JP2013023666A - Epoxy resin material, cured product, and plasma-roughened cured product - Google Patents

Epoxy resin material, cured product, and plasma-roughened cured product Download PDF

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Nobuhiro Mori
伸浩 森
Hiroshi Koyanagi
博司 幸柳
Kazuyoshi Shiomi
和義 塩見
Yuya Hayashi
裕也 林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin material that can enhance wettability of a rough surface subjected to plasma roughening treatment of a plasma-roughened cured product.SOLUTION: In the epoxy resin material, a resin composition or a B-stage film obtained by molding the resin composition into a film state. The resin composition contains an epoxy resin, a curing agent and inorganic filler. When the surface of a cured product obtained by curing the epoxy resin material is subjected to plasma roughening treatment to obtain a first plasma-roughened cured product having a first rough surface having arithmetic average roughness Ra of 30 nm, the surface free energy of the first rough surface is 50 mJ/mor more. When the surface of the cured product is subjected to plasma roughening treatment to obtain a second plasma-roughened cured product having a second rough surface having arithmetic average roughness Ra of 300 nm, the surface free energy of the second rough surface is 75 mJ/mor less.

Description

本発明は、例えば、樹脂組成物又は該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムであるエポキシ樹脂材料に関し、より詳細には、上記樹脂組成物がエポキシ樹脂と硬化剤と無機フィラーとを含むエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた硬化物及びプラズマ粗化処理硬化物に関する。   The present invention relates to an epoxy resin material that is, for example, a resin composition or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film, and more specifically, the resin composition includes an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler. And a cured product using the epoxy resin material and a plasma roughened cured product.

近年、ノート型パーソナルコンピューター、携帯電話機、携帯情報端末、映像又は音楽の再生機器、並びにゲーム機の電子機器などが普及しており、該電子機器の小型化及び高性能化が進行している。これに伴って、該電子機器に用いられる回路基板の配線の微細化が進行している。また、回路基板に設けられる絶縁層には、絶縁性、耐熱性、電気的特性及び寸法安定性などに優れていることが求められている。   In recent years, notebook personal computers, mobile phones, personal digital assistants, video or music playback devices, electronic devices for game machines, and the like have become widespread, and the electronic devices are becoming smaller and higher performance. Along with this, miniaturization of wiring of circuit boards used in the electronic devices is progressing. In addition, the insulating layer provided on the circuit board is required to have excellent insulating properties, heat resistance, electrical characteristics, dimensional stability, and the like.

また、上述の要求品質を満たすために、熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物が広く用いられている。   Moreover, in order to satisfy | fill the above-mentioned required quality, the resin composition containing a thermosetting resin is widely used.

上記熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物の一例として、下記の特許文献1には、シアネートエステル樹脂と、アントラセン型エポキシ樹脂と、フェノキシ樹脂などの熱可塑性樹脂とを含む樹脂組成物が開示されている。ここでは、樹脂組成物の熱膨張率が低いこと、並びにスミアの除去が容易である絶縁層を形成できることが記載されている。   As an example of the resin composition containing the thermosetting resin, Patent Document 1 below discloses a resin composition containing a cyanate ester resin, an anthracene epoxy resin, and a thermoplastic resin such as a phenoxy resin. Yes. Here, it is described that the thermal expansion coefficient of the resin composition is low and that an insulating layer in which smear can be easily removed can be formed.

また、電子機器の小型化及び薄型化に伴って、回路基板に設けられた絶縁層上に、電子部品を積層した後、強度を高めるために絶縁層と電子部品との間に、アンダーフィル材を充填し、接続構造体を得ることがある。例えば、下記の特許文献2には、絶縁層上に酸化チタン膜を形成し、該酸化チタン膜を設けることにより、酸化チタン膜とアンダーフィル材との親和性を高める技術が開示されている。   In addition, as electronic devices are reduced in size and thickness, an underfill material is interposed between the insulating layer and the electronic component to increase the strength after the electronic component is laminated on the insulating layer provided on the circuit board. To obtain a connection structure. For example, Patent Document 2 below discloses a technique for increasing the affinity between a titanium oxide film and an underfill material by forming a titanium oxide film on an insulating layer and providing the titanium oxide film.

特開2003−096296号公報JP 2003-096296 A WO2009/048097A1WO2009 / 048097A1

特許文献1に記載のような従来の樹脂組成物を用いて上記絶縁層を形成した場合に、絶縁層の表面の濡れ性が低いことがある。このため、アンダーフィル材が十分に充填せずに、ボイドが生じることがある。特に、回路基板上に微細な配線が設けられていたり、絶縁層上に積層される電子部品の下面に微細な配線が設けられていたりする場合に、絶縁層と電子部品との間の空隙であってかつ微細な配線間の空隙に、ボイドが生じやすいという問題がある。   When the said insulating layer is formed using the conventional resin composition as described in patent document 1, the wettability of the surface of an insulating layer may be low. For this reason, the underfill material is not sufficiently filled, and voids may occur. In particular, when a fine wiring is provided on the circuit board or a fine wiring is provided on the lower surface of the electronic component laminated on the insulating layer, the gap between the insulating layer and the electronic component is In addition, there is a problem that voids are easily generated in the gaps between the fine wirings.

一方で、特許文献2では、絶縁層上に酸化チタン膜を設けるために、酸化チタン膜の形成工程及び露光工程などの余計な工程を行わなければならない。従って、アンダーフィル材を充填した接続構造体の製造効率が低く、かつコストが高くなるという問題がある。   On the other hand, in Patent Document 2, in order to provide a titanium oxide film on an insulating layer, extra steps such as a titanium oxide film formation step and an exposure step must be performed. Therefore, there is a problem that the manufacturing efficiency of the connection structure filled with the underfill material is low and the cost is high.

本発明の目的は、プラズマ粗化処理硬化物のプラズマ粗化処理された粗面の濡れ性を高めることができるエポキシ樹脂材料、並びに該エポキシ樹脂材料を用いた硬化物及びプラズマ粗化処理硬化物を提供することである。   An object of the present invention is to provide an epoxy resin material capable of enhancing the wettability of the roughened plasma-roughened surface of the plasma-roughened cured product, and a cured product and a plasma-roughened cured product using the epoxy resin material. Is to provide.

本発明の広い局面によれば、エポキシ樹脂を含む樹脂組成物又は該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムであるエポキシ樹脂材料であって、上記樹脂組成物が、エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機フィラーとを含み、エポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して、算術平均粗さRaが30nmである第1の粗面を有する第1のプラズマ粗化処理硬化物を得たときに、該第1の粗面の表面自由エネルギーが50mJ/m以上であり、エポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して、算術平均粗さRaが300nmである第2の粗面を有する第2のプラズマ粗化処理硬化物を得たときに、該第2の粗面の表面自由エネルギーが75mJ/m以下である、エポキシ樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, there is provided an epoxy resin material that is a resin composition containing an epoxy resin or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film, and the resin composition comprises an epoxy resin, A curing agent and an inorganic filler are included, and the epoxy resin material is cured at 190 ° C. for 60 minutes to obtain a cured product, and then the surface of the cured product is subjected to plasma roughening treatment so that the arithmetic average roughness Ra is 30 nm. When the first plasma roughened cured product having a certain first rough surface was obtained, the surface free energy of the first rough surface was 50 mJ / m 2 or more, and the epoxy resin material was heated at 190 ° C. at 60 ° C. Curing is performed for a minute to obtain a cured product, and then the surface of the cured product is subjected to plasma roughening treatment to obtain a second plasma roughened cured product having a second rough surface having an arithmetic average roughness Ra of 300 nm. When obtained, the second coarse An epoxy resin material having a surface free energy of 75 mJ / m 2 or less is provided.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のある特定の局面では、上記無機フィラーの平均粒子径は1.0μm以下である。   On the specific situation with the epoxy resin material which concerns on this invention, the average particle diameter of the said inorganic filler is 1.0 micrometer or less.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の他の特定の局面では、上記樹脂組成物中の全固形分100重量%中、上記無機フィラーの含有量が40重量%以上、85重量%以下である。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the content of the inorganic filler is 40% by weight or more and 85% by weight or less in 100% by weight of the total solid content in the resin composition.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに他の特定の局面では、上記無機フィラーはシリカである。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the inorganic filler is silica.

本発明に係るエポキシ樹脂材料の別の特定の局面では、上記シリカはカップリング剤により表面処理されている。   In another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the silica is surface-treated with a coupling agent.

本発明に係るエポキシ樹脂材料のさらに別の特定の局面では、上記樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムである。   In still another specific aspect of the epoxy resin material according to the present invention, the resin composition is a B-stage film formed into a film.

本発明に係る硬化物は、上述したエポキシ樹脂材料を硬化させることにより得られる。本発明に係る硬化物は、基板又はソルダーレジストであることが好ましい。   The cured product according to the present invention is obtained by curing the above-described epoxy resin material. The cured product according to the present invention is preferably a substrate or a solder resist.

本発明に係るプラズマ粗化処理硬化物は、上述したエポキシ樹脂材料を硬化させた硬化物を、算術平均粗さRaが30nm以上、300nm以下である粗面を有するようにプラズマ粗化処理することにより得られ、粗面の表面自由エネルギーが50mJ/m以上、75mJ/m以下である。本発明に係るプラズマ粗化処理硬化物は、基板又はソルダーレジストであることが好ましい。 The plasma roughening cured product according to the present invention is obtained by subjecting a cured product obtained by curing the above-described epoxy resin material to a plasma roughening treatment so as to have a rough surface with an arithmetic average roughness Ra of 30 nm to 300 nm. obtained, the surface free energy of the rough surface 50 mJ / m 2 or more and 75 mJ / m 2 or less. The plasma roughening cured product according to the present invention is preferably a substrate or a solder resist.

本発明に係るエポキシ樹脂材料では、樹脂組成物がエポキシ樹脂と硬化剤と無機フィラーとを含み、算術平均粗さRaが30nmである第1の粗面を有する第1のプラズマ粗化処理硬化物の第1の粗面の表面自由エネルギーが50mJ/m以上であり、算術平均粗さRaが300nmである第2の粗面を有する第2のプラズマ粗化処理硬化物の第2の粗面の表面自由エネルギーが75mJ/m以下であるため、プラズマ粗化処理することにより得られるプラズマ粗化処理硬化物のプラズマ粗化処理された粗面のアンダーフィル材に対する濡れ性を高めることができる。 In the epoxy resin material according to the present invention, the resin composition includes an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler, and a first plasma roughened cured product having a first rough surface with an arithmetic average roughness Ra of 30 nm. The second rough surface of the second plasma roughening-cured material having the second rough surface having a surface free energy of 50 mJ / m 2 or more and an arithmetic average roughness Ra of 300 nm. Since the surface free energy of the material is 75 mJ / m 2 or less, the wettability of the roughened surface of the plasma roughened treatment obtained by the plasma roughening treatment to the underfill material can be improved. .

図1は、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂材料が用いられ、アンダーフィル材が充填されている接続構造体を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a connection structure in which an epoxy resin material according to an embodiment of the present invention is used and an underfill material is filled.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(エポキシ樹脂材料)
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、樹脂組成物であるか、又は該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムである。
(Epoxy resin material)
The epoxy resin material according to the present invention is a resin composition or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film.

上記樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機フィラーとを含む。一般に、樹脂組成物には、絶縁性、耐熱性、電気的特性及び寸法安定性などに優れている絶縁層を形成可能であることが求められている。熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂の使用により、絶縁性、耐熱性、電気的特性及び寸法安定性などの絶縁層に求められている要求品質を高めることができる。特に、無機フィラーの使用により、絶縁層の寸法安定性を高めることができる。   The resin composition includes an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler. In general, a resin composition is required to be capable of forming an insulating layer having excellent insulating properties, heat resistance, electrical characteristics, dimensional stability, and the like. By using an epoxy resin which is a thermosetting resin, required quality required for an insulating layer such as insulation, heat resistance, electrical characteristics and dimensional stability can be enhanced. In particular, the use of an inorganic filler can increase the dimensional stability of the insulating layer.

本明細書において、本発明に係るエポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して得られる算術平均粗さRaが30nmである第1の粗面を有する硬化物を、第1のプラズマ粗化処理硬化物と呼ぶ。   In the present specification, the epoxy resin material according to the present invention is cured at 190 ° C. for 60 minutes to obtain a cured product, and then the arithmetic average roughness Ra obtained by plasma-roughening the surface of the cured product is 30 nm. A cured product having a certain first rough surface is referred to as a first plasma roughened cured product.

また、本明細書において、本発明に係るエポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して得られる算術平均粗さRaが300nmである第2の粗面を有する硬化物を、第2のプラズマ粗化処理硬化物と呼ぶ。   Moreover, in this specification, the epoxy resin material according to the present invention is cured at 190 ° C. for 60 minutes to obtain a cured product, and then the arithmetic average roughness Ra obtained by plasma roughening the surface of the cured product is A cured product having a second rough surface of 300 nm is referred to as a second plasma roughened cured product.

本発明では、上記第1のプラズマ粗化処理硬化物における上記第1の粗面の表面自由エネルギーは50mJ/m以上である。さらに、本発明では、上記第2のプラズマ粗化処理硬化物における上記第2の粗面の表面自由エネルギーは75mJ/m以下である。これらの算術平均粗さRa及び表面自由エネルギーの関係を満たすことにより、プラズマ粗化処理硬化物のプラズマ粗化処理された粗面のアンダーフィル材に対する濡れ性を高めることができる。また、プラズマ粗化処理条件をかえた上記第1,第2のプラズマ粗化処理硬化物のいずれでも、アンダーフィル材に対する良好な濡れ性を得ることができる。このため、本発明に係るエポキシ樹脂材料を用いて樹脂層を形成し、該樹脂層上に電子部品を積層して、樹脂層と電子部品との間の空隙にアンダーフィル材を充填したときに、アンダーフィル材の充填性を高めることができる。さらに、アンダーフィル材の充填性が高いと、該アンダーフィル材が充填された絶縁層と電子部品との間の空隙であってかつ微細な配線間の空隙に、ボイドを生じ難くすることができる。 In this invention, the surface free energy of the said 1st rough surface in said 1st plasma roughening process hardened | cured material is 50 mJ / m < 2 > or more. Furthermore, in this invention, the surface free energy of the said 2nd rough surface in said 2nd plasma roughening process hardened | cured material is 75 mJ / m < 2 > or less. By satisfying the relationship between the arithmetic average roughness Ra and the surface free energy, the wettability of the roughened surface of the plasma roughened cured product to the underfill material can be enhanced. Moreover, good wettability with respect to the underfill material can be obtained by any of the first and second plasma roughening treatment cured products in which the plasma roughening treatment conditions are changed. For this reason, when the resin layer is formed using the epoxy resin material according to the present invention, the electronic component is laminated on the resin layer, and the underfill material is filled in the gap between the resin layer and the electronic component. In addition, the filling property of the underfill material can be improved. Furthermore, when the filling property of the underfill material is high, voids are less likely to occur in the space between the insulating layer filled with the underfill material and the electronic component and between the fine wirings. .

本発明に係るエポキシ樹脂材料は、樹脂層を形成するために用いられ、該樹脂層上に電子部品を積層して、該樹脂層と電子部品との間の空隙にアンダーフィル材を充填するために用いられるエポキシ樹脂材料であることが好ましい。上記樹脂層は、エポキシ樹脂材料を硬化させた硬化物であることが好ましく、該硬化物をプラズマ粗化処理したプラズマ粗化処理硬化物であることがより好ましい。なお、「プラズマ粗化処理」は、粗化処理の一種である。プラズマ粗化処理はプラズマデスミア処理であることが好ましい。プラズマ粗化処理は、粗化液を用いずにドライ条件で行うことができる。プラズマ粗化処理は、プラズマドライ処理であることが好ましい。本明細書において、「粗化処理」の用語は、一般的な粗化処理を意味することに加えて、デスミア処理をも意味することとする。但し、本明細書において、一般的な粗化処理と区別して、「デスミア処理」の用語も用いることがある。   The epoxy resin material according to the present invention is used for forming a resin layer, for laminating an electronic component on the resin layer, and filling an underfill material in a gap between the resin layer and the electronic component. It is preferable that it is the epoxy resin material used for. The resin layer is preferably a cured product obtained by curing an epoxy resin material, and more preferably a plasma roughened cured product obtained by plasma-roughening the cured product. The “plasma roughening process” is a kind of roughening process. The plasma roughening treatment is preferably a plasma desmear treatment. The plasma roughening treatment can be performed under dry conditions without using a roughening solution. The plasma roughening treatment is preferably a plasma dry treatment. In this specification, the term “roughening treatment” means not only general roughening treatment but also desmearing treatment. However, in this specification, the term “desmear treatment” may be used to distinguish from general roughening treatment.

以下、上記樹脂組成物に含まれているエポキシ樹脂、硬化剤及び無機フィラーなどの詳細を説明する。   Hereinafter, details, such as an epoxy resin, a hardening | curing agent, and an inorganic filler contained in the said resin composition, are demonstrated.

[エポキシ樹脂]
上記樹脂組成物に含まれているエポキシ樹脂は特に限定されない。該エポキシ樹脂として、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。該エポキシ樹脂は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy resin]
The epoxy resin contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally well-known epoxy resin can be used as this epoxy resin. The epoxy resin refers to an organic compound having at least one epoxy group. As for an epoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記樹脂組成物は、3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂を含むことが好ましい。上記樹脂組成物は、2種類以上のエポキシ樹脂を含むことがより好ましい。上記2種類以上のエポキシ樹脂のうちの少なくとも1種のエポキシ樹脂が、3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂であることが好ましい。多官能エポキシ樹脂の使用により、硬化物の架橋密度がより一層高くなり、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。   The resin composition preferably includes a polyfunctional epoxy resin having three or more epoxy groups. More preferably, the resin composition contains two or more types of epoxy resins. It is preferable that at least one of the two or more types of epoxy resins is a polyfunctional epoxy resin having three or more epoxy groups. By using a polyfunctional epoxy resin, the crosslink density of the cured product is further increased, the surface roughness of the plasma roughened cured product is further reduced, and finer wiring is formed on the surface of the cured product. be able to.

上記多官能エポキシ樹脂の配合量は特に限定されない。エポキシ樹脂100重量%中、多官能エポキシ樹脂の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは50重量%以下である。   The compounding quantity of the said polyfunctional epoxy resin is not specifically limited. In 100% by weight of the epoxy resin, the content of the polyfunctional epoxy resin is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 50% by weight or less.

上記多官能エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂等が挙げられる。   The polyfunctional epoxy resin includes bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, phenol aralkyl type. Examples include epoxy resins, naphthol aralkyl epoxy resins, dicyclopentadiene epoxy resins, anthracene epoxy resins, epoxy resins having an adamantane skeleton, epoxy resins having a tricyclodecane skeleton, and epoxy resins having a triazine nucleus as a skeleton. .

硬化物の熱による寸法変化をより一層小さくする観点からは、上記多官能エポキシ樹脂は、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂であることがより好ましい。   From the viewpoint of further reducing the dimensional change due to heat of the cured product, the polyfunctional epoxy resin is more preferably a naphthalene type epoxy resin, an anthracene type epoxy resin, and an epoxy resin having a triazine nucleus as a skeleton.

上記多官能エポキシ樹脂は、トリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂であることがより好ましい。トリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂の使用により、硬化物の線膨張率をかなり低くすることができる。またトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂の使用により、表面自由エネルギーをより一層高めることができる。   The polyfunctional epoxy resin is more preferably an epoxy resin having a triazine nucleus in the skeleton. By using an epoxy resin having a triazine nucleus in the skeleton, the linear expansion coefficient of the cured product can be considerably lowered. Moreover, the surface free energy can be further increased by using an epoxy resin having a triazine nucleus in the skeleton.

上記多官能エポキシ樹脂以外の他のエポキシ樹脂として、エポキシ基を1個又は2個含有するエポキシ樹脂を用いることができる。   As an epoxy resin other than the polyfunctional epoxy resin, an epoxy resin containing one or two epoxy groups can be used.

上記他のエポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂等が挙げられる。   Other epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type. Examples thereof include an epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, an anthracene type epoxy resin, an epoxy resin having an adamantane skeleton, an epoxy resin having a tricyclodecane skeleton, and an epoxy resin having a triazine nucleus in the skeleton.

上記エポキシ樹脂は、常温(23℃)で液状であってもよく、固形であってもよい。上記エポキシ樹脂は、常温で液状である液状エポキシ樹脂であることが好ましい。液状エポキシ樹脂の使用により、Bステージフィルムのハンドリング性を高くすることができる。また、液状エポキシ樹脂の使用により、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。   The epoxy resin may be liquid at normal temperature (23 ° C.) or may be solid. The epoxy resin is preferably a liquid epoxy resin that is liquid at room temperature. By using the liquid epoxy resin, the handling property of the B stage film can be enhanced. Further, by using a liquid epoxy resin, the surface roughness of the plasma roughened cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product.

エポキシ樹脂100重量%中、上記液状エポキシ樹脂の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは30重量%以上、特に好ましくは50重量%以上である。エポキシ樹脂の全量が液状エポキシ樹脂であってもよい。   The content of the liquid epoxy resin in 100% by weight of the epoxy resin is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, still more preferably 30% by weight or more, and particularly preferably 50% by weight or more. The total amount of the epoxy resin may be a liquid epoxy resin.

上記液状エポキシ樹脂としては、エポキシ当量が160〜190のビスフェノールF型エポキシ樹脂(三菱化学社製の「jER806」及び「jER807」等)等が挙げられる。   Examples of the liquid epoxy resin include bisphenol F type epoxy resins having an epoxy equivalent of 160 to 190 (such as “jER806” and “jER807” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

硬化物と金属層との接着強度を高めたり、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくしたりする観点からは、上記エポキシ樹脂のエポキシ当量は、90〜1000の範囲内であることが好ましい。該エポキシ当量は好ましくは100以上、好ましくは800以下、より好ましくは400以下である。   From the viewpoint of increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer or further reducing the surface roughness of the plasma roughened cured product, the epoxy equivalent of the epoxy resin is within the range of 90 to 1000. It is preferable that The epoxy equivalent is preferably 100 or more, preferably 800 or less, more preferably 400 or less.

[硬化剤]
上記樹脂組成物に含まれている硬化剤は特に限定されない。該硬化剤として、従来公知の硬化剤を用いることができる。硬化剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The curing agent contained in the resin composition is not particularly limited. As the curing agent, a conventionally known curing agent can be used. As for a hardening | curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化剤としては、シアネートエステル樹脂(シアネートエステル硬化剤)、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、アミン化合物、チオール化合物(チオール硬化剤)、酸無水物、活性エステル化合物及びジシアンジアミド等が挙げられる。なかでも、熱による寸法変化がより一層小さい硬化物を得る観点からは、上記硬化剤は、シアネートエステル樹脂又はフェノール化合物であることが好ましい。上記硬化剤は、シアネートエステル樹脂であることが好ましく、フェノール化合物であることも好ましい。上記硬化剤は、上記エポキシ樹脂のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。   Examples of the curing agent include cyanate ester resins (cyanate ester curing agents), phenol compounds (phenol curing agents), amine compounds, thiol compounds (thiol curing agents), acid anhydrides, active ester compounds, and dicyandiamide. Especially, from a viewpoint of obtaining the hardened | cured material in which the dimensional change by a heat | fever is still smaller, it is preferable that the said hardening | curing agent is cyanate ester resin or a phenol compound. The curing agent is preferably a cyanate ester resin, and is preferably a phenol compound. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy resin.

上記フェノール系硬化剤の使用により、シリカの含有量が多いBステージフィルムのハンドリング性を良好にすることができ、硬化物のガラス転移温度をより一層高くすることができる。上記フェノール系硬化剤は特に限定されない。該フェノール系硬化剤として、従来公知のフェノール系硬化剤を用いることができる。上記フェノール系硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   By using the phenolic curing agent, the handling property of the B stage film having a high silica content can be improved, and the glass transition temperature of the cured product can be further increased. The said phenol type hardening | curing agent is not specifically limited. A conventionally known phenolic curing agent can be used as the phenolic curing agent. As for the said phenol type hardening | curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノール系硬化剤しては、フェニル型フェノール系硬化剤又はナフトール系硬化剤等が挙げられる。   As said phenol type hardening | curing agent, a phenyl type phenol type hardening | curing agent or a naphthol type hardening | curing agent etc. are mentioned.

上記フェノール系硬化剤の市販品としては、ビフェニル型フェノール系硬化剤(日本化薬社製「KAYAHARDGPH−103」及び明和化成社製「MEH7851」)、並びにナフトール系硬化剤(東都化成社製「SN485」、日本化薬社製「KAYAHARDNHN」)等が挙げられる。   Commercially available phenolic curing agents include biphenyl phenolic curing agents (“KAYAHARDGPH-103” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. and “MEH7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and naphthol curing agents (“SN485 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.). And “KAYAHARDNHN” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

エポキシ樹脂材料の硬化性を高め、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくする観点からは、上記フェノール系硬化剤は水酸基を2個以上有することが好ましい。   From the viewpoint of increasing the curability of the epoxy resin material and further reducing the surface roughness of the plasma roughened cured product, the phenolic curing agent preferably has two or more hydroxyl groups.

また、上記フェノール系硬化剤の使用により、硬化物の強度や耐熱性を高くすることができ、更に硬化物と金属層との密着性をより一層高めることができる。また、上記フェノール系硬化剤の使用により、硬化物の表面の平滑性を高めることができる。   Moreover, the use of the phenolic curing agent can increase the strength and heat resistance of the cured product, and can further enhance the adhesion between the cured product and the metal layer. Moreover, the smoothness of the surface of hardened | cured material can be improved by use of the said phenol type hardening | curing agent.

上記硬化剤の重量平均分子量は、好ましく100以上、より好ましくは500以上、好ましくは50,000以下、より好ましくは20,000以下である。上記フェノール系硬化剤の重量平均分子量が上記下限以上であると、Bステージフィルムを容易に得ることができ、Bステージフィルムが脆くなりにくい。上記フェノール系硬化剤の重量平均分子量が上記上限以下であると、硬化物のガラス転移温度がより一層高くなり、硬化物の耐熱性がより一層高くなる。   The weight average molecular weight of the curing agent is preferably 100 or more, more preferably 500 or more, preferably 50,000 or less, more preferably 20,000 or less. A B stage film can be easily obtained as the weight average molecular weight of the said phenol type hardening | curing agent is more than the said minimum, and a B stage film does not become weak easily. When the weight average molecular weight of the phenolic curing agent is not more than the above upper limit, the glass transition temperature of the cured product is further increased, and the heat resistance of the cured product is further enhanced.

上記「重量平均分子量」とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The “weight average molecular weight” indicates a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成する観点からは、上記硬化剤の当量は、250以下であることが好ましい。上記硬化剤は、当量が250以下である硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤の当量は、例えば、硬化剤がシアネートエステル樹脂である場合にはシアネートエステル基当量を示し、硬化剤がフェノール化合物である場合にはフェノール性水酸基当量を示し、硬化剤が酸無水物である場合には酸無水物基当量を示す。   From the viewpoint of further reducing the surface roughness of the surface of the plasma roughened cured product and forming finer wiring on the surface of the cured product, the equivalent of the curing agent is preferably 250 or less. It is preferable that the said hardening | curing agent contains the hardening | curing agent whose equivalent is 250 or less. The equivalent of the curing agent is, for example, a cyanate ester group equivalent when the curing agent is a cyanate ester resin, a phenolic hydroxyl group equivalent when the curing agent is a phenol compound, and the curing agent is an acid anhydride. Is the acid anhydride group equivalent.

上記硬化剤100重量%中、当量が250以下である硬化剤の含有量は、好ましくは30重量%以上、より好ましくは50重量%以上である。上記硬化剤の全量が、当量が250以下である硬化剤であってもよい。当量が250以下である硬化剤の含有量が上記下限以上であると、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、当量が250以下である硬化剤の含有量が上記下限以上であると、硬化物のガラス転移温度をより一層高くすることができる。   The content of the curing agent having an equivalent weight of 250 or less in 100% by weight of the curing agent is preferably 30% by weight or more, more preferably 50% by weight or more. The total amount of the curing agent may be a curing agent having an equivalent weight of 250 or less. When the content of the curing agent having an equivalent weight of 250 or less is at least the above lower limit, the surface roughness of the surface of the plasma roughened cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Can be formed. Furthermore, the glass transition temperature of hardened | cured material can be made still higher that content of the hardening | curing agent whose equivalent is 250 or less is more than the said minimum.

エポキシ樹脂と硬化剤との配合比は特に限定されない。エポキシ樹脂と硬化剤との配合比は、エポキシ樹脂と硬化剤との種類により適宜決定される。   The compounding ratio of the epoxy resin and the curing agent is not particularly limited. The compounding ratio of the epoxy resin and the curing agent is appropriately determined depending on the types of the epoxy resin and the curing agent.

[無機フィラー]
上記樹脂組成物に含まれている無機フィラーは特に限定されない。該無機フィラーとして、従来公知の無機フィラーを用いることができる。上記無機フィラーは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The inorganic filler contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally known inorganic filler can be used as the inorganic filler. As for the said inorganic filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記無機フィラーとしては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素及びチタネート等が挙げられる。なかでも、シリカが好ましく、溶融シリカがより好ましい。シリカの使用により、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さを効果的に小さくすることができる。シリカの形状は略球状であることが好ましい。   Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, boron nitride, and titanate. Of these, silica is preferable, and fused silica is more preferable. By using silica, the surface roughness of the surface of the plasma roughened cured product can be effectively reduced. The shape of silica is preferably substantially spherical.

上記無機フィラーの平均粒子径は、0.1〜20μmの範囲内であることが好ましい。上記平均粒子径は、より好ましくは0.2μm以上、より好ましくは2μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記充填剤の平均粒子径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒子径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定できる。   The average particle diameter of the inorganic filler is preferably in the range of 0.1 to 20 μm. The average particle diameter is more preferably 0.2 μm or more, more preferably 2 μm or less, and still more preferably 1 μm or less. A median diameter (d50) value of 50% is employed as the average particle diameter of the filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

アンダーフィル材の充填性をより一層高め、かつボイドをより一層生じ難くする観点からは、上記無機フィラーの平均粒子径は1μm以下であることが好ましい。   From the viewpoint of further enhancing the filling properties of the underfill material and further reducing the occurrence of voids, the average particle size of the inorganic filler is preferably 1 μm or less.

上記無機フィラーは、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤により表面処理されていることがより好ましい。これにより、エポキシ樹脂材料中での無機フィラーの分散性及び無機フィラーと他の成分との親和性が高くなる。カップリング剤により表面処理された無機フィラーの使用により、特にカップリング剤により表面処理されたシリカの使用により、粗面の算術平均粗さRaをより一層小さくすることができる。   The inorganic filler is preferably surface-treated, and more preferably surface-treated with a coupling agent. Thereby, the dispersibility of the inorganic filler in the epoxy resin material and the affinity between the inorganic filler and other components are increased. By using the inorganic filler surface-treated with the coupling agent, particularly by using the silica surface-treated with the coupling agent, the arithmetic average roughness Ra of the rough surface can be further reduced.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記表面処理に用いるカップリング剤は、エポキシシラン、アミノシラン、ビニルシラン、アミノフェニルシラン、スチリルシラン、メタクリロキシシラン、アクリロキシシラン、メルカプトシラン、サルファーシラン、(メタ)アクリル酸シラン、イソシアネートシラン又はウレイドシランであることが好ましい。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanate coupling agents, and aluminum coupling agents. The coupling agent used for the surface treatment is epoxy silane, amino silane, vinyl silane, aminophenyl silane, styryl silane, methacryloxy silane, acryloxy silane, mercapto silane, sulfur silane, (meth) acrylic acid silane, isocyanate silane or ureido silane. It is preferable that

樹脂組成物に含まれている全固形分(以下、全固形分Bと略記することがある)100重量%中、上記無機フィラーの含有量は、好ましくは40重量%以上、より好ましくは50重量%以上、好ましくは85重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記無機フィラーの含有量が上記下限以上であると、硬化物の熱による寸法変化をより一層小さくすることができ、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面自由エネルギーを適度に大きくすることができる。上記無機フィラーの含有量が上記上限以下であると、プラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、表面形状を良好にすることができる。「全固形分B」とは、エポキシ樹脂と硬化剤と無機フィラーと必要に応じて配合される固形分との総和をいう。「固形分」とは、不揮発成分であり、成形又は加熱時に揮発しない成分をいう。   The content of the inorganic filler is preferably 40% by weight or more, more preferably 50% by weight in 100% by weight of the total solid content (hereinafter sometimes abbreviated as total solid content B) contained in the resin composition. % Or more, preferably 85% by weight or less, more preferably 80% by weight or less. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit, the dimensional change due to heat of the cured product can be further reduced, and the surface free energy of the surface of the plasma roughened cured product can be appropriately increased. . When the content of the inorganic filler is not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the plasma roughened cured product can be further reduced, and the surface shape can be improved. “Total solid content B” refers to the total of the epoxy resin, the curing agent, the inorganic filler, and the solid content blended as necessary. “Solid content” refers to a non-volatile component that does not volatilize during molding or heating.

上記全固形分B100重量%中、上記エポキシ樹脂と上記硬化剤との合計の含有量は、好ましくは60重量%以下、より好ましくは50重量%以下、好ましくは15重量%以上、より好ましくは20重量%以上である。   In the total solid content B of 100% by weight, the total content of the epoxy resin and the curing agent is preferably 60% by weight or less, more preferably 50% by weight or less, preferably 15% by weight or more, more preferably 20%. % By weight or more.

表面自由エネルギーを高くする観点からは、上記無機フィラーを表面処理するためのカップリング剤は、エポキシシラン、ビニルシラン又はアミノフェニルシランであることが好ましい。   From the viewpoint of increasing the surface free energy, the coupling agent for surface-treating the inorganic filler is preferably epoxy silane, vinyl silane or aminophenyl silane.

上記シランカップリング剤の使用に関して、上記全固形分B100重量%中、上記エポキシ樹脂と上記硬化剤との合計の含有量が44重量%以下である場合では、ビニルシラン又はアミノフェニルシランがより好ましい。このようなシランカップリング剤の使用により樹脂中に存在する無機フィラーの凝集を抑制することができる。   Regarding the use of the silane coupling agent, vinyl silane or aminophenyl silane is more preferable when the total content of the epoxy resin and the curing agent is 44% by weight or less in the total solid content B of 100% by weight. By using such a silane coupling agent, aggregation of the inorganic filler present in the resin can be suppressed.

[フェノキシ樹脂]
上記樹脂組成物は、フェノキシ樹脂を含んでいてもよい。該フェノキシ樹脂の使用により、エポキシ樹脂材料の回路の凹凸への追従性を高めることができ、更にプラズマ粗化処理硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、粗度を均一にすることができる。
[Phenoxy resin]
The resin composition may contain a phenoxy resin. By using the phenoxy resin, the followability of the epoxy resin material to the unevenness of the circuit can be improved, the surface roughness of the surface of the plasma roughening treatment can be further reduced, and the roughness is uniform. Can be.

上記フェノキシ樹脂は特に限定されない。該フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を用いることができる。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The phenoxy resin is not particularly limited. As the phenoxy resin, a conventionally known phenoxy resin can be used. As for the said phenoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、及びナフタレン骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、5,000〜100,000の範囲内であることが好ましい。上記フェノキシ樹脂の具体例としては、例えば、東都化成社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」、「YX8100BH30」、「YL7600DMAcH25」及び「YL7213BH30」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, and a naphthalene skeleton. The phenoxy resin preferably has a weight average molecular weight in the range of 5,000 to 100,000. Specific examples of the phenoxy resin include, for example, “YP50”, “YP55” and “YP70” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., and “1256B40”, “4250”, “4256H40”, “4275” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “YX6954BH30”, “YX8100BH30”, “YL7600DMAcH25”, “YL7213BH30”, and the like.

硬化物の表面をプラズマ粗化処理した後に、金属層を形成するためにめっき処理した場合に、硬化物と金属層との接着強度を高めることができるので、上記フェノキシ樹脂は、ビフェニル骨格又はビフェノール骨格を有することが好ましく、ビフェノール骨格を有することがより好ましい。   Since the adhesive strength between the cured product and the metal layer can be increased when the surface of the cured product is subjected to a plasma roughening treatment and then plated to form a metal layer, the phenoxy resin has a biphenyl skeleton or a biphenol. It preferably has a skeleton, and more preferably has a biphenol skeleton.

上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂組成分に含まれている無機フィラーを除く全固形分(以下、上記全固形分Aと略記することがある)100重量%中、上記フェノキシ樹脂の含有量は0〜40重量%の範囲内であることが好ましい。上記全固形分A100重量%中、上記フェノキシ樹脂の含有量は、より好ましくは20重量%以下である。上記フェノキシ樹脂を用いなくてもよい。上記フェノキシ樹脂の含有量が上記上限以下であると、プラズマ粗化処理硬化物の表面の粗度をより一層均一にすることができる。「全固形分A」とは、エポキシ樹脂と硬化剤と必要に応じて配合される他の固形分との総和をいう。全固形分Aには、無機フィラーは含まれない。「固形分」とは、不揮発成分であり、成形又は加熱時に揮発しない成分をいう。   The content of the phenoxy resin is not particularly limited. The content of the phenoxy resin is in the range of 0 to 40% by weight in 100% by weight of the total solid content excluding the inorganic filler contained in the resin composition (hereinafter sometimes abbreviated as the above-mentioned total solid content A). It is preferable that In the total solid content A of 100% by weight, the content of the phenoxy resin is more preferably 20% by weight or less. The phenoxy resin may not be used. When the content of the phenoxy resin is not more than the above upper limit, the surface roughness of the plasma roughened cured product can be made more uniform. “Total solid content A” refers to the total of the epoxy resin, the curing agent, and other solid contents blended as necessary. The total solid content A does not contain an inorganic filler. “Solid content” refers to a non-volatile component that does not volatilize during molding or heating.

[他の成分及びエポキシ樹脂材料の詳細]
上記樹脂組成物は、必要に応じて硬化促進剤を含んでいてもよい。該硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を用いることができる。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Details of other components and epoxy resin materials]
The said resin composition may contain the hardening accelerator as needed. The curing accelerator is not particularly limited, and a conventionally known curing accelerator can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物、リン化合物、アミン化合物及び有機金属化合物等が挙げられる。   Examples of the curing accelerator include imidazole compounds, phosphorus compounds, amine compounds, and organometallic compounds.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2 ′ -Methyl Midazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 [2′-Ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine Isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Can be mentioned.

上記リン化合物としては、トリフェニルフォスフィン等が挙げられる。   Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine.

上記有機金属塩としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。   Examples of the organic metal salt include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記アミン化合物としては、ピペリジン、ジメチルアミノピリジン等の2級アミン、並びにN,N−ジメチルピペラジントリエチレンジアミン等の3級アミン等が挙げられる。   Examples of the amine compound include secondary amines such as piperidine and dimethylaminopyridine, and tertiary amines such as N, N-dimethylpiperazine triethylenediamine.

硬化物の電気絶縁性を高める観点からは、上記硬化促進剤は、イミダゾール化合物であることが特に好ましい。硬化物の電気絶縁性を高める観点からは、上記硬化促進剤は、有機金属化合物を含まないことが好ましい。   From the viewpoint of enhancing the electrical insulation of the cured product, the curing accelerator is particularly preferably an imidazole compound. From the viewpoint of enhancing the electrical insulation of the cured product, the curing accelerator preferably does not contain an organometallic compound.

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。エポキシ樹脂材料を効率的に硬化させる観点からは、上記全固形分A100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は0.01〜3重量%の範囲内であることが好ましい。   The content of the curing accelerator is not particularly limited. From the viewpoint of efficiently curing the epoxy resin material, the content of the curing accelerator is preferably in the range of 0.01 to 3% by weight in 100% by weight of the total solid content A.

耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、樹脂組成物には、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及び上述した樹脂以外の他の樹脂等を添加してもよい。   For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the resin composition includes coupling agents, colorants, antioxidants, UV degradation inhibitors, antifoaming agents, thickeners. A thixotropic agent and other resins other than those mentioned above may be added.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanate coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記カップリング剤の含有量は特に限定されない。上記全固形分A100重量%中、上記カップリング剤の含有量は0.01〜3重量%の範囲内であることが好ましい。   The content of the coupling agent is not particularly limited. In the total solid content A of 100% by weight, the content of the coupling agent is preferably in the range of 0.01 to 3% by weight.

上記他の樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチラール樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。   Examples of the other resins include polyphenylene ether resin, polyacetal resin, polybutyral resin, divinyl benzyl ether resin, polyarylate resin, diallyl phthalate resin, polyimide resin, benzoxazine resin, benzoxazole resin, bismaleimide resin, and acrylate resin. Can be mentioned.

上記樹脂組成物を得るために、溶剤を用いてもよい。上記樹脂組成物は、溶剤を含んでいてもよい。該溶剤は特に限定されず、樹脂組成物中に含まれる成分に対して良好な溶解性を示す溶剤が適宜選択されて用いられる。上記溶剤としては、例えばアセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチルピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。上記溶剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   In order to obtain the resin composition, a solvent may be used. The resin composition may contain a solvent. The solvent is not particularly limited, and a solvent exhibiting good solubility for the components contained in the resin composition is appropriately selected and used. Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, and methyl ethyl ketone. N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methylpyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha as a mixture. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記樹脂組成物は、大部分の溶剤を揮発させて用いられることが好ましい。溶剤を揮発させるために、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、加熱乾燥すればよい。溶剤を含む樹脂組成物を、例えば90〜200℃で10〜180分間乾燥させることにより、ハンドリング性が良好なBステージフィルムを得ることができる。   The resin composition is preferably used by volatilizing most of the solvent. In order to volatilize the solvent, heat drying may be performed to such an extent that curing by heat does not proceed excessively. By drying the resin composition containing a solvent, for example, at 90 to 200 ° C. for 10 to 180 minutes, a B-stage film having good handling properties can be obtained.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形する方法としては、例えば、押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法、樹脂組成物を有機溶剤等の溶剤に溶解又は分散させた後、キャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法、並びに従来公知のその他のフィルム成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化を進めることができるので、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。   As a method for forming the resin composition into a film, for example, an extrusion molding method is used in which the resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film using a T-die or a circular die. Examples thereof include a casting molding method in which the resin composition is dissolved or dispersed in a solvent such as an organic solvent and then cast into a film, and other conventionally known film molding methods. Of these, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable because the thickness can be reduced. The film includes a sheet.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形することにより、Bステージフィルムを得ることができる。   A B-stage film can be obtained by forming the resin composition into a film.

上述のような乾燥工程により得ることができる、ハンドリング性が良好なフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。更に、ハンドリング性をより一層高めるために、完全硬化に至らない範囲で半硬化状態とされたフィルム状の樹脂組成物もBステージフィルムと称する。   A film-like resin composition having good handling properties that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film. Furthermore, in order to further improve the handleability, a film-like resin composition that is in a semi-cured state within a range that does not lead to complete curing is also referred to as a B-stage film.

上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある半硬化物である。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The B-stage film is a semi-cured product in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記Bステージフィルムの固形分100重量部に対して、上記溶剤の含有量は、好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.3重量部以上、好ましくは6重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記溶剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、Bステージフィルムの表面の粘着性が高くなりすぎず、ハンドリング性を高めることができる。さらに、Bステージフィルムを他の部材に積層した場合に、表面の平坦性を高めることができる。   The content of the solvent is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.3 parts by weight or more, preferably 6 parts by weight or less, more preferably 100 parts by weight of the solid content of the B-stage film. 3 parts by weight or less. When the content of the solvent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the adhesiveness of the surface of the B stage film does not become too high, and handling properties can be improved. Furthermore, when the B stage film is laminated on another member, the surface flatness can be improved.

上記樹脂組成物は、基材と、該基材の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いることができる。積層フィルムのBステージフィルムが、上記樹脂組成物により形成される。   The said resin composition can be used suitably in order to form a laminated film provided with a base material and the B stage film laminated | stacked on one surface of this base material. A B-stage film of a laminated film is formed from the resin composition.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルムなどのオレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、銅箔及びアルミニウム箔などの金属箔等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the base material of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, polyimide resin film, metal foil such as copper foil and aluminum foil, and the like. Can be mentioned. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

上記エポキシ樹脂材料を回路の絶縁層として用いる場合、エポキシ樹脂材料により形成された層の厚さは、回路を形成する導体層の厚さ以上であることが好ましい。上記エポキシ樹脂材料により形成された層の厚さは、好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。   When the epoxy resin material is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the layer formed of the epoxy resin material is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer that forms the circuit. The thickness of the layer formed of the epoxy resin material is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

上記エポキシ樹脂材料は、基材に含浸され、プリプレグとされてもよい。プリプレグは、基材と、該基材中に含浸されている上記エポキシ樹脂材料とを備える。   The epoxy resin material may be impregnated into a base material to form a prepreg. The prepreg includes a base material and the epoxy resin material impregnated in the base material.

上記基材としては、例えば金属、ガラス、カーボン、アラミド、ポリエステル又は芳香族ポリエステル等により形成された織布又は不織布、並びにフッ素系樹脂又はポリエステル系樹脂等により形成された多孔質膜等が挙げられる。   Examples of the base material include a woven fabric or a non-woven fabric formed of metal, glass, carbon, aramid, polyester, or aromatic polyester, and a porous film formed of a fluorine-based resin or a polyester-based resin. .

(プリント配線板)
次に、プリント配線板について説明する。
(Printed wiring board)
Next, the printed wiring board will be described.

上記プリント配線板は、例えば、本発明に係るエポキシ樹脂材料により形成されたフィルムを用いて、該フィルムを加熱加圧成形することにより得られる。   The printed wiring board can be obtained, for example, by using a film formed of the epoxy resin material according to the present invention and heat-pressing the film.

上記フィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記フィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネータ等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記フィルムを金属箔に積層できる。上記加熱の温度及び上記加圧の圧力は適宜変更することができ、特に限定されない。上記加熱の温度は、好ましくは60℃以上、より好ましくは80℃以上、好ましくは220℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記加圧の圧力は、好ましくは0.5MPa以上、より好ましくは1MPa以上、好ましくは10MPa以下、より好ましくは6MPa以下である。   A metal foil can be laminated on one side or both sides of the film. The method for laminating the film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the film can be laminated on the metal foil using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator while applying pressure while heating or without heating. The heating temperature and the pressurizing pressure can be appropriately changed and are not particularly limited. The heating temperature is preferably 60 ° C. or higher, more preferably 80 ° C. or higher, preferably 220 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The pressure of the pressurization is preferably 0.5 MPa or more, more preferably 1 MPa or more, preferably 10 MPa or less, more preferably 6 MPa or less.

(Bステージフィルム及び積層フィルム)
上記樹脂組成物をフィルム状に成形することにより、Bステージフィルムを得ることができる。
(B stage film and laminated film)
A B-stage film can be obtained by forming the resin composition into a film.

上述のような乾燥工程により得ることができる、ハンドリング性が良好なフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。更に、ハンドリング性をより一層高めるために、完全硬化に至らない範囲で半硬化状態とされたフィルム状の樹脂組成物もBステージフィルムと称する。   A film-like resin composition having good handling properties that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film. Furthermore, in order to further improve the handleability, a film-like resin composition that is in a semi-cured state within a range that does not lead to complete curing is also referred to as a B-stage film.

上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある半硬化物である。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The B-stage film is a semi-cured product in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記Bステージフィルムの不揮発性の固形分100重量部に対して、上記溶剤の含有量は、好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.3重量部以上、好ましくは6重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記溶剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、Bステージフィルムの表面の粘着性が高くなりすぎず、ハンドリング性を高めることができる。さらに、Bステージフィルムを他の部材に積層した場合に、表面の平坦性を高めることができる。   The content of the solvent is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.3 parts by weight or more, preferably 6 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the non-volatile solid content of the B-stage film. More preferably, it is 3 parts by weight or less. When the content of the solvent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the adhesiveness of the surface of the B stage film does not become too high, and handling properties can be improved. Furthermore, when the B stage film is laminated on another member, the surface flatness can be improved.

本発明に係るエポキシ樹脂材料は、基材と、該基材の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いることができる。積層フィルムのBステージフィルムが、本発明に係るエポキシ樹脂材料により形成される。   The epoxy resin material which concerns on this invention can be used suitably in order to form a laminated film provided with a base material and the B stage film laminated | stacked on one surface of this base material. The B stage film of the laminated film is formed from the epoxy resin material according to the present invention.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルムなどのオレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、銅箔及びアルミニウム箔などの金属箔等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the base material of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, polyimide resin film, metal foil such as copper foil and aluminum foil, and the like. Can be mentioned. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

(硬化物及びプラズマ粗化処理硬化物)
本発明に係る硬化物は、上述したエポキシ樹脂材料を硬化させることにより得られる。本発明に係る硬化物は、基板又はソルダーレジストであることが好ましい。
(Hardened product and plasma roughened cured product)
The cured product according to the present invention is obtained by curing the above-described epoxy resin material. The cured product according to the present invention is preferably a substrate or a solder resist.

本発明に係るプラズマ粗化処理硬化物は、上述したエポキシ樹脂材料を硬化させた硬化物を、プラズマ粗化処理することにより得られる。本発明に係るプラズマ粗化処理硬化物は、算術平均粗さRaが30nm以上、300nm以下である粗面を有するようにプラズマ粗化処理することにより得られることが好ましく、粗面の表面自由エネルギーは50mJ/m以上、75mJ/m以下であることが好ましい。本発明に係るプラズマ粗化処理硬化物は、基板又はソルダーレジストであることが好ましい。 The plasma roughened cured product according to the present invention is obtained by subjecting a cured product obtained by curing the above-described epoxy resin material to plasma roughening. The plasma roughened cured product according to the present invention is preferably obtained by performing plasma roughening so that the arithmetic average roughness Ra has a rough surface of 30 nm or more and 300 nm or less, and the surface free energy of the rough surface is obtained. is 50 mJ / m 2 or more, is preferably 75 mJ / m 2 or less. The plasma roughening cured product according to the present invention is preferably a substrate or a solder resist.

上記プラズマ粗化処理には、例えば、マイクロ波プラズマ装置M100−ST(ニッシン社製)等を用いることができる。   For the plasma roughening treatment, for example, a microwave plasma apparatus M100-ST (manufactured by Nissin Co.) can be used.

(銅張り積層板及び回路基板)
本発明に係るエポキシ樹脂材料は、銅張り積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張り積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える銅張り積層板が挙げられる。この銅張り積層板のBステージフィルムが、本発明に係るエポキシ樹脂材料により形成される。
(Copper-clad laminate and circuit board)
The epoxy resin material according to the present invention is suitably used for obtaining a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate comprising a copper foil and a B stage film laminated on one surface of the copper foil. The copper-clad laminate B-stage film is formed of the epoxy resin material according to the present invention.

上記銅張り積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、Bステージフィルムを硬化した硬化物層と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。   The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 to 50 μm. Moreover, in order to raise the adhesive strength of the hardened | cured material layer which hardened B stage film, and copper foil, it is preferable that the said copper foil has a fine unevenness | corrugation on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a formation method by treatment using a known chemical solution.

また、本発明に係るエポキシ樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された硬化物層とを備える多層基板が挙げられる。該硬化物層は樹脂層である。この多層基板の硬化物層が、上記樹脂組成物又は該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムを硬化させることにより形成される。上記硬化物層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記硬化物層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。上記硬化物層は、プラズマ粗化処理されたプラズマ粗化処理硬化物層であることが好ましい。   Moreover, the epoxy resin material according to the present invention is suitably used for obtaining a multilayer substrate. As an example of the multilayer substrate, there is a multilayer substrate including a circuit board and a cured product layer laminated on the surface of the circuit board. The cured product layer is a resin layer. The cured product layer of the multilayer substrate is formed by curing the resin composition or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film. It is preferable that the said hardened | cured material layer is laminated | stacked on the surface in which the circuit of the circuit board was provided. Part of the cured product layer is preferably embedded between the circuits. It is preferable that the said hardened | cured material layer is a plasma roughening process hardened | cured material layer by which the plasma roughening process was carried out.

上記多層基板では、上記硬化物層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面がプラズマ粗化処理されていることがより好ましい。   In the multilayer substrate, it is more preferable that the surface of the cured product layer opposite to the surface on which the circuit substrate is laminated is subjected to plasma roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記硬化物層のプラズマ粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えていてもよい。   The multilayer substrate may further include a copper plating layer laminated on the surface of the cured product layer subjected to the plasma roughening treatment.

上記多層基板などの基板上に、半導体チップなどの電子部品が積層されることがある。また、基板上の硬化物層(樹脂層)上に電子部品が積層されることがある。さらに、硬化物層と電子部品との間に、アンダーフィル材が充填されることがある。   An electronic component such as a semiconductor chip may be stacked on a substrate such as the multilayer substrate. Moreover, an electronic component may be laminated | stacked on the hardened | cured material layer (resin layer) on a board | substrate. Furthermore, an underfill material may be filled between the cured product layer and the electronic component.

図1に、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂材料を用いた接続構造体1を部分切欠正面断面図で示す。   In FIG. 1, the connection structure 1 using the epoxy resin material which concerns on one Embodiment of this invention is shown with a partial notch front sectional drawing.

図1に示す接続構造体1では、基板2上に、金属層3(配線)が設けられている。基板2上の金属層3間に、樹脂層4が形成されている。樹脂層4は硬化物層であり、エポキシ樹脂材料を硬化させることにより形成されている。金属層3及び樹脂層4上に、下面に電極6が設けられた電子部品5が積層されている。金属層3と電極6とが接続されている。樹脂層4と電子部品5との間の空隙にアンダーフィル材7が充填されている。   In the connection structure 1 shown in FIG. 1, a metal layer 3 (wiring) is provided on a substrate 2. A resin layer 4 is formed between the metal layers 3 on the substrate 2. The resin layer 4 is a cured product layer and is formed by curing an epoxy resin material. On the metal layer 3 and the resin layer 4, an electronic component 5 having an electrode 6 provided on the lower surface is laminated. The metal layer 3 and the electrode 6 are connected. An underfill material 7 is filled in a gap between the resin layer 4 and the electronic component 5.

上記エポキシ樹脂材料を用いて樹脂層4を形成することにより、樹脂層4の濡れ性が高くなり、樹脂層4上にアンダ−フィル材7を効率的に充填させることができ、ボイドを生じ難くすることができる。例えば、空隙の幅及び高さが4μm以下であっても、樹脂層4と電子部品5との間の空隙に、アンダ−フィル材7を効率的に充填させることができ、ボイドを生じ難くすることができる。   By forming the resin layer 4 using the epoxy resin material, the wettability of the resin layer 4 is increased, the underfill material 7 can be efficiently filled on the resin layer 4, and voids are hardly generated. can do. For example, even if the width and height of the gap is 4 μm or less, the underfill material 7 can be efficiently filled into the gap between the resin layer 4 and the electronic component 5, and voids are less likely to occur. be able to.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

実施例及び比較例では、以下に示す材料を用いた。     In the examples and comparative examples, the following materials were used.

(エポキシ樹脂)
液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)
トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」、エポキシ当量105)
(Epoxy resin)
Liquid bisphenol A epoxy resin ("RE-410S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries, epoxy equivalent 105)

(硬化剤)
フェノール硬化剤(明和化成社製「MEH7851」、水酸基当量241、重量平均分子量8000)
シアネート硬化剤(ロンザジャパン社製「PT−60」)
活性エステル硬化剤(DIC社製「HPC−8000」)
(Curing agent)
Phenol curing agent (“MEH7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., hydroxyl equivalent 241 and weight average molecular weight 8000)
Cyanate curing agent ("PT-60" manufactured by Lonza Japan)
Active ester curing agent (“HPC-8000” manufactured by DIC)

(硬化促進剤)
イミダゾール化合物(2−フェニル−4−メチルイミダゾール、四国化成社製「2P4MZ」)
ジメチルアミノピリジン(DMAP)
(Curing accelerator)
Imidazole compound (2-phenyl-4-methylimidazole, “2P4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals)
Dimethylaminopyridine (DMAP)

(無機フィラー)
エポキシシラン処理シリカを含むスラリーA(アドマテックス社製「SC2050−MTF」、平均粒子径0.5μmの溶融シリカ、シリカ100重量部がエポキシシランカップリング剤(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業社製「KBM−403」)1.5重量部で表面処理されている、固形分70重量%とメチルエチルケトン30重量%とを含む)
(Inorganic filler)
Slurry A containing silica treated with epoxy silane (“Advertex Corporation SC2050-MTF”, fused silica having an average particle size of 0.5 μm, 100 parts by weight of silica is an epoxy silane coupling agent (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, “KBM-403” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) surface-treated with 1.5 parts by weight, including 70% solids and 30% methyl ethyl ketone)

(高分子量成分)
高分子量成分(変性ビフェノール骨格含有フェノキシ樹脂溶液、三菱化学社製、商品名「YX6954BH30」、固形分30重量%、溶剤はMEK(メチルエチルケトン)とシクロヘキサノンとの混合溶剤)
(High molecular weight component)
High molecular weight component (modified biphenol skeleton-containing phenoxy resin solution, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name “YX6954BH30”, solid content 30% by weight, solvent is a mixed solvent of MEK (methyl ethyl ketone) and cyclohexanone)

(顔料)
顔料(御國色素社製「MHIブルー」)
(Pigment)
Pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co.)

(溶剤)
メチルエチルケトン
(solvent)
Methyl ethyl ketone

(実施例1)
エポキシシラン処理シリカを含むスラリーA(アドマテックス社製「SC2050−MTF」)を固形分で56重量部に、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)12重量部と、トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」)8重量部と、フェノール硬化剤(明和化成社製「MEH7851」)20重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2P4MZ」)0.3重量部と、高分子量成分(「YX6954BH30」)を固形分で3重量部とを加え、撹拌機を用いて1000rpmで3時間撹拌した。
Example 1
56 parts by weight of slurry A containing epoxy silane-treated silica (“Advertex” SC2050-MTF ”) and 12 parts by weight of liquid bisphenol A type epoxy resin (“ RE-410S ”manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 8 parts by weight of an epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries), 20 parts by weight of a phenol curing agent (“MEH7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) 0 .3 parts by weight and 3 parts by weight of a high molecular weight component (“YX6954BH30”) as solids were added and stirred at 1000 rpm for 3 hours using a stirrer.

その後、顔料(御國色素社製「MHIブルー」)0.2重量部を加え、1000rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。   Thereafter, 0.2 part by weight of a pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was added and stirred at 1000 rpm for 1 hour to obtain a resin composition.

塗工機を用いて、PETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に樹脂組成物を塗工した。100℃のギアオーブン内で12分間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが25μmであり、溶剤の残量が3重量%であるBステージフィルムを得た。   Using a coating machine, the resin composition was coated on the release treated surface of a PET film (“XG284” manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm). It dried for 12 minutes in a 100 degreeC gear oven, and the solvent was volatilized. In this way, a B-stage film having a thickness of 25 μm and a residual solvent amount of 3% by weight was obtained on the PET film.

(実施例2)
エポキシシラン処理シリカを含むスラリーA(アドマテックス社製「SC2050−MTF」)を固形分で65重量部に、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)9重量部と、トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」)5重量部と、フェノール硬化剤(明和化成社製「MEH7851」)17重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2P4MZ」)0.3重量部と、高分子量成分(「YX6954BH30」)を固形分で3重量部とを加え、撹拌機を用いて1000rpmで3時間撹拌した。
(Example 2)
A slurry A containing epoxy silane-treated silica (“SC2050-MTF” manufactured by Admatechs) is 65 parts by weight in solid content, and 9 parts by weight of liquid bisphenol A type epoxy resin (“RE-410S” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 5 parts by weight of an epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries), 17 parts by weight of a phenol curing agent (“MEH7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) 0 .3 parts by weight and 3 parts by weight of a high molecular weight component (“YX6954BH30”) as solids were added and stirred at 1000 rpm for 3 hours using a stirrer.

その後、顔料(御國色素社製「MHIブルー」)0.2重量部を加え、1000rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。   Thereafter, 0.2 part by weight of a pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was added and stirred at 1000 rpm for 1 hour to obtain a resin composition.

得られた樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にして、PETフィルム上に厚さが25μmであり、溶剤の残量が3重量%であるBステージフィルムを得た。   Using the obtained resin composition, a B-stage film having a thickness of 25 μm and a residual solvent amount of 3% by weight on a PET film was obtained in the same manner as in Example 1.

(実施例3)
エポキシシラン処理シリカを含むスラリーA(アドマテックス社製「SC2050−MTF」)を固形分で56重量部に、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)12重量部と、トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」)8重量部と、シアネート硬化剤(ロンザジャパン社製「PT−60」)20重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2P4MZ」)0.3重量部と、高分子量成分(「YX6954BH30」)を固形分で3重量部とを加え、撹拌機を用いて1000rpmで3時間撹拌した。
(Example 3)
56 parts by weight of slurry A containing epoxy silane-treated silica (“Advertex” SC2050-MTF ”) and 12 parts by weight of liquid bisphenol A type epoxy resin (“ RE-410S ”manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 8 parts by weight of an epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries), 20 parts by weight of a cyanate curing agent (“PT-60” manufactured by Lonza Japan), and an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) ) 0.3 parts by weight and 3 parts by weight of a high molecular weight component (“YX6954BH30”) as solids were added and stirred at 1000 rpm for 3 hours using a stirrer.

その後、顔料(御國色素社製「MHIブルー」)0.2重量部を加え、1000rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。   Thereafter, 0.2 part by weight of a pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was added and stirred at 1000 rpm for 1 hour to obtain a resin composition.

得られた樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にして、PETフィルム上に厚さが25μmであり、溶剤の残量が3重量%であるBステージフィルムを得た。   Using the obtained resin composition, a B-stage film having a thickness of 25 μm and a residual solvent amount of 3% by weight on a PET film was obtained in the same manner as in Example 1.

(実施例4)
エポキシシラン処理シリカを含むスラリーA(アドマテックス社製「SC2050−MTF」)を固形分で56重量部に、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)12重量部と、トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」)8重量部と、活性エステル硬化剤(DIC社製「HPC−8000」)20重量部と、ジメチルアミノピリジン(以下DMAP)0.2重量部と、高分子量成分(「YX6954BH30」)を固形分で3重量部とを加え、撹拌機を用いて1000rpmで3時間撹拌した。
Example 4
56 parts by weight of slurry A containing epoxy silane-treated silica (“Advertex” SC2050-MTF ”) and 12 parts by weight of liquid bisphenol A type epoxy resin (“ RE-410S ”manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) , 8 parts by weight of an epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries), 20 parts by weight of an active ester curing agent (“HPC-8000” manufactured by DIC), 0.2% of dimethylaminopyridine (hereinafter referred to as DMAP) Part by weight and 3 parts by weight of a high molecular weight component (“YX6954BH30”) in solid content were added and stirred at 1000 rpm for 3 hours using a stirrer.

その後、顔料(御國色素社製「MHIブルー」)0.2重量部を加え、1000rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。   Thereafter, 0.2 part by weight of a pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was added and stirred at 1000 rpm for 1 hour to obtain a resin composition.

得られた樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にして、PETフィルム上に厚さが25μmであり、溶剤の残量が3重量%であるBステージフィルムを得た。   Using the obtained resin composition, a B-stage film having a thickness of 25 μm and a residual solvent amount of 3% by weight on a PET film was obtained in the same manner as in Example 1.

(比較例1)
液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬社製「RE−410S」)29重量部と、トリアジン環を有するエポキシ樹脂(日産化学工業製「TEPIC」)19重量部と、フェノール硬化剤(明和化成社製「MEH7851」)48重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2P4MZ」)0.5重量部と、高分子量成分(「YX6954BH30」)を固形分で3重量部とを加え、メチルエチルケトン40重量部で希釈しながら撹拌機を用いて1000rpmで3時間撹拌した。
(Comparative Example 1)
29 parts by weight of a liquid bisphenol A type epoxy resin (“RE-410S” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 19 parts by weight of an epoxy resin having a triazine ring (“TEPIC” manufactured by Nissan Chemical Industries), and a phenol curing agent (Maywa Kasei Co., Ltd.) 48 parts by weight of “MEH7851”), 0.5 parts by weight of an imidazole compound (“2P4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) and 3 parts by weight of a high molecular weight component (“YX6954BH30”) in solid content are added, and 40 parts by weight of methyl ethyl ketone The mixture was stirred at 1000 rpm for 3 hours using a stirrer while diluting at a portion.

その後、顔料(御國色素社製「MHIブルー」)0.2重量部を加え、1000rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。   Thereafter, 0.2 part by weight of a pigment (“MHI Blue” manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was added and stirred at 1000 rpm for 1 hour to obtain a resin composition.

得られた樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にして、PETフィルム上に厚さが25μmであり、溶剤の残量が3重量%であるBステージフィルムを得た。   Using the obtained resin composition, a B-stage film having a thickness of 25 μm and a residual solvent amount of 3% by weight on a PET film was obtained in the same manner as in Example 1.

(評価)
(1)算術平均粗さRa及び十点平均粗さRz
得られたBステージフィルム上に、保護フィルムであるポリプロピレンフィルムを貼り合わせながらロール状に巻き取った。この後、PETフィルム上のBステージフィルムに貼り合わされた保護フィルムを剥離して、露出したBステージフィルムを銅張積層板の両面に仮付けした。真空ラミネーター(名機製作所社製)により、温度100℃及び圧力1.0MPaの条件で、銅張積層板の両面にBステージフィルムをラミネートし、さらに連続的に温度100℃及び圧力1.0MPaの条件でSUS鏡板による熱プレスを行った。次いで、PETフィルムを剥離し、190℃及び60分の条件でBステージフィルムを熱硬化させ、樹脂組成物硬化体得た。その後、炭酸ガスレーザー装置(日立エンジニアリング社製「LC−1K21」)により、エネルギー2mJ、パルス幅18μs及びショット数2回の条件にて、樹脂組成物硬化体にビアホールを形成し、積層体Aを得た。得られた積層体Aの表面を、下記の第1の条件及び第2の条件でそれぞれ、プラズマ粗化処理(デスミア処理)を行い、評価した。
(Evaluation)
(1) Arithmetic average roughness Ra and ten-point average roughness Rz
On the obtained B stage film, the polypropylene film which is a protective film was bonded together and rolled up. Then, the protective film bonded to the B stage film on the PET film was peeled off, and the exposed B stage film was temporarily attached to both surfaces of the copper clad laminate. By using a vacuum laminator (manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), a B-stage film was laminated on both sides of the copper-clad laminate under the conditions of a temperature of 100 ° C. and a pressure of 1.0 MPa. Under the conditions, hot pressing with a SUS end plate was performed. Subsequently, the PET film was peeled off, and the B-stage film was thermally cured at 190 ° C. and 60 minutes to obtain a cured resin composition. Thereafter, a via hole is formed in the cured resin composition under the conditions of energy 2 mJ, pulse width 18 μs, and number of shots 2 with a carbon dioxide laser device (“LC-1K21” manufactured by Hitachi Engineering Co., Ltd.). Obtained. The surface of the obtained laminate A was subjected to plasma roughening treatment (desmear treatment) under the following first condition and second condition, and evaluated.

(第1の条件)
マイクロ波プラズマ装置M110−ST(ニッシン社製)を用い、出力5KW、ガス種O/N=80/20、流量5L/分にて15秒間プラズマ粗化処理(デスミア処理)を行った。その後、純水で洗浄し、第1のプラズマ粗化処理硬化物b1を含む第1の積層体B1を得た。
(First condition)
Using a microwave plasma apparatus M110-ST (manufactured by Nissin Co., Ltd.), plasma roughening treatment (desmear treatment) was performed for 15 seconds at an output of 5 kW, a gas species O 2 / N 2 = 80/20, and a flow rate of 5 L / min. Then, it wash | cleaned with the pure water and obtained 1st laminated body B1 containing 1st plasma roughening process hardened | cured material b1.

(第2の条件)
マイクロ波プラズマ装置M110−ST(ニッシン社製)を用い、出力5KW、ガス種O/N=80/20、流量5L/分にて60秒間プラズマ粗化処理(デスミア処理)を行った。その後、純水で洗浄し、第2のプラズマ粗化処理硬化物b2を含む第2の積層体B2を得た。
(Second condition)
Using a microwave plasma apparatus M110-ST (manufactured by Nissin Co., Ltd.), plasma roughening treatment (desmear treatment) was performed for 60 seconds at an output of 5 kW, a gas species O 2 / N 2 = 80/20, and a flow rate of 5 L / min. Then, it wash | cleaned with the pure water and obtained 2nd laminated body B2 containing 2nd plasma roughening process hardened | cured material b2.

(測定)
非接触式の表面粗さ計(ビーコ社製、製品名「WYKO」)を用いて、第1,第2のプラズマ粗化処理硬化物b1,b2の表面(粗面)の算術平均粗さRa及び十点平均粗さRzをそれぞれ測定した。算術平均粗さRa及び十点平均粗さRzの測定は、JIS B 0601−1994に準拠した。
(Measurement)
Arithmetic average roughness Ra of the surfaces (rough surfaces) of the first and second plasma roughening-treated cured products b1 and b2 using a non-contact type surface roughness meter (product name “WYKO” manufactured by Beco). The ten-point average roughness Rz was measured. The arithmetic average roughness Ra and the ten-point average roughness Rz were measured in accordance with JIS B 0601-1994.

(2)水接触角
接触角計(協和界面科学社製「DM−501」)を用いて、上記(1)の評価で得られた第1,第2のプラズマ粗化処理硬化物b1,b2の表面(粗面)の水接触角を液滴法にて測定した。
(2) Water contact angle The first and second plasma roughening cured products b1 and b2 obtained by the evaluation of (1) above using a contact angle meter (“DM-501” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) The water contact angle of the surface (rough surface) was measured by the droplet method.

(3)表面自由エネルギー
接触角計(協和界面科学社製「DM−501」を用いて、上記(1)の評価で得られた第1,第2のプラズマ粗化処理硬化物b1,b2の表面(粗面)の水接触角、及びジヨードメタンの接触角を液滴法にて測定し、表面自由エネルギーをOwens−Wendt法により算出した。
(3) Surface free energy Contact angle meter (by using “DM-501” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) of the first and second plasma roughened cured products b1 and b2 obtained by the evaluation in (1) above. The water contact angle of the surface (rough surface) and the contact angle of diiodomethane were measured by the droplet method, and the surface free energy was calculated by the Owens-Wendt method.

(4)デスミア性
電子顕微鏡「SEM」を用いて、上記(1)の評価で得られた第1,第2の積層体B1,B2のビアホールをそれぞれ観察し、ビアホール底のスミア残渣量、ビアホールの形状を評価した。
(4) Desmear property Using an electron microscope “SEM”, the via holes of the first and second laminates B1 and B2 obtained in the evaluation of (1) above were observed, and the amount of smear residue at the bottom of the via hole, via hole The shape of was evaluated.

(5)平均線膨張率
190℃及び60分の条件でBステージフィルムを熱硬化させ、Bステージフィルムが硬化した硬化物を得た。得られた硬化物を、3mm×25mmの大きさに裁断した。線膨張率計(セイコーインスツルメンツ社製「TMA/SS120C」)を用いて、引張り荷重3.3×10−2N、昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25〜150℃における平均線膨張率を測定した。平均線膨張率が30ppm/℃以下である場合を「○」平均線膨張率が30ppm/℃を超える場合を「×」と判定した。
(5) Average linear expansion coefficient The B stage film was thermally cured at 190 ° C. and 60 minutes to obtain a cured product obtained by curing the B stage film. The obtained cured product was cut into a size of 3 mm × 25 mm. Using a linear expansion coefficient meter (“TMA / SS120C” manufactured by Seiko Instruments Inc.), 25 to 150 of the cured product cut under conditions of a tensile load of 3.3 × 10 −2 N and a heating rate of 5 ° C./min. The average coefficient of linear expansion at 0 ° C. was measured. The case where the average linear expansion coefficient was 30 ppm / ° C. or less was judged as “X” when the average linear expansion coefficient exceeded 30 ppm / ° C.

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 2013023666
Figure 2013023666

1…接続構造体
2…基板
3…金属層
4…樹脂層
5…電子部品
6…電極
7…アンダーフィル材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Connection structure 2 ... Board | substrate 3 ... Metal layer 4 ... Resin layer 5 ... Electronic component 6 ... Electrode 7 ... Underfill material

Claims (10)

エポキシ樹脂を含む樹脂組成物又は該樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムであるエポキシ樹脂材料であって、
前記樹脂組成物が、エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機フィラーとを含み、
エポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して、算術平均粗さRaが30nmである第1の粗面を有する第1のプラズマ粗化処理硬化物を得たときに、該第1の粗面の表面自由エネルギーが50mJ/m以上であり、
エポキシ樹脂材料を190℃で60分間硬化させて硬化物を得、次に該硬化物の表面をプラズマ粗化処理して、算術平均粗さRaが300nmである第2の粗面を有する第2のプラズマ粗化処理硬化物を得たときに、該第2の粗面の表面自由エネルギーが75mJ/m以下である、エポキシ樹脂材料。
An epoxy resin material that is a resin composition containing an epoxy resin or a B-stage film in which the resin composition is formed into a film,
The resin composition includes an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler,
The epoxy resin material is cured at 190 ° C. for 60 minutes to obtain a cured product, and then the surface of the cured product is plasma-roughened to have a first rough surface having an arithmetic average roughness Ra of 30 nm. When the plasma roughened cured product is obtained, the surface free energy of the first rough surface is 50 mJ / m 2 or more,
The epoxy resin material is cured at 190 ° C. for 60 minutes to obtain a cured product, and then the surface of the cured product is subjected to plasma roughening treatment to obtain a second rough surface having a second rough surface with an arithmetic average roughness Ra of 300 nm. An epoxy resin material having a surface free energy of 75 mJ / m 2 or less when the plasma roughened cured product is obtained.
前記無機フィラーの平均粒子径が1.0μm以下である、請求項1に記載のエポキシ樹脂材料。   The epoxy resin material according to claim 1, wherein the inorganic filler has an average particle size of 1.0 μm or less. 前記樹脂組成物中の全固形分100重量%中、前記無機フィラーの含有量が40重量%以上、85重量%以下である、請求項1又は2に記載のエポキシ樹脂材料。   The epoxy resin material according to claim 1 or 2, wherein the content of the inorganic filler is 40% by weight or more and 85% by weight or less in 100% by weight of the total solid content in the resin composition. 前記無機フィラーがシリカである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂材料。   The epoxy resin material according to claim 1, wherein the inorganic filler is silica. 前記シリカがカップリング剤により表面処理されている、請求項4に記載のエポキシ樹脂材料。   The epoxy resin material according to claim 4, wherein the silica is surface-treated with a coupling agent. 前記樹脂組成物がフィルム状に成形されたBステージフィルムである、請求項1〜5のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂材料。   The epoxy resin material according to any one of claims 1 to 5, wherein the resin composition is a B-stage film formed into a film shape. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂材料を硬化させることにより得られる、硬化物。   Hardened | cured material obtained by hardening the epoxy resin material of any one of Claims 1-6. 基板又はソルダーレジストである、請求項7に記載の硬化物。   The hardened | cured material of Claim 7 which is a board | substrate or a soldering resist. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂材料を硬化させた硬化物を、算術平均粗さRaが30nm以上、300nm以下である粗面を有するようにプラズマ粗化処理することにより得られ、
粗面の表面自由エネルギーが50mJ/m以上、75mJ/m以下である、プラズマ粗化処理硬化物。
By subjecting the cured product obtained by curing the epoxy resin material according to any one of claims 1 to 6 to a plasma roughening treatment so as to have a rough surface having an arithmetic average roughness Ra of 30 nm or more and 300 nm or less. Obtained,
The surface free energy of the rough surface 50 mJ / m 2 or more and 75 mJ / m 2 or less, plasma roughening treatment cured product.
基板又はソルダーレジストである、請求項9に記載のプラズマ粗化処理硬化物。   The plasma roughening treatment cured product according to claim 9, which is a substrate or a solder resist.
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