JP2013035132A - Glass film laminate, and glass film laminate with pixel for color filter - Google Patents

Glass film laminate, and glass film laminate with pixel for color filter Download PDF

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隆 佳 二連木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass film laminate capable of preventing deformation of a glass film.SOLUTION: The glass film laminate 10 includes: the glass film 11; and a metallic base material 12 laminated on the glass film 11 through an adhesive layer 13.

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体、および、このガラスフィルム積層体のガラスフィルム上に複数色の画素が設けられたカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体に係り、とりわけ、ガラスフィルムの変形を防止することができるガラスフィルム積層体およびカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体に関する。   The present invention relates to a glass film laminate and a glass film laminate with pixels for a color filter in which pixels of a plurality of colors are provided on the glass film of the glass film laminate, and in particular, prevents deformation of the glass film. It is related with the glass film laminated body which can be used, and the glass film laminated body with a pixel for color filters.

一般的に、電子ディスプレイ、建築、家具装飾、電子デバイス、半導体デバイス、車体部材等には、従来から、ガラス板が多く用いられている。このうち、液晶ディスプレイ、電子ペーパー、有機ELディスプレイ等の電子ディスプレイに使用されるカラーフィルタには、一般的に、枚葉状のガラス板が基板として用いられており、このガラス板に、複数色の画素がパターン状に形成されて、カラーフィルタが製造されている。また、カラーフィルタの対向基板であるTFT基板若しくは電極基板、有機EL用表示素子基板、または太陽電池等にも、枚葉状のガラス板が用いられている。   In general, glass plates have been conventionally used for electronic displays, architecture, furniture decoration, electronic devices, semiconductor devices, body members, and the like. Among these, in color filters used in electronic displays such as liquid crystal displays, electronic paper, and organic EL displays, a sheet-like glass plate is generally used as a substrate, and a plurality of colors are used on the glass plate. Pixels are formed in a pattern to produce a color filter. Further, a sheet-like glass plate is also used for a TFT substrate or an electrode substrate, an organic EL display element substrate, a solar cell, or the like which is a counter substrate of a color filter.

ところで、最近のガラス製造技術の進歩により、厚さが100μm程度のガラスフィルムが製造されるようになっている。このようなガラスフィルムは、可撓性を有しており、ロール状に巻き取り可能になっている。例えば、このガラスフィルムをカラーフィルタの基板に用いる場合には、ガラスフィルムが巻き取られたロールからガラスフィルムを繰り出して連続的にカラーフィルタを製造することができ(ロール・ツー(to)・ロールプロセス)、枚葉状のガラス板を用いる場合に比べて、生産効率を向上させることができる。しかしながら、このようなガラスフィルムはその厚さが薄いことから、耐衝撃性が低下し、製造工程中に損傷するという問題がある。   By the way, with recent advances in glass manufacturing technology, a glass film having a thickness of about 100 μm has been manufactured. Such a glass film has flexibility and can be wound into a roll. For example, when this glass film is used as a substrate for a color filter, a color filter can be continuously produced by drawing out the glass film from a roll on which the glass film is wound (roll-to-roll). Process), production efficiency can be improved as compared with the case of using a sheet-like glass plate. However, since such a glass film is thin, there is a problem that impact resistance is lowered and it is damaged during the manufacturing process.

このような問題の対策として、ガラスフィルム(極薄板ガラス)にプラスチックフィルム(透明樹脂層)が貼着されたガラスフィルム積層体が知られている(例えば、特許文献1参照)。   As a countermeasure against such a problem, a glass film laminate in which a plastic film (transparent resin layer) is bonded to a glass film (ultra thin plate glass) is known (for example, see Patent Document 1).

特開2008−273211号公報JP 2008-273211 A

しかしながら、ガラスフィルムにプラスチックフィルムを貼着した帯状のガラスフィルム積層体をロール・ツー・ロールプロセスに適用した場合、ガラスフィルム積層体には張力が負荷される。この場合、ガラスフィルムとプラスチックフィルムとは、ヤング率が互いに大きく異なることから、負荷された張力に対するガラスフィルムの変形量とプラスチックフィルムの変形量とが異なり、ガラスフィルムが変形するという問題があった。   However, when a strip-shaped glass film laminate in which a plastic film is bonded to a glass film is applied to a roll-to-roll process, tension is applied to the glass film laminate. In this case, since the Young's modulus is greatly different between the glass film and the plastic film, the deformation amount of the glass film and the deformation amount of the plastic film with respect to the applied tension are different, and there is a problem that the glass film is deformed. .

また、上述したガラスフィルム積層体のガラスフィルム上に、フォトリソグラフィー法によりカラーフィルタ用の画素を形成する場合、溶剤や水分の除去と熱架橋の促進とを目的として、ガラスフィルム上に画素が形成されたガラスフィルム積層体を、例えば200℃以上の温度で加熱処理して画素を硬化(ポストベーク)させて、冷却することが一般的に行われている。しかしながら、薄いガラスフィルムは、冷却時におけるプラスチックフィルムの収縮力に対抗可能な剛性を有していない。このため、ガラスフィルムがプラスチックフィルムの収縮力によって反る(カールする)という問題があった。   In addition, when forming pixels for color filters on the glass film of the glass film laminate described above by photolithography, the pixels are formed on the glass film for the purpose of removing solvents and moisture and promoting thermal crosslinking. In general, the glass film laminate is heat-treated at a temperature of, for example, 200 ° C. or more to cure (post-bake) the pixels and then cool. However, the thin glass film does not have a rigidity capable of resisting the shrinkage force of the plastic film during cooling. For this reason, there was a problem that the glass film warps (curls) due to the shrinkage force of the plastic film.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ガラスフィルムの変形を防止することができるガラスフィルム積層体およびカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and an object of the present invention is to provide a glass film laminate that can prevent deformation of the glass film and a glass film laminate with a pixel for a color filter. To do.

本発明は、ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された金属基材と、を備えたことを特徴とするガラスフィルム積層体を提供する。   The present invention provides a glass film laminate comprising a glass film and a metal substrate laminated on the glass film via an adhesive layer.

なお、上述したガラスフィルム積層体において、前記金属基材は、10GPa以上のヤング率を有している、ことが好ましい。   In the glass film laminate described above, the metal substrate preferably has a Young's modulus of 10 GPa or more.

また、上述したガラスフィルム積層体において、前記金属基材の熱収縮率は、IPC TM650 Method2.2.4に準拠して、230℃、150分後の焼成後に、0.05%以下である、ことが好ましい。   Moreover, in the glass film laminate described above, the heat shrinkage rate of the metal base material is 0.05% or less after firing at 230 ° C. for 150 minutes in accordance with IPC TM650 Method 2.2.4. It is preferable.

本発明は、ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された支持基材と、を備え、前記支持基材は、ガラスクロスを有することを特徴とするガラスフィルム積層体を提供する。   The present invention provides a glass film laminate comprising a glass film and a support substrate laminated on the glass film via an adhesive layer, the support substrate having a glass cloth. .

なお、上述したガラスフィルム積層体において、前記支持基材は、前記ガラスクロスを有するガラス含有プラスチックフィルムにより構成されている、ことが好ましい。   In addition, in the glass film laminated body mentioned above, it is preferable that the said support base material is comprised with the glass containing plastic film which has the said glass cloth.

本発明は、ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された金属基材と、を有するガラスフィルム積層体と、前記ガラスフィルム積層体の前記ガラスフィルム上に設けられたカラーフィルタ用の複数色の画素と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体を提供する。   The present invention provides a glass film laminate having a glass film and a metal substrate laminated on the glass film via an adhesive layer, and a color filter provided on the glass film of the glass film laminate. And a pixel-attached glass film laminate for a color filter.

本発明は、ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された支持基材と、を有するガラスフィルム積層体と、前記ガラスフィルム積層体の前記ガラスフィルム上に設けられたカラーフィルタ用の複数色の画素と、を備え、前記支持基材は、ガラスクロスを有することを特徴とするカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体を提供する。   The present invention provides a glass film laminate having a glass film and a support substrate laminated on the glass film via an adhesive layer, and a color filter provided on the glass film of the glass film laminate. A plurality of colors of pixels, and the support base material has a glass cloth, and provides a pixel-attached glass film laminate for a color filter.

本発明によれば、ガラスフィルムの変形を防止することができる。   According to the present invention, deformation of the glass film can be prevented.

また、本発明によれば、カラーフィルタ用の複数色の画素が設けられたガラスフィルム積層体のガラスフィルムの変形を防止することができる。このことにより、カラーフィルタの表示画像の精度を向上させることができる。   Moreover, according to this invention, the deformation | transformation of the glass film of the glass film laminated body in which the pixel of the several color for color filters was provided can be prevented. Thereby, the accuracy of the display image of the color filter can be improved.

図1は、本発明の第1の実施の形態において、カラーフィルタの断面構成の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of a cross-sectional configuration of a color filter in the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1の実施の形態において、ガラスフィルム積層体の断面構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional configuration of the glass film laminate in the first embodiment of the present invention. 図3は、カラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体の断面構成の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a cross-sectional configuration of a pixel-attached glass film laminate for a color filter. 図4は、本発明の第1の実施の形態において、ガラスフィルム積層体の製造装置およびその製造方法を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a glass film laminate manufacturing apparatus and a manufacturing method thereof in the first embodiment of the present invention. 図5は、本発明の第2の実施の形態において、ガラスフィルム積層体の断面構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a cross-sectional configuration of the glass film laminate in the second embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第2の実施の形態において、ガラスフィルム積層体の変形例の断面構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a cross-sectional configuration of a modified example of the glass film laminate in the second embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual ones.

(第1の実施の形態)
まず、図1により本実施の形態によるガラスフィルム積層体およびカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体について説明する。
(First embodiment)
First, a glass film laminate and a glass film laminate with a pixel for a color filter according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図1に示すように、本実施の形態におけるカラーフィルタ1は、ガラスフィルム11と、このガラスフィルム11上に設けられた赤色画素2、緑色画素3および青色画素4、とを備えている。   As shown in FIG. 1, the color filter 1 in the present embodiment includes a glass film 11 and red pixels 2, green pixels 3, and blue pixels 4 provided on the glass film 11.

通常、ガラスフィルム11上には、マトリックス形状にパターニングされたブラックマトリックス5が設けられており、各画素2、3、4は、ガラスフィルム11上のブラックマトリックス5により画定される各開口内に形成されている。すなわち、ブラックマトリックス5の各開口内に、赤色(R)画素用感光性材料、緑色(G)画素用感光性材料、および青色(B)画素用感光性材料により、赤色画素2、緑色画素3および青色画素4が形成されている。各画素2、3、4の配列は、図示しないが、ストライプ配列、デルタ配列(トライアングル配列)、正方配列(四画素配列)等の公知の配列とすることができる。このように異なる色を有した三つの隣り合う画素によって、画面上における一つの表示画素が形成されるようになっている。更に、黄色画素(図示せず)等を追加して4色以上の画素が形成されるようにしても良い。なお各画素2、3、4を形成する感光性材料としては、各色の顔料と溶剤と接合性樹脂(バインダー)とを含む顔料分散型の感光性樹脂組成物を用いることができ、ブラックマトリックス5を形成する感光性材料としては、遮光性を有する黒色の顔料を分散させた感光性樹脂組成物を用いることができる。   Usually, a black matrix 5 patterned in a matrix shape is provided on the glass film 11, and each pixel 2, 3, 4 is formed in each opening defined by the black matrix 5 on the glass film 11. Has been. That is, in each opening of the black matrix 5, a red pixel 2, a green pixel 3, a red (R) pixel photosensitive material, a green (G) pixel photosensitive material, and a blue (B) pixel photosensitive material. And the blue pixel 4 is formed. The arrangement of the pixels 2, 3, 4 is not shown, but may be a known arrangement such as a stripe arrangement, a delta arrangement (triangle arrangement), a square arrangement (four pixel arrangement), or the like. Thus, one display pixel on the screen is formed by three adjacent pixels having different colors. Further, yellow pixels (not shown) or the like may be added to form four or more color pixels. In addition, as the photosensitive material for forming each pixel 2, 3, and 4, a pigment dispersion type photosensitive resin composition containing a pigment of each color, a solvent, and a bonding resin (binder) can be used. As the photosensitive material for forming a photosensitive resin composition, a photosensitive resin composition in which a black pigment having a light shielding property is dispersed can be used.

これらの画素2、3、4は、図1に示すように、保護層6で覆われている。この保護層6上に、インジウム錫酸化物(ITO(Indium Tin Oxide))からなる透明電極膜7が形成されている。   These pixels 2, 3 and 4 are covered with a protective layer 6 as shown in FIG. A transparent electrode film 7 made of indium tin oxide (ITO) is formed on the protective layer 6.

このようなカラーフィルタ1は、例えば、各画素2、3、4に対応して配列されたTFT等のスイッチング素子と液晶層とを含む液晶素子、および面光源と組み合わされて、液晶ディスプレイ(LCD)または電子ペーパー等に用いられる。この構成において、液晶はスイッチング素子によって制御されてシャッターとして機能し、面光源からの光を所望の色の画素のみを介して出射させる。このようにして、画面上にカラー映像が表示されるようになっている。なお、図1の構成は一例であり、ディスプレイの種類や表示素子の動作原理によって適宜変更され、例えば、ブラックマトリックス6が設けられていない構成や、透明電極膜8が設けられていない構成などがある。   Such a color filter 1 is combined with, for example, a liquid crystal element including a switching element such as a TFT and a liquid crystal layer arranged corresponding to each of the pixels 2, 3, and 4, and a surface light source. ) Or electronic paper. In this configuration, the liquid crystal is controlled by the switching element to function as a shutter, and emits light from the surface light source only through pixels of a desired color. In this way, a color image is displayed on the screen. The configuration in FIG. 1 is an example, and is appropriately changed depending on the type of display and the operation principle of the display element. For example, a configuration in which the black matrix 6 is not provided or a configuration in which the transparent electrode film 8 is not provided. is there.

上述したガラスフィルム11を有するカラーフィルタ1は、当該ガラスフィルム11を有するガラスフィルム積層体10(図2参照)を用いて製造することができるようになっている。   The color filter 1 having the glass film 11 described above can be manufactured using the glass film laminate 10 (see FIG. 2) having the glass film 11.

続いて、図2を用いて、本実施の形態におけるガラスフィルム積層体10について説明する。ガラスフィルム積層体10は、ガラスフィルム11と、ガラスフィルム11に粘着層13を介して積層された金属基材12と、を備えている。このうち金属基材12は、本実施の形態においては、箔状(または薄膜状)に形成された金属箔により構成されている。   Then, the glass film laminated body 10 in this Embodiment is demonstrated using FIG. The glass film laminate 10 includes a glass film 11 and a metal substrate 12 laminated on the glass film 11 via an adhesive layer 13. Among these, the metal base 12 is comprised by the metal foil formed in foil shape (or thin film shape) in this Embodiment.

金属基材12は、10GPa以上のヤング率を有していることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11のヤング率(50GPa以上90GPa以下)と金属基材12のヤング率との差を低減することができる。この場合、ロール・ツー・ロールプロセスにおいてガラスフィルム積層体10に張力が負荷された場合であっても、ガラスフィルム11の変形量と、金属基材12の変形量を同程度にすることができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。また、ヤング率を10GPa以上とすることにより、ガラスフィルム11と金属基材12とを貼り合せる際に生じるガラスフィルム11の歪みと金属基材12の歪みとの差を低減することができ、ガラスフィルム11に応力が負荷されることを抑制し、ガラスフィルム11の割れを防止することができる。なお、金属基材12のヤング率の測定方法としては、JIS Z 2280に準拠して測定することが好適である。   The metal substrate 12 preferably has a Young's modulus of 10 GPa or more. Thereby, the difference between the Young's modulus (50 GPa or more and 90 GPa or less) of the glass film 11 and the Young's modulus of the metal substrate 12 can be reduced. In this case, even when tension is applied to the glass film laminate 10 in the roll-to-roll process, the deformation amount of the glass film 11 and the deformation amount of the metal substrate 12 can be made comparable. The deformation of the glass film 11 can be prevented. Moreover, by setting the Young's modulus to 10 GPa or more, the difference between the distortion of the glass film 11 and the distortion of the metal substrate 12 that occurs when the glass film 11 and the metal substrate 12 are bonded can be reduced. It can suppress that stress is applied to the film 11 and can prevent the glass film 11 from cracking. In addition, as a measuring method of the Young's modulus of the metal base material 12, it is suitable to measure based on JISZ2280.

また、金属基材12の熱収縮率は、IPC TM650 Method2.2.4に準拠して、230℃、150分後の焼成後に、0.05%以下であることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11の熱収縮率(0.05%以下)と金属基材12の熱収縮率との差を低減することができる。このように金属基材12の熱収縮率を0.05%以下とすることにより、例えば、カラーフィルタ用の画素2、3、4を形成する場合に、画素2、3、4を硬化(ポストベーク)させるために加熱処理して冷却した場合であっても、ガラスフィルム11の収縮量と金属基材12の収縮量との差が低減されるため、ガラスフィルム11が反る等によりガラスフィルム11が変形することを防止でき、ガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、安定して搬送することができる。   Moreover, it is preferable that the thermal contraction rate of the metal base material 12 is 0.05% or less after baking after 230 degreeC and 150 minutes based on IPC TM650 Method2.2.4. Thereby, the difference between the thermal shrinkage rate (0.05% or less) of the glass film 11 and the thermal shrinkage rate of the metal substrate 12 can be reduced. Thus, by setting the heat shrinkage rate of the metal base 12 to 0.05% or less, for example, when forming the pixels 2, 3, and 4 for the color filter, the pixels 2, 3, and 4 are cured (post). Even if it is a case where it heat-processes and cools to make it bake), since the difference of the shrinkage amount of the glass film 11 and the shrinkage amount of the metal base material 12 is reduced, the glass film 11 is warped or the like. 11 can be prevented from being deformed, and the glass film laminate 10 can be stably conveyed in a roll-to-roll process.

次に、図3を用いて、カラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体1aについて説明する。カラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体1aは、ガラスフィルム積層体10を用いてカラーフィルタ1を製造する場合の中間生成物に相当するものであって、上述したガラスフィルム積層体10と、このガラスフィルム積層体10のガラスフィルム11上に設けられた、カラーフィルタ用の複数色の画素2、3、4およびブラックマトリックス5と、を有している。このうち、各画素2、3、4は、保護層6で覆われ、保護層6上に透明電極膜7が形成されている。このカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体1aにおいて、金属基材12を粘着層13と共にガラスフィルム11から剥離することにより、図1に示すカラーフィルタ1が得られるようになっている。   Next, the glass film laminated body 1a with a pixel for color filters is demonstrated using FIG. The pixel-attached glass film laminate 1a for a color filter corresponds to an intermediate product when the color filter 1 is produced using the glass film laminate 10, and includes the glass film laminate 10 described above, A plurality of color pixels 2, 3, 4 for a color filter and a black matrix 5 are provided on the glass film 11 of the glass film laminate 10. Among these, each pixel 2, 3, 4 is covered with a protective layer 6, and a transparent electrode film 7 is formed on the protective layer 6. In this color filter-attached glass film laminate 1a for a color filter, the color filter 1 shown in FIG. 1 is obtained by peeling the metal substrate 12 from the glass film 11 together with the adhesive layer 13.

次に、各構成部材の材料について説明する。   Next, the material of each component will be described.

ガラスフィルム11に用いる材料としては、フィルム状に形成できるものであれば特に制限されないが、一般にディスプレイ用途に用いられるソーダライムガラス、無アルカリガラスが好ましい。このうち、無色で透明度が高く、線熱膨張係数が小さくて変形しにくい無アルカリガラスが好適である。また、ガラスフィルム11の厚さは、5〜300μmであることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11を安定的に製造可能にし、取り扱い上最低限の強度を持たせることができると共に、ガラスフィルム11を有するガラスフィルム積層体10をロール状に巻き取ることが可能になる。   The material used for the glass film 11 is not particularly limited as long as it can be formed into a film shape, but soda lime glass and alkali-free glass generally used for display applications are preferable. Of these, alkali-free glass that is colorless and has high transparency, has a low coefficient of linear thermal expansion, and is difficult to deform is preferable. Moreover, it is preferable that the thickness of the glass film 11 is 5-300 micrometers. As a result, the glass film 11 can be stably manufactured, can have a minimum strength in handling, and the glass film laminate 10 having the glass film 11 can be wound into a roll. .

金属基材12に用いる材料としては、例えば、ステンレス、銅、ニッケル、チタン、鉄などを挙げることができる。この中でも、入手性、耐食性に優れたステンレスを用いることが好ましい。また、金属基材12の厚さは、1〜200μmであることが好ましい。金属基材12の厚さを1μm以上とすることにより、ガラスフィルム11の補強に必要な強度を確保するとともに、金属基材12が破断することを防止して取り扱い性を向上させることができる。また、金属基材12の厚さを200μm以下とすることにより、金属基材12の剛性が大きくなってガラスフィルム積層体10の巻き取りが困難になることを防止できる。   Examples of the material used for the metal substrate 12 include stainless steel, copper, nickel, titanium, and iron. Among these, it is preferable to use stainless steel excellent in availability and corrosion resistance. Moreover, it is preferable that the thickness of the metal base material 12 is 1-200 micrometers. By setting the thickness of the metal substrate 12 to 1 μm or more, it is possible to secure the strength necessary for reinforcing the glass film 11 and to prevent the metal substrate 12 from being broken and improve the handleability. Moreover, by setting the thickness of the metal base 12 to 200 μm or less, it is possible to prevent the rigidity of the metal base 12 from becoming large and making it difficult to wind the glass film laminate 10.

粘着層13に用いる材料としては、柔軟性を有しているものであれば、特に限定されないが、アクリル系、スチレン系等の樹脂材料が好ましい。また、粘着層13の厚さは、5〜200μmであることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11と金属基材12とを粘着するために十分な粘着力を確保できる。   The material used for the adhesive layer 13 is not particularly limited as long as it has flexibility, but an acrylic or styrene resin material is preferable. Moreover, it is preferable that the thickness of the adhesion layer 13 is 5-200 micrometers. Thereby, sufficient adhesive force can be secured for adhering the glass film 11 and the metal substrate 12.

次に、図4を用いて、本実施の形態におけるガラスフィルム積層体の製造装置(ラミネーター)20について説明する。   Next, the manufacturing apparatus (laminator) 20 of the glass film laminated body in this Embodiment is demonstrated using FIG.

図4に示すように、ガラスフィルム積層体の製造装置20は、帯状の連続したガラスフィルム11が巻き付けられたガラスフィルム11のロールが取り付けられるガラスフィルム供給部21と、帯状の連続した金属基材12が巻き付けられた金属基材12のロールが取り付けられる金属基材供給部22と、を有している。このうち、金属基材12の一方の面に設けられた粘着層13上に、カバーシート(離型紙)14が剥離自在に貼り付けられており、金属基材12のロールにおいて、互いに隣接する金属基材12の部分同士が粘着層13によって貼り付くことを防止している。また、金属基材供給部22の近傍には、金属基材供給部22から繰り出された金属基材12から、カバーシート14を剥離するための剥離部23と、剥離されたカバーシート14を巻き取って回収する回収部24とが設けられている。   As shown in FIG. 4, the glass film laminate manufacturing apparatus 20 includes a glass film supply unit 21 to which a roll of the glass film 11 around which the belt-like continuous glass film 11 is wound, and a belt-like continuous metal substrate. And a metal base material supply unit 22 to which a roll of the metal base material 12 around which the metal 12 is wound is attached. Among these, a cover sheet (release paper) 14 is affixed to an adhesive layer 13 provided on one surface of the metal base 12 so as to be peeled off. The portions of the base material 12 are prevented from sticking together by the adhesive layer 13. Further, in the vicinity of the metal base material supply unit 22, the peeling unit 23 for peeling the cover sheet 14 from the metal base material 12 fed out from the metal base material supply unit 22 and the peeled cover sheet 14 are wound. A collecting unit 24 is provided for collecting and collecting.

ガラスフィルム供給部21および金属基材供給部22の搬送方向下流側に、ガラスフィルム11および金属基材12をラミネートする押圧部25が設けられている。この押圧部25によって、ガラスフィルム11に粘着層13を介して金属基材12が積層されて貼り付けられ、図2に示すガラスフィルム積層体10が得られるようになっている。   A pressing unit 25 for laminating the glass film 11 and the metal substrate 12 is provided on the downstream side in the transport direction of the glass film supply unit 21 and the metal substrate supply unit 22. By this pressing part 25, the metal base material 12 is laminated | stacked and affixed on the glass film 11 via the adhesion layer 13, and the glass film laminated body 10 shown in FIG. 2 is obtained.

押圧部25の下流側には、ガラスフィルム積層体10を円筒状のコア27aに巻き取る巻取部26が設けられている。この巻取部26において、ガラスフィルム積層体10がコア27aに巻き取られたガラスフィルム積層体ロール27が形成される。   On the downstream side of the pressing portion 25, a winding portion 26 that winds the glass film laminate 10 around a cylindrical core 27a is provided. In this winding part 26, the glass film laminated body roll 27 by which the glass film laminated body 10 was wound up by the core 27a is formed.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態によるガラスフィルム積層体の製造方法について、図4を用いて説明する。   Next, the effect | action of this Embodiment which consists of such a structure, ie, the manufacturing method of the glass film laminated body by this Embodiment, is demonstrated using FIG.

まず、帯状の連続したガラスフィルム11と、粘着層13付きの帯状の連続した金属基材12と、を準備する。すなわち、ガラスフィルム積層体の製造装置20において、ガラスフィルム11のロールがガラスフィルム供給部21に取り付けられ、金属基材12のロールが金属基材供給部22に取り付けられる。   First, a strip-shaped continuous glass film 11 and a strip-shaped continuous metal substrate 12 with an adhesive layer 13 are prepared. That is, in the glass film laminate manufacturing apparatus 20, the roll of the glass film 11 is attached to the glass film supply unit 21, and the roll of the metal substrate 12 is attached to the metal substrate supply unit 22.

続いて、ガラスフィルム供給部21からガラスフィルム11が繰り出され、金属基材供給部22から粘着層13付きの金属基材12が繰り出される。この際、金属基材供給部22から繰り出された粘着層13上のカバーシート14は、剥離部23によって粘着層13から剥離されて、回収部24に巻き取られて回収される。このようにして、押圧部25には、カバーシート14が剥離された粘着層13付きの金属基材12が搬送される。   Subsequently, the glass film 11 is fed out from the glass film supply unit 21, and the metal substrate 12 with the adhesive layer 13 is fed out from the metal substrate supply unit 22. At this time, the cover sheet 14 on the adhesive layer 13 drawn out from the metal base material supply unit 22 is peeled off from the adhesive layer 13 by the peeling unit 23, wound around the collection unit 24 and collected. In this way, the metal substrate 12 with the adhesive layer 13 from which the cover sheet 14 has been peeled is conveyed to the pressing portion 25.

次に、押圧部25において、ガラスフィルム11に粘着層13を介して金属基材12が積層されて貼り付けられる。このようにして、図2に示すガラスフィルム積層体10が得られる。   Next, in the pressing part 25, the metal substrate 12 is laminated and attached to the glass film 11 via the adhesive layer 13. Thus, the glass film laminated body 10 shown in FIG. 2 is obtained.

その後、得られたガラスフィルム積層体10は、巻取部26に搬送されて、コア27aに巻き取られる。このようにしてガラスフィルム積層体ロール27が形成される。   Then, the obtained glass film laminated body 10 is conveyed by the winding-up part 26, and is wound up by the core 27a. Thus, the glass film laminated body roll 27 is formed.

ところで、ガラスフィルム積層体の製造装置20においてガラスフィルム積層体10を製造している間、ガラスフィルム供給部21および金属基材供給部22から巻取部26に搬送されているガラスフィルム11および金属基材12に、所定の張力が負荷されている。しかしながら、金属基材12は10GPa以上のヤング率を有していることにより、ガラスフィルム11の変形量と金属基材12の変形量とを同程度にすることができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。   By the way, while manufacturing the glass film laminated body 10 in the manufacturing apparatus 20 of a glass film laminated body, the glass film 11 and metal currently conveyed by the winding part 26 from the glass film supply part 21 and the metal base material supply part 22 are shown. A predetermined tension is applied to the substrate 12. However, since the metal substrate 12 has a Young's modulus of 10 GPa or more, the deformation amount of the glass film 11 and the deformation amount of the metal substrate 12 can be made comparable, and the deformation of the glass film 11 can be reduced. Can be prevented.

上述したガラスフィルム積層体10を用いてカラーフィルタ1を製造する場合には、まず、ガラスフィルム積層体ロール27からガラスフィルム積層体10が繰り出され、ガラスフィルム11上に画素用感光性材料が塗布されて、乾燥(プリベーク)、露光、現像およびポストベークという一連の工程を画素毎に繰り返すことで、ガラスフィルム11上に各色の画素2、3、4およびブラックマトリックス5が形成される。   When manufacturing the color filter 1 using the glass film laminated body 10 mentioned above, first, the glass film laminated body 10 is drawn out from the glass film laminated body roll 27, and the photosensitive material for pixels is apply | coated on the glass film 11. FIG. Then, by repeating a series of steps of drying (pre-baking), exposure, development and post-baking for each pixel, the pixels 2, 3, 4 and black matrix 5 of each color are formed on the glass film 11.

なお、現像の後、画素が形成されたガラスフィルム積層体10は巻き取られて、加熱オーブン(図示せず)に投入される。この加熱オーブンにおいて、ガラスフィルム積層体10は、例えば、200℃で30分間加熱されて、ポストベークされる。ポストベークされたガラスフィルム積層体10は、加熱オーブンから取り出されて、大気中で冷却される。この冷却によって、ガラスフィルム積層体10のガラスフィルム11および金属基材12は収縮する。しかしながら、金属基材12の熱収縮率は、0.05%以下であるため、ガラスフィルム11の収縮量と金属基材12の収縮量とを同程度にすることができ、ガラスフィルム11が反る等によるガラスフィルム11の変形を防止することができる。   After development, the glass film laminate 10 on which the pixels are formed is wound up and put into a heating oven (not shown). In this heating oven, the glass film laminate 10 is heated at 200 ° C. for 30 minutes and post-baked, for example. The post-baked glass film laminate 10 is taken out from the heating oven and cooled in the atmosphere. By this cooling, the glass film 11 and the metal substrate 12 of the glass film laminate 10 contract. However, since the heat shrinkage rate of the metal base 12 is 0.05% or less, the shrinkage amount of the glass film 11 and the shrinkage amount of the metal base material 12 can be made comparable, and the glass film 11 is antireflective. It is possible to prevent the glass film 11 from being deformed by, for example.

また、ガラスフィルム11上に画素用感光性材料を塗布して、乾燥、露光および現像を行っている間、ガラスフィルム11および金属基材12に所定の張力が負荷されているが、金属基材12は10GPa以上のヤング率を有していることにより、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。   In addition, while applying a photosensitive material for pixels on the glass film 11 and performing drying, exposure and development, a predetermined tension is applied to the glass film 11 and the metal base 12. 12 has a Young's modulus of 10 GPa or more, so that the deformation of the glass film 11 can be prevented.

続いて、各画素2、3、4を覆う保護層6が形成され、保護層6上に透明電極膜7が形成されて、図3に示すカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体1aが得られる。その後、金属基材12が粘着層13と共にガラスフィルム11から剥離されて、図1に示すカラーフィルタ1を得ることができる。   Subsequently, a protective layer 6 covering each of the pixels 2, 3, and 4 is formed, and a transparent electrode film 7 is formed on the protective layer 6 to obtain a pixel-attached glass film laminate 1a for a color filter shown in FIG. It is done. Thereafter, the metal substrate 12 is peeled from the glass film 11 together with the adhesive layer 13 to obtain the color filter 1 shown in FIG.

このように本実施の形態によれば、ガラスフィルム11は、金属基材12によって支持されている。このことにより、ガラスフィルム11を補強することができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。この場合、ガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、安定して搬送することができる。   Thus, according to this Embodiment, the glass film 11 is supported by the metal base material 12. FIG. Thereby, the glass film 11 can be reinforced and the deformation of the glass film 11 can be prevented. In this case, the glass film laminated body 10 can be stably conveyed in a roll-to-roll process.

また、本実施の形態によれば、金属基材12が、10GPa以上のヤング率を有していることにより、ガラスフィルム11のヤング率と金属基材12のヤング率との差を低減することができる。この場合、ロール・ツー・ロールプロセスにおいてガラスフィルム積層体10に張力が負荷された場合であっても、ガラスフィルム11の変形量と、金属基材12の変形量を同程度にすることができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。   Moreover, according to this Embodiment, when the metal base material 12 has a Young's modulus of 10 GPa or more, the difference between the Young's modulus of the glass film 11 and the Young's modulus of the metal base material 12 is reduced. Can do. In this case, even when tension is applied to the glass film laminate 10 in the roll-to-roll process, the deformation amount of the glass film 11 and the deformation amount of the metal substrate 12 can be made comparable. The deformation of the glass film 11 can be prevented.

また、本実施の形態によれば、金属基材12の熱収縮率が、0.05%以下であることにより、ガラスフィルム11の熱収縮率と金属基材12の熱収縮率との差を低減することができる。この場合、カラーフィルタ用の画素2、3、4を形成する場合に、画素2、3、4をポストベークするために加熱処理して冷却した場合であっても、ガラスフィルム11の収縮量と金属基材12の収縮量との差が低減され、ガラスフィルム11が反る等によるガラスフィルム11の変形を防止することができる。この結果、ガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、安定して搬送することができる。   Moreover, according to this Embodiment, when the thermal contraction rate of the metal base material 12 is 0.05% or less, the difference between the thermal contraction rate of the glass film 11 and the thermal contraction rate of the metal base material 12 is calculated. Can be reduced. In this case, when forming the pixels 2, 3 and 4 for the color filter, the shrinkage amount of the glass film 11 can be obtained even when the pixels 2, 3 and 4 are heated and cooled to post-bake. The difference with the shrinkage | contraction amount of the metal base material 12 is reduced, and the deformation | transformation of the glass film 11 by the glass film 11 curving etc. can be prevented. As a result, the glass film laminate 10 can be stably conveyed in a roll-to-roll process.

また、本実施の形態によれば、ガラスフィルム11が金属基材12によって支持されているため、ガラスフィルム11がプラスチックフィルム(図示せず)によって支持されたガラスフィルム積層体を加熱処理した場合に析出されるオリゴマー等の異物の発生を防止することができる。   Moreover, according to this Embodiment, since the glass film 11 is supported by the metal base material 12, when the glass film laminated body with which the glass film 11 was supported by the plastic film (not shown) was heat-processed. Generation | occurrence | production of foreign materials, such as a deposited oligomer, can be prevented.

また、本実施の形態によれば、ガラスフィルム11が金属基材12によって支持されていることにより、以下のような利点が生じる。すなわち、単体のガラスフィルム11を、異物を巻き込んで巻き取った場合には、局所的な衝撃、加圧、傷等により、ガラスフィルム11が容易に破損する可能性があるが、ガラスフィルム11に金属基材12を貼り合せることにより、ガラスフィルム11を補強して、ガラスフィルム11の破損を防止可能にしている。また、ガラスフィルム11に金属基材12を貼り合せることにより、ガラスフィルム11が割れた場合であっても、ガラスの破片等の飛散を防止することができる。   Moreover, according to this Embodiment, since the glass film 11 is supported by the metal base material 12, the following advantages arise. That is, when a single glass film 11 is wound up with a foreign substance involved, the glass film 11 may be easily damaged by local impact, pressure, scratches, etc. By bonding the metal substrate 12, the glass film 11 is reinforced to prevent the glass film 11 from being damaged. Moreover, even if it is a case where the glass film 11 is cracked by bonding the metal base material 12 to the glass film 11, scattering of glass fragments and the like can be prevented.

さらに、本実施の形態によれば、カラーフィルタ用の複数色の画素2、3、4が設けられたガラスフィルム積層体10のガラスフィルム11の変形を防止することができる。このことにより、カラーフィルタ1の表示画像の精度を向上させることができる。   Furthermore, according to this Embodiment, the deformation | transformation of the glass film 11 of the glass film laminated body 10 in which the pixel 2, 3, 4 of multiple colors for color filters was provided can be prevented. Thereby, the accuracy of the display image of the color filter 1 can be improved.

なお、本実施の形態においては、金属基材12が箔状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、金属基材12が、例えば金属メッシュのように、網状に形成されていてもよい。この場合においても、ガラスフィルム11を支持することができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。   In the present embodiment, the example in which the metal substrate 12 is formed in a foil shape has been described. However, the present invention is not limited to this, and the metal substrate 12 may be formed in a net shape like a metal mesh, for example. Also in this case, the glass film 11 can be supported and the deformation of the glass film 11 can be prevented.

(第2の実施の形態)
次に、図5により、本発明の第2の実施の形態におけるガラスフィルム積層体について説明する。
(Second Embodiment)
Next, the glass film laminated body in the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated with FIG.

図5に示す第2の実施の形態においては、ガラスフィルムに、粘着層を介して、ガラスクロスを有する支持基材が積層されている点が主に異なり、他の構成は、図1乃至図4に示す第1の実施の形態と略同一である。なお、図5において、図1乃至図4に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The second embodiment shown in FIG. 5 is mainly different in that a supporting substrate having a glass cloth is laminated on a glass film via an adhesive layer, and the other configurations are shown in FIGS. This is substantially the same as the first embodiment shown in FIG. In FIG. 5, the same parts as those of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図5に示すように、本実施の形態におけるガラスフィルム積層体10は、ガラスフィルム11と、ガラスフィルム11に粘着層13を介して積層された支持基材31と、を備えている。このうち支持基材31は、ガラスクロス32を有するガラス含有プラスチックフィルム33により構成されている。   As shown in FIG. 5, the glass film laminated body 10 in this Embodiment is equipped with the glass substrate 11 and the support base material 31 laminated | stacked through the adhesion layer 13 on the glass film 11. As shown in FIG. Among these, the support substrate 31 is constituted by a glass-containing plastic film 33 having a glass cloth 32.

ガラスクロス32とは、微細な多数のガラス繊維により形成された織布である。このガラス繊維に用いる材料としては、特に限定されるものではなく、ガラスフィルム11と同様の材料とすることができる。また、ガラス繊維の繊維径は、3〜24μmであることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11の補強に必要な強度を確保できると共に、ガラスクロス32を有するガラスフィルム積層体10をロール状に巻き取ることが可能となる。なお、ガラス繊維の繊維径の測定方法としては、JIS L 1095に準拠して測定することが好適である。   The glass cloth 32 is a woven fabric formed of a large number of fine glass fibers. It does not specifically limit as a material used for this glass fiber, It can be set as the material similar to the glass film 11. FIG. Moreover, it is preferable that the fiber diameter of glass fiber is 3-24 micrometers. This makes it possible to secure the strength necessary for reinforcing the glass film 11 and wind the glass film laminate 10 having the glass cloth 32 into a roll. In addition, as a measuring method of the fiber diameter of glass fiber, it is suitable to measure based on JISL1095.

ガラス含有プラスチックフィルム33は、ガラスクロス32に樹脂を含浸させたものであって、ここで用いるプラスチック材料としては、特に限定されるものではないが、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。また、ガラス含有プラスチックフィルム33の厚さは、10〜300μmであることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11の補強に必要な強度を確保することができると共に、ガラス含有プラスチックフィルム33を有するガラスフィルム積層体10をロール状に巻き取ることが可能になる。   The glass-containing plastic film 33 is obtained by impregnating a glass cloth 32 with a resin, and the plastic material used here is not particularly limited. For example, acrylic resin, epoxy resin, polyamide resin, phenol Examples thereof include synthetic resins such as resins. Moreover, it is preferable that the thickness of the glass containing plastic film 33 is 10-300 micrometers. This makes it possible to ensure the strength necessary for reinforcing the glass film 11 and to wind the glass film laminate 10 having the glass-containing plastic film 33 in a roll shape.

なお、このような本実施の形態における支持基材31を有するガラスフィルム積層体10は、図4に示すガラスフィルム積層体の製造装置20を用いて、第1の実施の形態によるガラスフィルム積層体10と同様にして製造することができる。   In addition, the glass film laminated body 10 which has the support base material 31 in such this Embodiment uses the manufacturing apparatus 20 of the glass film laminated body shown in FIG. 4, and the glass film laminated body by 1st Embodiment. 10 can be produced in the same manner.

このように本実施の形態によれば、ガラスフィルム11は、支持基材31としてのガラスクロス32を有するガラス含有プラスチックフィルム33によって支持されている。このことにより、ガラスフィルム11を補強することができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。この場合、ガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、安定して搬送することができる。   Thus, according to this Embodiment, the glass film 11 is supported by the glass containing plastic film 33 which has the glass cloth 32 as the support base material 31. FIG. Thereby, the glass film 11 can be reinforced and the deformation of the glass film 11 can be prevented. In this case, the glass film laminated body 10 can be stably conveyed in a roll-to-roll process.

とりわけ、本実施の形態によれば、支持基材31がガラスクロス32を有していることにより、ガラスフィルム11のヤング率と支持基材31のヤング率との差を低減することができる。この場合、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、ガラスフィルム11の変形量と支持基材31の変形量を同程度にすることができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。また、ガラスフィルム11の熱収縮率と支持基材31の熱収縮率との差を低減することができるため、加熱処理して冷却した場合であっても、ガラスフィルム11の収縮量と支持基材31の収縮量との差が低減され、ガラスフィルム11が反る等によるガラスフィルム11の変形を防止することができる。この結果、ガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスにおいて、安定して搬送することができる。   In particular, according to the present embodiment, since the support base material 31 has the glass cloth 32, the difference between the Young's modulus of the glass film 11 and the Young's modulus of the support base material 31 can be reduced. In this case, in the roll-to-roll process, the deformation amount of the glass film 11 and the deformation amount of the support base material 31 can be made comparable, and the deformation of the glass film 11 can be prevented. In addition, since the difference between the thermal shrinkage rate of the glass film 11 and the thermal shrinkage rate of the support base material 31 can be reduced, the shrinkage amount of the glass film 11 and the support base even when it is cooled by heat treatment. The difference from the shrinkage amount of the material 31 is reduced, and deformation of the glass film 11 due to warpage of the glass film 11 can be prevented. As a result, the glass film laminate 10 can be stably conveyed in a roll-to-roll process.

また、本実施の形態によれば、ガラスフィルム11がガラス含有プラスチックフィルム33によって支持されていることにより、ガラスフィルム11を補強することができる。このため、ガラスフィルム積層体10を、異物を巻き込んで巻き取った場合においても、局所的な衝撃、加圧、傷等によりガラスフィルム11が破損することを防止できる。また、ガラスフィルム11にガラス含有プラスチックフィルム33を貼り合せることにより、ガラスフィルム11が割れた場合であっても、ガラスの破片等の飛散を防止することができる。   Moreover, according to this Embodiment, since the glass film 11 is supported by the glass containing plastic film 33, the glass film 11 can be reinforced. For this reason, even when the glass film laminated body 10 is wound up with a foreign substance involved, it is possible to prevent the glass film 11 from being damaged by local impact, pressurization, scratches, or the like. Moreover, even if it is a case where the glass film 11 is cracked by bonding the glass containing plastic film 33 to the glass film 11, scattering of glass fragments etc. can be prevented.

さらに、本実施の形態によれば、カラーフィルタ用の複数色の画素2、3、4が設けられたガラスフィルム積層体10のガラスフィルム11の変形を防止することができる。このことにより、カラーフィルタ1の表示画像の精度を向上させることができる。   Furthermore, according to this Embodiment, the deformation | transformation of the glass film 11 of the glass film laminated body 10 in which the pixel 2, 3, 4 of multiple colors for color filters was provided can be prevented. Thereby, the accuracy of the display image of the color filter 1 can be improved.

なお、本実施の形態においては、支持基材31がガラスクロス32を有するガラス含有プラスチックフィルム33により構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図6に示すように、支持基材31が、ガラスクロス32のみにより構成されていてもよい。この場合においても、ガラスフィルム11を補強することができ、ガラスフィルム11の変形を防止することができる。また、この場合、支持基材31にプラスチック材料が含まれていないため、ガラスフィルム11がプラスチックフィルム(図示せず)によって支持されたガラスフィルム積層体を加熱処理した場合に析出されるオリゴマー等の異物の発生を防止することができる。なお、図6に示す形態において用いられるガラスクロス32の厚さは、10〜300μmであることが好ましい。このことにより、ガラスフィルム11の補強に必要な強度を確保することができると共に、ガラスクロス32を有するガラスフィルム積層体10をロール状に巻き取ることが可能になる。このようなガラスクロス32としては、例えば、ユニチカ株式会社製のガラスクロス E06B(厚さ55μm)を用いることができる。なお、ガラスクロス32の厚さの測定方法としては、オリンパス社製超音波厚み測定装置(35DL−HP)を用いて測定することが好適である。   In the present embodiment, the example in which the support base 31 is constituted by the glass-containing plastic film 33 having the glass cloth 32 has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 6, the support base material 31 may be composed of only the glass cloth 32. Also in this case, the glass film 11 can be reinforced and the deformation of the glass film 11 can be prevented. Further, in this case, since the support base material 31 does not contain a plastic material, an oligomer or the like that is deposited when the glass film 11 is heat-treated by the glass film 11 supported by the plastic film (not shown). Generation of foreign matter can be prevented. In addition, it is preferable that the thickness of the glass cloth 32 used in the form shown in FIG. 6 is 10-300 micrometers. This makes it possible to secure the strength necessary for reinforcing the glass film 11 and to wind the glass film laminate 10 having the glass cloth 32 into a roll. As such a glass cloth 32, for example, a glass cloth E06B (thickness 55 μm) manufactured by Unitika Ltd. can be used. In addition, as a measuring method of the thickness of the glass cloth 32, it is suitable to measure using the Olympus ultrasonic thickness measuring apparatus (35DL-HP).

以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、当然のことながら、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。   The embodiments of the present invention have been described in detail above. However, it should be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. .

本発明の第1の実施の形態によるガラスフィルム積層体10を、ロール・ツー・ロールプロセスに適用した場合、および、カラーフィルタ1用の画素2、3、4を形成するために加熱処理をした場合において、ガラスフィルム11が変形するかどうかを確認した。   When the glass film laminate 10 according to the first embodiment of the present invention was applied to a roll-to-roll process, and heat treatment was performed to form the pixels 2, 3 and 4 for the color filter 1. In some cases, it was confirmed whether the glass film 11 was deformed.

まず、ガラスフィルム11として、厚さ70μm、幅300mm、長さ10mの薄板ガラス(日本電気硝子社製、OA−10G)を準備した。また、金属基材12として、厚さ50μm、幅300mm、長さ10mの粘着層付きステンレス箔(日本金属株式会社製、鋼種SUS304)を準備した。この金属基材12に設けられた粘着層13上には、カバーシート14が剥離自在に貼り付けられている。   First, as the glass film 11, a thin plate glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., OA-10G) having a thickness of 70 μm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was prepared. Moreover, as the metal substrate 12, a stainless steel foil with a pressure-sensitive adhesive layer (manufactured by Nippon Metal Co., Ltd., steel type SUS304) having a thickness of 50 μm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was prepared. A cover sheet 14 is affixed to the adhesive layer 13 provided on the metal substrate 12 so as to be peelable.

続いて、ラミネーターにより、ガラスフィルム11に、粘着層13を介して金属基材12を積層して貼り付けて、ガラスフィルム積層体10を得た。得られたガラスフィルム積層体10を、直径が6インチのコア27aに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール27を形成した。   Then, the glass substrate 11 was obtained by laminating and pasting the metal substrate 12 on the glass film 11 via the adhesive layer 13 with a laminator. The obtained glass film laminate 10 was wound around a core 27 a having a diameter of 6 inches to form a glass film laminate roll 27.

次に、ガラスフィルム積層体ロール27を塗工装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体10を繰り出した。   Next, the glass film laminated body roll 27 was set to the unwinding part of the coating apparatus, and the glass film laminated body 10 was drawn out.

そして、繰り出されたガラスフィルム積層体10のガラスフィルム11上に、マイクログラビアにてレジストを塗布し、その後に露光および現像を行った。   And the resist was apply | coated by the micro gravure on the glass film 11 of the drawn-out glass film laminated body 10, and exposure and image development were performed after that.

現像後、ガラスフィルム積層体10を巻き取り、加熱オーブンに投入し、200℃、30分間加熱してポストベークを行った。ポストベーク後、ガラスフィルム積層体10を加熱オーブンから取り出して、大気中で冷却した。   After the development, the glass film laminate 10 was wound up, put into a heating oven, and post-baked by heating at 200 ° C. for 30 minutes. After the post-baking, the glass film laminate 10 was taken out from the heating oven and cooled in the atmosphere.

その後、他の画素用の塗工装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体10を繰り出した。この際、ガラスフィルム積層体10がスムーズに繰り出されることが確認できた。すなわち、ガラスフィルム11に反り等の変形が生じていないことが確認できた。   Then, it set to the unwinding part of the coating device for other pixels, and the glass film laminated body 10 was drawn | fed out. At this time, it was confirmed that the glass film laminate 10 was smoothly drawn out. That is, it was confirmed that the glass film 11 was not deformed such as warpage.

(比較例)
金属基材12の代わりに支持基材として、厚さ50μm、幅300mm、長さ10mの粘着層付きPETフィルム(リンテック社製、フジクリア50)を用いたこと以外は、実施例と同様にしてガラスフィルム積層体を作製した。しかしながら、実施例のようにポストベークして冷却した後に塗工装置の巻出部にセットしてガラスフィルム積層体を繰り出そうとしたが、ガラスフィルム11に反りが発生していたため、ガラスフィルム11が割れ、ガラスフィルム積層体を繰り出すことができなかった。
(Comparative example)
Glass in the same manner as in the examples except that a PET film with an adhesive layer (Lintec Co., Ltd., Fuji Clear 50) having a thickness of 50 μm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was used as a supporting substrate instead of the metal substrate 12. A film laminate was prepared. However, after post-baking and cooling as in the examples, the glass film laminate was set out on the unwinding portion of the coating apparatus and was fed out. However, since the glass film 11 was warped, the glass film 11 was The glass film laminate was broken and could not be fed out.

以上の説明においては、本発明によるガラスフィルム積層体をカラーフィルタに適用した例を示している。しかしながらこのことに限られることはなく、カラーフィルタの対向基板であるTFT基板若しくは電極基板、有機EL用表示素子基板、または太陽電池等の基板に、本発明によるガラスフィルム積層体を適用することも可能である。さらには、既存のガラス製品の全て、例えば、建築、家具装飾、電子デバイス、半導体デバイス、車体部材などに用いられるガラス製品にも本発明を適用することができる。   In the above description, the example which applied the glass film laminated body by this invention to the color filter is shown. However, the present invention is not limited to this, and the glass film laminate according to the present invention may be applied to a TFT substrate or electrode substrate, a display element substrate for organic EL, or a substrate such as a solar cell, which is a counter substrate of a color filter. Is possible. Furthermore, the present invention can be applied to all existing glass products, for example, glass products used for architecture, furniture decoration, electronic devices, semiconductor devices, car body members, and the like.

1 カラーフィルタ
1a カラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体
2 赤色画素
3 緑色画素
4 青色画素
5 ブラックマトリックス
6 保護層
7 透明電極膜
10 ガラスフィルム積層体
11 ガラスフィルム
12 金属基材
13 粘着層
14 カバーシート
20 ガラスフィルム積層体の製造装置
21 ガラスフィルム供給部
22 金属基材供給部
23 剥離部
24 回収部
25 押圧部
26 巻取部
27 ガラスフィルム積層体ロール
27a コア
31 支持基材
32 ガラスクロス
33 ガラス含有プラスチックフィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Color filter 1a Glass film laminated body with a pixel for color filters 2 Red pixel 3 Green pixel 4 Blue pixel 5 Black matrix 6 Protective layer 7 Transparent electrode film 10 Glass film laminated body 11 Glass film 12 Metal substrate 13 Adhesive layer 14 Cover Sheet 20 Glass film laminate manufacturing apparatus 21 Glass film supply unit 22 Metal base material supply unit 23 Peeling unit 24 Recovery unit 25 Press unit 26 Winding unit 27 Glass film laminate roll 27a Core 31 Support base material 32 Glass cloth 33 Glass Contains plastic film

Claims (7)

ガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された金属基材と、を備えたことを特徴とするガラスフィルム積層体。
Glass film,
A glass film laminate comprising: a metal substrate laminated on the glass film via an adhesive layer.
前記金属基材は、10GPa以上のヤング率を有していることを特徴とする請求項1に記載のガラスフィルム積層体。   The glass film laminate according to claim 1, wherein the metal substrate has a Young's modulus of 10 GPa or more. 前記金属基材の熱収縮率は、IPC TM650 Method2.2.4に準拠して、230℃、150分後の焼成後に、0.05%以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のガラスフィルム積層体。   The thermal contraction rate of the metal base material is 0.05% or less after firing at 230 ° C. for 150 minutes in accordance with IPC TM650 Method 2.2.4. The glass film laminated body of description. ガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された支持基材と、を備え、
前記支持基材は、ガラスクロスを有することを特徴とするガラスフィルム積層体。
Glass film,
A support base material laminated with an adhesive layer on the glass film,
The said support base material has a glass cloth, The glass film laminated body characterized by the above-mentioned.
前記支持基材は、前記ガラスクロスを有するガラス含有プラスチックフィルムにより構成されていることを特徴とする請求項4に記載のガラスフィルム積層体。   The glass substrate laminate according to claim 4, wherein the support substrate is composed of a glass-containing plastic film having the glass cloth. ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された金属基材と、を有するガラスフィルム積層体と、
前記ガラスフィルム積層体の前記ガラスフィルム上に設けられたカラーフィルタ用の複数色の画素と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体。
A glass film laminate having a glass film and a metal substrate laminated on the glass film via an adhesive layer;
A pixel-attached glass film laminate for a color filter, comprising a plurality of color pixels for a color filter provided on the glass film of the glass film laminate.
ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに粘着層を介して積層された支持基材と、を有するガラスフィルム積層体と、
前記ガラスフィルム積層体の前記ガラスフィルム上に設けられたカラーフィルタ用の複数色の画素と、を備え、
前記支持基材は、ガラスクロスを有することを特徴とするカラーフィルタ用の画素付ガラスフィルム積層体。
A glass film laminate having a glass film and a support substrate laminated to the glass film via an adhesive layer;
A plurality of color pixels for color filters provided on the glass film of the glass film laminate,
The said support base material has a glass cloth, The glass film laminated body with a pixel for color filters characterized by the above-mentioned.
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