JP2012222010A - Pallet type determination system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To automatically determine a type of pallet drawn out from a magazine on which a wafer pallet and a tray pallet are mixedly loaded in a plurality of stages.SOLUTION: A wafer pallet 22 is configured so that a pallet height thereof detected by pallet height detection means becomes a prescribed height. If the pallet height detected by the pallet height detection means differs from the prescribed height, it is determined that: the tray pallet as specified by a production program has been drawn out when the tray pallet is specified by the production program; and an error has occurred when the wafer pallet is specified by the production program. If the pallet height detected by the pallet height detection means equals to the prescribed height, it is determined that the tray pallet as specified by the production program has been drawn out when the tray pallet is specified by the production program and a pallet discrimination part of the tray pallet can be recognized by image recognition by using tray pallet detection means.

Description

本発明は、ウエハ部品(ダイ)を載せたウエハパレットと、電子部品(トレイ部品)を載せたトレイパレットとをマガジン内に複数段に混載した部品供給装置のマガジンから引き出されたパレットの種別を判定するパレット種判定システムに関する発明である。   According to the present invention, the type of pallet drawn from a magazine of a component supply apparatus in which a wafer pallet on which a wafer part (die) is placed and a tray pallet on which an electronic part (tray part) is placed are mixedly mounted in a plurality of stages in the magazine. The invention relates to a pallet type determination system for determination.

トレイ型の部品供給装置においては、特許文献1(特開2008−288533号公報)に記載されているように、マガジンのスロットに挿入したトレイパレットの高さ(トレイパレット上のトレイの段積み高さ)を検出するパレット高さ検出手段を搭載し、このパレット高さ検出手段で検出したパレット高さによってトレイパレット上の部品数を管理するようにしたものがある。   In the tray-type component supply device, as described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2008-288533), the height of the tray pallet inserted into the slot of the magazine (the tray stacking height on the tray pallet). There is a type in which a pallet height detecting means for detecting the pallet height) is mounted, and the number of parts on the tray pallet is managed by the pallet height detected by the pallet height detecting means.

また、近年、特許文献2(特開2010−129949号公報)に記載されているように、トレイパレットと、ウエハ部品を載せたウエハパレットとを、マガジン内に多段に混載し、生産プログラムで指定されたパレットをマガジンから引出しテーブル上に引き出して当該パレット上の部品を部品実装機に供給するようにしたものがある。   In recent years, as described in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2010-129949), a tray pallet and a wafer pallet on which wafer parts are placed are mixedly loaded in a multistage manner and designated by a production program. Some pallets are pulled out from a magazine onto a drawing table and the components on the pallet are supplied to a component mounting machine.

特開2008−288533号公報JP 2008-288533 A 特開2010−129949号公報JP 2010-129949 A

上記特許文献2のように、ウエハパレットとトレイパレットを混載する部品供給装置においては、作業者がマガジンのスロットにパレットを挿入する際に、ウエハパレットとトレイパレットとを取り違えて挿入する作業ミスが発生する可能性があり、その結果、マガジンから引き出されたパレットが生産プログラムで指定されたパレットと相違する可能性がある。特許文献1のトレイ型の部品供給装置は、パレット高さを検出するパレット高さ検出手段を搭載しているが、トレイパレットの高さの変動範囲内にウエハパレットの高さが収まるため、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さのみでは、ウエハパレットとトレイパレットとを判別できない。   As in the above-mentioned Patent Document 2, in the component supply apparatus in which the wafer pallet and the tray pallet are mixedly loaded, when the operator inserts the pallet into the magazine slot, there is an operation mistake in which the wafer pallet and the tray pallet are mistakenly inserted. As a result, the pallet drawn from the magazine may be different from the pallet specified in the production program. The tray-type component supply device of Patent Document 1 is equipped with pallet height detection means for detecting the pallet height, but the height of the wafer pallet is within the range of fluctuation of the tray pallet height. The wafer pallet and the tray pallet cannot be distinguished only by the pallet height detected by the height detecting means.

従って、特許文献2の部品供給装置に特許文献1のパレット高さ検出手段を組み合わせても、トレイパレットとウエハパレットとを判別できない。このため、マガジンから引き出されたパレットが生産プログラムで指定されたパレットと相違すると、パレット上の部品をピックアップする吸着ノズルがパレットと干渉して破損する等の不具合が発生する可能性がある。   Therefore, even when the pallet height detection means of Patent Document 1 is combined with the component supply apparatus of Patent Document 2, the tray pallet and the wafer pallet cannot be distinguished. For this reason, if the pallet drawn from the magazine is different from the pallet designated by the production program, there is a possibility that the suction nozzle that picks up the parts on the pallet interferes with the pallet and breaks.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、ウエハパレットとトレイパレットを複数段に混載したマガジンから引き出されたパレットの種別を自動的に判定できるパレット種判定システムを提供することである。   Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a pallet type determination system that can automatically determine the type of pallet drawn from a magazine in which wafer pallets and tray pallets are mixedly mounted in a plurality of stages.

上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、部品供給装置のマガジン内に、ウエハ部品を載せたウエハパレットと、電子部品を載せたトレイパレットとを複数段に混載し、前記マガジンから生産プログラムで指定されたパレットを引き出して当該パレット上の部品を部品実装機に供給するものに適用される、前記マガジンから引き出されたパレットの種別を判定するパレット種判定システムであって、前記ウエハパレットの所定位置に、ウエハ情報を記録又は記憶したウエハ情報記録部を設けると共に、前記トレイパレットの所定位置に画像認識可能なパレット判別部を設け、前記ウエハパレットと前記トレイパレットの高さを検出するパレット高さ検出手段と、前記マガジンから引き出された前記ウエハパレットの前記ウエハ情報記録部から前記ウエハ情報を読み取るウエハ情報読取り手段と、前記マガジンから引き出された前記トレイパレットの前記パレット判別部を画像認識することで当該トレイパレットを検出するトレイパレット検出手段と、前記パレット高さ検出手段で検出したパレット高さ、前記ウエハ情報読取り手段で読み取った前記ウエハ情報、及び、前記トレイパレット検出手段で画像認識した前記パレット判別部の有無に基づいて、前記マガジンから引き出れたパレットが前記生産プログラムで指定されたパレットであるか否かを判定するパレット種判定手段とを備えた構成としたものである。ここで、トレイパレットに設ける画像認識可能なパレット判別部は、例えば、着色(輝度)、マーク(図柄、絵)、文字、記号等により形成しても良く、或は、トレイパレットのうちの特徴的な形状部分をパレット判別部として用いても良い。   In order to solve the above-mentioned problem, according to the first aspect of the present invention, in a magazine of a component supply apparatus, a wafer pallet on which wafer components are placed and a tray pallet on which electronic components are placed are mixedly mounted in a plurality of stages, and the magazine A pallet type determination system for determining a type of a pallet drawn from the magazine, which is applied to the one that pulls out the pallet specified by the production program and supplies the parts on the pallet to the component mounter, A wafer information recording unit for recording or storing wafer information is provided at a predetermined position of the wafer pallet, and a pallet discrimination unit capable of recognizing an image is provided at a predetermined position of the tray pallet, and the heights of the wafer pallet and the tray pallet are set. Pallet height detection means for detecting, and the wafer information of the wafer pallet drawn from the magazine Wafer information reading means for reading the wafer information from the recording section, tray pallet detection means for detecting the tray pallet by recognizing the pallet discrimination section of the tray pallet drawn from the magazine, and the pallet height Based on the height of the pallet detected by the detecting means, the wafer information read by the wafer information reading means, and the presence / absence of the pallet discriminating unit recognized by the tray pallet detecting means, the pallet drawn from the magazine is The apparatus includes a pallet type determination unit that determines whether or not the pallet is specified by the production program. Here, the image recognizable pallet discriminating section provided in the tray pallet may be formed by, for example, coloring (luminance), mark (design, picture), character, symbol, or the like, or a characteristic of the tray pallet. A specific shape portion may be used as the pallet discrimination unit.

本発明では、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さと、ウエハ情報読取り手段で読み取った前記ウエハ情報と、トレイパレット検出手段で画像認識したパレット判別部の有無の組み合わせによって、マガジンから引き出れたパレットが生産プログラムで指定されたパレットであるか否かを判定することができ、マガジンから引き出されたパレットの種別を自動的に判定することができる。   In the present invention, the pallet height detected by the pallet height detecting means, the wafer information read by the wafer information reading means, and the presence / absence of the pallet discriminating unit recognized by the tray pallet detecting means are pulled out from the magazine. It can be determined whether or not the pallet is a pallet designated by the production program, and the type of the pallet drawn from the magazine can be automatically determined.

この場合、請求項2のように、前記パレット種判定手段は、部品供給装置の制御装置、又は、部品実装機の制御装置、又は、部品実装機を含む部品実装ラインの制御装置のいずれに設けても良い。   In this case, as in claim 2, the pallet type determination means is provided in any of a control device for a component supply device, a control device for a component mounter, or a control device for a component mounting line including the component mounter. May be.

また、ウエハパレットに設けるウエハ情報記録部は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。ウエハ情報記録部からウエハ情報を読み取るウエハ情報読取り手段は、ウエハ情報記録部の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。   The wafer information recording unit provided on the wafer pallet may be a bar code, a code such as a two-dimensional code, or an electronic tag that is stored electronically or a magnetic tape that is magnetically recorded. good. The wafer information reading means for reading the wafer information from the wafer information recording unit may be provided with a dedicated reader according to the recording method of the wafer information recording unit, but the cost increases accordingly.

そこで、ウエハパレットを搭載する部品供給装置には、ウエハパレット上のウエハ部品を撮像するカメラが標準装備されていることを考慮して、請求項3のように、ウエハパレットに設けるウエハ情報記録部として、上面にウエハ情報を表すコードが記録されたものを使用し、前記ウエハ情報読取り手段は、前記カメラで前記コードを撮像して該コードを画像認識すると共に、前記トレイパレット検出手段は、前記カメラで前記パレット判別部を撮像して該パレット判別部を画像認識するようにすると良い。このようにすれば、ウエハ部品を撮像するカメラを、ウエハ情報記録部とパレット判別部の両方の画像認識用のカメラとして兼用させることができ、低コスト化の要求を満たすことができる。   Therefore, in consideration of the fact that a camera for imaging a wafer part on the wafer pallet is provided as a standard in the component supply apparatus on which the wafer pallet is mounted, a wafer information recording unit provided on the wafer pallet as in claim 3 As described above, the wafer information reading unit uses a code in which a code representing wafer information is recorded on the upper surface, the wafer information reading unit images the code by the camera and recognizes the code, and the tray pallet detection unit It is preferable that the pallet discriminating unit is imaged with a camera so that the pallet discriminating unit recognizes the image. In this way, the camera that captures an image of the wafer part can be used as an image recognition camera for both the wafer information recording unit and the pallet discriminating unit, and the cost reduction requirement can be satisfied.

更に、請求項4のように、ウエハパレットを、パレット高さ検出手段で検出されるパレット高さが所定高さとなるように構成し、パレット種判定手段は、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さが前記所定高さと異なる場合は、(1)生産プログラムでトレイパレットが指定されていれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのトレイパレットが引き出されていると判定し、(2)生産プログラムでウエハパレットが指定されていれば、エラーと判定するようにすれば良い。また、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さが前記所定高さと一致する場合は、(3)生産プログラムでトレイパレットが指定されているときに、トレイパレット検出手段でパレット判別部を画像認識できれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのトレイパレットが引き出されていると判定し、トレイパレット検出手段でパレット判別部を画像認識できなければ、エラーと判定し、(4)生産プログラムでウエハパレットが指定されているときに、ウエハ情報読取り手段でウエハ情報記録部からウエハ情報を読み取ることができれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのウエハパレットが引き出されていると判定し、ウエハ情報読取り手段でウエハ情報記録部からウエハ情報を読み取ることができなければ、エラーと判定するようにすれば良い。いずれの場合も、エラーと判定されたときに、部品供給装置を停止させれば良い。このようにすれば、マガジンから引き出されたパレットが生産プログラムで指定されたパレットと相違する場合に、パレット上の部品をピックアップする吸着ノズルがパレットと干渉して破損する等の不具合が発生することを確実に防止できる。   Further, the wafer pallet is configured such that the pallet height detected by the pallet height detecting means is a predetermined height, and the pallet type determining means is the pallet detected by the pallet height detecting means. If the height is different from the predetermined height, (1) if a tray pallet is specified in the production program, it is determined that the tray pallet as specified in the production program is pulled out from the magazine, and (2) the production program If a wafer pallet is specified in step, an error may be determined. If the pallet height detected by the pallet height detection means matches the predetermined height, (3) when the tray pallet is designated by the production program, the tray pallet detection means recognizes the image by the pallet discrimination section. If possible, it is determined that the tray pallet as specified in the production program has been pulled out from the magazine. If the tray pallet detection means cannot recognize the image of the pallet determination unit, it is determined that there is an error. (4) If the wafer information can be read from the wafer information recording unit by the wafer information reading unit when specified, it is determined that the wafer pallet as specified in the production program has been drawn from the magazine, and the wafer information reading unit If the wafer information cannot be read from the information recording unit, it is judged as an error. It may be so to. In any case, the component supply device may be stopped when it is determined that an error has occurred. In this way, when the pallet pulled out from the magazine is different from the pallet specified in the production program, the suction nozzle that picks up the parts on the pallet may be damaged due to interference with the pallet. Can be reliably prevented.

図1は本発明の一実施例における部品供給装置の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a component supply apparatus according to an embodiment of the present invention. 図2は突き上げユニット部分の拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of the push-up unit portion. 図3は部品供給装置をセットした部品実装機の外観斜視図である。FIG. 3 is an external perspective view of a component mounter on which a component supply device is set. 図4はウエハパレットの外観斜視図である。FIG. 4 is an external perspective view of the wafer pallet. 図5はウエハパレットの平面図である。FIG. 5 is a plan view of the wafer pallet. 図6はトレイパレットの外観斜視図である。FIG. 6 is an external perspective view of the tray pallet. 図7はパレット種判定プログラムの処理の流れを示すフローチャート(その1)である。FIG. 7 is a flowchart (part 1) showing the flow of processing of the pallet type determination program. 図8はパレット種判定プログラムの処理の流れを示すフローチャート(その2)である。FIG. 8 is a flowchart (part 2) showing the flow of processing of the pallet type determination program.

本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。
図1に示すように、本実施例の部品供給装置11は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18(図2参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。この部品供給装置11は、図3に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
An embodiment embodying a mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the component supply apparatus 11 of this embodiment includes a magazine holding unit 12 (tray tower), a pallet drawer table 13, a pallet drawer mechanism 14, a sub robot 15, a shuttle mechanism 16, a reversing unit 17, and a push-up unit. 18 (see FIG. 2), an NG conveyor 19, a nozzle changer 20, and the like. As shown in FIG. 3, the component supply device 11 is set in a state in which the pallet drawer table 13 is inserted into the feeder setting slot of the component mounter 25.

部品供給装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジン(図示せず)には、ダイ21(ウエハ部品)を載せたウエハパレット22と、トレイ部品42(電子部品)を載せたトレイパレット41(図6参照)とを多段に混載できるようになっている。図4及び図5に示すように、ウエハパレット22は、碁盤目状にダイシングされたウエハ(多数のダイ21)を貼着した伸縮可能なダイシングシート36を、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート36のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート36を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板23に装着すれば良い。
一方、図6に示すように、トレイパレット41上には、トレイ部品42を収容したトレイ43が1段又は複数段に積載されている。
In a magazine (not shown) housed in a magazine holder 12 of the component supply device 11 so as to be movable up and down, a wafer pallet 22 on which a die 21 (wafer component) is placed and a tray component 42 (electronic component) are placed. The tray pallet 41 (see FIG. 6) can be mixed and mounted in multiple stages. As shown in FIGS. 4 and 5, the wafer pallet 22 includes an expandable dicing sheet 36 on which a wafer (a large number of dies 21) diced in a grid pattern is attached, and a wafer mounting plate having a circular opening. The wafer mounting plate 23 is mounted in an expanded state, and the wafer mounting plate 23 is attached to the pallet body 28 by screwing or the like. The dicing sheet 36 may be expanded by any method. For example, the dicing sheet 36 may be mounted on the wafer mounting plate 23 with the circular ring pushed up from below.
On the other hand, as shown in FIG. 6, on the tray pallet 41, trays 43 containing tray components 42 are stacked in one or more stages.

パレット引き出し機構14は、生産プログラム(生産ジョブ)に従って、ウエハパレット22とトレイパレット41のいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット上の部品42やダイ21を部品実装機25(図3参照)の吸着ノズル(図示せず)でピックアップする位置(以下「部品実装機用引き出し位置」という)と、マガジンに近い引き出し位置(以下「サブロボット用引き出し位置」という)とのいずれの位置にもパレット22,41を引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置(マガジンから最も離れた位置)であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル(図示せず)でウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を吸着可能な位置である。   The pallet pulling mechanism 14 pulls out one of the wafer pallet 22 and the tray pallet 41 from the magazine in the magazine holding unit 12 onto the pallet pulling table 13 according to a production program (production job). 42 and the die 21 are picked up by a suction nozzle (not shown) of the component mounter 25 (see FIG. 3) (hereinafter referred to as “component mounter pull-out position”) and a drawer position close to the magazine (hereinafter referred to as “sub-robot”). The pallets 22 and 41 can be pulled out at any position (referred to as “drawing position for use”). The component mounting machine drawer position is the position of the front end of the pallet drawer table 13 (the position farthest from the magazine), and the sub robot drawer position is the suction nozzle (not shown) of the sub robot 15 on the wafer pallet 22. This is a position where the die 21 on the dicing sheet 36 can be adsorbed.

サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部(サブロボット用引き出し位置側の面)のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向(パレット引き出しテーブル13の幅方向及び垂直方向)に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向(パレット引き出し方向)の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御している。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル(図示せず)が下向きに設けられ、ピックアップするダイ21のサイズ等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズルを交換できるようになっている。サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ21の位置又はダイ21の吸着姿勢を確認できるようになっている。   The sub-robot 15 is provided above the pallet pull-out table 13 in the back surface of the magazine holder 12 (the surface on the sub-robot pull-out position side), and is in the XZ direction (the width direction and the vertical direction of the pallet pull-out table 13). Direction). The movement direction of the sub robot 15 is only the X direction, and the relative position of the sub robot 15 in the Y direction (pallet pulling direction) with respect to the wafer pallet 22 is gradually pulled out in the Y direction by the pallet pulling mechanism 14. It is controlled by that. The sub robot 15 is provided with one or a plurality of suction nozzles (not shown) facing downward, so that the suction nozzles can be replaced by the nozzle changer 20 according to the size of the die 21 to be picked up. . The sub robot 15 is provided with a camera 24, and based on a captured image of the camera 24, the position of the die 21 to be picked up or the suction posture of the die 21 can be confirmed.

シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズルでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。   The shuttle mechanism 16 receives the component picked up by the suction nozzle of the sub robot 15 by the shuttle nozzle 26 and transfers it to a position where it can be picked up by the suction nozzle of the component mounting machine 25.

反転ユニット17は、サブロボット15から受け取るダイ21を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシート36に上下反対に貼着されたダイ(例えばフリップチップ等)が存在するためである。   The reversing unit 17 flips the die 21 received from the sub robot 15 upside down as necessary. This is because, depending on the type of the die 21, there is a die (for example, a flip chip) that is attached to the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 upside down.

突き上げユニット18(図2参照)は、パレット引き出しテーブル13に設けられて、ウエハパレット22のダイシングシート下方の空間領域をXY方向(パレット引き出しテーブル13の幅方向及びその直角方向)に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット22を引き出した場合でも、ダイシングシート36のうちのピックアップしようとするダイ21の貼着部分をその下方から突き上げポット27で局所的に突き上げることで、当該ダイ21の貼着部分をダイシングシート36から部分的に剥離させてダイ21をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げユニット18は、ダイ21のサイズ等に応じて突き上げポット27を選択できるようにするために、複数種類(例えば4種類)の突き上げポット27が所定角度ピッチ(図2の例では90°ピッチ)で放射状に設けられ、突き上げ動作させる突き上げポット27が上向きとなる位置まで回転させるように構成されている。   The push-up unit 18 (see FIG. 2) is provided on the pallet drawer table 13 and is configured to be movable in the XY direction (the width direction of the pallet drawer table 13 and the direction perpendicular thereto) in the space area below the dicing sheet of the wafer pallet 22. Has been. Even when the wafer pallet 22 is pulled out to any position of the component mounter pulling position and the sub robot pulling position, the sticking portion of the die 21 to be picked up in the dicing sheet 36 is pushed up from below. By pushing up locally at 27, the sticking part of the die 21 is partly peeled off the dicing sheet 36, and the die 21 is lifted up so that it can be easily picked up. In order for the push-up unit 18 to select the push-up pot 27 according to the size of the die 21 or the like, a plurality of types (for example, four types) of push-up pots 27 have a predetermined angular pitch (90 ° pitch in the example of FIG. 2). The push-up pot 27 that is provided radially and is pushed up is rotated to a position where it is directed upward.

この突き上げユニット18は、サーボモータ(図示せず)を駆動源として突き上げユニット18全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット18が上昇して突き上げポット27の上端がウエハパレット22のダイシングシート36に接触すると、ストッパ機構(図示せず)によって突き上げユニット18の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット27から突き上げピンが上方に突出して、ダイシングシート36のうちの吸着しようとするダイ21の貼着部分(吸着ノズルの吸着点)を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。   The push-up unit 18 is configured such that the push-up unit 18 as a whole moves up and down using a servo motor (not shown) as a drive source. During the die pick-up operation, when the push-up unit 18 rises and the upper end of the push-up pot 27 comes into contact with the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22, the push-up unit 18 stops being raised by a stopper mechanism (not shown) and continues to move up. Then, the push-up pin protrudes upward from the push-up pot 27 so as to push up the sticking portion (the suction point of the suction nozzle) of the die 21 to be sucked out of the dicing sheet 36. In this case, the push-up height of the push-up pin can be adjusted by adjusting the rotation amount of the servo motor serving as the drive source.

尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のダイ21を排出するコンベアである。 図3に示すように、マガジン保持部12には、ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズルでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部31が設けられ、ウエハパレット22上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズルでピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部12内のパレットを窓部31よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット15の吸着ノズルがウエハパレット22上のダイ21をピックアップした状態で、サブロボット15を停止できるようになっている。   The NG conveyor 19 is a conveyor that discharges defective parts and dies 21 with poor suction. As shown in FIG. 3, the magazine holding unit 12 is provided with a window 31 for confirming from the operator side the state in which the die 21 on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 is picked up by the suction nozzle of the sub robot 15. When the operator confirms the state in which the die 21 on the wafer pallet 22 is picked up by the suction nozzle of the sub robot 15, the operation in the confirmation mode in which the pallet in the magazine holding unit 12 is retracted below the window 31. It can be selected. Further, in the confirmation mode, the sub robot 15 can be stopped with the suction nozzle of the sub robot 15 picking up the die 21 on the wafer pallet 22.

以上のように構成した部品供給装置11の制御装置32は、キーボード、マウス等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、生産プログラムに従って部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18等の動作を次のように制御する。   The control device 32 of the component supply device 11 configured as described above is configured by a computer including an input device 33 such as a keyboard and a mouse, and peripheral devices such as a display device 34 such as a liquid crystal display, and component mounting according to a production program. The pallet pull-out position and the part pick-up method are selected according to the type of parts to be supplied to the machine 25, and the pallet pull-out mechanism 14, sub robot 15 and shuttle mechanism 16, reversing unit 17, push-up unit are selected according to the selection result. The operation of 18 etc. is controlled as follows.

(1)小さいダイ21の場合
小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
(1) In the case of the small die 21 In the case of the small die 21, it is difficult to hold the die 21 to the suction nozzle of the sub robot 15 → shuttle nozzle 26 → component mounting machine 25. 22 is pulled out to the component mounting machine drawing position, and the die 21 on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 is directly picked up by the suction nozzle of the component mounting machine 25.

(2)上記以外のサイズのダイ21の場合
ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズルで当該ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21をピックアップし、当該ダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズルでピックアップする。
(2) In the case of the die 21 having a size other than the above In the case of the die 21 having a size that allows the die 21 to be held, the wafer pallet 22 is removed from the magazine in the magazine holding unit 12 for the purpose of shortening the mounting time. The die 21 is pulled out to the sub robot pulling position, and the die 21 on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 is picked up by the suction nozzle of the sub robot 15, and the die 21 is received by the shuttle nozzle 26 of the shuttle mechanism 16 to be received at a predetermined pickup position. The die 21 is picked up by the suction nozzle of the component mounting machine 25 from the shuttle nozzle 26 of the shuttle mechanism 16 at this pickup position.

(3)トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレット41を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット41上のトレイ部品42を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
(3) In the case of a tray component In the case of a tray component, the tray pallet 41 is pulled out from the magazine in the magazine holding unit 12 to the component mounter drawing position, and the tray component 42 on the tray pallet 41 is moved to the component mounter 25. Pick up directly with suction nozzle.

ところで、ウエハパレット22のダイシングシート36上のダイ21を吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、突き上げポット27は、ダイシングシート36を張ったウエハパレット22の円形開口部内に位置して該ダイシングシート36の下面にほぼ密着し、且つ、吸引状態で該ダイシングシート36の下面に沿ってXY方向に移動するため、突き上げポット27がウエハパレット22の円形開口縁部と干渉することを避ける必要がある。   By the way, when the die 21 on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 is picked up and picked up by the suction nozzle, the push-up pot 27 is located in the circular opening of the wafer pallet 22 with the dicing sheet 36 stretched, and the dicing sheet It is necessary to avoid the push-up pot 27 from interfering with the edge of the circular opening of the wafer pallet 22 because it moves in the XY direction along the lower surface of the dicing sheet 36 in a sucked state. .

また、ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハのサイズは、8インチ、6インチ、4インチ等、様々なサイズがあり、また、同じサイズであっても、内側にグリップリングが有るものと無いものとがあり、グリップリングの有無によってもウエハの有効領域(円形開口部)の径が異なってくる。従って、ウエハパレット22のダイシングシート36上のウエハのサイズやグリップリングの有無に応じて、突き上げポット27のXY方向の移動可能範囲を設定する必要がある。   Further, there are various sizes of wafers on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 such as 8 inches, 6 inches, and 4 inches, and even if they are the same size, there is no grip ring inside. Depending on the presence or absence of the grip ring, the diameter of the effective area (circular opening) of the wafer varies. Therefore, it is necessary to set the movable range of the push-up pot 27 in the XY direction according to the size of the wafer on the dicing sheet 36 of the wafer pallet 22 and the presence or absence of the grip ring.

そこで、本実施例では、ダイシングシート36上のウエハのサイズ及び/又はピックアップ動作範囲に関するウエハ情報を記述したウエハ情報記録部35をウエハパレット22に設けた構成としている。このウエハ情報記録部35は、バーコード、2次元コード等のコードを記録したものでも良いし、電子的に記憶する電子タグや、磁気的に記録する磁気テープ等を用いても良い。ウエハ情報記録部35からウエハ情報を読み取る情報読取り手段は、ウエハ情報記録部35の記録方式に応じて専用のリーダを設けても良いが、その分、コストアップする。   Therefore, in the present embodiment, the wafer pallet 22 is provided with a wafer information recording unit 35 describing wafer information on the size of the wafer on the dicing sheet 36 and / or the pickup operation range. The wafer information recording unit 35 may be one that records a code such as a bar code or a two-dimensional code, or may be an electronic tag that is stored electronically, a magnetic tape that is magnetically recorded, or the like. The information reading means for reading the wafer information from the wafer information recording unit 35 may be provided with a dedicated reader according to the recording method of the wafer information recording unit 35, but the cost increases accordingly.

そこで、部品供給装置11にダイ撮像用のカメラ24が標準装備されていることを考慮して、本実施例では、ウエハ情報記録部35として、上面にウエハ情報を表すコード(バーコード、2次元コード等)が記録されたものを使用すると共に、ウエハ情報読取り手段として、部品供給装置11に装備されたダイ撮像用のカメラ24を使用し、カメラ24でウエハ情報記録部35のコードを撮像して部品供給装置11の制御装置32(ウエハ情報読取り手段)で画像処理することでウエハ情報記録部35のコードを読み取る。このようにすれば、ウエハ情報記録部35からウエハ情報を読み取るウエハ情報読取り手段のカメラをダイ撮像用のカメラ24に兼用させることができ、コストアップを回避できる。   Therefore, in consideration of the fact that the die supply camera 24 is provided as a standard in the component supply device 11, in this embodiment, the wafer information recording unit 35 is a code (bar code, two-dimensional) representing wafer information on the upper surface. Code) is recorded, and a die imaging camera 24 equipped in the component supply apparatus 11 is used as a wafer information reading unit, and the camera 24 images the code of the wafer information recording unit 35. Then, the code of the wafer information recording unit 35 is read by performing image processing with the control device 32 (wafer information reading means) of the component supply device 11. In this way, the camera of the wafer information reading means for reading the wafer information from the wafer information recording unit 35 can be used as the die imaging camera 24, and cost increase can be avoided.

部品供給装置11の制御装置32は、ダイピックアップ動作を開始する前にダイ撮像用のカメラ24を使用してウエハ情報記録部35のコードからウエハ情報を読み取って、突き上げポット27のXY方向の移動可能範囲を自動設定する。これにより、突き上げポット27がウエハパレット22の円形開口縁部と干渉しないXY方向の移動可能範囲の情報を入力する作業を行う必要がなくなり、生産性を向上できる。   The control device 32 of the component supply device 11 reads the wafer information from the code of the wafer information recording unit 35 using the die imaging camera 24 before starting the die pickup operation, and moves the push-up pot 27 in the XY directions. Set the possible range automatically. As a result, it is not necessary to perform an operation of inputting information on the movable range in the X and Y directions in which the push-up pot 27 does not interfere with the circular opening edge of the wafer pallet 22, and productivity can be improved.

また、本実施例では、部品供給装置11の制御装置32は、生産前に部品供給装置11のカメラ24で読み取ったウエハ情報を用いて生産プログラムのデータをチェックするようにしている。このようにすれば、カメラ24で読み取ったウエハ情報が生産プログラムのデータと異なっている場合は、カメラ24で読み取ったウエハ情報に基づいて生産プログラムのデータを修正したり、生産を停止させることができ、突き上げポット27の干渉や無駄な動作を未然に防止することができる。   In this embodiment, the control device 32 of the component supply device 11 checks the data of the production program using the wafer information read by the camera 24 of the component supply device 11 before production. In this way, when the wafer information read by the camera 24 is different from the production program data, the production program data can be corrected based on the wafer information read by the camera 24 or the production can be stopped. It is possible to prevent the push-up pot 27 from interfering and useless movement.

一方、トレイパレット41上に積載するトレイ43の段積み数によってトレイパレット41上のトレイ部品42の積載数量が変化するため、トレイパレット41のトレイ43の段積み高さ(以下「パレット高さ」という)を検出するパレット高さ検出手段を設けて、このパレット高さ検出手段で検出したパレット高さ(トレイ43の段積み数)によって、トレイパレット41上のトレイ部品42の積載数量を管理するようにしている。   On the other hand, since the loading quantity of the tray components 42 on the tray pallet 41 varies depending on the number of trays 43 stacked on the tray pallet 41, the stacking height of the trays 43 of the tray pallet 41 (hereinafter referred to as “pallet height”). Pallet height detecting means for detecting the number of tray parts 42 on the tray pallet 41 is managed based on the pallet height (the number of stacked trays 43) detected by the pallet height detecting means. I am doing so.

本実施例のパレット高さ検出手段は、図5に示すように、例えば2つの透過型の光センサ44,45を用いて構成され、各光センサ44,45を構成する発光素子44a,45aと受光素子44b,45bがマガジン保持部12の前面側と後面側の同一高さ位置に光軸が水平となるように設置されている。   As shown in FIG. 5, the pallet height detecting means of the present embodiment is configured by using, for example, two transmissive optical sensors 44 and 45, and light emitting elements 44a and 45a constituting the optical sensors 44 and 45, respectively. The light receiving elements 44b and 45b are installed at the same height position on the front side and the rear side of the magazine holding unit 12 so that the optical axis is horizontal.

パレット高さを検出する場合は、マガジン保持部12内のマガジンを送りねじ機構(図示せず)によって上下動させて、部品供給装置11の制御装置32(パレット高さ検出手段)で2つの光センサ44,45の出力信号を監視し、2つの光センサ44,45のいずれかの光軸が検出対象(トレイパレット41やトレイ43)で遮断されて光センサ44,45が検出対象を検出した状態になっている区間のエンコーダ(図示せず)の出力パルスを制御装置32でカウントし、そのエンコーダの出力パルスのカウント値に基づいてパレット高さ(トレイ43の段積み数)を検出する。   When detecting the pallet height, the magazine in the magazine holding unit 12 is moved up and down by a feed screw mechanism (not shown), and two light beams are detected by the control device 32 (pallet height detection means) of the component supply device 11. The output signals of the sensors 44 and 45 are monitored, and the optical axis of one of the two optical sensors 44 and 45 is blocked by the detection target (tray pallet 41 or tray 43), and the optical sensors 44 and 45 detect the detection target. The control device 32 counts the output pulses of an encoder (not shown) in the section in the state, and detects the pallet height (the number of stacked trays 43) based on the count value of the output pulses of the encoder.

マガジン保持部12内のマガジン内にトレイパレット41とウエハパレット22を混載する場合は、光センサ44,45によってトレイパレット41のパレット高さを検出する際に、ウエハパレット22のパレット高さも同様にして検出される。   When the tray pallet 41 and the wafer pallet 22 are mixedly loaded in the magazine in the magazine holding unit 12, when the pallet height of the tray pallet 41 is detected by the optical sensors 44 and 45, the pallet height of the wafer pallet 22 is similarly set. Detected.

本実施例では、マガジン内に挿入した複数のウエハパレット22は、光センサ44,45によって検出されるパレット高さが常に同じ高さとなるように構成されている。具体的には、各ウエハパレット22には、予め決められた同一高さの被検出部材46,47が光センサ44,45の光軸と交差する位置に上向きに設けられている。尚、被検出部材46,47の高さは、トレイパレット41のトレイ43の段積み高さの変動範囲内に収まるため、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さのみでは、ウエハパレット22とトレイパレット41とを判別できない。   In this embodiment, the plurality of wafer pallets 22 inserted into the magazine are configured such that the pallet heights detected by the optical sensors 44 and 45 are always the same. More specifically, each wafer pallet 22 is provided with detection members 46 and 47 having the same height that are predetermined in an upward direction at positions that intersect the optical axes of the optical sensors 44 and 45. Since the detected members 46 and 47 fall within the variation range of the stacking height of the trays 43 of the tray pallet 41, the heights of the detected members 46 and 47 are only the pallet height detected by the pallet height detecting means. The tray pallet 41 cannot be distinguished.

また、図6に示すように、トレイパレット41の所定位置には、画像認識可能なパレット判別部48が設けられている。このパレット判別部48は、例えば、着色(輝度)、マーク(図柄、絵)、文字、記号等により形成しても良く、或は、トレイパレット41のうちの特徴的な形状部分をパレット判別部48として用いても良い。以下の説明では、パレット判別部48として、明るい着色(輝度)のシールを貼着した場合の例を説明する。このパレット判別部48の画像認識に用いるカメラは、ダイ撮像用のカメラ24を用いれば良い。   As shown in FIG. 6, a pallet discriminating unit 48 capable of recognizing an image is provided at a predetermined position of the tray pallet 41. The pallet discriminating unit 48 may be formed by, for example, coloring (luminance), a mark (design, picture), a character, a symbol, or the like. 48 may be used. In the following description, an example in which a brightly colored (brightness) sticker is attached as the pallet determination unit 48 will be described. The camera used for image recognition of the pallet discrimination unit 48 may be the die imaging camera 24.

ところで、作業者がマガジンのスロットにパレットを挿入する際に、ウエハパレット22とトレイパレット41とを取り違えて挿入する作業ミスが発生する可能性がある。このため、マガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出されたパレットが生産プログラムで指定されたパレットと相違する可能性があり、それによって、パレット上の部品をピックアップする吸着ノズルがパレットと干渉して破損する等の不具合が発生する可能性がある。   By the way, when an operator inserts a pallet into a magazine slot, there is a possibility that an operation error occurs in which the wafer pallet 22 and the tray pallet 41 are inserted by mistake. For this reason, the pallet drawn from the magazine onto the pallet drawer table 13 may be different from the pallet specified in the production program, so that the suction nozzle for picking up the parts on the pallet interferes with the pallet and is damaged. There is a possibility that a malfunction will occur.

この対策として、本実施例では、部品供給装置11の制御装置32は、図7及び図8のパレット種判定プログラムを実行することで、マガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出されたパレットがウエハパレット22かトレイパレット41かを判別するようにしている。本プログラムによるパレット種の判定方法の概要は、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と異なる場合は、(1)生産プログラムでトレイパレット41が指定されていれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのトレイパレット41が引き出されていると判定し、(2)生産プログラムでウエハパレット22が指定されていれば、エラーと判定する。   As a countermeasure against this, in this embodiment, the control device 32 of the component supply device 11 executes the pallet type determination program shown in FIGS. 7 and 8 so that the pallet drawn from the magazine onto the pallet drawing table 13 becomes the wafer pallet. 22 or tray pallet 41 is discriminated. The outline of the method for determining the pallet type by this program is as follows. When the pallet height t detected by the pallet height detecting means is different from the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), If 41 is specified, it is determined that the tray pallet 41 as specified in the production program is pulled out from the magazine. (2) If the wafer pallet 22 is specified in the production program, it is determined that there is an error.

また、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と一致する場合は、(3)生産プログラムでトレイパレット41が指定されているときに、トレイパレット検出手段でパレット判別部48を画像認識できれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのトレイパレット41が引き出されていると判定し、トレイパレット検出手段でパレット判別部48を画像認識できなければ、エラーと判定し、また、(4)生産プログラムでウエハパレット22が指定されているときに、ウエハ情報読取り手段でウエハ情報記録部35からウエハ情報を読み取ることができれば、マガジンから生産プログラムの指定通りのウエハパレット22が引き出されていると判定し、ウエハ情報読取り手段でウエハ情報記録部35からウエハ情報を読み取ることができなければ、エラーと判定する。いずれの場合も、エラーと判定されたときに、部品供給装置11を停止させる。   When the pallet height t detected by the pallet height detection means matches the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), (3) when the tray pallet 41 is designated by the production program, If the tray pallet detection unit can recognize the image of the pallet determination unit 48, it is determined that the tray pallet 41 as specified in the production program is pulled out from the magazine. If the tray pallet detection unit cannot recognize the image of the pallet determination unit 48, If it is determined that there is an error, and (4) the wafer pallet 22 is specified by the production program, the wafer information can be read from the wafer information recording unit 35 by the wafer information reading means. It is determined that the wafer pallet 22 has been pulled out, and the wafer information is read by the wafer information reading means. If you can not read the wafer information from the recording unit 35 judges that the error. In any case, when it is determined that there is an error, the component supply device 11 is stopped.

以下、制御装置32によって実行される図7及び図8のパレット種判定プログラムの処理内容を説明する。本プログラムは、作業者がマガジンの各スロットにウエハパレット22又はトレイパレット41を挿入する作業を行った後に実行され、特許請求の範囲でいうパレット種判定手段としての役割を果たす。この際、マガジンの各スロットに挿入するパレットの種別は、生産プログラムで指定されている。   The processing contents of the pallet type determination program shown in FIGS. 7 and 8 executed by the control device 32 will be described below. This program is executed after the operator performs an operation of inserting the wafer pallet 22 or the tray pallet 41 into each slot of the magazine, and plays a role as a pallet type determination means in the claims. At this time, the type of pallet to be inserted into each slot of the magazine is specified by the production program.

本プログラムが起動されると、まずステップ101で、マガジン内の各パレット22,41の高さtをパレット高さ検出手段で計測する。この後、ステップ102に進み、生産プログラムで指定されたパレット種が「トレイパレット」であるか否かを判定し、生産プログラムで指定されたパレット種が「トレイパレット」であると判定されれば、ステップ103に進み、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と一致するか否かを判定する。   When this program is started, first, in step 101, the height t of each pallet 22, 41 in the magazine is measured by the pallet height detecting means. Thereafter, the process proceeds to step 102, where it is determined whether or not the pallet type designated by the production program is “tray pallet”, and if it is determined that the pallet type designated by the production program is “tray pallet”. In step 103, it is determined whether or not the measured pallet height t coincides with a predetermined height a (the height of the wafer pallet 22).

このステップ103で、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と異なると判定されれば、ステップ104に進み、生産プログラムの指定通りのウエハパレット22であると判定し、次のステップ105で、生産を実行する。   If it is determined in step 103 that the measured pallet height t is different from the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), the process proceeds to step 104, where it is determined that the wafer pallet 22 is as specified in the production program. In the next step 105, production is executed.

これに対し、上記ステップ103で、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と一致すると判定されれば、ステップ106に進み、当該パレットをマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出して、当該パレットの所定部分をカメラ24で撮像する。ここで、カメラ24で撮像する部分は、トレイパレット41のパレット判別部48と同じ位置の部分である。従って、撮像するパレットがトレイパレット41であれば、パレット判別部48が撮像され、ウエハパレット22であれば、パレット判別部48の無い部分が撮像される。   On the other hand, if it is determined in step 103 that the measured pallet height t matches the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), the process proceeds to step 106, where the pallet is extracted from the magazine to the pallet drawing table 13. The predetermined part of the palette is picked up by the camera 24. Here, the part imaged by the camera 24 is the part at the same position as the pallet discrimination unit 48 of the tray pallet 41. Therefore, if the pallet to be imaged is the tray pallet 41, the pallet discrimination unit 48 is imaged. If the pallet discrimination unit 48 is the wafer pallet 22, the part without the pallet discrimination unit 48 is imaged.

この後、ステップ107に進み、撮像画像を画像処理して撮像画像の輝度を判定した後、ステップ108に進み、撮像画像の輝度がしきい値より明るいか否かで、トレイパレット41のパレット判別部48を画像認識したか否かを判定する。その結果、撮像画像の輝度がしきい値より明るいと判定されれば、トレイパレット41のパレット判別部48を画像認識したと判断して、ステップ109に進み、生産プログラムの指定通りのトレイパレット41がパレット引き出しテーブル13上に引き出されていると判定し、ステップ105に進んで、生産を実行する。   Thereafter, the process proceeds to step 107, the captured image is subjected to image processing to determine the brightness of the captured image, and then the process proceeds to step 108, where the pallet determination of the tray palette 41 is performed depending on whether the brightness of the captured image is higher than a threshold value. It is determined whether the image of the unit 48 has been recognized. As a result, if it is determined that the brightness of the captured image is brighter than the threshold value, it is determined that the pallet discriminating unit 48 of the tray pallet 41 has recognized the image, the process proceeds to step 109, and the tray pallet 41 as designated by the production program is obtained. Is determined to be drawn on the pallet drawer table 13, the process proceeds to step 105 to execute production.

これに対し、上記ステップ108で、撮像画像の輝度がしきい値より暗いと判定されれば、パレット判別部48を画像認識できなかった(パレット判別部48が無い)と判断して、ステップ110に進み、生産プログラムで指定された「トレイパレット」と異なるパレット(つまりウエハパレット22)であるか、又はパレット判別部48が欠損していると判定する。この後、ステップ111に進み、エラーと判定して部品供給装置11を停止させる。   On the other hand, if it is determined in step 108 that the brightness of the captured image is darker than the threshold value, it is determined that the palette determination unit 48 cannot recognize the image (there is no palette determination unit 48), and step 110 is performed. Then, it is determined that the pallet is different from the “tray pallet” designated in the production program (that is, the wafer pallet 22) or the pallet determination unit 48 is missing. Thereafter, the process proceeds to step 111 where it is determined that an error has occurred and the component supply apparatus 11 is stopped.

一方、上記ステップ102で、生産プログラムで指定されたパレット種が「ウエハパレット」であると判定されれば、図8のステップ112に進み、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と一致するか否かを判定する。   On the other hand, if it is determined in step 102 that the pallet type specified in the production program is “wafer pallet”, the process proceeds to step 112 in FIG. 8 and the measured pallet height t is set to a predetermined height a (wafer pallet). It is determined whether or not the height is equal to 22).

このステップ112で、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と異なると判定されれば、ステップ113に進み、生産プログラムで指定された「ウエハパレット」と異なるパレット(つまりトレイパレット41)であると判定する。この後、ステップ114に進み、エラーと判定して部品供給装置11を停止させる。   If it is determined in step 112 that the measured pallet height t is different from the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), the process proceeds to step 113 and a pallet different from the “wafer pallet” specified in the production program. (That is, tray pallet 41). Thereafter, the process proceeds to step 114 where it is determined that an error has occurred and the component supply apparatus 11 is stopped.

これに対し、上記ステップ112で、測定したパレット高さtが所定高さa(ウエハパレット22の高さ)と一致すると判定されれば、ステップ115に進み、当該パレットをマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出して、当該パレットの所定部分をカメラ24で撮像する。ここで、カメラ24で撮像する部分は、ウエハパレット22のウエハ情報記録部35と同じ位置の部分である。従って、撮像するパレットがウエハパレット22であれば、ウエハ情報記録部35が撮像され、トレイパレット41であれば、ウエハ情報記録部35の無い部分が撮像される。   On the other hand, if it is determined in step 112 that the measured pallet height t matches the predetermined height a (the height of the wafer pallet 22), the process proceeds to step 115, where the pallet is moved from the magazine to the pallet drawing table 13. The predetermined part of the palette is picked up by the camera 24. Here, the part imaged by the camera 24 is the part at the same position as the wafer information recording unit 35 of the wafer pallet 22. Therefore, if the pallet to be imaged is the wafer pallet 22, the wafer information recording unit 35 is imaged. If the pallet 41 is the tray pallet 41, the portion without the wafer information recording unit 35 is imaged.

この後、ステップ116に進み、撮像画像を画像処理した後、ステップ117に進み、撮像画像からウエハ情報を読み取ることができたか否かを判定し、ウエハ情報を読み取ることができたと判定されれば、ステップ118に進み、生産プログラムの指定通りのウエハパレット22がパレット引き出しテーブル13上に引き出されていると判定し、ステップ119に進んで、読み取ったウエハ情報を使って生産を実行する。   Thereafter, the process proceeds to step 116, and after the captured image is processed, the process proceeds to step 117, where it is determined whether or not the wafer information can be read from the captured image, and if it is determined that the wafer information can be read. In step 118, it is determined that the wafer pallet 22 as specified in the production program is pulled out on the pallet drawing table 13, and the flow advances to step 119 to execute production using the read wafer information.

これに対し、上記ステップ117で、撮像画像からウエハ情報を読み取ることができなかったと判定されれば、ステップ120に進み、生産プログラムで指定された「ウエハパレット」と異なるパレット(つまりトレイパレット41)であるか、又はウエハ情報記録部35が欠損していると判定する。この後、ステップ121に進み、エラーと判定して部品供給装置11を停止させる。   On the other hand, if it is determined in step 117 that the wafer information could not be read from the captured image, the process proceeds to step 120 and a pallet (that is, tray pallet 41) different from the “wafer pallet” specified in the production program. It is determined that the wafer information recording unit 35 is missing. Thereafter, the process proceeds to step 121 where it is determined that an error has occurred and the component supply apparatus 11 is stopped.

以上説明した本実施例によれば、パレット高さ検出手段で検出したパレット高さと、ウエハ情報読取り手段で読み取ったウエハ情報と、トレイパレット検出手段で画像認識したパレット判別部48の有無の組み合わせによって、マガジンから引き出れたパレットが生産プログラムで指定されたパレットであるか否かを判定することができ、マガジンから引き出されたパレットの種別を自動的に確認する機能を部品供給装置11に持たせることができる。   According to the present embodiment described above, the combination of the pallet height detected by the pallet height detecting means, the wafer information read by the wafer information reading means, and the presence / absence of the pallet discriminating unit 48 recognized by the tray pallet detecting means. Thus, it is possible to determine whether or not the pallet drawn from the magazine is a pallet designated by the production program, and the component supply device 11 has a function of automatically confirming the type of pallet drawn from the magazine. be able to.

尚、図7及び図8のパレット種判定プログラムでは、生産開始前にマガジン内の全てのパレット22,41の高さをパレット高さ検出手段で計測するようにしたが、マガジンからパレットをパレット引き出しテーブル13上に引き出す際に、該パレットの高さをパレット高さ検出手段で計測するようにしても良い。   In the pallet type determination program shown in FIGS. 7 and 8, the height of all pallets 22 and 41 in the magazine is measured by the pallet height detecting means before the production is started. When pulling out on the table 13, the height of the pallet may be measured by the pallet height detecting means.

また、上記実施例では、パレット種判定手段としての機能を部品供給装置11の制御装置32に搭載するようにしたが、部品実装機25の制御装置、又は、部品実装機25を含む部品実装ラインの制御装置にパレット種判定手段としての機能を搭載するようにしても良い。   In the above embodiment, the function as the pallet type determination unit is mounted on the control device 32 of the component supply device 11. However, the control device of the component mounter 25 or the component mounting line including the component mounter 25 is used. A function as a pallet type determination means may be mounted on the control device.

その他、本発明は、部品供給装置11の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。   In addition, it goes without saying that the present invention can be implemented with various modifications within a range not departing from the gist, such as appropriately changing the configuration of the component supply device 11.

11…部品供給装置、12…マガジン保持部、13…パレット引き出しテーブル、14…パレット引き出し機構、15…サブロボット、16…シャトル機構、17…反転ユニット、18…突き上げユニット、19…NGコンベア、20…ノズルチェンジャー、21…ダイ(ウエハ部品)、22…ウエハパレット、23…ウエハ装着板、24…カメラ(ウエハ情報読取り手段,トレイパレット検出手段)、25…部品実装機、26…シャトルノズル、27…突き上げポット、28…パレット本体、32…制御装置(パレット高さ検出手段,ウエハ情報読取り手段,トレイパレット検出手段,パレット種判定手段)、33…入力装置、34…表示装置、35…ウエハ情報記録部、36…ダイシングシート、41…トレイパレット、42…トレイ部品(電子部品)、43…トレイ、44,45…光センサ(パレット高さ検出手段)、46,47…被検出部材、48…パレット判別部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Parts supply apparatus, 12 ... Magazine holding part, 13 ... Pallet drawer table, 14 ... Pallet drawer mechanism, 15 ... Sub robot, 16 ... Shuttle mechanism, 17 ... Reversing unit, 18 ... Push-up unit, 19 ... NG conveyor, 20 ... Nozzle changer, 21 ... Die (wafer part), 22 ... Wafer pallet, 23 ... Wafer mounting plate, 24 ... Camera (wafer information reading means, tray pallet detecting means), 25 ... Component mounter, 26 ... Shuttle nozzle, 27 ... Push-up pot, 28 ... Pallet body, 32 ... Control device (pallet height detection means, wafer information reading means, tray pallet detection means, pallet type determination means), 33 ... input device, 34 ... display device, 35 ... wafer information Recording unit 36 ... Dicing sheet 41 ... Tray pallet 42 ... Tray unit (Electronic component), 43 ... tray, 44 ... optical sensor (pallet height detection means), 46, 47 ... detection member, 48 ... pallet determination unit

Claims (4)

部品供給装置のマガジン内に、ウエハ部品を載せたウエハパレットと、電子部品を載せたトレイパレットとを複数段に混載し、前記マガジンから生産プログラムで指定されたパレットを引き出して当該パレット上の部品を部品実装機に供給するものに適用される、前記マガジンから引き出されたパレットの種別を判定するパレット種判定システムであって、
前記ウエハパレットの所定位置に、ウエハ情報を記録又は記憶したウエハ情報記録部を設けると共に、前記トレイパレットの所定位置に画像認識可能なパレット判別部を設け、 前記ウエハパレットと前記トレイパレットの高さを検出するパレット高さ検出手段と、 前記マガジンから引き出された前記ウエハパレットの前記ウエハ情報記録部から前記ウエハ情報を読み取るウエハ情報読取り手段と、
前記マガジンから引き出された前記トレイパレットの前記パレット判別部を画像認識することで当該トレイパレットを検出するトレイパレット検出手段と、
前記パレット高さ検出手段で検出したパレット高さ、前記ウエハ情報読取り手段で読み取った前記ウエハ情報、及び、前記トレイパレット検出手段で画像認識した前記パレット判別部の有無に基づいて、前記マガジンから引き出れたパレットが前記生産プログラムで指定されたパレットであるか否かを判定するパレット種判定手段と
を備えていることを特徴とするパレット種判定システム。
A wafer pallet on which wafer parts are placed and a tray pallet on which electronic parts are placed are mixedly mounted in a plurality of stages in a magazine of the parts supply device, and the pallet designated by the production program is pulled out from the magazine and the parts on the pallet A pallet type determination system for determining a type of pallet drawn from the magazine, which is applied to a component mounting machine.
A wafer information recording unit for recording or storing wafer information is provided at a predetermined position of the wafer pallet, and a pallet discrimination unit capable of recognizing an image is provided at a predetermined position of the tray pallet, and the height of the wafer pallet and the tray pallet Pallet height detecting means for detecting the wafer information reading means for reading the wafer information from the wafer information recording unit of the wafer pallet pulled out from the magazine,
Tray pallet detection means for detecting the tray pallet by recognizing an image of the pallet discrimination unit of the tray pallet pulled out from the magazine;
Based on the pallet height detected by the pallet height detecting means, the wafer information read by the wafer information reading means, and the presence / absence of the pallet discriminating unit recognized by the tray pallet detecting means, it is pulled from the magazine. A pallet type determination system, comprising: a pallet type determination unit that determines whether or not a pallet that has exited is a pallet specified by the production program.
前記パレット種判定手段は、前記部品供給装置の制御装置、又は、前記部品実装機の制御装置、又は、前記部品実装機を含む部品実装ラインの制御装置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のパレット種判定システム。   The pallet type determination means is provided in a control device of the component supply device, a control device of the component mounter, or a control device of a component mounting line including the component mounter. Item 2. The pallet type determination system according to Item 1. 前記ウエハパレット上のウエハ部品を撮像するカメラを備え、
前記ウエハ情報記録部は、その上面に前記ウエハ情報を表すコードが記録され、
前記ウエハ情報読取り手段は、前記カメラで前記コードを撮像して該コードを画像認識し、
前記トレイパレット検出手段は、前記カメラで前記パレット判別部を撮像して該パレット判別部を画像認識することを特徴とする請求項1又は2に記載のパレット種判定システム。
A camera for imaging wafer parts on the wafer pallet;
The wafer information recording unit has a code representing the wafer information recorded on the upper surface thereof,
The wafer information reading means images the code by the camera and recognizes the code as an image,
The pallet type determination system according to claim 1 or 2, wherein the tray pallet detection means captures an image of the pallet determination unit by imaging the pallet determination unit with the camera.
前記ウエハパレットは、前記パレット高さ検出手段で検出されるパレット高さが所定高さとなるように構成され、
前記パレット種判定手段は、前記パレット高さ検出手段で検出したパレット高さが前記所定高さと異なる場合は、(1)前記生産プログラムでトレイパレットが指定されていれば、前記マガジンから前記生産プログラムの指定通りのトレイパレットが引き出されていると判定し、(2)前記生産プログラムでウエハパレットが指定されていれば、エラーと判定し、
前記パレット高さ検出手段で検出したパレット高さが前記所定高さと一致する場合は、(3)前記生産プログラムでトレイパレットが指定されているときに、前記トレイパレット検出手段で前記パレット判別部を画像認識できれば、前記マガジンから前記生産プログラムの指定通りのトレイパレットが引き出されていると判定し、前記トレイパレット検出手段で前記パレット判別部を画像認識できなければ、エラーと判定し、(4)前記生産プログラムでウエハパレットが指定されているときに、前記ウエハ情報読取り手段で前記ウエハ情報記録部から前記ウエハ情報を読み取ることができれば、前記マガジンから前記生産プログラムの指定通りのウエハパレットが引き出されていると判定し、前記ウエハ情報読取り手段で前記ウエハ情報記録部から前記ウエハ情報を読み取ることができなければ、エラーと判定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のパレット種判定システム。
The wafer pallet is configured such that the pallet height detected by the pallet height detecting means is a predetermined height,
When the pallet height detected by the pallet height detecting means is different from the predetermined height, (1) if a tray pallet is designated by the production program, the pallet type determining means may read the production program from the magazine. (2) If a wafer pallet is specified in the production program, it is determined that an error has occurred.
When the pallet height detected by the pallet height detection means matches the predetermined height, (3) when the tray pallet is specified by the production program, the tray pallet detection means causes the pallet determination unit to If the image can be recognized, it is determined that the tray pallet as specified in the production program has been pulled out from the magazine. If the tray pallet detection unit cannot recognize the pallet determination unit, an error is determined. If the wafer information is read from the wafer information recording unit by the wafer information reading means when a wafer pallet is specified in the production program, the wafer pallet as specified in the production program is pulled out from the magazine. The wafer information reading means by the wafer information reading means. If you can not read the wafer information from parts, pallet type determination system according to any one of claims 1 to 3, wherein determining that error.
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