JP2012247255A - Laser displacement gauge - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser displacement gauge which is capable of measuring a distance in simple configuration.SOLUTION: A laser displacement gauge comprises: a light source section 11 which emits laser light; a light flux diameter change section 14 which expands a light flux diameter of emitted light and converges reflection light obtained by reflecting the expanded emitted light in reflection means 30; a light receiving section 16 which receives the reflection light; a calculation section 18 which calculates a distance to the reflection means 30 by using the emitted light and the reflection light; a displacement detection section 21 which detects displacement of the distance; a displacement output section 22 which performs output relating to the detected displacement; and a reflection section 17a which causes the light flux diameter change section 14 to transmit or reflect the emitted light from the light source section 11 via a center area by transmitting either the emitted light prior to expansion or the reflection light from the light flux diameter change section 14 therethrough and reflecting the other light, and causes the light receiving section 16 to reflect or transmit therethrough the reflection light from the light flux diameter change section 14 via an outside area that is an area outside the center area. Regarding the light flux diameter change section 14, an effective aperture with respect to reflection light is larger than a light flux diameter of emitted light.

Description

本発明は、レーザ光を用いて反射手段までの距離を測定し、その距離の変化を検出するレーザ変位計に関する。   The present invention relates to a laser displacement meter that measures a distance to a reflecting means using laser light and detects a change in the distance.

従来のレーザ変位計では、レーザ光の光束経路中に雨滴や雪、霧、土埃、植生等の障害物が存在すると、出射光や反射光の強度が減衰し、精度の低下を招いていた。このため、レーザ光を強くするなどの対応がなされたが、人体の安全上の問題もあったため、最近では、レーザ光を拡散させることにより、障害物の影響度合いを軽減した拡散式のレーザ変位計が開発されている。   In the conventional laser displacement meter, if there are obstacles such as raindrops, snow, mist, dirt, vegetation, etc. in the laser beam path, the intensity of the emitted light and reflected light is attenuated, resulting in a decrease in accuracy. For this reason, measures such as increasing the intensity of the laser beam were taken, but due to safety issues in the human body, recently, a diffusion-type laser displacement that reduces the influence of obstacles by diffusing the laser beam. A total has been developed.

この拡散式のレーザ変位計の光学手段においては、レーザ光を反射手段に向かって出射する光学系と、反射手段で反射された反射光を受光する光学系をそれぞれ別に設けた二眼式と、光学手段の一部を共有する一眼式とが知られている。一眼式のレーザ変位計では、出射した出射光の光軸と、反射光を受光する光軸とを共有することができ、レンズ部品の共有に応じた低価格化を実現可能である。しかしながら、レーザ光を出射する光源と、反射光を受光する受光部とが異なることから、最終的には光路を分離する分離手段が必要となる。この分離手段として、例えば、ハーフミラーや、4分の1波長板と偏向プリズム等が用いられていた(例えば、特許文献1参照)。   In the optical means of this diffusion type laser displacement meter, an optical system that emits laser light toward the reflecting means, and a twin-lens type that separately provides an optical system that receives the reflected light reflected by the reflecting means, A single-lens system sharing a part of optical means is known. In the single-lens laser displacement meter, the optical axis of the emitted outgoing light and the optical axis for receiving the reflected light can be shared, and the price can be reduced according to the sharing of the lens components. However, since the light source that emits the laser light is different from the light receiving unit that receives the reflected light, a separation unit that finally separates the optical path is required. As this separation means, for example, a half mirror, a quarter-wave plate, a deflecting prism, or the like has been used (see, for example, Patent Document 1).

特開2005−156330号公報JP 2005-156330 A

しかしながら、ハーフミラーを用いる従来のレーザ変位計では、ハーフミラーの透過率及び反射率がそれぞれ50%となるため、そのハーフミラーを介することによって、受光される反射光の光量が、出射されるレーザ光の4分の1以下に減少し、測定精度の低下を招いたり、障害物による影響を受けやすくなったりしていた。また、4分の1波長板と偏向プリズム等を用いる従来のレーザ変位計では、受光光量の減少は低減できるが、光学系の高精度化や高価格化が課題となっていた。   However, in the conventional laser displacement meter using a half mirror, the transmittance and the reflectance of the half mirror are 50%, respectively, so that the amount of reflected light received by the half mirror is emitted. It was reduced to less than a quarter of the light, leading to a decrease in measurement accuracy and being easily affected by obstacles. Further, in a conventional laser displacement meter using a quarter-wave plate and a deflecting prism, the decrease in the amount of received light can be reduced, but there has been a problem of high accuracy and high price of the optical system.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、出射光と反射光とが同じ光学系を通過すると共に、簡易な構成でありながら、レーザ光の減衰を少なくすることができるレーザ変位計を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and a laser capable of reducing the attenuation of the laser beam while the outgoing light and the reflected light pass through the same optical system and has a simple configuration. An object is to provide a displacement meter.

上記目的を達成するため、本発明によるレーザ変位計は、レーザ光を出射する光源部と、光源部から出射されたレーザ光である出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段で反射された反射光を集光する光束径変更部と、反射光を受光する受光部と、出射光と反射光とを用いて、反射手段までの距離を算出する算出部と、算出部が算出した距離を蓄積する蓄積部と、蓄積部が蓄積した距離を用いて、前記反射手段までの距離の変位を検出する変位検出部と、変位検出部が検出した変位に関する出力を行う変位出力部と、光源部から出射された拡張前の出射光と、光束径変更部からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部に透過または反射させ、光束径変更部からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部に反射または透過させる反射部と、を備え、光束径変更部は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい、ものである。
このような構成により、ハーフミラーやプリズムを用いないで出射光と反射光とを分離することができ、中心領域と外側領域との比を適切に設定することによって、レーザ光の減衰を少なくすることができる。また、プリズムを用いた場合よりも、簡易な構成とすることができうる。
In order to achieve the above object, a laser displacement meter according to the present invention expands the diameter of a light source unit that emits laser light and the diameter of the emitted light that is laser light emitted from the light source unit, and reflects the expanded outgoing light. A light beam diameter changing unit for collecting the reflected light reflected by the means, a light receiving unit for receiving the reflected light, a calculating unit for calculating the distance to the reflecting means using the emitted light and the reflected light, and a calculating unit A storage unit for storing the distance calculated by the above, a displacement detection unit for detecting the displacement of the distance to the reflecting means using the distance stored by the storage unit, and a displacement output for outputting the displacement detected by the displacement detection unit The light emitted from the light source part is transmitted through the central region by transmitting one of the light emitted from the light source part and the unexpanded light emitted from the light source part and the reflected light from the light beam diameter changing part and reflecting the other. The light beam diameter change part is transmitted or reflected to change the light beam diameter. A reflecting portion that reflects or transmits reflected light from the light receiving portion to the light receiving portion through an outer region that is an outer region of the central region, and the light beam diameter changing unit has a light beam whose effective aperture with respect to the reflected light is emitted light. It is larger than the diameter.
With such a configuration, the outgoing light and the reflected light can be separated without using a half mirror or a prism, and the attenuation of the laser light is reduced by appropriately setting the ratio between the central region and the outer region. be able to. Also, a simpler configuration can be achieved than when a prism is used.

また、本発明によるレーザ変位計では、前記光束径変更部は、拡張前の出射光を発散させる発散レンズと、前記発散レンズを通過した出射光を収束させる収束レンズと、を有し、前記発散レンズ及び前記収束レンズは、焦点距離の異なる2個のレンズが同心に形成された輪帯レンズであり、前記発散レンズ及び前記収束レンズの中心部を用いた倍率は、前記発散レンズ及び前記収束レンズの外周部を用いた倍率よりも大きくてもよい。
このような構成により、光束径変更部の中心領域による反射光の減衰割合をより低減させることができる。
In the laser displacement meter according to the present invention, the light beam diameter changing unit includes a diverging lens that diverges outgoing light before expansion and a converging lens that converges outgoing light that has passed through the diverging lens, and The lens and the converging lens are annular lenses in which two lenses having different focal lengths are formed concentrically, and the magnification using the central portion of the diverging lens and the converging lens is determined by the diverging lens and the converging lens. It may be larger than the magnification using the outer peripheral portion.
With such a configuration, it is possible to further reduce the attenuation ratio of the reflected light by the central region of the light beam diameter changing portion.

また、本発明によるレーザ変位計では、反射部は、光源部からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部に透過させ、光束径変更部からの反射光を、外側領域を介して受光部に反射させてもよい。
また、本発明によるレーザ変位計では、反射部は、中心領域に出射光が通過する孔を有し、外側領域に鏡面が設けられてもよい。
また、本発明によるレーザ変位計では、反射部は、光源部からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部に反射させ、光束径変更部からの反射光を、外側領域を介して受光部に透過させてもよい。
また、本発明によるレーザ変位計では、反射部は、中心領域に出射光を反射する鏡面が設けられ、外側領域が光束径変更部からの反射光を透過させる透過部材で構成されていてもよい。
Further, in the laser displacement meter according to the present invention, the reflecting unit transmits the light emitted from the light source unit to the light beam diameter changing unit through the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit is transmitted through the outer region. You may reflect on a light-receiving part.
In the laser displacement meter according to the present invention, the reflecting portion may have a hole through which the outgoing light passes in the central region, and a mirror surface may be provided in the outer region.
Further, in the laser displacement meter according to the present invention, the reflection unit reflects the emitted light from the light source unit to the light beam diameter changing unit through the central region, and reflects the reflected light from the light beam diameter changing unit through the outer region. You may permeate | transmit to a light-receiving part.
Further, in the laser displacement meter according to the present invention, the reflecting portion may be formed of a transmissive member provided with a mirror surface that reflects the emitted light in the central region, and the outer region transmitting the reflected light from the light beam diameter changing portion. .

本発明によるレーザ変位計によれば、ハーフミラーやプリズムを用いないで出射光と反射光とを分離することができ、また、レーザ光の減衰を少なくすることができうる。   According to the laser displacement meter of the present invention, the emitted light and the reflected light can be separated without using a half mirror or a prism, and the attenuation of the laser light can be reduced.

本発明の実施の形態1によるレーザ変位計の構成を示す図The figure which shows the structure of the laser displacement meter by Embodiment 1 of this invention. 同実施の形態における反射部について説明するための図The figure for demonstrating the reflection part in the embodiment 同実施の形態によるレーザ変位計の動作を示すフローチャートFlowchart showing the operation of the laser displacement meter according to the same embodiment 同実施の形態によるレーザ変位計の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of the laser displacement meter by the embodiment 同実施の形態における反射部の他の一例について説明するための図The figure for demonstrating another example of the reflection part in the embodiment 同実施の形態によるレーザ変位計の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of the laser displacement meter by the embodiment 同実施の形態による光束径変更部の他の構成を示す図The figure which shows the other structure of the light beam diameter change part by the embodiment

以下、本発明によるレーザ変位計について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。   Hereinafter, a laser displacement meter according to the present invention will be described using embodiments. In the following embodiments, components and steps denoted by the same reference numerals are the same or equivalent, and repetitive description may be omitted.

(実施の形態1)
本発明の実施の形態1によるレーザ変位計について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態によるレーザ変位計は、出射光と反射光とが同じ光学系を通過するものであり、反射部によって、出射光と反射光との一方を透過させ、他方を反射させるものである。
(Embodiment 1)
A laser displacement meter according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. In the laser displacement meter according to the present embodiment, the outgoing light and the reflected light pass through the same optical system, and one of the outgoing light and the reflected light is transmitted and the other is reflected by the reflecting portion. .

図1は、本実施の形態によるレーザ変位計1の構成を示す図である。本実施の形態によるレーザ変位計1は、光源部11と、光束径変更部14と、レンズ15と、受光部16と、反射部17aと、算出部18と、蓄積部19と、記憶部20と、変位検出部21と、変位出力部22とを備える。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a laser displacement meter 1 according to the present embodiment. The laser displacement meter 1 according to the present embodiment includes a light source unit 11, a light beam diameter changing unit 14, a lens 15, a light receiving unit 16, a reflecting unit 17a, a calculating unit 18, a storage unit 19, and a storage unit 20. And a displacement detection unit 21 and a displacement output unit 22.

光源部11は、レーザ光を出射する。光源部11は、例えば、レーザダイオードによってレーザ光を生成し、出射してもよい。そのレーザ光の波長は問わない。そのレーザ光は、例えば、650nm程度の波長の赤色レーザ光であってもよく、あるいは、その他の波長のレーザ光であってもよい。光源部11から出射されるレーザ光の直径は、約2mm程度であってもよく、あるいは、その他の直径であってもよい。但し、光源部11からのレーザ光の直径は、小さい方が好適である。後述する孔31の直径を小さくできるからである。   The light source unit 11 emits laser light. The light source unit 11 may generate and emit laser light with a laser diode, for example. The wavelength of the laser beam does not matter. The laser light may be, for example, red laser light having a wavelength of about 650 nm, or laser light having other wavelengths. The diameter of the laser beam emitted from the light source unit 11 may be about 2 mm, or may be another diameter. However, a smaller diameter of the laser beam from the light source unit 11 is preferable. This is because the diameter of the hole 31 described later can be reduced.

光束径変更部14は、光源部11から出射されたレーザ光である出射光を、反射部17aの中心領域を介して受け取り、その出射光の光束径を拡張する。また、光束径変更部14は、拡張後の出射光が反射手段30で反射された反射光を反射部17aに集光する。反射光を集光するとは、反射光の光束径を縮小することである。その集光の際に、光束径変更部14は、反射光を反射部17aの中心領域より広い領域に集光するものとする。すなわち、光束径変更部14は、反射光に対する有効口径が、光束径変更部14を通過する出射光の光束径より大きいものである。例えば、レンズ13の位置において、反射光に対するレンズ13の有効口径は、レンズ13を通過する出射光の光束径よりも大きいものとなる。その結果、反射部17aの位置において、出射光の光束径よりも、反射光の光束径の方が大きくなるようにすることができる。なお、このように、反射部17aの位置において、出射光は光束径が小さく、反射光は光束径が大きくなるようにするため、例えば、レンズ12,13が、出射光をレンズの中心付近のみを用いて拡張し、反射光をレンズの全体を用いて集光するように、レンズ12,13の大きさ、焦点距離、レンズ間の距離等を設定してもよい。また、光束径変更部14から出射された出射光が、反射手段30に近づくにつれて直径が拡張されるような拡がり角を持つように、光束径変更部14の光学系を調整してもよく、あるいは、光束径変更部14から出射された出射光が平行光となるように光束径変更部14の光学系を調整してもよい。   The light beam diameter changing unit 14 receives the emitted light, which is laser light emitted from the light source unit 11, via the central region of the reflecting unit 17a, and expands the light beam diameter of the emitted light. In addition, the light beam diameter changing unit 14 condenses the reflected light, which is the expanded outgoing light reflected by the reflecting means 30, on the reflecting unit 17a. Condensing the reflected light means reducing the beam diameter of the reflected light. At the time of the condensing, the light beam diameter changing unit 14 condenses the reflected light in a region wider than the central region of the reflecting unit 17a. That is, the light beam diameter changing unit 14 has an effective aperture for the reflected light larger than the light beam diameter of the outgoing light passing through the light beam diameter changing unit 14. For example, at the position of the lens 13, the effective aperture of the lens 13 with respect to the reflected light is larger than the luminous flux diameter of the outgoing light passing through the lens 13. As a result, it is possible to make the light beam diameter of the reflected light larger than the light beam diameter of the emitted light at the position of the reflecting portion 17a. In this way, at the position of the reflecting portion 17a, in order to make the emitted light have a small luminous flux diameter and the reflected light has a large luminous flux diameter, for example, the lenses 12 and 13 transmit the emitted light only near the center of the lens. The size of the lenses 12 and 13, the focal length, the distance between the lenses, and the like may be set so that the reflected light is condensed using the entire lens. In addition, the optical system of the light beam diameter changing unit 14 may be adjusted so that the emitted light emitted from the light beam diameter changing unit 14 has a divergence angle that expands as the diameter approaches the reflecting unit 30. Or you may adjust the optical system of the light beam diameter change part 14 so that the emitted light radiate | emitted from the light beam diameter change part 14 may become parallel light.

ここで、反射手段30は、入射角度にかかわらず入射光と反射光とが同じ方向となる再帰反射板であってもよく、あるいは、再帰反射板でない反射板(例えば、ミラー等)であってもよい。反射手段30が再帰反射板である場合には、例えば、コーナーキューブ・ミラーやコーナーキューブ・プリズムを用いてものであってもよく、微細なガラスビーズを用いたものであってもよい。また、反射手段30の反射面は、平面であってもよく、曲面であってもよい。なお、反射手段30が再帰反射板である場合には、出射光と反射光とがほぼ同じ光路を通ることになり、反射部17aにおける出射光と反射光の光束径が同じになるとも考えられる。しかしながら、レーザ光はコヒーレントな光であるものの、拡がり角が完全に0ではない。また、再帰反射板であっても、出射光と反射光との方向が厳密に同じではなく、製造誤差等に応じて、多少の違いが生じてしまう。さらに、通常、レーザ変位計1から反射手段30までの距離は、50mや100mなどのように、比較的長い距離である。その結果、たとえ反射手段30が再帰反射板であったとしても、出射光よりも反射光の方が、光束径が大きくなることになる。   Here, the reflecting means 30 may be a retroreflecting plate in which incident light and reflected light are in the same direction regardless of the incident angle, or a reflecting plate (for example, a mirror) that is not a retroreflective plate. Also good. When the reflecting means 30 is a retroreflecting plate, for example, a corner cube mirror or a corner cube prism may be used, or a fine glass bead may be used. Further, the reflecting surface of the reflecting means 30 may be a flat surface or a curved surface. When the reflecting means 30 is a retroreflecting plate, the outgoing light and the reflected light pass through substantially the same optical path, and it is considered that the diameters of the outgoing light and the reflected light at the reflecting portion 17a are the same. . However, although the laser light is coherent light, the divergence angle is not completely zero. Further, even in the retroreflective plate, the directions of the outgoing light and the reflected light are not exactly the same, and some differences occur depending on manufacturing errors and the like. Furthermore, the distance from the laser displacement meter 1 to the reflecting means 30 is usually a relatively long distance such as 50 m or 100 m. As a result, even if the reflecting means 30 is a retroreflecting plate, the reflected light has a larger beam diameter than the emitted light.

本実施の形態では、光束径変更部14は、発散レンズであるレンズ12と、収束レンズであるレンズ13とを備え、両者によって出射光の直径を拡張し、反射光の直径を縮小する。すなわち、光束径変更部14は、いわゆるビームエキスパンダである。出射光に対しては、レンズ12が拡張前の出射光を発散させ、レンズ13が、レンズ12を通過した出射光を収束させることになる。すなわち、レンズ12によって出射光の拡がり角が増大され、レンズ13によって出射光の拡がり角が減少される。一方、反射光に対しては、レンズ13が集光前の反射光を収束させ、レンズ12が、レンズ13を通過した反射光を発散させることになる。すなわち、レンズ13によって反射光の拡がり角が減少され、レンズ12によって反射光の拡がり角が増大される。なお、ここでは、レンズ12,13として、発散レンズである平凹レンズと、収束レンズである平凸レンズとを用いた場合について示しているが、それ以外のレンズの組み合わせによって、出射光の光束径を拡張し、反射光の光束径を縮小するようにしてもよいことは言うまでもない。   In the present embodiment, the light beam diameter changing unit 14 includes a lens 12 that is a diverging lens and a lens 13 that is a converging lens, and both expand the diameter of emitted light and reduce the diameter of reflected light. That is, the light beam diameter changing unit 14 is a so-called beam expander. With respect to the emitted light, the lens 12 diverges the emitted light before expansion, and the lens 13 converges the emitted light that has passed through the lens 12. That is, the divergence angle of the emitted light is increased by the lens 12, and the divergence angle of the emitted light is decreased by the lens 13. On the other hand, with respect to the reflected light, the lens 13 converges the reflected light before condensing, and the lens 12 diverges the reflected light that has passed through the lens 13. That is, the spread angle of the reflected light is reduced by the lens 13, and the spread angle of the reflected light is increased by the lens 12. In addition, although the case where a plano-concave lens that is a diverging lens and a plano-convex lens that is a converging lens are used as the lenses 12 and 13 is shown here, the luminous flux diameter of the emitted light is changed by a combination of other lenses. Needless to say, the beam diameter of the reflected light may be reduced by expanding.

レンズ15は、反射光を受光部16に集光する平凸レンズである。なお、反射光は、反射部17aによって反射されたものである。また、その反射光を受光部16に集光できるのであれば、レンズ15は、平凸レンズ以外のものであってもよい。   The lens 15 is a plano-convex lens that condenses the reflected light on the light receiving unit 16. The reflected light is reflected by the reflecting portion 17a. Further, the lens 15 may be other than a plano-convex lens as long as the reflected light can be condensed on the light receiving unit 16.

受光部16は、反射光を受光する。この受光部16は、光を検出できるものであればよく、例えば、フォトダイオードやフォトトランジスタ等であってもよい。   The light receiving unit 16 receives reflected light. The light receiving portion 16 may be any device that can detect light, and may be, for example, a photodiode or a phototransistor.

反射部17aは、光源部11から出射された拡張前の出射光と、光束径変更部14からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させるものである。そのようにすることで、反射部17aは、光源部11からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部14に透過(または反射)させ、光束径変更部14からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部16に反射(または透過)させることになる。ここで、反射部17aが出射光と反射光との一方を透過させ、他方を反射させるとは、出射光については、そのすべてが透過または反射されることを意味し、反射光については、その大部分(外側領域に入射する部分)が反射または透過されることを意味する。なお、本実施の形態では、図1で示されるように、反射部17aが、光源部11からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部14に透過させ、光束径変更部14からの反射光を、外側領域を介して受光部16に反射させる場合について説明する。すなわち、出射光は、反射部17aの中心領域を透過して光束径変更部14に入射することになる。また、反射光は、反射部17aの外側領域で反射され、レンズ15を介して受光部16に入射することになる。逆の場合、すなわち、光源部11からの出射光が、中心領域を介して光束径変更部14に反射され、光束径変更部14からの反射光が、外側領域を介して受光部16に透過される場合については、図4を用いて後述する。ここで、透過とは、ガラスや透明度の高い樹脂等の透過部材を光が通過することであってもよく、あるいは、そのような固体の媒体のないところ(例えば、空気中、真空中等)を光が通過することであってもよい。また、反射部17aは、通常、光源部11を出射したレーザ光の光路に対して、約45度の角度を有するように設けられている。また、反射部17aの直径は、光束径変更部14が集光する反射光の直径と同程度か、それよりも大きいことが好適である。   The reflection unit 17a transmits one of the outgoing light before expansion emitted from the light source unit 11 and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14, and reflects the other. By doing so, the reflection unit 17a transmits (or reflects) the emitted light from the light source unit 11 to the light beam diameter changing unit 14 through the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14 is The light receiving unit 16 reflects (or transmits) the light through the outer region that is an outer region of the central region. Here, when the reflecting portion 17a transmits one of the outgoing light and the reflected light and reflects the other, it means that all of the outgoing light is transmitted or reflected. It means that most (the part incident on the outer region) is reflected or transmitted. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the reflection unit 17 a transmits the light emitted from the light source unit 11 to the light beam diameter changing unit 14 through the central region, and from the light beam diameter changing unit 14. The case where the reflected light is reflected on the light receiving unit 16 through the outer region will be described. That is, the emitted light passes through the central region of the reflecting portion 17 a and enters the light beam diameter changing portion 14. The reflected light is reflected by the outer region of the reflecting portion 17 a and enters the light receiving portion 16 through the lens 15. In the opposite case, that is, the emitted light from the light source unit 11 is reflected by the light beam diameter changing unit 14 through the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14 is transmitted to the light receiving unit 16 through the outer region. This case will be described later with reference to FIG. Here, the transmission may mean that light passes through a transparent member such as glass or highly transparent resin, or where there is no such a solid medium (for example, in the air or in a vacuum). It may be that light passes through. Moreover, the reflection part 17a is normally provided so that it may have an angle of about 45 degree | times with respect to the optical path of the laser beam radiate | emitted from the light source part 11. FIG. Moreover, it is preferable that the diameter of the reflection part 17a is the same as that of the reflected light which the light beam diameter change part 14 condenses, or larger than it.

本実施の形態では、図2(a)で示されるように、反射部17aの中心領域に出射光が通過する孔31が設けられているものとする。孔31は、貫通孔である。その中心領域の孔31の大きさは、その孔31を通過するレーザ光が反射部17aにあたらない範囲で、できるだけ小さいことが好適である。例えば、孔31の大きさは、光源部11を出射したレーザ光の直径より少し大きい程度であってもよい。なお、図2で示されるように、孔31は円形であってもよく、あるいは、円形でなくてもよい。図1で示されるように、反射部17aは、出射光に対して45度ほど傾いているため、出射光と同じ方向から見て円となる孔31を設けた場合には、その孔31は、反射部17aの正面方向から見たときに楕円形状となる。例えば、その楕円の長軸の方向の長さである長径は、(レーザ光の直径)×21/2より少し大きい程度になり、その楕円の短軸の方向の長さである短径は、レーザ光の直径より少し大きい程度となる。なお、孔31の形状と同様に、反射部17aの外形も、円形状ではなく楕円形状であってもよい。また、孔31は、反射光の光軸方向から見て円になるように設けられてもよく、あるいは、反射部17aに正対する方向から見て円になるように設けられてもよい。また、反射部17aの中心領域の孔31より外側である外側領域には、鏡面32が設けられている。鏡面32は、例えば、銀やアルミニウム等の反射率の高い金属をガラスや透明樹脂等にメッキ(例えば、電気メッキ、化学メッキ、蒸着等)したものであってもよく、あるいは、反射率の高い金属の板そのものや、反射率の高い金属の膜を別の板に貼着したものであってもよい。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2A, it is assumed that a hole 31 through which outgoing light passes is provided in the central region of the reflecting portion 17a. The hole 31 is a through hole. The size of the hole 31 in the central region is preferably as small as possible within a range where the laser light passing through the hole 31 does not hit the reflecting portion 17a. For example, the size of the hole 31 may be slightly larger than the diameter of the laser beam emitted from the light source unit 11. As shown in FIG. 2, the hole 31 may be circular or may not be circular. As shown in FIG. 1, the reflection portion 17 a is inclined by about 45 degrees with respect to the emitted light. Therefore, when the hole 31 that is a circle when viewed from the same direction as the emitted light is provided, the hole 31 is When viewed from the front direction of the reflecting portion 17a, the shape is elliptical. For example, the major axis, which is the length of the ellipse in the major axis direction, is slightly larger than (laser beam diameter) × , and the minor axis, which is the length of the ellipse in the minor axis direction, is The diameter is slightly larger than the diameter of the laser beam. As with the shape of the hole 31, the outer shape of the reflecting portion 17a may be an elliptical shape instead of a circular shape. Moreover, the hole 31 may be provided so as to be a circle when viewed from the optical axis direction of the reflected light, or may be provided so as to be a circle when viewed from the direction facing the reflecting portion 17a. In addition, a mirror surface 32 is provided in an outer region that is outside the hole 31 in the central region of the reflecting portion 17a. The mirror surface 32 may be, for example, a metal having a high reflectance such as silver or aluminum plated on glass or transparent resin (for example, electroplating, chemical plating, vapor deposition, or the like) or having a high reflectance. A metal plate itself or a metal film having a high reflectivity may be attached to another plate.

なお、この反射部17aは、中心領域に孔31が設けられているのではなく、中心領域に透過部材が存在してもよい。例えば、図2(b)、図2(c)で示されるように、反射部17aは、円板状のガラスや透明度の高い樹脂である透過部材34の中心領域以外である外側領域に、鏡面33を設けたものであってもよい。図2(c)は、図2(b)で示される反射部17aの中心を通る断面図である。鏡面33は、前述のように、反射率の高い金属を透過部材34にメッキしたものであってもよく、反射率の高い金属の板や膜を透過部材34に貼着したものであってもよい。また、反射部17aのレーザ光の入射面、すなわち、光源部11側の面に、鏡面33が設けられてもよく、あるいは、その反対側に鏡面33が設けられてもよい。このような場合であっても、中心領域を出射光が透過することができ、また、外側領域で反射光を反射することができる。なお、本実施の形態では、反射部17aが、中心領域に孔31が設けられたものである場合について主に説明する。   Note that the reflecting portion 17a is not provided with the hole 31 in the central region, and a transmissive member may exist in the central region. For example, as shown in FIG. 2B and FIG. 2C, the reflecting portion 17a is mirror-exposed on the outer region other than the central region of the transmissive member 34, which is disc-shaped glass or highly transparent resin. 33 may be provided. FIG.2 (c) is sectional drawing which passes along the center of the reflection part 17a shown by FIG.2 (b). As described above, the mirror surface 33 may be formed by plating the transmissive member 34 with a metal having a high reflectivity, or may be a plate or film having a high reflectivity adhered to the transmissive member 34. Good. The mirror surface 33 may be provided on the laser light incident surface of the reflecting portion 17a, that is, the light source portion 11 side, or the mirror surface 33 may be provided on the opposite side. Even in such a case, the emitted light can pass through the central region, and the reflected light can be reflected in the outer region. In the present embodiment, the case where the reflecting portion 17a is provided with the hole 31 in the central region will be mainly described.

算出部18は、出射光と反射光とを用いて、反射手段30までの距離を算出する。算出部18は、レーザ光が光源部11を出射してから、受光部16で受光されるまでの時間Δtを測定する。そして、そのΔtを用いて、光源部11から反射手段30までの距離Lを、L=(c×Δt)/2と算出することができる。ここで、cは、大気中の光速である。また、この距離Lのことを基線長と呼ぶこともある。また、基線長でなく、別の位置からの距離を測定したい場合には、基線長の距離Lに対して、適宜、補正量を加算または減算してもよい。基線長は、通常、2m程度から、200m程度までである。なお、基線長は、10m程度から100m程度であってもよい。また、算出部18は、その時間Δtを、例えば、レーザ光の位相を用いて算出してもよく、レーザ光の出射タイミングから受光タイミングまでの時間を測定することによって算出してもよく、あるいは、その他の方法によって算出してもよい。この算出部18による距離の算出方法については、例えば、前述の特許文献1や、次の文献等を参照されたい。
文献:納谷宏、溝上雅宏、浅利晋一郎、増成友宏、清水則一、前田寛之、「拡散レーザ変位計の開発とその実用性の検証」、日本地すべり学会誌、Vol.44、No.6、p339−348、2008年
The calculating unit 18 calculates the distance to the reflecting means 30 using the emitted light and the reflected light. The calculation unit 18 measures a time Δt from when the laser light is emitted from the light source unit 11 until it is received by the light receiving unit 16. Then, by using the Δt, the distance L from the light source unit 11 to the reflecting means 30 can be calculated as L = (c × Δt) / 2. Here, c is the speed of light in the atmosphere. Further, this distance L is sometimes referred to as a baseline length. Further, when it is desired to measure the distance from another position instead of the baseline length, the correction amount may be added or subtracted as appropriate to the baseline length distance L. The baseline length is usually from about 2 m to about 200 m. The base line length may be about 10 m to about 100 m. Further, the calculation unit 18 may calculate the time Δt using, for example, the phase of the laser beam, may be calculated by measuring the time from the laser beam emission timing to the light reception timing, or It may be calculated by other methods. For the distance calculation method by the calculation unit 18, refer to, for example, the above-mentioned Patent Document 1 and the following document.
References: Hiroshi Naya, Masahiro Mizogami, Soichiro Asari, Tomohiro Masunari, Noriichi Shimizu, Hiroyuki Maeda, “Development of a diffusion laser displacement meter and verification of its practicality”, Journal of the Japan Landslide Society, Vol. 44, no. 6, p339-348, 2008

また、算出部18は、例えば、常時、距離を測定するものであってもよく、または、定期的(例えば、1分ごと、5分ごと、10分ごとや、1時間ごと、6時間ごと、12時間ごと、24時間ごとなど)に、もしくは、不定期(例えば、何らかのイベントの発生の検知に応じたタイミングなど)に距離を測定するものであってもよい。定期的に距離を測定する場合には、算出部18は、例えば、図示しない時計部や計時部を用いて、測定を行うタイミングであるかどうかを判断してもよい。また、1回の測定におけるレーザ光の出射時間は、例えば、4秒以下であってもよく、1秒以下であってもよい。また、算出部18は、距離の算出において、複数回、距離を算出し、それを平均したものを最終的な距離としてもよい。このようにすることで、距離の誤差を低減させることができうる。また、算出部18は、光源部11を駆動してレーザ光を出射させる制御手段や、受光部16からの受光に応じた出力信号に対して、増幅や波形整形、ピークホールドなどを行う信号処理手段、クロック等を用いて時間を計測する計時手段等を備えていてもよい。   In addition, the calculation unit 18 may, for example, always measure the distance, or periodically (for example, every minute, every five minutes, every ten minutes, every hour, every six hours, The distance may be measured every 12 hours, every 24 hours, etc., or irregularly (for example, timing according to detection of occurrence of some event). When measuring the distance regularly, the calculation unit 18 may determine whether it is time to perform measurement using, for example, a clock unit or a clock unit (not shown). In addition, the emission time of the laser light in one measurement may be, for example, 4 seconds or less, or 1 second or less. Further, the calculation unit 18 may calculate the distance a plurality of times and calculate an average of the distances as the final distance. By doing so, distance errors can be reduced. The calculation unit 18 also performs control processing for driving the light source unit 11 to emit laser light, and signal processing for performing amplification, waveform shaping, peak hold, and the like on an output signal corresponding to light reception from the light receiving unit 16. Means, a time measuring means for measuring time using a clock or the like may be provided.

蓄積部19は、算出部18が算出した距離を記憶部20に蓄積する。
記憶部20では、算出部18によって算出された距離が記憶される。その距離は、前述のように、蓄積部19によって蓄積される。記憶部20は、所定の記録媒体(例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど)によって実現されうる。また、記憶部20での記憶は、RAM等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。
The accumulation unit 19 accumulates the distance calculated by the calculation unit 18 in the storage unit 20.
In the storage unit 20, the distance calculated by the calculation unit 18 is stored. The distance is accumulated by the accumulation unit 19 as described above. The storage unit 20 can be realized by a predetermined recording medium (for example, a semiconductor memory, a magnetic disk, an optical disk, etc.). The storage in the storage unit 20 may be temporary storage in a RAM or the like, or may be long-term storage.

変位検出部21は、蓄積部19が記憶部20に蓄積した距離を用いて、反射手段30までの距離の変化を検出する。その検出は、例えば、前回に算出された距離と、今回に算出された距離との差があらかじめ決められているしきい値を超えたことであってもよく、以前に算出された距離の平均と、今回に算出された距離との差があらかじめ決められているしきい値を超えたことであってもよく、あるいは、基準として算出された距離と、今回に算出された距離との差があらかじめ決められているしきい値を超えたことであってもよい。その基準として算出された距離は、1回目に算出された距離であってもよい。   The displacement detection unit 21 detects a change in the distance to the reflection means 30 using the distance accumulated in the storage unit 20 by the accumulation unit 19. The detection may be, for example, that the difference between the distance calculated last time and the distance calculated this time exceeds a predetermined threshold, and the average of previously calculated distances. And the distance calculated this time may exceed a predetermined threshold value, or the difference between the distance calculated as a reference and the distance calculated this time may be It may be that a predetermined threshold value has been exceeded. The distance calculated as the reference may be the distance calculated for the first time.

変位出力部22は、変位検出部21が算出された距離の変化を検出した場合に、その変位に関する出力を行う。その出力は、例えば、変位量の出力であってもよく、変位が検出された旨の出力や、変位が検出された警告の出力であってもよく、その他の変位に関する出力であってもよい。また、この出力は、この出力は、例えば、表示デバイス(例えば、CRTや液晶ディスプレイなど)への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、警告灯の点灯でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、サイレンによる警告音の出力でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。なお、変位出力部22は、出力を行うデバイス(例えば、表示デバイスやプリンタなど)を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変位出力部22は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。本実施の形態では、変位出力部22が、変位が検出された旨と、変位量とを送信する場合について説明する。   When the displacement detector 21 detects a change in the calculated distance, the displacement output unit 22 performs an output related to the displacement. The output may be, for example, an output of a displacement amount, an output indicating that a displacement is detected, an output of a warning that a displacement is detected, or an output related to other displacements. . The output may be displayed on a display device (for example, a CRT or a liquid crystal display), may be transmitted via a communication line to a predetermined device, may be printed by a printer, The light may be turned on, the sound may be output by a speaker, the warning sound may be output by a siren, stored in a recording medium, or delivered to another component. The displacement output unit 22 may or may not include an output device (for example, a display device or a printer). Further, the displacement output unit 22 may be realized by hardware, or may be realized by software such as a driver for driving these devices. In the present embodiment, a case will be described in which the displacement output unit 22 transmits information indicating that a displacement has been detected and the amount of displacement.

なお、レーザ変位計1の各構成要素は、例えば、防塵防水仕様であり、温度変化にも強い筐体の内部に設けられてもよい。そのようなレーザ変位計1であれば、野外における長期間にわたる距離の測定に使用することができうる。また、その筐体は、例えば、防振加工がなされていてもよい。   In addition, each component of the laser displacement meter 1 is, for example, dustproof and waterproof, and may be provided inside a housing that is resistant to temperature changes. Such a laser displacement meter 1 can be used for measurement of distance over a long period in the field. Moreover, the housing | casing may be made into the vibration proof process, for example.

次に、レーザ変位計1の動作について図3のフローチャートを用いて説明する。
(ステップS101)算出部18は、距離を算出するタイミングであるかどうか判断する。そして、距離を算出するタイミングである場合には、ステップS102に進み、そうでない場合には、距離を算出するタイミングとなるまでステップS101の処理を繰り返す。なお、算出部18は、前述のように、例えば、定期的に距離を算出するタイミングであると判断してもよく、あるいは、その他のイベントの発生等に応じて、距離を算出するタイミングであると判断してもよい。
Next, the operation of the laser displacement meter 1 will be described using the flowchart of FIG.
(Step S101) The calculation unit 18 determines whether it is time to calculate the distance. If it is time to calculate the distance, the process proceeds to step S102. If not, the process in step S101 is repeated until the time to calculate the distance is reached. Note that, as described above, the calculation unit 18 may determine, for example, that it is a timing for periodically calculating the distance, or a timing for calculating the distance according to the occurrence of another event or the like. You may judge.

(ステップS102)算出部18は、パルス状のレーザ光を出射するように、光源部11を制御する。その結果、光源部11からレーザ光が出射される。そして、そのレーザ光は、反射部17aの中心領域の孔31を介して光束径変更部14に入射され、レンズ12,13によって光束径が拡張されて反射手段30に照射される。反射手段30からの反射光は、光束径変更部14のレンズ13,12によって反射部17aの鏡面32に集光される。そして、その鏡面32で反射された反射光がレンズ15を介して集光され、受光部16で受光される。   (Step S102) The calculation unit 18 controls the light source unit 11 to emit pulsed laser light. As a result, laser light is emitted from the light source unit 11. Then, the laser light is incident on the light beam diameter changing portion 14 through the hole 31 in the central region of the reflecting portion 17 a, and the light beam diameter is expanded by the lenses 12 and 13 to be applied to the reflecting means 30. The reflected light from the reflecting means 30 is condensed on the mirror surface 32 of the reflecting portion 17 a by the lenses 13 and 12 of the light beam diameter changing portion 14. Then, the reflected light reflected by the mirror surface 32 is collected through the lens 15 and received by the light receiving unit 16.

(ステップS103)算出部18は、レーザ光に関する時間Δtを測定し、それを用いて反射手段30までの距離Lを算出する。   (Step S103) The calculation unit 18 measures the time Δt related to the laser light, and calculates the distance L to the reflecting means 30 using the time Δt.

(ステップS104)算出部18は、距離の算出を繰り返すかどうか判断する。そして、繰り返す場合には、ステップS102に戻り、そうでない場合には、それまでに算出した距離の平均を算出してステップS105に進む。なお、算出部18は、例えば、あらかじめ決められた回数(例えば、4回や5回であってもよい)だけ距離の算出が行われた場合には、繰り返さないと判断し、距離の算出の回数がその決められた回数に満たない場合には、繰り返すと判断してもよい。   (Step S104) The calculation unit 18 determines whether to repeat the distance calculation. If so, the process returns to step S102. If not, the average of the distances calculated so far is calculated, and the process proceeds to step S105. For example, when the distance is calculated a predetermined number of times (for example, 4 or 5 times), the calculation unit 18 determines that the distance is not repeated, and calculates the distance. When the number of times is less than the determined number, it may be determined that the number of times is repeated.

(ステップS105)蓄積部19は、算出部18が算出した距離を記憶部20に蓄積する。なお、この蓄積対象の距離は、繰り返し算出された距離の平均である。   (Step S <b> 105) The storage unit 19 stores the distance calculated by the calculation unit 18 in the storage unit 20. Note that the accumulation target distance is an average of distances repeatedly calculated.

(ステップS106)変位検出部21は、最新に蓄積された距離と、それまでに蓄積された距離とを用いて、距離に変化があるかどうか判断する。そして、変化がある場合には、ステップS107に進み、そうでない場合には、ステップS101に戻る。なお、1回目に距離を算出した際には、比較対象の距離が存在せず、距離の変化の有無を判断できないため、ステップS101に戻ってもよい。   (Step S106) The displacement detection unit 21 determines whether there is a change in the distance using the latest accumulated distance and the distance accumulated so far. And when there exists a change, it progresses to step S107, and when that is not right, it returns to step S101. Note that when the distance is calculated for the first time, there is no distance to be compared, and the presence or absence of a change in the distance cannot be determined. Therefore, the process may return to step S101.

(ステップS107)変位出力部22は、変位検出部21が検出した変位に関する出力を行う。そして、ステップS101に戻る。
なお、図3のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、図3のフローチャートにおいて、距離の測定を繰り返さない場合には、ステップS103からステップS105に進んでもよい。
(Step S107) The displacement output unit 22 performs an output related to the displacement detected by the displacement detection unit 21. Then, the process returns to step S101.
In the flowchart of FIG. 3, the process ends when the power is turned off or the process is terminated. In the flowchart of FIG. 3, when the distance measurement is not repeated, the process may proceed from step S103 to step S105.

次に、本実施の形態によるレーザ変位計1の動作について、具体例を用いて説明する。
この具体例では、レーザ変位計1と、反射手段30とが、河川を挟んだ両岸に設置されており、特に反射手段30が山の上の方に設置されているものとする。なお、反射手段30が設置される場所は、通常、山崩れなどが予測される場所である。したがって、レーザ変位計1により、山崩れの前兆として発生する少量の地滑りを検出することができ、防災に役立てることができる。また、この具体例において、変位出力部22は、変位に関する情報を、あらかじめ決められた防災拠点のサーバに送信するものとする。また、この具体例において、1時間ごと(正時ごと)に距離の測定が行われ、1回の測定で4回の距離の算出が行われ、それらが平均されるものとする。
Next, the operation of the laser displacement meter 1 according to the present embodiment will be described using a specific example.
In this specific example, it is assumed that the laser displacement meter 1 and the reflecting means 30 are installed on both banks across the river, and in particular, the reflecting means 30 is installed on the upper side of the mountain. In addition, the place where the reflection means 30 is installed is a place where a landslide is normally predicted. Therefore, the laser displacement meter 1 can detect a small amount of landslide that occurs as a precursor to a landslide, which can be used for disaster prevention. Moreover, in this specific example, the displacement output part 22 shall transmit the information regarding a displacement to the server of the disaster prevention base decided beforehand. In this specific example, it is assumed that distance is measured every hour (every hour), four distances are calculated by one measurement, and averaged.

ある日の午前1時になったとする。すると、算出部18は、測定を開始すると判断し(ステップS101)、光源部11を制御し、レーザ光を出射させる。この具体例において、光源部11は、1mW以下のクラス2レーザ製品であるとする。また、この具体例において、レンズ12は、直径が20mmであり、レンズ13は、有効口径が48mmであるとする。そして、出射されたレーザ光は、例えば、直径が約4mm程度であるが、レンズ12,13によって13mm程度に拡張され、100m離れた反射手段30の位置で、直径が約20cmのレーザ光となる。レーザ光の反射光は、レンズ13,12を介して、直径が約14mm程度の平行光線に絞られ、反射部17aで反射されて、レンズ15を介して受光部16に集光される。そして、その反射光が受光部16で受光されると(ステップS102)、算出部18は、それを用いて、レーザ光の往復時間Δt1を算出する。算出部18は、前述の式に時間Δt1を代入し、反射手段30までの距離L1を算出して図示しない記録媒体で一時的に記憶する(ステップS103)。また、算出部18は、あと3回、その距離の算出を繰り返し、距離L2,L3,L4を算出して、図示しない記録媒体に蓄積し、距離L1〜L4の平均である平均距離AL50(=(L1+L2+L3+L4)/4)を算出して蓄積部19に渡す(ステップS102〜S104)。蓄積部19は、その距離AL50を、その時点の日時に対応付けて記憶部20に蓄積する(ステップS105)。なお、レーザ光の光路に雨滴や植生等の障害物が存在しない場合であって、基線長が50m程度である場合には、測定誤差は±0.2mm程度となる。   Suppose one day is 1 am. Then, the calculation unit 18 determines to start measurement (step S101), controls the light source unit 11, and emits laser light. In this specific example, the light source unit 11 is assumed to be a class 2 laser product of 1 mW or less. In this specific example, it is assumed that the lens 12 has a diameter of 20 mm, and the lens 13 has an effective aperture of 48 mm. The emitted laser beam has a diameter of about 4 mm, for example, but is expanded to about 13 mm by the lenses 12 and 13 and becomes a laser beam having a diameter of about 20 cm at the position of the reflecting means 30 separated by 100 m. . The reflected light of the laser beam is focused to a parallel light beam having a diameter of about 14 mm through the lenses 13 and 12, reflected by the reflecting unit 17 a, and condensed on the light receiving unit 16 through the lens 15. Then, when the reflected light is received by the light receiving unit 16 (step S102), the calculation unit 18 calculates the round trip time Δt1 of the laser beam using the reflected light. The calculating unit 18 substitutes the time Δt1 into the above-described equation, calculates the distance L1 to the reflecting means 30, and temporarily stores it on a recording medium (not shown) (step S103). Further, the calculation unit 18 repeats the calculation of the distance three more times, calculates the distances L2, L3, and L4, accumulates them in a recording medium (not shown), and averages the distance AL50 (= the average of the distances L1 to L4). (L1 + L2 + L3 + L4) / 4) is calculated and passed to the storage unit 19 (steps S102 to S104). The accumulation unit 19 accumulates the distance AL50 in the storage unit 20 in association with the date and time at that time (step S105). In the case where there are no obstacles such as raindrops or vegetation in the optical path of the laser beam, and the baseline length is about 50 m, the measurement error is about ± 0.2 mm.

変位検出部21は、新しい距離AL50が蓄積されたことを検知すると、記憶部20で記憶されている最も古い日時に対応する距離AL1と、新しい距離AL50との差の絶対値を算出する。その差の絶対値がAD50であるとする。すると、変位検出部21は、あらかじめ図示しない記録媒体で記憶されているしきい値Tを読み出し、AD50がTを超えているかどうか判断する。この場合には、超えていなかったとする。すると、変位検出部21は、変位がないと判断し、変位に関する出力は行われない(ステップS106)。   When detecting that the new distance AL50 has been accumulated, the displacement detection unit 21 calculates the absolute value of the difference between the distance AL1 corresponding to the oldest date and time stored in the storage unit 20 and the new distance AL50. Assume that the absolute value of the difference is AD50. Then, the displacement detection unit 21 reads a threshold value T stored in advance on a recording medium (not shown), and determines whether the AD 50 exceeds T. In this case, it is assumed that it was not exceeded. Then, the displacement detection unit 21 determines that there is no displacement, and no output relating to the displacement is performed (step S106).

なお、新しい距離AL50と、最も古い距離AL1との差AD50がしきい値Tを超えていたとする。すると、変位検出部21は、その旨と、距離の差AD50を変位出力部22に渡す。そして、変位検出部21は、変位が検出された旨と、その変位AD50とを、あらかじめ決められた送信先に送信する(ステップS107)。それを受信した図示しないサーバでは、その受信に応じて、適宜、その地域に山崩れの警報を発令したり、山の見回りに行ったりすることができる。このようにして、山崩れを事前に検知することができ、例えば、事故を防止したり、安全を確保したりすることができうる。   It is assumed that the difference AD50 between the new distance AL50 and the oldest distance AL1 exceeds the threshold value T. Then, the displacement detection unit 21 passes the fact and the distance difference AD50 to the displacement output unit 22. Then, the displacement detector 21 transmits the fact that the displacement is detected and the displacement AD50 to a predetermined transmission destination (step S107). In response to the reception, the server (not shown) that has received it can issue a landslide warning to the area or go around the mountain as appropriate. In this way, landslides can be detected in advance, and for example, accidents can be prevented or safety can be ensured.

ここで、本実施の形態によるレーザ変位計1の方が、前述の特許文献1におけるハーフミラーを用いたレーザ変位計よりもレーザ光の減衰が少なくなる場合の条件について説明する。なお、説明を簡単にするため、出射されたレーザ光に対して、特許文献1によるレーザ変位計が反射手段からの反射光を受光する割合と、本実施の形態によるレーザ変位計1が反射手段30からの反射光を受光する割合とは一緒であるとする。また、その反射光の光軸方向から見た、反射部17aの孔31の半径がrであり、反射光(反射部17aで反射される直前の反射光である)の半径がrであるとする。すると、特許文献1の場合には、2回、ハーフミラーを介することによって、レーザ光の強度が(1/2)=1/4に減衰することになる。一方、本実施の形態によるレーザ変位計1の場合には、孔31の部分については反射がなされないため、レーザ光の強度が(r −r )/r に減衰することになる。したがって、
(r −r )/r >1/4 ・・・(式1)
であれば、本実施の形態によるレーザ変位計1の場合の方が、特許文献1の場合よりもレーザ光の減衰が少ないことになる。上記(式1)は、
<(31/2/2)×r≒0.866×r
となる。したがって、孔31の直径が反射光の直径に対して0.8倍程度といったように大きいものであっても、ハーフミラーを用いた従来例に対してレーザ光の減衰をより少ないものとすることができることになる。
Here, the conditions when the laser displacement meter 1 according to the present embodiment is less attenuated by the laser beam than the laser displacement meter using the half mirror described in Patent Document 1 will be described. In order to simplify the explanation, the ratio of the laser displacement meter according to Patent Document 1 receiving the reflected light from the reflecting means with respect to the emitted laser light, and the laser displacement meter 1 according to this embodiment are the reflecting means. It is assumed that the ratio of receiving the reflected light from 30 is the same. Further, as seen from the direction of the optical axis of the reflected light, the radius of the hole 31 of the reflection portion 17a is r 1, the radius of the reflected light (which is reflected light just before it is reflected by the reflecting portion 17a) is in r 2 Suppose there is. Then, in the case of patent document 1, the intensity | strength of a laser beam will be attenuate | damped to (1/2) 2 = 1/4 by passing a half mirror twice. On the other hand, in the case of the laser displacement meter 1 according to the present embodiment, since the portion of the hole 31 is not reflected, the intensity of the laser light is attenuated to (r 2 2 −r 1 2 ) / r 2 2. become. Therefore,
(R 2 2 −r 1 2 ) / r 2 2 > 1/4 (Formula 1)
If so, the laser displacement meter 1 according to the present embodiment has less attenuation of the laser beam than the case of Patent Document 1. The above (Formula 1) is
r 1 <(3 1/2 / 2) × r 2 ≈0.866 × r 2
It becomes. Therefore, even if the diameter of the hole 31 is as large as about 0.8 times the diameter of the reflected light, the attenuation of the laser beam should be less than that of the conventional example using the half mirror. Will be able to.

以上のように、本実施の形態によるレーザ変位計1によれば、出射光と反射光とが同じ光学系を通過する拡散レーザを用いた距離測定において、プリズム等を用いないため、簡易な構成とすることができる。また、ハーフミラーを用いた場合には、レーザ光がハーフミラーを2回通過するだけで、レーザ光の強度が4分の1に減衰してしまうが、本実施の形態によるレーザ変位計1では、ハーフミラーを用いないため、そのような減衰もない。なお、反射光のうち、反射部17aの中心領域に対応する部分は反射されないため、その分だけ反射光の光量が減ることになるが、上述したような条件を満たすようにすることで、ハーフミラーを用いた場合よりもレーザ光の減衰を抑えることができうる。このように、レーザ光の減衰を抑えることができるため、レーザ光の出力を低くすることが可能となる。その結果、低電力のレーザ変位計1を提供することができるようになる。レーザ変位計1は、僻地においてバッテリーで駆動されることもあるため、省電力となることによって、メンテナンスの期間を長くすることができるなどのメリットが得られる。また、出射されるレーザ光のパワーを低くすることができるため、例えば、出射光や反射光の光路に人間や動物が浸入した場合であっても、レーザ光による影響を低減することができるようになる。   As described above, according to the laser displacement meter 1 according to the present embodiment, since a prism or the like is not used in distance measurement using a diffusion laser in which emitted light and reflected light pass through the same optical system, a simple configuration It can be. In addition, when the half mirror is used, the laser beam intensity is attenuated to one-fourth only by passing the laser beam twice through the half mirror. However, in the laser displacement meter 1 according to the present embodiment, Since no half mirror is used, there is no such attenuation. In addition, since the part corresponding to the center area | region of the reflection part 17a is not reflected among reflected light, the light quantity of reflected light will reduce by that much, However, By satisfy | filling the above-mentioned conditions, it is half The attenuation of the laser beam can be suppressed more than when a mirror is used. Thus, since attenuation of the laser beam can be suppressed, the output of the laser beam can be lowered. As a result, the low power laser displacement meter 1 can be provided. Since the laser displacement meter 1 may be driven by a battery in a remote area, it is possible to obtain a merit that a maintenance period can be extended by saving power. Further, since the power of the emitted laser light can be reduced, for example, even when a human or an animal enters the optical path of the emitted light or reflected light, the influence of the laser light can be reduced. become.

また、本実施の形態によるレーザ変位計1は、出射光と反射光とが同じ光学系を通過するものであるため、両者が異なる光学系を通過するものに比べて、製造コストを低減させることができ、また、照準合わせを容易にすることができるメリットがある。また、レーザ変位計1は、例えば、−20℃から50℃程度の過酷な環境で使用されることもあるが、そのような場合に、温度変化に応じて部材に膨張、収縮の変化が生じたとしても、出射光と反射光とが同じ光学系を通過するため、両者が異なる光学系を通過する場合よりも誤差が小さくなりうる。   Further, in the laser displacement meter 1 according to the present embodiment, since the emitted light and the reflected light pass through the same optical system, the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where both pass through different optical systems. In addition, there is an advantage that the aiming can be facilitated. In addition, the laser displacement meter 1 may be used in a harsh environment of, for example, about −20 ° C. to 50 ° C. In such a case, the member changes in expansion and contraction according to the temperature change. Even so, since the outgoing light and the reflected light pass through the same optical system, the error can be smaller than when they pass through different optical systems.

なお、本実施の形態では、反射部17aが、光源部11からの出射光を透過させ、反射光を反射させる場合について説明したが、図4で示されるレーザ変位計1のように、反射部17aに代えて、光源部11からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部14に反射させ、光束径変更部14からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部16に透過させる反射部17bを備えるようにしてもよい。この場合には、光源部11を出射したレーザ光が反射部17bにおいて約45度、進行方向が変更されて光束径変更部14に入射され、光束径変更部14からの反射光は直進して受光部16で受光されることになる。なお、図5(a)で示されるように、反射部17bは、外側領域が光束径変更部14からの反射光を透過させる、ガラスや透明度の高い樹脂等の透過部材41で構成され、中心領域に出射光を反射する鏡面42が設けられたものであってもよい。鏡面42は、前述の鏡面32と同様に、透過部材41にメッキされたものであってもよく、あるいは、透過部材41に貼着されたものであってもよい。図5(b)は、図5(a)で示される反射部17bの中心を通る断面図である。ここでは、反射率の高い金属板である鏡面42が、透過部材41の光源部11側の面に設けられているものとする(図4参照)。なお、この場合でも、光源部11やレンズ15、受光部16の位置関係が異なり、反射部17bにおいて出射光が反射され、反射光が透過すること以外、前述のレーザ変位計1と同様であり、その説明を省略する。また、鏡面42は、透過部材41の光源部11と反対側の面に設けられてもよい。また、反射部17bは、図5(c)で示されるように、外側領域において透過部材41が存在しなくてもよい。その場合には、反射部17bは、枠44と、中心領域の鏡面43を支持する1以上の支持部45a〜45cとを備えてもよい。なお、支持部45a〜45cのそれぞれは、少なくとも一部が枠44に固定されているものとする。また、支持部45a〜45cは、反射光に対する障害物となるため、反射光の光軸方向に対する断面積ができるだけ小さいことが好適である。また、図5(c)では、反射部17bが3個の支持部45a〜45cを有する場合について示しているが,そうでなくてもよい。反射部17bは、1個の支持部を有してもよく、2個の支持部を有してもよく、あるいは、4個以上の支持部を有してもよい。図5(c)で示される反射部17bであっても、中心領域の鏡面43において、光源部11からの出射光が光束径変更部14に反射され、光束径変更部14からの反射光が、外側領域を介して受光部16に通過することになる。なお、鏡面42,43が楕円形状であってもよく、透過部材41、枠44の外形が楕円形状であってもよいことは、反射部17aの場合と同様である。   In the present embodiment, the case where the reflection unit 17a transmits the light emitted from the light source unit 11 and reflects the reflection light has been described. However, like the laser displacement meter 1 shown in FIG. Instead of 17a, the light emitted from the light source unit 11 is reflected by the light beam diameter changing unit 14 through the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14 is reflected in an outer region that is an outer region of the central region. A reflection part 17b that transmits the light to the light receiving part 16 may be provided. In this case, the laser light emitted from the light source unit 11 is changed in the traveling direction by about 45 degrees in the reflection unit 17b and is incident on the light beam diameter changing unit 14, and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14 travels straight. Light is received by the light receiving unit 16. As shown in FIG. 5A, the reflecting portion 17b is composed of a transmitting member 41 such as glass or a highly transparent resin whose outer region transmits the reflected light from the light beam diameter changing portion 14, and has a center. A mirror surface 42 that reflects outgoing light may be provided in the region. Similarly to the mirror surface 32 described above, the mirror surface 42 may be plated on the transmission member 41 or may be attached to the transmission member 41. FIG.5 (b) is sectional drawing which passes along the center of the reflection part 17b shown by Fig.5 (a). Here, it is assumed that the mirror surface 42 which is a highly reflective metal plate is provided on the surface of the transmissive member 41 on the light source unit 11 side (see FIG. 4). Even in this case, the positional relationship among the light source unit 11, the lens 15, and the light receiving unit 16 is different, and is the same as the laser displacement meter 1 except that the reflected light is reflected by the reflecting unit 17 b and the reflected light is transmitted. The description is omitted. Further, the mirror surface 42 may be provided on the surface of the transmissive member 41 opposite to the light source unit 11. Further, as shown in FIG. 5C, the reflection member 17 b does not need to have the transmissive member 41 in the outer region. In that case, the reflection part 17b may be provided with the frame 44 and one or more support parts 45a-45c which support the mirror surface 43 of a center area | region. Each of the support portions 45 a to 45 c is fixed to the frame 44 at least partially. Moreover, since the support parts 45a-45c become an obstruction with respect to reflected light, it is suitable that the cross-sectional area with respect to the optical axis direction of reflected light is as small as possible. 5C shows the case where the reflection portion 17b has three support portions 45a to 45c, this need not be the case. The reflection part 17b may have one support part, may have two support parts, or may have four or more support parts. Even in the reflecting portion 17b shown in FIG. 5C, the emitted light from the light source unit 11 is reflected by the light beam diameter changing unit 14 on the mirror surface 43 in the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit 14 is reflected. Then, the light passes through the outer region to the light receiving unit 16. The mirror surfaces 42 and 43 may be elliptical, and the outer shape of the transmissive member 41 and the frame 44 may be elliptical as in the case of the reflective portion 17a.

また、本実施の形態によるレーザ変位計1が、反射部17aや、反射部17bを用いて距離を測定する場合に、反射部17aにおいてレーザ光が透過する中心領域の大きさや、反射部17bにおいてレーザ光が反射される中心領域の大きさは、小さい方が好適である。したがって、それらの中心領域の大きさは、光源部11を出射したレーザ光が鏡面32,33にあたったり、鏡面42,43から外れたりしない範囲の最も小さい大きさであってもよい。なお、誤差程度ずれたとしてもレーザ光が鏡面32,33にあたったり、鏡面42,43から外れたりしないようになっていることが好適である。なお、図4,図5で示されるレーザ変位計1の場合には、鏡面42,43が、レーザ光よりも小さくてもよい。その場合でも、光源部11を出射したレーザ光の一部が光束径変更部14に入射されなくなるだけであり、距離の測定に大きな悪影響を与えることはないからである。   In addition, when the laser displacement meter 1 according to the present embodiment measures the distance using the reflecting portion 17a or the reflecting portion 17b, the size of the central region through which the laser beam is transmitted in the reflecting portion 17a or the reflecting portion 17b. The size of the central region where the laser beam is reflected is preferably smaller. Therefore, the size of the central region may be the smallest size in a range in which the laser light emitted from the light source unit 11 does not hit the mirror surfaces 32 and 33 or deviate from the mirror surfaces 42 and 43. It is preferable that the laser beam does not hit the mirror surfaces 32 and 33 or deviate from the mirror surfaces 42 and 43 even if the error is deviated. In the case of the laser displacement meter 1 shown in FIGS. 4 and 5, the mirror surfaces 42 and 43 may be smaller than the laser light. Even in that case, only a part of the laser light emitted from the light source unit 11 is not incident on the light beam diameter changing unit 14, and the distance measurement is not seriously adversely affected.

また、本実施の形態において、算出部18がレーザ光の出射時から受光時までの時間Δtを測定する際に、レーザ光が出射したタイミングを受光によって検出する場合には、レーザ変位計1は、図6で示されるように、出射光の一部を反射するハーフミラー51と、ハーフミラー51で反射された出射光を受光する出射光用受光部52とをさらに備えてもよい。そして、算出部18は、出射光用受光部52が出射光を受光したタイミング、あるいは、そのタイミングを、レーザ光が光源部11から出射光用受光部52に到達するまでの時間だけ補正したタイミングを用いて、時間Δtを測定してもよい。なお、図4で示されるレーザ変位計1において、ハーフミラー51や出射光用受光部52を備えるようにしてもよいことは言うまでもない。また、出射光用受光部52を用いた時間Δtの測定は、すでに公知であり、その詳細な説明を省略する。   In the present embodiment, when the calculation unit 18 measures the time Δt from when the laser beam is emitted to when it is received, the laser displacement meter 1 is As shown in FIG. 6, a half mirror 51 that reflects a part of the emitted light and an emitted light receiving unit 52 that receives the emitted light reflected by the half mirror 51 may be further provided. Then, the calculation unit 18 corrects the timing at which the outgoing light receiving unit 52 receives the outgoing light or the timing corrected by the time until the laser light reaches the outgoing light receiving unit 52 from the light source unit 11. May be used to measure the time Δt. Needless to say, the laser displacement meter 1 shown in FIG. 4 may include the half mirror 51 and the light receiving portion 52 for outgoing light. In addition, the measurement of the time Δt using the light receiving portion 52 for outgoing light is already known and will not be described in detail.

また、本実施の形態において、光束径変更部14は、輪帯レンズを用いて出射光や反射光に関する倍率を異ならしめてもよい。ここで、輪帯レンズとは、焦点距離の異なる2個のレンズが同心に形成されたレンズである。その場合には、図7で示されるように、光束径変更部14の有するレンズ12は、焦点距離が−f11である中心部と、焦点距離が−f21である外周部とを有する発散レンズである。また、光束径変更部14の有するレンズ13は、焦点距離がf12である中心部と、焦点距離がf22である外周部とを有する収束レンズである。なお、レンズ12,13の中心部の焦点を、図7における位置Fに一致させることにより、光束径変更部14は、平行光である出射光を平行光に拡張させることになる。また、レンズ12,13の外周部の焦点を、図7における位置Fに一致させることにより、光束径変更部14は、平行光である反射光を平行光に収束させることになる。ここで、光束径変更部14に入射される出射光の光束径をdとし、光束径変更部14から出射される出射光の光束径をdとし、光束径変更部14に入射される反射光の光束径をdとし、光束径変更部14から出射される反射光の光束径をdとすると、拡大される出射光の倍率、及び、縮小される反射光の倍率は、次のようになる。なお、拡大される出射光の倍率は、レンズ12,13の中心部を用いた光束径の倍率であり、縮小される反射光の倍率は、レンズ12,13の外周部を用いた光束径の倍率である。それらの倍率は、レンズ12側から見たときの倍率である。そのため、反射光の光束径の縮小率は、反射光の倍率の逆数となる。
拡大される出射光の倍率M=f12/f11=d/d
縮小される反射光の倍率M=f22/f21=d/d
Moreover, in this Embodiment, the light beam diameter change part 14 may vary the magnification regarding emitted light or reflected light using an annular lens. Here, the annular lens is a lens in which two lenses having different focal lengths are formed concentrically. In this case, as shown in Figure 7, a lens 12 having a beam diameter changing unit 14, the divergence having a center focal length is -f 11, and an outer peripheral portion is the focal length is -f 21 It is a lens. The lens 13 having the beam diameter changing portion 14 is a converging lens having a center focal length is f 12, and an outer peripheral portion is the focal length is f 22. In addition, by making the focal point of the central part of the lenses 12 and 13 coincide with the position F 1 in FIG. 7, the light beam diameter changing unit 14 expands the emitted light that is parallel light to parallel light. Further, the focal point of the outer peripheral portion of the lens 12 and 13, by matching the position F 2 in FIG. 7, the beam diameter changing unit 14 will be converged to a parallel light reflected light into parallel light. Here, the light beam diameter of the outgoing light incident on the light beam diameter changing unit 14 is d 1 , the light beam diameter of the outgoing light emitted from the light beam diameter changing unit 14 is d 2 , and the light enters the light beam diameter changing unit 14. When the light beam diameter of the reflected light is d 3 and the light beam diameter of the reflected light emitted from the light beam diameter changing unit 14 is d 4 , the magnification of the emitted light to be enlarged and the magnification of the reflected light to be reduced are as follows: become that way. The magnification of the emitted light to be enlarged is the magnification of the light beam diameter using the central portion of the lenses 12 and 13, and the magnification of the reflected light to be reduced is the light beam diameter of the outer periphery of the lenses 12 and 13. Magnification. These magnifications are magnifications when viewed from the lens 12 side. Therefore, the reduction rate of the luminous flux diameter of the reflected light is the reciprocal of the magnification of the reflected light.
Magnification of the expanded outgoing light M 1 = f 12 / f 11 = d 2 / d 1
Magnification factor of reflected light to be reduced M 2 = f 22 / f 21 = d 3 / d 4

この出射光の倍率M、すなわち、レンズ12,13の中心部を用いた倍率が、反射光の倍率M、すなわち、レンズ12,13の外周部を用いた倍率よりも大きくなるようにレンズ12,13を設計、配置することにより、出射光は光束径が大きくなるように拡張され、その拡張と比較して、反射光はそれほど収束されないことになる。したがって、反射部17aで反射される割合を多くすることができ、レーザ光の減衰をより低減させることができるようになる。ここで、反射光のうち、孔31を通過することによって失われる割合を計算すると、
/d =(d/M/(d/M
=(M/M×(d/d
となる。但し、孔31の光軸から見た直径がdであると近似している。上記の式から、出射光の倍率Mが、反射光の倍率Mよりも大きくなるほど、反射光が孔31で失われる割合が少なくなることが分かる。また、光束径変更部14を出射する出射光の直径(d)に対して、反射光が入射する光束径変更部14の光学有効口径(d)が大きいほど、反射光が孔31で失われる割合が少なくなることが分かる。具体的には、M=Mであり、反射光が入射する光束径変更部14の光学有効口径(d)が、光束径変更部14を出射する出射光の直径(d)の2倍以上であるとすると、反射光が孔31で失われる割合が1/4以下となる。したがって、その場合には、受光量の損失割合を、ハーフミラーを用いた従来例における受光光量の損失割合「3/4」よりも格段に少なくすることができる。(M/M)が1未満である場合には、さらに、受光光量の損失が少なくなる。なお、レンズ12の中心部(焦点距離が−f11の領域)を通過した出射光は、レンズ13の中心部(焦点距離がf12の領域)を通過し、レンズ13の外周部(焦点距離がf22の領域)を通過した反射光は、レンズ12の外周部(焦点距離が−f21の領域)を通過するように、レンズ12,13が設計、配置されることが好適である。また、図7では、反射部17aを用いた場合について説明したが、反射部17bの場合にも同様である。
The lens so that the magnification M 1 of the emitted light, that is, the magnification using the central portions of the lenses 12 and 13 is larger than the magnification M 2 of the reflected light, that is, the magnification using the outer peripheral portions of the lenses 12 and 13. By designing and arranging 12 and 13, the outgoing light is expanded so that the beam diameter becomes larger, and the reflected light is not so converged as compared with the expansion. Therefore, it is possible to increase the ratio of reflection by the reflecting portion 17a, and it is possible to further reduce the attenuation of the laser beam. Here, if the ratio of the reflected light lost by passing through the hole 31 is calculated,
d 1 2 / d 4 2 = (d 2 / M 1 ) 2 / (d 3 / M 2 ) 2
= (M 2 / M 1 ) 2 × (d 2 / d 3 ) 2
It becomes. However, the diameter as viewed from the optical axis of the holes 31 are close to be d 1. From the above equation, it can be seen that the greater the magnification M 1 of the emitted light is greater than the magnification M 2 of the reflected light, the smaller the proportion of the reflected light lost in the holes 31. Further, the larger the effective optical aperture (d 3 ) of the light beam diameter changing unit 14 where the reflected light is incident relative to the diameter (d 2 ) of the outgoing light emitted from the light beam diameter changing unit 14, the more the reflected light is transmitted through the hole 31. It can be seen that the rate of loss is reduced. Specifically, M 1 = M 2 , and the optical effective aperture (d 3 ) of the light beam diameter changing unit 14 where the reflected light is incident is equal to the diameter (d 2 ) of the outgoing light emitted from the light beam diameter changing unit 14. If it is twice or more, the rate at which the reflected light is lost in the holes 31 is ¼ or less. Therefore, in that case, the loss ratio of the received light amount can be remarkably reduced from the loss ratio “3/4” of the received light amount in the conventional example using the half mirror. When (M 2 / M 1 ) is less than 1, the loss of received light amount is further reduced. The emitted light that has passed through the center of the lens 12 (region where the focal length is −f 11 ) passes through the center of the lens 13 (region where the focal length is f 12 ), and the outer periphery of the lens 13 (focal length). There the reflected light passing through the region) of f 22 is an outer peripheral portion of the lens 12 (as the focal length to pass through the region) of -f 21, lenses 12 and 13 are designed, it is preferable to be disposed. Moreover, although the case where the reflection part 17a was used was demonstrated in FIG. 7, it is the same also in the case of the reflection part 17b.

また、本実施の形態では、受光部16がフォトダイオード等である場合について説明したが、そうでなくてもよい。受光部16は、CCDやCMOSのようなイメージセンサであってもよい。その場合には、受光部16によって、受光量のみでなく、受光像をも取得することができる。したがって、例えば、その受光像を用いて、光学系の角度等の微調整を行ったり、より細かい受光を行ったりすることが可能となりうる。   Moreover, although the case where the light receiving unit 16 is a photodiode or the like has been described in the present embodiment, this need not be the case. The light receiving unit 16 may be an image sensor such as a CCD or a CMOS. In that case, the light receiving unit 16 can acquire not only the amount of received light but also a received light image. Therefore, for example, it may be possible to finely adjust the angle of the optical system or to perform finer light reception using the received light image.

また、本実施の形態では、各レンズ等が正対している場合について説明したが、そうでなくてもよい。各レンズ等を少しずつ傾けることによって、出射光と反射光との通過する位置を少しずらすようにしてもよい。なお、このようなことは従来から行われていることであり、その詳細な説明を省略する。   In the present embodiment, the case where the lenses and the like face each other has been described, but this need not be the case. The positions where the outgoing light and the reflected light pass may be slightly shifted by tilting each lens little by little. In addition, such a thing is performed conventionally, The detailed description is abbreviate | omitted.

また、本実施の形態によるレーザ変位計1では、少量ではあるが反射光が光源部11の方に透過または反射されることになる。したがって、光源部11と、反射部17a、17bとの間に、光アイソレータをさらに設け、光源部11から出射されたレーザ光のみが反射部17a、17bに到達し、反射部17a、17bからの反射光であるレーザ光は、光源部11に到達しないようにしてもよい。その光アイソレータは、例えば、偏光依存型のものであってもよく、あるいは、偏光無依存型のものであってもよい。   In the laser displacement meter 1 according to the present embodiment, a small amount of reflected light is transmitted or reflected toward the light source unit 11. Accordingly, an optical isolator is further provided between the light source unit 11 and the reflection units 17a and 17b, so that only the laser light emitted from the light source unit 11 reaches the reflection units 17a and 17b, and is reflected from the reflection units 17a and 17b. Laser light that is reflected light may not reach the light source unit 11. The optical isolator may be, for example, a polarization dependent type or a polarization independent type.

また、本実施の形態による図1,図4,図6では、反射部17a、17bが、光源部11を出射したレーザ光の光路に対して、約45度の角度を有するように設けられている場合について示しているが、そうでなくてもよい。反射部17a、17bが、光源部11を出射したレーザ光の光路に対して、約45度以外の角度を有する場合であっても、それに応じてレンズ15と受光部16、あるいは、光源部11を適切に配置することによって、上記説明と同様のレーザ変位計1を実現することが可能である。   1, 4, and 6 according to the present embodiment, the reflection portions 17 a and 17 b are provided so as to have an angle of about 45 degrees with respect to the optical path of the laser light emitted from the light source portion 11. Although it is shown about the case where it exists, it may not be so. Even if the reflecting portions 17a and 17b have an angle other than about 45 degrees with respect to the optical path of the laser light emitted from the light source portion 11, the lens 15 and the light receiving portion 16 or the light source portion 11 accordingly. It is possible to realize a laser displacement meter 1 similar to that described above by appropriately arranging.

また、本実施の形態では、レーザ変位計1が、受光部16に集光するためのレンズ15を備える場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、反射部17aの鏡面32,33が凹面鏡になっており、受光部16に集光できる場合や、反射部17bの透過部材41が凸レンズになっており、受光部16に集光できる場合、あるいは、受光部16が広い範囲のレーザ光を受光できる場合などには、レーザ変位計1がレンズ15を備えていなくてもよい。   Further, in the present embodiment, the case where the laser displacement meter 1 includes the lens 15 for focusing on the light receiving unit 16 has been described, but this need not be the case. For example, when the mirror surfaces 32 and 33 of the reflecting part 17a are concave mirrors and can be condensed on the light receiving part 16, or when the transmissive member 41 of the reflecting part 17b is a convex lens and can be condensed on the light receiving part 16, Alternatively, when the light receiving unit 16 can receive a wide range of laser light, the laser displacement meter 1 may not include the lens 15.

また、本実施の形態では、算出部18が繰り返し算出した距離の平均を算出する場合について説明したが、そうでなくてもよい。算出部18は、距離の平均を算出するのではなく、1回算出した距離を反射手段30までの距離としてもよい。   Moreover, although the case where the average of the distances repeatedly calculated by the calculation unit 18 has been described in the present embodiment, this need not be the case. The calculation unit 18 may calculate the distance calculated once as the distance to the reflection unit 30 instead of calculating the average of the distances.

また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。   In the above embodiment, each process or each function may be realized by centralized processing by a single device or a single system, or may be distributedly processed by a plurality of devices or a plurality of systems. It may be realized by doing.

また、上記実施の形態において、各構成要素間で行われる情報の受け渡しは、例えば、その情報の受け渡しを行う2個の構成要素が物理的に異なるものである場合には、一方の構成要素による情報の出力と、他方の構成要素による情報の受け付けとによって行われてもよく、あるいは、その情報の受け渡しを行う2個の構成要素が物理的に同じものである場合には、一方の構成要素に対応する処理のフェーズから、他方の構成要素に対応する処理のフェーズに移ることによって行われてもよい。   In the above embodiment, the information exchange between the components is performed by one component when, for example, the two components that exchange the information are physically different from each other. It may be performed by outputting information and receiving information by the other component, or when two components that exchange information are physically the same, one component May be performed by moving from the phase of the process corresponding to to the phase of the process corresponding to the other component.

また、上記実施の形態において、各構成要素が実行する処理に関係する情報、例えば、各構成要素が受け付けたり、取得したり、算出したりした情報や、各構成要素が処理で用いるしきい値や数式、アドレス等の情報等は、上記説明で明記していない場合であっても、図示しない記録媒体において、一時的に、あるいは長期にわたって保持されていてもよい。また、その図示しない記録媒体への情報の蓄積を、各構成要素、あるいは、図示しない蓄積部が行ってもよい。また、その図示しない記録媒体からの情報の読み出しを、各構成要素、あるいは、図示しない読み出し部が行ってもよい。   In the above embodiment, information related to processing executed by each component, for example, information received, acquired, or calculated by each component, and threshold value used by each component in the process Information such as formulas, addresses, and the like may be stored temporarily or for a long time in a recording medium (not shown) even when not specified in the above description. Further, the storage of information in the recording medium (not shown) may be performed by each component or a storage unit (not shown). Further, reading of information from the recording medium (not shown) may be performed by each component or a reading unit (not shown).

また、上記実施の形態において、各構成要素等で用いられる情報、例えば、各構成要素が処理で用いるしきい値やアドレス、各種の設定値等の情報がユーザによって変更されてもよい場合には、上記説明で明記していない場合であっても、ユーザが適宜、それらの情報を変更できるようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。それらの情報をユーザが変更可能な場合には、その変更は、例えば、ユーザからの変更指示を受け付ける図示しない受付部と、その変更指示に応じて情報を変更する図示しない変更部とによって実現されてもよい。その図示しない受付部による変更指示の受け付けは、例えば、入力デバイスからの受け付けでもよく、通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体から読み出された情報の受け付けでもよい。   In the above embodiment, when information used by each component, for example, information such as a threshold value, an address, and various setting values used by each component may be changed by the user Even if it is not specified in the above description, the user may be able to change the information as appropriate, or it may not be. If the information can be changed by the user, the change is realized by, for example, a not-shown receiving unit that receives a change instruction from the user and a changing unit (not shown) that changes the information in accordance with the change instruction. May be. The change instruction received by the receiving unit (not shown) may be received from an input device, information received via a communication line, or information read from a predetermined recording medium, for example. .

また、上記実施の形態において、レーザ変位計1に含まれる2以上の構成要素が通信デバイスや入力デバイス等を有する場合に、2以上の構成要素が物理的に単一のデバイスを有してもよく、あるいは、別々のデバイスを有してもよい。   In the above embodiment, when two or more components included in the laser displacement meter 1 include a communication device or an input device, the two or more components may physically include a single device. Or you may have separate devices.

また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをCPU等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。   In the above embodiment, each component may be configured by dedicated hardware, or a component that can be realized by software may be realized by executing a program. For example, each component can be realized by a program execution unit such as a CPU reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a hard disk or a semiconductor memory.

また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible, and it goes without saying that these are also included in the scope of the present invention.

以上より、本発明によるレーザ変位計によれば、レーザ光の減衰の少ない距離の測定を、簡易な構成によって実現できるという効果が得られ、例えば、反射手段までの距離を測定することによって地形の変動を監視する装置等として有用である。   As described above, according to the laser displacement meter of the present invention, it is possible to obtain an effect that the measurement of the distance with a small attenuation of the laser beam can be realized with a simple configuration. For example, by measuring the distance to the reflecting means, This is useful as a device for monitoring fluctuations.

1 レーザ変位計
11 光源部
12、13、15 レンズ
14 光束径変更部
16 受光部
17a、17b 反射部
18 算出部
19 蓄積部
20 記憶部
21 変位検出部
22 変位出力部
30 反射手段
51 ハーフミラー
52 出射光用受光部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser displacement meter 11 Light source part 12, 13, 15 Lens 14 Light beam diameter change part 16 Light-receiving part 17a, 17b Reflection part 18 Calculation part 19 Accumulation part 20 Storage part 21 Displacement detection part 22 Displacement output part 30 Reflection means 51 Half mirror 52 Receiver for outgoing light

Claims (6)

レーザ光を出射する光源部と、
前記光源部から出射されたレーザ光である出射光の光束径を拡張し、当該拡張後の出射光が反射手段で反射された反射光を集光する光束径変更部と、
前記反射光を受光する受光部と、
前記出射光と前記反射光とを用いて、前記反射手段までの距離を算出する算出部と、
前記算出部が算出した距離を蓄積する蓄積部と、
前記蓄積部が蓄積した距離を用いて、前記反射手段までの距離の変位を検出する変位検出部と、
前記変位検出部が検出した変位に関する出力を行う変位出力部と、
前記光源部から出射された拡張前の出射光と、前記光束径変更部からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、前記光源部からの出射光を、中心領域を介して前記光束径変更部に透過または反射させ、前記光束径変更部からの反射光を、前記中心領域の外側の領域である外側領域を介して前記受光部に反射または透過させる反射部と、を備え、
前記光束径変更部は、前記反射光に対する有効口径が前記出射光の光束径より大きいものである、レーザ変位計。
A light source that emits laser light;
A light beam diameter changing unit that expands a light beam diameter of the emitted light that is laser light emitted from the light source unit, and collects the reflected light that is reflected by the reflecting means of the emitted light after the expansion;
A light receiving unit for receiving the reflected light;
A calculation unit that calculates a distance to the reflection unit using the emitted light and the reflected light;
An accumulation unit for accumulating the distance calculated by the calculation unit;
Using a distance accumulated by the accumulator, a displacement detector for detecting a displacement of the distance to the reflecting means;
A displacement output unit for performing an output related to the displacement detected by the displacement detection unit;
By transmitting one of the unextended outgoing light emitted from the light source unit and the reflected light from the light beam diameter changing unit and reflecting the other, the outgoing light from the light source unit is passed through the central region. A reflecting unit that transmits or reflects the light beam diameter changing unit and reflects or transmits the reflected light from the light beam diameter changing unit to the light receiving unit through an outer region that is an outer region of the central region. Prepared,
The light beam diameter changing unit is a laser displacement meter in which an effective aperture for the reflected light is larger than a light beam diameter of the emitted light.
前記光束径変更部は、
拡張前の出射光を発散させる発散レンズと、
前記発散レンズを通過した出射光を収束させる収束レンズと、を有し、
前記発散レンズ及び前記収束レンズは、焦点距離の異なる2個のレンズが同心に形成された輪帯レンズであり、
前記発散レンズ及び前記収束レンズの中心部を用いた倍率は、前記発散レンズ及び前記収束レンズの外周部を用いた倍率よりも大きい、請求項1記載のレーザ変位計。
The luminous flux diameter changing part is
A diverging lens for diverging outgoing light before expansion;
A converging lens that converges outgoing light that has passed through the diverging lens, and
The diverging lens and the converging lens are annular lenses in which two lenses having different focal lengths are formed concentrically,
The laser displacement meter according to claim 1, wherein a magnification using a central portion of the diverging lens and the converging lens is larger than a magnification using an outer peripheral portion of the diverging lens and the converging lens.
前記反射部は、前記光源部からの出射光を、前記中心領域を介して前記光束径変更部に透過させ、前記光束径変更部からの反射光を、前記外側領域を介して前記受光部に反射させる、請求項1または請求項2記載のレーザ変位計。 The reflecting unit transmits the light emitted from the light source unit to the light beam diameter changing unit through the central region, and the reflected light from the light beam diameter changing unit to the light receiving unit through the outer region. The laser displacement meter according to claim 1, wherein the laser displacement meter is reflected. 前記反射部は、前記中心領域に前記出射光が通過する孔を有し、前記外側領域に鏡面が設けられている、請求項3記載のレーザ変位計。 The laser displacement meter according to claim 3, wherein the reflecting portion has a hole through which the emitted light passes in the central region, and a mirror surface is provided in the outer region. 前記反射部は、前記光源部からの出射光を、前記中心領域を介して前記光束径変更部に反射させ、前記光束径変更部からの反射光を、前記外側領域を介して前記受光部に透過させる、請求項1または請求項2記載のレーザ変位計。 The reflection unit reflects light emitted from the light source unit to the light beam diameter changing unit through the central region, and reflects light from the light beam diameter changing unit to the light receiving unit through the outer region. The laser displacement meter according to claim 1, wherein the laser displacement meter is transmitted. 前記反射部は、前記中心領域に前記出射光を反射する鏡面が設けられ、前記外側領域が前記光束径変更部からの反射光を透過させる透過部材で構成されている、請求項5記載のレーザ変位計。 6. The laser according to claim 5, wherein the reflecting portion is provided with a mirror surface that reflects the emitted light in the central region, and the outer region is configured by a transmission member that transmits the reflected light from the light beam diameter changing portion. Displacement meter.
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