JP2012225703A - テラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビームスプリッター2と、第1レーザ光よりテラヘルツ波を発するテラヘルツ波発振アンテナ5、第2レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構11、第2レーザ光に基づく検出タイミングでテラヘルツ波発振アンテナ5によりテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ8、テラヘルツ波路中に測定対象物100を設置し、時間遅延機構11によりの時間遅延を変化させた時のテラヘルツ波受信アンテナ8での検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づき時間遅延機構11が与える時間遅延の範囲を所定の範囲に制御する制御部57と、信号強度データのピーク値に基づき測定対象物100の特徴を検査する検査部(データ処理部56)とを備える。
【選択図】図1
Description
2 ビームスプリッター
3 ミラー
4 レンズ
5 テラヘルツ波発振アンテナ
6,7 放物面ミラー
8 テラヘルツ波受信アンテナ
9 レンズ
10 ミラー
11 時間遅延機構
12 ミラー
13 多重反射ミラー
14,14−1,14−2 固定遅延反射ミラー
15 連続遅延反射ミラー
16 固定遅延透過板
20 電極
21 ギャップ
22 低温成長ガリウムヒ素基板
23 レーザ光
24 フィルタ
25 シリコンレンズ
50 信号発生器
51 ロックインアンプ
52 データ保持部
53 表示装置
56 データ処理部
57 制御部
58 データベース
60 光路調整部
100 測定対象物
Claims (11)
- レーザ光を第1レーザ光と第2レーザ光とに分割する光分割部と、
前記光分割部により発せられた第1レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振部と、
前記光分割部により発せられた第2レーザ光に時間遅延を与える時間遅延部と、
前記時間遅延部により時間遅延を与えられた第2レーザ光に基づいた検出タイミングで前記テラヘルツ波発振部により発振されたテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波検出部と、
前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部との間のテラヘルツ波路中に測定対象物を設置し、前記時間遅延部により与えられる時間遅延を変化させた場合の前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づいて前記時間遅延部が与える時間遅延の範囲を所定の限定された範囲に制御する制御部と、
前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部との間のテラヘルツ波路中に測定対象物を設置した場合の前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づく信号強度データのピーク値に基づいて前記測定対象物の特徴を検査する検査部と、
を備えることを特徴とするテラヘルツ波を用いた検査装置。 - 前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号を増幅するロックインアンプを備え、
前記制御部は、前記ロックインアンプの時定数が第1所定値を有する場合の前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づいて時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、
前記検査部は、前記制御部が予測した位置に基づいて前記時間遅延部が与える時間遅延の範囲を所定の限定された範囲に制御するとともに前記ロックインアンプの時定数を第1所定値よりも大きな第2所定値に変更した場合に、前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づく信号強度データのピーク値に基づいて前記測定対象物の特徴を検査することを特徴とする請求項1記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。 - 前記制御部は、予め測定されたリファレンスの時系列信号強度データがピーク値を示す位置に基づいて、前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部との間のテラヘルツ波路中に測定対象物を設置し、前記時間遅延部により与えられる時間遅延を変化させた場合の前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記制御部は、前記測定対象物を入れるサンプルケースが有する屈折率と厚みとに基づいて、前記テラヘルツ波発振部と前記テラヘルツ波検出部との間のテラヘルツ波路中に測定対象物を設置し、前記時間遅延部により与えられる時間遅延を変化させた場合の前記テラヘルツ波検出部により生成された検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記第1レーザ光と前記第2レーザ光との少なくとも一方の光路上に、光路長の異なる複数の光路を有する光路調整部を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記光路調整部は、多重反射ミラーにより構成されることを特徴とする請求項5記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記光路調整部は、厚みの異なる複数のミラーを組み合わせた固定遅延反射ミラーにより構成されることを特徴とする請求項5記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記光路調整部は、厚みが連続的に変化する連続遅延反射ミラーとフィルタとにより構成されることを特徴とする請求項5記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記時間遅延部は、厚みの異なる複数のミラーを組み合わせた固定遅延反射ミラーにより構成されることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- 前記時間遅延部は、厚みの異なる複数の透過板を組み合わせた固定遅延透過板により構成されることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載のテラヘルツ波を用いた検査装置。
- レーザ光を第1レーザ光と第2レーザ光とに分割する光分割ステップと、
前記光分割ステップにより発せられた第1レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振ステップと、
前記光分割ステップにより発せられた第2レーザ光に時間遅延を与える時間遅延ステップと、
前記時間遅延ステップにより時間遅延を与えられた第2レーザ光に基づいた検出タイミングで前記テラヘルツ波発振ステップにより発振されたテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波検出ステップと、
テラヘルツ波路中に測定対象物を設置し、前記時間遅延ステップにより与えられる時間遅延を変化させた場合の前記テラヘルツ波検出ステップにより生成された検出信号に基づく時系列信号強度データがピーク値を示す位置を予測し、予測した位置に基づいて前記時間遅延ステップが与える時間遅延の範囲を所定の限定された範囲に制御する制御ステップと、
テラヘルツ波路中に測定対象物を設置した場合の前記テラヘルツ波検出ステップにより生成された検出信号に基づく信号強度データのピーク値に基づいて前記測定対象物の特徴を検査する検査ステップと、
を備えることを特徴とするテラヘルツ波を用いた検査方法。
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