JP2013080643A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料をプラズマ処理する真空処理室と、前記真空処理室の上面を形成する誘電体窓と、前記真空処理室内にガスを導入するガス導入手段と、前記真空処理室内に配置され前記試料を載置する試料台と、前記誘電体窓の上方に設けられた誘導コイル4dと、誘導コイル4dに高周波電力を供給する高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、誘導コイル4dの下方に配置された平板の導体12を備え、誘導コイル4dは、交差した給電部を有し、導体12は、前記給電部の下方に配置され、誘導コイル4dの給電部の誘導磁場分布を調整して試料上でのプラズマ分布を補正する。
【選択図】図4
Description
1a 誘電体窓
1b 処理容器
2 試料
3 試料台
4、4a、4b、4c、4d 誘導コイル
5 プラズマ
6 ファラデーシールド
7 整合器
8 第1の高周波電源
9 ガス供給装置
10 排気装置
11 第2の高周波電源
12 導体
13a、13b 誘導電流
14 誘導コイル保護カバー
15a、15b ボルト
16 サポート部
17 給電部の交差部
18 一体型ファラデーシールド
Claims (5)
- 試料をプラズマ処理する真空処理室と、前記真空処理室の上面を形成する誘電体窓と、前記真空処理室内にガスを導入するガス導入手段と、前記真空処理室内に配置され前記試料を載置する試料台と、前記誘電体窓の上方に設けられた誘導コイルと、前記誘導コイルに高周波電力を供給する高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記誘導コイルの下方に配置された平板の導体を備え、
前記誘導コイルは、交差した給電部を有し、
前記導体は、前記給電部の下方に配置されたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 試料をプラズマ処理する真空処理室と、前記真空処理室の上面を形成する誘電体窓と、前記真空処理室内にガスを導入するガス導入手段と、前記真空処理室内に配置され前記試料を載置する試料台と、前記誘電体窓の上方に設けられた誘導コイルと、前記誘導コイルに高周波電力を供給する高周波電源と、前記誘導コイルの下方にあり、前記誘導コイルから発生する電場を調整するファラデーシールドとを備えるプラズマ処理装置において、
前記誘導コイルは、交差した給電部を有し、
前記ファラデーシールドは、スリットを有し、前記給電部に対向した箇所のスリットが塞がれた形状であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記真空処理室は接地され、
前記導体は、前記真空処理室と導通していることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記導体は、周回の誘導電流が発生する形状であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記導体は、前記給電部の数に応じた個数であることを特徴とするプラズマ処理装置。
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