JP2012516550A - 部材の配置方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記基板および第1の液体を準備する工程、
ここで、前記基板は、撥水性領域および親水性領域を具備しており、
前記撥水性領域は、フッ素化合物により被覆された表面を具備しており、
前記撥水性領域は、前記親水性領域を囲んでおり、
前記第1の液体は親水性であり、
前記部材および第2の液体を含有する部材含有液を準備する工程、
ここで、第2の液体は、第1の液体に溶解せず、
前記部材は親水性の表面を具備しており、
前記親水性領域に前記第1の液体を配置する工程、
前記親水性領域に配置された前記第1の液体に前記部材含有液を接触させる工程、
前記基板から、前記第1の液体および第2の液体を除去することによって、前記部材を前記親水性領域に配置する工程、
ここで、前記親水性領域は、部材配置領域および液体捕捉領域から構成されており、
前記部材配置領域には、前記部材が配置され、
前記液体捕捉領域は、前記部材配置領域の周辺に形成されており、
前記液体捕捉領域は、下記化学式Iで表される表面を具備する。
ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカンのようなアルカン、
トルエン、ベンゼン、キシレンのような芳香族炭化水素類、
クロロメタン、ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、モノクロロブタン、ジクロロブタン、モノクロロペンタンおよびジクロロペンタンのような塩素系溶媒、
ジエチルエーテル、石油エーテルのようなエーテル、
酢酸エチル、酢酸ブチルのようなエステル類、
シリコーンオイル、
パーフルオロオクタン、
パーフルオロノナン、または、
これらの混合液
である。
以下の実施例は、本発明の配置方法をさらに詳細に説明する。
<部材を配置する基板の作製>
まず、図5A〜5Eに示す方法により、撥水性領域120に囲まれた親水性領域110がシリコン基板上に形成された。本実施例では、部材配置領域111および液体捕捉領域112における純水に対する静的接触角を測定するために、2つの領域が基板110上に設けられた。各領域の形状は1cm×1cmの正方形であった。
酸化シリコンからなる部材400を含有する部材含有液600は、以下の方法によって調製された。
第1のスキージ510および第2のスキージ520は、スキージのエッジ面が基板100の長手方向と直交するように、基板100の一端側に配置された。これらのスキージのエッジ面と基板100との間隔は、およそ0.2mmに設定した。第1のスキージ510と第2のスキージ520との間隔は1mmとした。
撥水性領域120を形成するために、CF3C2H4SiCl3(以下、「FS−3」)に用いたこと以外は、実施例1と同様に実験を行った。部材配置領域111の静的接触角は16°であった。液体捕捉領域112の静的接触角は58°であった。撥水性領域120の純水に対する静的接触角は103°であった。
液体捕捉領域112を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様に実験を行った。すなわち、比較例1では、液体捕捉領域112を形成するためのレジストパターンが形成されず、かつ、1−クロロエチル−トリクロロシランによる処理が行わなれなかった。部材配置領域111および撥水性領域120のみが形成された。部材配置領域111の純水に対する静的接触角は15°であった。
比較例2では、1−クロロエチル−トリクロロシランによる処理をしなかったこと以外は、実施例1と同様に実験を行った。すなわち、部材配置領域111を拡張した。部材配置領域111の純水に対する静的接触角は13°であった。
前記基板および第1の液体を準備する工程、
ここで、前記基板は、撥水性領域および親水性領域を具備しており、
前記撥水性領域は、フッ素化合物により被覆された表面を具備しており、
前記撥水性領域は、前記親水性領域を囲んでおり、
前記第1の液体は親水性であり、
前記部材および第2の液体を含有する部材含有液を準備する工程、
ここで、第2の液体は、第1の液体に溶解せず、
前記部材は親水性の表面を具備しており、
前記親水性領域に前記第1の液体を配置する工程、
前記親水性領域に配置された前記第1の液体に前記部材含有液を接触させる工程、
前記基板から、前記第1の液体および第2の液体を除去することによって、前記部材を前記親水性領域に配置する工程、
ここで、前記親水性領域は、部材配置領域および液体捕捉領域から構成されており、
前記部材配置領域には、前記部材が配置され、
前記液体捕捉領域は、前記部材配置領域の周辺に形成されており、
前記液体捕捉領域は、下記化学式Iで表される表面を具備する。
Claims (6)
- 部材を基板上に配置する方法であって、以下の工程を具備する:
前記基板および第1の液体を準備する工程、
ここで、前記基板は、撥水性領域および親水性領域を具備しており、
前記撥水性領域は、フッ素化合物により被覆された表面を具備しており、
前記撥水性領域は、前記親水性領域を囲んでおり、
前記第1の液体は親水性であり、
前記部材および第2の液体を含有する部材含有液を準備する工程、
ここで、第2の液体は、第1の液体に溶解せず、
前記部材は親水性の表面を具備しており、
前記親水性領域に前記第1の液体を配置する工程、
前記親水性領域に配置された前記第1の液体に前記部材含有液を接触させる工程、
前記基板から、前記第1の液体および第2の液体を除去することによって、前記部材を前記親水性領域に配置する工程、
ここで、前記親水性領域は、部材配置領域および液体捕捉領域から構成されており、
前記部材配置領域には、前記部材が配置され、
前記液体捕捉領域は、前記部材配置領域の周辺に形成されており、
前記液体捕捉領域は、下記化学式Iで表される表面を具備する。
- 前記液体捕捉領域は、前記部材配置領域の周囲の一部に形成されている、請求項1に記載の部材の配置方法。
- 前記液体捕捉領域は、前記部材配置領域の周囲の全部に形成されている、請求項1に記載の部材の配置方法。
- 前記第1の液体が水であり、前記第2の液体が塩素系溶媒である、請求項1に記載の部材の配置方法。
- 前記第2の液体が、前記第1の液体よりも小さい極性を具備する、請求項1に記載の部材の配置方法。
- 前記第1の液体を配置する工程よりも前に、前記部材の表面を親水性にする工程をさらに具備する、請求項1に記載の部材の配置方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011521030A JP5000015B2 (ja) | 2010-03-15 | 2011-03-14 | 部材の配置方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010057087 | 2010-03-15 | ||
JP2010057087 | 2010-03-15 | ||
PCT/JP2011/001483 WO2011114696A1 (en) | 2010-03-15 | 2011-03-14 | Method for disposing a component |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012516550A true JP2012516550A (ja) | 2012-07-19 |
JP5000015B2 JP5000015B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=44648808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011521030A Expired - Fee Related JP5000015B2 (ja) | 2010-03-15 | 2011-03-14 | 部材の配置方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5000015B2 (ja) |
CN (1) | CN102365723B (ja) |
WO (1) | WO2011114696A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015070201A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 液中接着用基板及びこれを用いた被着物の実装方法 |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2011
- 2011-03-14 CN CN201180001590.4A patent/CN102365723B/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN102365723B (zh) | 2014-07-09 |
WO2011114696A1 (en) | 2011-09-22 |
CN102365723A (zh) | 2012-02-29 |
JP5000015B2 (ja) | 2012-08-15 |
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