JP2012220207A - Measuring apparatus employing ccd camera and method of shortening response time therefor - Google Patents
Measuring apparatus employing ccd camera and method of shortening response time therefor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012220207A JP2012220207A JP2011082947A JP2011082947A JP2012220207A JP 2012220207 A JP2012220207 A JP 2012220207A JP 2011082947 A JP2011082947 A JP 2011082947A JP 2011082947 A JP2011082947 A JP 2011082947A JP 2012220207 A JP2012220207 A JP 2012220207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- output
- camera
- exposure time
- ccd camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2518—Projection by scanning of the object
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/70—Circuitry for compensating brightness variation in the scene
- H04N23/72—Combination of two or more compensation controls
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
- G01N2021/177—Detector of the video camera type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
- G01N2021/5957—Densitometers using an image detector type detector, e.g. CCD
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
- G01N2021/8645—Investigating moving sheets using multidetectors, detector array
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
Description
本発明は、被測定物にレーザ光線を照射し、被測定物からの反射光の位置変化をCCDカメラで検出し、被測定物の形状等を測定するCCDカメラを使用した測定装置に関する。 The present invention relates to a measurement apparatus using a CCD camera that irradiates a measurement object with a laser beam, detects a change in position of reflected light from the measurement object with a CCD camera, and measures the shape and the like of the measurement object.
鋼板などの各種素材の形状の測定装置として、鋼板にレーザ光線を照射し、その反射光の位置変化をCCDカメラで検出し、被測定物の形状等を測定するCCDカメラを使用した測定装置がある(例えば、特許文献1参照。)。 As a measuring device for the shape of various materials such as steel plates, there is a measuring device using a CCD camera that irradiates a steel plate with a laser beam, detects the position change of the reflected light with a CCD camera, and measures the shape of the object to be measured. (For example, refer to Patent Document 1).
一般に、鋼板などの製造プロセスで使用される測定装置は、搬送される鋼板の先端部から尾端(後端)部までを測定し、測定量の良否で製品の歩留まりを判定するので、測定可能となる先端部の位置が重要である。 In general, measuring devices used in the manufacturing process of steel sheets, etc., measure from the leading end to the tail (rear end) of the steel sheet being transported, and determine the product yield based on the quality of the measured quantity, so measurement is possible The position of the leading end is important.
例えば、特許文献1に開示された距離測定装置を使用した厚さ測定装置の場合には、鋼板先端部のどの位置からが製品規格を満足する厚さであるかを測定できることが重要な機能である。この先端から正しい測定が可能となる位置までの応答時間を先端応答とも言う。
For example, in the case of the thickness measuring device using the distance measuring device disclosed in
しかしながら、鋼板からのレーザ光線の反射光を受光して距離を測定する距離測定装置の場合には、反射光の状態が鋼板先端部での反射特性が多様に変化するため、CCDカメラの出力が飽和したり、または、雑音レベル以下となったりして安定せず、先端応答が遅くなる問題がある。 However, in the case of a distance measuring device that measures the distance by receiving the reflected light of the laser beam from the steel plate, the reflection characteristics of the reflected light change variously at the tip of the steel plate. There is a problem that the tip response becomes slow because it becomes saturated or becomes less than the noise level and is not stable.
従来からの光学式の距離測定装置の場合、CCDカメラ出力が一定になるような制御回路を備え、検出信号の安定化を図っている。ラインスキャン形のCCDカメラを備えた距離測定装置の場合、CCDカメラの出力が一定の範囲内に安定化されるように、CCDカメラの露光時間(CCDの場合、蓄積時間、シャッタ時間とも言うが、以後、ここでは露光時間と言う。)を制御して信号レベルを制御するAGC(Automatic Gain Control)機能を備える。 In the case of a conventional optical distance measuring device, a detection circuit is provided to stabilize the detection signal by providing a control circuit that makes the CCD camera output constant. In the case of a distance measuring device equipped with a line scan type CCD camera, the exposure time of the CCD camera (in the case of a CCD, it is also called the accumulation time or shutter time) so that the output of the CCD camera is stabilized within a certain range. Hereinafter, it is referred to as an exposure time here), and an AGC (Automatic Gain Control) function for controlling the signal level is provided.
一般に、ラインスキャン形のCCDカメラのAGCの応答は、図12に示すように、予め設定される測定装置の制御周期(測定周期、演算周期とも言う)の3倍の時間を要する。即ち、予め設定された制御周期において、その露光時間の変更は、CCDカメラ信号の検出・記憶する第1の制御周期SP1、記憶したCCDカメラデータの読み出しを行う第2の制御周期SP2、読み出したカメラデータから予め設定されたCCDカメラ信号のレベルを求める露光時間を決定するための第3の制御周期SP3の、制御周期SPの3倍の時間を要する。読み出し、演算を同じ制御周期内に終える条件が可能な場合には、2倍の制御周期とすることも可能である。 In general, the AGC response of a line scan type CCD camera requires three times as long as a control period (also referred to as a measurement period or a calculation period) of a measurement apparatus set in advance, as shown in FIG. That is, in the preset control cycle, the exposure time is changed by the first control cycle S P1 for detecting and storing the CCD camera signal, the second control cycle S P2 for reading the stored CCD camera data, the third control cycle S P3 for determining the exposure time for obtaining the level of a preset CCD camera signals from the read camera data takes 3 times the control period S P. When the condition for completing the reading and calculation within the same control cycle is possible, the control cycle can be doubled.
露光時間は予め設定された制御周期の時間の範囲において、制御周期単位で更新して、CCDカメラ出力を制御するものである。しかしながら、CCDカメラの雑音レベルを受光光量が最小の状態、例えば、CCDカメラの飽和露光量の10%で測定が可能な露光時間に設定してある場合、この10%に対するCCDカメラの出力は10倍以上の入力光量で飽和状態となるので、10倍以上の入力光量がある場合には、露光時間を制御することが出来ない。 The exposure time is updated in units of control cycles within a predetermined control cycle time range to control the CCD camera output. However, if the noise level of the CCD camera is set at a minimum received light amount, for example, an exposure time that can be measured at 10% of the saturation exposure amount of the CCD camera, the output of the CCD camera with respect to this 10% is 10 Since the saturation state occurs when the input light quantity is more than double, the exposure time cannot be controlled if there is an input light quantity more than 10 times.
例えば、予測では鋼板の先端部での受光光量は、反射率とその拡散特性の変化から少なくとも最小入力光量の200倍程度は必要であるので、飽和状態を避けることができない。 For example, in the prediction, the amount of light received at the tip of the steel plate needs to be at least about 200 times the minimum input light amount from the change in reflectance and its diffusion characteristics, so a saturation state cannot be avoided.
そのため、CCDカメラに受光光量を減量するフィルタを機械的に設定して受光光量を検知して露光時間を変更する方法が考えられる。しかし、その場合にはフィルタの設定時間が必要となり、著しく応答が遅くなる問題がある。 Therefore, a method of mechanically setting a filter for reducing the amount of received light in the CCD camera to detect the amount of received light and changing the exposure time can be considered. However, in that case, there is a problem that the setting time of the filter is required and the response is remarkably slow.
上述したように、ラインスキャン形CCDカメラを備えた測定装置の場合、予め設定された制御周期における露光時間の設定において、CCDカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量があった場合、その入力光量の強さの程度を検知するための手段が必要となり、最短時間で露光時間を更新する制御が出来ない。そのため、測定装置の応答時間が遅くなる問題がある。 As described above, in the case of a measuring apparatus equipped with a line scan type CCD camera, when there is an excessive input light amount exceeding the saturation exposure amount of the CCD camera in the setting of the exposure time in a preset control cycle, the input A means for detecting the degree of intensity of the light amount is required, and control for updating the exposure time in the shortest time cannot be performed. Therefore, there is a problem that the response time of the measuring device is delayed.
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、予め設定された制御周期における露光時間を制御するCCDカメラにおいて、このCCDカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量に対して、最短時間で測定可能なCCDカメラ信号を得ることが可能な測定装置、及びその応答時間の短縮方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems. In a CCD camera for controlling the exposure time in a preset control cycle, the minimum amount of input light exceeding the saturation exposure amount of the CCD camera is minimized. It is an object of the present invention to provide a measuring apparatus capable of obtaining a CCD camera signal that can be measured in time and a method for shortening the response time.
上記目的を達成するために、本実施形態のCCDカメラを使用した測定装置は、被測定物の表面に対してレーザビームを照射する光源部と、当該レーザビームの反射光を検出するラインスキャン形のCCDカメラとを備える検出部と、前記CCDカメラの出力から当該測定物の形状等の測定量を求める制御部とを備える測定装置であって、前記制御部は、前記CCDカメラからのカメラ出力信号を記憶するメモリと、記憶した前記カメラ出力信号のカメラデータと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値とを比較して、当該カメラ出力が一定になるように前記CCDカメラの露光時間を制御するAGC回路部と、前記AGC回路部で制御された前記CCDデータから前記測定量を求める演算部と、を備え、前記CCDカメラは、ラインスキャン形の複数の異なる透過率のNDフィルタ毎の出力を得られるカメラとし、前記NDフィルタは、透過率εND0の第1のNDフィルタ、透過率εND1の第2のNDフィルタ、透過率εND2の第3のNDフィルタで構成され、前記透過率の大きさは、εND0>εND1>εND2、且つ、前記第1のNDフィルタのカメラ出力の飽和値(上限値)と前記第2のNDフィルタの測定範囲の下限値、また、前記第2のNDフィルタの飽和値と前記第3のNDフィルタの測定範囲の下限値とが夫々ラップするような透過率とし、前記AGC回路部は、前記第1のNDフィルタのカメラ出力が飽和しているか否かを判定し、不飽和の場合、前記カメラ出力レベルの設定値Vrと当該第1のNDフィルタの出力D0との比率を求め第1の補正ゲインα1を求め、さらに、求めた第1の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記第1のNDフィルタのカメラ出力が飽和している場合、さらに、前記第2のNDフィルタのカメラ出力の飽和・不飽和を判定し、前記第2のNDフィルタのカメラ出力が不飽和の場合、当該第2のNDフィルタ2カメラ出力D1に対して、前記設定値と、前記第1のNDフィルタの出力D1との比率から第2の補正ゲインを求め、さらに、求めた第2の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記第2のNDフィルタのカメラ出力が飽和している場合、当該第3のNDフィルタのカメラ出力D2に対して、前記設定値Vrと、前記第1のNDフィルタの出力との比率から第3の補正ゲインを求め、さらに、求めた第3の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記CCDカメラの前記第1のNDフィルタのカメラ出力を飽和させるような過大な入力光量があった場合、その程度を前記第2のNDフィルタのカメラ出力、または前記第3のNDフィルタのカメラ出力から前記第1のNDフィルタに対する補正ゲインを求め、一回の蓄積時間の変更で測定が可能となるようにしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a measuring apparatus using the CCD camera of the present embodiment includes a light source unit that irradiates a surface of an object to be measured with a laser beam, and a line scan type that detects reflected light of the laser beam. A measuring unit including a detection unit including a CCD camera and a control unit for obtaining a measurement amount such as a shape of the measurement object from an output of the CCD camera, wherein the control unit outputs the camera from the CCD camera. Control the exposure time of the CCD camera so that the camera output becomes constant by comparing the memory for storing the signal with the camera data of the stored camera output signal and the preset value of the camera output level. An AGC circuit unit for calculating the measured amount from the CCD data controlled by the AGC circuit unit, and the CCD camera has a line scan. A camera may obtain an output for each of a plurality of different transmittance down type ND filter, the ND filter, the first ND filter transmittance epsilon ND0, second ND filter transmittance epsilon ND1, transmittance epsilon ND2 is a third ND filter, and the magnitude of the transmittance is ε ND0 > ε ND1 > ε ND2 , and the saturation value (upper limit value) of the camera output of the first ND filter and the second ND filter. The transmittance is such that the lower limit value of the measurement range of the ND filter, the saturation value of the second ND filter, and the lower limit value of the measurement range of the third ND filter are respectively wrapped, and the AGC circuit unit Then, it is determined whether or not the camera output of the first ND filter is saturated. If the output is not saturated, the ratio between the set value Vr of the camera output level and the output D 0 of the first ND filter is obtained. First correction When the in α1 is obtained, the exposure time corresponding to the obtained first correction gain is obtained, the exposure time before the correction is updated to the exposure time, and the camera output of the first ND filter is saturated Further, the saturation / unsaturation of the camera output of the second ND filter is determined, and when the camera output of the second ND filter is unsaturated, the
上記目的を達成するために本実施形態のCCDカメラを使用した測定装置は、被測定物の表面に対してレーザビームを照射する光源部と、当該レーザビームの反射光の位置を検出するラインスキャン形のCCDカメラとを備える検出部と、前記CCDカメラの出力から当該測定物の形状等の測定量を求める制御部とを備える測定装置であって、前記制御部は、前記CCDカメラからのカメラ出力信号を記憶するメモリと、記憶した前記カメラ出力信号のカメラデータと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値とを比較して、当該カメラ出力が一定になるように前記CCDカメラの露光時間を制御するAGC回路部と、前記AGC回路部で制御された前記CCDカメラから測定量を求める演算部と、を備え、前記CCDカメラは、ラインスキャン形のRGBフィルタを備えるカラーカメラとし、前記レーザビームの波長のピーク値は、前記Rフィルタの透過率εRが90%以上となる波長を選択し、前記AGC回路部は、前記Rフィルタのカメラ出力が飽和しているか否かを判定し、不飽和の場合、前記カメラ出力設定値Vrと当該Rフィルタの出力D0の比率を求め第1の補正ゲインとし、さらに、求めた第1の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記Rフィルタのカメラ出力が飽和している場合、さらに、前記Bフィルタのカメラ出力の飽和・不飽和を判定し、前記Bフィルタのカメラ出力が不飽和、且つ、測定範囲の下限値以下の場合、当該Bフィルタのカメラ出力に対して、前記設定値と、前記Bフィルタと前記Rフィルタの透過率の比率を乗じた値を求めて第2の補正ゲインを求め、さらに、求めた第2の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、不飽和、且つ、測定範囲にある場合、Rフィルタのカメラ出力に換算した場合に測定範囲の出力レベルとなる予め設定する第3の補正ゲインを選択し、当該第3の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間更新し、前記Bフィルタのカメラ出力が飽和している場合、Rフィルタのカメラ出力に換算した場合に測定領域となる予め設定する第4の補正ゲインを選択し、当該第4の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記CCDカメラの入力光量が、前記Rフィルタのカメラ出力を飽和させるような過大な入力の場合、前記Bフィルタのカメラ出力に対して、前記Bフィルタと前記Rフィルタの透過率の比率から前記第1〜第4の補正ゲインを求め、前記Rフィルタのカメラ出力が予め設定した設定値となるような露光時間求めるようにしたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the measuring apparatus using the CCD camera of the present embodiment includes a light source unit that irradiates a surface of an object to be measured with a laser beam, and a line scan that detects the position of reflected light of the laser beam. A measuring device including a detection unit including a CCD camera and a control unit for obtaining a measurement amount such as a shape of the measurement object from an output of the CCD camera, wherein the control unit is a camera from the CCD camera. Comparing the memory that stores the output signal with the camera data of the stored camera output signal and the preset value of the camera output level, the exposure time of the CCD camera is set so that the camera output is constant. An AGC circuit unit to be controlled, and an arithmetic unit for obtaining a measurement amount from the CCD camera controlled by the AGC circuit unit. And a color camera provided with a down-type RGB filter, the peak value of the wavelength of the laser beam, the transmittance of epsilon R of R filter selects a wavelength of 90% or more, the AGC circuit unit, the R filter determines whether the camera output is saturated, and if unsaturated, and the first correction gain calculated the ratio of the output D 0 of the camera output set value Vr and the R filter, further, the obtained first When the exposure time corresponding to the correction gain is obtained, the exposure time before correction is updated to the exposure time, and the camera output of the R filter is saturated, the saturation / unsaturation of the camera output of the B filter is further reduced. When the camera output of the B filter is unsaturated and is equal to or less than the lower limit value of the measurement range, the set value, the B filter, and the R filter are determined with respect to the camera output of the B filter. A value obtained by multiplying the transmittance ratio is obtained to obtain a second correction gain, an exposure time corresponding to the obtained second correction gain is obtained, the exposure time before correction is updated to the exposure time, and When saturation is within the measurement range, a third correction gain set in advance that becomes the output level of the measurement range when converted to the camera output of the R filter is selected, and the exposure time corresponding to the third correction gain is selected. The exposure time before correction is updated, and when the camera output of the B filter is saturated, when converted to the camera output of the R filter, a fourth correction gain that is set in advance becomes a measurement region The exposure time corresponding to the fourth correction gain is obtained, the exposure time before correction is updated to the exposure time, and the input light quantity of the CCD camera saturates the camera output of the R filter. In the case of excessive input, the first to fourth correction gains are obtained from the ratio of the transmittance of the B filter and the R filter with respect to the camera output of the B filter, and the camera output of the R filter is preset. The exposure time is determined so that the set value is obtained.
上記目的を達成するために本実施形態のCCDカメラを使用した測定装置の応答時間の短縮方法は、CCDカメラを使用した測定装置の応答時間の短縮方法であって、前記CCDカメラは、異なる透過率の2つ以上のフィルタ出力を同時に使用し、入力光量の最小値を検出する第1の透過率の大きいフィルタ出力の測定範囲の最大値(飽和値)と、第2の透過率の低い第2のフィルタ出力の測定範囲の(最小値)とがラップするような透過率とし、前記第1のフィルタ出力が飽和している場合には、前記第2のフィルタ出力から、前記第1の透過率と前記第2の透過率との比率から、前記第1のフィルタ出力に換算した露光時間の補正ゲインを求め、一回の制御周期(測定周期)で入力光量を検知し、次の制御周期で第1のフィルタの露光時間を更新するようにしたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the method for shortening the response time of the measuring apparatus using the CCD camera according to the present embodiment is a method for shortening the response time of the measuring apparatus using the CCD camera. Two or more filter outputs of the same rate are used at the same time to detect the minimum value of the input light quantity, the maximum value (saturation value) of the first high filter output measurement range, and the second low transmittance When the first filter output is saturated, the first transmission is obtained from the second filter output when the first filter output is saturated. A correction gain for the exposure time converted into the first filter output is obtained from the ratio of the rate and the second transmittance, the input light quantity is detected in one control cycle (measurement cycle), and the next control cycle At the exposure of the first filter Characterized by being adapted to update the.
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1乃至図9を参照して、実施例1のCCDカメラを使用した測定装置100について説明する。図1に示す測定装置100は、検出部1と、制御部2とを備える。検出部1は、被測定物3についての測定量を検出するためのCCDカメラ1aとレーザビーム等を照射する光源部1bとで構成され、検出部1は、予め測定量に応じた光学系が設定される。
A
制御部2は、測定量を求めるための制御周期を設定する制御回路2aと、CCDカメラからのカメラ出力を記憶するメモリ2bと、予め設定される制御周期内で制御される露光時間でカメラ信号を安定化するAGC回路部2cと、記憶した安定化されたカメラ出力のカメラデータから測定量を求める演算部2dとを備える。
The
CCDカメラ1aを備えた測定装置100は、検出器1の光学条件の設定と、制御部2で実行する演算アルゴリズムとが、求める測定量により変わるが、CCDカメラからのカメラ出力を安定化するAGC回路部2cの露光時間の制御は同じ機能での対応が可能である。
The measuring
ここでは、測定量が距離で、鋼板との距離を求める距離測定装置を例にして、そのAGCの応答時間の短縮について説明する。 Here, the shortening of the response time of the AGC will be described by taking a distance measuring device that obtains the distance from the steel plate as an example of the distance measured.
図1において、距離測定装置100は、被測定物3の表面に対してレーザビームを照射する光源部1bと、当該レーザビームの反射光の位置を検出するラインスキャン形のCCDカメラ1aとを備える検出部1と、CCDカメラ1aのカメラ出力から被測定物3との距離を求める制御部2とを備える。
In FIG. 1, a
また、制御部2は、CCDカメラ1aからのカメラ出力を記憶するメモリ2bと、記憶したカメラ出力のカメラデータと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値とを比較して、カメラ出力が一定になるようにCCDカメラ1aの露光時間を制御するAGC回路部2cと、AGC回路部2cで制御されたカメラデータから測定量を求める演算部2dとを備える。
Further, the
次に、各部の詳細について説明する。CCDカメラ1aは、ラインスキャン形でRGB(赤、緑、青)フィルタの出力が同時に、独立に取り出せるカメラであって、RGBフィルタ、CCD素子とその周辺回路を含むCCD1a1と、CCD1a1の出力をデジタル信号に変換するADC1a2と、制御部2から送信される露光時間設定信号に基づき受光光量を調整する露光時間制御回路1a3と、を備える。
Next, the detail of each part is demonstrated. The CCD camera 1a is a camera in which the output of an RGB (red, green, blue) filter is a line scan type and can be taken out independently at the same time. ADC 1a2 for converting into a signal, and an exposure time control circuit 1a3 for adjusting the amount of received light based on the exposure time setting signal transmitted from the
また、光源部1bは、被測定物3の表面で所定のレーザビーム形状に成形するコリメータ等の光学系を含むレーザダイオード(LD)1b1と、その電源駆動回路1b2と、レーザダイオード1b1の出力光量を設定する出力設定回路1b3と、を備える。
The
また、制御部2は、CCDカメラ1aからのRフィルタ、Gフィルタ、及びBフィルタのカメラ出力信号SR、SG、SBを記憶するメモリ2bと、記憶したカメラ出力のカメラデータDR、DG、DBと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値Vrとを比較して、カメラ出力が一定になるようにCCDカメラ1aの露光時間を制御するAGC回路部2cと、AGC回路部2cで制御されたカメラデータDRから測定量を求める演算部2dとを備える。
The
また、制御回路2aは、制御部2で求める測定量の制御周期信号Spを生成し、制御部2内の各部に供給するとともに、CCDカメラ1aからのカメラ出力信号をメモリ2bに転送するための制御を実行する。
In addition, the
次に、図2、図3を参照してAGC系統の系に関する各部の詳細設定について説明する。レーザダイオード(LD)1b1で生成するレーザビームの波長のピーク値は、Rフィルタの透過率εRが90%以上となる波長、例えば,650nmを発振できるものを選択する。このときのGフィルタ、Bフィルタの透過率εG、εRは、図3に示すように5%程度である。 Next, with reference to FIGS. 2 and 3, detailed setting of each part related to the AGC system will be described. The peak value of the wavelength of the laser beam generated by the laser diode (LD) 1b1 is selected so that the wavelength at which the transmittance ε R of the R filter becomes 90% or more, for example, 650 nm can be oscillated. At this time, the transmittances ε G and ε R of the G filter and the B filter are about 5% as shown in FIG.
AGC回路部2cの詳細構成は、メモリ2bからのカメラデータDR、DG、DBと予め設定される判定パラメータを判定パラメータ設定部2c2から読み出して、詳細を後述する露光時間を補正する補正ゲインαを図5に示す演算フローに基づき求める補正ゲイン演算部2c1と、前回の制御周期で設定されていた露光時間CTに補正ゲイン演算部2c1で求めた補正ゲインαを乗じて、更新された露光時間設定信号SCTを生成する露光時間演算部2c3と、被測定物3から反射される入力光量の条件から予め設定されるレーザ出力を指定するレーザ出力演算部2c4と、を備える。
Detailed configuration of the AGC circuit unit 2c reads camera data D R from the memory 2b, D G, a decision parameter that is set in advance and D B from the determination parameter setting unit 2c2, corrects the exposure time will be described in detail later correction The correction gain calculation unit 2c1 that obtains the gain α based on the calculation flow shown in FIG. 5 is updated by multiplying the exposure time CT set in the previous control cycle by the correction gain α obtained by the correction gain calculation unit 2c1. includes an exposure time calculation unit 2c3 for generating an exposure time setting signal S CT, and the laser output computing unit 2c4 for designating the laser output set in advance from the condition of the input amount of light reflected from the
ここで、このように構成されたAGC回路部2cを用いた距離測定装置のAGCの動作原理について説明し、次に、その詳細動作を説明する。 Here, the operation principle of the AGC of the distance measuring apparatus using the AGC circuit unit 2c configured as described above will be described, and then the detailed operation will be described.
本実施例の動作原理は、入力光量の測定範囲を拡大するために、CCDカメラ1aの異なる透過率の2つのフィルタ出力を同時に使用し、最小入力光量を検出する透過率の高いフィルタ出力の測定範囲と、透過率の低いフィルタ出力の測定範囲とを組み合わせて測定範囲を拡大し、1つの制御周期(測定周期)で入力光量を検知し、次の制御周期で露光時間を変更して、透過率の高いフィルタの出力を測定範囲に制御するようにして、露光時間の更新時間を短縮するものである。 The operating principle of the present embodiment is that, in order to expand the measurement range of the input light quantity, two filter outputs having different transmittances of the CCD camera 1a are simultaneously used to measure the filter output having a high transmittance for detecting the minimum input light quantity. The measurement range is expanded by combining the range and the measurement range of the filter output with low transmittance, the input light quantity is detected in one control cycle (measurement cycle), the exposure time is changed in the next control cycle, and transmission is performed. The update time of the exposure time is shortened by controlling the output of the high-rate filter within the measurement range.
この原理を上述したRGBの(カラー)フィルタを備えるCCDカメラ1aに適用した場合について、図4を参照して説明する。図4は縦軸に入力光量の強度を相対値で示し、Rフィルタの測定範囲MRと、Bフィルタの測定範囲MBとを矢印付直線でその範囲を示したものである。 A case where this principle is applied to the above-described CCD camera 1a having an RGB (color) filter will be described with reference to FIG. Figure 4 shows the intensity of the input light intensity on the vertical axis as relative values, showing the measuring range M R of R filter, the measuring range M B and its scope a straight line with arrows B filter.
光源部1bのレーザビームの波長が650nmの場合、Rフィルタの透過率εRとBフィルタの透過率εBは、図3に示したように18倍(=εR/εB=90%/5%)であるので、図4に示すようにRフィルタの測定範囲の上限(100%)は、Bフィルタの下限(12%)に一致する。
When the wavelength of the laser beam of the
また、入力光量の最小値PminがRフィルタの20%相当で、この最小入力光量の200倍が最大値Pmaxだとすると、Bフィルタの上限値までは、入力光量を知ることが出来るが、これを超える入力光量に対しては、超えたか否かしか判別できないことを示している。 If the minimum value Pmin of the input light amount is equivalent to 20% of the R filter and 200 times the minimum input light amount is the maximum value Pmax, the input light amount can be known up to the upper limit value of the B filter, but exceeds this value. It shows that it can only be determined whether or not the amount of input light has been exceeded.
また、Bフィルタの測定範囲内であれば、その入力光量をRフィルタの値に換算した入力光量として求めることが出来るので、Rフィルタの露光時間はBフィルタの入力光量を知ることで同時に求めることが出来る。 Also, if it is within the measurement range of the B filter, the input light quantity can be obtained as the input light quantity converted to the value of the R filter, so the exposure time of the R filter can be obtained simultaneously by knowing the input light quantity of the B filter. I can do it.
尚、Rフィルタの入力光量の測定範囲MRは、検出器1の光学設定条件により予め設定されるもので、例えば、被測定物3の反射特性と受光可能な検出器1の光学系の明るさ(効率)を予め設定し、CCDカメラ1aの検出感度と測定値を求める制御周期とから、被測定物3から受光可能な入力光量の最小値と最大値を予測しておく。
The measurement range M R input amount of R filters, intended to be set in advance by an optical setting condition of the
そして、最小の入力光量に対するレーザ出力とCCDカメラ1aの露光時間CTとを設定する。ここでは、入力光量の最小値Pminは、CCDカメラ1aのRフィルタの出力が雑音レベルの2倍以上の20%、また、最大値は、最小入力光量の200倍の、相対値で40と予測したものであるとする。 Then, the laser output for the minimum input light amount and the exposure time CT of the CCD camera 1a are set. Here, the minimum value Pmin of the input light amount is predicted to be 20% of the output of the R filter of the CCD camera 1a being twice or more of the noise level, and the maximum value is predicted to be 40 as a relative value, 200 times the minimum input light amount. Suppose that
次に、この様な原理に基づくAGC回路部2cの動作について、図5乃至図9を参照して説明する。図5は、AGC回路部2cの露光時間CTを更新するための補正ゲインαを求める演算動作をフロー図にしたものである。 Next, the operation of the AGC circuit unit 2c based on such a principle will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart showing the calculation operation for obtaining the correction gain α for updating the exposure time CT of the AGC circuit unit 2c.
図5において、カメラデータDR、DBは、夫々Rフィルタ、Bフィルタの出力を示し、そのカメラデータDR(B)の比較値が測定範囲MRの80%の場合には、DR80のように記述することにする。 In FIG. 5, camera data D R and D B indicate the outputs of the R filter and the B filter, respectively, and when the comparison value of the camera data D R (B) is 80% of the measurement range MR , D R 80 Will be described as follows.
また、図5に示す設定値や判定パラメータは、図2に示す判定パラメータ設定部2c2に予め記憶しておく。 Further, the setting values and determination parameters shown in FIG. 5 are stored in advance in the determination parameter setting unit 2c2 shown in FIG.
先ず、露光時間演算部2c3、レーザ出力演算部2c4からCCDカメラ1aと光源部1bに対して、夫々、露光時間CTとレーザ出力の初期値が設定される(s1)。
First, initial values of the exposure time CT and the laser output are set from the exposure time calculation unit 2c3 and the laser output calculation unit 2c4 to the CCD camera 1a and the
次に、メモリ2bからカメラデータDR、DBを読み出し(s2)、カメラデータDRが飽和しているか否かを判定する(s3)。飽和していないと判定された場合、さらにそのカメラデータが所定の設定値(制御目標値)の範囲内(DR80≧DR≧DR70)にあるか否かを判定し(s4)、そうである場合には、露光時間を更新せず次の演算に入る(s4―Y)。
Then, the camera data D R from the
範囲外(s4−N)と判定された場合には、設定値Vrに対する補正ゲインα1(=Vr/DR)を求める(s5)。そして、求めた補正ゲインα1に対応する露光時間CT1(=CTi×α1、CTi=更新前の露光時間)を露光時間演算部2c3で求め、露光時間設定信号SCTをCCDカメラ1aに送る(s6)。 When it is determined that it is out of range (s4-N), a correction gain α1 (= Vr / D R ) for the set value Vr is obtained (s5). The exposure time corresponding to the correction gain [alpha] 1 obtained CT1 (= CTi × α1, CTi = update before exposure time) determined at the exposure time calculation section 2c3, and sends an exposure time setting signal S CT to the CCD camera 1a (s6 ).
次に、カメラデータDRが飽和している(s3−Y)と判定された場合、カメラデータDBが飽和しているか否かを判定する(s7)。カメラデータDBが飽和していない場合、さらに、カメラデータDBが測定範囲の下限値(例えば、カメラデータDBの10%)以下であるか否かを判定し(s8)、そうでなければ(s8−N)、カメラデータDBの値をカメラデータDR換算して、カメラデータDRに対する補正ゲインα2(=Vr/(DB・εR/εB))を求める(s9)。 Then, when the camera data D R is determined to be saturated (s3-Y), and determines whether the camera data D B is saturated (s7). If the camera data D B is not saturated, and further, the camera data D B is the lower limit of the measurement range (e.g., 10% of the camera data D B) determines whether less or is (s8), otherwise if (s8-N), the value of the camera data D B in terms camera data D R, the correction gain for the camera data D R α2 (= Vr / ( D B · ε R / ε B)) Request (s9) .
さらに求めた補正ゲインα2に対応する露光時間CT2(=CTi×α2、CTi=更新前の露光時間)を露光時間演算部2c3で求め、露光時間設定信号SCTをCCDカメラ1aに送る(s6)。 Exposure time CT2 (= CTi × α2, CTi = update before exposure time) corresponding to the correction gain [alpha] 2 is further determined determined at exposure time calculation unit 2c3, and sends an exposure time setting signal S CT to the CCD camera 1a (s6) .
そうであれば(s8−Y)、即ち、カメラデータDBが測定範囲の下限値以下であれば、この時のカメラデータDRが測定範囲となる、予め設定される補正ゲインα3、例えば.1/2を選択して(s10)、選択した補正ゲインα2に対応する露光時間CT3(=CTi×α3、CTi=更新前の露光時間)を露光時間演算部2c3で求め、露光時間設定信号SCTをCCDカメラ1aに送り(s6)、さらに、更新された露光時間設定信号SCTでの制御周期におけるカメラデータDRを確認して、設定値の範囲を超えていれば、次の制御周期で露光時間設定信号SCTを更新する(s3−s4−s5)。 If so (s8-Y), i.e., if the camera data D B is less than the lower limit of the measuring range, correction gain α3 camera data D R at this time is the measurement range is set in advance, for example. 1/2 is selected (s10), the exposure time CT3 (= CTi × α3, CTi = exposure time before update) corresponding to the selected correction gain α2 is obtained by the exposure time calculator 2c3, and the exposure time setting signal S sends a CT to CCD camera 1a (s6), further confirms the camera data D R in the control period of the updated exposure time setting signal S CT, if beyond the range of the set value, the next control cycle The exposure time setting signal SCT is updated at (s3-s4-s5).
次に、カメラデータDBが飽和している場合(s7−Y)、この時のカメラデータDRが測定範囲となる、予め設定される補正ゲインα4、例えば、1/50を選択して(s11)、選択した補正ゲインα4に対応する露光時間CT4(=CTi×α4、CTi=更新前の露光時間)を露光時間演算部2c3で求め、露光時間設定信号SCTをCCDカメラ1aに送り(s6)、さらに、更新された露光時間設定信号SCTでの制御周期におけるカメラデータDRを確認して、設定値の範囲を超えていれば、次の制御周期で露光時間設定信号SCTを更新する(s3−s4−s5)。 Then, when the camera data D B is saturated (s7-Y), a camera data D R at this time is the measurement range, the correction gain α4 which is set in advance, for example, by selecting the 1/50 ( s11), an exposure time CT4 (= CTi × α4, CTi = exposure time before update) corresponding to the selected correction gain α4 is obtained by the exposure time calculator 2c3, and an exposure time setting signal S CT is sent to the CCD camera 1a ( s6), further confirms the camera data D R in the control period of the updated exposure time setting signal S CT, if beyond the range of the set value, the exposure time setting signal S CT in the next control cycle Update (s3-s4-s5).
選択した補正ゲインα3、α4は、ここでは、夫々1/2及び1/50を選択したが、カメラデータDBが測定範囲の下限値、または、上限値を超えた場合、想定される入力光量がカメラデータDRの範囲内となる値であれば、この値は何れでも良い。
Correction gain α3 selected, the
次に、図5のフローについて、4種の補正ゲインの演算動作の例について、そのタイムチャートを用いて説明する。図6は、CCDカメラ1aのRフィルタの出力が飽和していない場合の補正ゲインα1を求める場合の演算のタイムチャートである。 Next, an example of four types of correction gain calculation operations will be described with reference to the time chart in the flow of FIG. FIG. 6 is a time chart of the calculation when obtaining the correction gain α1 when the output of the R filter of the CCD camera 1a is not saturated.
制御周期SP0で検出したカメラデータは、次の制御周期SP1で読み出され、さらに、次の制御周期SP2でその補正ゲインα1を求め、制御周期の3倍を要して、更新された露光時間CT1でのカメラデータDR1が得られる様子を示しいている。 The camera data detected in the control cycle S P0 is read out in the next control cycle S P1 , and further, the correction gain α1 is obtained in the next control cycle S P2 and updated three times as long as the control cycle. It shows how the camera data DR1 is obtained at the exposure time CT1.
また、この時のカメラデータDR0が図4に示し相対光量で30%である場合、設定値Vrが75%である場合、その補正ゲインα1は2.5となり、この入力光量が変らなければ、露光時間を補正されたカメラデータDR1出力は制御周期の3倍後に75%となる。 Further, when the camera data DR0 at this time is 30% in relative light quantity as shown in FIG. 4 and the set value Vr is 75%, the correction gain α1 is 2.5, and this input light quantity does not change. The output of the camera data DR1 whose exposure time is corrected becomes 75% after three times the control period.
また、図7は、CCDカメラ1aのRフィルタの出力が飽和した場合の補正ゲインα2を求める場合の演算のタイムチャートである。 FIG. 7 is a time chart of the calculation for obtaining the correction gain α2 when the output of the R filter of the CCD camera 1a is saturated.
制御周期SP0で検出したカメラデータは、次の制御周期SP1で読み出され、さらに、次の制御周期SP2でその補正ゲインα2を求め、制御周期の3倍を要して、更新された露光時間CT1でのカメラデータDR2が得られる様子を示しいている。 The camera data detected in the control cycle S P0 is read out in the next control cycle S P1 , and further, the correction gain α2 is obtained in the next control cycle S P2 and updated three times the control cycle. It shows how camera data DR2 is obtained at the exposure time CT1.
また、カメラデータDRが図4に示し相対光量で540%である場合(s8、s9)、その補正ゲインα2は0.139となり、この入力光量が変らなければ、露光時間を補正されたカメラデータDR2出力は、制御周期の3倍後に75%となる。 Also, if the camera data D R is 540% in the relative light amount shown in FIG. 4 (s8, s9), the correction gain α2 is next 0.139 unless Henra this amount of input light, a camera that is corrected exposure time The data DR2 output becomes 75% after three times the control period.
また、図8は、CCDカメラ1aのRフィルタの出力が飽和し、Bフィルタの出力が下限値いかとなった場合の補正ゲインα3、α1を求める場合の演算のタイムチャートである。 FIG. 8 is a time chart of the calculation when obtaining the correction gains α3 and α1 when the output of the R filter of the CCD camera 1a is saturated and the output of the B filter becomes the lower limit value.
制御周期SP0で検出したカメラデータは、次の制御周期SP1で読み出され、さらに、次の制御周期SP2でその補正ゲインα3を求め、制御周期の3倍を要して、更新された露光時間CT31でのカメラデータDR31が、さらに、カメラデータDR31は測定範囲に無いので、もう3倍の制御周期を要して、更新された露光時間CT32で補正されたカメラデータDR32が得られる様子を示しいている。 The camera data detected in the control cycle S P0 is read out in the next control cycle S P1 , and further, the correction gain α3 is obtained in the next control cycle S P2 and updated three times as long as the control cycle. camera data D R31 in exposure time CT31 was further, since the camera data D R31 is not in the measurement range, it takes a control period of three more times, the camera data D R32 corrected by the updated exposure time CT32 Is shown.
この場合のカメラデータDRは、図4に示した相対光量で100%、カメラデータDBが相対光量で5.6%である場合(s8、s10)、その補正ゲインα3は0.5となり、この入力光量が変らなければ、さらに、露光時間CT31を露光時間CT32に更新し、補正されたカメラデータDR32を制御周期の6倍を要した後に得ることができる。
Camera data D R in this
また、図9は、CCDカメラ1aのRフィルタの出力が飽和し、さらにBフィルタの出力が飽和した場合の補正ゲインα4、α1を求める場合の演算のタイムチャートである。 FIG. 9 is a time chart of the calculation when obtaining the correction gains α4 and α1 when the output of the R filter of the CCD camera 1a is saturated and the output of the B filter is saturated.
制御周期SP0で検出したカメラデータは、次の制御周期SP1で読み出され、さらに、次の制御周期SP2でその補正ゲインα4を求め、制御周期の3倍を要して、更新された露光時間CT41でのカメラデータDR41が、さらに、カメラデータDR41が測定範囲に無いので、もう3倍の制御周期を要して、更新された露光時間CT42で補正されたカメラデータDR42が得られる様子を示しいている。 The camera data detected in the control cycle S P0 is read out in the next control cycle S P1 , and further, the correction gain α4 is obtained in the next control cycle S P2 and updated three times the control cycle. Further, since the camera data D R41 at the exposure time CT41 is not in the measurement range, the camera data D R42 corrected by the updated exposure time CT42 is required since the camera data D R41 is not in the measurement range. Is shown.
この場合のカメラデータDRは、図4に示した相対光量で1800%、カメラデータDBが相対光量で100%である場合(s8、s11)、その補正ゲインα4は0.02となり、この入力光量が変らなければ、さらに、露光時間CT41を露光時間CT42に更新して、補正されたカメラデータDR42を制御周期の6倍を要した後に得ることが出来る。 Camera data D R in this case is 1800% in the relative amount of light shown in FIG. 4, when camera data D B is 100% in the relative light amount (s8, s11), the correction gain α4 is 0.02, and this if Henra input light intensity, furthermore, to update the exposure time CT41 the exposure time CT42, corrected camera data D R42 can be obtained after over 6 times the control cycle.
尚、本実施例では、異なる透過率の一方のフィルタとしてBフィルタを選択して説明したが、Gフィルタを使用しても選択したレーザビームの波長が650nmの場合には、同様の効果が得られる。 In this embodiment, the B filter is selected as one filter having different transmittances. However, even when the G filter is used, the same effect can be obtained when the wavelength of the selected laser beam is 650 nm. It is done.
以上説明したように、本実施例によれば、入力光量の測定範囲を拡大するために、CCDカメラ1aの異なる透過率の2つのフィルタ出力を同時に使用し、入力光量の最小値を検出する透過率の高いフィルタ出力の測定範囲と、透過率の低いフィルタ出力の測定範囲とを組み合わせて測定範囲を拡大し、1つの制御周期で入力光量を検知し、次の制御周期で透過率の高いフィルタ出力の露光時間を更新しているので、入力光量の変化範囲が大きくても露光時間の更新を早くすることが出来る。 As described above, according to the present embodiment, in order to expand the measurement range of the input light amount, the two filter outputs having different transmittances of the CCD camera 1a are simultaneously used to detect the minimum value of the input light amount. A high filter output measurement range and a low transmittance filter output measurement range are combined to expand the measurement range, detect the amount of input light in one control cycle, and filter with a high transmittance in the next control cycle Since the output exposure time is updated, the exposure time can be updated more quickly even if the input light quantity change range is large.
即ち、本実施例によれば、予め設定された制御周期における蓄積時間において、CCDカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量に対して、最短時間で測定可能なCCDカメラ信号を得ることが可能な測定装置、及びその応答時間の短縮方法を提供することができる。 That is, according to the present embodiment, it is possible to obtain a CCD camera signal that can be measured in the shortest time with respect to an excessive input light amount exceeding the saturation exposure amount of the CCD camera during the accumulation time in a preset control cycle. Can be provided, and a method for shortening the response time.
図10、図11を参照して、実施例2について説明する。実施例2について、実施例1と同一部分は同じ符号を付し、その説明を省略する。 A second embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11. In the second embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
実施例2が実施例1と異なる点は、実施例1においては、入力光量の測定範囲を拡大するためのフィルタとして、RGBのカラーフィルタを使用したが、実施例2ではRGBのカラーフィルタに変えて、分光透過率が平坦な3種の異なる透過率のニュートラルデンシティフィルタ、フィルタND0、ND1,ND2を使用するようにした点が異なる。 The difference between the second embodiment and the first embodiment is that in the first embodiment, an RGB color filter is used as a filter for expanding the measurement range of the input light quantity. However, in the second embodiment, the RGB color filter is used instead. The difference is that three types of neutral density filters having different transmittances and filters ND0, ND1, and ND2 having a flat spectral transmittance are used.
詳細には、図10に示すように、CCDカメラ1aは、ラインスキャン形の複数の異なる透過率のNDフィルタ毎の出力を得られるカメラとし、NDフィルタは、透過率εND0のフィルタND0、透過率εND1のフィルタND1、透過率εND2のフィルタND2で構成し、且つ、夫々の透過率の大きさは、εND0>εND1>εND2、且つ、フィルタND0の測定範囲の最大値(飽和値)とフィルタのND1の測定範囲の下限値、また、フィルタND1の測定範囲の最大値とフィルタND2の測定範囲の下限値とが夫々ラップするような透過率とする。 Specifically, as shown in FIG. 10, CCD camera 1a is a camera which is obtained an output of each ND filter of a plurality of different transmission line scan type, the ND filter, the transmittance epsilon ND0 filter ND0, transparent The filter ND1 having a rate ε ND1 and the filter ND2 having a transmittance ε ND2 have a transmittance of ε ND0 > ε ND1 > ε ND2 and the maximum value of the measurement range of the filter ND0 (saturation). Value) and the lower limit value of the measurement range of the filter ND1, and the transmittance such that the maximum value of the measurement range of the filter ND1 and the lower limit value of the measurement range of the filter ND2 overlap each other.
例えば、透過率の大きさは、εND0=1.0、εND1=1/8、εND2=1/82の値を選択したとすると、フィルタND0では、減光することなく入力光の最小値を受光できる。また、フィルタ間の測定範囲のラップ量は、各フィルタでの測定範囲を最大値100%〜最小値10%とすると、フィルタND0の測定範囲の最大値とフィルタND1の測定範囲の下限値、フィルタND1の測定範囲の最大値とフィルタND2の測定範囲の下限値の夫々のラップ長は2%となり、3つのフィルタで入力光量(相対地)の測定範囲を0.2〜64間で拡大可能である。
For example, if the values of transmittance are selected as ε ND0 = 1.0, ε ND1 = 1/8, and ε ND2 = 1/8 2 , the
このように構成されたCCDカメラ1aの設定条件によれば、図11に示すように、入力光量の変化が320倍(=64/0.2)あった場合でもいずれかのフィルタの出力からその値が検知出来るので、AGC回路部2cでの補正ゲインの演算は、3種類で、且つ補正ゲインの演算は一回の制御周期のみで可能となる。 According to the setting conditions of the CCD camera 1a configured in this way, as shown in FIG. 11, even when the change in the input light amount is 320 times (= 64 / 0.2), the output of any filter can Since the value can be detected, the calculation of the correction gain in the AGC circuit unit 2c can be performed in three types, and the calculation of the correction gain can be performed only in one control cycle.
以下そのAGC回路部2cの制御動作を、図11の補正ゲインを求める演算フローを参照して説明する。図11において、カメラデータD0、D1、D2、は、夫々メモリ2bから読み出した、フィルタND0、フィルタND1,フィルタND2の出力を示し、そのカメラデータD0(〜2)の比較値が測定範囲MND0の80%の場合には、D080のように記述することにする。
The control operation of the AGC circuit unit 2c will be described below with reference to the calculation flow for obtaining the correction gain in FIG. In FIG. 11, camera data D 0 , D 1 , D 2 indicate the outputs of the filters ND 0 ,
また、図11に示す設定値や判定パラメータは、図2に示す判定パラメータ設定部2c2に予め記憶しておく。 Also, the setting values and determination parameters shown in FIG. 11 are stored in advance in the determination parameter setting unit 2c2 shown in FIG.
先ず、露光時間演算部2c3、レーザ出力演算部2c4からCCDカメラ1aと光源部1bに対して、露光時間CTとレーザ出力の初期値とが夫々設定される(s1)。
First, the exposure time CT and the initial value of the laser output are respectively set for the CCD camera 1a and the
次に、メモリ2bからカメラデータD0、D1、D2を読み出し(s2)、カメラデータD0が飽和しているか否かを判定する(s3)。飽和していないと判定された場合、さらにそのカメラデータが所定の設定値Vr(制御目標値)の範囲内(D080≧D0≧D070)にあるか否かを判定し(s4)、そうである場合には、露光時間を更新せず次の演算に入る(s4―Y)。
Next, the camera data D 0 , D 1 and D 2 are read from the
範囲外(s4−N)と判定された場合には、AGC回路部2c1は、カメラ出力レベルの設定値VrとNDフィルタの出力D0との比率を求め補正ゲインα11(=Vr/D0)を求め、さらに、求めた補正ゲインα11に対応する露光時間CT11(=CTi×α11)を求め、補正前の露光時間CTiを露光時間CT11に更新する(s6)。 Range if (s4-N) was determined to the AGC circuit 2c1 is the ratio of the output D 0 of the set value Vr of the camera output level and the ND filter calculated correction gain α11 (= Vr / D 0) Further, an exposure time CT11 (= CTi × α11) corresponding to the obtained correction gain α11 is obtained, and the exposure time CTi before correction is updated to the exposure time CT11 (s6).
フィルタND0のカメラ出力が飽和している場合、さらに、フィルタND1のカメラ出力の飽和・不飽和を判定し(s7)、フィルタND1のカメラ出力が不飽和の場合、フィルタND1のカメラ出力D1に対して、設定値VrとフィルタND0の出力D0との比率(εND0/εND1)から、補正ゲインα12(=Vr/(D1・εND0/εND1))を求め、さらに、求めた補正ゲインα12に対応する露光時間CT12(=CTi×α12)を求め(s8)、補正前の露光時間CTiを前記露光時間CT12に更新する(s6)。 If the camera output of the filter ND0 is saturated, further determines saturated or unsaturated camera output of the filter ND1 (s7), if the camera output of the filter ND1 is unsaturated, the camera output D 1 of the filter ND1 On the other hand, a correction gain α12 (= Vr / (D 1 · ε ND0 / ε ND1 )) is obtained from the ratio (ε ND0 / ε ND1 ) between the set value Vr and the output D 0 of the filter ND 0, and further obtained. An exposure time CT12 (= CTi × α12) corresponding to the correction gain α12 is obtained (s8), and the exposure time CTi before correction is updated to the exposure time CT12 (s6).
また、フィルタND1のカメラ出力が飽和している場合、フィルタND2のカメラ出力D2に対して、設定値Vrと、フィルタND0の出力D0との比率(εND0/εND2)から補正ゲインα13(=Vr/(D2・εND0/εND2))を求める(s9)。 Also, if the camera output of the filter ND1 is saturated, the correction gain with respect to the camera output D 2 filter ND2, a setting value Vr, from the ratio of the output D 0 of the filter ND0 (ε ND0 / ε ND2) α13 (= Vr / (D 2 · ε ND0 / ε ND2 )) is obtained (s9).
さらに、求めた補正ゲインα13に対応する露光時間CT13(=CTi×α13)を求め、補正前の露光時間CTiを露光時間CT13に更新する(s6)。 Further, an exposure time CT13 (= CTi × α13) corresponding to the obtained correction gain α13 is obtained, and the exposure time CTi before correction is updated to the exposure time CT13 (s6).
即ち、CCDカメラのフィルタND0のカメラ出力を飽和させるような過大な入力光量があった場合、その程度をフィルタND1のカメラ出力、またはフィルタND2のカメラ出力からフィルタND0に対する補正ゲインを求め、一回の蓄積時間の変更で測定が可能となるので、入力光量の測定範囲が大きく急変する場合でも、応答時間が短縮できる。 That is, when there is an excessive input light amount that saturates the camera output of the filter ND0 of the CCD camera, a correction gain for the filter ND0 is obtained from the camera output of the filter ND1 or the camera output of the filter ND2 to that extent. Since the measurement can be performed by changing the accumulation time, the response time can be shortened even when the measurement range of the input light quantity changes greatly.
尚、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明と均等の範囲に含まれる。 In addition, although some embodiment of this invention was described, these embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the scope equivalent to the invention described in the claims.
1 検出部
1a CCDカメラ
1a1 CCD
1a2 ADC
1a3 露光制御回路
1b 光源部
1b1 LD
1b2 電源駆動回路
1b3 出力設定回路
2 制御部
2a 制御回路
2b メモリ
2c AGC回路
2c1 補正ゲイン演算部
2c2 判定パラメータ設定部
2c3 露光時間演算部
2c4 レーザ出力演算部
2d 演算部
3 被測定物
100 測定装置
1 detector 1a CCD camera 1a1 CCD
1a2 ADC
1a3
1b2 Power supply drive circuit 1b3
Claims (4)
前記制御部は、前記CCDカメラからのカメラ出力信号を記憶するメモリと、記憶した前記カメラ出力信号のカメラデータと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値とを比較して、当該カメラ出力が一定になるように前記CCDカメラの露光時間を制御するAGC回路部と、前記AGC回路部で制御された前記CCDデータから前記測定量を求める演算部と、
を備え、
前記CCDカメラは、ラインスキャン形の複数の異なる透過率のNDフィルタ毎の出力を得られるカメラとし、前記NDフィルタは、透過率εND0の第1のNDフィルタ、透過率εND1の第2のNDフィルタ、透過率εND2の第3のNDフィルタで構成され、
前記透過率の大きさは、εND0>εND1>εND2、且つ、前記第1のNDフィルタのカメラ出力の飽和値(上限値)と前記第2のNDフィルタの測定範囲の下限値、また、前記第2のNDフィルタの飽和値と前記第3のNDフィルタの測定範囲の下限値とが夫々ラップするような透過率とし、
前記AGC回路部は、前記第1のNDフィルタのカメラ出力が飽和しているか否かを判定し、不飽和の場合、前記カメラ出力レベルの設定値Vrと当該第1のNDフィルタの出力D0との比率を求め第1の補正ゲインα1を求め、さらに、求めた第1の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、
前記第1のNDフィルタのカメラ出力が飽和している場合、さらに、前記第2のNDフィルタのカメラ出力の飽和・不飽和を判定し、前記第2のNDフィルタのカメラ出力が不飽和の場合、当該第2のNDフィルタ2カメラ出力D1に対して、前記設定値と、前記第1のNDフィルタの出力D1との比率から第2の補正ゲインを求め、さらに、求めた第2の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、
前記第2のNDフィルタのカメラ出力が飽和している場合、当該第3のNDフィルタのカメラ出力D2に対して、前記設定値Vrと、前記第1のNDフィルタの出力との比率から第3の補正ゲインを求め、さらに、求めた第3の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、前記CCDカメラの前記第1のNDフィルタのカメラ出力を飽和させるような過大な入力光量があった場合、その程度を前記第2のNDフィルタのカメラ出力、または前記第3のNDフィルタのカメラ出力から前記第1のNDフィルタに対する補正ゲインを求め、一回の蓄積時間の変更で測定が可能となるようにしたことを特徴とするCCDカメラを使用した測定装置。 A shape of the object to be measured from the output of the CCD camera, a detection part comprising a light source part for irradiating the surface of the object to be measured with a laser beam, a line scan type CCD camera for detecting the reflected light of the laser beam A measuring device including a control unit for obtaining a measurement amount such as
The control unit compares the memory of the camera output signal from the CCD camera with the stored camera data of the camera output signal and a preset value of the camera output level, and the camera output is constant. An AGC circuit unit for controlling the exposure time of the CCD camera so as to be, a calculation unit for obtaining the measurement amount from the CCD data controlled by the AGC circuit unit,
With
The CCD camera is a camera capable of obtaining an output for each of a plurality of ND filters of a line scan type having different transmittances. The ND filter is a first ND filter having a transmittance ε ND0 and a second ND filter having a transmittance ε ND1 . ND filter, comprising a third ND filter with transmittance ε ND2 ,
The magnitude of the transmittance is ε ND0 > ε ND1 > ε ND2 , and the saturation value (upper limit value) of the camera output of the first ND filter and the lower limit value of the measurement range of the second ND filter, , And a transmittance such that the saturation value of the second ND filter and the lower limit value of the measurement range of the third ND filter wrap,
The AGC circuit unit determines whether or not the camera output of the first ND filter is saturated. If the output is not saturated, the set value Vr of the camera output level and the output D 0 of the first ND filter are determined. The first correction gain α1 is obtained, the exposure time corresponding to the obtained first correction gain is obtained, the exposure time before correction is updated to the exposure time,
When the camera output of the first ND filter is saturated, it is further determined whether the camera output of the second ND filter is saturated, and when the camera output of the second ND filter is unsaturated Then, for the second ND filter 2 camera output D 1 , a second correction gain is obtained from the ratio between the set value and the output D 1 of the first ND filter. Find the exposure time corresponding to the correction gain, update the exposure time before correction to the exposure time,
If the camera output of the second ND filter is saturated, the the ratio of the camera output D 2 of the third ND filter, and the setting value Vr, the output of the first ND filter 3 is obtained, the exposure time corresponding to the obtained third correction gain is obtained, the exposure time before correction is updated to the exposure time, and the camera output of the first ND filter of the CCD camera is obtained. If there is an excessive amount of input light that saturates, the correction gain for the first ND filter is determined from the camera output of the second ND filter or the camera output of the third ND filter. A measuring apparatus using a CCD camera, characterized in that measurement can be performed by changing the accumulation time once.
前記制御部は、前記CCDカメラからのカメラ出力信号を記憶するメモリと、記憶した前記カメラ出力信号のカメラデータと予め設定されるカメラ出力レベルの設定値とを比較して、当該カメラ出力が一定になるように前記CCDカメラの露光時間を制御するAGC回路部と、前記AGC回路部で制御された前記CCDカメラから測定量を求める演算部と、
を備え、
前記CCDカメラは、ラインスキャン形のRGBフィルタを備えるカラーカメラとし、
前記レーザビームの波長のピーク値は、前記Rフィルタの透過率εRが90%以上となる波長を選択し、
前記AGC回路部は、前記Rフィルタのカメラ出力が飽和しているか否かを判定し、不飽和の場合、前記カメラ出力設定値Vrと当該Rフィルタの出力D0の比率を求め第1の補正ゲインとし、さらに、求めた第1の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、
前記Rフィルタのカメラ出力が飽和している場合、さらに、前記Bフィルタのカメラ出力の飽和・不飽和を判定し、前記Bフィルタのカメラ出力が不飽和、且つ、測定範囲の下限値以下の場合、当該Bフィルタのカメラ出力に対して、前記設定値と、前記Bフィルタと前記Rフィルタの透過率の比率を乗じた値を求めて第2の補正ゲインを求め、さらに、求めた第2の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、
不飽和、且つ、測定範囲にある場合、Rフィルタのカメラ出力に換算した場合に測定範囲の出力レベルとなる予め設定する第3の補正ゲインを選択し、当該第3の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間更新し、
前記Bフィルタのカメラ出力が飽和している場合、Rフィルタのカメラ出力に換算した場合に測定領域となる予め設定する第4の補正ゲインを選択し、当該第4の補正ゲインに対応する露光時間を求め、補正前の露光時間を前記露光時間に更新し、
前記CCDカメラの入力光量が、前記Rフィルタのカメラ出力を飽和させるような過大な入力の場合、前記Bフィルタのカメラ出力に対して、前記Bフィルタと前記Rフィルタの透過率の比率から前記第1〜第4の補正ゲインを求め、前記Rフィルタのカメラ出力が予め設定した設定値となるような露光時間求めるようにしたことを特徴とするCCDカメラを使用した測定装置。 A detection unit comprising a light source unit for irradiating the surface of the object to be measured with a laser beam, a line scan type CCD camera for detecting the position of the reflected light of the laser beam, and the measurement object from the output of the CCD camera A measuring device including a control unit for obtaining a measurement amount such as a shape of
The control unit compares the memory of the camera output signal from the CCD camera with the stored camera data of the camera output signal and a preset value of the camera output level, and the camera output is constant. An AGC circuit unit for controlling the exposure time of the CCD camera so as to be, a calculation unit for obtaining a measurement amount from the CCD camera controlled by the AGC circuit unit,
With
The CCD camera is a color camera having a line scan type RGB filter,
For the peak value of the wavelength of the laser beam, select a wavelength at which the transmittance ε R of the R filter is 90% or more,
The AGC circuit unit determines whether or not the camera output of the R filter is saturated. If the output is not saturated, the AGC circuit unit obtains a ratio between the camera output set value Vr and the output D 0 of the R filter and performs first correction. A gain, and an exposure time corresponding to the obtained first correction gain is obtained, and the exposure time before correction is updated to the exposure time,
When the camera output of the R filter is saturated, the camera output of the B filter is further determined to be saturated / unsaturated, and the camera output of the B filter is unsaturated and below the lower limit of the measurement range The second correction gain is obtained by obtaining a value obtained by multiplying the camera output of the B filter by the set value and the ratio of the transmittance of the B filter and the R filter, and further obtaining the second correction gain. Find the exposure time corresponding to the correction gain, update the exposure time before correction to the exposure time,
When unsaturated and within the measurement range, a third correction gain set in advance that becomes the output level of the measurement range when converted to the camera output of the R filter is selected, and exposure corresponding to the third correction gain is selected. Find the time, update the exposure time before correction, the exposure time,
When the camera output of the B filter is saturated, a fourth correction gain set in advance as a measurement region when converted to the camera output of the R filter is selected, and an exposure time corresponding to the fourth correction gain is selected. , And update the exposure time before correction to the exposure time,
When the input light quantity of the CCD camera is an excessive input that saturates the camera output of the R filter, the first output is based on the ratio of the transmittance of the B filter and the R filter with respect to the camera output of the B filter. A measuring apparatus using a CCD camera, wherein first to fourth correction gains are obtained, and an exposure time is obtained such that a camera output of the R filter becomes a preset value.
前記CCDカメラは、異なる透過率の2つ以上のフィルタ出力を同時に使用し、
入力光量の最小値を検出する第1の透過率の大きいフィルタ出力の測定範囲の最大値(飽和値)と、第2の透過率の低い第2のフィルタ出力の測定範囲の(最小値)とがラップするような透過率とし、
前記第1のフィルタ出力が飽和している場合には、前記第2のフィルタ出力から、前記第1の透過率と前記第2の透過率との比率から、前記第1のフィルタ出力に換算した露光時間の補正ゲインを求め、
一回の制御周期(測定周期)で入力光量を検知し、次の制御周期で第1のフィルタの露光時間を更新するようにしたことを特徴とするCCDカメラを使用した測定装置の応答時間の短縮方法。 A method for shortening the response time of a measuring apparatus using a CCD camera,
The CCD camera uses two or more filter outputs with different transmittances simultaneously,
The maximum value (saturation value) of the filter output measurement range having the first high transmittance for detecting the minimum value of the input light amount, and the (minimum value) of the measurement range of the second filter output having the second low transmittance. Is a transmittance that wraps,
When the first filter output is saturated, the second filter output is converted into the first filter output from the ratio between the first transmittance and the second transmittance. Find the exposure time correction gain,
The input light quantity is detected in one control cycle (measurement cycle), and the exposure time of the first filter is updated in the next control cycle. Shortening method.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011082947A JP5898412B2 (en) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | Measuring device using a CCD camera |
PCT/JP2012/001766 WO2012137420A1 (en) | 2011-04-04 | 2012-03-14 | Measurement device using ccd camera, and method for shortening response time thereof |
CN201280002200.XA CN103038602B (en) | 2011-04-04 | 2012-03-14 | Employ the determinator of ccd video camera and the method for reducing of its response time |
KR1020137003231A KR101464090B1 (en) | 2011-04-04 | 2012-03-14 | Measurement device using ccd camera, and method for shortening response time thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011082947A JP5898412B2 (en) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | Measuring device using a CCD camera |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012220207A true JP2012220207A (en) | 2012-11-12 |
JP5898412B2 JP5898412B2 (en) | 2016-04-06 |
Family
ID=46968836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011082947A Expired - Fee Related JP5898412B2 (en) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | Measuring device using a CCD camera |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5898412B2 (en) |
KR (1) | KR101464090B1 (en) |
CN (1) | CN103038602B (en) |
WO (1) | WO2012137420A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020178082A (en) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and photoelectric conversion system |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111624579B (en) * | 2020-03-31 | 2021-02-12 | 上海北斗导航创新研究院 | System and method for testing illumination change adaptability of multiband stereoscopic vision sensor |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412216A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Nissan Motor | Detection of position |
JPH09126758A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Honda Motor Co Ltd | Environment recognizing device for vehicle |
JP2010223950A (en) * | 2009-02-24 | 2010-10-07 | Keyence Corp | Optical displacement meter |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4350207B2 (en) * | 1999-06-01 | 2009-10-21 | オリンパス株式会社 | Ranging device |
JP3966804B2 (en) * | 2002-11-15 | 2007-08-29 | 株式会社東芝 | Distance detecting device, thickness measuring device and method thereof |
TWI560456B (en) | 2009-03-20 | 2016-12-01 | Bravechips Microelectronics | Method of parallel ic test and wafer containing same function dies under test and ic chips containing same function blocks under test |
-
2011
- 2011-04-04 JP JP2011082947A patent/JP5898412B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-03-14 KR KR1020137003231A patent/KR101464090B1/en active IP Right Grant
- 2012-03-14 CN CN201280002200.XA patent/CN103038602B/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-03-14 WO PCT/JP2012/001766 patent/WO2012137420A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412216A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Nissan Motor | Detection of position |
JPH09126758A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Honda Motor Co Ltd | Environment recognizing device for vehicle |
JP2010223950A (en) * | 2009-02-24 | 2010-10-07 | Keyence Corp | Optical displacement meter |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020178082A (en) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | Photoelectric conversion device and photoelectric conversion system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5898412B2 (en) | 2016-04-06 |
CN103038602B (en) | 2016-01-27 |
KR20130036322A (en) | 2013-04-11 |
KR101464090B1 (en) | 2014-11-21 |
WO2012137420A1 (en) | 2012-10-11 |
CN103038602A (en) | 2013-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9882343B2 (en) | Narrow band laser apparatus | |
JP2013161069A (en) | Image display unit | |
JP5898412B2 (en) | Measuring device using a CCD camera | |
JP4736436B2 (en) | Projection type display device and multi-screen display device | |
JPH0618414B2 (en) | Color image reading device | |
US10554941B2 (en) | Projector device and method for correcting color in projector device | |
JP5117039B2 (en) | Film thickness measuring method and film thickness measuring apparatus | |
JP2006210826A (en) | Optical device, control method thereof, laser module, laser apparatus, control unit thereof, and control method of laser apparatus | |
JP6152754B2 (en) | Light source device | |
US10444360B2 (en) | Displacement measurement device, measurement system, and displacement measurement method | |
JP2019204017A (en) | Color correction method of image projection device | |
JP2013002992A (en) | Cross-sectional area measuring device, program | |
JP7028667B2 (en) | Laser device and control method of laser device | |
CN115241727B (en) | Laser control method, laser and laser system | |
JP4738516B2 (en) | Imaging apparatus and imaging method | |
JP2013210508A (en) | Liquid crystal display device and calibration method thereof | |
US20220132085A1 (en) | Light amount adjusting device, projection device, and light amount adjusting method | |
WO2022185796A1 (en) | Displacement sensor | |
JP5480685B2 (en) | Exposure quality control method | |
JP2005235954A (en) | Means for adjusting quantity of light of a plurality of laser light sources, and laser microscope using the same | |
JP2021165779A (en) | Light quantity measurement apparatus and control method therefor | |
JP2007235208A (en) | Image evaluating device and calibration method for image evaluation device | |
JPH0229156A (en) | Luminous quantity controller | |
JP2013109103A (en) | Projection type video display device and multiscreen system using the same | |
JP6057537B2 (en) | Image display device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150109 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20150218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160304 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5898412 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |