JP2012215588A - 電子部品の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱伝導部材の上面に対して接離可能に配置された蒸発器35に、冷媒圧縮機51からの供給冷媒Msを供給する冷媒供給配管48と、蒸発器35にて蒸発した供給冷媒Msからなる回収冷媒Mrを冷媒圧縮機51へ回収する冷媒回収配管49とを接続する。冷媒回収配管49には、ICチップTの搬送に伴って可動するようにホース配管49Bが設けられ、ホース配管49Bには、回収冷媒加熱器H2にてホース配管49Bを硬化させない温度に加熱された回収冷媒Mrを流通させる。そして、冷媒回収配管49におけるホース配管49Bと冷媒圧縮機51との間と、冷媒供給配管48との間に第1のバイパス配管59を設けて供給冷媒Msの一部を回収冷媒Mrに合流させる。
【選択図】図3
Description
この電子部品の検査装置によれば、可動配管は屈曲性のある高圧ホースであるので、高頻度の電子部品の搬送に対しても長時間の耐久性を維持することができる。また、ホースは、低温では硬化して屈曲性が低下して耐久性も悪くなるが、硬化されない温度に加熱された回収冷媒を流通させることでより長い耐久性を維持することができる。
この電子部品の検査装置によれば、第1のバイパス配管に設けられた膨張器により回収冷媒に合流された供給冷媒が蒸発して低温になりやすいようにする。従って、可動配管を硬化させない温度にされた回収冷媒を効率よく低温にして冷媒圧縮機に回収させることができる。また、回収冷媒の温度をより下げることで、冷媒圧縮機の寿命をより長くすることができる。
ICハンドラ10は、ベース11、安全カバー12、高温チャンバ13、供給ロボット14、回収ロボット15、第1シャトル16、第2シャトル17、複数のコンベアC1〜C6を備えている。
断熱筒33の一側壁には、上面と下面との間を貫通する給気孔33Cが形成されている。給気孔33Cの下端は、断熱筒33の内側面まで延出形成されている。給気孔33Cの上端は、上部フレーム30に形成された給気孔30Dと接続されている。給気孔30Dは上部フレーム30の上面から下面に向かって貫通形成されている。
蒸発器35には、図3に示すように、その凸部35Aの上部に、冷媒供給配管48及び冷媒回収配管49が接続されている。
ハンド側配管49Aは、剛性を有する材料により形成されていて、その基端は、蒸発器35に接続されている。すなわち、ハンド側配管49Aは、蒸発器35を移動させる測定ロボット22や測定ハンド22Aの移動に伴って移動する。ハンド側配管49Aには、回収冷媒加熱器H2が固着されている。
ホース配管49Bは、柔軟性や屈曲性のある部材により形成された高圧ホース、例えば、高圧樹脂ホースや高圧ゴムホースであり、これらの高圧ホースは、低温、例えば氷点以下で硬化する性質を有している。ホース配管49Bの先端には、ベース側配管49Cが接続されている。
アキュムレータ58は、回収冷媒Mrに含まれる蒸発器35で蒸発し切れなかった冷媒の液体分を分離する液分離器である。アキュムレータ58は、回収冷媒Mrから冷媒の液体分を取り除くことで、冷媒圧縮機51が液体を吸入して弁や弁蓋などを損傷することを防いでいる。
ICハンドラ10は、図4に示すように、第2の開度調整手段としての制御装置60を備えている。
尚、冷媒圧縮機51は、冷却サイクル回路に常に供給冷媒Msを供給しているものとする。RAMのメモリには、冷媒の密度に基づく第2の目標値としての第2の目標温度の値を保存するアドレスが確保され、所定の値が格納されているものとする。第2の目標温度は、加熱基準温度よりも低い温度であり、回収冷媒温度と比較して回収冷媒Mrの温度を上昇させるかどうかを判断する温度である。
回収冷媒Mrの温度を算出すると、制御装置60は、回収冷媒Mrの温度が第2の目標温度以下かどうかを判断する(ステップS2)。
回収冷媒Mrを加熱する工程では、制御装置60は、冷媒用電磁弁制御信号Sv2に基づいて冷媒用電磁弁であるホットガス電磁弁V2が閉じているかどうかを判断する(ステップS3)。
回収冷媒Mrの温度が第2の目標温度の値以下ではない場合(ステップS2でNO)、制御装置60は、回収冷媒Mrを加熱しない工程を行なう。
ホットガス電磁弁V2が開いている場合(ステップS5でYES)、制御装置60は、ホットガス電磁弁V2を閉じる冷媒用電磁弁制御信号Sv2を冷媒用電磁弁駆動回路63に出力してホットガス電磁弁V2を閉じる(ステップS6)。これにより、ホットガス電磁弁V2が閉じて、蒸発器35に供給される供給冷媒Msの量が増加して、蒸発器35の冷却能力が高くなり、蒸発器35からの回収冷媒Mrの温度が下降される。そして、制御装置60は、回収冷媒Mrの温度制御工程を終了する。
次に、本実施形態の効果を以下に記載する。
・上記実施形態では、部品の加熱に電気ヒータH1を用いたが、ヒータは電気ヒータに限らない。
・上記実施形態では、真空吸着パッドにてICチップTを対物ブロック40に吸着把持したが、それに限らず、吸引によってICチップTを吸着把持する方法などICチップTを対物ブロック40に吸着把持してもよい。
また、膨張器67は、加熱器温度センサTM2が検出する温度に基づいてその開閉動作を制御されるようにするとよい。具体的には、加熱器温度センサTM2が検出する温度が所定の冷媒の密度に基づく第1の目標値としての第1の目標温度よりも高い場合、第1の開度調整手段としての制御装置60は、膨張器67を開く。膨張器67を開くことにより、第1のバイパス配管59から冷媒回収配管49に混合冷媒を供給して、供給した混合冷媒にて回収冷媒Mrを冷却させる。一方、加熱器温度センサTM2が検出する温度が所定の第1の目標温度よりも低い場合、すなわち、回収冷媒Mrが低温の場合、制御装置60は、膨張器67を閉じる。膨張器67を閉じることにより、第1のバイパス配管59から冷媒回収配管49に混合冷媒を供給しないようにする。それにより、既に冷媒の液体分の多い低温の回収冷媒Mrにさらに混合冷媒に含まれる液体分が追加されて、アキュムレータ58の分離できない回収冷媒Mrの液体分が冷媒圧縮機51に吸入され、冷媒圧縮機51の弁などを損傷させることを防ぐようにできる。
Claims (7)
- 熱伝導部材の下面に把持した電子部品を検査用ソケットに配置するために搬送し、前記検査用ソケットに配置した前記電子部品を前記熱伝導部材の下面にて押圧する電子部品の検査装置であって、
前記熱伝導部材の上面に対して接離可能に配置された冷却体と、
前記冷却体に接続されて前記冷却体を冷却させる供給冷媒を冷媒圧縮機から供給する冷媒供給配管と、
前記冷却体に接続されて前記冷却体にて蒸発した前記供給冷媒からなる回収冷媒を前記冷媒圧縮機へ回収する冷媒回収配管と、
前記電子部品の搬送に伴って可動する、前記冷媒回収配管に設けられた屈曲性を有する可動配管と、
前記冷媒回収配管に設けられ、前記可動配管を流通する前記回収冷媒を、前記可動配管を硬化させない温度に加熱する回収冷媒加熱器と、
前記供給冷媒の一部を前記回収冷媒に合流させるために、前記冷媒回収配管の前記可動配管と前記冷媒圧縮機との間と、前記冷媒供給配管との間を連結する第1のバイパス配管と、が備えられたことを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項1に記載の電子部品の検査装置において、
前記可動配管は、低温では硬化する高圧ホースであることを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項1又は2に記載の電子部品の検査装置において、
前記第1のバイパス配管には、膨張器が備えられていることを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の電子部品の検査装置において、
前記可動配管を流通する前記回収冷媒の密度を測定するために、前記冷媒回収配管に設けられた冷媒密度センサと、
前記第1のバイパス配管に設けられ外部からの制御信号により開度が調整される第1の電磁弁と、
前記冷媒密度センサが測定した冷媒の密度に基づく測定値と、予め定められた冷媒の密度に基づく第1の目標値との比較に基づいて第1の電磁弁の開度を調整させる第1の開度調整手段と、が備えられていることを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の電子部品の検査装置において、
前記冷媒供給配管には、
フィルタドライヤと、
フィルタドライヤの後に設けられた膨張器と、が備えられ、
前記第1のバイパス配管は、前記冷媒供給配管の前記フィルタドライヤと前記膨張器との間に接続されていることを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の電子部品の検査装置において、
前記冷媒圧縮機からの高温高圧の供給冷媒の少なくとも一部を前記回収冷媒に合流させるために、前記冷媒供給配管の前記冷媒圧縮機からの高温高圧の供給冷媒が流通する位置と、前記冷媒回収配管の前記可動配管と前記冷媒圧縮機との間に第2のバイパス配管を設けたことを特徴とする電子部品の検査装置。 - 請求項6に記載の電子部品の検査装置において、
前記第2のバイパス配管に設けた、外部からの制御信号により開度が調整される第2の電磁弁と、
前記冷媒密度センサが測定した冷媒の密度に基づく測定値と、予め定められた冷媒の密度に基づく第2の目標値との比較に基づいて第2の電磁弁の開度を調整させる第2の開度調整手段と、が備えられていることを特徴とする電子部品の検査装置。
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