JP6684087B2 - Optical encoder - Google Patents

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Description

本発明は、光学的手段を用いた光エンコーダに関し、特に、3重回折格子技術を用いた光エンコーダに関する。   The present invention relates to an optical encoder using optical means, and more particularly to an optical encoder using triple diffraction grating technology.

光エンコーダは、物体の移動量及び/又は基準位置を検出するために用いられるものであり、各種の構成が知られている。このうち、3重回折格子技術を用いて物体の移動量を検出する光エンコーダは、光を出射する光源と、周期的な光学パターンを有し、前記光源に対して相対的に移動するスケールと、前記光源から出射されて前記スケールを経由した光を検出する光検出器とからなる。そして、前記光検出器は、例えばフォトダイオードからなる検出器を複数配列してなり、各検出器は、一定周期を有する明暗パターンの90度ずつ位相の異なる4つの位相部分を検出可能なように、前記周期ごとに電気的に接続された4つのグループ、すなわち、A相、B相、−A相(以下「AB相」という。)、−B相(以下「BB相」という。)を検出する各グループに分けられている。これら4つのグループが検出する信号は、互いに90度ずつ位相が異なり、例えばA相とAB相は、位相が180度異なる反転信号である(特許文献1)。   The optical encoder is used to detect the movement amount and / or the reference position of the object, and various configurations are known. Of these, an optical encoder that detects the amount of movement of an object using a triple diffraction grating technique has a light source that emits light and a scale that has a periodic optical pattern and that moves relative to the light source. And a photodetector for detecting the light emitted from the light source and passing through the scale. The photodetector is formed by arranging a plurality of detectors, for example, photodiodes, and each detector is capable of detecting four phase portions having different phases by 90 degrees in a light-dark pattern having a constant period. , Four groups electrically connected in each cycle, that is, A phase, B phase, -A phase (hereinafter referred to as "AB phase"), and -B phase (hereinafter referred to as "BB phase") are detected. It is divided into each group. The signals detected by these four groups differ in phase by 90 degrees from each other, and for example, the A phase and the AB phase are inverted signals whose phases differ by 180 degrees (Patent Document 1).

前記3重回折格子技術を用いた光エンコーダで、スケールの移動量に加えて基準位置を検出する機能を有するものとしては、スケールにおける物体の移動を検出するための周期的パターンであるインクリメンタルパターンと、基準位置を検出するためインデックスパターンを、別々に離れた位置に設ける一方、光検出器における前記インクリメンタルパターンを経由した光を検出する周期的パターン検出用光検出器と、前記インデックスパターンを経由した光を検出する基準位置検出用光検出器を、別々に離れた位置に設ける構成が知られている。そして、前記基準位置検出用光検出器による検出信号に基づいて基準位置信号(Z相パルス信号)を得るものである(特許文献2)。   An optical encoder using the triple diffraction grating technique, which has a function of detecting the reference position in addition to the movement amount of the scale, includes an incremental pattern that is a periodic pattern for detecting the movement of the object on the scale. And an index pattern for detecting the reference position, which are provided separately from each other, and a photodetector for periodic pattern detection for detecting light that has passed through the incremental pattern in the photodetector, and the index pattern. There is known a configuration in which reference position detecting photodetectors that detect the generated light are separately provided at separate positions. Then, a reference position signal (Z-phase pulse signal) is obtained based on the detection signal from the reference position detection photodetector (Patent Document 2).

特許第4658452号公報Japanese Patent No. 4658452 特許第4869628号公報Japanese Patent No. 4869628

ところが、この基準位置検出用光検出器による検出信号に基づいて基準位置信号(Z相パルス信号)を得る従来技術では、前述のように、スケールに設けたインクリメンタルパターンとインデックスパターンが別々に離れた位置に配置される一方、光検出器に設けた前記インクリメンタルパターンを経由した光を検出する周期的パターン検出用光検出器と、前記インデックスパターンを経由した光を検出する基準位置検出用光検出器も、別々に離れた位置に配置されているので、スケールと光源及び光検出器の各取り付け位置にばらつきがあると、本来インクリメンタルパターンに入射される光が、インデックスパターンに入射されて基準位置検出用光検出器で検出されるという事態を生じるため、インデックスパターンを経由した光で生成される基準位置信号(Z相パルス信号)を安定して、確実に検出できないという不都合がある。   However, in the conventional technique for obtaining the reference position signal (Z-phase pulse signal) based on the detection signal from the reference position detection photodetector, as described above, the incremental pattern and the index pattern provided on the scale are separated from each other. A photodetector for periodic pattern detection, which is arranged at a position and is provided in the photodetector, for detecting light that has passed through the incremental pattern, and a photodetector for reference position detection that detects light that has passed through the index pattern. However, if the scale, the light source, and the photodetector are installed at different positions, the light originally incident on the incremental pattern will be incident on the index pattern to detect the reference position. It is generated by the light that has passed through the index pattern because it will be detected by the photo detector And the reference position signal (Z-phase pulse signal) stable to, there is a disadvantage that can not be reliably detected.

本発明は、この不都合を解消して、基準位置信号(Z相パルス信号)を安定して、確実に検出できる3重回折格子技術を用いた光エンコーダを提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to solve this inconvenience and to provide an optical encoder using a triple diffraction grating technique capable of stably and reliably detecting a reference position signal (Z-phase pulse signal).

前記目的を達成するために本発明の請求項1に係る光エンコーダは、光を出射する光源と、光学的パターンが形成されて前記光源に対して相対的に移動可能なスケールと、前記光源から出射されて前記光学的パターンを経由した光を検出する光検出器を備えた光エンコーダであって、前記スケールの光学的パターンは、前記スケールの移動方向に反射部と非反射部とを交互に配列してなる周期的なインクリメンタルパターンの中に、非周期的なインデックスパターンを少なくとも一つ配置してなり、前記光検出器は、前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器と、前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器に挟まれた1個、及び隣接した2個の前記インデックスパターンを検出する光検出器を、前記スケールの移動方向に一定のパターンで配列してなる一方、前記インデックスパターンを検出する光検出器の検出信号に基づいて基準位置信号を生成する信号処理回路を有し、前記非周期的なインデックスパターンは、前記インクリメンタルパターンの反射部に挟まれるようにして、非反射部、反射部、非反射部をほぼ1対3対1の幅で、かつ前記各非反射部の幅は前記インクリメンタルパターンの反射部とほぼ同一幅として配置してなり、または、前記非周期的なインデックスパターンは、前記インクリメンタルパターンの非反射部に挟まれるようにして、反射部、非反射部、反射部をほぼ1対3対1の幅で、かつ前記各反射部の幅は前記インクリメンタルパターンの非反射部とほぼ同一幅として配置してなり、前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器は、一定周期を有する明暗パターンの90度ずつ位相の異なる4つの位相部分を検出可能なように、各位相部分に対応させた4つの光検出器を周期的に配列してなり、前記インデックスパターンを検出する光検出器は、8個の光検出器を3個、1個、1個、3個の第1〜第4の4グループに分けて、前記インクリメンタルパターン検出用光検出器の連続する任意の4個のうち1番目、2番目、4番目の光検出器を前記第1グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち3番目の光検出器を前記第2グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち3番目の光検出器を前記第3グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち1番目、2番目、4番目の光検出器を前記第4グループの光検出器に置き換えてなり、前記信号処理回路は、前記8個のインデックスパターン検出用光検出器の各検出信号を電圧変換した上、第1,第4グループの各検出信号を差動増幅して得た差分信号を基準信号と比較して生成したパルス信号と、第2,第3グループの各検出信号を差動増幅して得た差分信号を前記第1,第4グループの差分信号と比較して生成したパルス信号とを論理演算して基準位置信号とするものである。 In order to achieve the above object, an optical encoder according to claim 1 of the present invention includes a light source that emits light, a scale that is formed with an optical pattern, and is movable relative to the light source. An optical encoder provided with a photodetector for detecting light that has been emitted and has passed through the optical pattern, wherein the optical pattern of the scale has a reflective portion and a non-reflective portion alternately in the moving direction of the scale. At least one aperiodic index pattern is arranged in the arranged periodic incremental pattern, and the photodetector detects the incremental pattern and the incremental pattern is detected. A photodetector for detecting the index pattern between the two photodetectors sandwiched between the photodetectors and two adjacent photodetectors in the moving direction of the scale. Of one obtained by arranged in a pattern, have a signal processing circuit for generating a reference position signal based on the detection signal of the photodetector for detecting the index pattern, the aperiodic index pattern, the incremental pattern The non-reflecting portion, the reflecting portion, and the non-reflecting portion have a width of approximately 1: 3: 1 so as to be sandwiched between the reflecting portions, and the width of each non-reflecting portion is substantially the same as that of the reflecting portion of the incremental pattern. Or arranged such that the non-periodic index pattern is sandwiched between the non-reflective portions of the incremental pattern so that the reflective portion, the non-reflective portion, and the reflective portion have a width of approximately 1: 3: 1. Further, the width of each of the reflective portions is arranged to be substantially the same as the non-reflective portion of the incremental pattern, and a photodetector for detecting the incremental pattern. , Four photodetectors corresponding to the respective phase portions are periodically arrayed so that the four phase portions of the light-dark pattern having a constant cycle and different in phase by 90 degrees can be detected. The photodetectors to be detected are divided into eight photodetectors into three groups, one, one, and three first to fourth groups, and the photodetectors for incremental pattern detection are arranged in succession. The first, second, and fourth photodetectors of the four photodetectors are replaced by the photodetectors of the first group, and the third photodetector of the following four is replaced by the photodetectors of the second group. Replacing, replacing the third photodetector of the following four with the photodetector of the third group, and replacing the first, second, and fourth photodetectors of the following four with the photodetection of the fourth group The signal processing circuit is replaced by the eight Pulse signals generated by comparing the detection signals of the index pattern detection photodetector with the reference signals with the differential signals obtained by differentially amplifying the detection signals of the first and fourth groups. , A differential signal obtained by differentially amplifying each detection signal of the second and third groups and a pulse signal generated by comparing the differential signal of the first and fourth groups with each other to obtain a reference position signal. To do.

本発明の請求項1に係る光エンコーダによれば、スケールのインクリメンタルパターンの配列中にインデックスパターンを配置し、インクリメンタルパターン検出用光検出器の配列中にインデックスパターン検出用光検出器を配置することによって、光源、スケール、光検出器の各取り付け位置のばらつきによる前記各パターン及び前記各パターンに対応する光検出器への光の誤入射がなくなり、基準位置信号を安定して、確実に検出できるという効果を奏するとともに、インクリメンタルパターン検出用の光検出器配列中の所定位置に配置した8個のインデックスパターン検出用光検出器の検出信号を差動増幅、論理演算して基準位置信号を求めることにより、前記検出信号以外のインクリメンタルパターンを経由した光やオフセット光に基づく信号をキャンセルすることで、基準位置信号をより安定して、より確実に検出できるという効果を奏するAccording to the optical encoder of claim 1 of the present invention, the index pattern is arranged in the array of the incremental patterns of the scale, and the index pattern detecting photodetector is arranged in the array of the incremental pattern detecting photodetectors. As a result, erroneous incidence of light on the patterns and the photodetectors corresponding to the patterns due to variations in mounting positions of the light source, scale, and photodetector is eliminated, and the reference position signal can be detected stably and reliably. In addition to the above effect, the reference position signal is obtained by differentially amplifying and logically operating the detection signals of the eight photodetectors for index pattern detection arranged at predetermined positions in the photodetector array for incremental pattern detection. Allows for light or offset light that has passed through an incremental pattern other than the detection signal described above. By canceling the brute signal, and a reference position signal more stably, an effect that can be more reliably detected.

本発明の一実施形態を示す概略的な斜視図。The schematic perspective view showing one embodiment of the present invention. 同じく側面図。Also a side view. 同じく光源スリットとスケールにおける反射部、非反射部の配列状態、並びに光検出器におけるインクリメンタルパターン検出用とインデックスパターン検出用の各検出器の配列状態の一例を示す説明図。Similarly, an explanatory view showing an example of an array state of reflective portions and non-reflective portions in the light source slit and the scale, and an array state of each detector for incremental pattern detection and index pattern detection in the photodetector. 同じく各相開始時におけるインクリメンタルパターン検出用光検出器とインデックスパターン検出用光検出器の相対的位置関係を示す比較表。Similarly, a comparison table showing the relative positional relationship between the incremental pattern detecting photodetector and the index pattern detecting photodetector at the start of each phase. 同じくインデックスパターン検出用光検出器の検出信号を処理する検出信号処理回路の一例を示す構成図。Similarly, a configuration diagram showing an example of a detection signal processing circuit that processes a detection signal of the photodetector for detecting an index pattern. 同じく検出信号処理回路による差動増幅前後の電圧波形図。Similarly, a voltage waveform diagram before and after differential amplification by the detection signal processing circuit. 同じく検出信号処理回路によるパルス信号化後の電圧波形図。Similarly, a voltage waveform diagram after being converted into a pulse signal by the detection signal processing circuit.

以下、本発明を3重回折格子技術を用いた反射型光エンコーダに適用した一実施形態について、添付図面に基づき説明する。図1及び図2に示すように、光エンコーダは、エンコーダヘッド1と、スケール2からなり、これらエンコーダヘッド1とスケール2は、X方向に相対的に移動可能である。   An embodiment in which the present invention is applied to a reflection type optical encoder using a triple diffraction grating technique will be described below with reference to the accompanying drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the optical encoder includes an encoder head 1 and a scale 2, and the encoder head 1 and the scale 2 are relatively movable in the X direction.

エンコーダヘッド1は、PCB基板3上に、LEDなどの光源4とIC5を搭載してなり、前記IC5内部に光電変換可能なフォトダイオードなどの光検出器6を多数配列して、光検出器アレイ(以下「PDアレイ」という。)6Aを構成している。前記光源4の上面には、光が透過可能なガラス基板などで構成されて光学的な遮光部10aと透過部10bを有する光源スリット(以下「スリット」という。)7が、第1の回折格子として配置されている。また、前記光源4と前記IC5は、互いの上面がほぼ同一高さ位置にあるとともに、透明樹脂8で被覆されている。したがって、前記スリット7は、PDアレイ6Aの表面とほぼ同一高さ位置に設けられているものである(図2参照)。   The encoder head 1 comprises a light source 4 such as an LED and an IC 5 mounted on a PCB substrate 3, and a large number of photodetectors 6 such as photodiodes capable of photoelectric conversion are arranged inside the IC 5 to form a photodetector array. (Hereinafter referred to as "PD array".) 6A is configured. On the upper surface of the light source 4, a light source slit (hereinafter referred to as “slit”) 7 formed of a glass substrate or the like capable of transmitting light and having an optical light shielding portion 10a and a light transmitting portion 10b is provided as a first diffraction grating. Are arranged as. The light source 4 and the IC 5 have their upper surfaces at substantially the same height and are covered with the transparent resin 8. Therefore, the slit 7 is provided at substantially the same height as the surface of the PD array 6A (see FIG. 2).

光源4から出射した光は、スリット7の透過部10bを透過して透明樹脂8を透過し、ガラス基板などで構成されて光学的な反射部9aと非反射部9bを有する、第2の回折格子であるスケール2に入射する。このスケール2の反射部9aで反射された光は、再び透明樹脂8を透過して、PDアレイ6Aに入射される。図中のLは光路を示している。また、スケール2がX方向に移動することで、スケール2で反射される光路が変化する。なお、光源4の出射光の波長と、スリット7の透過部10bのピッチと、スケール2の周期的パターンのピッチは、3重回折格子技術による光エンコーダの要件を充たすよう構成されている。そして、PDアレイ6Aにおける光検出器6のピッチとスケール2の周期的パターンのピッチ、光源4と前記周期的パターンとの距離、前記PDアレイ6Aと前記周期的パターンとの距離の各関係に応じて、スケール2の第2の回折格子と相似な明暗パターンが、第3の回折格子として前記PDアレイ6A上に光学的に生成される。   The light emitted from the light source 4 is transmitted through the transmissive portion 10b of the slit 7, is transmitted through the transparent resin 8, and is composed of a glass substrate or the like and has an optical reflective portion 9a and a non-reflective portion 9b. The light enters the scale 2, which is a grating. The light reflected by the reflecting portion 9a of the scale 2 again passes through the transparent resin 8 and enters the PD array 6A. L in the figure indicates an optical path. Further, as the scale 2 moves in the X direction, the optical path reflected by the scale 2 changes. The wavelength of the light emitted from the light source 4, the pitch of the transmissive portions 10b of the slits 7, and the pitch of the periodic pattern of the scale 2 are configured to meet the requirements of the optical encoder based on the triple diffraction grating technique. Then, depending on the respective relationships among the pitch of the photodetectors 6 in the PD array 6A, the pitch of the periodic pattern of the scale 2, the distance between the light source 4 and the periodic pattern, and the distance between the PD array 6A and the periodic pattern. Then, a bright-dark pattern similar to the second diffraction grating of the scale 2 is optically generated as the third diffraction grating on the PD array 6A.

続いて,図3に基づいて、スリット7、スケール2及びPDアレイ6Aの各構成をより詳細に説明する。図3(a)に示すように、スリット7の遮光部10aと透過部10bは同一幅2W(Wは所定の長さを示す)で形成されることによって、前記遮光部10aは等間隔2Wをおいて配置されている。また、図3(b)に示すように、スケール2の周期的パターンであるインクリメンタルパターンにおいては、交互に配列された反射部9aと非反射部9bは同一幅Wで形成されることによって、前記反射部9aは等間隔Wをおいて配置されている。一方、非周期的なパターンであるインデックスパターンとして、インクリメンタルパターンの中に、幅が3Wの反射部11aとその両側に位置する幅がWの非反射部11bが形成されている。そして、前記反射部11aの幅方向中央を通る中心線Mを軸として、インデックスパターンとインクリメンタルパターンは、左右対称なパターンを形成している。本実施形態におけるインデックスパターンは、インクリメンタルパターンにおける一つの非反射部を反射部に変換することにより形成している。また、本実施形態では、前記反射部11aの幅方向中央を通る中心線Mを軸として、インデックスパターンとインクリメンタルパターンは、左右対称なパターンを形成しているが、左右非対称なパターンを形成しても良い。   Subsequently, each configuration of the slit 7, the scale 2, and the PD array 6A will be described in more detail with reference to FIG. As shown in FIG. 3 (a), the light-shielding portion 10a and the light-transmitting portion 10b of the slit 7 are formed to have the same width 2W (W indicates a predetermined length), so that the light-shielding portion 10a has an equal interval 2W. It is placed in advance. Further, as shown in FIG. 3B, in the incremental pattern, which is a periodic pattern of the scale 2, the reflective portions 9a and the non-reflective portions 9b arranged alternately have the same width W, and The reflecting portions 9a are arranged at equal intervals W. On the other hand, as an index pattern which is a non-periodic pattern, a reflective portion 11a having a width of 3W and a non-reflective portion 11b having a width of W located on both sides thereof are formed in the incremental pattern. The index pattern and the incremental pattern form a bilaterally symmetrical pattern with a center line M passing through the widthwise center of the reflecting portion 11a as an axis. The index pattern in this embodiment is formed by converting one non-reflective portion in the incremental pattern into a reflective portion. In addition, in the present embodiment, the index pattern and the incremental pattern form a left-right symmetrical pattern with the center line M passing through the widthwise center of the reflecting portion 11a as an axis, but a left-right asymmetric pattern is formed. Is also good.

図3(c)に示すように、PDアレイ6Aは、幅がスケール2の反射部9a及び非反射部9bの各幅Wよりも若干狭いフォトダイオードからなる光検出器6を等間隔に多数配列してなる。なお、物理構造上、光検出器6は各幅Wより若干狭いが、スケール2の周期的パターンピッチとPDアレイ6Aにおける光検出器6の光学的ピッチは略同等である。このうち、インクリメンタルパターン検出用である各光検出器6は、A相、B相、AB相、BB相の4相のうち一相を検出するもので、検出対象がA相、B相、AB相、BB相の順で周期的に配置されている。説明の便宜上、各光検出器6には検出する相に対応させて、それぞれA,B,AB,BBと図示している。また、これらインクリメンタルパターン検出用の光検出器6の配列中に、インデックスパターンを検出してZ相パルス信号を生成するための4グループ合計8個の光検出器6zを、インクリメンタルパターン検出用の光検出器6と置き換えて配置しており、その使用するPDアレイ6Aの領域を、説明の便宜上グループ別にZ1〜Z4と図示している。   As shown in FIG. 3C, in the PD array 6A, a large number of photodetectors 6 each having a width slightly smaller than the width W of each of the reflective portion 9a and the non-reflective portion 9b of the scale 2 are arranged at equal intervals. I will do it. Although the photodetector 6 is slightly narrower than each width W due to the physical structure, the periodic pattern pitch of the scale 2 and the optical pitch of the photodetector 6 in the PD array 6A are substantially equal. Of these, each photodetector 6 for detecting an incremental pattern detects one of four phases of A phase, B phase, AB phase, and BB phase, and the detection target is A phase, B phase, AB phase. The phase and the BB phase are periodically arranged in this order. For convenience of explanation, the photodetectors 6 are shown as A, B, AB, and BB, respectively, corresponding to the phases to be detected. Further, in the array of the photodetectors 6 for detecting the incremental pattern, a total of 8 photodetectors 6z in 4 groups for detecting the index pattern and generating the Z-phase pulse signal are provided. The detector 6 is replaced and arranged, and the regions of the PD array 6A used therein are shown as Z1 to Z4 for each group for convenience of explanation.

図3(c)は、光検出器3個の第1グループZ1、光検出器1個の第2グループZ2、光検出器1個の第3グループZ3、光検出器3個の第4グループZ4の配列について、A相開始時、すなわち第1グループZ1のはじめの光検出器がA相を検出する光検出器6に対応する場合、PDアレイ6Aでの配置領域を示すものである。具体的には、連続するA〜BBの4個の光検出器6において1番目A、2番目B、4番目BBの3個の光検出器6を前記第1グループZ1の光検出器6zに置き換え、続くA〜BBの4個の光検出器6うち3番目ABの光検出器6を前記第2グループZ2の光検出器6zに置き換え、続くA〜BBの4個の光検出器6うち3番目ABの光検出器6を前記第3グループZ3の光検出器6zに置き換え、続くA〜BBの4個の光検出器6のうち1番目A、2番目B、4番目BBの3個の光検出器6を前記第4グループZ4の光検出器6zに置き換えてなるものである。   FIG. 3C shows a first group Z1 of three photodetectors, a second group Z2 of one photodetector, a third group Z3 of one photodetector, and a fourth group Z4 of three photodetectors. In the arrangement of (1), when the A phase starts, that is, when the first photodetector of the first group Z1 corresponds to the photodetector 6 that detects the A phase, the arrangement area in the PD array 6A is shown. Specifically, in the four photodetectors 6 of A to BB, the three photodetectors 6 of the first A, the second B, and the fourth BB are replaced with the photodetectors 6z of the first group Z1. Substituting and following four photodetectors 6 of A to BB, the photodetector 6 of the third AB is replaced with the photodetector 6z of the second group Z2, and the following four photodetectors 6 of A to BB. The photodetector 6 of the third AB is replaced with the photodetector 6z of the third group Z3, and the first A, second B, and fourth BB among the four photodetectors 6 of A to BB are three. The photodetector 6 of No. 4 is replaced with the photodetector 6z of the fourth group Z4.

また、B相、AB相、BB相各開始時のPDアレイ6Aにおける各グループZ1〜Z4の光検出器における使用領域は上述とは異なり、これらの場合は図4に示す通りである。この図4で理解できるように、A相、B相、AB相、BB相のどの相の開始時においても、PDアレイ6Aの光検出器の配列中における各グループZ1〜Z4の相対的位置関係は変わらないものである。   Further, the use area in the photodetectors of each group Z1 to Z4 in the PD array 6A at the start of each of the B phase, the AB phase, and the BB phase is different from the above, and in these cases, it is as shown in FIG. As can be understood from FIG. 4, the relative positional relationship of the groups Z1 to Z4 in the arrangement of the photodetectors of the PD array 6A at the start of any of the phases A, B, AB, and BB. Is the same.

以上の構成において、光源4から出射され、スリット7を通過してインクリメンタルパターンで反射された光は、PDアレイ6A上に明暗パターンを形成し、この明暗パターンはインクリメンタルパターン検出用の光検出器6で検出される。インクリメンタルパターン検出用の光検出器6から出力された検出信号は、図示していない公知の信号処理回路で処理されて、エンコーダヘッド1に対するスケール2の相対的な移動量が検出される。   In the above configuration, the light emitted from the light source 4, passing through the slit 7, and reflected in the incremental pattern forms a bright-dark pattern on the PD array 6A, and the bright-dark pattern is the photodetector 6 for detecting the incremental pattern. Detected in. The detection signal output from the photodetector 6 for detecting the incremental pattern is processed by a known signal processing circuit (not shown) to detect the relative movement amount of the scale 2 with respect to the encoder head 1.

また、図3(b)の別実施構成では、スケール2の周期的パターンであるインクリメンタルパターンにおいては、上述したように、交互に配列された反射部9aと非反射部9bは同一幅Wで形成されることによって、前記反射部9aは等間隔Wをおいて配置されている。そして、非周期的なパターンであるインデックスパターンとして、インクリメンタルパターンの中に、幅が3Wの非反射部11bとその両側に位置する幅がWの反射部11aが形成されている。そして、前記反射部11aの幅方向中央を通る中心線Mを軸として、インデックスパターンとインクリメンタルパターンは、左右対称なパターンを形成している。本実施形態におけるインデックスパターンは、インクリメンタルパターンにおける一つの非反射部を反射部に変換することにより形成している。また、本実施形態では、前記反射部11aの幅方向中央を通る中心線Mを軸として、インデックスパターンとインクリメンタルパターンは、左右対称なパターンを形成しているが、左右非対称なパターンを形成しても良い。図3(b)の別実施構成におけるインデックスパターンは、インクリメンタルパターンにおける一つの反射部を非反射部に変換することにより形成している。なお、その時のスケール、及びPDアレイは、図3(a)、図3(b)で示した構成であり、同様に図1で示した3重回折格子技術を用いた反射型光エンコーダに適用した一実施形態の構成を成す。   3B, in the incremental pattern which is the periodic pattern of the scale 2, as described above, the reflective portions 9a and the non-reflective portions 9b arranged alternately are formed with the same width W. As a result, the reflecting portions 9a are arranged at equal intervals W. Then, as an index pattern that is a non-periodic pattern, a non-reflective portion 11b having a width of 3W and reflective portions 11a having a width of W located on both sides thereof are formed in the incremental pattern. The index pattern and the incremental pattern form a bilaterally symmetrical pattern with a center line M passing through the widthwise center of the reflecting portion 11a as an axis. The index pattern in this embodiment is formed by converting one non-reflective portion in the incremental pattern into a reflective portion. In addition, in the present embodiment, the index pattern and the incremental pattern form a left-right symmetrical pattern with the center line M passing through the widthwise center of the reflecting portion 11a as an axis, but a left-right asymmetric pattern is formed. Is also good. The index pattern in the another embodiment configuration of FIG. 3B is formed by converting one reflective portion in the incremental pattern into a non-reflective portion. The scale and the PD array at that time have the configurations shown in FIGS. 3A and 3B, and are similar to those of the reflection type optical encoder using the triple diffraction grating technique shown in FIG. The configuration of an applied embodiment is formed.

次に、インデックスパターン検出信号から基準位置信号(Z相パルス信号)を生成する信号処理回路を、図5に基づいて説明する。インデックスパターン検出用光検出器6zに光が入射して、各グループZ1〜Z4の光検出器6zから光電変換された電流信号が出力されると、第1グループZ1の電流信号は電流電圧変換回路12aに入力され、第2グループZ2の電流信号は電流電圧変換回路12cに入力され、第3グループZ3の電流信号は電流電圧変換回路12dに入力され、第4グループZ4の電流信号は電流電圧変換回路12bに入力される。前記各電流電圧変換回路12a,12b,12c,12dは、それぞれ入力された電流信号を電圧信号に変換して出力する。   Next, a signal processing circuit for generating the reference position signal (Z-phase pulse signal) from the index pattern detection signal will be described with reference to FIG. When light is incident on the photodetector 6z for detecting the index pattern and the photoelectrically converted current signal is output from the photodetector 6z of each group Z1 to Z4, the current signal of the first group Z1 is converted into the current-voltage conversion circuit. 12a, the current signal of the second group Z2 is input to the current-voltage conversion circuit 12c, the current signal of the third group Z3 is input to the current-voltage conversion circuit 12d, and the current signal of the fourth group Z4 is converted to current-voltage. It is input to the circuit 12b. Each of the current-voltage conversion circuits 12a, 12b, 12c, 12d converts the input current signal into a voltage signal and outputs it.

第1グループZ1の出力信号と第4グループZ4の出力信号は、差動増幅回路13aに入力し、この差動増幅回路13aにより前記各出力信号の差分信号が増幅されて出力される。また、第2グループZ2の出力信号と第3グループZ3の出力信号は、差動増幅回路13bに入力し、この差動増幅回路13bにより前記各出力信号の差分信号が増幅されて出力される。そして、ウィンドウコンパレータのような比較回路14において、前記差動増幅回路13aの出力と基準電圧とを比較して二値化したパルス信号を生成するとともに、前記差動増幅回路13aの出力と前記差動増幅回路13bの出力を比較して二値化したパルス信号を生成する。前記比較回路14から出力された各パルス信号はAND回路15に入力し、論理演算されて、基準位置信号であるZ相パルス信号が出力端子16から出力される。また、図5は、AND回路15を用いて論理演算されているが、NAND回路などを用いて論理演算されても良い。   The output signal of the first group Z1 and the output signal of the fourth group Z4 are input to the differential amplifier circuit 13a, and the differential signal of the output signals is amplified and output by the differential amplifier circuit 13a. The output signal of the second group Z2 and the output signal of the third group Z3 are input to the differential amplifier circuit 13b, and the differential signal between the output signals is amplified and output by the differential amplifier circuit 13b. Then, in a comparison circuit 14 such as a window comparator, the output of the differential amplifier circuit 13a and a reference voltage are compared to generate a binarized pulse signal, and the output of the differential amplifier circuit 13a and the difference are generated. The output of the dynamic amplifier circuit 13b is compared to generate a binarized pulse signal. Each pulse signal output from the comparison circuit 14 is input to the AND circuit 15 and is logically operated to output a Z-phase pulse signal as a reference position signal from the output terminal 16. Although the logical operation is performed using the AND circuit 15 in FIG. 5, the logical operation may be performed using a NAND circuit or the like.

続いて、本実施形態における基準位置信号の生成について、図6及び図7に基づいてさらに説明する。図6は各電流電圧変換回路12a,12b,12c,12dの出力波形(a),(b),(c),(d)及び各差動増幅回路13a,13bの出力波形(e),(f)を示すもので、縦方向は電圧値、横方向は図1のX方向の距離を表している。また、波形の1周期に相当する図6のWは、図1のX方向にW分だけ図1に示すスケール2が移動した状態を示す。図7は各差動増幅回路13a,13bの出力を二値化した比較回路14の出力波形(g),(h)と基準位置信号(Z相パルス信号)であるAND回路15の出力波形(i)を示すものである。   Next, the generation of the reference position signal in this embodiment will be further described based on FIGS. 6 and 7. FIG. 6 shows output waveforms (a), (b), (c), (d) of the current-voltage conversion circuits 12a, 12b, 12c, 12d and output waveforms (e), (e) of the differential amplifier circuits 13a, 13b. f), where the vertical direction represents the voltage value and the horizontal direction represents the distance in the X direction of FIG. 1. Further, W in FIG. 6 corresponding to one cycle of the waveform shows a state in which the scale 2 shown in FIG. 1 is moved by W in the X direction of FIG. FIG. 7 shows the output waveforms (g) and (h) of the comparison circuit 14 that binarizes the outputs of the differential amplifier circuits 13a and 13b and the output waveform of the AND circuit 15 that is the reference position signal (Z-phase pulse signal) ( i).

図6に示すように、差動増幅回路13aに波形(a)で入力した電流電圧変換回路12aの出力と、波形(b)で入力した電流電圧変換回路12bの出力は、差分が増幅されて波形(e)で差動増幅回路13aから出力される。一方、差動増幅回路13bに波形(c)で入力した電流電圧変換回路12cの出力と、波形(d)で入力した電流電圧変換回路12dの出力は、差分が増幅されて波形(f)で差動増幅回路13bから出力される。ここで、前記波形(a)と前記波形(b)との相違、及び前記波形(c)と前記波形(d)との相違は、光源4から出射された光がスケール2の反射部11aで反射されて、PDアレイ6AのZ1〜Z4領域の各光検出器6zに入射した時の入射光強度依存(場所依存)により生じるものである。   As shown in FIG. 6, the difference between the output of the current-voltage conversion circuit 12a input in the waveform (a) to the differential amplifier circuit 13a and the output of the current-voltage conversion circuit 12b input in the waveform (b) is amplified. The waveform (e) is output from the differential amplifier circuit 13a. On the other hand, the difference between the output of the current-voltage conversion circuit 12c input in the waveform (c) to the differential amplifier circuit 13b and the output of the current-voltage conversion circuit 12d input in the waveform (d) is amplified by the waveform (f). It is output from the differential amplifier circuit 13b. Here, the difference between the waveform (a) and the waveform (b) and the difference between the waveform (c) and the waveform (d) are that the light emitted from the light source 4 is reflected by the reflecting portion 11 a of the scale 2. It is caused by the incident light intensity dependency (location dependency) when reflected and incident on each photodetector 6z in the Z1 to Z4 regions of the PD array 6A.

図7に示すように、比較回路14に波形(e)で入力した差動増幅回路13aの出力は、基準電圧と比較されて二値化され、波形(g)のパルス信号として出力される。また、前記比較回路14に波形(f)で入力した差動増幅回路13bの出力は、前記差動増幅回路13aの波形(e)の出力と比較されて二値化され、波形(h)のパルス信号として出力される。これら前記比較回路14から出力された各波形(g),(h)の出力は、AND回路15に入力して論理演算され、波形(i)の基準位置信号(Z相パルス信号)として出力される。   As shown in FIG. 7, the output of the differential amplifier circuit 13a input to the comparison circuit 14 with the waveform (e) is compared with the reference voltage, binarized, and output as the pulse signal of the waveform (g). The output of the differential amplifier circuit 13b input to the comparison circuit 14 with the waveform (f) is compared with the output of the waveform (e) of the differential amplifier circuit 13a and binarized to obtain the waveform (h). It is output as a pulse signal. The outputs of the waveforms (g) and (h) output from the comparison circuit 14 are input to the AND circuit 15 to be logically operated and output as the reference position signal (Z-phase pulse signal) of the waveform (i). It

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、反射型のみならず透過型の光エンコーダにも適用可能である。また、インデックスパターンの反射部11aの幅は、移動量及び基準位置の検出精度を考慮すると、インクリメンタルパターンの反射部9aの幅の3倍程度が好ましいことを、実験的に確認した。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and is applicable to, for example, not only the reflection type but also the transmission type optical encoder. The width of the reflective portion 11a of the index pattern, considering the detection accuracy of the moving amount and the reference position, that about three times the width of the reflective portion 9a of the incremental pattern is preferred, it was confirmed experimentally.

1 エンコーダヘッド
2 スケール
3 PCB基板
4 光源
5 IC
6 光検出器
6A PDアレイ
6Z インデックスパターン検出用光検出器
7 スリット
8 透明樹脂
9a,11a 反射部
9b,11b 非反射部
10a 遮光部
10b 透過部
12a,12b,12c,12d 電流電圧変換回路
13a,13b 差動増幅回路
14 比較回路
15 AND回路
16 出力端子
1 Encoder head 2 Scale 3 PCB board 4 Light source 5 IC
6 Photodetector 6A PD array 6Z Index pattern detection photodetector 7 Slit 8 Transparent resin 9a, 11a Reflecting part 9b, 11b Non-reflecting part 10a Light-shielding part 10b Transmissive part 12a, 12b, 12c, 12d Current-voltage converting circuit 13a, 13b Differential amplifier circuit 14 Comparison circuit 15 AND circuit 16 Output terminal

Claims (1)

光を出射する光源と、光学的パターンが形成されて前記光源に対して相対的に移動可能なスケールと、前記光源から出射されて前記光学的パターンを経由した光を検出する光検出器を備えた光エンコーダであって、前記スケールの光学的パターンは、前記スケールの移動方向に反射部と非反射部とを交互に配列してなる周期的なインクリメンタルパターンの中に、非周期的なインデックスパターンを少なくとも一つ配置してなり、前記光検出器は、前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器と、前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器に挟まれた1個、及び隣接した2個の前記インデックスパターンを検出する光検出器を、前記スケールの移動方向に一定のパターンで配列してなる一方、前記インデックスパターンを検出する光検出器の検出信号に基づいて基準位置信号を生成する信号処理回路を有し、
前記非周期的なインデックスパターンは、前記インクリメンタルパターンの反射部に挟まれるようにして、非反射部、反射部、非反射部をほぼ1対3対1の幅で、かつ前記各非反射部の幅は前記インクリメンタルパターンの反射部とほぼ同一幅として配置してなり、
または、前記非周期的なインデックスパターンは、前記インクリメンタルパターンの非反射部に挟まれるようにして、反射部、非反射部、反射部をほぼ1対3対1の幅で、かつ前記各反射部の幅は前記インクリメンタルパターンの非反射部とほぼ同一幅として配置してなり、
前記インクリメンタルパターンを検出する光検出器は、一定周期を有する明暗パターンの90度ずつ位相の異なる4つの位相部分を検出可能なように、各位相部分に対応させた4つの光検出器を周期的に配列してなり、
前記インデックスパターンを検出する光検出器は、8個の光検出器を3個、1個、1個、3個の第1〜第4の4グループに分けて、前記インクリメンタルパターン検出用光検出器の連続する任意の4個のうち1番目、2番目、4番目の光検出器を前記第1グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち3番目の光検出器を前記第2グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち3番目の光検出器を前記第3グループの光検出器に置き換え、続く4個のうち1番目、2番目、4番目の光検出器を前記第4グループの光検出器に置き換えてなり、
前記信号処理回路は、前記8個のインデックスパターン検出用光検出器の各検出信号を電圧変換した上、第1,第4グループの各検出信号を差動増幅して得た差分信号を基準信号と比較して生成したパルス信号と、第2,第3グループの各検出信号を差動増幅して得た差分信号を前記第1,第4グループの差分信号と比較して生成したパルス信号とを論理演算して基準位置信号とする
ことを特徴とする光エンコーダ。
A light source that emits light, a scale that is formed with an optical pattern and is movable relative to the light source, and a photodetector that detects light emitted from the light source and passing through the optical pattern In the optical encoder, the optical pattern of the scale is a non-periodic index pattern in a periodic incremental pattern in which reflective portions and non-reflective portions are alternately arranged in the moving direction of the scale. At least one is disposed, and the photodetector is a photodetector for detecting the incremental pattern, one sandwiched between the photodetectors for detecting the incremental pattern, and two adjacent indexes. Photodetectors for detecting patterns are arranged in a fixed pattern in the moving direction of the scale, while detecting the index patterns. Have a signal processing circuit for generating a reference position signal based on a detection signal that the photodetector,
The non-periodic index pattern is sandwiched between the reflective portions of the incremental pattern so that the non-reflective portion, the reflective portion, and the non-reflective portion have a width of about 1: 3: 1, and the non-reflective portion has a width of about 1: 3. The width is arranged as substantially the same width as the reflective portion of the incremental pattern,
Alternatively, the non-periodic index pattern is sandwiched between the non-reflective portions of the incremental pattern so that the reflective portion, the non-reflective portion, and the reflective portion have a width of approximately 1: 3: 1, and each of the reflective portions. The width of is arranged as substantially the same width as the non-reflective portion of the incremental pattern,
The photodetector for detecting the incremental pattern has four photodetectors corresponding to the respective phase portions periodically so as to detect the four phase portions having different phases by 90 degrees in the light-dark pattern having a constant period. Arranged in
The photodetector for detecting the index pattern is divided into eight photodetectors into three groups, one, one, and three first to fourth groups, and the photodetectors for incremental pattern detection are provided. The first, second, and fourth photodetectors of any four consecutive photodetectors of the above are replaced with the photodetectors of the first group, and the third photodetector of the following four photodetectors of the second group is replaced. A photodetector, the third photodetector of the following four is replaced with the photodetector of the third group, and the first, second, and fourth photodetectors of the following four are replaced by the fourth photodetector. Replaced with a group photo detector,
The signal processing circuit voltage-converts each detection signal of the eight index pattern detection photodetectors and differentially amplifies each detection signal of the first and fourth groups to obtain a reference signal. And a pulse signal generated by comparing the differential signals obtained by differentially amplifying the detection signals of the second and third groups with the differential signals of the first and fourth groups. An optical encoder characterized by performing a logical operation to obtain a reference position signal .
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