JP2013043362A - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing apparatus and a screen printing method, capable of highly accurately detecting the remaining state of paste on a mask plate.SOLUTION: Brackets 19 are disposed to a frame 14 to be positioned to the outside on each side of a squeegee member 17 when seen from a squeezing operation direction. A projector 20A is held by a lower end part of one bracket 19, and a light receiver 20B is held by a lower end of the other bracket 19. When the light receiver 20B receives inspection light from the projector 20A at predetermined timing in ascending operation of the squeegee member 17, a display part 36 displays a notification image indicating that an amount of a cream solder P on the mask plate 12 is small, by a command from a notification processing part 34. Therefore, adhesion of the cream solder P to the projector 20A or the light receiver 20B is suppressed to enhance reliability in detection of the remaining state of cream solder P.

Description

本発明は、基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing apparatus and a screen printing method for printing a paste on a substrate.

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田等のペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させるスキージング動作を行うことによって、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。   In an electronic component mounting process, screen printing is used as a method for printing paste such as cream solder on a substrate. In this method, the pattern hole is formed by performing a squeegeeing operation in which a substrate is brought into contact with a mask plate provided with a pattern hole in accordance with a printing target portion, a paste is supplied onto the mask plate, and a squeegee is slid. The paste is printed on the substrate.

印刷作業を繰り返すことによってマスクプレート上のペーストの量は次第に減少するが、このペーストの量を確認するため、スキージに取りつけられたセンサーによりペーストの残留状態を検出する機能を備えたスクリーン印刷装置が知られている(例えば特許文献1を参照)。これにより、当該センサーによってペーストの残留状態を検出してスキージの押し込みストローク等の印刷条件を適正に設定し、またペーストの量が少ないと判断したならば新たにペーストを補充する等の措置をとることができる。   By repeating the printing operation, the amount of paste on the mask plate gradually decreases, but in order to check the amount of this paste, a screen printing apparatus having a function of detecting the residual state of the paste by a sensor attached to the squeegee It is known (see, for example, Patent Document 1). As a result, the remaining state of the paste is detected by the sensor, and the printing conditions such as the squeegee push-in stroke are properly set. If it is determined that the amount of the paste is small, a new paste is replenished. be able to.

特許第3444625号Japanese Patent No. 3444625

しかしながら、上述の特許文献を含めセンサーをスキージに設ける構成の従来技術では、検出対象のペーストとセンサーとの距離が近くなるため、スキージング動作においてペーストがセンサーに付着し易く、その結果、ペーストの残留状態の検出の信頼性が低下するという問題点があった。   However, in the prior art in which the sensor is provided in the squeegee including the above-mentioned patent document, the distance between the paste to be detected and the sensor is close, so that the paste easily adheres to the sensor in the squeezing operation. There is a problem that the reliability of detection of the residual state is lowered.

そこで本発明は、マスクプレート上におけるペーストの残留状態を精度良く検出することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus and a screen printing method that can accurately detect the residual state of paste on a mask plate.

請求項1記載の本発明は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材をスキージ移動手段によって摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記スキージ部材が装着されたスキージホルダと、前記マスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームに配設され前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えた。   In the first aspect of the present invention, the substrate is brought into contact with the mask plate provided with the pattern holes, and the plate-like squeegee member is slid by the squeegee moving means on the mask plate supplied with the paste. A screen printing apparatus for printing the paste on the substrate through the pattern hole, a squeegee holder to which the squeegee member is mounted, an elevating unit for elevating the squeegee holder with respect to the mask plate, and the elevating And a frame that is moved by the squeegee moving unit, and a detecting unit that detects a residual state of the paste that is disposed on the frame and scraped by the squeegee member on the mask plate.

請求項3記載の本発明は、スキージ部材が装着されたスキージホルダと、パターン孔が設けられたマスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージ移動手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームとともに移動して前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えたスクリーン印刷装置を用いて、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージング動作を行うことにより、前記パターン孔を介して前記マスクプレートに当接した基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スキージング動作を終えた前記スキージ部材の前記昇降手段による上昇動作における所定のタイミングにて、前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a squeegee holder on which a squeegee member is mounted, lifting means for moving the squeegee holder up and down relative to a mask plate provided with a pattern hole, and sliding the squeegee member on the mask plate. A squeegee moving means to be moved; a frame in which the elevating means is arranged and moved by the squeegee moving means; and a residual state of the paste moved by the squeegee member on the mask plate by moving together with the frame. The paste is applied to the substrate that is in contact with the mask plate through the pattern hole by performing a squeegeeing operation in which the squeegee member is slid on the mask plate using a screen printing apparatus provided with detection means. A screen printing method for printing, wherein the squeezing operation is terminated. Wherein at a predetermined timing in rising operation by the lifting means of the squeegee member, detecting residual state of scraper pastes by the squeegee member on said mask plates.

本発明によれば、マスクプレート上のスキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を、スキージ部材が装着されたスキージホルダではなく、昇降手段が配設されスキージ移動手段によって移動するフレームに配設しているので、検出手段へのペーストの付着を抑制してペーストの残留状態の検出の信頼性を高めることができる。   According to the present invention, the detecting means for detecting the residual state of the paste scraped by the squeegee member on the mask plate is not moved by the squeegee holder to which the squeegee member is attached, but is moved by the squeegee moving means. Therefore, it is possible to prevent the paste from adhering to the detection means and to improve the reliability of detecting the residual state of the paste.

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図1 is a front view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図The top view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置を構成するスキージヘッドの構成図1 is a configuration diagram of a squeegee head that constitutes a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系のブロック図1 is a block diagram of a control system of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷の動作説明図Operation explanatory diagram of screen printing according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷の動作説明図Operation explanatory diagram of screen printing according to an embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態のペーストの残留状態の検出を示す図The figure which shows the detection of the residual state of the paste of one embodiment of this invention 本発明の一実装の形態のペーストの残留状態の検出を示す図The figure which shows the detection of the residual state of the paste of one implementation form of this invention 従来技術におけるスキージヘッドの構成を示す図The figure which shows the structure of the squeegee head in a prior art.

まず図1〜図3を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷機構を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上に第1のZ軸テーブル5、第2のZ軸テーブル6を組み合わせて構成されている。   First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, the screen printing apparatus is configured by disposing a screen printing mechanism above a substrate positioning unit 1. The substrate positioning unit 1 is configured by stacking a Y-axis table 2, an X-axis table 3, and a θ-axis table 4, and further combining a first Z-axis table 5 and a second Z-axis table 6 thereon. Yes.

第1のZ軸テーブル5の構成を説明する。θ軸テーブル4の上面に設けられた水平なベースプレート4aの上面側には、同様に水平なベースプレート5aが昇降ガイド機構(図示省略)によって昇降自在に保持されている。ベースプレート5aは、複数の送りねじ5cをモータ5bによってベルト5dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。   The configuration of the first Z-axis table 5 will be described. Similarly, on the upper surface side of the horizontal base plate 4 a provided on the upper surface of the θ-axis table 4, the horizontal base plate 5 a is held up and down by an elevating guide mechanism (not shown). The base plate 5a is moved up and down by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 5c through a belt 5d by a motor 5b.

ベースプレート5aには垂直フレーム5eが立設されており、垂直フレーム5eの上端部には基板搬送機構8が保持されている。基板搬送機構8は基板搬送方向であるX方向に平行に配設された2条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板10の両端部を支持して搬送する。なお、X方向と直交する方向であるY方向は、後述するマスクプレート12上でスキージ部材17を摺動させるスキージング動作方向(スキージ部材17の摺動方向)となっている。第1のZ軸テーブル5を駆動することにより、基板搬送機構8によって保持された状態の基板10を、基板搬送機構8とともに後述するスクリーン印刷機構に対して昇降させることができる。図2、図3に示すように、基板搬送機構8は上流側(図2、図3において左側)および下流側に延出し、上流側から搬入された基板10は基板搬送機構8によって搬送され、さらに基板位置決め部1によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷機構によって印刷が行われた後の基板10は、基板搬送機構8によって下流側に搬出される。   A vertical frame 5e is erected on the base plate 5a, and a substrate transport mechanism 8 is held at the upper end of the vertical frame 5e. The substrate transport mechanism 8 includes two transport rails arranged in parallel to the X direction which is the substrate transport direction, and supports and transports both ends of the substrate 10 to be printed by these transport rails. Note that the Y direction, which is a direction orthogonal to the X direction, is a squeezing operation direction (sliding direction of the squeegee member 17) for sliding the squeegee member 17 on the mask plate 12 described later. By driving the first Z-axis table 5, the substrate 10 held by the substrate transport mechanism 8 can be lifted and lowered with respect to the screen printing mechanism described later together with the substrate transport mechanism 8. As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate transport mechanism 8 extends to the upstream side (left side in FIGS. 2 and 3) and the downstream side, and the substrate 10 carried from the upstream side is transported by the substrate transport mechanism 8. Furthermore, it is positioned by the substrate positioning unit 1. Then, the substrate 10 after being printed by a screen printing mechanism to be described later is carried out downstream by the substrate transport mechanism 8.

第2のZ軸テーブル6の構成を説明する。基板搬送機構8とベースプレート5aの中間には、水平なベースプレート6aが昇降ガイド機構(図示省略)に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート6aは、複数の送りねじ6cをモータ6bによってベルト6dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート6aの上面には、上面に基板10を保持する下受け面が設けられた基板下受部7が配設されている。   The configuration of the second Z-axis table 6 will be described. A horizontal base plate 6a is disposed between the substrate transport mechanism 8 and the base plate 5a so as to be movable up and down along a lifting guide mechanism (not shown). The base plate 6a is moved up and down by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 6c through a belt 6d by a motor 6b. On the upper surface of the base plate 6a, there is disposed a substrate lower receiving portion 7 having a lower receiving surface for holding the substrate 10 on the upper surface.

第2のZ軸テーブル6を駆動することにより、基板下受部7は基板搬送機構8に保持された状態の基板10に対して昇降する。そして基板下受部7の下受け面が基板10の下面に当接することにより、基板下受部7は基板10を下面側から支持する。基板搬送機構8の上面にはクランプ機構9が配設されている。クランプ機構9は、左右対向して配置された2つのクランプ部材9aを備えており、一方側のクランプ部材9aをクランプ駆動機構9bによって進退させることにより、基板10を両側からクランプして固定する。   By driving the second Z-axis table 6, the substrate receiving unit 7 moves up and down with respect to the substrate 10 held by the substrate transport mechanism 8. The substrate receiving portion 7 supports the substrate 10 from the lower surface side when the lower receiving surface of the substrate lower receiving portion 7 contacts the lower surface of the substrate 10. A clamp mechanism 9 is disposed on the upper surface of the substrate transport mechanism 8. The clamp mechanism 9 includes two clamp members 9a that are arranged opposite to each other on the left and right sides. The clamp member 9a on one side is advanced and retracted by the clamp drive mechanism 9b, thereby clamping and fixing the substrate 10 from both sides.

次に、基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷機構について説明する。図1、図2において、マスク枠11にはマスクプレート12が展張されており、マスクプレート12には基板10において印刷対象となる電極10aの形状・位置(図3参照)に対応してパターン孔12aが設けられている。マスクプレート12上には、クリーム半田供給機構(不図示)によってペーストとしてのクリーム半田Pが供給される。   Next, the screen printing mechanism disposed above the substrate positioning unit 1 will be described. 1 and 2, a mask plate 12 is extended on the mask frame 11, and pattern holes corresponding to the shape / position (see FIG. 3) of the electrodes 10a to be printed on the substrate 10 are formed on the mask plate 12. 12a is provided. On the mask plate 12, cream solder P as a paste is supplied by a cream solder supply mechanism (not shown).

図1、図2、図4において、マスクプレート12上にはスキージヘッド13が配設されている。スキージヘッド13は同一構成の1対のスキージホルダ16をそれぞれ独立して昇降させる1対のスキージ昇降機構15を水平なフレーム14に配設した構成となっている。図4に示すように、フレーム14の上面に配設された1対のスキージ昇降機構15は下部から下方に延出する昇降軸15aをそれぞれ有しており、各昇降軸15aの下端部には板状のスキージ部材17が装着されたスキージホルダ16が固着されている。   1, 2, and 4, a squeegee head 13 is disposed on the mask plate 12. The squeegee head 13 has a configuration in which a pair of squeegee raising / lowering mechanisms 15 for independently raising and lowering a pair of squeegee holders 16 having the same configuration are disposed on a horizontal frame 14. As shown in FIG. 4, the pair of squeegee lifting mechanisms 15 disposed on the upper surface of the frame 14 has a lifting shaft 15a extending downward from the lower portion, and at the lower end of each lifting shaft 15a, A squeegee holder 16 to which a plate-like squeegee member 17 is attached is fixed.

スキージ昇降機構15を駆動することによりスキージホルダ16は昇降し(矢印a)、これによりスキージ部材17の下端部がマスクプレート12の上面に当接する。すなわちスキージ昇降機構15は、マスクプレート12に対してスキージホルダ16を昇降させる昇降手段となっている。また図4において、スキージング動作方向であるY方向からみてスキージ部材17の両側部には、Y方向と直交するX方向へのクリーム半田Pの漏れを防止するための板状のペースト漏れ防止部材18がそれぞれ設けられている(図9(a)も併せて参照)。クリーム半田Pはスキージング動作方向からみてその両側がペースト漏れ防止部材18によって囲まれた位置に供給される(図9(a)を参照)。図1、図6、図7においては便宜上、ペースト漏れ防止部材18を省略している。   By driving the squeegee raising / lowering mechanism 15, the squeegee holder 16 is raised and lowered (arrow “a”), whereby the lower end portion of the squeegee member 17 comes into contact with the upper surface of the mask plate 12. That is, the squeegee elevating mechanism 15 is an elevating means for elevating the squeegee holder 16 with respect to the mask plate 12. In FIG. 4, plate-like paste leakage preventing members for preventing leakage of cream solder P in the X direction perpendicular to the Y direction on both sides of the squeegee member 17 as viewed from the Y direction which is the squeezing operation direction. 18 are provided (see also FIG. 9A). The cream solder P is supplied to a position surrounded by the paste leakage preventing member 18 as viewed from the squeezing operation direction (see FIG. 9A). In FIG. 1, FIG. 6, FIG. 7, the paste leakage preventing member 18 is omitted for convenience.

図4において、フレーム14にはブラケット19がマスクプレート12の配設方向である下方に延出して設けられている。図2に示すように、ブラケット19はスキージング動作方向からみてスキージ部材17の両側の外側に位置するようにそれぞれフレーム14に配設されており、一方のブラケット19の下端部には光学センサとしての投光器20Aが、他方のブラケット19の下端部には同じく光学センサとしての受光器20Bが保持されている。図2、図4に示すように、投光器20A、受光器20Bの中心TはX方向において同一直線上に位置している。   In FIG. 4, a bracket 19 is provided on the frame 14 so as to extend downward in the arrangement direction of the mask plate 12. As shown in FIG. 2, the brackets 19 are respectively disposed on the frames 14 so as to be located on both sides of the squeegee member 17 when viewed from the squeezing operation direction, and an optical sensor is provided at the lower end of one bracket 19. The light projector 20A is also held at the lower end of the other bracket 19, and a light receiver 20B is also held as an optical sensor. As shown in FIGS. 2 and 4, the centers T of the projector 20A and the light receiver 20B are located on the same straight line in the X direction.

投光器20Aの中心TからX方向に水平に投光された線状の検査光は受光器20Bへと向かい(図2に示す矢印b)、受光器20Bによる当該検査光の受光の有無によって検査光路上における検査対象物(ここではクリーム半田P)の有無を光学的に検出する。ブラケット19は、スキージ昇降機構15により昇降自在なスキージホルダ16と独立してフレーム14に設けられているため、投光器20A、受光器20Bの中心Tからマスクプレート12上面までの鉛直方向への距離L1、及びスキージ部材17が下降してその下端部がマスクプレート12の下面に当接した状態において投光器20A、受光器20Bの中心Tからスキージ部材17までの水平方向への距離L2は常に一定である(図4参照)。上記構成において、投光器20A、受光器20Bの中心Tの位置は、スキージ部材17の摺動方向側に設定された検査対象物の検出位置となっている。   The linear inspection light projected horizontally in the X direction from the center T of the projector 20A is directed to the light receiver 20B (arrow b shown in FIG. 2), and the inspection light is determined depending on whether or not the inspection light is received by the light receiver 20B. The presence or absence of an inspection object (here, cream solder P) on the road is optically detected. Since the bracket 19 is provided on the frame 14 independently of the squeegee holder 16 that can be moved up and down by the squeegee lifting mechanism 15, the distance L1 in the vertical direction from the center T of the projector 20A and the light receiver 20B to the upper surface of the mask plate 12 is provided. When the squeegee member 17 is lowered and its lower end is in contact with the lower surface of the mask plate 12, the distance L2 in the horizontal direction from the center T of the light projector 20A and the light receiver 20B to the squeegee member 17 is always constant. (See FIG. 4). In the above configuration, the position of the center T of the projector 20A and the light receiver 20B is the detection position of the inspection object set on the sliding direction side of the squeegee member 17.

次に、スキージヘッド13を移動させる移動機構について説明する。図2に示すように、縦フレーム21上にはガイドレール22がY方向に配設されており、ガイドレール22にスライド自在に嵌合したスライダ23は、ブロック24を介してフレーム14の両端に結合されている。これにより、フレーム14を含むスキージヘッド13はナット25、送りねじ26および送りねじ26を回転駆動するスキージ移動用モータ(図示省略)より成るスキージ移動手段によってY方向に水平移動する。上記構成において、フレーム14は昇降手段が配設され且つ移動手段によって移動するようになっている。   Next, a moving mechanism for moving the squeegee head 13 will be described. As shown in FIG. 2, guide rails 22 are arranged on the vertical frame 21 in the Y direction. Sliders 23 slidably fitted on the guide rails 22 are attached to both ends of the frame 14 via blocks 24. Are combined. As a result, the squeegee head 13 including the frame 14 is horizontally moved in the Y direction by a squeegee moving means including a nut 25, a feed screw 26, and a squeegee moving motor (not shown) that rotationally drives the feed screw 26. In the above configuration, the frame 14 is provided with lifting means and is moved by the moving means.

次に図5を参照して、スクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。図5において、制御部30はスクリーン印刷装置に備えられた演算処理装置であり、記憶部31、機構駆動部32、光学センサ制御部33、報知処理部34を有している。操作・入力部35はキーボードやマウス等の入力手段であり、操作コマンドやデータの入力を行う。表示部36は液晶パネル等の表示装置であり、操作・入力部35による入力時の案内画面や、報知処理部34からの指令によりマスクプレート12上のクリーム半田Pの量が少ない旨の報知画像を表示する。   Next, the configuration of the control system of the screen printing apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the control unit 30 is an arithmetic processing device provided in the screen printing apparatus, and includes a storage unit 31, a mechanism driving unit 32, an optical sensor control unit 33, and a notification processing unit 34. The operation / input unit 35 is input means such as a keyboard and a mouse, and inputs operation commands and data. The display unit 36 is a display device such as a liquid crystal panel, and a notification image indicating that the amount of cream solder P on the mask plate 12 is small according to a guidance screen at the time of input by the operation / input unit 35 or a command from the notification processing unit 34. Is displayed.

次に、制御部30について説明する。記憶部31はスクリーン印刷装置の各機構を駆動制御するための処理プログラム及び投光器20A、受光器20Bから成る光学センサを制御するための処理プログラムを記憶する。機構駆動部32は記憶部31に記憶された処理プログラムに従って基板位置決め部1、基板搬送機構8、クリーム半田供給機構37、クランプ駆動機構9b、スキージ昇降機構15、スキージ移動手段38の各機構を駆動制御する。光学センサ制御部33は記憶部31に記憶された処理プログラムに従って投光器20A、受光器20Bから成る光学センサを制御する。報知処理部34は受光器20Bが検査光を受光した際に光学センサ制御部33から送信される信号を受けて、表示部36に対してクリーム半田Pの量が少ない旨の報知画像を表示すべき旨の信号を送信する処理を行う。すなわち、報知処理部34、表示部36は作業員に対してクリーム半田Pの量が少ない旨の報知を行うための報知手段となっている。   Next, the control unit 30 will be described. The storage unit 31 stores a processing program for driving and controlling each mechanism of the screen printing apparatus and a processing program for controlling an optical sensor including the projector 20A and the light receiver 20B. The mechanism drive unit 32 drives each mechanism of the substrate positioning unit 1, the substrate transport mechanism 8, the cream solder supply mechanism 37, the clamp drive mechanism 9 b, the squeegee lifting mechanism 15, and the squeegee moving means 38 according to the processing program stored in the storage unit 31. Control. The optical sensor control unit 33 controls the optical sensor including the projector 20A and the light receiver 20B according to the processing program stored in the storage unit 31. The notification processing unit 34 receives a signal transmitted from the optical sensor control unit 33 when the light receiver 20B receives the inspection light, and displays a notification image indicating that the amount of the cream solder P is small on the display unit 36. A process of transmitting a power signal is performed. That is, the notification processing unit 34 and the display unit 36 serve as notification means for notifying the worker that the amount of cream solder P is small.

次に、スクリーン印刷機構による印刷動作について、図6、図7を参照して説明する。まず基板搬送機構8によって基板10が印刷位置に搬入されると、図6(a)に示すように、第2のZ軸テーブル6を駆動して基板下受部7を上昇させ、基板10の下面を下受けする。そしてこの状態で基板10をクランプ部材9aによって挟み込んで固定し、基板位置決め部1を駆動して基板10をマスクプレート12に対して位置合わせする。この後、図6(b)に示すように、第1のZ軸テーブル5を駆動して基板10を基板下受部7とともに上昇させてマスクプレート12の下面に当接させる。   Next, a printing operation by the screen printing mechanism will be described with reference to FIGS. First, when the substrate 10 is carried into the printing position by the substrate transport mechanism 8, as shown in FIG. 6A, the second Z-axis table 6 is driven to raise the substrate receiving portion 7, and the substrate 10 Underside the lower surface. In this state, the substrate 10 is sandwiched and fixed by the clamp member 9 a, and the substrate positioning unit 1 is driven to align the substrate 10 with the mask plate 12. Thereafter, as shown in FIG. 6B, the first Z-axis table 5 is driven to raise the substrate 10 together with the substrate receiving portion 7 so as to contact the lower surface of the mask plate 12.

そしてこの状態で、クリーム半田Pが供給されたマスクプレート12上でスキージ部材17をY方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより、クリーム半田Pはスキージ部材17によって掻き寄せられる。これにより、パターン孔12aを介して基板10の所定箇所にクリーム半田Pが印刷される。なお、スキージング動作はその進行方向に応じて1対のスキージホルダ16のうち何れかのスキージホルダ16を下降させることによって行う。   In this state, the cream solder P is scraped by the squeegee member 17 by performing a squeegeeing operation in which the squeegee member 17 is slid in the Y direction on the mask plate 12 to which the cream solder P is supplied. Thereby, the cream solder P is printed at a predetermined location of the substrate 10 through the pattern hole 12a. The squeegeeing operation is performed by lowering one of the pair of squeegee holders 16 according to the traveling direction.

スキージング動作について、図7を参照して詳しく説明する。便宜上、図7において左側のスキージホルダを16A、右側のスキージホルダを16Bとする。図7(a)に示すように、矢印c方向にスキージング動作を行う場合には、図7(a)において左側に位置するクランプ部材9a上へスキージヘッド13を移動させた状態で、左側のスキージホルダ16Aをスキージ昇降機構15によって下降(矢印d)させてスキージ部材17の下端部をマスクプレート12の上面に当接させ、この状態でスキージ移動手段によってスキージヘッド13を矢印c方向に移動させる(図7(b)も併せて参照)。このとき、掻き寄せられたクリーム半田Pがスキージング動作方向側(図7(b)において右側)のクランプ部材9a上に位置するところまでスキージヘッド13を移動させる。スキージング動作を終えたならば、図7(c)に示すようにスキージホルダ16Aをスキージ昇降機構15によって上昇(矢印e)させる。   The squeezing operation will be described in detail with reference to FIG. For convenience, in FIG. 7, the left squeegee holder is 16A, and the right squeegee holder is 16B. As shown in FIG. 7A, when the squeegeeing operation is performed in the direction of the arrow c, the squeegee head 13 is moved on the clamp member 9a located on the left side in FIG. The squeegee holder 16A is lowered (arrow d) by the squeegee lifting mechanism 15 so that the lower end portion of the squeegee member 17 is brought into contact with the upper surface of the mask plate 12. In this state, the squeegee head 13 is moved in the direction of arrow c. (See also FIG. 7 (b)). At this time, the squeegee head 13 is moved to a position where the cream solder P that has been scraped is positioned on the clamping member 9a on the squeezing operation direction side (right side in FIG. 7B). When the squeegeeing operation is finished, the squeegee holder 16A is raised (arrow e) by the squeegee lifting mechanism 15 as shown in FIG.

そして矢印c方向と正逆方向へスキージング動作を行う場合は、右側のスキージホルダ16Bを下降させて当該スキージホルダ16Bに装着されたスキージ部材17の下端部をマスクプレート12に当接させ、この状態でスキージ移動手段によってスキージヘッド13を矢印c方向と正逆方向に移動させる。スキージング動作を終えたならば、スキージホルダ16Bを上昇させる。   When the squeegeeing operation is performed in the direction opposite to the direction of the arrow c, the right squeegee holder 16B is lowered to bring the lower end portion of the squeegee member 17 attached to the squeegee holder 16B into contact with the mask plate 12, In this state, the squeegee head 13 is moved in the forward and reverse directions with respect to the arrow c direction by the squeegee moving means. When the squeezing operation is finished, the squeegee holder 16B is raised.

次に、マスクプレート12上に供給されたクリーム半田Pの残留状態の検出について説明する。上述したスキージング動作を繰り返し行うにつれ、マスクプレート12上のクリーム半田Pは次第に減少する。そのため、クリーム半田Pの残留状態を所定のタイミングで検出し、検出した残留に応じて新たにクリーム半田Pを補充する必要がある。   Next, detection of the remaining state of the cream solder P supplied onto the mask plate 12 will be described. As the squeezing operation is repeated, the cream solder P on the mask plate 12 gradually decreases. For this reason, it is necessary to detect the remaining state of the cream solder P at a predetermined timing, and to replenish the cream solder P according to the detected remaining state.

図8(a)、(b)はそれぞれ図7(b)、(c)の一部を拡大したものである。図8(a)において、クリーム半田Pは矢印c方向(図7(a)参照)へのスキージング動作によって下方に右側のクランプ部材9aが位置するマスクプレート12上で掻き寄せられた状態となっている。このとき、投光器20Aの中心Tからは検査光が受光器20Bに向けて投光されているが、当該検査光はペースト漏れ防止部材18によって受光器20Bへの投光が遮断された状態となっている(図9(a)も併せて参照)。   8A and 8B are enlarged views of parts of FIGS. 7B and 7C, respectively. In FIG. 8A, the cream solder P is squeezed on the mask plate 12 where the right clamp member 9a is positioned downward by a squeezing operation in the direction of arrow c (see FIG. 7A). ing. At this time, the inspection light is projected from the center T of the light projector 20A toward the light receiver 20B. However, the inspection light is blocked from being projected onto the light receiver 20B by the paste leakage prevention member 18. (See also FIG. 9 (a)).

この後、図8(b)に示すように、スキージ昇降機構15によるスキージホルダ16Aの上昇(矢印e)に伴い、スキージ部材17及びペースト漏れ防止部材18も上昇する。また、クリーム半田Pは粘性を有するので、スキージ部材17とペースト漏れ防止部材18に付着したクリーム半田Pの一部は上昇するこれらの部材に追従して上方に延びる。そして、ペースト漏れ防止部材18が上昇することによって当該ペースト漏れ防止部材18による遮光は解除される。クリーム半田Pの残留状態の検出は、ペースト漏れ防止部材18による遮光が解除されてからのスキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングで、受光器20Bが検査光を受光したか否かを光学センサ制御部33が検知することによって行われる。   Thereafter, as shown in FIG. 8B, the squeegee member 17 and the paste leakage preventing member 18 are also raised with the rise of the squeegee holder 16 </ b> A (arrow e) by the squeegee raising / lowering mechanism 15. Since the cream solder P has viscosity, a part of the cream solder P adhering to the squeegee member 17 and the paste leakage preventing member 18 extends upward following these rising members. Then, when the paste leakage preventing member 18 rises, the light shielding by the paste leakage preventing member 18 is released. The detection of the remaining state of the cream solder P is performed by detecting whether or not the light receiver 20B has received the inspection light at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17 after the light shielding by the paste leakage preventing member 18 is released. This is performed by the control unit 33 detecting it.

図8(b)のケース1のように、スキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングで検査光路上(換言すれば投光器20Aの中心Tの水平方向)にクリーム半田Pが存在する場合、検査光は当該クリーム半田Pによって受光器20Bへの投光が遮断される(図9(b)も併せて参照)。かかる場合、受光器20Bは検査光を受光しないので光学センサ制御部33は報知処理部34に対して信号を送信せず、その結果、報知手段による報知は行われずに引き続きスキージング動作が実行される。   When the cream solder P is present on the inspection optical path (in other words, in the horizontal direction of the center T of the projector 20A) at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17 as in the case 1 of FIG. Is blocked by the cream solder P (see also FIG. 9 (b)). In such a case, since the optical receiver 20B does not receive the inspection light, the optical sensor control unit 33 does not transmit a signal to the notification processing unit 34. As a result, the notification unit does not perform notification and the squeezing operation is continuously performed. The

これに対し図8(b)のケース2のように、スキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングで検査光路上にクリーム半田Pが存在しない場合、検査光は受光器20Bに到達する(図9(c)も併せて参照)。光学センサ制御部33は受光器20Bによる検査光の受光を検知すると報知処理部34に対して信号を送信し、報知処理部34は当該信号をうけて表示部36に対してクリーム半田Pの量が少ない旨の報知画像を表示すべき旨の信号を送信する。   On the other hand, when the cream solder P does not exist on the inspection optical path at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17 as in the case 2 of FIG. 8B, the inspection light reaches the light receiver 20B (FIG. 9). (See also (c)). When the optical sensor control unit 33 detects the reception of the inspection light by the light receiver 20B, the optical sensor control unit 33 transmits a signal to the notification processing unit 34, and the notification processing unit 34 receives the signal and the amount of the cream solder P to the display unit 36. A signal indicating that a notification image indicating that there is little is to be displayed is transmitted.

このように本実施の形態においては、スキージング動作を終えたスキージ部材17のスキージ昇降機構15による上昇動作における所定のタイミングにて、マスクプレート12上のスキージ部材17によって掻き寄せられたクリーム半田Pの残留状態を検出するようにしている。そしてクリーム半田Pの残留状態の検出は、スキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングにて、投光器20Aから投光された検査光を受光器20Bが受光をしたか否かを光学センサ制御部33が検知することによって行われる。   As described above, in the present embodiment, the cream solder P scraped by the squeegee member 17 on the mask plate 12 at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17 after the squeegee operation by the squeegee lifting mechanism 15. The residual state is detected. The detection of the remaining state of the cream solder P is performed by determining whether or not the light receiver 20B has received the inspection light projected from the light projector 20A at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17. Is performed by detecting.

つまり、スキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングにて受光器20Bが検査光を受光しなかった場合、マスクプレート12上におけるクリーム半田Pの量は十分であると判断して報知処理部34による上述の報知は行わない一方、所定のタイミングで受光器20Bが検査光を受光した場合、クリーム半田Pの量は不十分であるとして報知処理部34による上述の報知が行われる。すなわち本実施の形態においては、スキージ部材17の摺動方向と直交する方向からみたクリーム半田Pの断面幅W1,W2を、投光器20A、受光器20Bを用いて検出することによって、クリーム半田Pの残留状態を検出するようになっている(図8(b)を参照)。   That is, when the light receiver 20B does not receive the inspection light at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17, the notification processing unit 34 determines that the amount of the cream solder P on the mask plate 12 is sufficient. While the above notification is not performed, when the light receiver 20B receives the inspection light at a predetermined timing, the notification processing unit 34 performs the above notification that the amount of the cream solder P is insufficient. That is, in the present embodiment, the cross-sectional widths W1 and W2 of the cream solder P as viewed from the direction orthogonal to the sliding direction of the squeegee member 17 are detected using the light projector 20A and the light receiver 20B. A residual state is detected (see FIG. 8B).

なお、クリーム半田Pの残留状態の検出のための所定のタイミングは作業員によって任意に設定することができるが、クリーム半田Pを含むペーストは品種によって粘性が異なるので、スキージ部材17が上昇動作を開始してペースト漏れ防止部材18による遮光状態が解除された直後のタイミングでペーストの残留状態を検出するのが望ましい。これにより、粘性が異なる何れのペーストに対しても信頼性の高い検出精度を実現することができる。   The predetermined timing for detecting the remaining state of the cream solder P can be arbitrarily set by an operator. However, since the viscosity of the paste containing the cream solder P varies depending on the type, the squeegee member 17 moves up. It is desirable to detect the residual state of the paste immediately after the start and immediately after the light shielding state by the paste leakage preventing member 18 is released. Thereby, a highly reliable detection accuracy can be realized for any paste having different viscosities.

上記構成において、ブラケット19、投光器20A、受光器20Bは、フレーム14に配設されマスクプレート12上のスキージ部材17によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段となっており、フレーム14とともに移動する。そして投光器20A、受光器20Bは、スキージ部材17の外側に配設され、スキージ部材17の摺動方向側に設定された所定検出位置においてペーストをスキージ部材17の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出する光学センサとなっている。さらにブラケット19は、光学センサを保持する保持手段となっている。   In the above configuration, the bracket 19, the projector 20 </ b> A, and the light receiver 20 </ b> B serve as detection means that detects the residual state of the paste scraped by the squeegee member 17 on the mask plate 12. Move with. The light projector 20A and the light receiver 20B are disposed outside the squeegee member 17, and the paste is orthogonal to the sliding direction of the squeegee member 17 in a horizontal plane at a predetermined detection position set on the sliding direction side of the squeegee member 17. The optical sensor detects optically from the direction. Further, the bracket 19 serves as a holding means for holding the optical sensor.

このように、投光器20A、受光器20Bをスキージ部材17が装着されたスキージホルダ16Aではなくフレーム14に設け、且つスキージング動作方向からみてスキージ部材17の外側に配設することにより、クリーム半田Pの投光器20A、受光器20Bへの付着を抑制してクリーム半田Pの残留状態の検出の信頼性を高めることができる。   As described above, the projector 20A and the light receiver 20B are provided not on the squeegee holder 16A to which the squeegee member 17 is attached but on the frame 14 and disposed outside the squeegee member 17 as viewed from the squeegee operation direction. Can be prevented from adhering to the projector 20A and the light receiver 20B, and the reliability of detecting the residual state of the cream solder P can be improved.

また、クリーム半田Pの残留状態を検出する従来技術の一つとして、図10に示すように、ペースト漏れ防止部材18AにスリットSを設け、当該スリットSからスキージング動作時におけるクリーム半田Pのローリング状態を目視する方法が広く知られている。しかしながらこの従来技術では、スキージング動作を継続するにつれスリットSにクリーム半田Pが付着しクリーム半田Pのローリング状態を確認することができなくなるという問題が生じていた。また、スリットSに付着したクリーム半田Pの除去作業は作業員に対して多大な手間と労力をかけるとともに、生産性を低下させる要因にもなっていた。   As one of the prior arts for detecting the remaining state of the cream solder P, as shown in FIG. 10, the paste leakage preventing member 18A is provided with a slit S, and the cream solder P is rolled from the slit S during the squeezing operation. A method of visually checking the state is widely known. However, this conventional technique has a problem that as the squeezing operation is continued, the cream solder P adheres to the slit S, and the rolling state of the cream solder P cannot be confirmed. Moreover, the removal work of the cream solder P adhering to the slits S has a great labor and labor for workers, and has also become a factor of reducing productivity.

これに対し本発明によれば、スキージング動作を終えた後のスキージ部材17の上昇動作における所定のタイミングにて、スキージ部材17の両側の外側に配設された光学センサ(投光器20A、受光器20B)によってクリーム半田Pの残留状態の検出を行うので、ペースト漏れ防止部材18にスリットを設ける必要がない。したがって、上述した残留状態の検出の不具合が発生することはなく、クリーム半田Pの除去作業の必要もない。また、スリットからクリーム半田Pが漏れ出してマスクプレート12を汚し、さらに漏れ出したクリーム半田Pが光学センサに付着してしまうといった事態も発生しない。   On the other hand, according to the present invention, the optical sensors (projector 20A, light receiver) disposed on the outer sides of both sides of the squeegee member 17 at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member 17 after finishing the squeegeeing operation. Since the residual state of the cream solder P is detected by 20B), it is not necessary to provide a slit in the paste leakage preventing member 18. Therefore, the above-described failure in detecting the residual state does not occur, and there is no need to remove the cream solder P. In addition, the situation where the cream solder P leaks from the slits to contaminate the mask plate 12 and the leaked cream solder P adheres to the optical sensor does not occur.

なお、光学センサとしては上述の投光器20A、20Bに限られず種々のものを用いることができる。例えば、一方のブラケット19の下端部に検査光を投光する投光器を、他方のブラケット19の下端部に投光された検査光を正逆方向に反射させる反射板を設け、この反射板に反射した検査光を投光器が受光したか否かによってクリーム半田Pの残留状態を検出するようにしてもよい。   The optical sensor is not limited to the projectors 20A and 20B described above, and various optical sensors can be used. For example, a projector for projecting inspection light on the lower end of one bracket 19 is provided, and a reflector for reflecting the inspection light projected on the lower end of the other bracket 19 in the forward and reverse directions is provided. The remaining state of the cream solder P may be detected based on whether the projector receives the inspection light.

また、クリーム半田Pの量が少なくなった旨の報知は上述の表示部36を用いた構成に限定されず、例えばスクリーン印刷装置に設けられた警告灯を点灯させ、または警告音を発して作業員に報知する等、種々の構成を用いることができる。さらに、投光器20A、受光器20B(光学センサ)の中心Tの位置は、ペーストの特性や各種の実験等に基づいて作業員が任意に設定してもよい。   The notification that the amount of cream solder P has decreased is not limited to the configuration using the display unit 36 described above. For example, a warning lamp provided in the screen printing apparatus is turned on or a warning sound is generated. Various configurations can be used, such as notifying personnel. Further, the position of the center T of the light projector 20A and the light receiver 20B (optical sensor) may be arbitrarily set by an operator based on paste characteristics, various experiments, and the like.

本発明によれば、信頼性の高いペーストの残留状態の検出を行うことができ、基板にペーストを印刷して電子部品を実装する電子部品実装の分野において特に有用である。   According to the present invention, it is possible to detect a residual state of a highly reliable paste, which is particularly useful in the field of electronic component mounting in which an electronic component is mounted by printing the paste on a substrate.

10 基板
12 マスクプレート
14 フレーム
15 スキージ昇降機構
16 スキージホルダ
17 スキージ部材
19 ブラケット
20A 投光器
20B 受光器
P クリーム半田
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Board | substrate 12 Mask plate 14 Frame 15 Squeegee raising / lowering mechanism 16 Squeegee holder 17 Squeegee member 19 Bracket 20A Light projector 20B Light receiver P Cream solder

Claims (4)

パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材をスキージ移動手段によって摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ部材が装着されたスキージホルダと、
前記マスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、
前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、
前記フレームに配設され前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
A substrate is brought into contact with a mask plate provided with a pattern hole, and a plate-like squeegee member is slid by the squeegee moving means on the mask plate supplied with paste, thereby allowing the substrate to contact the substrate through the pattern hole. A screen printing apparatus for printing the paste,
A squeegee holder fitted with the squeegee member;
Elevating means for elevating the squeegee holder relative to the mask plate;
A frame in which the elevating means is disposed and moved by the squeegee moving means;
A screen printing apparatus comprising: detecting means for detecting a residual state of paste disposed on the frame and scraped by the squeegee member on the mask plate.
前記検出手段は、前記スキージ部材の外側に配設され、前記スキージ部材の摺動方向側に設定された所定検出位置において前記ペーストを前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出する光学センサを有することを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。   The detecting means is disposed outside the squeegee member and optically transmits the paste from a direction orthogonal to the sliding direction of the squeegee member in a horizontal plane at a predetermined detection position set on the sliding direction side of the squeegee member. The screen printing apparatus according to claim 1, further comprising an optical sensor for automatically detecting. スキージ部材が装着されたスキージホルダと、パターン孔が設けられたマスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージ移動手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームとともに移動して前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えたスクリーン印刷装置を用いて、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージング動作を行うことにより、前記パターン孔を介して前記マスクプレートに当接した基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スキージング動作を終えた前記スキージ部材の前記昇降手段による上昇動作における所定のタイミングにて、前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出することを特徴とするスクリーン印刷方法。
A squeegee holder to which a squeegee member is attached; elevating means for elevating and lowering the squeegee holder relative to a mask plate provided with a pattern hole; squeegee moving means for sliding the squeegee member on the mask plate; A screen printing apparatus comprising: a frame provided with means and moved by the squeegee moving means; and a detecting means for detecting a residual state of the paste moved by the squeegee member on the mask plate. A screen printing method for printing the paste on a substrate that is in contact with the mask plate through the pattern hole by performing a squeegeeing operation to slide the squeegee member on the mask plate,
A screen that detects a residual state of the paste squeezed by the squeegee member on the mask plate at a predetermined timing in the ascending operation of the squeegee member that has finished the squeegeeing operation. Printing method.
前記検出手段は前記スキージ部材の外側に配設された光学センサを有し、前記スキージ部材の摺動方向側に設定された所定検出位置において前記ペーストを前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出することを特徴とする請求項3記載のスクリーン印刷方法。   The detection means includes an optical sensor disposed outside the squeegee member, and the paste is placed in a sliding plane and a horizontal plane of the squeegee member at a predetermined detection position set on the sliding direction side of the squeegee member. 4. The screen printing method according to claim 3, wherein optical detection is performed from directions orthogonal to each other.
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