JP2013083548A - Pressure sensor - Google Patents

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Kenji Nakahara
健司 中原
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Takano Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor where resistance value continuously changes as pressure changes.SOLUTION: The pressure sensor 1 is provided with: a pressure-sensitive film 2 where resistance value changes according to pressure; a pair of electrodes 3 which grip the pressure-sensitive film 2; and a flexible film 4 which is pasted on one of the electrodes 3 so that one of the pair of electrodes 3 approximates to the other. In the pressure sensor 1, the pair of electrodes 3 compress the pressure-sensitive film 2. The pressure sensor 1 is also provided with a base film 5 having an opening part 5a which goes through in the thickness direction. In the pressure sensor 1, the pressure-sensitive film 2 is provided at the opening part 5a of the base film 5 by matching thickness directions of the base film 5 and the pressure-sensitive film 2. A step part 11 is composed by the base film 5 and one of the electrodes 3. The flexible film 4 is pasted from the base film 5 to one of the electrodes 3 in the way that it goes along with the step part 11.

Description

本発明は、感圧センサに適用して有効な技術に関する。   The present invention relates to a technique effective when applied to a pressure-sensitive sensor.

特開２００８−２８５０５２号公報（特許文献１）には、自動車などの車両に搭載される着座センサが開示されている。この着座センサは、導電パターン回路が形成された２枚の可撓性フィルム基板を、切欠部を有する絶縁スペーサを介して積層した構造を有している。これによれば、座席に乗員が着座した場合、その荷重によって一方の可撓性フィルム基板が撓み、その導電パターン回路が、絶縁スペーサの切欠部を通して他方の可撓性フィルム基板の導電パターン回路と接触し、電流が流れる。また、乗員が座席から離れた場合、導電パターン回路同士の接触がなくなり、電流が流れなくなる。   Japanese Patent Laying-Open No. 2008-285052 (Patent Document 1) discloses a seating sensor mounted on a vehicle such as an automobile. This seating sensor has a structure in which two flexible film substrates on which conductive pattern circuits are formed are stacked via insulating spacers having cutout portions. According to this, when an occupant is seated on the seat, one flexible film substrate is bent by the load, and the conductive pattern circuit is connected to the conductive pattern circuit of the other flexible film substrate through the notch portion of the insulating spacer. Contact and current flows. Further, when the occupant leaves the seat, there is no contact between the conductive pattern circuits, and no current flows.

特開２００８−２８５０５２号公報（図２、明細書段落［００１３］）Japanese Patent Laying-Open No. 2008-285052 (FIG. 2, specification paragraph [0013])

特許文献１では、座席に乗員が着座しているか否かを検知することを主眼とし、着座センサが、加圧された際の抵抗変化を設定された閾値によりＯＮまたはＯＦＦとして判定（出力）できることを利用している。具体的には、着座センサは、座席に乗員が着座する前では、導電パターン回路どうしが接触していないので、抵抗が無限大となり、出力がＯＦＦとなる。また、着座センサは、座席に乗員が着座した後では、導電パターン回路どうしが接触するので、抵抗が所定の範囲内に収まり、出力がＯＮとなる。   In Patent Document 1, the main purpose is to detect whether or not an occupant is seated in a seat, and the seating sensor can determine (output) the change in resistance when it is pressurized as ON or OFF according to a set threshold value. Is used. Specifically, in the seating sensor, before the occupant is seated on the seat, the conductive pattern circuits are not in contact with each other, so that the resistance becomes infinite and the output is turned off. In addition, after the occupant is seated on the seat, the seating sensor comes into contact with the conductive pattern circuit, so that the resistance is within a predetermined range and the output is turned on.

このように、単に、出力がＯＮかＯＦＦかを段階的（デジタル的）に検知することに対しては、特許文献１の着座センサを用いることは有用である。しかしながら、圧力の変化に対して抵抗値を連続的（アナログ的）に検出すること（例えば、人間とクッションとの間や、マネキンと衣服との間の接触圧を測ること）に対しては、特許文献１の着座センサは用いにくいものと考えられる。   As described above, it is useful to use the seating sensor of Patent Document 1 for simply detecting stepwise (digital) whether the output is ON or OFF. However, for continuous (analog) detection of resistance against pressure changes (for example, measuring contact pressure between a person and a cushion, or between a mannequin and clothes) It is considered that the seating sensor of Patent Document 1 is difficult to use.

なぜならば、可撓性フィルム基板が変位して、導電パターン回路どうしが接触し始めの状態は、抵抗値が高く、不安定な状態だからである。このため、特許文献１の着座センサは、例えば、図１３に示すように、抵抗値Ｒが、圧力Ｐの増加により、無限大の状態Ｘから、数ＭΩ以上でばらつく不安定な状態Ｙを介して、安定した数ｋΩオーダの状態Ｚへと、不連続に変化してしまう。   This is because the state in which the flexible film substrate is displaced and the conductive pattern circuits start to contact each other has a high resistance value and is unstable. For this reason, the seating sensor disclosed in Patent Document 1 has an unstable state Y in which the resistance value R varies from an infinite state X to several MΩ or more as the pressure P increases as shown in FIG. As a result, the state Z changes discontinuously to a stable state Z on the order of several kΩ.

また、特許文献１の着座センサは、状態Ｙから所定の加圧領域（微小圧領域）では抵抗値Ｒが対数的に変化するため、例えば圧力Ｐに対して抵抗値Ｒが直線的に変化するものに比べて、制御が困難になるものと考えられる。   In the seating sensor of Patent Document 1, the resistance value R changes logarithmically from the state Y in a predetermined pressure region (micro pressure region). For example, the resistance value R changes linearly with respect to the pressure P. It is considered that control becomes difficult compared to the above.

本発明の目的は、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化する感圧センサを提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。   An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive sensor whose resistance value continuously changes with respect to a change in pressure. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本発明の一実施形態に係る感圧センサは、圧力により抵抗値が変化する感圧フィルムと、前記感圧フィルムを挟む一対の電極と、前記一対の電極の他方に対して一方が近接するように、前記一方の電極に張り付けられた可撓性フィルムとを備えている。この感圧センサでは、前記一対の電極が、前記感圧フィルムを圧縮している。   A pressure-sensitive sensor according to an embodiment of the present invention is configured such that a pressure-sensitive film whose resistance value changes according to pressure, a pair of electrodes sandwiching the pressure-sensitive film, and one of the pair of electrodes is close to the other. And a flexible film attached to the one electrode. In this pressure sensitive sensor, the pair of electrodes compresses the pressure sensitive film.

本発明の一実施形態によれば、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化する感圧センサを提供することができる。   According to one embodiment of the present invention, it is possible to provide a pressure-sensitive sensor whose resistance value continuously changes with respect to a change in pressure.

本発明の実施形態１に係る感圧センサの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図１に示した感圧センサの平面図である。It is a top view of the pressure sensitive sensor shown in FIG. 図１に示した感圧センサの組立斜視図である。FIG. 2 is an assembled perspective view of the pressure sensor shown in FIG. 1. 図１に示した感圧センサの組立断面図である。FIG. 2 is an assembled cross-sectional view of the pressure sensor shown in FIG. 1. 図１に示した感圧センサの組立平面図である。It is an assembly top view of the pressure sensor shown in FIG. 図１に示した感圧センサに配線を接続した斜視図である。It is the perspective view which connected the wiring to the pressure sensitive sensor shown in FIG. 図６に示した感圧センサの組立斜視図である。FIG. 7 is an assembled perspective view of the pressure sensor shown in FIG. 6. 本発明の一実施形態に係る感圧センサの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the pressure-sensitive sensor which concerns on one Embodiment of this invention. 図８に続く感圧センサの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the pressure sensor following FIG. 図９に続く感圧センサの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the pressure sensor following FIG. 図８〜図１０に示したセンサにおいて、圧力の変化に対して抵抗値が連続であることを説明するための図である。In the sensor shown in FIGS. 8-10, it is a figure for demonstrating that resistance value is continuous with respect to the change of a pressure. 本発明の実施形態２に係る感圧センサの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor which concerns on Embodiment 2 of this invention. 着座センサにおいて、圧力の変化に対して抵抗値が不連続であることを説明するための図である。It is a figure for demonstrating that resistance value is discontinuous with respect to the change of a pressure in a seating sensor.

以下の実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。   In the following embodiments, a plurality of sections and the like will be described when necessary. However, in principle, they are not irrelevant to each other, and one is related to some or all of the other, details, and the like. For this reason, the same code | symbol is attached | subjected to the member which has the same function in all the figures, and the repeated description is abbreviate | omitted.

また、実施形態で示す構成要素は、本発明において必ずしも必須のものとは限らない。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。   Moreover, the component shown by embodiment is not necessarily essential in this invention. In addition, the number of components (including the number, numerical value, quantity, range, etc.) is limited to that specific number unless otherwise specified or in principle limited to a specific number in principle. It may be more than a specific number or less. In addition, when referring to the shape of a component, etc., it shall include substantially the same or similar to the shape, etc., unless explicitly stated or in principle otherwise considered otherwise .

［実施形態１］
本発明の実施形態では、物体が接触して発生した圧力の変化を電気抵抗値（単に抵抗値ともいう。）の変化として検出する感圧センサに適用して説明する。 [Embodiment 1]
The embodiment of the present invention will be described by applying to a pressure-sensitive sensor that detects a change in pressure generated by contact with an object as a change in electrical resistance value (also simply referred to as resistance value).

まず、本実施形態に係る感圧センサ１の構造について図１〜図７を参照して説明する。図１は感圧センサ１の要部を示す断面図であり、図２は図１に示した感圧センサ１の平面図である。図２のＸ−Ｘ線における感圧センサ１の断面が、図１に示されている。また、図３〜図５は感圧センサ１の組立段階の図であって、それぞれ斜視図、断面図、平面図である。図５のＸ−Ｘ線における感圧センサ１の断面が、図４に示されている。また、図６は感圧センサ１に配線１４を接続した状態の斜視図であり、図７はその組立段階の斜視図である。   First, the structure of the pressure-sensitive sensor 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a main part of the pressure sensor 1, and FIG. 2 is a plan view of the pressure sensor 1 shown in FIG. A cross section of the pressure-sensitive sensor 1 taken along line XX in FIG. 2 is shown in FIG. 3 to 5 are views of the assembly stage of the pressure-sensitive sensor 1, and are a perspective view, a cross-sectional view, and a plan view, respectively. FIG. 4 shows a cross section of the pressure-sensitive sensor 1 taken along the line XX of FIG. 6 is a perspective view of the pressure sensor 1 with the wiring 14 connected thereto, and FIG. 7 is a perspective view of the assembly stage.

感圧センサ１は、図１、図２に示すように、感圧フィルム２と、一対の電極３、３と、一対の可撓性フィルム４、４と、ベースフィルム５とを備えている。この感圧センサ１は、外形状が円盤状となっている。これら、感圧フィルム２と、一対の電極３、３と、一対の可撓性フィルム４、４と、ベースフィルム５とで構成されるモジュールは、感圧モジュールともいう。   As shown in FIGS. 1 and 2, the pressure-sensitive sensor 1 includes a pressure-sensitive film 2, a pair of electrodes 3 and 3, a pair of flexible films 4 and 4, and a base film 5. The pressure-sensitive sensor 1 has a disk shape on the outer shape. The module composed of the pressure-sensitive film 2, the pair of electrodes 3 and 3, the pair of flexible films 4 and 4, and the base film 5 is also referred to as a pressure-sensitive module.

また、感圧センサ１は、図６に示すように、一対のパッド１３、１３と、一対の配線１４、１４（例えば、ビニール線などのリード線、導線などから構成される）とを備えている。一端が感圧センサ１側で例えばはんだ付けなどで接続された一対の配線１４、１４は、他端が外部測定機器に接続される。感圧センサ１は、感圧フィルム２を中心に対称構造となっている。   Further, as shown in FIG. 6, the pressure-sensitive sensor 1 includes a pair of pads 13 and 13 and a pair of wirings 14 and 14 (for example, a lead wire such as a vinyl wire, a conductive wire, or the like). Yes. One end of the pair of wires 14 and 14 connected at the pressure sensor 1 side by soldering, for example, is connected to an external measuring device at the other end. The pressure-sensitive sensor 1 has a symmetrical structure around the pressure-sensitive film 2.

感圧フィルム２は、圧力（荷重）により抵抗値が変化するものである。感圧フィルム２の構成材料は、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニルなどの熱可塑性樹脂（合成樹脂）に、複数の導電性粒子を混ぜ合わせてなる感圧導電性エラストマ（感圧導電性ゴム）である。また、感圧フィルム２の外形状は、平面視円形状のフィルム（厚さが、例えば１００μｍ程度）である。   The pressure-sensitive film 2 has a resistance value that varies depending on pressure (load). The constituent material of the pressure-sensitive film 2 is, for example, a pressure-sensitive conductive elastomer (pressure-sensitive conductive rubber) formed by mixing a plurality of conductive particles in a thermoplastic resin (synthetic resin) such as polyethylene or polyvinyl chloride. is there. Further, the outer shape of the pressure-sensitive film 2 is a circular film (thickness is about 100 μm, for example) in a plan view.

感圧フィルム２は、厚さ方向に圧力が加えられる（圧縮される）と、フィルムが薄くなり、複数の導電性粒子が密になるため、抵抗値が低下する。すなわち、感圧フィルム２は、圧力により抵抗値が変化する。この感圧フィルム２の抵抗値は、一対の電極３、３（２端子）から取り出される。   When pressure is applied (compressed) in the thickness direction of the pressure-sensitive film 2, the film becomes thin and the plurality of conductive particles become dense, so that the resistance value decreases. That is, the resistance value of the pressure-sensitive film 2 changes depending on the pressure. The resistance value of the pressure-sensitive film 2 is taken out from the pair of electrodes 3 and 3 (two terminals).

一対の電極３、３は、感圧フィルム２を圧縮するものであり、感圧フィルム２を抵抗部材としたときの外部接続端子でもある。一対の電極３、３は、互いに対向し、感圧フィルム２の両面を挟むように設けられている。感圧フィルム２と一対の電極３、３とは積層されて、これらを含んだ積層体１２（電子部品）が構成される。   The pair of electrodes 3 and 3 compress the pressure-sensitive film 2 and are also external connection terminals when the pressure-sensitive film 2 is used as a resistance member. The pair of electrodes 3 and 3 are provided so as to face each other and sandwich both surfaces of the pressure-sensitive film 2. The pressure sensitive film 2 and the pair of electrodes 3 and 3 are laminated to form a laminated body 12 (electronic component) including these.

各電極３は、同じ材料、同じ形状で構成されている。電極３の構成材料は、例えば、真鍮、銀などの金属を含む導体である。また、電極３の外形状は、図３に示すように、プレート部３ａと、プレート部３ａの一面中央を中心に設けられた突起部３ｂとを有した形状（最も肉厚の厚さが、例えば１００μｍ程度）である。   Each electrode 3 is composed of the same material and the same shape. The constituent material of the electrode 3 is a conductor containing a metal such as brass or silver. Further, as shown in FIG. 3, the outer shape of the electrode 3 is a shape having a plate portion 3a and a protrusion 3b provided around the center of one surface of the plate portion 3a (the thickness of the thickest is For example, about 100 μm).

プレート部３ａは、平面視円形状に形成されている。プレート部３ａは、感圧フィルム２を圧縮する基部である。また、プレート部３ａは、感圧フィルム２と接する面（平坦面）の平面積が感圧フィルム２の平面積と同じである。また、プレート部３ａは、感圧フィルム２の平面領域内に設けられている。   The plate portion 3a is formed in a circular shape in plan view. The plate portion 3 a is a base portion that compresses the pressure-sensitive film 2. Further, the plate portion 3 a has the same plane area of the surface (flat surface) in contact with the pressure-sensitive film 2 as the plane area of the pressure-sensitive film 2. The plate portion 3 a is provided in the plane area of the pressure sensitive film 2.

また、突起部３ｂは、感圧フィルム２と接する面と反対側の面（プレート部３ａの一面）に該反対側の面から突起している。この突起部３ｂは、平面視円形状（例えばプレート部３ａと同心）に形成されている。突起部３ｂは、配線１４との接続部となる。このため、突起部３ｂの頂部面は、配線１４と接続を容易にするために、平坦面に形成されている。   Further, the protrusion 3b protrudes from a surface opposite to the surface in contact with the pressure-sensitive film 2 (one surface of the plate portion 3a). The protrusion 3b is formed in a circular shape in plan view (for example, concentric with the plate 3a). The protrusion 3 b serves as a connection portion with the wiring 14. For this reason, the top surface of the protrusion 3 b is formed on a flat surface in order to facilitate connection with the wiring 14.

可撓性を有する一対の可撓性フィルム４、４は、一対の電極３が互いに近接するように、その近接方向の力を発生させるものである。一対の可撓性フィルム４、４は、互いに対向し、積層体１２の両面を挟むように設けられている。より具体的には、一対の可撓性フィルム４のそれぞれは、図１に示すように、一対の電極３の他方（下側電極３または上側電極３）に対して一方（上側電極３または下側電極３）が近接するように、一方の電極（上側電極３または下側電極３）に張り付けられている（張設されている）。これによれば、一対の電極３、３により、感圧フィルム２に一定の圧力を負荷した状態となる。   The pair of flexible films 4 and 4 having flexibility generate force in the proximity direction so that the pair of electrodes 3 are close to each other. The pair of flexible films 4 and 4 are provided so as to face each other and sandwich both surfaces of the laminate 12. More specifically, as shown in FIG. 1, each of the pair of flexible films 4 has one (upper electrode 3 or lower electrode) with respect to the other (lower electrode 3 or upper electrode 3) of the pair of electrodes 3. The side electrode 3) is attached (attached) to one electrode (the upper electrode 3 or the lower electrode 3) so as to be close to each other. According to this, a certain pressure is applied to the pressure-sensitive film 2 by the pair of electrodes 3 and 3.

各可撓性フィルム４は、同じ材料、同じ形状で構成されている。可撓性フィルム４の構成材料は、例えば、ポリイミド系樹脂などの熱硬化性樹脂（合成樹脂）から構成されている。また、可撓性フィルム４は、電子部品でもある積層体１２を包んで電気的に保護するため、絶縁性を有している。すなわち、可撓性フィルム４は、絶縁性フィルムでもある。   Each flexible film 4 is composed of the same material and the same shape. The constituent material of the flexible film 4 is made of, for example, a thermosetting resin (synthetic resin) such as polyimide resin. In addition, the flexible film 4 has an insulating property in order to enclose and electrically protect the laminate 12 that is also an electronic component. That is, the flexible film 4 is also an insulating film.

また、可撓性フィルム４の外形状は、平面視円形状のフィルム（厚さが、例えば５０μｍ程度）であり、厚さ方向に貫通した開口部４ａを有した形状である。この開口部４ａは、例えば、プレスによる抜き加工によって形成される。なお、開口部４ａには、図１に示すように、可撓性フィルム４から露出するように電極３の突起部３ｂが設けられる。   The outer shape of the flexible film 4 is a film having a circular shape in plan view (thickness is, for example, about 50 μm), and has an opening 4a penetrating in the thickness direction. The opening 4a is formed by punching with a press, for example. As shown in FIG. 1, the opening 4 a is provided with a protruding portion 3 b of the electrode 3 so as to be exposed from the flexible film 4.

この露出した電極３の突起部３ｂが、配線１４との接続端子（接続部）となる。ここで、突起部３ｂを設けず、電極３がプレート部３ａだけで構成された場合を考える。この場合、電極３（接続部）に配線１４を接続させた後、この接続部を含んで可撓性フィルム４で覆うこともできる。しかしながら、電極３と可撓性フィルム４との間に配線１４が挟まれることで、電極３に対する可撓性フィルム４の張り付け強度が低下するおそれもある。そこで、可撓性フィルム４から電極３を露出させて接続端子を確保するとともに、可撓性フィルム４の張り付け強度の低下を防止している。   The exposed protruding portion 3 b of the electrode 3 serves as a connection terminal (connection portion) to the wiring 14. Here, a case is considered in which the protrusion 3b is not provided and the electrode 3 is configured only by the plate 3a. In this case, after connecting the wiring 14 to the electrode 3 (connection part), it can also be covered with the flexible film 4 including this connection part. However, when the wiring 14 is sandwiched between the electrode 3 and the flexible film 4, there is a possibility that the adhesion strength of the flexible film 4 to the electrode 3 may be reduced. Therefore, the electrode 3 is exposed from the flexible film 4 to secure a connection terminal, and a reduction in the adhesive strength of the flexible film 4 is prevented.

ベースフィルム５は、感圧センサ１自体の強度を向上するために、感圧センサ１の骨組みとして用いられるものである。ベースフィルム５の構成材料は、例えば、ポリイミド系樹脂などの熱硬化性樹脂（合成樹脂）である。ベースフィルム５の外形状は、平面視円形状のフィルム（厚さが、例えば７５μｍ程度）であり、厚さ方向に貫通した開口部５ａを有した形状である。この開口部５ａは、例えば、プレスによる抜き加工によって形成される。なお、開口部５ａには、図１に示すように、ベースフィルム５および積層体１２の厚さ方向を一致させて、積層体１２が設けられる。   The base film 5 is used as a framework of the pressure sensor 1 in order to improve the strength of the pressure sensor 1 itself. The constituent material of the base film 5 is, for example, a thermosetting resin (synthetic resin) such as a polyimide resin. The outer shape of the base film 5 is a film having a circular shape in plan view (thickness is about 75 μm, for example), and has a shape having an opening 5a penetrating in the thickness direction. The opening 5a is formed by punching with a press, for example. In addition, as shown in FIG. 1, the laminated body 12 is provided in the opening part 5a so that the thickness direction of the base film 5 and the laminated body 12 may correspond.

一対のパッド１３、１３は、感圧センサ１が外部から圧力を受ける際に、外部と直接接触される押圧子である。一対のパッド１３、１３は、図６、図７に示すように、互いに対向し、露出した突起部３ｂを覆って積層体１２の両面を挟むように導電性接着剤で接着して設けられている。   The pair of pads 13 and 13 are pressing members that are in direct contact with the outside when the pressure sensor 1 receives pressure from the outside. As shown in FIGS. 6 and 7, the pair of pads 13 and 13 are provided so as to be opposed to each other and bonded with a conductive adhesive so as to cover the exposed protrusion 3 b and sandwich the both surfaces of the laminate 12. Yes.

各パッド１３は、同じ形状、同じ材料で構成されている。パッド１３の外形状は、平面視円形状パッド（厚さが、例えば５００μｍ程度）である。また、パッド１３の構成材料は、例えば、合成ゴムなどのゴムから構成されている。このため、パッド１３は、弾性を有している。このように弾性を有するパッド１３に外部から圧力が加えられることで、感圧フィルム２の抵抗値に含まれて検出される接触抵抗を緩やかに変化させることができる。さらに、パッド１３は、絶縁性も有しており、露出した電極３の突起部３ｂ上に設けられ、積層体１２を電気的に保護する。   Each pad 13 is composed of the same shape and the same material. The outer shape of the pad 13 is a circular pad in plan view (thickness is, for example, about 500 μm). The constituent material of the pad 13 is made of rubber such as synthetic rubber, for example. For this reason, the pad 13 has elasticity. Thus, by applying pressure to the elastic pad 13 from the outside, the contact resistance included in the resistance value of the pressure-sensitive film 2 can be gradually changed. Further, the pad 13 has an insulating property and is provided on the exposed protrusion 3 b of the electrode 3 to electrically protect the stacked body 12.

感圧センサ１は、図３〜図５に示すように、平面視円形状の各構成部材を同心に重ねて組み立てられる。これら図３〜図５に示す状態は、可撓性フィルム４が電極３に張り付けられる前の状態である。ここでは、感圧フィルム２の両面上に、それぞれ電極３、３が配置されている。また、各電極３上に、それぞれ可撓性フィルム４、４が、突起部３ｂを露出して配置されている。また、ベースフィルム５の開口部５ａ内に、感圧フィルム２が配置されている。また、一対の可撓性フィルム４、４の間に、ベースフィルム５（スペーサ）が配置されている。このとき、可撓性フィルム４とベースフィルム５との間には、感圧センサ１の設計上、隙間（ギャップ）が設けられる。   As shown in FIGS. 3 to 5, the pressure-sensitive sensor 1 is assembled by concentrically stacking components having a circular shape in plan view. The state shown in FIGS. 3 to 5 is a state before the flexible film 4 is attached to the electrode 3. Here, electrodes 3 and 3 are arranged on both surfaces of the pressure-sensitive film 2, respectively. In addition, flexible films 4 and 4 are arranged on the respective electrodes 3 so as to expose the protruding portions 3b. Further, the pressure sensitive film 2 is disposed in the opening 5 a of the base film 5. A base film 5 (spacer) is disposed between the pair of flexible films 4 and 4. At this time, a gap (gap) is provided between the flexible film 4 and the base film 5 due to the design of the pressure-sensitive sensor 1.

感圧センサ１が感圧フィルム２を中心とする対称構造であるため、図４に示すように、感圧フィルム２の厚さの中間面と、ベースフィルム５の厚さの中間面とは、同一面（図４中、破線で示されている。）となるように治具などによって配置される。感圧フィルム２の厚さがベースフィルム５の厚さより厚いので、感圧フィルム２の両面部がベースフィルム５の両面からはみ出るように配置される。この感圧フィルム２の両面上に、それぞれ電極３、３が配置されるので、ベースフィルム５と各電極３とで段差部１１が構成される。   Since the pressure-sensitive sensor 1 has a symmetric structure with the pressure-sensitive film 2 as the center, as shown in FIG. 4, the intermediate surface of the thickness of the pressure-sensitive film 2 and the intermediate surface of the thickness of the base film 5 are It arrange | positions with a jig | tool etc. so that it may become the same surface (it shows with the broken line in FIG. 4). Since the thickness of the pressure-sensitive film 2 is thicker than the thickness of the base film 5, the both sides of the pressure-sensitive film 2 are arranged so as to protrude from both sides of the base film 5. Since the electrodes 3 and 3 are disposed on both surfaces of the pressure-sensitive film 2, the base film 5 and each electrode 3 constitute a step portion 11.

このように各構成部材が配置された状態で、可撓性フィルム４を加圧して電極３に張り付ける（図１参照）。可撓性フィルム４の加圧した状態の調整方法は、感圧フィルム２、電極３、ベースフィルムの厚さなどや、張り付けの際に係る圧力などの条件を基に行われる。これにより、一対の電極３、３の他方に対して一方が近接するように、一方の電極３に可撓性フィルム４が張り付けられる。   In the state where the respective constituent members are arranged in this way, the flexible film 4 is pressurized and attached to the electrode 3 (see FIG. 1). The adjustment method of the pressurized state of the flexible film 4 is performed based on conditions such as the thickness of the pressure-sensitive film 2, the electrode 3, the base film, and the pressure applied at the time of pasting. Accordingly, the flexible film 4 is attached to one electrode 3 so that one of the electrodes 3 and 3 is close to the other.

本実施形態では、ベースフィルム５と一方の電極３とで段差部１１が構成されており、可撓性フィルム４が、一方の電極３からベースフィルム５へ段差部１１にならうようにして張り付けられている。これにより、可撓性フィルム４は、電極３の中央部からベースフィルム５の外周部へ引っ張られ、図１に示すように、力Ｆ１が発生する。この力Ｆ１の分力が、力Ｆ２、力Ｆ３である。この力Ｆ２は、一対の電極３が互いに近接する方向に発生するものである。これにより、一対の電極３、３が、感圧フィルム２を圧縮することになる。   In this embodiment, the base film 5 and the one electrode 3 form a step portion 11, and the flexible film 4 is pasted from the one electrode 3 to the base film 5 so as to follow the step portion 11. It has been. As a result, the flexible film 4 is pulled from the central portion of the electrode 3 to the outer peripheral portion of the base film 5, and a force F1 is generated as shown in FIG. The component force of this force F1 is force F2 and force F3. This force F2 is generated in a direction in which the pair of electrodes 3 are close to each other. As a result, the pair of electrodes 3 and 3 compresses the pressure-sensitive film 2.

感圧フィルム２は、厚さ方向に圧力が加えられる（圧縮される）と、可撓性フィルム４の張り付け前からわずかに薄くなり、抵抗値が低下する。このため、感圧センサ１は、可撓性フィルム４の張り付け前の状態から抵抗値が低下するとともに、一定の（安定した）抵抗値を有する状態となる。   When pressure is applied (compressed) in the thickness direction, the pressure-sensitive film 2 becomes slightly thinner before the flexible film 4 is attached, and the resistance value decreases. For this reason, the pressure-sensitive sensor 1 is in a state in which the resistance value decreases from the state before the flexible film 4 is attached and the resistance value is constant (stable).

このように、感圧フィルム２に一定の圧力を負荷した状態となるため、外部から圧力が加えられていない初期状態において安定した抵抗値が確保される。この初期状態から、圧力が加えられることで、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化するようになる。   As described above, since a constant pressure is applied to the pressure-sensitive film 2, a stable resistance value is ensured in an initial state in which no pressure is applied from the outside. By applying pressure from this initial state, the resistance value continuously changes with respect to the pressure change.

次に、本実施形態に係る感圧センサ１について図８〜図１１を参照して説明する。図８〜図１０は動作中の感圧センサ１を説明するための図である。また、図１１は感圧センサ１において、圧力（入力）の変化に対して抵抗値（出力）が連続であることを説明するための図である。   Next, the pressure sensor 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 8-10 is a figure for demonstrating the pressure sensor 1 in operation | movement. FIG. 11 is a diagram for explaining that the resistance value (output) is continuous with respect to a change in pressure (input) in the pressure-sensitive sensor 1.

ここで、図８に示す感圧センサ１が、図１に示す感圧センサ１と相違する点について説明する。電極３は、プレート部３ａのみを有している。また、可撓性フィルム４は、開口部４ａを有していない。また、電極３と配線１４との接続部は、露出せずに可撓性フィルム４によって覆われている。また、感圧フィルム２の平面積は、電極３の平面積よりも大きい。   Here, the difference between the pressure-sensitive sensor 1 shown in FIG. 8 and the pressure-sensitive sensor 1 shown in FIG. 1 will be described. The electrode 3 has only the plate part 3a. Moreover, the flexible film 4 does not have the opening part 4a. Moreover, the connection part of the electrode 3 and the wiring 14 is covered with the flexible film 4 without being exposed. Further, the plane area of the pressure-sensitive film 2 is larger than the plane area of the electrode 3.

このように、感圧フィルム２の平面積を大きくしたとしても、感圧センサ１の抵抗値に影響する電極３と接触する面積は変わらない。また、構造上は、感圧フィルム２と電極３の平面積は同じで良いが、感圧フィルム２を少し大きくすることで、組立時に感圧フィルム２と電極３にズレが生じても、確実に電極３全面で感圧フィルム２を圧縮することができる。   Thus, even if the plane area of the pressure-sensitive film 2 is increased, the area in contact with the electrode 3 that affects the resistance value of the pressure-sensitive sensor 1 does not change. Further, the plane area of the pressure-sensitive film 2 and the electrode 3 may be the same in terms of structure, but by making the pressure-sensitive film 2 a little larger, even if the pressure-sensitive film 2 and the electrode 3 are misaligned during assembly, it is surely The pressure sensitive film 2 can be compressed over the entire surface of the electrode 3.

このように、図８に示す感圧センサ１が、図１に示す感圧センサ１と相違するが、動作としては同様となる。また、感圧センサ１（感圧モジュール）は、対称構造となっているため、感圧モジュールが浮いた状態であれば、感圧センサ１の両面に対して、それぞれ外部から加圧することもできる。ここでは、説明を容易にするために、感圧センサ１の一方の面（上面）に対して、外部から加圧する場合を説明する。   As described above, the pressure-sensitive sensor 1 shown in FIG. 8 is different from the pressure-sensitive sensor 1 shown in FIG. 1, but the operation is the same. In addition, since the pressure-sensitive sensor 1 (pressure-sensitive module) has a symmetric structure, both sides of the pressure-sensitive sensor 1 can be pressurized from the outside as long as the pressure-sensitive module is in a floating state. . Here, in order to facilitate the explanation, a case will be described in which one surface (upper surface) of the pressure-sensitive sensor 1 is pressurized from the outside.

図８に示すように、一対の電極３、３の他方に対して一方が近接するように、可撓性フィルム４が一方の電極３に張り付けられることで、一対の電極３、３が、感圧フィルム２の両面側から圧力Ｐ１で圧縮している。この状態は、外部から圧力が加えられておらず（無負荷）、初期状態となる。この初期状態では、図１１の符号Ａに示すように、抵抗値Ｒが一定の値（例えば、数ｋΩ〜数百Ω）を示す。   As shown in FIG. 8, the flexible film 4 is attached to one electrode 3 so that one of the electrodes 3 and 3 is close to the other, so that the pair of electrodes 3 and 3 can be sensed. The pressure film 2 is compressed with pressure P1 from both sides. In this state, no pressure is applied from the outside (no load), and this is the initial state. In this initial state, the resistance value R shows a constant value (for example, several kΩ to several hundred Ω), as indicated by reference symbol A in FIG.

続いて、図９に示すように、外部から圧力Ｐ２を加えると感圧フィルム２が薄くなり、図１１の符号Ｂに示すように、抵抗値Ｒが低下し始める。感圧センサ１では、初期状態において、感圧フィルム２が加圧された状態であるため、外部からの圧力に対して敏感に反応する。続いて、図１０に示すように、外部から圧力Ｐ３（＞Ｐ２）を加えるとさらに感圧フィルム２が薄くなり、図１１の符号Ｃに示すように、抵抗値Ｒが直線的に変化する。   Subsequently, as shown in FIG. 9, when the pressure P2 is applied from the outside, the pressure-sensitive film 2 becomes thin, and the resistance value R starts to decrease, as shown by the symbol B in FIG. Since the pressure-sensitive sensor 1 is in a state where the pressure-sensitive film 2 is pressurized in the initial state, it reacts sensitively to external pressure. Subsequently, as shown in FIG. 10, when pressure P3 (> P2) is applied from the outside, the pressure-sensitive film 2 is further thinned, and the resistance value R changes linearly as shown by reference C in FIG.

このように、本実施形態によれば、圧力Ｐの変化に対して抵抗値Ｒが連続的に変化する感圧センサ１を提供することができる。ここで、電極３が突起部３ｂを有し、この上に弾性を有するパッド１３が設けられる場合、感圧フィルム２と電極３との接触面積が緩やかになり、外部から圧力が加えられることで、感圧フィルム２の抵抗値に含まれて検出される接触抵抗を対数的のように急激ではなく、緩やかに変化させることができる。したがって、図１１の破線に示すように、圧力Ｐの変化に対して抵抗値Ｒを直線的に変化させることができる。 Thus, according to the present embodiment, it is possible to provide the pressure-sensitive sensor 1 in which the resistance value R continuously changes with respect to the change in the pressure P. Here, when the electrode 3 has the protrusion 3b and the elastic pad 13 is provided thereon, the contact area between the pressure-sensitive film 2 and the electrode 3 becomes gentle, and pressure is applied from the outside. The contact resistance detected by being included in the resistance value of the pressure-sensitive film 2 can be changed not logarithmically but gradually . Therefore, as shown in broken line in FIG. 11, it is possible to linearly change the resistance value R relative to the change in pressure P.

［実施形態２］
前記実施形態１では、ベースフィルム５を用いた場合について説明した。本実施形態では、ベースフィルム５を用いない場合について図１２を参照して説明する。図１２は本実施形態に係る感圧センサ１の要部を示す断面図である。 [Embodiment 2]
In the first embodiment, the case where the base film 5 is used has been described. In this embodiment, the case where the base film 5 is not used will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a cross-sectional view showing the main part of the pressure-sensitive sensor 1 according to this embodiment.

ベースフィルム５は、感圧センサ１自体の強度を向上するために、感圧センサ１の骨組みとして用いられたものである。すなわち、感圧センサ１自体の強度が確保できるのであれば、ベースフィルム５を用いなくとも良い。   The base film 5 is used as a framework of the pressure sensor 1 in order to improve the strength of the pressure sensor 1 itself. That is, the base film 5 may not be used as long as the strength of the pressure sensor 1 itself can be ensured.

感圧センサ１は、一対の電極３、３の他方（下側）に対して一方（上側）が近接するように、一方（上側）の電極３に張り付けられた可撓性フィルム４（上側）と、この可撓性フィルム４（上側）と対をなし、一対の電極３、３の一方（上側）に対して他方（下側）が近接するように、他方（下側）の電極３に張り付けられた可撓性フィルム４（下側）とを備えている。また、感圧フィルム２と一対の電極３、３とを含んで積層体１２が構成されている。また、一対の可撓性フィルム４、４は、互いに積層体１２の周囲で接し、積層体１２を包むようにして張り付けられている。一対の電極３、３に張り付けられた一対の可撓性フィルム４、４は、対向する面どうしが感圧フィルム２の周囲で接着される。   The pressure-sensitive sensor 1 includes a flexible film 4 (upper side) attached to one (upper side) electrode 3 such that one (upper side) is close to the other (lower side) of the pair of electrodes 3 and 3. The flexible film 4 (upper side) and the other (lower side) electrode 3 so that the other (lower side) is close to one (upper side) of the pair of electrodes 3 and 3. The flexible film 4 (lower side) stuck is provided. In addition, the laminate 12 is configured to include the pressure-sensitive film 2 and the pair of electrodes 3 and 3. Further, the pair of flexible films 4 and 4 are attached to each other around the laminated body 12 so as to wrap the laminated body 12. The pair of flexible films 4, 4 attached to the pair of electrodes 3, 3 are bonded to each other around the pressure-sensitive film 2.

感圧センサ１が感圧フィルム２を中心とする対称構造であるため、感圧フィルム２の厚さの中間面と、可撓性フィルム４、４どうしの接触面とは、同一面（図１２中、破線で示されている。）となるように配置される。また、感圧フィルム２の両面上に、それぞれ電極３、３が配置される。これにより、可撓性フィルム４、４どうしの接触面と、各電極３の表面とで段差部１１が構成される。   Since the pressure-sensitive sensor 1 has a symmetrical structure with the pressure-sensitive film 2 as the center, the intermediate surface of the thickness of the pressure-sensitive film 2 and the contact surfaces of the flexible films 4 and 4 are the same surface (FIG. 12). It is indicated by a broken line in the middle). Further, electrodes 3 and 3 are disposed on both surfaces of the pressure-sensitive film 2, respectively. Thereby, the step part 11 is comprised by the contact surface of the flexible films 4 and 4 and the surface of each electrode 3. FIG.

本実施形態では、可撓性フィルム４は、電極３の中央部から積層体１２（感圧フィルム２）の周囲へ引っ張られるため、一対の電極３、３の一方に対して他方が近接する方向に力が発生する。これにより、一対の電極３、３が、感圧フィルム２を圧縮することになる。したがって、本実施形態によっても、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化する感圧センサを提供することができる。   In the present embodiment, the flexible film 4 is pulled from the central portion of the electrode 3 to the periphery of the laminated body 12 (pressure-sensitive film 2), and therefore, the direction in which the other is close to one of the pair of electrodes 3 and 3 is used. Force is generated. As a result, the pair of electrodes 3 and 3 compresses the pressure-sensitive film 2. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide a pressure-sensitive sensor whose resistance value continuously changes with respect to a change in pressure.

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、代表的なものの新規な特徴、作用および効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。   As described above, the present invention has been specifically described based on the embodiment, but the following is a brief description of typical features, functions, and effects of typical ones.

感圧センサ１は、圧力により抵抗値が変化する感圧フィルム２と、感圧フィルム２を挟む一対の電極３、３と、一対の電極３、３の他方に対して一方が近接するように、一方の電極３に張り付けられた可撓性フィルム４とを備えている。この感圧センサ１では、一対の電極３、３が、感圧フィルム２を圧縮している。   The pressure-sensitive sensor 1 has a pressure-sensitive film 2 whose resistance value is changed by pressure, a pair of electrodes 3 and 3 sandwiching the pressure-sensitive film 2, and one of the pair of electrodes 3 and 3 is close to the other. , And a flexible film 4 attached to one electrode 3. In this pressure-sensitive sensor 1, the pair of electrodes 3 and 3 compresses the pressure-sensitive film 2.

これによれば、感圧フィルム２に一定の圧力を負荷した状態となるため、外部から圧力が加えられていない初期状態において安定した抵抗値が確保される。この初期状態から、圧力が加えられることで、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化するようになる。   According to this, since a constant pressure is applied to the pressure-sensitive film 2, a stable resistance value is ensured in an initial state in which no pressure is applied from the outside. By applying pressure from this initial state, the resistance value continuously changes with respect to the pressure change.

また、感圧センサ１は、厚さ方向に貫通した開口部５ａを有するベースフィルム５を備えている。この感圧センサ１では、感圧フィルム２と一対の電極３、３とを含んで積層体１２が構成されている。また、ベースフィルム５および積層体１２の厚さ方向を一致させてベースフィルム５の開口部５ａに積層体１２が設けられている。また、ベースフィルム５と一方の電極３とで段差部１１が構成されている。また、可撓性フィルム４が、一方の電極３からベースフィルム５へ段差部１１にならうようにして張り付けられている。   Moreover, the pressure sensor 1 is provided with the base film 5 which has the opening part 5a penetrated in the thickness direction. In this pressure-sensitive sensor 1, a laminated body 12 is configured including a pressure-sensitive film 2 and a pair of electrodes 3 and 3. The laminated body 12 is provided in the opening 5 a of the base film 5 so that the thickness directions of the base film 5 and the laminated body 12 coincide with each other. Further, the base film 5 and the one electrode 3 constitute a step portion 11. Further, the flexible film 4 is pasted from the one electrode 3 to the base film 5 so as to follow the stepped portion 11.

これによれば、構造上の段差部１１を用いることで、より確実に可撓性フィルム４を一対の電極３、３の他方に対して一方が近接するように張り付けることができる。また、ベースフィルム５を用いることで、感圧センサ１自体の強度を向上することができる。   According to this, by using the structural step portion 11, the flexible film 4 can be more reliably attached to the other of the pair of electrodes 3, 3 so that one is close to the other. Moreover, the strength of the pressure-sensitive sensor 1 itself can be improved by using the base film 5.

また、感圧センサ１は、可撓性フィルム４と対をなし、一対の電極３、３の一方に対して他方が近接するように、他方の電極３に張り付けられた可撓性フィルム４を備えている。この感圧センサ１では、感圧フィルム２と一対の電極３、３とを含んで積層体１２が構成されている。また、一対の可撓性フィルム４、４は、互いに積層体１２の周囲で接し、積層体１２を包むようにして張り付けられている。   Further, the pressure-sensitive sensor 1 forms a pair with the flexible film 4, and the flexible film 4 attached to the other electrode 3 is attached so that the other is close to one of the pair of electrodes 3 and 3. I have. In this pressure-sensitive sensor 1, a laminated body 12 is configured including a pressure-sensitive film 2 and a pair of electrodes 3 and 3. Further, the pair of flexible films 4 and 4 are attached to each other around the laminated body 12 so as to wrap the laminated body 12.

これによれば、より確実に一方の可撓性フィルム４を一対の電極３、３の他方に対して一方が近接するように張り付けることができる。また、より確実に他方の可撓性フィルム４を一対の電極３、３の一方に対して他方が近接するように張り付けることができる。したがって、一対の可撓性フィルム４、４により、一対の電極３、３が互いに近接するように、その近接方向の力を発生させることができる。   According to this, one flexible film 4 can be more reliably stuck so that one may adjoin with respect to the other of a pair of electrodes 3 and 3. FIG. In addition, the other flexible film 4 can be more reliably attached to one of the pair of electrodes 3 and 3 so that the other is close. Therefore, the pair of flexible films 4 and 4 can generate a force in the proximity direction so that the pair of electrodes 3 and 3 are close to each other.

また、感圧センサ１では、感圧フィルム２を圧縮する電極３は、感圧フィルム２と接する面と反対側の面に該反対側の面から突起する突起部３ｂを有している。また、可撓性フィルム４は、厚さ方向に貫通した開口部４ａを有している。また、可撓性フィルム４の開口部４ａには、可撓性フィルム４から露出するように電極３の突起部３ｂが設けられている。この露出した電極３の突起部３ｂが、配線１４との接続端子である。   Further, in the pressure-sensitive sensor 1, the electrode 3 that compresses the pressure-sensitive film 2 has a protruding portion 3 b that protrudes from the surface opposite to the surface in contact with the pressure-sensitive film 2. Moreover, the flexible film 4 has the opening part 4a penetrated in the thickness direction. The opening 4 a of the flexible film 4 is provided with a protruding portion 3 b of the electrode 3 so as to be exposed from the flexible film 4. The exposed protrusion 3 b of the electrode 3 is a connection terminal with the wiring 14.

これによれば、接続端子を確保するとともに、電極３への可撓性フィルム４の張り付け強度の低下を防止することができる。なお、電極３を露出させずに、電極３に配線１４を接続し、その接続部を覆うように可撓性フィルム４を設けることもできると考えられるが、電極３を露出させて接続端子とした方が、前述の効果をより高く得ることができる。   According to this, while ensuring a connection terminal, the fall of the sticking strength of the flexible film 4 to the electrode 3 can be prevented. Although it is considered that the wiring 14 can be connected to the electrode 3 without exposing the electrode 3 and the flexible film 4 can be provided so as to cover the connecting portion, the electrode 3 is exposed and the connection terminal is connected. The effect mentioned above can be acquired more highly.

また、感圧センサ１は、露出した電極３の突起部３ｂ上に設けられた弾性を有するパッド１３を備えている。   Further, the pressure-sensitive sensor 1 includes an elastic pad 13 provided on the protruding portion 3 b of the exposed electrode 3.

これによれば、弾性パッド１３を押圧子として用いることができ、これに外部から圧力が加えられることで、感圧フィルム２の抵抗値に含まれて検出される接触抵抗を緩やかに変化させることができる。したがって、圧力の変化に対して抵抗値を直線的に変化する感圧センサ１を得ることができる。なお、パッド１３が弾性ではなく、硬度があるものを設けることもできると考えられるが、パッド１３は弾性を有した方が、前述の効果をより高く得ることができる。   According to this, the elastic pad 13 can be used as a pressing element, and the contact resistance detected by being included in the resistance value of the pressure-sensitive film 2 can be gently changed by applying pressure to the elastic pad 13 from outside. Can do. Therefore, it is possible to obtain the pressure-sensitive sensor 1 in which the resistance value changes linearly with respect to the change in pressure. In addition, although it is thought that the pad 13 can be provided with hardness instead of elasticity, the pad 13 having elasticity can obtain the above-described effect higher.

以上、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。   As mentioned above, it cannot be overemphasized that this invention can be variously changed in the range which is not limited to the said embodiment and does not deviate from the summary.

例えば、感圧フィルムと、一対の電極と、可撓性フィルムとを備えた感圧センサにおいて、一対の電極の一方が感圧フィルム側に凸に反るように可撓性フィルムを張り付けて、一対の電極が感圧フィルムを圧縮するようにした場合であっても良い。このような場合であっても、感圧センサは、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化するものとなる。   For example, in a pressure-sensitive sensor including a pressure-sensitive film, a pair of electrodes, and a flexible film, the flexible film is pasted so that one of the pair of electrodes warps convexly toward the pressure-sensitive film side, The pair of electrodes may compress the pressure sensitive film. Even in such a case, the resistance value of the pressure sensor changes continuously with respect to the change in pressure.

また、例えば、前記実施形態では、積層体を挟む一対の可撓性フィルムを張り付けることで、初期状態において感圧フィルムの両面側から加圧された場合について説明した。これに限らず、感圧フィルムの片面側からのみ加圧した場合であっても良い。例えば、他方の電極側を基台に固定し、一方の電極側を押圧側として、感圧センサを用いることができる。このような場合であっても、感圧センサは、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化するものとなる。   Further, for example, in the above-described embodiment, the case where pressure is applied from both sides of the pressure-sensitive film in the initial state by attaching a pair of flexible films sandwiching the laminate is described. Not only this but the case where it pressurizes only from the single side | surface side of a pressure-sensitive film may be sufficient. For example, a pressure-sensitive sensor can be used with the other electrode side fixed to the base and the one electrode side as the pressing side. Even in such a case, the resistance value of the pressure sensor changes continuously with respect to the change in pressure.

また、例えば、前記実施形態では、感圧センサの外形状を円盤形状とした場合について説明した。これに限らず、感圧センサの外形状を平面視が矩形状、多角形状などの盤形状とした場合であっても良い。このような場合であっても、感圧センサは、圧力の変化に対して抵抗値が連続的に変化するものとなる。   For example, in the above-described embodiment, the case where the outer shape of the pressure-sensitive sensor is a disk shape has been described. However, the present invention is not limited to this, and the outer shape of the pressure-sensitive sensor may be a board shape such as a rectangular shape or a polygonal shape in plan view. Even in such a case, the resistance value of the pressure sensor changes continuously with respect to the change in pressure.

また、例えば、前記実施形態では、感圧フィルムの厚さがベースフィルムの厚さよりも厚い場合について説明した。これに限らず、感圧フィルムの厚さがベースフィルムの厚さ以下であっても良い。感圧フィルムと一対の電極とを含んでなる積層体の厚さが、ベースフィルムの厚さより厚ければ、段差部が構成され、この段差部にならってベースフィルムから一方の電極へ可撓性フィルムを張り付けることができるからである。   For example, in the above-described embodiment, the case where the thickness of the pressure-sensitive film is thicker than the thickness of the base film has been described. Not only this but the thickness of a pressure-sensitive film may be below the thickness of a base film. If the thickness of the laminate comprising the pressure-sensitive film and the pair of electrodes is greater than the thickness of the base film, a step portion is formed, and the flexibility from the base film to one electrode follows this step portion. This is because the film can be attached.

また、例えば、前記実施形態では、開口部を有するベースフィルムを備え、この開口部に感圧フィルムを設けた場合について説明した。これに限らず、ベースフィルムを用いない代わりに、一対の電極よりも感圧フィルム自体の平面積を大きくして、この感圧フィルムの中央部に電極を設け、外周部に可撓性フィルムを接着して、一対の電極の他方に対して一方が近接するように、一方の電極に可撓性フィルムを張り付けても良い。   For example, in the above-described embodiment, a case where a base film having an opening is provided and a pressure-sensitive film is provided in the opening has been described. Not limited to this, instead of using a base film, the plane area of the pressure-sensitive film itself is made larger than the pair of electrodes, an electrode is provided in the center of the pressure-sensitive film, and a flexible film is provided on the outer periphery. A flexible film may be attached to one electrode so that one is close to the other of the pair of electrodes.

また、例えば、前記実施形態では、電極の感圧フィルムと接する面を平坦面とした場合について説明した。これに限らず、感圧フィルムと接する面が感圧フィルム側にドーム状に膨らんで形成とした場合であっても良い。これにより、電極と感圧フィルムとの接触面積が緩やかになり、外部から圧力が加えられた場合、感圧フィルムの抵抗値に含まれて検出される接触抵抗を緩やかに変化させることができる。   For example, in the above-described embodiment, the case where the surface of the electrode in contact with the pressure-sensitive film is a flat surface has been described. However, the present invention is not limited to this, and the surface in contact with the pressure-sensitive film may be formed in a dome shape on the pressure-sensitive film side. As a result, the contact area between the electrode and the pressure-sensitive film becomes gentle, and when a pressure is applied from the outside, the contact resistance included in the resistance value of the pressure-sensitive film can be gradually changed.

１ 感圧センサ
２ 感圧フィルム
３ 電極
３ａ プレート部
３ｂ 突起部
４ 可撓性フィルム
４ａ 開口部
５ ベースフィルム
５ａ 開口部
１１ 段差部
１２ 積層体
１３ パッド
１４ 配線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pressure sensor 2 Pressure sensitive film 3 Electrode 3a Plate part 3b Protrusion part 4 Flexible film 4a Opening part 5 Base film 5a Opening part 11 Step part 12 Laminated body 13 Pad 14 Wiring

Claims (5)

圧力により抵抗値が変化する感圧フィルムと、
前記感圧フィルムを挟む一対の電極と、
前記一対の電極の他方に対して一方が近接するように、前記一方の電極に張り付けられた可撓性フィルムと
を備えており、
前記一対の電極が、前記感圧フィルムを圧縮していることを特徴とする感圧センサ。 A pressure-sensitive film whose resistance value changes with pressure,
A pair of electrodes sandwiching the pressure sensitive film;
A flexible film attached to the one electrode so that one is close to the other of the pair of electrodes,
The pair of electrodes compresses the pressure-sensitive film. 請求項１記載の感圧センサにおいて、
厚さ方向に貫通した開口部を有するベースフィルムを備えており、
前記感圧フィルムと前記一対の電極とを含んで積層体が構成されており、
前記ベースフィルムおよび前記積層体の厚さ方向を一致させて前記ベースフィルムの開口部に前記積層体が設けられており、
前記ベースフィルムと前記一方の電極とで段差部が構成されており、
前記可撓性フィルムが、前記一方の電極から前記ベースフィルムへ前記段差部にならうようにして張り付けられていることを特徴とする感圧センサ。 The pressure-sensitive sensor according to claim 1,
It has a base film with an opening that penetrates in the thickness direction,
A laminate is configured including the pressure-sensitive film and the pair of electrodes,
The base film and the laminated body are provided in the opening of the base film in the same thickness direction of the laminated body,
A step portion is constituted by the base film and the one electrode,
The pressure-sensitive sensor, wherein the flexible film is attached from the one electrode to the base film so as to follow the stepped portion. 請求項１記載の感圧センサにおいて、
前記可撓性フィルムと対をなし、前記一対の電極の一方に対して他方が近接するように、前記他方の電極に張り付けられた可撓性フィルムを備えており、
前記感圧フィルムと前記一対の電極とを含んで積層体が構成されており、
前記一対の可撓性フィルムは、互いに前記積層体の周囲で接し、前記積層体を包むようにして張り付けられていることを特徴とする感圧センサ。 The pressure-sensitive sensor according to claim 1,
A pair is formed with the flexible film, and the flexible film is attached to the other electrode so that the other is close to one of the pair of electrodes.
A laminate is configured including the pressure-sensitive film and the pair of electrodes,
The pair of flexible films are in contact with each other around the laminate and are attached so as to wrap the laminate. 請求項１、２または３記載の感圧センサにおいて、
前記感圧フィルムを圧縮する前記電極は、前記感圧フィルムと接する面と反対側の面に該反対側の面から突起する突起部を有しており、
前記可撓性フィルムは、厚さ方向に貫通した開口部を有しており、
前記可撓性フィルムの開口部には、前記可撓性フィルムから露出するように前記電極の突起部が設けられており、
露出した前記電極の突起部が、配線との接続端子であることを特徴とする感圧センサ。 The pressure-sensitive sensor according to claim 1, 2, or 3,
The electrode for compressing the pressure-sensitive film has a protrusion protruding from the opposite surface on the surface opposite to the surface in contact with the pressure-sensitive film,
The flexible film has an opening that penetrates in the thickness direction,
The opening of the flexible film is provided with a projection of the electrode so as to be exposed from the flexible film,
The exposed protruding portion of the electrode is a connection terminal with a wiring. 請求項４記載の感圧センサにおいて、
露出した前記電極の突起部上に設けられた弾性を有するパッドを備えていることを特徴とする感圧センサ。 The pressure-sensitive sensor according to claim 4,
A pressure-sensitive sensor comprising an elastic pad provided on the exposed protruding portion of the electrode.
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