JP2012252771A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 単一の記録マスタから両面テンプレートを作成する方法であって、
   単一の記録マスタを使用して第一のテンプレートを製造するステップを備え、第一のテンプレートにおいては、デューティサイクルが変更され、サーボアーク配向は変更されず、方法はさらに、
   第一のテンプレートの複製物を作成するステップを備え、複製物においては、サーボアーク配向が鏡写しとなり、デューティサイクルが変更され、方法はさらに、
   パターンドスタックの第二面に転写するための所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルを作成するために、複製物を使用して第二のテンプレートを製造するステップを備える、方法。
2. 複製物を作成するために、単一の記録マスタを使用して第一のテンプレートを製造するための手段と、
   サーボアーク配向を鏡写しにして、デューティサイクルを逆にするために、第一のテンプレートの複製物を作成するための手段と、複製物を使用して第二のテンプレートを製造し、両面パターンドスタック作成用の単一の記録マスタの所定の鏡写しのサーボアーク配向と所定のデューティサイクルとをもたらすための手段とを備える、装置。
3. 逆トーン処理によって第一のテンプレートを作成するために、単一の記録マスタを使用するための手段をさらに備える、請求項２に記載の装置。
4. インプリントリソグラフィによって第一のテンプレートの複製物を作成するための手段をさらに備える、請求項２に記載の装置。
5. 単一の記録マスタの所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルをもたらすために、逆トーン処理によって第二面テンプレートを製造するために、複製物を使用するための手段をさらに備える、請求項２に記載の装置。
6. 両面パターンドスタックの作成に使用される第一面テンプレートと第二面テンプレートとを含むテンプレート群を作成するために、逆トーン処理とインプリントリソグラフィ処理とを併用する手段をさらに備える、請求項２に記載の装置。
7. 所定の鏡写しのサーボアーク配向と、
   所定のデューティサイクルとを備え、
   所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルは、両面パターンドスタックの作成のための単一の記録マスタを使用して作成される、第二面テンプレート。
8. さらに逆トーン処理を行って第一のテンプレートを製造することを備える、請求項７に記載の第二面テンプレート。
9. さらに、第一のテンプレートを製造するための逆トーン処理と、第一のテンプレートの複製物を製造するためのインプリントリソグラフィ処理とを併用することを備える、請求項７に記載の第二面テンプレート。
10. 処理の併用によって、両面パターンドスタックの製造に使用される第一面テンプレートと第二面テンプレートとを含むテンプレート群を作成する、請求項９に記載の第二面テンプレート。