JP2013021036A - Transport device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、チャンバ内の経路に沿って基板を搬送する搬送装置に関する。 The present invention relates to a transfer apparatus for transferring a substrate along a path in a chamber.
特許文献１には、ラックアンドピニオン機構を用いて、基板トレーを搬送する薄膜形成装置が開示されている。 Patent Document 1 discloses a thin film forming apparatus that transports a substrate tray using a rack and pinion mechanism.
近年、基板の大型化に伴い、基板を搭載した基板支持体の重量が増加していく中、ラックアンドピニオン機構により発生するパーティクルが、無視できなくなり、歩留まりの悪化を引き起こしていた。 In recent years, as the size of the substrate increases, the weight of the substrate support on which the substrate is mounted increases, and particles generated by the rack and pinion mechanism cannot be ignored, resulting in a deterioration in yield.
そこで、本発明は、従来の問題に鑑みてなされたものであり、パーティクルの発生を抑制する搬送装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of conventional problems, and an object thereof is to provide a transport device that suppresses the generation of particles.
本発明に係る搬送装置は、チャンバと、前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、前記基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、前記第１磁気ラックの一方の側に配置され、前記第１磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された前記第１磁気ピニオンと、前記チャンバに固定して設けられ、前記基板支持体を移動可能に支持する支持部材とを備え、前記第１磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させることを特徴とする。 A transfer apparatus according to the present invention includes a chamber, a substrate support movable along a path in the chamber, and a first magnetic rack having a plurality of rack magnets linearly arranged on the substrate support. A first magnetic pinion having a plurality of pinion magnets and capable of rotating with respect to a rotating shaft, disposed on one side of the first magnetic rack, and in the direction of the rotating shaft between the first magnetic rack and The first magnetic pinion magnetically coupled to the chamber and a support member fixed to the chamber and movably supporting the substrate support, and rotating the first magnetic pinion to The support is moved.
本発明によれば、パーティクルの発生を抑制する搬送装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the conveying apparatus which suppresses generation | occurrence | production of a particle can be provided.
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略側面図である。図２は、本発明に係る基板処理装置の側断面図である。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic side view of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side sectional view of the substrate processing apparatus according to the present invention.
図１に示すように、基板処理装置１は、チャンバ１Ａと、該チャンバ１Ａとゲートバルブ１１を介して接続されたチャンバ１Ｂを備えている。チャンバ１Ａとしては、ロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。チャンバ１Ｂとしては、アンロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。各チャンバは、不図示の排気手段と接続されており、減圧雰囲気に排気可能な筐体である。なお、本例では、２つのチャンバを示しているが、これに限定されず、３つ以上のチャンバを含んでもよい。 As shown in FIG. 1, the substrate processing apparatus 1 includes a chamber 1 </ b> A and a chamber 1 </ b> B connected to the chamber 1 </ b> A via a gate valve 11. Examples of the chamber 1A include a load lock chamber, a sputtering film forming chamber, a CVD film forming chamber, and an etching chamber. Examples of the chamber 1B include an unload lock chamber, a sputtering film forming chamber, a CVD film forming chamber, and an etching chamber. Each chamber is connected to unillustrated exhaust means and is a casing that can be exhausted to a reduced pressure atmosphere. In this example, although two chambers are shown, it is not limited to this and may include three or more chambers.
図２は、基板搬送装置の概略断面図である。図２に示すように、縦向きに配置された基板支持体４は、進行方向と垂直な断面において、ハの字状に傾斜して向かい合った矩形の側面を有し、その側面にそれぞれ矩形の基板２を支持可能に構成されている。即ち、基板支持体４は、ハの字状に向かい合った傾斜側壁４ａ、４ｂと、該傾斜側壁４ａ、４ｂの各上端部を連結して平坦に設けられた上壁４ｃを有している。
基板２は、縦１７００ｍｍ以上横１３００ｍｍ以上の大型の矩形基板を用いたが、これに限定されず、円盤状の基板であってもよい。基板支持体４は、縦２０００ｍｍ以上、横１７００ｍｍ以上である。
基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの内側には、水平方向にわたって、係合部材（以下、ガイドレール）１４が設けられている。なお、係合部材１４は、曲面状の溝を有していてもよいし、摺動可能な平面を有するだけでもよい。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the substrate transfer apparatus. As shown in FIG. 2, the substrate support 4 arranged in the vertical direction has rectangular side surfaces that face each other in a cross-section that is perpendicular to the traveling direction, and each has a rectangular shape on each side surface. The substrate 2 can be supported. That is, the substrate support 4 has inclined side walls 4a and 4b facing in a U-shape and an upper wall 4c provided flat by connecting upper ends of the inclined side walls 4a and 4b.
As the substrate 2, a large rectangular substrate having a length of 1700 mm or more and a width of 1300 mm or more is used. The substrate support 4 has a length of 2000 mm or more and a width of 1700 mm or more.
Engagement members (hereinafter referred to as guide rails) 14 are provided on the inner sides of the inclined side walls 4a and 4b of the substrate support 4 in the horizontal direction. Note that the engaging member 14 may have a curved groove or may have only a slidable flat surface.
一方、図１に示すように、チャンバ１Ａ、１Ｂ内には、基板支持体４の移動経路に沿って、回転可能な複数の軸受（以下、ガイドローラ）３が離間して設けられている。ガイドローラ３は、該基板支持体４のガイドレール１４の溝にはめ込まれ、基板支持体４を水平方向に移動可能に支持する支持部材として機能している。
複数のガイドローラ３により、基板支持体４の自重を分散して支持することができるため、このガイドローラ３とガイドレール１４との接触により発生するパーティクルを低減することができる。
On the other hand, as shown in FIG. 1, a plurality of rotatable bearings (hereinafter referred to as guide rollers) 3 are provided in the chambers 1 </ b> A and 1 </ b> B along the movement path of the substrate support 4. The guide roller 3 is fitted into the groove of the guide rail 14 of the substrate support 4 and functions as a support member that supports the substrate support 4 so as to be movable in the horizontal direction.
Since the plurality of guide rollers 3 can support the substrate support 4 in a distributed manner, particles generated by the contact between the guide rollers 3 and the guide rails 14 can be reduced.
図２に示すように、基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの下端部には、それぞれ水平方向に渡って、複数のラック磁石を有する第１磁気ラック６が設けられている。各第１磁気ラック６の下方には、第１磁気ラック６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂが設けられている。図１に示すように、基板支持体４が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に複数の磁気ピニオン５が所定の間隔を隔てて配置されている。図２に示すように、基板支持体４の一方の傾斜側壁４ａの下端部に形成された、第１磁気ラック６ａと磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体４の他方の傾斜側壁４ｂの下端部に形成された、第１磁気ラック６と磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸も、モータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン５は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを有するが、これに限定されず、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。 As shown in FIG. 2, a first magnetic rack 6 having a plurality of rack magnets is provided at the lower ends of the inclined side walls 4a and 4b of the substrate support 4 in the horizontal direction. Below each first magnetic rack 6, rotatable magnetic pinions 5a and 5b having a plurality of pinion magnets that are magnetically coupled to the first magnetic rack 6 in a non-contact state are provided. As shown in FIG. 1, a plurality of magnetic pinions 5 are arranged at a predetermined interval perpendicular to the traveling direction of the substrate support along the path along which the substrate support 4 moves. As shown in FIG. 2, the rotation shafts of the magnetic pinions 5a and 5b that are magnetically coupled to the first magnetic rack 6a and are formed at the lower end of one inclined side wall 4a of the substrate support 4 are provided outside the chamber 1A. The motor 7 is connected to the rotating shaft 51 of the motor 7 and is rotatable by the rotation of the motor 7. Further, the rotation shaft of the magnetic pinions 5a and 5b magnetically coupled to the first magnetic rack 6 formed at the lower end portion of the other inclined side wall 4b of the substrate support 4 is also connected to the rotation shaft 51 of the motor 7, and the motor It can be rotated by rotating 7. In this example, the magnetic pinion 5 includes the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. However, the present invention is not limited to this, and only one of the magnetic pinions may be used.
磁気ピニオン５を回転することにより、基板支持体４は、矢印の方向へ直線的に移動可能である。この磁気ピニオン５と第１磁気ラック６とにより、非接触状態で磁気ピニオン５の回転を第１磁気ラック６の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。なお、図１に示すように、離間して設けられた複数の磁気ピニオンを回転するために、個別にモータを設けて、各モータを同期する制御手段を設けてもよい。また、複数の磁気ピニオン５同士を、ギアで連結し、単一のモータで、各磁気ピニオンの回転を同期させることもできる。
以上のように、基板支持体の進行方向に垂直に並べられた複数の磁気ラックと磁気ピニオン５により非接触の磁気駆動部を作成することにより、基板支持体の進行方向に沿って設けなければならない磁気ネジの場合と比較して、装置の小型化、製造コストの面で有利である。
By rotating the magnetic pinion 5, the substrate support 4 can move linearly in the direction of the arrow. The magnetic pinion 5 and the first magnetic rack 6 constitute a magnetic drive unit that converts the rotation of the magnetic pinion 5 into the linear movement of the first magnetic rack 6 in a non-contact state. In addition, as shown in FIG. 1, in order to rotate the several magnetic pinion provided apart, you may provide a motor separately and provide the control means which synchronizes each motor. Further, a plurality of magnetic pinions 5 can be connected with a gear, and the rotation of each magnetic pinion can be synchronized with a single motor.
As described above, a non-contact magnetic drive unit is formed by a plurality of magnetic racks arranged in a direction perpendicular to the traveling direction of the substrate support and the magnetic pinion 5, so that it must be provided along the traveling direction of the substrate support. This is advantageous in terms of downsizing and manufacturing cost of the device as compared with the case of the magnetic screw.
図１及び図２に示すように、基板支持体４の上壁４ｃ上には、上部マグネット９が設けられている。一方、チャンバ１Ａの天井には、該マグネット９と磁気結合するマグネット８が配置されている。
図３は、図１の上部マグネット８，９を説明する拡大図である。図３（ａ）は断面図であり、図３（ｂ）は側面図である。
図３（ａ）に示すように、チャンバ側には、異なる磁極の棒状マグネット８ａ、８ｂが２列に並べられている。基板支持体側には、異なる磁極の棒状マグネット９ａ、９ｂが２列に並べられている。
図３（ｂ）に示すように、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ａ（本例ではＮ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ａ（Ｓ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。同様に、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ｂ（本例ではＳ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ｂ（Ｎ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。
以上より、基板支持体４は、安定した鉛直の姿勢を維持することができるとともに、基板支持体４を上方に引き上げる力が作用するため、基板支持体を支持するガイドローラへの負荷が軽減され、ガイドローラからのパーティクルの発生を抑制することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, an upper magnet 9 is provided on the upper wall 4 c of the substrate support 4. On the other hand, a magnet 8 that is magnetically coupled to the magnet 9 is disposed on the ceiling of the chamber 1A.
FIG. 3 is an enlarged view for explaining the upper magnets 8 and 9 of FIG. FIG. 3A is a cross-sectional view, and FIG. 3B is a side view.
As shown in FIG. 3A, rod-shaped magnets 8a and 8b having different magnetic poles are arranged in two rows on the chamber side. On the substrate support side, bar magnets 9a and 9b having different magnetic poles are arranged in two rows.
As shown in FIG. 3B, the bar-shaped magnet 8a (N pole in this example) fixed to the chamber side and the bar-shaped magnet 9a (S pole) fixed to the substrate support 4 side are in a non-contact state and vertically Magnetically coupled in the direction. Similarly, a bar-shaped magnet 8b (S pole in this example) fixed to the chamber side and a bar-shaped magnet 9b (N pole) fixed to the substrate support 4 side are magnetically coupled in the vertical direction in a non-contact state. .
As described above, the substrate support 4 can maintain a stable vertical posture, and a force to pull the substrate support 4 upward acts, so that the load on the guide roller that supports the substrate support is reduced. The generation of particles from the guide roller can be suppressed.
図４は、図１の磁気ラック６および磁気ピニオン５の拡大図である。
図４（ａ）に示すように、第１磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線的に配置された複数のラック磁石を含む。また、円筒形の回転可能な第１磁気ピニオン５ａは、水平方向に伸びた回転軸Ｘの周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。なお、ラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
図４（ｂ）に示すように、第１磁気ラック６を挟んで、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂが、水平方向に伸びたシャフト５０を介して接続されて設けられている。水平方向に伸びたシャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘは、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸を示している。本例では、第１磁気ラック６と第１磁気ピニオン５ａとの間に生じる磁界は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第１磁気ピニオン５ａの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第１磁気ラック６と第２磁気ピニオン５ｂとの間に生じる磁界も、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第２磁気ピニオン５ｂの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
このように、第１磁気ラック６を挟んだ両側に、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを配置することにより、第１磁気ピニオン５ａと第１磁気ラック６との磁力と、第２磁気ピニオン５ｂと第１磁気ラック６との磁力が相殺され、基板支持体は、水平方向での変動が少なく、安定した姿勢を維持することができる。
4 is an enlarged view of the magnetic rack 6 and the magnetic pinion 5 of FIG.
As shown in FIG. 4A, the first magnetic rack 6 includes a plurality of rack magnets in which N-pole magnets and S-pole magnets are alternately and linearly arranged. The cylindrical rotatable first magnetic pinion 5a includes N-pole magnets and S-pole magnets alternately arranged around the rotation axis X extending in the horizontal direction. In addition, each magnet of a rack magnet is the same shape and is arrange | positioned at the same space | interval. Similarly, the pinion magnets have the same shape and are arranged at the same interval.
As shown in FIG. 4B, a first magnetic pinion 5a and a second magnetic pinion 5b are connected and provided via a shaft 50 extending in the horizontal direction with the first magnetic rack 6 interposed therebetween. The rotation axis XX of the shaft 50 extending in the horizontal direction indicates the rotation axis of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. In this example, the magnetic field generated between the first magnetic rack 6 and the first magnetic pinion 5a is directed in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. That is, each pinion magnet of the first magnetic pinion 5a is magnetized in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b.
Similarly, the magnetic field generated between the first magnetic rack 6 and the second magnetic pinion 5b is also directed in the direction of the rotation axis of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. That is, each pinion magnet of the second magnetic pinion 5b is magnetized in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b.
Thus, by arranging the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b on both sides of the first magnetic rack 6, the magnetic force between the first magnetic pinion 5a and the first magnetic rack 6 and the second magnetic pinion 5b are arranged. The magnetic forces of the magnetic pinion 5b and the first magnetic rack 6 are canceled out, and the substrate support can be maintained in a stable posture with little fluctuation in the horizontal direction.
図５は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂの位相のズレを説明する図である。図５では、磁気ピニオンのラック磁石に対して磁気結合する面を表示している。
前述したとおり、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂを構成する各ピニオン磁石は、同一形状で同一の大きさで構成されている。
図５（ａ）は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で位相のズレがない場合を示す。この場合は、基板支持体への推進力を大きくすることができる。
一方、図５（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で、それぞれ２２．５°、４５°、６７、５°位相がずれた状態を示している。このように、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で位相をずらすことで、最大推力は低下するが、水力変動が軽減され、なめらかな移動が可能になる。第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間の位相のずれとしては、１５〜８５°、より好ましくは２２．５〜６７．５°となるように設定している。
FIG. 5 is a diagram for explaining a phase shift between the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. FIG. 5 shows a surface that is magnetically coupled to the rack magnet of the magnetic pinion.
As described above, the pinion magnets constituting the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b have the same shape and the same size.
FIG. 5A shows a case where there is no phase shift between the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. In this case, the driving force on the substrate support can be increased.
On the other hand, in FIGS. 5B, 5C, and 5D, the phases are shifted by 22.5 °, 45 °, 67, and 5 °, respectively, between the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. Indicates the state. As described above, by shifting the phase between the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b, the maximum thrust is reduced, but the hydraulic power fluctuation is reduced, and smooth movement is possible. The phase shift between the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b is set to be 15 to 85 °, more preferably 22.5 to 67.5 °.
（変形例）
図６は、変形例の磁気ラックの側面図である。図４等で示したラック磁石と異なり、本例の磁気ラック６は、Ｎ極の磁石とＳ極の磁石が所定の間隔を空けて配置されている。このように磁気ラック６の各磁石の間隔を空けることで、対応して磁気ピニオン側の各磁石も同ピッチの間隔を空けることができる。そのため、磁気ピニオン側の磁石として、上述した扇形の磁石ではなく、棒磁石を用いることができる。そのため、本例では、製造コストを低減できる。
(Modification)
FIG. 6 is a side view of a modified magnetic rack. Unlike the rack magnets shown in FIG. 4 and the like, the magnetic rack 6 of this example has N-pole magnets and S-pole magnets arranged at a predetermined interval. By spacing the magnets of the magnetic rack 6 in this way, the magnets on the magnetic pinion side can be spaced at the same pitch. Therefore, as a magnet on the magnetic pinion side, a bar magnet can be used instead of the sector magnet described above. Therefore, in this example, the manufacturing cost can be reduced.
図７は、磁気ラックの変形例として磁性体ラック６０を示す。磁性体ラック６０としては、鉄、ＳＵＳ４３０などの磁性体が挙げられる。本例の磁性体ラック６０は、所定の間隔を空けて凹凸形状に形成されている。この磁性体ラック６０と、図４等で示した磁気ピニオン５ａ、５ｂと組み合わせて、磁気駆動部を構成してもよい。磁性体を用いることで、磁石を用いた場合に比べ、基板支持体への推進力は低下するが、磁石よりも低コストで磁気ラックを製造することができる。 FIG. 7 shows a magnetic rack 60 as a modification of the magnetic rack. Examples of the magnetic material rack 60 include magnetic materials such as iron and SUS430. The magnetic rack 60 of this example is formed in a concavo-convex shape with a predetermined interval. The magnetic drive unit may be configured by combining the magnetic rack 60 and the magnetic pinions 5a and 5b shown in FIG. By using a magnetic material, the propulsive force to the substrate support is reduced as compared with the case of using a magnet, but a magnetic rack can be manufactured at a lower cost than a magnet.
図８は、変形例の磁性体ピニオンを示す。磁性体ピニオン２５は外周部に凹凸が形成された円板状の磁性材となっている。この磁性体ピニオン２５と、図４又は図７で示した磁気ラック６とを組み合わせて、磁気駆動部を構成してもよい。このように磁性体ピニオンを用いることで、磁石を用いた場合に比べ、基板支持体への推進力は低下するが、磁石よりも低コストで磁気ピニオンを製造することができる。 FIG. 8 shows a modified magnetic pinion. The magnetic pinion 25 is a disk-shaped magnetic material with irregularities formed on the outer periphery. The magnetic drive unit may be configured by combining the magnetic pinion 25 and the magnetic rack 6 shown in FIG. By using the magnetic pinion in this way, the propulsive force to the substrate support is reduced as compared with the case of using a magnet, but the magnetic pinion can be manufactured at a lower cost than the magnet.
図９は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図４等で示した第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例では、第１シャフト５０上に、磁気ラック６との間に、磁気反発力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第３磁気ピニオン５ｃを備える。この第３磁気ピニオン５ｃの各ピニオン磁石は、シャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘ方向に着磁されている。しかし、これに限定されず、第３磁気ピニオン５ｃの各ピニオン磁石を、回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁してもよい。
このように、本例では、磁気ラック６の下側に、磁気ラック６と同極のピニオン磁石が位置し、磁気反発力により基板支持体４を浮上させることで、よりなめらかな移動が可能となる。
FIG. 9 is a schematic view of a modified magnetic rack and magnetic pinion.
The magnetic rack and the magnetic pinion of this modified example have basically the same configuration as the magnetic rack and the magnetic pinion according to the first embodiment shown in FIG. 4 and the like, and the same reference numerals are assigned to the same components. A detailed description thereof will be omitted. However, in this modification, a rotatable third magnetic pinion 5c having a plurality of pinion magnets for generating a magnetic repulsive force is provided on the first shaft 50 with the magnetic rack 6. Each pinion magnet of the third magnetic pinion 5 c is magnetized in the direction of the rotation axis XX of the shaft 50. However, the present invention is not limited to this, and each pinion magnet of the third magnetic pinion 5c may be magnetized in the radial direction from the rotation axis XX.
As described above, in this example, the pinion magnet having the same polarity as the magnetic rack 6 is positioned below the magnetic rack 6 and the substrate support 4 is levitated by the magnetic repulsive force, thereby enabling a smoother movement. Become.
図１０は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図１等で示した第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと相違して、第１シャフト５０上に、第１磁気ラック６と磁気結合するための第３磁気ピニオン５ｃが追加されている。つまり、本例では、第１磁気ラック６の下側に、第１磁気ラック６との間に磁気吸着力が生じる異極のピニオン磁石が位置し、これにより、この変形例では、基板支持体４により大きな推進力を伝達することができる。この第３磁気ピニオン５ｃは、シャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁されているが、これに限定されず、回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁してもよい。
この例では、追加された第３磁気ピニオン５ｃと第１磁気ラック６とが鉛直方向で磁気結合するため、図２に示すようにガイドローラ３と基板支持体４との間に、基板支持体の自重以上の大きな力が加わる。これを軽減するため、本例では、下側方向への磁力を相殺するため、基板支持体４の上部にも、第２磁気ラック１６および磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられている。
FIG. 10 is a schematic view of a modified magnetic rack and magnetic pinion.
The magnetic rack and the magnetic pinion of this modified example have basically the same configuration as the magnetic rack and the magnetic pinion according to the first embodiment shown in FIG. 1 and the like, and the same reference numerals are assigned to the same components. A detailed description thereof will be omitted. However, the magnetic rack and the magnetic pinion of this modification are different from the magnetic rack and the magnetic pinion according to the first embodiment, and the third magnetic for magnetic coupling with the first magnetic rack 6 on the first shaft 50 is provided. A pinion 5c is added. In other words, in this example, a pinion magnet having a different polarity that generates a magnetic attractive force between the first magnetic rack 6 and the first magnetic rack 6 is positioned below the first magnetic rack 6. 4 can transmit a large driving force. The third magnetic pinion 5c is magnetized in the radial direction from the rotation axis XX of the shaft 50, but is not limited thereto, and may be magnetized in the radial direction from the rotation axis XX.
In this example, since the added third magnetic pinion 5c and the first magnetic rack 6 are magnetically coupled in the vertical direction, the substrate support is provided between the guide roller 3 and the substrate support 4 as shown in FIG. Great power more than its own weight is added. In order to reduce this, in this example, the second magnetic rack 16 and the magnetic pinions 15a, 15b, and 15c are also provided on the upper portion of the substrate support 4 in order to cancel the magnetic force in the lower direction.
具体的には、図１０に示すように、変形例における基板支持体４の上端部には、チャンバ内に、直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第２磁気ラック１６が設けられている。すなわち、基板支持体４上には、第１磁気ラック６と反対側に第２磁気ラック１６が設けられている。この第２磁気ラック１６の上方には、第２磁気ラック１６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられている。
図１０（ａ）に示すように、第２磁気ラック１６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線的に配置された複数のラック磁石を含む。また、円筒形の回転可能な第４磁気ピニオン１５ａは、Ｎ極磁石とＳ極磁石とが回転軸の周りに交互に並べられた複数のピニオン磁石を含む。なお、各ラック磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
磁気ピニオン１５の回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ（不図示）の回転軸と接続され、モータの回転により回転可能になっている。
Specifically, as shown in FIG. 10, a second magnetic rack 16 having a plurality of linearly arranged rack magnets is provided in the chamber at the upper end portion of the substrate support 4 in the modified example. Yes. That is, a second magnetic rack 16 is provided on the substrate support 4 on the side opposite to the first magnetic rack 6. Above the second magnetic rack 16, rotatable magnetic pinions 15a, 15b, and 15c having a plurality of pinion magnets that are magnetically coupled to the second magnetic rack 16 in a non-contact state are provided.
As shown in FIG. 10A, the second magnetic rack 16 includes a plurality of rack magnets in which N-pole magnets and S-pole magnets are alternately and linearly arranged. The cylindrical rotatable fourth magnetic pinion 15a includes a plurality of pinion magnets in which N-pole magnets and S-pole magnets are alternately arranged around the rotation axis. Each rack magnet has the same shape and is arranged at the same interval. Similarly, the pinion magnets have the same shape and are arranged at the same interval.
The rotating shaft of the magnetic pinion 15 is connected to the rotating shaft of a motor (not shown) provided outside the chamber 1A, and is rotatable by the rotation of the motor.
図４（ｂ）に示すように、第２磁気ラック１６を挟んで、第４磁気ピニオン１５ａと、第５磁気ピニオン１５ｂが離間して設けられている。本例では、第２磁気ラック１６と第４磁気ピニオン１５ａとの間に生じる磁界は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第４磁気ピニオン１５ａの各ピニオン磁石は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第２磁気ラック１６と第５磁気ピニオン１５ｂとの間に生じる磁界も、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第５磁気ピニオン１５ｂの各ピニオン磁石は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に着磁されている。
このように、第２磁気ラック１６を挟んだ両側に、第４磁気ピニオン１５ａと、第５磁気ピニオン１５ｂを配置することにより、第４磁気ピニオン１５ａとラック磁石１６との磁力と、第５磁気ピニオン１５ｂと第２磁気ラック１６との磁力が相殺され、基板支持体は安定した姿勢を維持することができる。
さらに第２シャフト１５０上に、第２磁気ラック１６と磁気結合するための第６磁気ピニオン５ｃが追加されている。この磁気吸着力により、この変形例では、基板支持体４により大きな推進力を伝達することができる。
As shown in FIG. 4B, the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b are provided apart from each other with the second magnetic rack 16 in between. In this example, the magnetic field generated between the second magnetic rack 16 and the fourth magnetic pinion 15a is directed in the rotation axis direction of the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b. That is, each pinion magnet of the fourth magnetic pinion 15a is magnetized in the rotation axis direction of the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b.
Similarly, the magnetic field generated between the second magnetic rack 16 and the fifth magnetic pinion 15b is also directed to the rotation axis direction of the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b. That is, each pinion magnet of the fifth magnetic pinion 15b is magnetized in the rotation axis direction of the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b.
Thus, by arranging the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b on both sides of the second magnetic rack 16, the magnetic force between the fourth magnetic pinion 15a and the rack magnet 16 and the fifth magnetic pinion 15b are arranged. The magnetic force between the pinion 15b and the second magnetic rack 16 is canceled out, and the substrate support can maintain a stable posture.
Further, a sixth magnetic pinion 5 c for magnetically coupling with the second magnetic rack 16 is added on the second shaft 150. Due to this magnetic attraction force, a large driving force can be transmitted to the substrate support 4 in this modification.
図１１は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図２に示した磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例では、パーティクルのさらなる削減のため、磁気ピニオン５ａ、５ｂ、シャフト５０及び回転駆動軸５１が隔壁１２を介して、プロセス環境外（大気側）に配置されている点で相違する。また、磁気ピニオン５ａ、５ｂをチャンバ１Ａの外側に設けるようにしてもよい。
また、図１１には示していないが、図１０で示した磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃを用いた場合も、同様に、磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃを、隔壁を介して大気側に設ける、もしくはチャンバ１Ａの外側に設けるようにしてもよい。
FIG. 11 is a schematic view of a modified magnetic rack and magnetic pinion. The magnetic rack and the magnetic pinion of this modification have basically the same configuration as the magnetic rack and the magnetic pinion shown in FIG. 2, and the same reference numerals are given to the same components and the detailed description thereof is omitted. Description is omitted. However, this modification is different in that the magnetic pinions 5a and 5b, the shaft 50, and the rotary drive shaft 51 are disposed outside the process environment (atmosphere side) via the partition wall 12 in order to further reduce particles. . Further, the magnetic pinions 5a and 5b may be provided outside the chamber 1A.
Although not shown in FIG. 11, when the magnetic pinions 15a, 15b, and 15c shown in FIG. 10 are used, similarly, the magnetic pinions 15a, 15b, and 15c are provided on the atmosphere side through the partition walls. Alternatively, it may be provided outside the chamber 1A.
図１２は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。この変形例では、図４に示した磁気ピニオンとは異なり、基板支持体４の両側に第１磁気ラック６ａと第２磁気ラック６ｂを設け、第１磁気ラック６ａと第２磁気ラック６ｂを挟んで、それぞれ磁気ピニオンを設け、かつ各磁気ピニオンの回転軸が鉛直方向を向いている点で相違する。 FIG. 12 is a schematic view of a modified magnetic rack and magnetic pinion. In this modification, unlike the magnetic pinion shown in FIG. 4, a first magnetic rack 6a and a second magnetic rack 6b are provided on both sides of the substrate support 4, and the first magnetic rack 6a and the second magnetic rack 6b are sandwiched between them. The difference is that a magnetic pinion is provided, and the rotation axis of each magnetic pinion is oriented in the vertical direction.
具体的には、基板支持体４の一方側の第１磁気ラック６ａは、鉛直方向で第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂと磁気結合している。第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂは、シャフト５０を介して連結され、シャフト５０はモータ７ａの回転軸と連結されている。
つまり本例では、第１磁気ラック６ａと第１磁気ピニオン５ａとの間に生じる磁界は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第１磁気ピニオン５ａの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に磁化されている。
同様に、第１磁気ラック６ａと第２磁気ピニオン５ｂとの間に生じる磁界も、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第２磁気ピニオン５ｂの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
一方、基板支持体４の他方側の第２磁気ラック６ｂは、鉛直方向で第７群磁気ピニオン５５ａ及び第８群磁気ピニオン５５ｂと磁気結合している。第７群磁気ピニオン５５ａと第８群磁気ピニオン５５ｂは、シャフト５０を介して連結され、シャフト５０はモータ７ｂの回転軸と連結されている。
つまり本例では、第２磁気ラック６ｂと第７磁気ピニオン５５ａとの間に生じる磁界は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第７磁気ピニオン５５ａの各ピニオン磁石は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第２磁気ラック６ｂと第８磁気ピニオン５５ｂとの間に生じる磁界も、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第８磁気ピニオン５５ｂの各ピニオン磁石は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に着磁されている。
モータ７ａ、７ｂは、制御部２０と接続され、制御部２０により同期して回転可能になっている。
Specifically, the first magnetic rack 6a on one side of the substrate support 4 is magnetically coupled to the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b in the vertical direction. The first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b are connected via a shaft 50, and the shaft 50 is connected to the rotating shaft of the motor 7a.
That is, in this example, the magnetic field generated between the first magnetic rack 6a and the first magnetic pinion 5a is directed in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. That is, each pinion magnet of the first magnetic pinion 5a is magnetized in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b.
Similarly, the magnetic field generated between the first magnetic rack 6a and the second magnetic pinion 5b is also directed to the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b. That is, each pinion magnet of the second magnetic pinion 5b is magnetized in the rotation axis direction of the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b.
On the other hand, the second magnetic rack 6b on the other side of the substrate support 4 is magnetically coupled to the seventh group magnetic pinion 55a and the eighth group magnetic pinion 55b in the vertical direction. The seventh group magnetic pinion 55a and the eighth group magnetic pinion 55b are connected via a shaft 50, and the shaft 50 is connected to the rotating shaft of the motor 7b.
That is, in this example, the magnetic field generated between the second magnetic rack 6b and the seventh magnetic pinion 55a is directed to the rotation axis direction of the seventh magnetic pinion 55a and the eighth magnetic pinion 55b. That is, each pinion magnet of the seventh magnetic pinion 55a is magnetized in the rotation axis direction of the seventh magnetic pinion 55a and the eighth magnetic pinion 55b.
Similarly, the magnetic field generated between the second magnetic rack 6b and the eighth magnetic pinion 55b is also directed to the rotation axis direction of the seventh magnetic pinion 55a and the eighth magnetic pinion 55b. That is, each pinion magnet of the eighth magnetic pinion 55b is magnetized in the rotation axis direction of the seventh magnetic pinion 55a and the eighth magnetic pinion 55b.
The motors 7 a and 7 b are connected to the control unit 20 and can be rotated in synchronization with the control unit 20.
図１３は、制御部２０を用いず、２つの磁気ピニオンを同期する機構を説明する図である。本例では、モータ７の回転軸と連結された回転伝達手段（例えば、ギア、傘歯車、磁気歯車、ベルト）により、一方の側のピニオンの回転軸５１ａと、他方の側のピニオンの回転軸５１ｂとを同期して回転することができる。
具体的には、モータ７の回転軸５１ａの先端部には、回転伝達手段１３ａが設けられている。回転伝達手段１３ａは、シャフト５１ｃに連結された回転伝達手段１３ｂと係合され、モータ７の回転をシャフト５１ｃの回転への変換している。さらにシャフト５１ｃの両端部には、回転伝達手段１３ｃ、１３ｄが設けられている。
回転伝達手段１３ｃは、磁気ピニオンの回転軸５１ａの先端に連結された回転伝達手段１３ｅと係合しており、シャフト５１ｃの回転は磁気ピニオンの回転軸５１ａの回転へと変換させることができる。同様に、回転伝達手段１３ｄは、磁気ピニオンの回転軸５１ｂの先端に連結された回転伝達手段１３ｆと係合しており、シャフト５１ｃの回転は磁気ピニオンの回転軸５１ａの回転へと変換させることができる。
こうした機構により、モータ７の回転は、同期して、二つの磁気ピニオンの回転軸５１ａ、５１ｂの回転へと変換される。
この場合、パーティクルの発生を防止する観点から、回転伝達手段１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｆの部分はチャンバの外側に配置することが好ましい。
なお、図１４では、回転伝達手段１３として、傘歯車を用いた例を示したが、磁気歯車を用いることで、非接触状態で回転を伝達してもよい。
FIG. 13 is a diagram illustrating a mechanism that synchronizes two magnetic pinions without using the control unit 20. In this example, the rotation transmission means (for example, gear, bevel gear, magnetic gear, belt) connected to the rotation shaft of the motor 7 causes the rotation shaft 51a of the pinion on one side and the rotation shaft of the pinion on the other side. 51b can be rotated synchronously.
Specifically, a rotation transmission means 13a is provided at the tip of the rotation shaft 51a of the motor 7. The rotation transmission means 13a is engaged with the rotation transmission means 13b connected to the shaft 51c, and converts the rotation of the motor 7 into the rotation of the shaft 51c. Furthermore, rotation transmission means 13c and 13d are provided at both ends of the shaft 51c.
The rotation transmission means 13c is engaged with the rotation transmission means 13e connected to the tip of the rotation shaft 51a of the magnetic pinion, and the rotation of the shaft 51c can be converted into the rotation of the rotation shaft 51a of the magnetic pinion. Similarly, the rotation transmitting means 13d is engaged with the rotation transmitting means 13f connected to the tip of the rotating shaft 51b of the magnetic pinion, and the rotation of the shaft 51c is converted into the rotation of the rotating shaft 51a of the magnetic pinion. Can do.
By such a mechanism, the rotation of the motor 7 is synchronously converted into the rotation of the rotation shafts 51a and 51b of the two magnetic pinions.
In this case, from the viewpoint of preventing the generation of particles, it is preferable that the rotation transmitting means 13a, 13b, 13c, 13d, and 13f are disposed outside the chamber.
In FIG. 14, an example in which a bevel gear is used as the rotation transmission unit 13 is shown, but rotation may be transmitted in a non-contact state by using a magnetic gear.
本発明の搬送装置は、各実施形態で述べられたいかなる特徴をも組み合わせることによって構成することができる。
また、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの位相も、図６で示した、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂと同様に、互いにずらすようにしてもよい。
The conveying apparatus of the present invention can be configured by combining any feature described in each embodiment.
Further, the phases of the fourth magnetic pinion 15a and the fifth magnetic pinion 15b may also be shifted from each other, similarly to the first magnetic pinion 5a and the second magnetic pinion 5b shown in FIG.
１Ａ，１Ｂ チャンバ
２ 基板
３ 支持部材（ガイドローラ）
４ 基板支持体
５ 下部磁気ピニオン
５ａ 第１磁気ピニオン
５ｂ 第２磁気ピニオン
５ｃ 第３磁気ピニオン
６ 下部磁気ラック（第１磁気ラック）
７ モータ
８ａ，８ｂ 磁石
９ａ，９ｂ 磁石
１０ 磁気駆動部
１２ 隔壁
１３ 回転伝達手段
１４ ガイドレール
１５ 上部磁気ピニオン
１５ａ 第４磁気ピニオン
１５ｂ 第５磁気ピニオン
１５ｃ 第６磁気ピニオン
１６ 上部磁気ラック（第２磁気ラック）
２５ 磁性体ピニオン
５０ 第１シャフト
５１ 駆動軸
５５ａ 第７群磁気ピニオン
５５ｂ 第８群磁気ピニオン
１５０ 第２シャフト
1A, 1B Chamber 2 Substrate 3 Support member (guide roller)
4 Substrate Support 5 Lower Magnetic Pinion 5a First Magnetic Pinion 5b Second Magnetic Pinion 5c Third Magnetic Pinion 6 Lower Magnetic Rack (First Magnetic Rack)
7 Motor 8a, 8b Magnet 9a, 9b Magnet 10 Magnetic drive unit 12 Bulkhead 13 Rotation transmission means 14 Guide rail 15 Upper magnetic pinion 15a Fourth magnetic pinion 15b Fifth magnetic pinion 15c Sixth magnetic pinion 16 Upper magnetic rack (second magnetic rack rack)
25 magnetic pinion 50 first shaft 51 drive shaft 55a seventh group magnetic pinion 55b eighth group magnetic pinion 150 second shaft
Claims (7)
前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、
前記基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、
複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、前記第１磁気ラックの一方の側に配置され、前記第１磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された前記第１磁気ピニオンと、
前記チャンバに固定して設けられ、前記基板支持体を移動可能に支持する支持部材と、
を備え、
前記第１磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させる、ことを特徴とする搬送装置。 A chamber;
A substrate support movable along a path in the chamber;
A first magnetic rack having a plurality of rack magnets linearly arranged on the substrate support;
A first magnetic pinion having a plurality of pinion magnets and capable of rotating with respect to a rotating shaft, disposed on one side of the first magnetic rack, and in the direction of the rotating shaft between the first magnetic rack and the first magnetic rack The first magnetic pinion magnetically coupled;
A support member fixed to the chamber and movably supporting the substrate support;
With
A transfer apparatus, wherein the substrate support is moved by rotating the first magnetic pinion.
を備え、前記第１及び第２磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。 A second magnetic pinion having a plurality of pinion magnets and rotatable with respect to the rotating shaft, connected to the first magnetic pinion through a first shaft, and on the other side of the first magnetic rack The second magnetic pinion disposed and magnetically coupled to the first magnetic rack in the rotational axis direction;
2. The transfer apparatus according to claim 1, wherein the substrate support is moved by rotating the first and second magnetic pinions.
複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第４磁気ピニオンであって、前記第２磁気ラックの一方の側に配置され、前記第２磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された第４磁気ピニオンと、
複数のピニオン磁石を有する、前記回転軸に対して回転可能な第５磁気ピニオンであって、前記第４磁気ピニオンの第２シャフトと接続され、かつ前記第２磁気ラックの他方の側に配置され、前記第２磁気ラックとの間において前記回転軸方向で磁気結合された前記第５磁気ピニオンと、
前記第２シャフト上に設けられ、前記第２磁気ラックとの間で、磁気吸着力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第６磁気ピニオンと
を備えることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
A second magnetic rack having a plurality of linearly arranged rack magnets disposed on the substrate support and on the opposite side of the first magnetic rack;
A fourth magnetic pinion having a plurality of pinion magnets and capable of rotating with respect to a rotating shaft, disposed on one side of the second magnetic rack, and in the direction of the rotating shaft between the second magnetic rack and A magnetically coupled fourth magnetic pinion;
A fifth magnetic pinion having a plurality of pinion magnets and rotatable with respect to the rotating shaft, is connected to a second shaft of the fourth magnetic pinion, and is disposed on the other side of the second magnetic rack. The fifth magnetic pinion magnetically coupled with the second magnetic rack in the rotational axis direction;
6. A rotatable sixth magnetic pinion provided on the second shaft and having a plurality of pinion magnets for generating a magnetic attraction force between the second magnetic rack and the second magnetic rack. 6. The transfer device according to 6.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20141007 |