JP2013048679A - 洗浄用ブラシ - Google Patents
洗浄用ブラシ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013048679A JP2013048679A JP2011187418A JP2011187418A JP2013048679A JP 2013048679 A JP2013048679 A JP 2013048679A JP 2011187418 A JP2011187418 A JP 2011187418A JP 2011187418 A JP2011187418 A JP 2011187418A JP 2013048679 A JP2013048679 A JP 2013048679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush
- resin
- cleaning
- bundle
- brush body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 29
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 claims description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 2
- 150000001455 metallic ions Chemical class 0.000 abstract 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 8
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 210000004209 hair Anatomy 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Brushes (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】洗浄ブラシにおいて、洗浄工程における金属イオンの排出を抑え、しかもブラシ束を強固にブラシ本体に固定することができるようにする。
【解決手段】この洗浄用ブラシ1は、半導体部品等を洗浄するためのブラシであって、ブラシ本体2と、ブラシ束3と、埋込部材4と、を備えている。ブラシ本体2の表面には複数の植毛用穴2aが形成されている。ブラシ束3はブラシ本体2の複数の植毛用穴2aのそれぞれに装着された複数のブラシ毛からなる。埋込部材4は、外周面に樹脂が被覆された金属製部材からなり、ブラシ本体2の植毛用穴2aに圧入されてブラシ束3を植毛用穴2aに固定する。
【選択図】図3
【解決手段】この洗浄用ブラシ1は、半導体部品等を洗浄するためのブラシであって、ブラシ本体2と、ブラシ束3と、埋込部材4と、を備えている。ブラシ本体2の表面には複数の植毛用穴2aが形成されている。ブラシ束3はブラシ本体2の複数の植毛用穴2aのそれぞれに装着された複数のブラシ毛からなる。埋込部材4は、外周面に樹脂が被覆された金属製部材からなり、ブラシ本体2の植毛用穴2aに圧入されてブラシ束3を植毛用穴2aに固定する。
【選択図】図3
Description
本発明は、洗浄用ブラシ、特に、半導体部品等を洗浄するための洗浄用ブラシに関する。
ウェハ等の半導体部品を洗浄するために洗浄用ブラシが用いられている。洗浄用ブラシは、一般的に、ブラシ本体と、ブラシ本体に形成された穴に植毛された複数のブラシ束と、を備えている。複数のブラシ束のそれぞれは、複数のブラシ毛からなり、線材や板材からなる埋込部材を用いてブラシ本体の穴に圧入されている。
ここで、従来の洗浄用ブラシでは、埋込部材はステンレスや鉄等の金属製材料によって形成されている。これは、埋込部材をブラシ本体の穴に圧入する際に、ブラシ本体にしっかりと食い込むようにするためである。
しかし、金属製の埋込部材を用いると、基板洗浄時に使用される洗浄液等によって、埋込部材の金属がイオン化し、排出液中に金属イオンが混入することになる。このため、金属イオンによって洗浄タンクが汚染され、高品質の洗浄を行うことができない。
そこで、特許文献1に示されるように、埋込部材を樹脂によって形成した洗浄用ブラシが提案されている。
特許文献1に示された洗浄用ブラシでは、埋込部材を含めてすべての構成部材が樹脂で形成されるために、洗浄工程において金属イオンが排出されることはない。
しかし、埋込部材を樹脂で形成すると、埋込部材の剛性が低いので、ブラシ束及び埋込部材をブラシ本体の穴に圧入する際に、埋込部材が大きく変形してしまう。このように、埋込部材の変形が大きいと、埋込部材が穴に十分に食い込まず、埋込部材及びブラシ束をしっかりとブラシ本体に固定することができない。
本発明の課題は、洗浄工程における金属イオンの排出を抑え、しかもブラシ束を強固にブラシ本体に固定することができるようにすることにある。
第1発明に係る洗浄用ブラシは、ブラシ本体と、ブラシ束と、ブラシ束固定部材と、を備えている。ブラシ本体は少なくとも一方の表面に複数の植毛用の穴が形成されている。ブラシ束はブラシ本体の複数の植毛用穴のそれぞれに装着された複数のブラシ毛からなる。ブラシ束固定部材は、少なくとも外周面に樹脂が被覆された金属製部材からなり、ブラシ本体の植毛用穴に圧入されてブラシ束を植毛用穴に固定する。
この洗浄用ブラシでは、ブラシ束固定部材の本体は金属で形成されているために、ブラシ束固定部材を植毛用穴に圧入した際に、ブラシ束固定部材を植毛用穴の壁にしっかりと食い込ませることができる。このため、ブラシ束をブラシ本体の穴に強固に固定できる。一方、ブラシ束固定部材の少なくとも外周面には樹脂が被覆されているので、洗浄工程時にブラシ束固定部材の外周面のイオン化が抑えられる。
第2発明に係る洗浄用ブラシは、第1発明の洗浄用ブラシにおいて、ブラシ束固定部材の金属製部材は断面円形の線材である。
ここでは、ブラシ束固定部材の金属製部材が断面円形の線材であるために、外表面に樹脂を被覆する場合に被覆が容易であり、被覆漏れ等を抑えることができる。
第3発明に係る洗浄用ブラシは、第1又は第2発明の洗浄用ブラシにおいて、ブラシ束固定部材の金属製部材は、ステンレス、アルミニウム、真鍮、及び銅のいずれかから選択された材料で形成されている。
第4発明に係る洗浄用ブラシは、第1から第3発明のいずれかの洗浄用ブラシにおいて、ブラシ束固定部材の金属製部材に被覆された樹脂は、フッ素系樹脂、塩化ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂、及びポリオレフィン系樹脂のいずれかから選択された樹脂である。
第5発明に係る洗浄用ブラシは、第1から第4発明のいずれかの洗浄用ブラシにおいて、ブラシ本体はポリオレフィン系樹脂で形成されている。
以上のような本発明では、ブラシ束固定部材は金属製部材で構成されているので、ブラシ束を強固にブラシ本体に固定することができる。また、金属製部材の外周面が樹脂により被覆されているので、洗浄工程における金属イオンの排出を抑えることができる。
図1は本発明の一実施形態による洗浄用ブラシの外観図である。この洗浄用ブラシ1は、円形のブラシ本体2と、複数のブラシ束3と、ブラシ束固定部材としての埋込部材4(図2及び図3参照)と、を備えている。
ブラシ本体2はポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン系の樹脂によって成形されている。ブラシ本体2は、所定の厚みを有しており、表面には、図2及び図3に示すように、所定の深さの複数の植毛用の穴2aが形成されている。植毛用穴2aは円形に形成され、この実施形態では貫通していない。
複数のブラシ束3のそれぞれは、ブラシ本体2の植毛用穴2aに埋め込まれている。各ブラシ束3は、ナイロンやポリプロピレン等の樹脂により形成された複数のブラシ毛が束ねられて形成されている。
埋込部材4は、各ブラシ束3を植毛用穴2a内に埋め込んで固定するための部材である。この埋込部材4は、金属製の断面円形の線材の外周面に樹脂を被覆し、所定の長さに切断して形成されたものである。線材としては、ステンレス、アルミニウム、真鍮、銅を用いるのが好ましい。また、線材の表面に被覆する樹脂としては、フッ素系樹脂、塩化ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリプロピレン及びポリエチレン等のポリオレフィン系樹脂を用いるのが好ましい。
次に、図2及び図3により、ブラシ束3をブラシ本体2の植毛用穴2aに固定する方法について説明する。なお、図2はブラシ束3を植毛用穴2aに固定する前の状態である。
まず、図2に示すように、ブラシ束3をU字状に折り曲げ、この折り曲げられた部分3aの内側(図2において折り曲げ部分3aの上部)に埋込部材4を押し当てる。なお、埋込部材4は、植毛用穴2aの内径よりも長い長さに切断されている。そして、この折り曲げられた部分3aと埋込部材4とを植毛用穴2aに押し込む。このとき、埋込部材4は植毛用穴2aの内径よりも長いので、埋込部材4は湾曲しながら、両端が植毛用aの内壁に食い込むようにして圧入される。この圧入を続けると、ブラシ束3の折り曲げ部分3aが植毛用穴2aの底面に達し、図3に示すような状態で止まる。
以上のような状態では、埋込部材4の両端が植毛用穴2aの内壁に食い込んでいるので、ブラシ束3が植毛用穴2aから抜け出ることはない。このようにして、ブラシ束3は植毛用穴2aに強固に固定される。
このような洗浄ブラシ1では、埋込部材4の線材を除くすべての構成部材が樹脂により形成されている。また、埋込部材4の線材の外周面は樹脂で被覆されている。このため、洗浄工程中において、洗浄液による金属イオンの溶け出しを抑えることができる。なお、埋込部材4の両端面(形成時の切断面)は、樹脂が被覆されていないが、この両端面は埋込部材4の全表面積に対して非常に小さい割合であるので、従来の金属製の埋込部材に比較して金属イオンの発生を大幅に少なくすることができる。しかも、埋込部材4の両端面は植毛用穴2aの内壁に食い込んでいるので、この両端面からの金属イオンの溶け出しは少ない。
[他の実施形態]
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
(a)埋込部材4の線材及び被覆樹脂の材料、ブラシ本体2の材料、ブラシ毛の材料については、前記実施形態に限定されるものではない。
(b)埋込部材4の線材について、前記実施形態では断面円形の線材を用いたが、断面矩形の部材を用いてもよい。
(c)前記実施形態では、埋込部材の両端面は被覆していないが、埋込部材を所定の長さに切断した後に、埋込部材の全表面を樹脂で被覆するようにしてもよい。
(d)前記実施形態では、ブラシ本体の一方の表面にのみ植毛用穴を形成し、ブラシ束を固定したが、ブラシ本体の両面に植毛用穴を形成してブラシ束を固定するようにしてもよい。
1 洗浄用ブラシ
2 ブラシ本体
2a 植毛用穴
3 ブラシ束
4 埋込部材
2 ブラシ本体
2a 植毛用穴
3 ブラシ束
4 埋込部材
Claims (5)
- 少なくとも一方の表面に複数の植毛用の穴が形成されたブラシ本体と、
前記ブラシ本体の複数の植毛用穴のそれぞれに装着された複数のブラシ毛からなるブラシ束と、
少なくとも外周面に樹脂が被覆された金属製部材からなり、前記ブラシ本体の植毛用穴に圧入されて前記ブラシ束を前記植毛用穴に固定するブラシ束固定部材と、
を備えた洗浄用ブラシ。 - 前記ブラシ束固定部材の金属製部材は断面円形の線材である、請求項1に記載の洗浄用ブラシ。
- 前記ブラシ束固定部材の金属製部材は、ステンレス、アルミニウム、真鍮、及び銅のいずれかから選択された材料で形成されている、請求項1又は2に記載の洗浄用ブラシ。
- 前記ブラシ固定部材の金属製部材に被覆された樹脂は、フッ素系樹脂、塩化ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂、及びポリオレフィン系樹脂のいずれかから選択された樹脂である、請求項1から3のいずれかに記載の洗浄用ブラシ。
- 前記ブラシ本体はポリオレフィン系樹脂で形成されている、請求項1から4のいずれかに記載の洗浄用ブラシ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011187418A JP2013048679A (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | 洗浄用ブラシ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011187418A JP2013048679A (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | 洗浄用ブラシ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013048679A true JP2013048679A (ja) | 2013-03-14 |
Family
ID=48011291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011187418A Pending JP2013048679A (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | 洗浄用ブラシ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013048679A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0617525U (ja) * | 1992-03-23 | 1994-03-08 | 金平 横田 | 清掃用ブラシ |
JP2000045457A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-15 | Dyckerhoff & Widmann Ag | 腐食防止された鋼引っ張り部材 |
JP2001029134A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | U T K Syst:Kk | 洗浄用ブラシ |
JP3079857U (ja) * | 2001-02-27 | 2001-08-31 | 金雄 菊池 | 展示装置 |
JP2008196102A (ja) * | 2008-03-18 | 2008-08-28 | Yonezu Brush Kk | 炭素繊維束の製造方法及びブラシの製造方法 |
WO2009078463A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Lion Corporation | 歯ブラシ |
-
2011
- 2011-08-30 JP JP2011187418A patent/JP2013048679A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0617525U (ja) * | 1992-03-23 | 1994-03-08 | 金平 横田 | 清掃用ブラシ |
JP2000045457A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-15 | Dyckerhoff & Widmann Ag | 腐食防止された鋼引っ張り部材 |
JP2001029134A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | U T K Syst:Kk | 洗浄用ブラシ |
JP3079857U (ja) * | 2001-02-27 | 2001-08-31 | 金雄 菊池 | 展示装置 |
WO2009078463A1 (ja) * | 2007-12-18 | 2009-06-25 | Lion Corporation | 歯ブラシ |
JP2008196102A (ja) * | 2008-03-18 | 2008-08-28 | Yonezu Brush Kk | 炭素繊維束の製造方法及びブラシの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20150282601A1 (en) | Interdental cleaner | |
JP2009529612A (ja) | 歯ブラシ用マルチフィラメントブリストル | |
RU2008101372A (ru) | Щетка для волос | |
JP2013048679A (ja) | 洗浄用ブラシ | |
WO2016152434A1 (ja) | 電磁シールド部材 | |
US20140304933A1 (en) | Anti-loose interdental brush | |
US9723957B2 (en) | Scrubbing device for attachment to a bar of soap | |
US20170215566A1 (en) | Cosmetic brush | |
US10918197B2 (en) | Cleaning device | |
JP5305434B2 (ja) | 液塗布具 | |
JP2018192235A (ja) | 複数種類の刷毛を有する帯状ブラシ | |
JP3202995U (ja) | 摺洗具 | |
JP2007146277A (ja) | 電着ドラム | |
JP2016002605A (ja) | セグメントブラシ | |
JP2008148903A (ja) | ハケ | |
JP2011115905A (ja) | バリ取りブラシ | |
JP6468276B2 (ja) | 端子付電線およびその製造方法 | |
KR100820745B1 (ko) | 소형 가공물 표면 처리용 지그 유니트 | |
KR200420524Y1 (ko) | 치간 칫솔모 | |
JP6683439B2 (ja) | 刷毛 | |
JP2015226606A (ja) | 加工用ブラシ | |
JP4714454B2 (ja) | 引っ掛け治具及び金属回収方法 | |
KR20150001298U (ko) | 화장용 브러시 거치대 | |
DK2127555T3 (da) | Plastbelagte børstehår til rengøringsbørster | |
JP2010088565A (ja) | ブラシロール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130705 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130813 |