JP2013061530A5 - - Google Patents

Description

本発明の反射屈折光学系は、物体の中間像を形成する反射屈折部と、前記中間像が形成される位置に配置されたフィールドレンズ部と、前記中間像を結像する屈折部と、を備え、前記反射屈折部は、物体側から順に第１及び第２の光学素子を有し、前記第１の光学素子は、光軸側から周辺側に向けて順に、物体側の面が凸形状で正の屈折力の第１の光透過部と、物体側の面が反射面である第１の裏面反射部と、を含み、前記第２の光学素子は、光軸側から周辺側に向けて順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状で負の屈折力の第２の光透過部と、像側の面が反射面である第２の裏面反射部と、を含み、前記物体からの光束は、前記第１の光透過部、前記第２の裏面反射部、前記第１の裏面反射部、前記第２の光透過部、を順に介して前記フィールドレンズ部に入射しており、前記第２の光学素子の物体側及び像側の面の曲率半径を各々ＲＭ２ａ及びＲＭ２ｂ、前記第２の光学素子の光軸上での厚さをｔ、前記第２の光学素子の材料の波長５８７．６ｎｍでの屈折率をＮｄ、とし、

Claims (6)

1. 物体の中間像を形成する反射屈折部と、前記中間像が形成される位置に配置されたフィールドレンズ部と、前記中間像を結像する屈折部と、を備える反射屈折光学系であって、
   前記反射屈折部は、物体側から順に第１及び第２の光学素子を有し、
   前記第１の光学素子は、光軸側から周辺側に向けて順に、物体側の面が凸形状で正の屈折力の第１の光透過部と、物体側の面が反射面である第１の裏面反射部と、を含み、
   前記第２の光学素子は、光軸側から周辺側に向けて順に、物体側に凹面を向けたメニスカス形状で負の屈折力の第２の光透過部と、像側の面が反射面である第２の裏面反射部と、を含み、
   前記物体からの光束は、前記第１の光透過部、前記第２の裏面反射部、前記第１の裏面反射部、前記第２の光透過部、を順に介して前記フィールドレンズ部に入射しており、
   前記第２の光学素子の物体側及び像側の面の曲率半径を各々ＲＭ２ａ及びＲＭ２ｂ、前記第２の光学素子の光軸上での厚さをｔ、前記第２の光学素子の材料の波長５８７．６ｎｍでの屈折率をＮｄ、とし、
   

   

   
   とおいたとき、
   Ｒａｐｌ×０．８＜｜ＲＭ２ａ｜＜Ｒａｐｌ×１．２
   なる条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。
2. 前記第２の光学素子の材料のアッベ数をνＭ２とするとき、
   νＭ２＞４０
   なる条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の反射屈折光学系。
3. 前記第２の裏面反射部の反射面は、非球面形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射屈折光学系。
4. 両側テレセントリック光学系であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
5. 前記反射屈折部は、前記第１及び第２の光学素子の間に配置される開口絞り有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
6. 前記物体を照明する照明光学系と、前記物体を結像する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の反射屈折光学系と、該反射屈折光学系により形成された物体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子からの信号を用いて画像情報を生成する画像処理系と、を備えることを特徴とする撮像装置。