JP2013073909A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体バリア放電によって発光するエキシマランプにおいて、エキシマランプ10の発光管20内部に内側電極40を配置させ、発光管20の外部に、網状構造の外側電極30を配置する。外側電極30は、接触部S1、S2において発光管20と接触し、発光管20と外側電極30との間に絶縁空間(非放電領域)60A、60Bが形成されるように、その断面形状が楕円状に形成される。
【選択図】図2
Description
20 発光管
30 外側電極
40 内側電極
50 放電空間
60A、60B 絶縁空間
Claims (13)
- 発光管と、
前記発光管の外側に軸方向に沿って配置され、前記発光管を囲む外側電極と、
前記発光管の内側に配置される内側電極とを備え、
前記内側電極と前記外側電極との間の径方向静電容量が、周方向に沿って不均一であり、
相対的に静電容量の大きい電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記内側電極と前記外側電極との間の径方向静電容量が、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて小さくなることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記内側電極と前記外側電極との間に生じる電界が、周方向に沿って不均一であり、
相対的に電界の強い電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。 - 前記内側電極と前記外側電極との間の径方向距離が、周方向に沿って不均一であり、
相対的に距離の短い電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のエキシマランプ。 - 前記内側電極と前記外側電極との間の距離が、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて長くなることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極が、前記発光管に接触する接触部と、前記発光管に接触しない非接触部とを有し、
前記発光管と前記外側電極の非接触部との間に非放電領域が形成されていることを特徴とする請求項4乃至5のいずれかに記載のエキシマランプ。 - 前記外側電極が、前記接触部において前記発光管に支持されていることを特徴とする請求項6に記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極が、前記発光管に接触せずに近接する近接部と、前記近接部よりも相対的に静電容量の小さい非近接部とを有し、
前記発光管と前記外側電極の非近接部との間に非放電領域が形成されていることを特徴とする請求項4乃至5のいずれかに記載のエキシマランプ。 - 前記外側電極が、軸に対して対称的な断面形状を有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極が、円状、扁平形状、もしくは多角形状の断面を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 前記外側電極が、前記発光管を囲う網状電極であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のエキシマランプ。
- 請求項1に記載されたエキシマランプを点灯させる点灯方法であって、
所定の周波数をもつ交流電圧を、前記内側電極と前記外側電極との間に印加させる
ことを特徴とするエキシマランプの点灯方法。 - 発光管の外側表面に、軸方向および径方向に伸縮可能な円筒状網状電極を装着し、
前記網状電極の断面形状が、前記発光管との非接触部を有する扁平形状もしくは多角形状となるように、前記網状電極を形成することを特徴とするエキシマランプの製造方法。
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