JP2012522656A - マイクロメカニカルシステムおよびマイクロメカニカルシステムを製造する方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、振動質量体（２）と少なくとも２つのばねエレメント（３）とを有する振動可能な系を備えたマイクロメカニカルシステム（１）に関する。ばねエレメント（３）はそれぞれ、振動質量体（２）が１つの運動方向（Ｂ）に振動できるように、一方では振動質量体（２）の外側に結合されており、他方ではマイクロメカニカルシステム（１）の固定した係留点（４）に結合されている。有効モードと振動可能な系の他の振動モードとの間に特に大きな周波数間隔を達成するために、振動質量体（２）の内側に少なくとも１つの別のばねエレメント（７，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）が設けられており、当該少なくとも１つの別のばねエレメントにより振動質量体（２）はマイクロメカニカルシステム（１）の別の係留点（８）に結合されている。本発明はさらに振動可能な系を備えたマイクロメカニカルシステムを製造する方法にも関する。

Description

マイクロメカニカルシステムはしばしばマイクロシステムまたはＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical-System）とも呼ばれるが、とりわけ、サイズが小さく、価格が比較的低く、信頼性が高いためにますます普及してきている。例えば、マイクロメカニカルシステムを、アコースティックエミッションを検出するセンサ、固体伝送音センサ、加速度センサ、傾きセンサ、回転速度センサまたは圧力センサの形態で使用することがそれである。

英語で"AcousticEmissions(AE)"と呼ばれる「アコースティックエミッション」とはふつう、固体中での突然のエネルギーの解放により衝撃状に弾性波が励起されることを言う。固体中に固体伝送音として伝搬するアコースティックエミッションはふつう約２０ｋＨｚから約１ＭＨｚまでの周波数範囲内で発生する。この場合、アコースティックエミッション信号は固体または対象物の機械的な損傷に関して高い感度を有している。このため、アコースティックエミッションを検出するマイクロメカニカルセンサ（AcousticEmissionSensor）は、例えばころがり軸受けなどの機械的な構成部材の摩耗を監視するために使用される。相応するセンサはふつう、ばねエレメントに懸架ないしは固定された振動質量体を有する振動可能な系を有している。外力または加速度によって、振動質量体は固定した係留点に対してほぼ固定的な懸架装置の形態で振れを生じる。この相対的な運動が評価される。なお、信号を得るには、容量式原理が適用されることが多い。この場合、振動質量体は電極装置を有している。電極装置は例えば櫛状に形成されていてもよいし、固定した対向電極とともに可変容量を形成していてもよい。この場合、アコースティックエミッションの検出は容量値またはその変化の測定を介して可能である。

本発明は振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムに関する。ここで、振動可能な系は振動質量体と少なくとも２つのばねエレメントを有しており、各ばねエレメントは、振動質量体が１つの運動方向に振動できるように、一方では振動質量体の外側に結合されており、他方ではマイクロメカニカルシステムの固定した係留点に結合されている。ここで、「１つの運動方向に」とは、振動可能な系の直線自由度が正確に１つであること、つまり、マイクロメカニカルシステムの動作中における振動可能な系の運動は正確に１つの方向にだけであることを意味している。

このようなマイクロメカニカルシステムは非特許文献１から公知である。

現在、マイクロメカニカルシステムの固有周波数はますます高くなる趨勢にある。このことは広帯域での使用にも共振系にも、つまり共振により振動する系にもあてはまる。既に言及したアコースティックエミッションを検出するセンサの他に、高周波領域用のマイクロメカニカルフィルタおよびミキサが別の例として挙げられる。

振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムは、共振周波数領域において、すなわち相応の固有周波数によって決まる固有モードの領域において動作させる場合が多い。ここで、振動可能な系の動作のために設定ないし規定された周波数、またはこの周波数に対応するモード形状は、有効モードとも呼ばれる。共振動作では、有効モードは振動可能な系の固有モード、ふつうは１次固有モードである。より高い固有周波数の振動モードは、例えば妨害信号の重畳や感度の低下のような不所望な効果をもたらしかねない。こうした理由から一般に、振動可能な系の有効モードと他の振動モードとの、とりわけ他の固有モードとの間の周波数間隔、すなわちモード分離が大きいことが望ましい。

例えばアコースティックエミッション信号を検出するセンサで使用されるような、共振マイクロメカニカルシステムでは、振動可能な系の運動方向または有効方向における高い剛性が要求されるのがふつうである。さらに、既定の運動方向から外れた運動を避けるために、ふつうは運動方向を横切る方向における剛性をさらにいっそう顕著に高くすることが目指される。その一方で、マイクロメカニカルシステムの十分に高い感度を維持するために、面積の大きな電極または電極系が必要とされる。しかし、ふさわしい電極はマイクロメカニカルシステムの動特性に影響を及ぼすため、有効モードまでの周波数間隔が比較的小さいのに、振動可能な系の他の固有モードが生じる危険性がある。この場合、相応して高い振動モードの優先方向は、マイクロメカニカルシステムによって張られた平面内にあることもあれば、この平面から外を向いていることもある。すぐ上で述べたような振動モードはとりわけ平面的な構造において生じ、ふつう「膜モード」または「面外モード」と呼ばれる。

基本的に、マイクロメカニカルシステムの振動可能な系の振動モード間の周波数間隔を拡大する措置は、マイクロメカニカルシステムの構造の厚さを増大させることである。しかし、これは公知のドライエッチングプロセスでは簡単にはできない。また、これによっては振動可能な系の「面内モード」からの「面外モード」の分離を改善しか可能でない。

さらに、非特許文献１から、振動可能な系の固有モード間の間隔を電極の数を少なくすることによって改善することも公知である。しかし、これは通常では同時にマイクロメカニカルシステムの感度が明らかに低減してしまうという欠点を有している。

"System-Level Synthesis" in "Optimal Synthesis Method for MEMS", Ananthasuresh, G. K. (Hrsg.), Springer, 2003, p. 297-316

本発明の課題は、振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムであって、振動可能な系が振動質量体と少なくとも２つのばねエレメントを有しており、各ばねエレメントが、振動質量体が１つの運動方向に振動できるように、一方では振動質量体の外側に結合されており、他方ではマイクロメカニカルシステムの固定した係留点に結合されている、マイクロメカニカルシステムを提供することである。

この課題は、本発明によれば、振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムであって、振動可能な系が振動質量体と少なくとも２つのばねエレメントを有しており、各ばねエレメントが、振動質量体が１つの運動方向に振動できるように、一方では振動質量体の外側に結合しており、他方ではマイクロメカニカルシステムの固定した係留点に結合されている、マイクロメカニカルシステムによって解決される。

本発明のマイクロメカニカルシステムは、振動可能な系の固有モード間の、とりわけ有効モード間の、つまり例えば１次固有モードと他の固有モードとの間の周波数間隔が最適化されるように、振動質量体の内部に付加的に設けられた少なくとも１つのばねエレメントによって振動可能な系の動特性が変化させられるので有利である。これは、高周波数の所定の共振、すなわち所定の固有モードを完全に抑制するか、有効モードの周波数と他の発生する固有モードの周波数との間の周波数間隔を大きくすることによって為される。本発明のマイクロメカニカルシステムの基本的な利点は、マイクロメカニカルシステムまたはマイクロメカニカルシステムの振動可能な系の感度が最適化の影響を受けず、不変であることにある。

特に有利な実施形態によれば、本発明のマイクロメカニカルシステムは振動可能な系が超音波領域に共振周波数を有するように形成されている。これは有利である。なぜかと言えば、超音波領域内に共振周波数を有する振動モードないし固有モードでは、動作中のマイクロメカニカルシステムによって使用される有効モードとマイクロメカニカルシステムの他の振動モード、とりわけ固有モードとの間に十分な周波数間隔が必要だからである。

基本的に、振動可能な系のばねエレメントは任意のやり方で形成されていてよい。本発明のマイクロメカニカルシステムの別の特に有利な実施形態によれば、ばねエレメントはヨークばねとして形成されている。これにより、ばねが撓んだ場合にいわゆる「応力剛性効果」によるばねの剛化が防止されるという利点がもたらされる。さらに、所定の運動方向から逸れた運動をさらに抑制する趣旨で、横剛性が高められる。

有利には、本発明のマイクロメカニカルシステムのまた別の実施形態では、少なくとも１つの別のばねエレメントがヨークばねとして形成されていてもよい。これよりも前の実施形態に相応して、他のばねエレメントとしてヨークばねを使用することは、これによって負荷時に他のばねエレメントが剛化するのが防がれ、振動可能な系の横剛性が高められるという意味で有利である。

マイクロメカニカルシステムは、それ自体公知の用途のための任意のシステムであってよい。これには例えば様々な種類のアクチュエータが含まれる。特に有利な別の実施形態によれば、本発明のマイクロメカニカルシステムはセンサとして形成されている。マイクロメカニカルセンサは比較的価格が低く、信頼性が高いため様々な用途にますます使用されてきているので、上記実施形態は有利である。

また別の特に有利な実施形態によれば、本発明のマイクロメカニカルシステムはアコースティックエミッションを検出するセンサとして形成されている。アコースティックエミッション（AcousticEmission）を検出するセンサはふつう可聴領域を超える振動を、すなわち例えば超音波領域の振動を検出するので、上記実施形態は有利である。すでに説明したように、この場合、マイクロメカニカルシステムの動作に使用される有効モード、すなわち通常は１次振動または固有モードをマイクロメカニカルシステムの振動可能な系の他の振動モードから十分に分離することが特に望ましい。

本発明はさらに振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムを製造する方法に関する。

方法に関する本発明の課題は、有効モードが振動可能な系の他の生じる振動モードに対して特に大きな周波数間隔を有する、振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムを製造する方法を提供することである。

この課題は、本発明によれば、振動質量体が１つの運動方向にいて振動できるように、ばねエレメントが一方では振動質量体の外側に結合されており、他方ではマイクロメカニカルシステムの固定した係留点に結合されている、振動質量体と少なくとも２つのばねエレメントを有する振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステムを製造する方法において、
−振動質量体の内部における振動可能な系の振動モードの分析によって、振動振幅が前記運動方向に対して垂直なる少なくとも１つの位置を求め、
−前記少なくとも１つの位置に別のばねエレメントを設け、該ばねエレメントによって振動質量体をマイクロメカニカルシステムの係留点に結合する
ことにより解決される。

本発明の方法は次の点で有利である。すなわち、振動質量体の内部に設けられた別のばねエレメントのおかげで、不所望な振動モードが抑制されるようにまたはより高い周波数にシフトするように、マイクロメカニカルシステムを製造ないし開発することが可能である。そのため、有利にはマイクロメカニカルシステムの感度の悪化が防止される。

有利なことに、本発明の方法は、マイクロメカニカルシステムの動作のための有効モードの周波数が少なくとも１つの別のばねエレメントによって変化しないように、振動可能な系の全ばね剛性を適合させるように構成することができる。これにより、マイクロメカニカルシステムの製造ないし設計の際に、マイクロメカニカルシステムの動作のための有効モードの周波数への、すなわち通常は１次固有モードの周波数への影響が防がれるので有利である。

本発明の方法の別の特に有利な実施形態によれば、方法ステップが反復して繰り返される。このような反復プロセスはふつうマイクロメカニカルシステムの可能な最も良い最適化を可能にするので有利である。反復は有利にはこれによってマイクロメカニカルシステムの動作のための有効モードと他の振動モードとの間の周波数間隔の拡大が達成されるまで行われる。

有利なことに、本発明の方法は、振動可能な系の振動モードの分析をコンピュータ支援シミュレーションモデルを使用して行うように構成することができる。これは、コンピュータ支援シミュレーションモデルの使用によってマイクロメカニカルシステムの特に効率的かつ比較的低コストの最適化が可能であるため、有利である。

原則的に、シミュレーションモデルとして、様々な技術分野における最適化要求に関して知られている種々の方法を使用してよい。本発明の方法の特に有利な実施形態によれば、シミュレーションモデルとして有限要素法（ＦＥＭ）によるモデルが使用される。これはエンジニアリングにおいて広く普及している効率的なコンピュータ支援計算法であるので有利である。

振動可能な系を有する従来のマイクロメカニカルシステムの概略図を示す。 本発明のマイクロメカニカルシステムの第１実施例の概略図を示す。 図１の従来のマイクロメカニカルシステムの周波数スペクトルを示す。 図２の実施例による本発明のマイクロメカニカルシステムの周波数スペクトルを示す。 本発明のマイクロメカニカルシステムの別の実施例の概略図を示す。 本発明のマイクロメカニカルシステムの別のばねエレメントの実施例を示す。

以下では、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明する。

見易いように、図では同じまたは同じ機能の要素には同一の参照番号が用いられている。また、図１、２、５および６には各構造の上面図が示されていることに注意されたい。

図１には、振動可能な系を有する従来のマイクロメカニカルシステムが概略図で示されている。図によれば、振動可能な系を有するマイクロメカニカルシステム１は振動質量体２と４つのばねエレメント３を有している。図１によれば、ばねエレメント３は一方では振動質量体の外側に結合されている。さらに、ばねエレメント３は他方ではマイクロメカニカルシステムの固定した係留点４に結合されている。振動可能な系は、振動質量体２がもっぱら水平な運動方向Ｂにしか振動できないように形成されている。

マイクロメカニカルシステム１は、上記エレメントのほかに、櫛状に形成された可動電極５を有している。見易いように、図１では可動電極のバー状のエレメントの１つにしか参照番号がふされていない。

可動電極５のバー状エレメントは対向電極として機能する固定電極６の相応するエレメントに咬合している。振動可能な系の例えば機械的な振動による励振はマイクロメカニカルシステム１のキャパシタンスを相応して変化させるので、キャパシタンスの変化を振動の検出に利用することができる。ここで振動とは例えばボールベアリングの動作の際に生じるアコースティックエミッションであり、固体中を固体伝送音として伝搬し、マイクロメカニカルシステム１によって検出される。

図１に示されている従来のマイクロメカニカルシステム１は、主モードまたは１次固有モードから別の振動モードまたは固有モードまでの周波数間隔が比較的小さいという欠点を有している。高い周波数の固有モードの優先方向は、その時その時の所与の条件に依存して、構造の平面内に、すなわち図１の上面図において紙面または図平面に対応するウェハ平面内にあってもよいし、この平面から外を向いていてもよい。

図２には、本発明のマイクロメカニカルシステムの第１実施例が概略図で示されている。図２による本発明のマイクロメカニカルシステム１は有利には振動質量体２の内部にさらに別のばねエレメント７を有しており、このばねエレメント７により振動質量体２はマイクロメカニカルシステム１の係留点８に結合されているが、図２のマイクロメカニカルシステム１の残りの構成要素は図１のマイクロメカニカルシステム１と同じである。別のばねエレメント７によってマイクロメカニカルシステム１または振動可能な系の動特性を適切に制御できるため、これは有利である。これにより、高い固有モードの形状の適切な抑制、またはモード分離の拡大、すなわち有効モードと振動可能な系の他の固有モードとの間の周波数間隔の拡大が達成される。それにより最終的に、付加的に設けられた別のばねエレメント７が、マイクロメカニカルシステム１の干渉的または不所望な振動モードを抑制する。ただしその際、マイクロメカニカルシステム１の感度は有利には不変である。その際、別のばねエレメント７をヨークばねとして実現すれば、有利には、いわゆる「応力剛性効果」によって別のばねエレメント７の偏りに起因する剛化が防止される。

具体的には、例えば、マイクロメカニカルシステムの最初の設計の後に、有限要素法（ＦＥＭ）によるそれ自体公知のコンピュータ支援シミュレーションモデルを用いてモード分析が行われるように、図２のマイクロメカニカルシステム１を形成するか、またはその構造を設計ないし開発するようにしてよい。モード分析により、マイクロメカニカルシステム１の高い振動モードの概観が得られる。このような高い振動モードは多くの場合ウェハ平面外を向いた「面外」運動であるが、本来の有効モードは、前の実施形態と同様に、マイクロメカニカルシステム１の振動可能な系の前記運動方向への横方向の運動である。

振動可能な系の振動モードの分析により、振動質量体２の内部で、運動方向Ｂに対して垂直な振動振幅が現れる少なくとも１つの位置が求められる。有利には、これによって、相応の最大垂直振幅が現れる位置が求められる。この位置には、技術的な実現可能性を考慮して、少なくとも１つの別のばねエレメント７が設けられ、このばねエレメント７によって振動質量体２がマイクロメカニカルシステム１の別の係留点８に結合される。それゆえ、別のばねエレメント７と別の係留点８によって、振動質量体２の別の姿勢ないし別の懸架が実現される。

以下では、有利なことに、マイクロメカニカルシステム１の振動可能な系の全ばね剛性は、再び元の値に一致するように適合される。それゆえ、結果として、振動可能な系の高い周波数ないし固有モードだけが抑制されるか、またはより高い周波数にシフトされる。しかしその際、有効モードの周波数は有利には不変である。

有利には、上記のステップは最適値が達成されるまで反復して行ってよい。また、方法全体が有利にはコンピュータ支援で、すなわちソフトウェアベースで実現される。

図３には、図１の従来のマイクロメカニカルシステム１の周波数スペクトルが示されている。より正確に言えば、図示されている周波数スペクトルは有限要素法を使用したシミュレーション計算の結果である。なお、シミュレーション計算は実質的に図１の概略図と構造が一致するマイクロメカニカルシステムを基礎としている。

振動可能な系の振動の振幅Ａを周波数ｆ（ｋＨｚ）の関数としてプロットしたグラフから、従来のマイクロメカニカルシステムの場合、およそ１００ｋＨｚを超える１次固有モードＳＭ１の他に、別の固有モードＳＭ２がおよそ１５０ｋＨｚより上ですでに現れていることが分かる。この別の固有モードＳＭ２は不所望である。というのも、マイクロメカニカルシステムの機能の妨害またはマイクロメカニカルシステムの感度の低下をもたらしかねないからである。

図４には、図２の実施例による本発明のマイクロメカニカルシステムの周波数スペクトルが示されている。より正確に言えば、図３と同様に、図示されている周波数スペクトルは有限要素法を使用したシミュレーション計算の結果であり、シミュレーション計算は実質的に図２の概略図と構造が一致するマイクロメカニカルシステムを基礎としている。

図４を図３と比較すると、図２による本発明のマイクロメカニカルシステム１では、振動質量体２の内部に付加的に別のばねエレメント７が設けられており、この別のばねエレメント７によって振動質量体２はマイクロメカニカルシステム１の別の係留点に結合されており、マイクロメカニカルシステム１の振動可能な系のモード分離の明らかな改善が達成されることが極めて明らかである。したがって、１次固有モードＳＭ１の周波数は実質的に不変である。それに対して、別の固有モードＳＭ２は有利には約２５０ｋＨｚを超えてはじめて現れる。それゆえ、１次固有モードないし振動モードＳＭ１の領域でのマイクロメカニカルシステム１による測定が別のないし２次振動モードＳＭ２によって妨害されるのを、有利には高い信頼性をもって防止することができる。

図５には、本発明のマイクロメカニカルシステムの別の実施例が概略図で示されている。図５は実質的に図２と同じである。違いは、振動質量体２の内部に別の２つのばねエレメント７ａが設けられており、これらのばねエレメント７ａによって振動質量体２がマイクロメカニカルシステム１の別の係留点８に結合されていることである。図２と同様に、ばねエレメント３と別のばねエレメント７ａの構造によって、運動方向Ｂにおける振動質量体２の直線運動が可能になる。

図２と比べると、図５の実施形態における振動可能な系の全ばね剛性は明らかに高い。これは、振動質量体２の外側に個別的なばねストリップとして実現されたばねエレメント３と、別のばねエレメント７ａの形状とから生じる。さらに、別のばねエレメント７ａにおける所要面積は図２の別のばねエレメント７における所要面積よりも小さい。

一般に、ばねエレメント３と別のばねエレメント７ａに関して、異なる形状のばねの組み合わせも可能であることが示唆される。その際、それぞれの組み合わせの決定は有利にはそれぞれの適用分野または所望の有効モード、すなわちマイクロメカニカルシステムの動作のために所望される振動可能な系の固有周波数に依存して行われる。

図６には、本発明のマイクロメカニカルシステムの別のばねエレメントの実施例が示されている。図によれば、別のばねエレメント７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅは別の係留点８と共に振動質量体２の中央懸架を実現している。図５の実施形態に類似または一致した、図６の左上側に示されている実施形態は、ばねエレメント７ｂから形成されたばね系が高い剛性と小さな所要面積を有するという利点を有している。

それに対して、図６の右上側に示されている実施形態は、ヨークばねの形態に形成された別のばねエレメント７ｃが高い剛性を有すると同時に特にはっきりと運動方向における直線運動に作用するという利点をもたらす。これは、別のばねエレメント７ｃが振動可能な系の運動方向から外れた振動モードを特に有効に抑制するということを意味する。

図２の実施形態に類似した図６の右下側の実施形態はある意味で上記２つの実施形態の組み合わせである。したがって、ヨークばねとして形成された別のばねエレメント７ｅを使用することによりまた、とりわけマイクロメカニカルシステムの振動質量体２ないし振動可能な系の直線運動が補助される。

上記実施形態によれば、本発明のマイクロメカニカルシステムと本発明の方法はとりわけ以下の利点を有している。すなわち、振動質量体の中央の懸架により、つまり振動質量体の内部に付加的に少なくとも１つの別のばねエレメントが設けられているまたは設けられ、この別のばねエレメントによって振動質量体がマイクロメカニカルシステムの別の係留点に結合されているまたは結合されることにより、マイクロメカニカルシステムの動作時に使用される有効モードと振動可能な系の他の振動モードとの間の分離が拡大ないし改善され、マイクロメカニカルシステムの振動可能な系の動特性の適切かつ有効な制御が行われるという利点を有している。

Claims (11)

1. 振動質量体（２）と少なくとも２つのばねエレメント（３）とを有する振動可能な系を備えたマイクロメカニカルシステム（１）であって、前記ばねエレメント（３）はそれぞれ、前記振動質量体（２）が１つの運動方向（Ｂ）に振動できるように、一方では前記振動質量体（２）の外側に結合されており、他方では前記マイクロメカニカルシステム（１）の固定した係留点（４）に結合されている、マイクロメカニカルシステムにおいて、
   前記振動質量体（２）の内側に少なくとも１つの別のばねエレメント（７，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）が設けられており、当該少なくとも１つの別のばねエレメントにより前記振動質量体（２）は前記マイクロメカニカルシステム（１）の別の係留点（８）に結合されている、ことを特徴とするマイクロメカニカルシステム。
2. 前記震動可能な系は超音波領域内に共振周波数を有している、請求項１記載のマイクロメカニカルシステム。
3. 前記ばねエレメント（３）はヨークばねとして形成されている、請求項１または２記載のマイクロメカニカルシステム。
4. 前記少なくとも１つの別のばねエレメント（７，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）はヨークばねとして形成されている、請求項１から３のいずれか１項記載のマイクロメカニカルシステム。
5. 前記マイクロメカニカルシステム（１）はセンサとして形成されている、請求項１から４のいずれか１項記載のマイクロメカニカルシステム。
6. 前記マイクロメカニカルシステム（１）はアコースティックエミッションを検出するセンサとして形成されている、請求項５記載のマイクロメカニカルシステム。
7. 振動質量体（２）と少なくとも２つのばねエレメント（３）とを有する振動可能な系を備えたマイクロメカニカルシステム（１）を製造する方法であって、前記ばねエレメント（３）はそれぞれ、前記振動質量体（２）が１つの運動方向（Ｂ）に振動できるように、一方では前記振動質量体（２）の外側に結合されており、他方では前記マイクロメカニカルシステム（１）の固定した係留点（４）に結合されている、マイクロメカニカルシステム（１）を製造する方法において、
   前記振動可能な系の振動モードの分析により、前記運動方向（Ｂ）に垂直な振動振幅が現れる少なくとも１つの位置を求め、
   前記振動質量体（２）の内側に少なくとも１つの別のばねエレメント（７，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）が設け、当該別のばねエレメントにより前記振動質量体（２）を前記マイクロメカニカルシステム（１）の別の係留点（８）に結合する、
   ことを特徴とするマイクロメカニカルシステム（１）を製造する方法。
8. 前記マイクロメカニカルシステム（１）の動作のための有効モードの周波数が前記少なくとも１つの別のばねエレメント（７，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）によって変化しないように、前記振動可能な系の全ばね剛性を適合させる、請求項７記載の方法。
9. 前記方法ステップを反復して繰り返す、請求項７または８記載の方法。
10. 前記振動可能な系の振動モードの分析をコンピュータ支援シミュレーションモデルを用いて行う、請求項７から９のいずれか１項記載の方法。
11. 前記シミュレーションモデルとして有限要素法によるモデルを使用する、請求項１０記載の方法。

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