JP2013077646A - 静電誘導式発電デバイスのための誘電体薄膜デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】破壊靭性の高いFe合金、Cu合金、TiおよびTi合金を圧電発電装置振動部の基板材料とする。基板11上にAlNおよびその混合物MxAl1-xN(x<0.5、Mは任意の元素)やZnOおよびその混合物MyZn1-yO(y<0.5、Mは任意の元素)を圧電薄膜14として堆積する。こうして得られる薄膜形状振動発電部位の共振周波数は200Hzより低いため、圧電発電装置の発電効率が著しく向上する。
【選択図】図1
Description
圧電発電装置はまさにそのような装置であり、振動によって歪むと電荷が生じる圧電体は、振動エネルギーを電気エネルギーに高効率に変換することができる。その単純な構造と相まって、圧電発電装置は無線センサーノードの電源として期待されている(特許文献1,非特許文献1)。
体積が数立方センチメートル以下になることが予想される無線センサーノードへ圧電発電装置を組み込む場合には、圧電発電装置はミリメートルスケールに小型化される必要がある。このため圧電体は省体積の可能な薄膜形状とし、SiやSrTiO3やMgOなどの基板上に堆積するのが一般的である(特許文献1,非特許文献1〜4)。また圧電発電装置を電源とする場合、環境中に主に含まれる200 Hz以下の振動を効率良く利用する必要がある。このため圧電体薄膜と前述の基板から成る振動部を出来るだけ薄くして、振動部の機械的共振周波数を200 Hz以下に設計し、振動の変位を最大化することでエネルギー変換効率を最大化する研究が進められている。
しかし、前述の基板は硬くもろい材料からできているため、共振周波数を200 Hz以下に低下できるほど薄くすると非常に壊れやすくなる。そのためミリメートルスケールの小型圧電発電装置で200 Hz以下の共振周波数を実現するには至っていない。SiやSrTiO3やMgOなどのもろい基板はまた、自動車や飛行機などが発生する強い衝撃や大きな振動が加えられると圧電発電装置の破壊をもたらすという問題を抱えている。
そこで本発明では前述の基板材料より破壊靭性の高い鉄(Fe)合金、銅(Cu)合金、チタン(Ti)およびチタン合金を基板材料とする。ただし懸念される金属基板と圧電薄膜間での拡散や化学反応を防ぐため、低温合成によって十分な圧電特性を示す圧電薄膜材料が求められる。そこで結晶化温度が500℃以下と比較的低い窒化アルミニウム(AlN)およびその混合物MxAl1-xN (x < 0.5、Mは任意の元素)や酸化亜鉛(ZnO)およびその混合物MyZn1-yO(y < 0.5、Mは任意の元素)を圧電薄膜として金属基板上に堆積することを特徴とする。
図1から図6において14は、有機金属気相成長法または高周波マグネトロンスパッタまたは電子サイクロトロン共鳴スパッタにより金属基板上に堆積した、AlNまたはMxAl1-xNまたはZnOまたはMyZn1-yOから成る圧電薄膜である。図1において14は11の片面に、図2において14は11の両面に堆積している。
図1から図6において15は、任意の堆積法により圧電薄膜上に堆積した集電電極である。図1において15は11の片面に、図2において15は11の両面に堆積している。
圧電薄膜構造を任意の方法で切断して得られる小片を、任意の構造土台に接着等により固定することにより、任意形状の圧電発電装置を作製可能である。図3と図4においては圧電薄膜構造の小片を構造土台に固定した型持ち梁構造圧電発電装置を示す。図5と図6においては圧電薄膜構造の小片を構造土台に固定した両持ち梁構造圧電発電装置を示す。
図3から図6において16は、圧電発電装置に取り付けられた錘であり、発電量を増加させ、なおかつ共振周波数を低下することができる。
振動により圧電薄膜が歪むと、圧電発電装置に取り付けた2本の導線間には交流電圧の電位差が生じる。
複数の圧電発電装置を直列もしくは並列に接続した発電装置群を形成すれば、振動の機械エネルギーを電気エネルギーに変換する効率を向上することができる。
実施の形態のAlN薄膜のX線回折像を図7に示す。AlN(0002)面からの回折ピークのみが観察されることから、AlN薄膜が高いc軸配向性を持つことが分かる。
実施の形態のAlN薄膜の走査電子顕微鏡像を図8に示す。図8よりAlN薄膜は隙間なく高密度に堆積していることが分かる。また基板表面の垂直方向に柱状成長していることが分かる。
実施の形態のAlN薄膜の片面には、厚み200 μmのAl電極が高周波マグネトロンスパッタリングにより体積される。Al堆積中にAlN薄膜上に固定したマスクの開口部形状によりAl電極の形状を制御することができる。
実施の形態の圧電発電装置は、SUS304基板、AlN圧電薄膜、およびAl電極よりなる構造体を切断加工機械で切り分けた長方形の小片の一端を構造土台に固定し、他端に銅製の錘を取り付けた片持ち梁構造体である。図9(a)、(b)はこの圧電発電装置の説明図および光学顕微鏡像である。図12は圧電発電装置の寸法を示す。続いて、実施の形態の振動に対する応答ついて説明する。応答を取り出すため、直径50 μmのAl線をAl電極とSUS304基板に銀ペーストで取り付けた。圧電発電装置を加振機に固定し、任意の加速度と振動数を持つ振動を加えた。図10は圧電発電装置を加速度0.2 gで振動させた場合に得られるピーク電圧の周波数応答図である。共振周波数74.1 Hzでピーク電圧2.10 Vが得られることが分かる。
図11は実施の形態の圧電発電装置に0.7 MΩの不可抵抗を接続し、加速度1 gで振動させた場合に得られるピーク電圧の時間応答図である。ピーク電圧5.36 Vが得られることから、このときの出力は5.13 μWであることが分かる。
14 圧電体薄膜
15 電極
16 錘
17 圧電発電装置を支える構造土台
SUS ステンレス鋼
ECR電子サイクロトロン共鳴
Claims (4)
- 板状金属基板の上に堆積した圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜の上に堆積した電極と、前記板状金属基板および電極に取り付けた導線とを備え、振動すると前記圧電体薄膜が歪み前記板状金属基板と電極の間に電圧を生じることを特徴とする圧電発電装置。
- 圧電体薄膜の材料が窒化アルミニウム(AlN)及びその混合物MxAl1-xN(x < 0.5、Mは任意の元素)または酸化亜鉛(ZnO)およびその混合物MyZn1-yO(y < 0.5、Mは任意の元素)であることを特徴とする請求項1記載の圧電発電装置。
- 板状金属基板が鉄(Fe)合金または銅(Cu)合金またはチタン(Ti)またはチタン合金であることを特徴とする請求項1および2記載の圧電発電装置。
- 複数の圧電発電装置が導線で直接または並列に接続された一群であることを特徴とする請求項1、2、および3記載の圧電発電装置。
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