotation board 4a ... Boss part 5 ... Printed wiring board 6 ... Motor shaft 7 ... Signal processing circuit 8 ... Incremental pattern 8a ... Reflection pattern area 8b …… Non-reflective pattern region 9 …… Absolute pattern 9a …… Reflective pattern region 9b …… Non-reflective pattern region 21 …… Silicon substrate 22 …… Point light source (light emitting element)
23, 24... Light receiving element array 25, 26... Light receiving element 27, 28 .. Light shielding film S1, S2.

Claims (11)

入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、
符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、
前記複数の受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている
ことを特徴とする検出ユニット。
A light receiving element array in which a plurality of light receiving elements that output an output signal corresponding to the amount of incident light are arranged in a predetermined direction;
A light source for irradiating at least a part of the code plate,
The detection unit, wherein the plurality of light receiving elements are provided by changing an effective area width in a width direction perpendicular to the predetermined direction in accordance with a light amount distribution of the light.
前記複数の受光素子は、前記所定方向で前記光源に近い受光素子ほど前記幅方向における実効領域が狭くなるようにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の検出ユニット。
2. The detection unit according to claim 1, wherein the plurality of light receiving elements are provided such that an effective area in the width direction is narrowed toward a light receiving element closer to the light source in the predetermined direction.
前記複数の受光素子は、前記幅方向の両端のうち前記光源と反対側の端が前記所定方向に沿った位置になるようにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の検出ユニット。
3. The plurality of light receiving elements are provided such that, of both ends in the width direction, an end opposite to the light source is positioned along the predetermined direction. Detection unit.
前記受光素子アレイとは異なる位置に設けられた第2の受光素子アレイを備える
ことを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の検出ユニット。
The detection unit according to any one of claims 1 to 3, further comprising a second light receiving element array provided at a position different from the light receiving element array.
入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、
符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、
前記複数の受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向における受光面の面積を変更する遮光膜がそれぞれ設けられている
ことを特徴とする検出ユニット。
A light receiving element array in which a plurality of light receiving elements that output an output signal corresponding to the amount of incident light are arranged in a predetermined direction;
A light source for irradiating at least a part of the code plate,
The detection unit, wherein each of the plurality of light receiving elements is provided with a light shielding film that changes an area of the light receiving surface in the predetermined direction according to a light amount distribution of the light.
入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、
符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、
前記複数の受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向と垂直な幅方向における受光面の面積を変更する遮光膜がそれぞれ設けられている
ことを特徴とする検出ユニット。
A light receiving element array in which a plurality of light receiving elements that output an output signal corresponding to the amount of incident light are arranged in a predetermined direction;
A light source for irradiating at least a part of the code plate,
Each of the plurality of light receiving elements is provided with a light shielding film that changes an area of a light receiving surface in a width direction perpendicular to the predetermined direction according to a light amount distribution of the light.
前記複数の受光素子に設けられた前記遮光膜は、前記所定方向で前記光源に近い受光素子ほど前記受光面の面積が狭くなるようにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項5又は6に記載の検出ユニット。
The light-shielding film provided on the plurality of light-receiving elements is provided so that a light-receiving element closer to the light source in the predetermined direction has a smaller area of the light-receiving surface. The detection unit described in 1.
請求項1から7の何れか一項に記載の検出ユニットを備えている
ことを特徴とするエンコーダ。
An encoder comprising the detection unit according to any one of claims 1 to 7.
アブソリュートパターン及びインクリメンタルパターンを有する符号板と、
前記符号板の少なくとも一部に光を照射する光源と、
前記符号板に対して所定方向に相対移動可能であって、前記アブソリュートパターンを介した光の光量に対応した出力信号を出力する複数の第1受光素子が所定方向に配置されている第1の受光素子アレイと、
前記符号板に対して前記所定方向に相対移動可能であって、前記インクリメンタルパターンを介した光の光量に対応した出力信号を出力する複数の第2受光素子が前記所定方向に配置されている第2の受光素子アレイと、を備え、
前記複数の第1受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている
ことを特徴とするエンコーダ。
A sign plate having an absolute pattern and an incremental pattern;
A light source for irradiating at least part of the code plate;
A plurality of first light receiving elements that are movable in a predetermined direction with respect to the code plate and that output an output signal corresponding to the amount of light through the absolute pattern are arranged in a predetermined direction. A light receiving element array;
A plurality of second light receiving elements that are movable relative to the code plate in the predetermined direction and that output an output signal corresponding to the amount of light through the incremental pattern are arranged in the predetermined direction. Two light receiving element arrays,
The plurality of first light receiving elements are respectively provided by changing the width of the effective area in the width direction perpendicular to the predetermined direction according to the light quantity distribution of the light.
前記複数の第2受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項9に記載のエンコーダ。
The plurality of second light receiving elements are respectively provided by changing a width of an effective region in a width direction perpendicular to the predetermined direction according to a light amount distribution of the light. Encoder.
入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、
符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、
前記複数の受光素子は、前記光の光量分布に応じて前記所定方向と垂直な幅方向における受光面の面積を変更する遮光手段によって被覆されている
ことを特徴とする検出ユニット。
A light receiving element array in which a plurality of light receiving elements that output an output signal corresponding to the amount of incident light are arranged in a predetermined direction;
A light source for irradiating at least a part of the code plate,
The detection unit, wherein the plurality of light receiving elements are covered with a light shielding unit that changes an area of a light receiving surface in a width direction perpendicular to the predetermined direction according to a light amount distribution of the light.
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