JP2013029867A

JP2013029867A - Optical waveguide device

Info

Publication number: JP2013029867A
Application number: JP2012243677A
Authority: JP
Inventors: Shinsuke Sugano; 慎介菅野; Tsutomu Saito; 勉斉藤; Shingo Mori; 慎吾森
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 2012-11-05
Filing date: 2012-11-05
Publication date: 2013-02-07
Anticipated expiration: 2027-03-28
Also published as: JP5445658B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical waveguide device of a nest-type optical waveguide structure in which the device itself includes an operating point shift suppression function, without requiring any control device or the like.SOLUTION: An optical waveguide formed on a substrate having electro-optical effects is branched in a progress direction of a light wave to constitute at least two main optical waveguides, and each of the main optical waveguides is further branched in the progress direction of the light wave to constitute at least two sub optical waveguides. The at least two main optical waveguides constitute a main Mach-Zehnder optical waveguide, and the at least two sub optical waveguides are integrated into the main Mach-Zehnder optical waveguide and made proximate to each other to constitute a sub Mach-Zehnder optical waveguide. An optical waveguide device is configured in such a manner that, when the progress direction of the light wave is defined as a criterion, the at least two sub Mach-Zehnder optical waveguides comprised of the sub optical waveguides are formed at positions different from each other so as to suppress crosstalk of light.

Description

本発明は、光導波路素子に関し、特に、メインのマッハツェンダー型光導波路中に、２つのサブマッハツェンダー型光導波路が組み込まれた構成の、いわゆるネスト型導波路構造の光導波路素子に関する。 The present invention relates to an optical waveguide device, and more particularly to an optical waveguide device having a so-called nested waveguide structure in which two sub Mach-Zehnder optical waveguides are incorporated in a main Mach-Zehnder optical waveguide.

従来、光通信分野や光測定分野において、ＳＳＢ(Single-Side band)変調方式やデュオバイナリ（duobinary）変調方式など、複数の変調用電極に所定の位相差（＝時間遅延）を有する同一の変調信号を印加する光変調方式が利用されている。 Conventionally, in the optical communication field and the optical measurement field, the same modulation having a predetermined phase difference (= time delay) in a plurality of modulation electrodes such as an SSB (Single-Side band) modulation method and a duobinary modulation method. An optical modulation method for applying a signal is used.

ＳＳＢ型光変調器では、２つのサブマッハツェンダー型光導波路をメインマッハツェンダー型光導波路の分岐導波路に組み込んだ構成、いわゆる２つ入れ子マッハツェンダー型光導波路を有した、ネスト型導波路構造の光導波路素子が用いられている。このような光導波路素子において、ＳＳＢ変調信号を得るためには、90°ハイブリットを用いて２つの分岐された変調信号間の位相差が90°になるよう設定し、各サブ・マッハツェンダー型光導波路の変調用電極に印加する（特許文献１）。 In the SSB type optical modulator, a structure in which two sub Mach-Zehnder type optical waveguides are incorporated in a branching waveguide of a main Mach-Zehnder type optical waveguide, a so-called two-nested Mach-Zehnder type optical waveguide, An optical waveguide element is used. In such an optical waveguide device, in order to obtain an SSB modulation signal, the phase difference between two branched modulation signals is set to 90 ° using a 90 ° hybrid, and each sub-Mach-Zehnder type optical signal is set. Applied to the modulation electrode of the waveguide (Patent Document 1).

また、デュオバイナリ変調方式においては、２重電極型マッハツェンダー光変調器を利用し、２つの分岐導波路の各変調用電極に印加される変調信号が、ビット遅延回路を用い２つの変調信号間に所定のビット差を生じるよう設定されている。一般的にビット遅延量は０〜２Ｔ（Ｔ＝１bit）の範囲で選択される。 In the duobinary modulation method, a double-electrode Mach-Zehnder optical modulator is used, and a modulation signal applied to each modulation electrode of two branch waveguides is transmitted between two modulation signals using a bit delay circuit. Is set to produce a predetermined bit difference. Generally, the bit delay amount is selected in the range of 0 to 2T (T = 1 bit).

しかしながら、特に、上記ＳＳＢ変調方式で使用するネスト型導波路構造の光導波路素子においては、その使用中において各サブマッハツェンダー型光導波路のバイアス点、すなわち動作点が随時シフトしてしまい、安定な動作を確保することができないという問題があった。 However, in particular, in the optical waveguide device having a nested waveguide structure used in the SSB modulation system, the bias point, that is, the operating point of each sub Mach-Zehnder optical waveguide is shifted as needed during use, and the optical waveguide device is stable. There was a problem that the operation could not be secured.

このような動作点シフトを抑制するためには、例えば、上記光導波路素子からの出力信号を光検出部で適宜モニタリングし、動作点シフトが生じた場合は適宜制御装置などを用いることによって、そのシフト分を補完するという操作がなされていた。しかしながら、かかる動作点の調整操作は極めて煩雑であるので、上述したネスト型光導波路構造の光導波路素子の実用上の障害となっていた。 In order to suppress such an operating point shift, for example, an output signal from the optical waveguide element is appropriately monitored by a light detection unit, and when an operating point shift occurs, an appropriate control device or the like is used. There was an operation to complement the shift. However, such an operation point adjustment operation is extremely complicated, which has been a practical impediment to the above-described optical waveguide element having a nested optical waveguide structure.

特許第３８６７１４８号Japanese Patent No. 3867148

本発明は、制御装置などを必要とせずに、素子自体が動作点シフト抑制機能を有するネスト型光導波路構造の光導波路素子を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an optical waveguide element having a nested optical waveguide structure in which the element itself has an operating point shift suppressing function without requiring a control device or the like.

上記目的を達成すべく、本発明は、
電気光学効果を有する基板と、
前記基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路内を導波する光波を変調するための複数の変調用電極とを具え、
前記光導波路は、前記光波の進行方向において分岐して少なくとも２本のメイン光導波路を構成し、各メイン光導波路は前記光波の前記進行方向においてさらに分岐して少なくとも２本のサブ光導波路を構成し、
前記少なくとも２本のメイン光導波路は、メインマッハツェンダー型光導波路を構成するとともに、前記少なくとも２本のサブ光導波路は、前記メインマッハツェンダー型光導波路内に組み込まれるようにしてそれぞれが近接してサブマッハツェンダー型光導波路を構成し、
前記サブ光導波路から構成される少なくとも２つの前記サブマッハツェンダー型光導波路は、前記光波の前記進行方向を基準とした場合において、光のクロストークを抑止するように相異なる位置に形成されていることを特徴とする、光導波路素子（ネスト型光導波路構造の光導波路素子）に関する。 In order to achieve the above object, the present invention provides:
A substrate having an electro-optic effect;
An optical waveguide formed on the substrate;
A plurality of modulation electrodes for modulating light waves guided in the optical waveguide;
The optical waveguide is branched in the traveling direction of the light wave to constitute at least two main optical waveguides, and each main optical waveguide is further branched in the traveling direction of the light wave to constitute at least two sub optical waveguides. And
The at least two main optical waveguides constitute a main Mach-Zehnder type optical waveguide, and the at least two sub optical waveguides are close to each other so as to be incorporated in the main Mach-Zehnder type optical waveguide. Construct a sub Mach-Zehnder type optical waveguide,
At least two of the sub Mach-Zehnder type optical waveguides composed of the sub optical waveguides are formed at different positions so as to suppress crosstalk of light when the traveling direction of the light wave is used as a reference. The present invention relates to an optical waveguide device (an optical waveguide device having a nested optical waveguide structure).

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を実施した。その結果、以下に示すような事実を見出すに至った。上記のようなネスト型導波路構造の光導波路素子においては、変調操作を受けるサブマッハツェンダー型光導波路が近接して存在すると、互いに光導波路中を導波する光波が光学的な干渉を引き起こす場合がある。すなわち、例えば第１のサブマッハツェンダー型光導波路及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路が、互いに近接して存在すると、これらの光導波路中を導波する光波が互いに干渉するようになる。 The inventors of the present invention have intensively studied to achieve the above object. As a result, the following facts have been found. In the optical waveguide device having the nested waveguide structure as described above, when sub-Mach-Zehnder optical waveguides subjected to a modulation operation are close to each other, light waves guided in the optical waveguides cause optical interference. There is. That is, for example, if the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide exist close to each other, the light waves guided in these optical waveguides interfere with each other.

すなわち、前記第１のサブマッハツェンダー型光導波路と、前記第２のサブマッハツェンダー型光導波路との間には、光クロストークが発生するようになるので、この光クロストークによって、前記第２のサブマッハツェンダー型光導波路は、動作点シフトなどの特性上の影響を受けることになる。この結果、光導波路素子全体でも動作点シフトが頻繁に発生してしまうこととなっていた。 That is, optical crosstalk occurs between the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide. The sub Mach-Zehnder type optical waveguide is affected by characteristics such as operating point shift. As a result, the operating point shift frequently occurs in the entire optical waveguide device.

このような状況に鑑み、本発明では、上記第１のサブマッハツェンダー型光導波路及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路などの少なくとも２つのサブマッハツェンダー型光導波路を、光波の進行方向を基準とした場合において、上記光のクロストークを抑止するように相異なる位置に形成するようにしている。この結果、たとえ前記第１のサブマッハツェンダー型光導波路及び前記第２のサブマッハツェンダー型光導波路が、電気光学効果を有する基板上において、概観上並列に、さらには近接して形成されている場合においても、前記光導波路間の光クロストークを抑止できる。 In view of such a situation, in the present invention, at least two sub Mach-Zehnder type optical waveguides such as the first sub-Mach-Zehnder type optical waveguide and the second sub-Mach-Zehnder type optical waveguide are used as a reference for the traveling direction of light waves. In this case, they are formed at different positions so as to suppress the crosstalk of the light. As a result, even if the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide are formed on the substrate having the electro-optic effect, they are formed in parallel and in close proximity. Even in this case, optical crosstalk between the optical waveguides can be suppressed.

したがって、各サブマッハツェンダー型光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。 Therefore, various characteristics such as operating point shift caused by optical crosstalk such as operating point shift of each sub Mach-Zehnder type optical waveguide can be effectively suppressed.

なお、本発明の一態様では、上記基板と上記複数の変調用電極それぞれとの間にバッファ層を形成することができる。これによって、光導波路を伝搬する光波が、変調用電極により吸収又は散乱されることを効果的に防止することができる。また、前記変調用電極から印加される変調信号と、前記光導波路内を導波する光波との速度整合をも向上させることができる。 Note that in one embodiment of the present invention, a buffer layer can be formed between the substrate and each of the plurality of modulation electrodes. Accordingly, it is possible to effectively prevent the light wave propagating through the optical waveguide from being absorbed or scattered by the modulation electrode. In addition, it is possible to improve the speed matching between the modulation signal applied from the modulation electrode and the light wave guided in the optical waveguide.

また、本発明の他の態様では、前記少なくとも２本のメイン光導波路は、前記基板の途中経路において互いに交差し、前記光波の進行方向において、前記少なくとも２つのサブマッハツェンダー型光導波路の少なくとも１つは、前記メイン光導波路の交点の前方に形成するとともに、前記少なくとも２つのサブマッハツェンダー型光導波路の残りは、前記メイン光導波路の交点の後方に形成することができる。この場合でも上述した要件を満足することができるので、前記サブマッハツェンダー型光導波路間の光クロストーク、さらにはそれに付随した動作点シフトなどを抑制することができる（第２の態様）。 In another aspect of the present invention, the at least two main optical waveguides intersect each other in the middle path of the substrate, and at least one of the at least two sub Mach-Zehnder optical waveguides in the traveling direction of the light wave. One may be formed in front of the intersection of the main optical waveguides, and the rest of the at least two sub Mach-Zehnder optical waveguides may be formed behind the intersection of the main optical waveguides. Even in this case, since the above-described requirements can be satisfied, optical crosstalk between the sub-Mach-Zehnder type optical waveguides, and an operating point shift associated therewith can be suppressed (second mode).

さらに、本発明のその他の態様では、前記少なくとも２つのサブマッハツェンダー型光導波路は、前記光波の前記進行方向において並列に形成されるとともに、前記光波の前記進行方向において互いに前方及び後方に位置するようにして形成することができる。この場合、見かけ上は、前記サブマッハツェンダー型光導波路が互いに光クロストークを生じるような並列位置に形成されているが、上述したように、光波の進行方向を基準とした場合においては、相異なる位置に形成されていることになるので、前記サブマッハツェンダー型光導波路間の光クロストーク、さらにはそれに付随した動作点シフトなどを抑制することができる（第３の態様）。 Furthermore, in another aspect of the present invention, the at least two sub Mach-Zehnder optical waveguides are formed in parallel in the traveling direction of the light wave, and are positioned forward and rearward in the traveling direction of the light wave. In this way, it can be formed. In this case, the sub Mach-Zehnder type optical waveguides are apparently formed in parallel positions that cause optical crosstalk with each other. However, as described above, in the case where the traveling direction of the light wave is used as a reference, the phase is different. Since they are formed at different positions, optical crosstalk between the sub-Mach-Zehnder type optical waveguides, and an operating point shift associated therewith can be suppressed (third aspect).

また、本発明の他の態様では、前記サブマッハツェンダー型光導波路は３つ以上であって、前記光波の前記進行方向において、少なくとも前記サブマッハツェンダー型光導波路の変調部が重なり合わないようにして形成することができる（第４の態様）。 In another aspect of the present invention, the number of the sub Mach-Zehnder type optical waveguides is three or more, and at least the modulation parts of the sub Mach-Zehnder type optical waveguides do not overlap in the traveling direction of the light wave. (Fourth aspect).

第４の態様は、サブマッハツェンダー型光導波路が３つ以上存在する場合の具体的な構成を示したものである。 The fourth aspect shows a specific configuration when there are three or more sub Mach-Zehnder optical waveguides.

なお、特開平７−６４０３１号公報には、サブマッハツェンダー型光導波路を含まない、メインマッハツェンダー型光導波路のみを含む光変調器において、変調用電極を前記メインマッハツェンダー型光導波路の光波の進行方向において縦列に配列するようにし、これによって電気的クロストークを低減させることを開示しているが、本発明のように、メインマッハツェンダー型光導波路に加えてサブマッハツェンダー型光導波路を有するようなネスト型導波路構造の光導波路素子の光クロストークの抑止に関しては何ら言及していない。
特開平７−６４０３１号 In JP-A-7-64031, an optical modulator that does not include a sub Mach-Zehnder type optical waveguide and includes only a main Mach-Zehnder type optical waveguide, the modulation electrode is used as a light wave of the main Mach-Zehnder type optical waveguide. Although it is disclosed that the electric crosstalk is reduced by arranging in a column in the advancing direction, it has a sub Mach-Zehnder type optical waveguide in addition to the main Mach-Zehnder type optical waveguide as in the present invention. No mention is made of the suppression of optical crosstalk in such an optical waveguide device having a nested waveguide structure.
JP 7-64031 A

以上、説明したように、本発明によれば、光導波路素子を構成する少なくとも２つのサブマッハツェンダー型光導波路間の光クロストークを効果的に抑制することができるので、制御装置などを必要とせずに、素子自体が動作点シフト抑制機能を有するネスト型光導波路構造の光導波路素子を提供することができる。 As described above, according to the present invention, optical crosstalk between at least two sub Mach-Zehnder type optical waveguides constituting the optical waveguide element can be effectively suppressed, so that a control device or the like is required. In addition, it is possible to provide an optical waveguide element having a nested optical waveguide structure in which the element itself has an operating point shift suppression function.

本発明の第１の実施形態における光導波路素子の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the optical waveguide element in the 1st Embodiment of this invention. 第２の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical waveguide element in 2nd Embodiment. 第３の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical waveguide element in 3rd Embodiment. 第４の実施形態における光導波路素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical waveguide element in 4th Embodiment.

以下、本発明の詳細について、図面を参照しながら発明の実施形態に基づいて説明する。 Hereinafter, the details of the present invention will be described based on embodiments of the present invention with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における光導波路素子の構成を示す平面図である。本実施形態における光導波路素子１０は、電気光学効果を有する基板１１、この基板１１の表面部分に形成された光導波路１２を具えている。光導波路１２は、光波の進行方向において２つに分岐して２本のメイン光導波１４１及び１４２を構成し、各メイン光導波路１４１及び１４２は、それぞれ前記光波の前記進行方向においてさらに２つに分岐して２本のサブ光導波路１５１及び１５２、並びに１６１及び１６２を構成する。 (First embodiment)
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an optical waveguide device according to the first embodiment of the present invention. The optical waveguide element 10 in this embodiment includes a substrate 11 having an electro-optic effect, and an optical waveguide 12 formed on a surface portion of the substrate 11. The optical waveguide 12 is divided into two in the traveling direction of the light wave to form two main optical waveguides 141 and 142, and each of the main optical waveguides 141 and 142 is further divided into two in the traveling direction of the light wave. The two sub optical waveguides 151 and 152 and 161 and 162 are formed by branching.

２本のメイン光導波路１４１及び１４２は、メインマッハツェンダー型光導波路１４を構成する。また、２本のサブ光導波路１５１及び１５２は、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５を構成し、２本のサブ光導波路１６１及び１６２は、第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６を構成する。この結果、２つのサブマッハツェンダー型光導波路１５及び１６は、メインマッハツェンダー型光導波路１４内に組み込まれたような構成を呈する。 The two main optical waveguides 141 and 142 constitute the main Mach-Zehnder type optical waveguide 14. Further, the two sub optical waveguides 151 and 152 constitute a first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15, and the two sub optical waveguides 161 and 162 constitute a second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16. To do. As a result, the two sub Mach-Zehnder type optical waveguides 15 and 16 are configured to be incorporated in the main Mach-Zehnder type optical waveguide 14.

なお、サブ光導波路１５１及び１５２には変調用電極１５３及び１５４が設けられ、サブ光導波路１６１及び１６２には変調用電極１６３及び１６４が設けられている。本実施形態では、変調用電極１５３及び１６３が所定の変調信号を印加する信号電極として機能し、変調用電極１５４及び１６４が接地電極として機能している。また、図中の矢印は、光導波路中の光波の進行方向を示すものであって、図１から明らかなように、サブ光導波路１５１及び１５２に対する変調用電極１５３及び１５４と、サブ光導波路１６１及び１６２に対する変調用電極１６３及び１６４とは光波の進行方向に対して逆向きに配置されている。 The sub optical waveguides 151 and 152 are provided with modulation electrodes 153 and 154, and the sub optical waveguides 161 and 162 are provided with modulation electrodes 163 and 164. In the present embodiment, the modulation electrodes 153 and 163 function as signal electrodes for applying a predetermined modulation signal, and the modulation electrodes 154 and 164 function as ground electrodes. Also, the arrows in the figure indicate the traveling direction of the light wave in the optical waveguide. As is clear from FIG. 1, the modulation electrodes 153 and 154 for the sub optical waveguides 151 and 152, and the sub optical waveguide 161 are shown. And the modulation electrodes 163 and 164 with respect to 162 and 162 are disposed opposite to the traveling direction of the light wave.

本実施形態では、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６は、基板１１の長手方向（光波の進行方向）において、少なくとも変調部が重なり合わないようにして形成している。したがって、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６を、光波の進行方向を基準とした場合において、相異なる位置に形成するようにしているので、これら光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。なお、前記変調部とは、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６が互いに略平行であって、変調用電極１５３及び１５４によって実際に変調を受ける領域である。 In the present embodiment, the first sub-Mach-Zehnder optical waveguide 15 and the second sub-Mach-Zehnder optical waveguide 16 are arranged so that at least the modulation portions do not overlap in the longitudinal direction of the substrate 11 (light wave traveling direction). Formed. Therefore, the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 are formed at different positions when the traveling direction of the light wave is used as a reference. Various characteristics such as operating point shift due to optical crosstalk such as waveguide operating point shift can be effectively suppressed. The modulation unit is a region in which the first sub Mach-Zehnder optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder optical waveguide 16 are substantially parallel to each other and actually modulated by the modulation electrodes 153 and 154. It is.

なお、基板１１は、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）、及び石英系の材料及びこれらの組み合わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウム（ＬＮ）やタンタル酸リチウム（ＬＴ）結晶が好適に利用される。 The substrate 11 can be made of, for example, lithium niobate, lithium tantalate, PLZT (lead lanthanum zirconate titanate), a quartz-based material, or a combination thereof. In particular, lithium niobate (LN) or lithium tantalate (LT) crystals having a high electro-optic effect are preferably used.

光導波路１２（１４１，１４２，１５１，１５２，１６１及び１６２）の形成方法としては、Ｔｉなどを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表面に拡散させることにより形成することができる。また、特許文献３のように基板１１の表面に光導波路の形状に合わせてリッジを形成し、光導波路を構成することも可能である。
特開平６−２８９３４１号公報 The optical waveguide 12 (141, 142, 151, 152, 161 and 162) can be formed by diffusing Ti or the like on the substrate surface by a thermal diffusion method or a proton exchange method. Further, as in Patent Document 3, it is possible to form an optical waveguide by forming a ridge on the surface of the substrate 11 in accordance with the shape of the optical waveguide.
JP-A-6-289341

変調用電極１５３及び１５４、並びに１６３及び１６４は、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。 The modulation electrodes 153 and 154, and 163 and 164 can be formed by forming a Ti / Au electrode pattern, a gold plating method, or the like.

なお、特に図示してないが、基板１１と変調用電極１５３及び１５４、並びに１６３及び１６４との間にはバッファ層を形成することもできる。これによって、光導波路を伝搬する光波が、変調用電極により吸収又は散乱されることを効果的に防止することができる。また、前記変調用電極から印加される変調信号と、前記光導波路内を導波する光波との速度整合をも向上させることができる。 Although not particularly illustrated, a buffer layer may be formed between the substrate 11 and the modulation electrodes 153 and 154 and 163 and 164. Accordingly, it is possible to effectively prevent the light wave propagating through the optical waveguide from being absorbed or scattered by the modulation electrode. In addition, it is possible to improve the speed matching between the modulation signal applied from the modulation electrode and the light wave guided in the optical waveguide.

次に、本実施形態の光導波路素子の変調方法の一例について説明する。上述のように、サブ光導波路１５１及び１５２に対する変調用電極１５３及び１５４と、サブ光導波路１６１及び１６２に対する変調用電極１６３及び１６４とは光波の進行方向に対して逆向きに配置されているので、光導波路素子１０に対して入力光信号である周波数ω₀のレーザ光が入力されると、この光信号は光導波路１２中を伝搬した後、メインマッハツェンダー型光導波路１４のメイン光導波路１４１及び１４２に分岐される。その後、メイン光導波路１４１中を伝搬した光波は、サブマッハツェンダー型光導波路１５のサブ光導波路１５１及び１５２に分岐され、そこで周波数ωｃ／２の変調信号が印加される。また、メイン光導波路１４２中を伝搬した光波は、サブ光導波路１６１及び１６２に分岐され、そこで周波数ωｃ／２の変調信号が印加される。 Next, an example of a method for modulating the optical waveguide device of this embodiment will be described. As described above, the modulation electrodes 153 and 154 for the sub optical waveguides 151 and 152 and the modulation electrodes 163 and 164 for the sub optical waveguides 161 and 162 are disposed opposite to the traveling direction of the optical wave. When a laser beam having a frequency ω ₀ that is an input optical signal is input to the optical waveguide element 10, the optical signal propagates through the optical waveguide 12 and then the main optical waveguide 141 of the main Mach-Zehnder optical waveguide 14. And 142. Thereafter, the light wave propagating through the main optical waveguide 141 is branched to the sub optical waveguides 151 and 152 of the sub Mach-Zehnder optical waveguide 15, where a modulation signal having a frequency ωc / 2 is applied. The light wave propagating through the main optical waveguide 142 is branched to the sub optical waveguides 161 and 162, where a modulation signal having a frequency ωc / 2 is applied.

上述のように、その結果、上記周波数ωｃ／２の変調信号で変調された後の光波が合流して光導波路１２内を伝搬し、光導波路素子１０から出力されると、互いに周波数間隔がωｃだけ離隔した２つの光信号ω１及びω２が得られる。 As described above, as a result, when the light waves after being modulated by the modulation signal having the frequency ωc / 2 are combined and propagated in the optical waveguide 12 and output from the optical waveguide device 10, the frequency interval is ωc. Two optical signals ω1 and ω2 that are separated by a distance are obtained.

なお、上記変調方法はあくまで一例であって、本実施形態における光導波路素子は用途に応じて任意の態様で使用することができる。 Note that the above modulation method is merely an example, and the optical waveguide device in the present embodiment can be used in any manner depending on the application.

（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態における光導波路素子を示す平面図である。本実施形態において、第１の実施形態と同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。 (Second Embodiment)
FIG. 2 is a plan view showing an optical waveguide device according to the second embodiment. In the present embodiment, the same reference numerals are used to denote the same or similar components as those in the first embodiment.

本実施形態の光導波路素子２０においては、メイン光導波路１４１が分岐してサブ光導波路１５１及び１５２を構成し、これらサブ光導波路によってサブマッハツェンダー型光導波路１５が構成されている。その後、サブ光導波路１５１及び１５２は再び合流してメイン光導波路１４１となり、メイン光導波路１４２と交差する。その後、メイン光導波路１４２が分岐してサブ光導波路１６１及び１６２を構成し、これらサブ光導波路によってサブマッハツェンダー型光導波路１６が構成されている。なお、図中の矢印は、光導波路中の光波の進行方向を示すものである。 In the optical waveguide device 20 of the present embodiment, the main optical waveguide 141 branches to form sub optical waveguides 151 and 152, and the sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 is configured by these sub optical waveguides. Thereafter, the sub optical waveguides 151 and 152 join again to become the main optical waveguide 141 and intersect the main optical waveguide 142. Thereafter, the main optical waveguide 142 branches to form sub optical waveguides 161 and 162, and the sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 is configured by these sub optical waveguides. In addition, the arrow in a figure shows the advancing direction of the light wave in an optical waveguide.

本実施形態では、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６は、メイン光導波路１４１及び１４２の前方及び後方に位置し、基板１１の長手方向（光波の進行方向）において重なり合わないようにして形成している。したがって、第1のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６を、光波の進行方向を基準とした場合において、相異なる位置に形成するようにしているので、これら光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。 In the present embodiment, the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 are located in front of and behind the main optical waveguides 141 and 142, and the longitudinal direction of the substrate 11 (light wave It is formed so as not to overlap in the traveling direction). Therefore, the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 are formed at different positions when the traveling direction of the light wave is used as a reference. Various characteristics such as operating point shift due to optical crosstalk such as waveguide operating point shift can be effectively suppressed.

本実施形態における基板１１などは、上記第１の実施形態と同様に構成することができる。また、周波数ω₀の入力光信号に対する周波数ωｃ／２の変調信号による光変調も上記第１の実施形態と同様に実施することができる。 The substrate 11 and the like in the present embodiment can be configured in the same manner as in the first embodiment. Further, the optical modulation by the modulation signal having the frequency ωc / 2 with respect to the input optical signal having the frequency ω ₀ can be performed in the same manner as in the first embodiment.

（第３の実施形態）
図３は、第２の実施形態における光導波路素子を示す平面図である。本実施形態において、第１の実施形態と同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。 (Third embodiment)
FIG. 3 is a plan view showing an optical waveguide device according to the second embodiment. In the present embodiment, the same reference numerals are used to denote the same or similar components as those in the first embodiment.

本実施形態の光導波路素子３０においては、基板１１の光波の入射側から延在したメイン光導波路１４１が分岐してサブ光導波路１５１及び１５２を構成し、これらサブ光導波路によってサブマッハツェンダー型光導波路１５が構成されている。その後、サブ光導波路１５１及び１５２は再び合流してメイン光導波路１４１となり、基板１１の前記光波の入射側と相対向する端部近傍で複数回屈曲することによって、基板１１の前記光波の入射側に向けて折り返すような構成となっている。 In the optical waveguide device 30 of the present embodiment, the main optical waveguide 141 extending from the light wave incident side of the substrate 11 branches to form sub optical waveguides 151 and 152, and these sub optical waveguides form sub Mach-Zehnder type optical waveguides. A waveguide 15 is configured. Thereafter, the sub optical waveguides 151 and 152 are merged again to become the main optical waveguide 141, which is bent a plurality of times in the vicinity of the end of the substrate 11 opposite to the incident side of the optical wave, whereby the incident side of the optical wave of the substrate 11 is obtained. It is the structure which folds back toward.

また、基板１１の光波の入射側から延在したメイン光導波路１４２はそのまま直進し、同じく基板１１の前記光波の入射側と相対向する端部近傍で複数回屈曲することによって、基板１１の前記光波の入射側に向けて折り返すような構成となっている。その後、メイン光導波路１４２は分岐してサブ光導波路１６１及び１６２を構成し、これらサブ光導波路によってサブマッハツェンダー型光導波路１６が構成されている。 Further, the main optical waveguide 142 extending from the light wave incident side of the substrate 11 goes straight as it is, and is bent a plurality of times in the vicinity of the end portion of the substrate 11 opposite to the light wave incident side, whereby the substrate 11 of the substrate 11 is bent. It is configured to be folded back toward the light wave incident side. Thereafter, the main optical waveguide 142 branches to form sub optical waveguides 161 and 162, and the sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 is configured by these sub optical waveguides.

本実施形態では、第１のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６は、見かけ上、基板１１の長手方向において並列に位置し、互いに重なり合うような形態を呈している。しかしながら、第1のサブマッハツェンダー型光導波路１５及び第２のサブマッハツェンダー型光導波路１６を、光波の進行方向を基準とした場合においては、相異なる位置に形成するようにしているので、これら光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。 In the present embodiment, the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 are apparently positioned in parallel in the longitudinal direction of the substrate 11 and have a form in which they overlap each other. Yes. However, the first sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15 and the second sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16 are formed at different positions when the traveling direction of the light wave is used as a reference. Various characteristics such as operating point shift caused by optical crosstalk such as operating point shift of the optical waveguide can be effectively suppressed.

（第４の実施形態）
図４は、第４の実施形態における光導波路素子を示す平面図である。本実施形態において、第１の実施形態と同一及び類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いて表している。また、本実施形態では、その特徴を明確かつ簡略に説明すべく、変調用電極などについてその記載を省略している。 (Fourth embodiment)
FIG. 4 is a plan view showing an optical waveguide device according to the fourth embodiment. In the present embodiment, the same reference numerals are used to denote the same or similar components as those in the first embodiment. Further, in the present embodiment, the description of the modulation electrode and the like is omitted in order to clearly and simply explain the feature.

本実施形態の光導波路素子４０においては、基板１１の光波の入射側から延在した光導波路１２は、メイン光導波路１４１Ａ、１４１Ｂ，１４２Ａ及び１４２Ｂに分岐している。メイン光導波路１４１Ａはサブマッハツェンダー型光導波路１５Ａを構成し、メイン光導波路１４１Ｂはサブマッハツェンダー型光導波路１５Ｂを構成し、メイン光導波路１４２Ａはサブマッハツェンダー型光導波路１６Ａを構成し、メイン光導波路１４２Ｂはサブマッハツェンダー型光導波路１６Ｂを構成している。 In the optical waveguide device 40 of the present embodiment, the optical waveguide 12 extending from the light wave incident side of the substrate 11 is branched into main optical waveguides 141A, 141B, 142A, and 142B. The main optical waveguide 141A constitutes a sub Mach-Zehnder type optical waveguide 15A, the main optical waveguide 141B constitutes a sub-Mach-Zehnder type optical waveguide 15B, and the main optical waveguide 142A constitutes a sub-Mach-Zehnder type optical waveguide 16A. The waveguide 142B constitutes a sub Mach-Zehnder type optical waveguide 16B.

本実施形態では、近接して存在するサブマッハツェンダー型光導波路１５Ａ及び１５Ｂ、並びに１６Ａ及び１６Ｂは、基板１１の長手方向（光波の進行方向）において、少なくとも変調部が重なり合わないようにして形成している。したがって、サブマッハツェンダー型光導波路１５Ａ及び１５Ｂ、並びに１６Ａ及び１６Ｂは、光波の進行方向を基準とした場合において、相異なる位置に形成するようにしているので、これら光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。 In the present embodiment, the sub-Mach-Zehnder optical waveguides 15A and 15B and 16A and 16B that exist in the vicinity are formed so that at least the modulation portions do not overlap in the longitudinal direction of the substrate 11 (the traveling direction of the light wave). doing. Therefore, the sub Mach-Zehnder type optical waveguides 15A and 15B and 16A and 16B are formed at different positions when the traveling direction of the light wave is used as a reference. Various characteristics such as operating point shift due to optical crosstalk can be effectively suppressed.

また、サブマッハツェンダー型光導波路１５Ａ及び１６Ａ同士、並びに１５Ｂ及び１６Ｂ同士は、見かけ上、基板１１の長手方向（光波の進行方向）において並列に位置し、変調部が互いに重なり合うような形態を呈している。しかしながら、これらのサブマッハツェンダー型光導波路は相互に比較的離隔して位置しているので、互いに光クロストークの影響を受けることがない。また、たとえこれらのサブマッハツェンダー型光導波路が近接して位置しているとしても、光波の進行方向を基準とした場合においては、相異なる位置に形成するようにしているので、これら光導波路の動作点シフトなどの光クロストークに起因した動作点シフトなどの諸特性を効果的に抑制することができる。 Further, the sub Mach-Zehnder type optical waveguides 15A and 16A, and 15B and 16B are apparently positioned in parallel in the longitudinal direction of the substrate 11 (light wave traveling direction), and exhibit a form in which the modulation units overlap each other. ing. However, since these sub-Mach-Zehnder type optical waveguides are positioned relatively far from each other, they are not affected by optical crosstalk. Even if these sub Mach-Zehnder type optical waveguides are located close to each other, they are formed at different positions when the traveling direction of the light wave is used as a reference. Various characteristics such as operating point shift caused by optical crosstalk such as operating point shift can be effectively suppressed.

以上、本発明を上記具体例に基づいて詳細に説明したが、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 The present invention has been described in detail based on the above specific examples. However, the present invention is not limited to the above specific examples, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention.

１０，２０，３０，４０光導波路素子
１１基板
１２光導波路
１４メインマッハツェンダー型光導波路
１５第１のサブマッハツェンダー型光導波路
１６第２のサブマッハツェンダー型光導波路 10, 20, 30, 40 Optical waveguide device 11 Substrate 12 Optical waveguide 14 Main Mach-Zehnder optical waveguide 15 First sub-Mach-Zehnder optical waveguide 16 Second sub-Mach-Zehnder optical waveguide

Claims

A substrate having an electro-optic effect;
An optical waveguide formed on the substrate;
A plurality of modulation electrodes for modulating light waves guided in the optical waveguide;
The optical waveguide is branched in the traveling direction of the light wave to constitute at least two main optical waveguides, and each main optical waveguide is further branched in the traveling direction of the light wave to constitute at least two sub optical waveguides. And
The at least two main optical waveguides constitute a main Mach-Zehnder type optical waveguide, and the at least two sub optical waveguides are close to each other so as to be incorporated in the main Mach-Zehnder type optical waveguide. Construct a sub Mach-Zehnder type optical waveguide,
At least two of the sub Mach-Zehnder type optical waveguides composed of the sub optical waveguides are formed at different positions so as to suppress crosstalk of light when the traveling direction of the light wave is used as a reference. An optical waveguide device characterized by the above.

The optical waveguide device according to claim 1, further comprising a buffer layer formed between the substrate and each of the plurality of modulation electrodes.

The said at least 2 sub Mach-Zehnder type | mold optical waveguide WHEREIN: The modulation | alteration of each modulation | alteration electrode is arrange | positioned in the reverse direction with respect to the advancing direction of a light wave, The Claim 1 thru | or 2 characterized by the above-mentioned. Optical waveguide element.