JP2013058363A - 電子顕微鏡の観察方法及び電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡の観察方法及び電子顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013058363A JP2013058363A JP2011195446A JP2011195446A JP2013058363A JP 2013058363 A JP2013058363 A JP 2013058363A JP 2011195446 A JP2011195446 A JP 2011195446A JP 2011195446 A JP2011195446 A JP 2011195446A JP 2013058363 A JP2013058363 A JP 2013058363A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- image
- sample
- electron beam
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記検出器を移動させる工程と、を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法により上記課題を解決する。
【選択図】 図11
Description
本実施の形態における電子顕微鏡について図6に基づき説明する。本実施の形態における電子顕微鏡は、走査透過型電子顕微鏡である。本実施の形態における電子顕微鏡は、電子銃111、収束レンズ112及び113、収束レンズ絞り114、走査コイル115、収差補正部116、対物レンズ117、投影レンズ118、偏向レンズ119、上部STEM検出器120、上部電子線位置検出器121、下部STEM検出器122、下部電子線位置検出器123を有している。
次に、本実施の形態における電子顕微鏡の観察位置の調整方法について説明する。図8は、Si(001)を観察した際に得られたBF−STEM像を示すものである。具体的には、図8は、図9に示すように、円形状検出器122aが最適となる位置と、円形状検出器122aが最適となる位置に対し8方向に10mradずれた位置におけるBF−STEM像を示す。即ち、図8(a)は、円形状検出器122aが最適となる位置において観察されるSi原子像を示す。また、図8(b)〜(i)は、円形状検出器122aが最適となる位置に対し、図面において、円形状検出器122aが左上、上、右上、右、右下、下、左下、左、左上の8方向に各々10mradずれている位置において観察されるSi原子像を示す。
次に、図11に基づき本実施の形態における電子顕微鏡の観察方法について説明する。
(付記1)
電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、
前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、
前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、
算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記検出器を移動させる工程と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法。
(付記2)
前記試料の画像を取得する工程、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程、前記検出器を移動させる工程は、前記算出されたずれ量が所定の値以下となるまで繰り返し行なうものであることを特徴とする付記1に記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記3)
電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を、偏向レンズを介した後、検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、
前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、
前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、
算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記偏向レンズにより電子線を偏向させる工程と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法。
(付記4)
前記試料の画像を取得する工程、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程、前記偏向レンズにより電子線を偏向させる工程は、前記算出されたずれ量が所定の値以下となるまで繰り返し行なうものであることを特徴とする付記3に記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記5)
前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像は、前記検出器が各々4方向にずれた状態において観察される画像、または、前記検出器が各々8方向にずれた状態において観察される画像であって、
前記各々の方向における所定のずれ量ごとにずれた位置において、検出器により観察される画像であることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記6)
前記検出器は、円形状検出器または環状型検出器であることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記7)
前記試料は、単結晶であることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記8)
前記試料に照射される電子線は、前記試料に対しアンダーフォーカスとなるように照射されるものであることを特徴とする付記1から7のいずれかに記載の電子顕微鏡の観察方法。
(付記9)
試料に電子線を照射する電子銃と、
前記試料を透過または散乱した電子線を検出する検出器と、
前記検出器を移動させる移動機構部と、
前記検出器により得られた画像に基づき前記移動機構を制御し、前記検出器を移動させる制御部と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡。
(付記10)
前記制御部には、前記検出器の位置がずれている状態において観察される画像が複数記憶されている記憶部が接続されており、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている画像の位置情報に基づき前記検出器の移動方向及び移動距離を算出し、前記検出器を移動させるものであることを特徴とする付記9に記載の電子顕微鏡。
(付記11)
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている画像のうち、前記試料を観察した際に前記検出器において得られる画像と最も近い画像を選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の移動方向及び移動距離を算出するものであることを特徴とする付記10に記載の電子顕微鏡。
(付記12)
試料に電子線を照射する電子銃と、
前記試料を透過または散乱した電子線を検出する検出器と、
前記検出器に入射する電子線の位置を制御する偏向レンズと、
前記検出器を移動させる移動機構部と、
前記検出器により得られた画像に基づき前記偏向レンズを制御する制御部と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡。
(付記13)
前記制御部には、前記検出器の位置がずれている状態において観察される画像が複数記憶されている記憶部が接続されており、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている画像に基づき前記偏向レンズによる電子線の偏向方向及び偏向距離を算出し、前記偏向レンズにおいて電子線を偏向させるものであることを特徴とする付記12に記載の電子顕微鏡。
(付記14)
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている画像のうち、前記試料を観察した際に前記検出器において得られる画像と最も近い画像を選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記偏向レンズにおける電子線の偏向方向及び偏向距離を算出するものであることを特徴とする付記13に記載の電子顕微鏡。
(付記15)
前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像は、前記検出器が各々4方向にずれた状態において観察される画像、または、前記検出器が各々8方向にずれた状態において観察される画像であって、
前記各々の方向における所定のずれ量ごとにずれた位置において、検出器により観察される画像であることを特徴とする付記10、11、13、14のいずれかに記載の電子顕微鏡。
(付記16)
前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像は、前記検出器の位置がずれた状態において観察される画像を撮像したもの、または、前記試料の構造に基づきシミュレーションにより得られた画像であることを特徴とする付記10、11、13、14、15のいずれかに記載の電子顕微鏡。
(付記17)
前記検出器は、円形状検出器または環状型検出器であることを特徴とする付記9から16のいずれかに記載の電子顕微鏡。
(付記18)
前記検出器は、複数設けられており、
前記複数設けられている検出器には、円形状検出器と環状型検出器とが含まれていることを特徴とする付記9から16のいずれかに記載の電子顕微鏡。
111 電子銃
112 収束レンズ
113 収束レンズ
114 収束レンズ絞り
115 走査コイル
116 収差補正部
117 対物レンズ
118 投影レンズ
119 偏向レンズ
120 上部STEM検出器(環状型検出器)
121 上部電子線位置検出器
122 下部STEM検出器
122a 円形型検出器
122b 環状型検出器
123 下部電子線位置検出器
130 制御部
140 記憶部
151 移動機構部
152 移動機構部
Claims (6)
- 電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、
前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、
前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、
算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記検出器を移動させる工程と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法。 - 前記試料の画像を取得する工程、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程、前記検出器を移動させる工程は、前記算出されたずれ量が所定の値以下となるまで繰り返し行なうものであることを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡の観察方法。
- 電子線を試料に照射し、前記試料を透過または散乱した電子線を、偏向レンズを介した後、検出器において検出し、前記試料を観察する電子顕微鏡の観察方法において、
前記検出器により前記試料の画像を取得する工程と、
前記取得された画像に最も近い画像を、前記検出器の位置がずれた状態において観察される複数の画像より選択し、前記選択された画像の位置情報に基づき、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程と、
算出された前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量に基づき、前記偏向レンズにより電子線を偏向させる工程と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡の観察方法。 - 前記試料の画像を取得する工程、前記検出器の位置のずれている方向及びずれ量を算出する工程、前記偏向レンズにより電子線を偏向させる工程は、前記算出されたずれ量が所定の値以下となるまで繰り返し行なうものであることを特徴とする請求項3に記載の電子顕微鏡の観察方法。
- 試料に電子線を照射する電子銃と、
前記試料を透過または散乱した電子線を検出する検出器と、
前記検出器を移動させる移動機構部と、
前記検出器により得られた画像に基づき前記移動機構を制御し、前記検出器を移動させる制御部と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 前記制御部には、前記検出器の位置がずれている状態において観察される画像が複数記憶されている記憶部が接続されており、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている画像の位置情報に基づき前記検出器の移動方向及び移動距離を算出し、前記検出器を移動させるものであることを特徴とする請求項5に記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011195446A JP5817360B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | 走査透過型電子顕微鏡の観察方法及び走査透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011195446A JP5817360B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | 走査透過型電子顕微鏡の観察方法及び走査透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013058363A true JP2013058363A (ja) | 2013-03-28 |
JP5817360B2 JP5817360B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=48134068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011195446A Active JP5817360B2 (ja) | 2011-09-07 | 2011-09-07 | 走査透過型電子顕微鏡の観察方法及び走査透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5817360B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016051522A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-11 | 富士通株式会社 | 走査透過型電子顕微鏡像の取得方法及び走査透過型電子顕微鏡 |
JP2017054607A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子装置および測定方法 |
EP4148766A1 (en) | 2021-09-08 | 2023-03-15 | Jeol Ltd. | Charged particle beam device and image generation method |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11024481B2 (en) | 2016-03-04 | 2021-06-01 | Fei Company | Scanning electron microscope |
NL2016367B1 (en) * | 2016-03-04 | 2017-09-19 | Phenom-World Holding B V | Scanning electron microscope |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0997584A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shimadzu Corp | 電子線回折装置 |
JP2006196236A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡及び観察方法 |
-
2011
- 2011-09-07 JP JP2011195446A patent/JP5817360B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0997584A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shimadzu Corp | 電子線回折装置 |
JP2006196236A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡及び観察方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016051522A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-11 | 富士通株式会社 | 走査透過型電子顕微鏡像の取得方法及び走査透過型電子顕微鏡 |
JP2017054607A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子装置および測定方法 |
EP4148766A1 (en) | 2021-09-08 | 2023-03-15 | Jeol Ltd. | Charged particle beam device and image generation method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5817360B2 (ja) | 2015-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7683320B2 (en) | Transmission electron microscope | |
CN105280464B (zh) | 操作粒子光学单元的粒子束系统和方法 | |
WO2014188882A1 (ja) | 荷電粒子線応用装置 | |
JP4553889B2 (ja) | 粒子光学レンズの収差関数における収差係数の決定方法 | |
US9040911B2 (en) | Scanning electron microscope | |
JP4679978B2 (ja) | 荷電粒子ビーム応用装置 | |
EP2639814B1 (en) | Charged particle optical equipment and method for measuring lens aberration | |
US10014153B2 (en) | Electron microscope and method of aberration measurement | |
US20060043293A1 (en) | Charged particle beam adjustment method and apparatus | |
US9136087B2 (en) | Method of investigating and correcting aberrations in a charged-particle lens system | |
JP5817360B2 (ja) | 走査透過型電子顕微鏡の観察方法及び走査透過型電子顕微鏡 | |
CN110546732B (zh) | 电子显微镜中测量和控制像差 | |
WO2015015985A1 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における収差測定法 | |
US10134558B2 (en) | Scanning electron microscope | |
JP2017220413A (ja) | 荷電粒子線装置および収差補正方法 | |
JP2006173027A (ja) | 走査透過電子顕微鏡、及び収差測定方法、ならびに収差補正方法 | |
US10636622B2 (en) | Scanning transmission electron microscope | |
JP5777984B2 (ja) | 多極子測定装置 | |
JP5228463B2 (ja) | 電子線装置、電子線形状測定方法及び画像処理方法 | |
JP7285871B2 (ja) | 走査透過電子顕微鏡および光学系の調整方法 | |
JP2016009622A (ja) | 電子顕微鏡における検出器の位置調整方法及び画像検出器の位置調整方法 | |
CN114846574A (zh) | 对带电粒子束进行轮廓分析的系统和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140508 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150901 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5817360 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |